Ìmọ́lẹ̀ kẹ́míkà-ẹ̀rọ (CMP) sábà máa ń ní ipa nínú ṣíṣe àwọn ojú ilẹ̀ dídán nípasẹ̀ ìṣe kẹ́míkà, pàápàá jùlọ iṣẹ́ nínú iṣẹ́ ṣíṣe semikondokito.Mita gigun, olùdásílẹ̀ tí a gbẹ́kẹ̀lé pẹ̀lú ìmọ̀ tó ju ogún ọdún lọ nínú wíwọ̀n ìfọkànsí inú, ń fúnni ní ìmọ̀ tuntunAwọn mita iwuwo ti kii ṣe iparunàti àwọn sensọ̀ viscosity láti kojú àwọn ìpèníjà ìṣàkóso slurry.
Pàtàkì Dídára Slurry àti Ìmọ̀ Lonnmeter
Slurry oníṣẹ́ ọnà kẹ́míkà ni ipìlẹ̀ ìlànà CMP, èyí tí ó ń pinnu ìṣọ̀kan àti dídára àwọn ojú ilẹ̀. Ìwọ̀n slurry tàbí viscosity tí kò báramu lè yọrí sí àbùkù bíi micro-scratches, yíyọ ohun èlò tí kò báramu, tàbí dídí pad, tí ó ń ba dídára wafer jẹ́ àti tí ó ń mú owó ìṣelọ́pọ́ pọ̀ sí i. Lonnmeter, olórí kárí ayé nínú àwọn ojútùú ìwọ̀n ilé iṣẹ́, ṣe àmọ̀jáde nínú ìwọ̀n slurry inline láti rí i dájú pé iṣẹ́ slurry dára jùlọ. Pẹ̀lú àkọsílẹ̀ tí a ti fihàn pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, tí ó péye, Lonnmeter ti ṣe alábáṣiṣẹpọ̀ pẹ̀lú àwọn olùpèsè semiconductor olórí láti mú kí ìṣàkóso àti ìṣiṣẹ́ sunwọ̀n sí i. Àwọn mita density slurry tí kì í ṣe nuclear slurry àti àwọn sensọ viscosity wọn ń pese data ní àkókò gidi, èyí tí ó ń jẹ́ kí àwọn àtúnṣe pàtó láti pa ìṣarasíhùwà slurry mọ́ àti láti bá àwọn ìbéèrè líle ti iṣẹ́ semiconductor òde òní mu.
Ó lé ní ogún ọdún ìrírí nínú wíwọ̀n ìṣọ̀kan inline, tí àwọn ilé-iṣẹ́ semiconductor tó ga jùlọ gbẹ́kẹ̀lé. Àwọn sensọ Lonnmeter ni a ṣe fún ìṣọ̀kan láìsí ìṣòro àti ìtọ́jú, tí ó dín iye owó iṣẹ́ kù. Àwọn ojútùú tí a ṣe láti bá àwọn àìní ìlànà pàtó mu, tí ó ń rí i dájú pé àwọn èso wafer tó ga àti ìtẹ̀léra wọn pọ̀ sí i.
Ipa ti didan ẹrọ kemikali ninu iṣelọpọ semikondokito
Ìmọ́lẹ̀ oníṣẹ́ kẹ́míkà (CMP), tí a tún mọ̀ sí ètò ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà-ẹ̀rọ, jẹ́ pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, èyí tí ó ń jẹ́ kí a lè ṣẹ̀dá àwọn ojú ilẹ̀ tí kò ní àbùkù fún iṣẹ́ ṣíṣe ìkọ́jáde onípele gíga. Nípa sísopọ̀ ìkọ́já kẹ́míkà pẹ̀lú ìkọ́já, ìlànà CMP ń rí i dájú pé ó péye fún àwọn àyíká onípele púpọ̀ ní àwọn nódù tí ó wà ní ìsàlẹ̀ 10nm. Ìmọ́lẹ̀ oníṣẹ́ kẹ́míkà, tí a ṣe pẹ̀lú omi, àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà, àti àwọn èròjà abrasive, ń bá pádì àti wafer polishing lò láti yọ ohun èlò náà kúrò ní ọ̀nà kan náà. Bí àwọn àwòrán semiconductor ṣe ń yípadà, ìlànà CMP ń dojúkọ ìṣòro tí ń pọ̀ sí i, èyí tí ó nílò ìṣàkóso tí ó lágbára lórí àwọn ohun ìní slurry láti dènà àbùkù àti láti ṣe àṣeyọrí àwọn wafer dídán tí ó mọ́ tónítóní tí àwọn olùpèsè Semiconductor Foundries àti Materials ń béèrè fún.
Ilana naa ṣe pataki fun ṣiṣe awọn eerun 5nm ati 3nm pẹlu awọn abawọn kekere, eyiti o rii daju pe awọn oju ilẹ ti o tẹẹrẹ fun fifi awọn fẹlẹfẹlẹ ti o tẹle silẹ ni deede. Paapaa awọn aiṣedeede kekere ti slurry le ja si atunṣe ti o gbowolori tabi pipadanu ikore.
Awọn Ipenija ninu Abojuto Awọn Ohun-ini Slurry
Dídúró density slurry àti viscosity déédé nínú ìlànà ìyọ́mọ́ kẹ́míkà jẹ́ ohun tó kún fún ìpèníjà. Àwọn ànímọ́ slurry lè yàtọ̀ nítorí àwọn nǹkan bíi gbigbe, fífi omi tàbí hydrogen peroxide dípọ̀, ìdàpọ̀ tó péye, tàbí ìbàjẹ́ kẹ́míkà. Fún àpẹẹrẹ, àwọn èròjà tí ó rọ̀ mọ́ inú àwọn àpò slurry lè fa ìwúwo gíga ní ìsàlẹ̀, èyí tí yóò yọrí sí ìyọ́mọ́ tí kò bá ìṣọ̀kan mu. Àwọn ọ̀nà ìtọ́jú ìbílẹ̀ bíi pH, agbára ìdènà oxidation-reduction (ORP), tàbí conductivity kìí sábà tó, nítorí wọ́n kò lè rí àwọn ìyípadà díẹ̀díẹ̀ nínú àkójọ slurry. Àwọn ìdíwọ́ wọ̀nyí lè yọrí sí àbùkù, ìdínkù ìwọ̀n yíyọ, àti iye owó tí a lè lò pọ̀ sí i, èyí tí yóò fa ewu ńlá fún àwọn olùṣe ẹ̀rọ semiconductor àti àwọn olùpèsè iṣẹ́ CMP. Àwọn ìyípadà àkójọpọ̀ nígbà mímú àti pípín nǹkan ní ipa lórí iṣẹ́. Àwọn nódù sub-10nm nílò ìṣàkóso tí ó lágbára lórí ìmọ́tótó slurry àti ìpéye àdàpọ̀. pH àti ORP fi ìyàtọ̀ díẹ̀ hàn, nígbà tí conductivity yàtọ̀ síra pẹ̀lú ọjọ́ ogbó slurry. Àwọn ànímọ́ slurry tí kò bá ìṣọ̀kan mu lè mú kí ìwọ̀n àbùkù pọ̀ sí i títí dé 20%, fún àwọn ìwádìí ilé-iṣẹ́ kan.
Àwọn Sensọ Inline ti Lonnmeter fún Àbójútó Àkókò Gíga
Lonnmeter koju awọn italaya wọnyi pẹlu awọn mita iwuwo slurry ti kii ṣe ti iparun ti ilọsiwaju rẹ atiawọn sensọ viscosity, pẹlu mita viscosity inline fun awọn wiwọn viscosity in-line ati mita iwuwo ultrasonic fun ibojuwo iwuwo slurry ati viscosity ni akoko kan naa. Awọn sensọ wọnyi ni a ṣe apẹrẹ fun isopọmọ laisiyonu sinu awọn ilana CMP, ti o ni awọn asopọ boṣewa ile-iṣẹ. Awọn ojutu Lonnmeter nfunni ni igbẹkẹle igba pipẹ ati itọju kekere fun ikole ti o lagbara. Data akoko gidi n jẹ ki awọn oniṣẹ ṣiṣẹ lati ṣatunṣe awọn idapọ slurry, dena awọn abawọn, ati mu iṣẹ didan dara si, ti o jẹ ki awọn irinṣẹ wọnyi ṣe pataki fun Awọn olupese Ẹrọ Itupalẹ ati Idanwo ati Awọn olupese Awọn ohun elo CMP.
Àwọn àǹfààní ti Àbójútó Lílọsíwájú fún Ìṣàtúnṣe CMP
Àbójútó láìdáwọ́dúró pẹ̀lú àwọn sensọ inline ti Lonnmeter yí ilana didan ẹrọ kemikali pada nipa fifunni awọn oye ti o ṣeeṣe ati awọn ifowopamọ iye owo pataki. Wiwọn iwuwo slurry akoko gidi ati ibojuwo viscosity dinku awọn abawọn bii awọn gige tabi didan ju ni 20%, gẹgẹbi awọn itọkasi ile-iṣẹ. Iṣọkan pẹlu eto PLC mu ki lilo ati iṣakoso ilana adaṣe ṣiṣẹ, rii daju pe awọn ohun-ini slurry wa laarin awọn iwọn ti o dara julọ. Eyi yori si idinku 15-25% ninu awọn idiyele lilo, dinku akoko isinmi, ati imudarasi iṣọkan wafer. Fun awọn olupese Iṣẹ Semiconductor ati CMP, awọn anfani wọnyi tumọ si iṣelọpọ ti o pọ si, awọn ala ere ti o ga julọ, ati ibamu pẹlu awọn ajohunše bii ISO 6976.
Awọn Ibeere Wọpọ Nipa Abojuto Slurry ni CMP
Kí ló dé tí ìwọ̀n ìwúwo slurry fi ṣe pàtàkì fún CMP?
Wiwọn iwuwo slurry rii daju pe pinpin awọn patiku kan naa ati pe wọn dapọ ni ibamu, idilọwọ awọn abawọn ati mu awọn oṣuwọn yiyọ kuro ninu ilana didan ẹrọ kemikali dara si. O ṣe atilẹyin fun iṣelọpọ wafer didara giga ati ibamu pẹlu awọn iṣedede ile-iṣẹ.
Báwo ni ìṣàyẹ̀wò viscosity ṣe mú kí iṣẹ́ CMP sunwọ̀n síi?
Ìṣọ́nà ìfọ́mọ́ra máa ń mú kí ìṣàn omi tó ń rọ̀ sílẹ̀ máa dúró déédéé, ó sì ń dènà àwọn ìṣòro bíi dídí pádì tàbí dídán tí kò dọ́gba. Àwọn sensọ inline ti Lonnmeter ń pèsè ìwífún ní àkókò gidi láti mú kí ìlànà CMP dára síi àti láti mú kí àwọn èso wafer sunwọ̀n síi.
Kí ló mú kí àwọn mita ìwọ̀n slurry tí kì í ṣe ti ìbúgbàù Lonnmeter yàtọ̀?
Àwọn ìwọ̀n ìwọ̀n slurry tí kìí ṣe ti nuclear ti Lonnmeter ń fúnni ní ìwọ̀n ìwọ̀n àti ìfọ́síkẹ̀ ní àkókò kan náà pẹ̀lú ìṣedéédé gíga àti ìtọ́jú òdo. Apẹẹrẹ wọn tó lágbára ń jẹ́ kí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ní àwọn àyíká iṣẹ́ CMP tó gbajúmọ̀.
Wiwọn iwuwo slurry akoko gidi ati ibojuwo viscosity ṣe pataki fun imudarasi ilana didan ẹrọ kemikali ni iṣelọpọ semiconductor. Awọn mita iwuwo slurry ti kii ṣe iparun ati awọn sensọ viscosity ti Lonnmeter pese awọn olupese Ẹrọ Semiconductor, Awọn olupese CMP Consumables, ati Awọn ile-iṣẹ Semiconductor pẹlu awọn irinṣẹ lati bori awọn ipenija iṣakoso slurry, dinku awọn abawọn, ati dinku awọn idiyele. Nipa fifiranṣẹ data deede, akoko gidi, awọn solusan wọnyi mu ṣiṣe ilana ṣiṣe pọ si, rii daju ibamu, ati mu ere wa ni ọja CMP ti idije. ṢabẹwoOju opo wẹẹbu Lonnmetertabi kan si ẹgbẹ wọn loni lati ṣawari bi Lonnmeter ṣe le yi awọn iṣẹ didan kemikali rẹ pada.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-22-2025
