Wíwọ̀n ìṣàn omi ṣe pàtàkì nínú gígé wáyà dáyámọ́ńdì sílíkọ́nì, nítorí ó ń rí i dájú pé a ti gbé àwọn omi gígé sí ojú ọ̀nà tí a fi ń so wáyà—ó ṣe pàtàkì fún mímú kí ó tutù dáadáa, fífún ní òróró, àti yíyọ àwọn ìdọ̀tí kúrò.RDátà ìṣàn omi ní àkókò kan ń dènà ìpèsè omi tó péye tàbí tó pọ̀ jù, èyí tí yóò fa ìgbóná jù, ìfọ́ wáyà, àbùkù ojú ilẹ̀, tàbí ìdọ̀tí. Ìwọ̀n tó péye ń dín ìyàtọ̀ iṣẹ́ kù, ó ń dáàbò bo ìfọ́ wafer àti ìdúróṣinṣin ojú ilẹ̀, ó ń mú kí wáyà pẹ́ títí, ó sì ń mú kí iṣẹ́ àṣekára àwọn ohun èlò sunwọ̀n sí i.
Àkótán Ìgé Silikoni Wafer àti Ipa Tí Àwọn Omi Gígé
Gígé wáyà dáyámọ́ńdì ni ọ̀nà tó gbajúmọ̀ jùlọ láti gé àwọn ohun èlò sílíkọ́nì monocrystalline àti multicrystalline sínú àwọn wáyà fún àwọn ohun èlò semiconductor àti photovoltaic. Nínú ìlànà yìí, a fi àwọn ohun èlò onírin kan—tí ó sábà máa ń jẹ́ 40–70 μm ní ìwọ̀n ìlà-oòrùn—bo wáyà onírin kan—tó sábà máa ń jẹ́ 40–70 μm ní ìwọ̀n ìlà-oòrùn. Wáyà náà máa ń lọ ní iyàrá gíga, àwọn dáyámọ́ńdì tí a fi sínú rẹ̀ sì máa ń gé sílíkọ́ńìnì kúrò nípa fífa, èyí tí yóò dín àbùkù ojú ilẹ̀ kù, yóò sì mú kí ó dọ́gba. Àwọn wáyà oníwọ̀n tí a dínkù tí a fi sínú rẹ̀ ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí dín àdánù kérf kù, èyí tí ó tọ́ka sí ohun èlò tí a fi ṣòfò gẹ́gẹ́ bí àwọn èròjà sílíkọ́ńdì dídán nígbà iṣẹ́ gígé. Ìpàdánù kérf ni a pinnu nípasẹ̀ ìwọ̀n wáyà àti gíga àwọn èròjà fífa tí ó jáde láti ojú wáyà náà.
Gígé Wáyà Dáyámọ́ńdì
*
Àwọn omi pípẹ́ ń kó ipa pàtàkì nínú gígé wáyà onídámọ́ńdì. Iṣẹ́ pàtàkì wọn ni láti tutù ingot àti wáyà, láti dènà ìgbóná janjan tí ó lè ba sílíkọ́nì jẹ́ tàbí láti dín iye wáyà kù. Wọ́n tún ń fọ àwọn èròjà sílíkọ́nì dídára tí a ń rí nígbà gígé kúrò, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti máa ṣe ìfọwọ́sowọ́pọ̀ mímọ́, láti dènà àtúnṣe àwọn ìdọ̀tí, àti láti dín àwọn ìfọ́ ojú ilẹ̀ kù lórí wáyà náà. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, gígé àwọn omi ń pa ara mọ́ra, ó ń dín ìfọ́ láàárín wáyà àti sílíkọ́nì kù, èyí sì ń mú kí ìgbà ayé wáyà náà gùn sí i àti láti mú kí dídára gígé pọ̀ sí i. A gbọ́dọ̀ ṣàkóso ìṣètò àti àwọn ànímọ́ ti ara ti àwọn omi pípẹ́ sílíkọ́nì—bí viscosity àti density—láti mú kí ó túbọ̀ tutù, yíyọ àwọn ìyẹ̀fun kúrò, àti ààbò wáyà.
Oríṣiríṣi omi ìgé wafer ló wà, títí kan omi tí a fi omi ṣe pẹ̀lú àwọn afikún fún ìpara tí ó pọ̀ sí i àti ìdádúró pàtákì. Yíyàn náà sinmi lórí àpẹẹrẹ ẹ̀rọ, àwọn ìlànà wafer, àti àwọn ìdíwọ́ àyíká. Àpẹẹrẹ ni omi tí a yọ ion kúrò pẹ̀lú àwọn surfactants tàbí glycol, tí a ṣe láti ṣe ìwọ̀n ìdàgbàsókè ìtútù pẹ̀lú ìṣẹ̀dá èérún díẹ̀.
Ìdàgbàsókè sí àwọn wáyà dáyámọ́ńdì tín-tín-tín nínú àwọn ilé iṣẹ́ wafer òde òní mú kí àwọn ìpèníjà pọ̀ sí i nínú ìfijiṣẹ́ omi àti ìṣàkóso iṣẹ́. Bí àwọn ìwọ̀n wáyà ṣe ń dínkù sí ìsàlẹ̀ 40 μm, ewu ìfọ́ wáyà ń pọ̀ sí i àti ìfaradà fún ìyípadà iṣẹ́ ń dínkù. Ìwọ̀n ìwọ̀n ìṣàn tí ó péye—tí àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ bíi gígé àwọn mítà ìṣàn omi, àwọn sensọ ìwọ̀n ìṣàn gíga, àti àwọn sensọ ìṣàn ibi-iṣẹ́ Coriolis—ṣe pàtàkì láti máa mú ìtútù àti ìyọkúrò ìdọ̀tí tó munadoko. Gígé àwọn sensọ̀ ìṣàn omi àti àwọn ojutu wiwọn ìṣàn omi ìṣán ilé-iṣẹ́ ń jẹ́ kí àwọn olùṣiṣẹ́ lè tọ́pinpin àti ṣàtúnṣe àwọn ìwọ̀n ìṣàn ní àkókò gidi, ní ṣíṣe àṣeyọrí ìpara tí ó dára jùlọ àti dídára ojú ilẹ̀. Ìpéye àwọn mítà ìṣàn Coriolis ṣe pàtàkì ní pàtàkì fún ṣíṣàkóso àwọn omi pẹ̀lú onírúurú ìwọ̀n àti ìfọ́, ní rírí dájú pé àwọn ipò déédé kódà bí iyàrá ìṣán àti àwọn ìfọ́ wáyà ṣe ń pọ̀ sí i.
Ìbéèrè tó ń pọ̀ sí i fún ìṣedéédé yìí ti yí àfiyèsí sí ṣíṣàyẹ̀wò àwọn pàrámítà omi oníyípadà bíi ìwọ̀n ìṣàn, ìwọ̀n, àti ìfọ́sí. Àwọn ohun èlò bíi ti Lonnmeter ń pèsè àwọn ìwọ̀n tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ní àkókò gidi tí ó ṣe pàtàkì fún ìdánilójú dídára àti ìṣedéédéé ilana nínú àwọn iṣẹ́ gígé wáyà dáyámọ́ńdì tó ti lọ síwájú. Bí ìmọ̀ ẹ̀rọ wáyà ṣe ń tẹ̀síwájú, ìṣọ̀kan àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ wíwọ̀n ìṣàn tó lágbára ṣe pàtàkì sí mímú ìṣiṣẹ́ wafer dúró, dín àdánù kerf kù, àti dín àwọn ohun tí a nílò láti parí iṣẹ́ fún ẹ̀ka iṣẹ́ silicon wafer kù.
Awọn Ipenija Ifijiṣẹ Omi ninu Gige Waya Diamond ti o peye
Nínú gígé wáyà dáyámọ́ńdì ti àwọn wáyà sílíkónì tín-tín-tín—pàápàá jùlọ àwọn tí kò ju 40 µm lọ—kí a lè fi iye omi sílíkónì tí ó yẹ fún pípa wáyà sí ojú ọ̀nà tí a fi ń gé nǹkan di ìpèníjà ńlá. Bí ìwúwo wáyà ṣe ń dínkù, bẹ́ẹ̀ náà ni ààyè fún ṣíṣàn omi ṣe ń dínkù. Ṣíṣe ìpèsè omi sísẹ́ déédéé ṣe pàtàkì láti rí i dájú pé a ń fa òróró, a ń ṣàkóso ìwọ̀n otútù, a sì ń yọ àwọn ìdọ̀tí kúrò ní ibi tí a ti ń kan nǹkan.
Àìdúróṣinṣin tàbí àìtó omi tó ń ṣàn máa ń yọrí sí fífọ omi wafer ní tààrà, níbi tí wafer náà ti ń lẹ̀ mọ́ ẹ̀rọ náà láìfẹ́ nítorí pé ó ní òróró tó pọ̀ tó. Èyí kì í ṣe pé ó ń da iṣẹ́ gígé náà rú nìkan ni, ó tún ń mú kí ewu ìfọ́ omi wafer tàbí ìbàjẹ́ rẹ̀ pọ̀ sí i. Ìfọ́ omi ojú ilẹ̀ máa ń pọ̀ sí i nígbà tí wáyà àti wafer kò bá gba ìfọ́ omi àti ìtútù nígbà gbogbo láti inú omi yíyà waya diamond. Àwọn ojú ilẹ̀ tó bàjẹ́ àti àwọn àbùkù kékeré tó ń yọrí sí ń dín dídára wafer àti ìṣẹ̀dá rẹ̀ kù, èyí sì ń fa ìdènà pàtàkì fún àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor àti photovoltaic.
Àwọn kókó mẹ́ta pàtàkì ló máa ń nípa lórí bí omi ṣe ń wọ inú àlàfo oníwọ̀n kékeré: ìrísí wáyà, iyàrá ìgé, àti ìṣiṣẹ́ capillary. Ìrísí wáyà—ní pàtàkì ìwọ̀n wáyà àti ìpínkiri àwọn ọkà diamond—ní ipa taara lórí bí silicon wafer ṣe ń gé omi tí ó ń ṣàn àti bí ó ṣe ń dì mọ́ agbègbè ìfọwọ́sowọ́pọ̀. Nígbà tí a bá ń lo wáyà tí kò ju 40 µm lọ, agbègbè ojú ilẹ̀ kékeré náà ń dín ìṣíkiri omi kù. Àwọn iyàrá ìgé tí ó ga jù ń dín àkókò tí omi náà yóò fi dé àti láti tutù ní ìsopọ̀ náà kù, èyí tí yóò sì yọrí sí ìgbóná ara tí ó wà ní àgbègbè àti ìpara tí kò dára. Ìṣiṣẹ́ capillary, agbára àdánidá ti omi láti fà sínú àwọn àlàfo tí ó ṣókùnkùn, ń pinnu ìdúró omi gidigidi. Síbẹ̀síbẹ̀, àwọn afárá omi kan náà tí ó ń mú kí ìṣíkiri omi pọ̀ sí i lè fa ìsopọ̀ capillary láàárín àwọn wáyà tí ó wà ní ẹ̀gbẹ́, tí ó ń fa ìdààmú tí kò bá ara mu àti ìyípadà tí ó nípọn wafer.
Ìmúdá àwọn irú omi ìgé wafer tó ti ní ìlọsíwájú—pẹ̀lú àwọn omi ìgé nanoparticle tó ti ní ìlọsíwájú—ń mú kí àwọn àtúnṣe tó ṣeé wọ̀n pọ̀ sí i. Àwọn omi tí a ṣe pẹ̀lú SiO₂ tàbí SiC nanoparticles máa ń wọ inú àwọn àlàfo tóóró dáadáa nítorí ìfọ́sí àti ìbáṣepọ̀ ojú ilẹ̀ tó dára. Àwọn omi wọ̀nyí máa ń mú kí ìfúnpọ̀ sunwọ̀n sí i, wọ́n sì máa ń gbé ooru lọ lọ́nà tó dára jù, èyí sì máa ń yọrí sí ìfọ́síwájú ojú ilẹ̀ tó kéré sí i àti ìfọ́síwájú sí ìfọ́síwájú sí ìfọ́síwájú. Ìwádìí fihàn pé lílo àwọn omi ìgé nanoparticle máa ń yí ipò ooru padà nígbà tí a bá ń gé e, èyí sì máa ń dín àwọn ìdààmú tó ń halẹ̀ mọ́ ìwà rere wafer kù. Èyí, pẹ̀lú àwọn ọ̀nà bíi ìgbìyànjú ultrasonic láti mú kí ìgberaga capillary pọ̀ sí i, ó ń jẹ́ kí ìfijiṣẹ́ omi ìgé waya diamond tó dọ́gba pọ̀ sí i.
Ìfijiṣẹ́ omi tó péye nílò àbójútó àti àtúnṣe tó péye ní àkókò gidi. Ìwọ̀n ìṣàn omi ilé iṣẹ́ tó péye di pàtàkì, pàápàá jùlọ nínú àwọn iṣẹ́ tí a ṣàkóso dáadáa. Ṣíṣe mita ìṣàn omi tó péye—bíi sensọ wiwọn ìṣàn omi Coriolis tó péye—jẹ́ kí ìlànà tó péye ti ìfijiṣẹ́ náà ṣeé ṣe. Àwọn mita inline density àti viscosity ti Lonnmeter, nígbà tí a bá so wọ́n pọ̀ mọ́ àwọn irinṣẹ́ ìwọ̀n ìṣàn omi tó péye, ń ṣe ìrànlọ́wọ́ láti mú kí ìpèsè omi dára síi, kí àwọn wafer tó tinrin jùlọ pàápàá lè gé láìsí ìṣòro, pẹ̀lú ewu àbùkù tó kéré.
Wiwọn Sisan Omi ninu Awọn Iṣẹ Ige Wafer
Wíwọ̀n ìwọ̀n ìṣàn tó péye jẹ́ pàtàkì fún ṣíṣe àtúnṣe ìfijiṣẹ́ omi gígé nínú gígé wáyà onídámọ́nì ti àwọn wáyà onídámọ́nì. Ìmúṣe omi gígé wáyà onídámọ́nì ń ṣe àtúnṣe ìtútù, fífọ́ òróró, àti yíyọ àwọn ìdọ̀tí kúrò ní ojú ọ̀nà ìbáṣepọ̀, ó ń ní ipa lórí dídára ojú wafer, pípadánù kerf, àti gbogbo ìṣẹ̀dá ìṣẹ̀dá. Àìtó tàbí ìṣàn tó pọ̀ jù ń yí ipa abrasive padà, ó ń mú kí ìbàjẹ́ irinṣẹ́ pọ̀ sí i, ó sì lè fa àìdọ́gba wafer tàbí iye owó ohun èlò tó ga jù. Ìwádìí onímọ̀ fihàn pé ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ (Ra) àti ìbàjẹ́ lábẹ́ ilẹ̀ lè dínkù nípa mímú kí ìwọ̀n ìṣàn omi gígé wà láàárín ìwọ̀n 0.15–0.25 L/min tó dára jùlọ fún àwọn ẹ̀rọ wáyà onípele kan, nítorí pé ìṣàn tó péye ń yọrí sí àwọn microcracks àti ìkójọpọ̀ èérí, nígbà tí ìṣàn tó pọ̀ jù ń fa ìrúkèrúdò àti lílo òórùn tí kò pọndandan.
Awọn Imọ-ẹrọ fun Gige Iwọn Oṣuwọn Isunmi
Gígé àwọn mita ìṣàn omi ń wọ inú àwọn ìlà ìpèsè omi, wọ́n ń wọn iye omi ìṣán omi onídámọ́ọ́nì tí a fi ránṣẹ́ ní àkókò gidi. Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ mita ìṣàn omi tí a sábà máa ń lò pẹ̀lú àwọn irú ẹ̀rọ, ẹ̀rọ itanna, àti ultrasonic:
- Àwọn máàkì ìṣàn ẹ̀rọ, bíi àwọn ẹ̀rọ turbine àti paddlewheel, máa ń lo àwọn èròjà tí omi ń yí padà tí wọ́n sì ti yí padà. Wọ́n rọrùn láti lò, wọ́n sì lágbára, ṣùgbọ́n wọ́n lè wọ láti inú àwọn omi tí ó kún fún abrasive.
- Àwọn mita ìṣàn ẹ̀rọ itanna, pàápàá jùlọ àwọn àwòrán ẹ̀rọ itanna, wọ́n ń wọn iyàrá omi nípa lílo àwọn ìlànà ìfàsẹ́yìn ẹ̀rọ itanna, wọ́n sì ń fúnni ní iṣẹ́ tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, tí ó sì ń ṣiṣẹ́ fún àwọn omi oníná.
- Àwọn mita ìṣàn omi Ultrasonic máa ń lo ìgbì ohùn onígbohùn gíga tí a ń gbé jáde tí a sì ń gbà kọjá páìpù náà. Nípa wíwọ̀n ìyàtọ̀ àkókò ti ìrìn ohùn pẹ̀lú àti lòdì sí ìṣàn, àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí ń fúnni ní ìwọ̀n tí kò ní ìdènà, tí ó péye tí ó yẹ fún onírúurú omi ìgé wafer.
Ìwọ̀n ìṣàn omi Coriolis dúró gedegbe ní àwọn ohun èlò tí a nílò ìṣàkóso pípéye ti ìwọ̀n omi, láìka ìyípadà ìṣàn omi sí tàbí iwọ̀n otútù sí. Àwọn sensọ̀ ìṣàn omi Coriolis tààrà ń wọn ìwọ̀n ìṣàn omi ní ìbámu pẹ̀lú ipa Coriolis, ó ń pèsè ìpele gíga àti ìbójúmu fún àwọn omi díámọ́ǹdì tí a fi omi àti epo gé. Lonnmeter ń ṣe àwọn ìwọ̀n ìṣàn omi àti viscosity, èyí tí ó tún ń jẹ́ kí a ṣe àbójútó àwọn ohun-ìní omi fún ìdúróṣinṣin àti ìṣàkóso ilana tí ó dára jùlọ nínú gígé wafer silicon.
Àwọn Pílámítà Ìwọ̀n Pàtàkì àti Ìgbékalẹ̀ Sensọ
Wiwọn deede ti gige sisan omi ninu gige wafer nilo akiyesi si awọn ipilẹ pataki pupọ:
- Ìwọ̀n ìṣàn omi (L/min): Ìwọ̀n àkọ́kọ́ fún ìṣelọ́pọ̀ àti ìdánilójú dídára.
- Ìwọ̀n àti ìfọ́sí: Àwọn méjèèjì ní ipa pàtàkì lórí iṣẹ́ ìtútù, gbígbé abrasive, àti pípa àwọn ìdọ̀tí mọ́.
- Iwọn otutu: O ni ipa lori didi ati ihuwasi omi ni aaye gige naa.
Gbígbé sensọ̀ sí ipò pàtàkì ni. Àwọn sensọ̀ ìwọ̀n ìṣàn gbọ́dọ̀ wà ní tààrà sí ìlà ìfijiṣẹ́ omi nítòsí agbègbè ìgégé bí ó ti ṣeé ṣe láti dín ìyàtọ̀ kù nítorí àìfaradà pípa, jíjó, tàbí ìtújáde kí ó tó di pé a gé e. Ìwọ̀n inline gidi máa ń rí i dájú pé iye ìṣàn tí a ròyìn bá ìpèsè gidi mu sí agbègbè gígé waya dáyámọ́ńdì.
Iṣẹ́ Ìwọ̀n Ìṣàn ní Ṣíṣe Ààbò Àwọn Ayíká Gígé Tó Dáa Jùlọ
Àwọn sensọ wiwọn sisan ṣe pàtàkì fún àbójútó àkókò gidi àti ìṣàkóso àtúnṣe ti ìfijiṣẹ́ omi nínú gígé wafer silicon ilé iṣẹ́. Mímú ìwọ̀n ìṣàn tó dára jùlọ dájú pé ooru máa ń tú jáde tó, ìtújáde ìdọ̀tí nígbà gbogbo, àti fífún epo ní orí wáyà diamond. Láìsí èyí, ìdúróṣinṣin ilana máa ń dínkù, ìgbésí ayé wáyà máa ń dínkù, àti pé èso máa ń jìyà nítorí ewu àbùkù ojú ilẹ̀ tàbí pípadánù kerf tó pọ̀ jù.
Nípa sísopọ̀ ìwọ̀n ìṣàn omi tó péye pẹ̀lú àwọn ìlànà èsì míràn (fún àpẹẹrẹ, iyàrá wáyà, ìwọ̀n oúnjẹ), àwọn olùpèsè lè fi agbára mú ìṣàkóso ààlà iṣẹ́ náà, ní sísopọ̀ tààràtà pẹ̀lú iṣẹ́ ìgé tí a kíyèsí. Nítorí náà, ìyàtọ̀ èyíkéyìí láti inú àpò ìṣàn omi tí a ṣètò máa ń fa ìgbésẹ̀ àtúnṣe lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀, tí ó ń dáàbò bo dídára iṣẹ́ àti iṣẹ́ àgbékalẹ̀ àwọn ohun èlò.
Ní àkótán, ìwọ̀n ìṣàn omi ìgékúrú ilé-iṣẹ́—tí ó sinmi lórí àwọn sensọ wiwọn ìṣàn tó lágbára àti ìwádìí àkókò gidi—sìn gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ fún ìṣẹ̀dá wafer silikoni tó ní èso gíga àti iye owó tó munadoko ní àkókò gígé wáyà diamond.
Wiwọn Isan Ibi-iṣan Coriolis: Awọn Ilana ati Lilo
Ìwọ̀n ìṣàn ìwọ̀n Coriolis da lórí wíwá agbára tí omi ń gbé kiri nínú àwọn túbù tí ń mì tìtì. Bí omi náà ṣe ń ṣàn—bí omi ìgé wẹ́ẹ̀bù diamond tàbí omi ìgé wẹ́ẹ̀bù silicon—àwọn túbù náà ń ní ìrírí ìyípadà ìpele kékeré kan tí a lè wọ̀n. Ìyípadà yìí bá ìwọ̀n ìṣàn ìwọ̀n náà mu, ó ń fúnni ní ìwọ̀n tààràtà, ní àkókò gidi ti ìwọ̀n ìgé wẹ́ẹ̀bù tí a fi ránṣẹ́. Ìlànà kan náà yìí gba ààyè fún wíwọ̀n ìwọ́n omi ní àkókò kan náà, tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìpele gíga lórí àwọn irú omi tí ń yípadà, àwọn àkójọpọ̀, àti àwọn iwọ̀n otútù—ohun pàtàkì kan nínú ṣíṣe silicon wafer àti lílo waya gé dáyámọ́ńdì.
Àwọn àǹfààní ọ̀nà yìí fún àwọn irú omi ìgé wafer, pàápàá jùlọ nígbà tí a bá ń lo àwọn omi ìgé waya diamond tí ó ní iṣẹ́ gíga, jẹ́ pàtàkì. Ìwọ̀n ìṣàn Coriolis kò ní ìfàmọ́ra omi àti àwọn àyípadà ìṣètò, ó ṣì wà ní ìbámu pẹ̀lú wíwà àwọn èròjà abrasive, àwọn ohun èlò nano-additives, tàbí àwọn àdàpọ̀ onírúurú tí a sábà máa ń rí nínú gígé omi fún àwọn wafer silicon. Líle yìí mú kí ó ga ju àwọn ọ̀nà ìṣàn volumetric ìbílẹ̀ lọ, èyí tí àwọn nọ́ńbà, àwọn èròjà tí a dá dúró, àti àwọn ànímọ́ ara tí ó ń yí padà ti àwọn omi ìgé tí ó ti ní ìlọsíwájú lè ní ipa lórí.
Gígé wafer semiconductor túbọ̀ ń gbára lé ìmọ̀ ẹ̀rọ sensọ ìṣàn omi tó ti ní ìlọsíwájú láti rí i dájú pé a ń ṣe àbójútó omi ìṣán omi fún àwọn wafer silicon. Àwọn sensọ ìṣàn omi inline Lonnmeter, tí wọ́n ń lo ipa Coriolis, ni a ń lò tààrà ní àwọn ìlà ìlànà. Èyí mú kí a lè fi ìpèsè àti àbójútó omi ìṣán omi nano-fluid àti diamond nígbà tí a bá ń gé wafer. Àwọn àmì ìbàjẹ́ omi, àìdọ́gba àdàpọ̀, tàbí ìyípadà ìwọ̀n ni a máa ń rí kíákíá, èyí tí ó ń jẹ́ kí a lè ṣe àbójútó ìdarí lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ láti mú kí iṣẹ́ náà dára sí i àti dídára ojú ilẹ̀.
Fífi àwọn sensọ̀ ìṣàn omi Coriolis wé àwọn sensọ̀ ìṣàn omi míràn—bíi àwọn ètò ìṣàn omi ooru, electromagnetic, tàbí ultrasonic—ṣípayá ọ̀pọ̀lọpọ̀ agbára. Àwọn sensọ̀ ìṣàn omi Coriolis tayọ ní ìwọ̀n ìṣàn omi gíga tí ó sì ń fi àwọn ìkà tí ó dá lórí ibi-iwọ̀n hàn láìsí ìyípadà viscosity tàbí àwọn ànímọ́ magnetic. Àwọn mita electromagnetic àti ultrasonic ń jìjàkadì pẹ̀lú àwọn àdàpọ̀ omi tí ó ní àwọn nanoparticles, àwọn àpò afẹ́fẹ́, tàbí àwọn ìyàtọ̀ ìwọ̀n ìṣẹ́jú, èyí tí ó sábà máa ń yọrí sí ìwọ̀n ìṣàn omi tí kò ṣeé gbẹ́kẹ̀lé àti ìbísí ìtọ́jú tí ó pọ̀ sí i.
A ń tọ́jú ìpéye ìwọ̀n ìṣàn Coriolis lábẹ́ ìyípadà àwọn àkójọpọ̀ omi, bí iṣẹ́ ìṣiṣẹ́ àmì àti ètò ìsanpadà òtútù ṣe ń yọ ariwo àti ìyàtọ̀ àyíká kúrò lọ́nà tó dára. Àwọn olùṣiṣẹ́ lè lo ìwífún àkókò gidi láti mú kí ìtútù, fífọ́ epo, àti yíyọ àwọn èròjà kúrò, ní dídáhùn sí onírúurú ànímọ́ ti onírúurú omi ìgé wafer àti àwọn àdàpọ̀ nanofluid.
Ṣíṣe àtúnṣe ìwọ̀n ìṣàn Coriolis sí gígé wáyà tín-tín àti gígé omi pẹ̀lú àwọn nanoparticles jẹ́ àmì ìyípadà nínú ìṣàyẹ̀wò ilé iṣẹ́. Àwọn sensọ̀ ń wọn ìṣàn àti ìwọ̀n ibi-iṣẹ́ gidi, láìka iye pàǹtíkì tàbí ìyàtọ̀ omi sí, èyí sì ń jẹ́ kí ìṣàkóso ìdènà àti ìṣàkóso omi aládàáṣe tí a ṣe fún gígé wáyà. Ìpele ìwọ̀n ìṣàn gíga yìí jẹ́ pàtàkì sí mímú ìdúróṣinṣin ilana, dín àdánù ohun èlò kù, àti dídáàbòbò ìdúróṣinṣin ojú ilẹ̀ nígbà iṣẹ́ ṣíṣe wáyà silikoni àti àwọn iṣẹ́ gígé wáyà silikoni.
Ṣíṣe àfikún Dátà Ìwọ̀n Ìṣàn sínú Ìṣàkóso Ìlànà
Wiwọn sisan akoko gidi nipa lilo awọn sensọ sisan ibi-pupọ Coriolis ti yi iṣakoso omi gige pada lakoko gige waya okuta iyebiye ti awọn wafers silicon. Iwọn iwuwo ati awọn mita viscosity inu ila, bii awọn ti Lonnmeter ṣe, mu ki a ṣe abojuto lẹsẹkẹsẹ ti awọn abuda omi ati oṣuwọn sisan, ti o ṣe atilẹyin taara iṣakoso ilana ti o peye.
Ṣíṣe ìtọ́jú ìwọ̀n ìṣàn tó dára jùlọ ṣe pàtàkì fún ìtútù, ìwẹ̀nùmọ́, àti fífọ omi oníwọ̀n díámọ́ńdì àti àwọn wáfáà sílíkọ́nì tó gbéṣẹ́. Àwọn mítà ìṣàn ibi-ìwọ̀n Coriolis tayọ ní àyíká yìí nípa fífúnni ní ìdáhùn tó péye, tó sì ṣe kedere lórí ìṣàn ibi-ìwọ̀n àti àwọn ànímọ́ omi. Pẹ̀lú dátà yìí, àwọn ètò aládàáṣe le ṣàtúnṣe iyàrá fifa, ipò fáìlì, tàbí iye àtúnlo láti fi ìwọ̀n àti àkópọ̀ omi ìgé wafer tó yẹ hàn. Fún àpẹẹrẹ, nígbà àwọn ìyípo ìgé kíákíá, dátà sensọ le fa ìfijiṣẹ́ omi tó pọ̀ sí i fún yíyọ àwọn ìdọ̀tí kúrò àti ìtútù, nígbà tí àwọn ìyípo tó lọ́ra lè nílò ìṣàn tó dínkù láti yẹra fún ìbàjẹ́.
Àbájáde láti ọ̀dọ̀ àwọn sensọ wiwọn sisan tún ṣe pàtàkì fún dídáhùn sí àwọn ipò omi tó ń yí padà. Bí ìfọ́ omi tàbí ìwọ̀n rẹ̀ ṣe ń yí padà—nítorí àwọn ìyípadà iwọ̀n otútù tàbí ìbàjẹ́—àwọn mita inline Lonnmeter máa ń rí àwọn ìyàtọ̀ wọ̀nyí lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀, èyí tó ń jẹ́ kí àwọn ètò ìṣàkóso san án padà nípa ṣíṣe àtúnṣe ìwọ̀n ìṣàn omi tàbí bíbẹ̀rẹ̀ ìṣàn omi. Ọ̀nà yìí tó jẹ́ ti ìṣàfihàn dátà máa ń rí i dájú pé omi náà wà láàrín àwọn ìlànà tó péye fún iṣẹ́ gígé tó dára jùlọ.
Ní àwọn àyíká tí ó ní ìwọ̀n gíga, agbára láti ṣe àkíyèsí àti láti ṣàkóso pípa ìṣàn omi ní àkókò gidi ń ṣe àtìlẹ́yìn fún sisanra déédé àti dín ìṣẹ̀lẹ̀ àwọn àbùkù olówó gọbọi kù, gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn nínú àwọn ìlà iṣẹ́-ṣíṣe tí ó wà ní Asia àti Europe. Ìṣàkóso omi tí ó ga jùlọ tún ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìtọ́jú àsọtẹ́lẹ̀, tí ó ń mú kí ó pẹ́ síi fún ìgbà pípẹ́.
Àwọn iṣẹ́ ilé-iṣẹ́ ń jàǹfààní púpọ̀ láti inú àwọn ètò ìṣàn omi tí a ń ṣàkóso. Ìṣàkóso omi tó munadoko dín iye owó ìlò àti ìsọnù kù nípa rírí dájú pé a lo omi tó tó fún gbogbo wafer, èyí tó ń ṣètìlẹ́yìn fún ìdúróṣinṣin àti ìtẹ̀lé ìlànà. Ìdínkù nínú ìdọ̀tí omi—tí a mú kí ó ṣeé ṣe nípasẹ̀ àtúnṣe àti àtúnṣe tó ń lọ lọ́wọ́ lórí dátà sensọ̀—túmọ̀ sí ìnáwó iṣẹ́ tó dínkù àti ìdínkù ìtẹ̀síwájú àyíká.
Ní ṣókí, ìsopọ̀mọ́ra ìṣàn omi ní àkókò gidi, tí Lonnmeter's inline solutions ṣiṣẹ́, kìí ṣe pé ó jẹ́ ohun pàtàkì fún ìdánilójú dídára wafer nìkan, ṣùgbọ́n ó tún jẹ́ àǹfààní iṣẹ́ fún iṣẹ́ gígé wáyà diamond. Ó ń fúnni ní àwọn àtúnṣe tí a lè fojú díwọ̀n nínú ìparí ojú ilẹ̀, ìgbẹ́kẹ̀lé ẹ̀rọ, ìṣẹ̀dá, àti ìnáwó tí ó gbéṣẹ́.
Àwọn Ìmọ̀lára Ìdánwò àti Ìtọ́sọ́nà Ilé-iṣẹ́
Àwọn ìwádìí tuntun ti yí àwọn ọ̀nà tí ó dára jùlọ nínú ìfijiṣẹ́ omi fún gígé wáyà sílíkónì. Ìwádìí fihàn pé ìṣàkóso pípa ìpèsè omi lọ́nà tí ó péye, pàápàá jùlọ nípa lílo àwọn ọ̀nà ìlọsíwájú, ní ìbáṣepọ̀ taara pẹ̀lú ìfàmọ́ra wáyà tí ó dínkù àti dídára ojú ilẹ̀ tí ó dára jù.
Lílo ipa ultrasonic capillary nínú ìfijiṣẹ́ omi ti farahàn gẹ́gẹ́ bí ohun tó ń yí padà. Àwọn ìgbì Ultrasonic ń darí omi gígé sí àwọn kerfs tín-tín—ní pàtàkì ní àwọn agbègbè tí ó kéré sí 50 μm—níbi tí àwọn ọ̀nà ìpèsè ìbílẹ̀ sábà máa ń kùnà. Ìfàsẹ́yìn tí ó pọ̀ sí i yìí dín ìfàsẹ́yìn àwọn patikulu abrasive àti èérí kù sí ojú wafer. Àwọn ìdánwò àyẹ̀wò fi hàn pé àwọn wafer tí a fi ultrasonic ran lọ́wọ́ fi àwọn àbùkù ojú ilẹ̀ tí a wọ̀n hàn, nítorí náà, èso tí ó ga àti ìgbẹ́kẹ̀lé nínú àwọn ilana ìsàlẹ̀.
Ṣíṣe àtúnṣe paramita ṣe pàtàkì fún mímú àǹfààní ti ìmúdàgba ultrasonic àti ìmọ̀-ẹ̀rọ nano-fluid pọ̀ sí i nínú pípa ìfijiṣẹ́ omi. Àwọn paramita pàtàkì ní:
- Ijinna awo: A gbọdọ dinku aaye laarin ibi ipamọ omi ati agbegbe gige ki omi naa le dide daradara.
- Ipo transducer ultrasonic ati iṣeto parallelism: Geometry ti a ṣalaye kedere ṣe idaniloju gbigbe igbi kanna ati iṣẹ capillary.
- Iwọn otutu omi: Igbona ti a ṣakoso mu ki gbigbe omi ati ṣiṣe ṣiṣe ti awọn iṣan inu pọ si.
- Àkókò àti ìgbà tí a fi lo ultrasonic: Àkókò tó yẹ ń dènà ìgbóná jù nígbàtí a bá ń mú kí infiltration pọ̀ sí i.
- Yiyan iru omi: Awọn omi ipilẹ ati awọn afikun oriṣiriṣi dahun ni iyasọtọ si iwuri ultrasonic.
Ìmọ̀ ẹ̀rọ Nanofluid tún ṣe àgbékalẹ̀ ìlọsíwájú pàtàkì mìíràn. Gígé àwọn omi tí a fi àwọn nanoparticles bíi SiO2 àti SiC ṣe àfihàn ìfàmọ́ra ooru àti ìpara tí ó dára síi. Àtúnṣe yìí yọrí sí ìtútù tí ó múná dóko, yíyọ àwọn ìdọ̀tí kúrò, àti ìdínkù ìfọ́ ojú wafer. Àwọn ìwádìí fihàn pé àwọn àkójọpọ̀ nano-particle tí a dàpọ̀ ń fúnni ní àwọn àtúnṣe ìṣọ̀kan, tí ó ń dín ìfọ́ ogun kù àti ṣíṣe àkójọpọ̀ wafer tí ó dára ju àwọn omi ìgé kan ṣoṣo tàbí ti ìbílẹ̀ lọ.
Awọn aṣelọpọ ti n wa lati mu agbara omi gige wọn dara si le ṣe awọn itọsọna iṣiṣẹ wọnyi:
- Lo awọn mita iwuwo inline ati awọn mita viscosity (bii awọn ti o wa lati Lonnmeter) lati ṣe atẹle ati ṣakoso ibamu omi gige, rii daju pe awọn ohun-ini sisan wa dara julọ fun iranlọwọ ultrasonic ati nano.
- Ṣe àkíyèsí àti ṣàtúnṣe ìwọ̀n ìṣàn omi pípẹ́ nípa lílo sensọ̀ ìwọ̀n ìṣàn omi gíga. Ìwọ̀n ìṣàn omi Coriolis wúlò gan-an fún ìwọ̀n ìṣàn omi pípẹ́ ní ilé-iṣẹ́, ó ń fúnni ní ìṣedéédéé àkókò gidi fún ìwọ̀n àti ìwọ̀n.
- Máa ṣe àtúnṣe àwọn sensọ̀ ìwọ̀n ìṣàn déédéé láti máa ṣe àtúnṣe àwọn ìkà tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, èyí tó ṣe pàtàkì fún ṣíṣe àtúnṣe wafer déédé.
- Yan awọn iru omi gige wafer ati awọn ifọkansi nanoparticle ti o baamu si iwọn wafer kan pato, awọn abuda waya diamond, ati agbegbe iṣiṣẹ.
Àwọn ìwádìí ìfiwéra fìdí rẹ̀ múlẹ̀ pé àwọn ìyípadà paramita onípele kan—bíi bí a ṣe ń mú kí wáyà pọ̀ sí i tàbí títúnṣe ìwọ̀n oúnjẹ—bá àwọn ìyípadà nínú wíwọ wáyà, àìlera ojú ilẹ̀, àti ìyàtọ̀ nínípọn gbogbo (TTV). Ṣíṣe ìtọ́jú ìṣàn omi àti ìpèsè omi kíákíá àti ìdáhùn ṣe pàtàkì láti dín àbùkù kù àti láti pẹ́ títí.
Àwọn Ìbéèrè Tí A Máa Ń Béèrè
Báwo ni omi gige wafer silikoni ṣe mu iṣẹ gige waya okuta iyebiye dara si?
Omi gige silikoni wafer n ṣiṣẹ gẹgẹbi epo ati ohun elo itutu ninu gige waya daimọn. Iṣẹ́ akọkọ rẹ̀ ni lati dinku ija ati lati tu ooru ti a n ṣe ni wiwo waya-wafer kuro. Ija ati iwọn otutu dinku dinku awọn microcracks ati awọn fifọ oju, eyiti o le ja si ibajẹ wafer ati idinku ikore gbogbogbo. Omi tun n gbe awọn idoti kuro ni agbegbe gige, ṣiṣe ki waya daimọn ati oju wafer di mimọ. Yiyọ awọn patikulu nigbagbogbo yii n yọrisi awọn oju wafer ti o rọ ati atilẹyin iṣelọpọ ti o ni ibamu ati didara giga. Fun apẹẹrẹ, awọn omi gige nano ti o ni ilọsiwaju pẹlu awọn nanoparticles SiO₂ ati SiC le wọ inu kerf jinna, dinku rirọ dada ati warpage wafer, mu iṣelọpọ wafer dara si fun lilo semiconductor.
Kí ni mita ìṣàn omi gígé, kí sì ni ìdí tí ó fi ṣe pàtàkì nínú gígé wafer?
Mita sisan omi gige n wọn iye omi gangan ti a fi ranṣẹ si agbegbe gige. Mimu sisan deedee ṣe pataki fun isunmi to peye, isunmi ooru, ati imukuro idoti. Ti sisan ba kere ju, waya naa yoo gbona tabi ko awọn idoti jọ, ti yoo fa awọn fifọ ati awọn fifọ. Isunmi ti o pọ ju le ba omi jẹ ki o si ṣẹda aiṣedeede titẹ, ti yoo ni ipa lori fifẹ wafer ati igbesi aye irinṣẹ. Gige awọn mita sisan omi, gẹgẹbi awọn mita iwuwo inline ati awọn mita viscosity ti Lonnmeter ṣe, ṣe iranlọwọ fun awọn oniṣẹ lati ṣe abojuto ati ṣatunṣe ipese ni akoko gidi. Eyi rii daju pe ilana naa wa laarin awọn paramita ti o dara julọ, ti o mu ki iṣelọpọ wafer pọ si ati dinku lilo irinṣẹ.
Báwo ni ìwọ̀n ìṣàn omi Coriolis ṣe ṣe àǹfààní ìṣàkóso omi ìgékúrú silicon wafer?
Ìwọ̀n ìṣàn ibi-iṣan Coriolis ṣe pàtàkì fún ìwọ̀n ìṣàn tó péye nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer silicon. Láìdàbí àwọn mita ìṣàn ìgbàanì, àwọn sensọ Coriolis ń wọn ìṣàn ibi-iṣan taara láìka ìfọ́ omi, ìwọ̀n, tàbí ìyàtọ̀ iwọn otutu sí. Ẹ̀yà ara yìí ń jẹ́ kí a ṣe àkíyèsí pípéye ti onírúurú omi ìṣán wafer, títí kan àwọn tí ó ní àwọn nanoparticles. Àbájáde rẹ̀ ni pé a ń fi omi ìṣán sílẹ̀ déédéé ní ìwọ̀n tó tọ́, a ń pa ìpara àti ìtútù mọ́ láìka ìyípadà ilana sí. Àwọn àǹfààní wọ̀nyí ń ṣe àfikún taara sí dídára wafer tó ga jùlọ nínú àwọn ohun èlò ìṣán waya diamond tó ń béèrè fún, níbi tí ìṣàkóso tó péye ń dín àbùkù kù àti pé ó ń mú kí iṣẹ́ náà sunwọ̀n sí i.
Àwọn ohun wo ló ní ipa lórí ìwọ̀n ìṣàn omi nínú àwọn ohun èlò rírì oníwọ̀n diamond?
Wiwọn oṣuwọn sisan deedee da lori ọpọlọpọ awọn oniyipada ti o sopọ mọ ara wọn. Yiyan sensọ jẹ pataki; fun apẹẹrẹ, awọn sensọ sisan ibi-nla Coriolis pese data ti o gbẹkẹle paapaa fun awọn omi ti o ni viscous tabi awọn patikulu. Akopọ omi—gẹgẹbi wiwa awọn nanoparticles—le yi viscosity ati iwuwo pada ki o si ni ipa lori awọn ibeere iwọntunwọnsi sensọ. Iwọn opin waya ati iyara gige tun ni ipa lori iye omi ti a nilo fun itutu ati yiyọ idoti ti o munadoko. Ṣiṣe deede fun ilana kan pato jẹ pataki lati rii daju pe sensọ naa ka awọn iye otitọ, rii daju pe a lo iye omi gige to tọ fun ipele kọọkan.
Ǹjẹ́ àwọn nano-fluids àti àwọn ọ̀nà ultrasonic lè mú kí omi wọ inú ara nígbà tí a bá ń gé wafer silicon?
Ìwádìí fihàn pé àwọn omi nano, pàápàá jùlọ àwọn tí ó ní SiO₂ àti àwọn nanoparticles SiC, ń mú kí iṣẹ́ ìfijiṣẹ́ omi pọ̀ sí ìsopọ̀ wire-wafer pàtàkì. Àwọn èròjà wọ̀nyí ń ran omi náà lọ́wọ́ láti dé àwọn àlàfo kékeré, tí ó ń rí i dájú pé ó tutù dáadáa àti fífún un ní òróró. Ní àfikún, àwọn ọ̀nà ìṣiṣẹ́ capillary ultrasonic ń mú kí ìṣíkiri omi àti wíwọlé rẹ̀ pọ̀ sí i, pàápàá jùlọ nínú gígé wáyà tín-tín. Èyí túmọ̀ sí pé omi dídín ni a nílò láti ṣe àṣeyọrí iṣẹ́ tó dára jùlọ, àwọn àbájáde rẹ̀ sì ní ìfàmọ́ra omi dídín, ìrísí ojú ilẹ̀ tí ó dára síi, àti ìwọ̀n àbùkù tí ó dínkù. Àwọn ìlọsíwájú wọ̀nyí ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìgbésẹ̀ sí àwọn wafers tín-tín, tí ó tóbi jù ní àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor àti photovoltaic, pẹ̀lú àwọn sensọ̀ ìṣàyẹ̀wò omi dídín tí ń rí i dájú pé iṣẹ́ náà dúró ní ìdarí àti déédé ní gbogbo ìgbà ìṣẹ̀dá kọ̀ọ̀kan.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-25-2025
