סלערי געדיכטקייט מעסטונג אין כעמישער מעטשאַניקאַל פּלאַנאַריזאַציע

סטראַטעגיעס פֿאַר קאָנטראָל פון שלייַם קאָנצענטראַציע

עפעקטיווע קאנטראל פון קאנצענטראציע פון ​​די סלערי אין דעם כעמישן מעכאנישן פלאנעריזאציע פראצעס איז וויכטיג צו האלטן קאנסיסטענטע מאטעריאל באזייטיגונג ראטעס, רעדוצירן וועיפער אייבערפלאך חסרונות, און זיכער מאכן איינהייטלעכקייט איבער האלב-קאנדוקטאר וועיפערס. פארשידענע מעטאדן און טעכנאלאגיעס ווערן גענוצט צו דערגרייכן די דאזיגע פּינקטלעכקייט, שטיצנדיק סיי פארגרינגערטע אפעראציעס און סיי הויכע דעווייס פראדוקציע.

טעכניקן און מכשירים פֿאַר אויפהאלטן אָפּטימאַלע סלערי קאָנצענטראַציע

קאָנטראָל פון קאַנצענטראַציע אין די שלייַם הייבט זיך אָן מיט רעאַל-צייט מאָניטאָרינג פון ביידע אַברייסיוו פּאַרטיקאַלז און כעמישע מינים אין די פּאָלירינג שלייַם. פֿאַר סעריום אָקסייד (CeO₂) פּאָלירינג שלייַם און אַנדערע CMP פאָרמולאַציעס, זענען דירעקטע מעטאָדן ווי ינליין שלייַם געדיכטקייט מעסטונג יסודותדיק. אַלטראַסאַניק שלייַם געדיכטקייט מעטערס, אַזאַ ווי די וואָס ווערן געמאַכט דורך לאָנןמעטער, צושטעלן קאָנטינויִערלעכע מעסטונגען פון שלייַם געדיכטקייט, וואָס קאָרעלירט שטאַרק מיט גאַנץ האַרט אינהאַלט און יונאַפאָרמאַטי.

קאָמפּלעמענטאַרע טעכניקן אַרייַננעמען טורבידיטי אַנאַליז - וואו אָפּטישע סענסאָרן דעטעקטירן צעוואָרפן פון סוספּענדירטע אַברייסיוו פּאַרטיקלען - און ספּעקטראָסקאָפּישע מעטאָדן ווי UV-Vis אָדער Near-Infrared (NIR) ספּעקטראָסקאָפּיע צו קוואַנטיפיצירן שליסל רעאַקטאַנץ אין די סלאַרי סטרים. די מעסטונגען פאָרמען די רוקן-ביין פון CMP פּראָצעס קאָנטראָל סיסטעמען, וואָס ערמעגליכט לעבן אַדזשאַסטמאַנץ צו האַלטן ציל קאַנסאַנטריישאַן פֿענצטער און מינאַמייז באַטש-צו-באַטש וועריאַביליטי.

עלעקטראָכעמישע סענסאָרן ווערן גענוצט אין פאָרמולאַציעס רייך אין מעטאַל יאָנען, וואָס צושטעלן שנעל-רעאַקציע אינפֿאָרמאַציע וועגן ספּעציפֿישע יאָנישע קאָנצענטראַציעס און שטיצן ווייטערדיקע פֿײַן-טונינג אין אַוואַנסירטע האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע אַפּלאַקיישאַנז.

צוריקקער לופּס און אויטאָמאַציע פֿאַר פֿאַרמאַכט-לופּ קאָנטראָל

מאָדערנע כעמיש-מעכאַנישע פּלאַנאַריזאַציע עקוויפּמענט אינסטאַלאַציעס נוצן מער און מער פארמאכט-לופּ קאָנטראָל סיסטעמען וואָס פאַרבינדן אין-ליין מעטראָלאָגיע מיט אויטאָמאַטישע דיספּענסינג סיסטעמען. דאַטן פון שלייַם געדיכטקייט מעטערס און פֿאַרבונדענע סענסאָרן ווערן גלייך געפֿיטערט צו פּראָגראַמירבאַר לאָגיק קאָנטראָולערס (PLCs) אָדער פאַרשפּרייטע קאָנטראָל סיסטעמען (DCS). די סיסטעמען אַקטיווירן אויטאָמאַטיש ווענטילן פֿאַר צוגעבן וואַסער, קאָנצענטרירט שלייַם דאָוסינג, און אפילו סטייבאַלייזער אינדזשעקשאַן, וואָס זיכערט אַז דער פּראָצעס בלייבט אין די פארלאנגטע אָפּערייטינג ענוועלאָפּ אין אַלע צייטן.

די צוריק-באַקומען ארכיטעקטור ערמעגליכט א קאנטינעווערליכע קארעקציע פון ​​יעדע אפוויכונג וואס ווערט דעטעקטירט דורך רעאל-צייט סענסארן, אויסמיידנדיג איבער-פארדיןונג, אויפהיטנדיג אפטימאלע אברייסיוו קאנצענטראציע, און פארקלענענדיג איבעריגע כעמישע באנוץ. למשל, אין א הויך-דורכפיר CMP געצייג פאר פארגעשריטענע וועיפער נאָודז, וועט אן אינליין אולטראַסאָניק סלאַרי געדיכטקייט מעטער דעטעקטירן א פאל אין אברייסיוו קאנצענטראציע און גלייך סיגנאלירן דעם דאָזירונג סיסטעם צו פארגרעסערן סלאַרי איינפיר, ביז די געדיכטקייט קערט זיך צוריק צו איר סעטפּוינט. פארקערט, אויב די געמאסטענע געדיכטקייט איבערשטייגט די ספּעציפיקאַציע, איניציאירט די קאָנטראָל לאָגיק צוגעבן וואַסער צו צוריקשטעלן די ריכטיקע קאנצענטראציעס.

די ראלע פון ​​געדיכטקייט מעסטונג אין אַדזשאַסטינג מאַקע-אַפּ וואַסער און סלערי צוגאב ראַטעס

סלערי געדיכטקייט מעסטונג איז דער שליסלשטיין פון אקטיווער קאנצענטראציע קאנטראל. די געדיכטקייט ווערט צוגעשטעלט דורך אינסטרומענטן ווי לאננעמעטער'ס אינליין געדיכטקייט מעטערס אינפאָרמירט גלייך צוויי קריטישע אפעראציאנעלע פאראמעטערס: אויסגלייכוואסער וואליום און קאנצענטרירטע סלערי פיד ראטע.

דורך לאקירן געדיכטקייט מעטערס אין סטראטעגישע פונקטן—ווי למשל פארן CMP געצייג אריינגאבע אדער נאךן פונקט-פון-נוצן מיקסער—ערמעגליכט רעאל-צייט דאטן אויטאמאטישע סיסטעמען צו סטרויערן די צוגאב ראטע פון ​​אויסבעסערונג וואסער, אזוי פארדיןענדיג די שליימע צו די געוואונטשענע ספעציפיקאציעס. גלייכצייטיג, קען די סיסטעם מאדולירן די צופיר ראטע פון ​​קאנצענטרירטן שליימע צו אויפהאלטן אברייסיוו און כעמישע קאנצענטראציעס גענוי, רעכענענדיג מיט געצייג באנוץ, עלטער-עפעקטן, און פראצעס-אינדוצירטע פארלוסטן.

למשל, בעת פארלענגערטע פּלאַנאַריזאַציע לויפונגען פֿאַר 3D NAND סטרוקטורן, דעטעקטירט קאָנטינויִערלעכע געדיכטקייט מאָניטאָרינג שלאַם אַגרעגאַציע אָדער סעטאַלינג טרענדס, וואָס פירט צו אויטאָמאַטישע פאַרגרעסערונגען אין צוגעבן וואַסער אָדער אַדזשאַטיישאַן, ווי פארלאנגט פֿאַר פּראָצעס סטאַביליטעט. די שטרענג רעגולירטע קאָנטראָל שלייף איז יסודותדיק אין אויפהאלטן שטרענגע וועיפער-צו-וועיפער און אינעווייניק-וועיפער יוניפאָרמאַטי צילן, ספּעציעל ווי מיטל דימענסיעס און פּראָצעס פֿענצטער ווערן שמאָלער.

אין קורצן, סלערי קאנצענטראציע קאנטראל סטראטעגיעס אין CMP פארלאזן זיך אויף א געמיש פון פארגעשריטענע אין-ליין מעסטונגען און אויטאמאטישע פארמאכטע-לופּ רעאקציעס. סלערי געדיכטקייט מעטערס, ספעציעל אולטראסאנישע איינהייטן ווי די פון לאננעטער, שפילן א צענטראלע ראלע אין צושטעלן די הויך-רעזאלוציע, צייטליכע דאטן וואס זענען נויטיג פאר שטרענגער פראצעס פארוואלטונג אין קריטישע האלב-קאנדוקטאר פאבריקאציע טריט. די מכשירים און מעטאדאלאגיעס מינימיזירן וועריאַביליטי, שטיצן סאַסטיינאַביליטי דורך אפטימיזירן כעמישע באנוץ, און ערמעגליכן די פּינקטלעכקייט וואס איז נויטיג פאר מאדערנע נאָדע טעקנאַלאַדזשיז.

סלערי געדיכטקייט מעטער סעלעקציע גייד פֿאַר די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע

אויסקלויבן אַ סלאַרי געדיכטקייט מעטער פֿאַר כעמישע מעכאַנישע פּלאַנאַריזאַציע (CMP) אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע פארלאנגט קערפֿולע אויפֿמערקזאַמקייט צו אַ קייט פון טעכנישע רעקווירעמענץ. שליסל פאָרשטעלונג און אַפּלאַקיישאַן קרייטיריאַ אַרייַננעמען סענסיטיוויטי, אַקיעראַסי, קאַמפּאַטאַבילאַטי מיט אַגרעסיוו סלאַרי כעמיעס, און גרינגקייט פון ינטאַגריישאַן אין CMP סלאַרי עקספּרעס סיסטעמען און ויסריכט ינסטאַליישאַנז.

סענסיטיוויטי און אַקיעראַסי רעקווירעמענץ

CMP פּראָצעס קאָנטראָל איז אָפענגיק אויף קליינע וועריאַציעס אין דער שלייַם קאָמפּאָזיציע. דער געדיכטקייט מעטער מוז דעטעקטירן מינימום ענדערונגען פון 0.001 ג/קמ³ אָדער בעסער. די מדרגה פון סענסיטיוויטי איז וויכטיק פֿאַר אידענטיפיצירן אפילו זייער קליינע ענדערונגען אין אַברייסיוו אינהאַלט - אַזאַ ווי די געפֿונען אין CeO₂ פּאַלישינג שלייַם אָדער סיליקאַ-באַזירט שלייַם - ווייַל די ווירקן מאַטעריאַל באַזייַטיקונג ראַטעס, וועיפער פּלאַנאַריטי און דעפעקטיוויטי. א טיפּיש אַקסעפּטאַבאַל אַקיעראַסי קייט פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר שלייַם געדיכטקייט מעטערס איז ±0.001–0.002 ג/קמ³.

קאָמפּאַטאַביליטי מיט אַגרעסיוו סלאַריז

סלאַריז געניצט אין CMP קענען אַנטהאַלטן אַברייסיוו נאַנאָפּאַרטיקלען ווי צעריום אָקסייד (CeO₂), אַלומינאַ, אָדער סיליקאַ, סוספּענדעד אין כעמיש אַקטיוו מעדיע. דער געדיכטקייט מעטער מוז וויטשטיין פּראַלאָנגד ויסשטעלן צו ביידע גשמיות אַברייזשאַן און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ אָן דריפטינג אויס פון קאַליבריישאַן אָדער ליידן פון פאַולינג. מאַטעריאַלס געניצט אין נאַסע טיילן זאָל זיין ינערט צו אַלע קאַמאַנלי געניצט סלאַרי כעמיעס.

גרינגקייט פון אינטעגראַציע

אינליין סלערי געדיכטקייט מעטערס מוזן גרינג פּאַסן אין עקזיסטירנדיקע CMP עקוויפּמענט אינסטאַלאַציעס. באַטראַכטונגען אַרייַננעמען:

• מינימאַל טויטער וואָלומען און נידעריקער דרוק קאַפּ צו ויסמיידן השפּעה אויף די שלייַם צושטעל.
• שטיצע פֿאַר נאָרמאַל אינדוסטריעלע פּראָצעס קאַנעקשאַנז פֿאַר שנעל ינסטאַלירונג און וישאַלט.
• אויטפּוט קאָמפּאַטאַביליטי (למשל, אַנאַלאָג/דיגיטאַל סיגנאַלן) פֿאַר רעאַל-צייט אינטעגראַציע מיט סלאַרי קאַנסאַנטריישאַן קאָנטראָל סיסטעמען, אָבער אָן צושטעלן די סיסטעמען אַליין.

קאָמפּאַראַטיווע פֿעיִקייטן פֿון פֿירנדיקע סענסאָר טעכנאָלאָגיעס

די געדיכטקייט קאָנטראָל פון פּאָלירינג סלאַריז ווערט געראטן הויפּטזעכלעך דורך צוויי סענסאָר קלאַסן: דענזיטאָמעטרי-באַזירטע און רעפראַקטאָמעטרי-באַזירטע מעטערס. יעדער ברענגט שטאַרקייטן וואָס זענען באַטייַטיק פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע אַפּלאַקיישאַנז.

דענזיטאָמעטריע-באַזירטע מעטערס (למשל, אַלטראַסאַניק סלערי געדיכטקייט מעטער)

• ניצט די פארשפרייטונג גיכקייט פון קלאַנג דורך די שלייַם, גלייך פֿאַרבונדן מיט געדיכטקייט.
• גיט הויך לינעאַריטעט אין געדיכטקייט מעסטונג אַריבער אַ קייט פון סלאַרי קאַנסאַנטריישאַנז און אַברייסיוו טייפּס.
• גוט פּאַסיק פֿאַר אַגרעסיווע פּאָלירינג סלאַריז, אַרייַנגערעכנט CeO₂ און סיליקאַ פאָרמולאַציעס, ווײַל די סענסינג עלעמענטן קענען זײַן פיזיש אפגעזונדערט פֿון כעמיקאַלן.
• טיפּישע סענסיטיוויטי און אַקיעראַסי טרעפן די פאָדערונג פון ווייניקער ווי 0.001 ג/קמ³.
• אינסטאַלאַציע טיפּיש אין-ליין, וואָס ערלויבט קעסיידערדיקע רעאַל-צייט מעסטונג בעת כעמישע מעטשאַנישע פּלאַנאַריזאַציע ויסריכט אָפּעראַציע.

רעפראַקטאָמעטריע-באַזירטע מעטערס

• מעסט דעם רעפראַקטיוו אינדעקס צו באַשליסן די שלאַם געדיכטקייט.
• עפעקטיוו פֿאַר דעטעקטירן קליינע ענדערונגען אין שלאַמיגער קאָמפּאָזיציע רעכט צו הויך סענסיטיוויטי צו קאַנסאַנטריישאַן ענדערונגען; טויגעוודיק צו סאָלווען <0.1% מאַסע בראָכצאָל ענדערונגען.
• אָבער, רעפראַקטיוו אינדעקס איז סענסיטיוו צו סביבה וועריאַבאַלן ווי טעמפּעראַטור, וואָס פאָדערט אָפּגעהיט קאַלאַבריישאַן און טעמפּעראַטור קאָמפּענסאַציע.
• קען האָבן באגרענעצטע כעמישע קאָמפּאַטאַביליטי, ספּעציעל אין העכסט אַגרעסיוו אָדער אָופּאַק סלאַריז.

פּאַרטיקל גרייס מעטראָלאָגיע ווי אַ דערגאַנצונג

• געדיכטקייט לייענונגען קענען זיין פארדרייט דורך ענדערונגען אין פּאַרטיקל גרייס פאַרשפּרייטונג אָדער אַגלאָמעריישאַן.
• אינטעגראַציע מיט פּעריאָדישע פּאַרטיקל גרייס אַנאַליז (למשל, דינאַמיש ליכט סקאַטערינג אָדער עלעקטראָן מיקראָסקאָפּי) איז רעקאָמענדירט דורך אינדוסטריע בעסטע פּראַקטיקעס, צו ענשור אַז קלאָרע געדיכטקייַט ענדערונגען זענען נישט בלויז רעכט צו פּאַרטיקל אַגלאָמעריישאַן.

באַטראַכטונגען פֿאַר לאָנמעטער ינליין געדיכטקייט מעטערס

• לאָנןמעטער ספּעציאַליזירט זיך אין פאַבריצירן אין-ליין געדיכטקייט און וויסקאָסיטי מעטערס, אָן צושטעלן שטיצנדיקע ווייכווארג אָדער סיסטעם אינטעגראַציעס.
• לאָנמעטער מעטערס קענען זיין ספּעסיפיצירט צו וויטשטיין אַברייסיוו, כעמיש אַקטיוו CMP סלאַריז און זענען דיזיינד פֿאַר דירעקט אין-ליין ינסטאַלירונג אין האַלב-קאַנדאַקטער פּראָצעס ויסריכט, פּאַסיק די באדערפענישן פֿאַר רעאַל-צייט סלאַרי געדיכטקייַט מעסטונג.

ווען איר קוקט איבער די אָפּציעס, פאָקוסירט אויף די הויפּט אַפּליקאַציע קריטעריאַ: זאָרגט אַז דער געדיכטקייט מעטער דערגרייכט די פארלאנגטע סענסיטיוויטי און אַקיעראַסי, איז געבויט פון מאַטעריאַלן וואָס זענען קאָמפּאַטיבל מיט אייער שלייַם כעמיע, קען אויסהאַלטן קאָנטינויִערלעכע אָפּעראַציע, און אינטעגרירט זיך אָן פּראָבלעמען אין די פּאָלירנדיקע שלייַם עקספּרעס ליניעס אין דעם CMP פּראָצעס. פֿאַר דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, פּינקטלעכע שלייַם געדיכטקייט מעסטונג שטיצט די ווייפער יוניפאָרמאַטי, ייעלד, און מאַנופאַקטורינג דורכפלוס.

השפּעה פון עפעקטיווער סלערי געדיכטקייט קאָנטראָל אויף CMP רעזולטאַטן

פּינקטלעכע קאָנטראָל פון די געדיכטקייט פון די שלייַם איז קריטיש אין דעם כעמיש-מעכאַנישן פּלאַנאַריזאַציע פּראָצעס. ווען די געדיכטקייט ווערט געהאַלטן קאָנסיסטענט, בלייבט די צאָל פון אַברייסיוו פּאַרטיקלען וואָס זענען פאָרשטעלן בעת ​​פּאָלירן סטאַביל. דאָס האָט אַ דירעקטן השפּעה אויף די מאַטעריאַל באַזייַטיקונג קורס (MRR) און ייבערפלאַך קוואַליטעט פון די ווייפער.

רעדוקציע אין וועיפער ייבערפלאַך חסרונות און פֿאַרבעסערט WIWNU

אויפהאלטן די אפטימאלע סלערי געדיכטקייט איז באוויזן צו מינימיזירן וועיפער אייבערפלאך חסרונות ווי מיקראסקראצן, דישינג, עראזיע, און פארטיקל קאנטאמינאציע. פארשונג פון 2024 ווייזט אז א קאנטראלירטע געדיכטקייט קייט, טיפיש צווישן 1 וואט% און 5 וואט% פאר קאלואידאל סיליקא-באזירטע פארמולאציעס, גיט די בעסטע באלאנס צווישן אראפנעמען עפעקטיווקייט און חסרון מינימיזאציע. איבערגעטריבן הויכע געדיכטקייט פארגרעסערט אברייסיוו קאליזיעס, וואס פירט צו א צוויי- ביז דריי-פאכיגע העכערונג אין חסרון ציילן פער קוואדראט סענטימעטער, ווי באשטעטיקט דורך אטאמישע קראפט מיקראסקאפיע און עליפסאמעטרי אנאליזעס. שטרענגע געדיכטקייט קאנטראל פארבעסערט אויך אינעווייניג-וועיפער נישט-יוניפארמיטי (WIWNU), וואס זיכערט אז מאטעריאל ווערט אראפגענומען גלייך איבער די וועיפער, וואס איז עסענציעל פאר פארגעשריטענע נאָדע האלב-קאנדוקטאר דעווייסעס. קאנסיסטענטע געדיכטקייט העלפט פארמיידן פראצעס עקסקורסיעס וואס קענען געפארן פילם גרעב צילן אדער פלאטנעס.

פארלענגערונג פון סלערי לעבן און רעדוקציע אין קאָנסומאַבלעס קאָסטן

שלייַם קאָנצענטראַציע קאָנטראָל טעקניקס - אַרייַנגערעכנט רעאַל-צייט מאָניטאָרינג מיט אַלטראַסאַניק שלייַם געדיכטקייט מעטערס - פאַרלענגערן די נוציק לעבן פון CMP פּאַלישינג שלייַם. דורך פאַרהיטן אָוווערדאָוסינג אָדער יבעריק דיילושאַן, כעמיש מעטשאַניקאַל פּלאַנאַריזאַטיאָן ויסריכט דערגרייכט אָפּטימאַל נוצן פון קאָנסומאַבאַלז. דעם צוגאַנג ראַדוסאַז די אָפטקייַט פון שלייַם פאַרבייַט און ענייבאַלז ריסייקלינג סטראַטעגיעס, לאָוערינג גאַנץ קאָס. למשל, אין CeO₂ פּאַלישינג שלייַם אַפּלאַקיישאַנז, אָפּגעהיט געדיכטקייט וישאַלט אַלאַוז פֿאַר ריקאַנדישאַנינג פון שלייַם באַטשאַז און מינאַמייזאַז וויסט באַנד אָן סאַקראַפייסינג פאָרשטעלונג. עפעקטיוו געדיכטקייט קאָנטראָל ענייבאַלז פּראָצעס ענייבאַלז פּראָצעס ענדזשאַנירז צו צוריקקריגן און רייוז פּאַלישינג שלייַם וואָס בלייבט ין אַקסעפּטאַבאַל פאָרשטעלונג טרעשאָולדז, ווייַטער דרייווינג קאָס סייווינגז.

פֿאַרבעסערטע איבערחזרנדיקייט און פּראָצעס קאָנטראָל פֿאַר אַוואַנסירטע נאָדע מאַנופאַקטורינג

מאָדערנע האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע אַפּליקאַציעס פאָדערן הויך ריפּיטאַביליטי אין די כעמיש-מעכאַנישע פּלאַנאַריזאַציע שריט. אין אַוואַנסירטע נאָדע מאַנופאַקטורינג, אפילו קליינע פלוקטואַציעס אין סלערי געדיכטקייט קענען רעזולטאַט אין אַנאַקסעפּטאַבאַל ווערייישאַן אין וועיפער רעזולטאַטן. אויטאָמאַטיאָן און ינטאַגריישאַן פון ינליין אַלטראַסאַניק סלערי געדיכטקייט מעטערס - אַזאַ ווי די מאַניאַפאַקטשערד דורך לאָנןמעטער - פאַסילאַטייט קאַנטיניואַס, פאַקטיש-צייט באַמערקונגען פֿאַר פּראָצעס קאָנטראָל. די ינסטראַמאַנץ צושטעלן פּינטלעך מעסטונגען אין די שטרענג כעמישע ינווייראַנמאַנץ טיפּיש פון CMP, שטיצן פארמאכט-לופּ סיסטעמען וואָס רעאַגירן גלייך צו דיווייישאַנז. פאַרלאָזלעך געדיכטקייט מעסטונג מיטל גרעסערע יונאַפאָרמאַטי פון וועיפער צו וועיפער און טייטער קאָנטראָל איבער די MRR, וואָס איז וויכטיק פֿאַר סוב-7 נם האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע. געהעריק ויסריכט ינסטאַלירונג - ריכטיק פּאַזישאַנינג אין די סלערי עקספּרעס ליניע - און רעגולער וישאַלט זענען יקערדיק צו ענשור אַז מעטערס פונקציאָנירן פאַרלאָזלעך און צושטעלן דאַטן קריטיש פֿאַר פּראָצעס פעסטקייַט.

אויפהאלטן גענוגנדיקע סלערי געדיכטקייט איז יסודותדיק פאר מאַקסאַמיזירן פּראָדוקט טראָגן, מינאַמיזירן דעפעקטיוויטי, און ענשורינג קאָסטן-עפעקטיוו פאַבריקאַציע אין CMP פּראַסעסאַז.