Chemical Mechanical Polishing

Kimyoviy-mexanik abrazivlash (KMJ) ko'pincha kimyoviy reaksiya orqali silliq sirtlarni hosil qilish bilan bog'liq, ayniqsa yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sanoatida qo'llaniladi.Lonnmetr, 20 yildan ortiq vaqt davomida chiziqli konsentratsiyani o'lchash bo'yicha tajribaga ega ishonchli innovator, eng zamonaviy texnologiyalarni taklif etadiyadro bo'lmagan zichlik o'lchagichlariva shlamni boshqarish bilan bog'liq muammolarni hal qilish uchun yopishqoqlik sensorlari.

Loyqa sifatining ahamiyati va Lonnmetrning tajribasi

Kimyoviy mexanik abraziv shlam CMP jarayonining asosi bo'lib, sirtlarning bir xilligi va sifatini belgilaydi. Noto'g'ri shlam zichligi yoki yopishqoqligi mikro tirnalishlar, materialning notekis olib tashlanishi yoki prokladkalarning tiqilib qolishi kabi nuqsonlarga olib kelishi mumkin, bu esa plastinka sifatiga putur yetkazadi va ishlab chiqarish xarajatlarini oshiradi. Sanoat o'lchov yechimlari bo'yicha global yetakchi bo'lgan Lonnmeter optimal shlam ishlashini ta'minlash uchun ichki shlam o'lchashga ixtisoslashgan. Ishonchli, yuqori aniqlikdagi sensorlarni yetkazib berish bo'yicha tasdiqlangan tajribaga ega Lonnmeter jarayonni boshqarish va samaradorlikni oshirish uchun yetakchi yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari bilan hamkorlik qildi. Ularning yadrosiz shlam zichligi o'lchagichlari va yopishqoqlik sensorlari real vaqt rejimida ma'lumotlarni taqdim etadi, bu esa shlamning mustahkamligini saqlash va zamonaviy yarimo'tkazgich ishlab chiqarishning qat'iy talablariga javob berish uchun aniq sozlash imkonini beradi.

Yigirma yildan ortiq tajribaga ega, yetakchi yarimo'tkazgich firmalari tomonidan ishonchli tarzda chiziqli konsentratsiyani o'lchash. Lonnmeter sensorlari uzluksiz integratsiya va nolga teng texnik xizmat ko'rsatish uchun mo'ljallangan bo'lib, operatsion xarajatlarni kamaytiradi. Yuqori plastina hosildorligi va muvofiqlikni ta'minlaydigan maxsus jarayon ehtiyojlarini qondirish uchun moslashtirilgan yechimlar.

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda kimyoviy mexanik abrazivlashning roli

Kimyoviy mexanik abrazivlash (KMJ), shuningdek, kimyoviy-mexanik tekislash deb ham ataladi, yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning asosi bo'lib, ilg'or chip ishlab chiqarish uchun tekis, nuqsonsiz sirtlarni yaratish imkonini beradi. Kimyoviy o'yib ishlov berishni mexanik aşınma bilan birlashtirish orqali KMJ jarayoni 10 nm dan past tugunlarda ko'p qatlamli integral mikrosxemalar uchun zarur bo'lgan aniqlikni ta'minlaydi. Suv, kimyoviy reagentlar va abraziv zarrachalardan tashkil topgan kimyoviy mexanik abrazivlash suspenziyasi abrazivlash yostig'i va plastinka bilan o'zaro ta'sir qilib, materialni bir tekis olib tashlaydi. Yarimo'tkazgichlar dizayni rivojlanib borishi bilan KMJ jarayoni tobora murakkablashib bormoqda, bu esa nuqsonlarning oldini olish va Yarimo'tkazgichlar quyish zavodlari va materiallar yetkazib beruvchilari tomonidan talab qilinadigan silliq, abraziv plastinkalarga erishish uchun suspenziya xususiyatlarini qattiq nazorat qilishni talab qiladi.

Jarayon minimal nuqsonlarga ega 5nm va 3nm chiplarni ishlab chiqarish uchun juda muhimdir, bu esa keyingi qatlamlarni aniq joylashtirish uchun tekis sirtlarni ta'minlaydi. Hatto kichik shlam nomuvofiqliklari ham qimmat qayta ishlashga yoki hosildorlikning yo'qolishiga olib kelishi mumkin.

Loy xususiyatlarini monitoring qilishdagi qiyinchiliklar

Kimyoviy mexanik abrazivlash jarayonida shlamning zichligi va yopishqoqligini doimiy saqlash qiyinchiliklarga to'la. Shamolning xususiyatlari transport, suv yoki vodorod peroksid bilan suyultirish, aralashtirishning yetarli emasligi yoki kimyoviy parchalanish kabi omillar tufayli farq qilishi mumkin. Masalan, shlam paketlarida zarrachalarning cho'kishi pastki qismida yuqori zichlikka olib kelishi mumkin, bu esa bir xil bo'lmagan abrazivlashga olib keladi. pH, oksidlanish-qaytarilish potensiali (ORP) yoki o'tkazuvchanlik kabi an'anaviy monitoring usullari ko'pincha yetarli emas, chunki ular shlam tarkibidagi nozik o'zgarishlarni aniqlay olmaydi. Bu cheklovlar nuqsonlarga, olib tashlash tezligining pasayishiga va sarflanadigan xarajatlarning oshishiga olib kelishi mumkin, bu esa yarimo'tkazgich uskunalari ishlab chiqaruvchilari va CMP xizmatlarini ko'rsatuvchi provayderlar uchun jiddiy xavf tug'diradi. Ishlov berish va tarqatish paytida tarkibiy o'zgarishlar ishlashga ta'sir qiladi. 10 nm dan kichik tugunlar shlamning sofligi va aralashmaning aniqligi ustidan qattiqroq nazoratni talab qiladi. pH va ORP minimal o'zgarishlarni ko'rsatadi, o'tkazuvchanlik esa shlamning qarishi bilan o'zgaradi. Sanoat tadqiqotlariga ko'ra, shlamning nomuvofiq xususiyatlari nuqson darajasini 20% gacha oshirishi mumkin.

Lonnmeterning real vaqt rejimida monitoring qilish uchun ichki sensorlari

Lonnmeter ushbu muammolarni o'zining ilg'or yadrosiz shlam zichligi o'lchagichlari bilan hal qiladi vayopishqoqlik sensorlari, jumladan, yopishqoqlikni o'lchash uchun ichki yopishqoqlik o'lchagichi va bir vaqtning o'zida shlam zichligi va yopishqoqlikni kuzatish uchun ultratovushli zichlik o'lchagichi. Ushbu sensorlar sanoat standartidagi ulanishlarga ega bo'lgan CMP jarayonlariga uzluksiz integratsiya qilish uchun mo'ljallangan. Lonnmeter yechimlari mustahkam konstruktsiyasi uchun uzoq muddatli ishonchlilik va kam texnik xizmat ko'rsatishni taklif etadi. Real vaqt rejimidagi ma'lumotlar operatorlarga shlam aralashmalarini aniq sozlash, nuqsonlarning oldini olish va abrazivlash samaradorligini optimallashtirish imkonini beradi, bu esa ushbu vositalarni tahlil va sinov uskunalari yetkazib beruvchilari va CMP sarf materiallari yetkazib beruvchilari uchun ajralmas qiladi.

CMP optimallashtirish uchun doimiy monitoringning afzalliklari

Lonnmeterning ichki sensorlari bilan uzluksiz monitoring amaliy tushunchalar va sezilarli darajada xarajatlarni tejash orqali kimyoviy mexanik abrazivlash jarayonini o'zgartiradi. Sanoat mezonlariga ko'ra, real vaqt rejimida shlam zichligini o'lchash va yopishqoqlikni monitoring qilish tirnalishlar yoki haddan tashqari abrazivlash kabi nuqsonlarni 20% gacha kamaytiradi. PLC tizimi bilan integratsiya avtomatlashtirilgan dozalash va jarayonni boshqarish imkonini beradi, bu esa shlam xususiyatlarining optimal diapazonlarda qolishini ta'minlaydi. Bu sarflanadigan xarajatlarni 15-25% ga kamaytirishga, ishlamay qolish vaqtini minimallashtirishga va plastinka bir xilligini yaxshilashga olib keladi. Yarimo'tkazgichli quyish zavodlari va CMP xizmatlarini ko'rsatuvchi provayderlar uchun bu afzalliklar unumdorlikni oshirishga, yuqori foyda marjalariga va ISO 6976 kabi standartlarga muvofiqlikka olib keladi.

CMPda shlam monitoringi haqida keng tarqalgan savollar

Nima uchun CMP uchun suspenziya zichligini o'lchash juda muhim?

Suyuqlik zichligini o'lchash zarrachalarning bir tekis taqsimlanishini va aralashmaning mustahkamligini ta'minlaydi, nuqsonlarning oldini oladi va kimyoviy mexanik abrazivlash jarayonida olib tashlash tezligini optimallashtiradi. Bu yuqori sifatli plastinka ishlab chiqarishni va sanoat standartlariga muvofiqligini qo'llab-quvvatlaydi.

Qovushqoqlik monitoringi CMP samaradorligini qanday oshiradi?

Yopishqoqlikni kuzatish suspenziya oqimining izchilligini ta'minlaydi, prokladkalarning tiqilib qolishi yoki notekis abrazivlash kabi muammolarning oldini oladi. Lonnmeterning ichki sensorlari CMP jarayonini optimallashtirish va plastinka hosildorligini oshirish uchun real vaqt rejimida ma'lumotlarni taqdim etadi.

Lonnmeterning yadrosiz shlam zichligi o'lchagichlarini noyob qiladigan narsa nima?

Lonnmeterning yadrosiz shlam zichligi o'lchagichlari bir vaqtning o'zida zichlik va yopishqoqlikni yuqori aniqlikda va nol texnik xizmat ko'rsatish bilan o'lchash imkonini beradi. Ularning mustahkam dizayni talabchan CMP jarayon muhitida ishonchlilikni ta'minlaydi.

Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda kimyoviy mexanik abrazivlash jarayonini optimallashtirish uchun real vaqt rejimida shlam zichligini o'lchash va yopishqoqlikni monitoring qilish juda muhimdir. Lonnmeterning yadrosiz shlam zichligi o'lchagichlari va yopishqoqlik sensorlari yarimo'tkazgich uskunalari ishlab chiqaruvchilari, CMP sarf materiallari yetkazib beruvchilari va yarimo'tkazgich quyish zavodlariga shlamni boshqarishdagi qiyinchiliklarni yengib o'tish, nuqsonlarni kamaytirish va xarajatlarni kamaytirish uchun vositalarni taqdim etadi. Aniq, real vaqt rejimida ma'lumotlarni taqdim etish orqali ushbu yechimlar raqobatbardosh CMP bozorida jarayonlar samaradorligini oshiradi, muvofiqlikni ta'minlaydi va rentabellikni oshiradi. Tashrif buyuring.Lonnmeter veb-saytiyoki Lonnmeter sizning kimyoviy mexanik abrazivlash operatsiyalaringizni qanday o'zgartirishi mumkinligini bilish uchun bugun ularning jamoasi bilan bog'laning.

Hozir chora ko'ring

Nashr vaqti: 2025-yil 22-iyul