MВимірювання рівня рідини в резервуарах, що використовуються на підприємствах з виробництва напівпровідників, вимагає рішень, які витримують кріогенні навантаження, динамічну роботу та суворий контроль забруднення. Вибір вимірювального приладу повинен пріоритезувати неінтрузивність, швидке реагування в режимі реального часу та мінімальне обслуговування для забезпечення продуктивності та безвідмовної роботи.
Безперервний онлайн-вихід, що підходить для керування процесами та блокувань безпеки
Безперервні виходи в режимі реального часу є обов'язковими для керування процесами та блокувань безпеки на підприємствах з виробництва напівпровідників. Бажані виходи включають 4–20 мА з варіантами HART, Modbus або Ethernet для прямого підключення до ПЛК/РСУ. Переконайтеся, що пристрій підтримує режими безпеки та налаштовувані сигнали тривоги для умов високого/низького рівня, швидкості зміни та втрати сигналу. Приклад: безперервний вихід 4–20 мА, підключений до соленоїда заповнення резервуара, запобігає переповненню, коли рівень перевищує програмований поріг.
Нестійкість до пари, піни, турбулентності та зміни властивостей середовища
Кріогенні резервуари для зберігання створюють парові шари, стратифікацію та періодичну турбулентність під час перекачування. Вибирайте технології з високою стійкістю до хибних відлунь та поверхневої турбулентності.Радарний датчик рівняТехнологія та системи радіолокаційних передавачів рівня на основі спрямованих хвиль можуть відхиляти помилкові відбиття, якщо вони налаштовані правильно. Наполягайте на регульованій обробці сигналів, перегляді кривої відлуння та вбудованій фільтрації, щоб уникнути помилок рівня, спричинених парою, піною або бризками. Приклад: радіолокаційний передавач, що використовує розширені налаштування обробки сигналів, ігнорує тимчасовий шар пари під час википання.
Вимірювання рівня рідкого азоту
*
Мінімальне механічне проникнення та відсутність рухомих частин
Мінімізуйте ризик витоків та технічного обслуговування, вибираючи датчики без рухомих частин та з мінімальним проникненням крізь вакуумно-ізольовані кріогенні резервуари для зберігання. Безконтактний радар, встановлений на існуючому верхньому патрубку, дозволяє уникнути використання довгих зондів та зменшує утворення теплових містків. Варіанти хвильових радарів з коротким зондом можуть підходити для існуючих невеликих фланців без глибоких отворів. Вкажіть матеріали та розміри фланців, сумісні з вакуумними кожухами та кріогенними ущільненнями, щоб зберегти цілісність резервуара. Приклад: виберіть безконтактний радар, встановлений зверху, щоб уникнути використання довгого зонда, який міг би проникнути крізь ізоляцію.
Діагностика, прогнозне обслуговування та просте усунення несправностей
Передавач розширеного рівня повинен мати діагностику та прості засоби усунення несправностей для максимізації експлуатаційної готовності обладнання. Вимагає вбудованої діагностики, такої як відображення кривої ехо-сигналу, показники сили сигналу, перевірка цілісності зонда та датчики температури. Підтримка віддаленої діагностики та журналів помилок пришвидшує аналіз першопричин. Прогнозовані сповіщення, такі як індикатори зниження сили сигналу або забруднення зонда, допомагають планувати втручання перед вимкненням. Приклад: передавач, який реєструє поступове ослаблення ехо-сигналу, може спонукати до очищення від накопичень до того, як станеться збій.
Здатність вимірювати рівні інтерфейсу в багатовимірних сценаріях
Вимірювання меж розділу фаз у сценаріях рідина/пара або стратифікований шар вимагає методів, здатних розрізняти невеликі діелектричні контрасти. Технологія радіолокаційних передавачів рівня GWR та радіолокаційні прилади для вимірювання рівня на хвилях виявляють межі розділу там, де існує діелектричний контраст між шарами. Зокрема, для рідкого азоту низький діелектричний контраст між рідиною та парою обмежує роздільну здатність межі розділу; пом'якшіть це за допомогою додаткових вимірювань. Поєднуйте радар/GWR з профілем температури, диференціальним тиском або кількома незалежними датчиками для підтвердження положення межі розділу. Приклад: використовуйте зонд GWR для виявлення межі розділу олія/LN2, тоді як радар, встановлений зверху, контролює рівень насипу.
Сумісність з геометрією резервуара, монтаж у лінію та інтеграція з системами управління об'єктом
Підберіть відповідність форм-фактору датчика до вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарів для зберігання та доступних сопел. Перевірте варіанти кріплення для верхніх, бічних або коротких вбудованих фітингів. Вбудований монтаж означає компактні датчики, які підходять для існуючих трубопроводів або невеликих фланців без довгих зондів; перед вибором перевірте механічні креслення та мінімальні діаметри сопел. Переконайтеся, що електричні та комунікаційні інтерфейси відповідають заводським стандартам для систем безперервного наповнення та розвантаження резервуарів. Вимагайте задокументованої проводки, формування сигналу та рекомендованих практик заземлення для кріогенних середовищ. Приклад: виберіть компактний хвильовий радарний зонд, який підходить до 1,5-дюймового сопла та подає 4–20 мА/HART до центральної системи управління системою контролю.
Технологія хвильового радара (GWR) — принцип роботи та переваги
Принцип вимірювання
GWR передає низькоенергетичні наносекундні мікрохвильові імпульси вниз по зонду. Коли імпульс зустрічається з межею з іншою діелектричною проникністю, частина енергії відбивається назад. Передавач вимірює часову затримку між відправленим та повернутим імпульсами, щоб розрахувати відстань до поверхні рідини. За цією відстанню він обчислює загальний рівень або рівень на межі розділу. Інтенсивність відбиття зростає зі збільшенням діелектричної проникності добутку.
Переваги кріогенних резервуарів для зберігання з вакуумною ізоляцією та рідкого газу (L2)
GWR забезпечує прямі показники рівня з мінімальною потребою в компенсації змін густини, провідності, в'язкості, pH, температури або тиску. Така стабільність підходить для розчинів рідкого азоту у вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарах для зберігання, де властивості рідини та стан пари часто змінюються. GWR безпосередньо виявляє межі розділу рідина-пара та рідина-рідина, тому він підходить для вимірювання рівня рідкого азоту та моніторингу межі розділу в системах безперервного наповнення та розвантаження резервуарів.
Керування зондом обмежує мікрохвильову енергію вздовж зонда. Таке обмеження робить вимірювання практично нечутливими до форми резервуара, внутрішньої арматури та геометрії малих розмірів резервуарів. Такий підхід із керуванням зондом знижує чутливість до конструкції камери та спрощує встановлення у тісних або складних резервуарах, що поширені на заводах з виробництва пластин та напівпровідників.
GWR також працює у складних технологічних умовах. Він підтримує точність вимірювання рівня пари, пилу, турбулентності та піни. Ці характеристики роблять GWR практичним онлайн-інструментом для вимірювання рівня, де перевага надається неінвазивним методам вимірювання. Таким чином, технологія передавача рівня GWR підходить для багатьох застосувань передавача рівня рідини, де візуальні або поплавкові методи не працюють.
Галузева перевірка
Незалежні галузеві джерела визнають радарні вимірювачі рівня надійними у складних умовах. Радарні прилади пропонують точність та надійність вимірювань, що робить їх життєздатною альтернативою багатьом нав'язливим датчикам у технологічних процесах та системах зберігання.
Актуальність для автоматизації процесів та експлуатації заводів
GWR інтегрується з системами безперервного наповнення та розвантаження резервуарів як онлайн-інструмент вимірювання рівня. Він підтримує вимірювання рівня рідкого азоту в технологічних циклах без частого калібрування на предмет коливань щільності або температури. Це зменшує потребу в обслуговуванні, зберігаючи при цьому точний контроль рівня для чутливих операцій на заводах з виробництва пластин та інших напівпровідникових об'єктах.
Чому варто обрати вбудовані рівнеміри GWR для рідкого азоту на заводах з виробництва пластин
Технологія хвильово-направлених радіолокаційних (GWR) рівнемірів забезпечує стабільну точність у кріогенних умовах. Сильний діелектричний контраст між рідким азотом і парою забезпечує чітке радіолокаційне відбиття. Вимірювання на основі зондів залишаються повторюваними, незважаючи на низькі температури та змінні технологічних змінних.
У зондах GWR відсутні рухомі частини. Відсутність механічних механізмів знижує частоту повторного калібрування та знижує ризик утворення частинок. Це знижує ризик забруднення на підприємствах з виробництва напівпровідників, де вимоги до чистоти є суворими.
Варіанти встановлення зонда зверху вниз або в лінії мінімізують проникнення в процес та потенційні витоки. Зонд з фланцевим монтажем зверху вниз використовує один отвір для проникнення, розрахований на номінальний тиск, на стелі резервуара. Вбудований зонд вставляється в невеликий технологічний отвір або котушку, що дозволяє легко його знімати без модифікації великої резервуара. Приклад: встановлення хвильового радіолокаційного датчика рівня на вакуумно-ізольованому кріогенному резервуарі через отвір 1,5.
Вбудований радарний рівнемір Lonnmeter з спрямованою хвилею
Можливості та надійність вимірювань для кріогенних рідин
У лоннметрових радіолокаційних перетворювачах рівня використовується мікрохвильовий імпульс, що керується зондом, для відстеження поверхні рідини з субміліметровою повторюваністю. Конструкція зонда та обробка ехо-сигналу дозволяють працювати з низькими діелектричними проникностями та пароподібними шарами, поширеними в розчинах рідкого азоту. На заводах з виробництва пластин та напівпровідників це забезпечує стабільні показники у вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарах для зберігання та системах безперервного наповнення та розряду резервуарів.
Сертифіковано для застосування на рівні безпеки SIL2, запобігаючи додатковому проникненню
Передавач сертифікований за рівнем безпеки SIL2, що дозволяє його використання в контурах із контрольованою приладовою технікою без додавання окремих пристроїв безпеки за рівнем. Його конструкція з однолінійним проникненням зберігає цілісність оболонки резервуара, зменшуючи шляхи витоку у вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарах для зберігання. Це знижує ризик для критично важливих процесів на підприємствах з виробництва напівпровідників, де підтримка вакууму та ізоляції є надзвичайно важливою.
Багатовимірний передавач зменшує кількість приладів та проникнення в процес
Багатовимірний хвильовий радар Lonnmeter забезпечує вимірювання рівня та додаткових змінних процесу з одного пристрою. Поєднання індикації рівня, межі розділу/щільності та діагностики на основі температури або щільності усуває необхідність використання окремих приладів. Менша кількість проникнень покращує цілісність вакууму, зменшує трудомісткість встановлення та знижує загальну вартість володіння датчиками рівня рідини.
Вбудована діагностика, прогнозне обслуговування та просте усунення несправностей
Бортова діагностика контролює якість сигналу, стан зонда та стабільність відлуння в режимі реального часу. Прогнозовані сповіщення сигналізують про погіршення продуктивності до виникнення несправності, зменшуючи незапланований час простою та середній час ремонту. Техніки можуть використовувати збережені траєкторії відлуння для усунення аномалій у системах безперервного наповнення та розвантаження резервуарів без інвазивного огляду.
Розроблено для невеликих резервуарів та складних геометрій; працює в умовах пари, турбулентності та піни
Керований зонд та вдосконалена обробка сигналу підходять для ємностей малої дальності вимірювання та обмеженого простору. Передавач надійно виявляє рівень у невеликих резервуарах, вузьких горловинах та з нерівною геометрією, що зустрічається в резервуарах постачання кластерного інструменту LN2. Він також ізолює справжні рідкі ехо-сигнали від пари, турбулентності та піни, що робить його практичним для вимірювання рівня рідкого азоту в складних установках.
Малопотужні мікрохвильові імпульси мінімізують теплопередачу та збурення в кріогенних середовищах
Низькоенергетичні мікрохвильові імпульси зменшують локальне нагрівання та обмежують википання під час вимірювання кріогенних рідин. Це мінімізує вплив на рідкий азот та підтримує термічну стабільність у вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарах для зберігання. Такий підхід зберігає запаси кріогенних речовин та забезпечує стабільну роботу на чутливих підприємствах з виробництва напівпровідників.
Приклади, наведені вище: на заводі з виробництва пластин, один радіолокаційний пристрій з спрямованою хвилею типу Lonnmeter може замінити датчик рівня та зонд щільності в невеликому сосуді Дьюара для LN2, забезпечити одне проникнення в стінку резервуара та забезпечити прогнозовані сигнали тривоги, які запобігають перериванню виробництва. У системі безперервного наповнення та розвантаження резервуара той самий пристрій підтримує точний контроль рівня за допомогою парових ковдр та періодичної піни без додавання теплового навантаження на кріогенну рідину.
Найкращі практики встановлення та інтеграції вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарів для зберігання
Стратегія монтажу: вбудований зонд проти монтажу зверху вниз
Кріплення зверху вниз мінімізує проникнення через вакуумну оболонку та зменшує шляхи витоків. Вони розміщують датчик на центральній лінії резервуара та зменшують вплив вхідних струменів. Використовуйте кріплення зверху вниз, коли дозволяють геометрія резервуара та доступ для обслуговування.
Вбудовані (бічні) зонди забезпечують легший доступ для технічного обслуговування та можуть бути розміщені поблизу технологічних трубопроводів для інтегрованого контролю. Вбудоване кріплення збільшує кількість проникнень і вимагає ретельного ущільнення та вирівнювання для збереження цілісності вакууму. Вибирайте вбудоване кріплення, коли критично важлива зручність обслуговування або інтеграція з лініями безперервного наповнення та розвантаження.
Збалансуйте рішення з урахуванням таких факторів: кількість порушень вакуумного захисту, простота обслуговування, внутрішня арматура резервуара та те, як місце вимірювання впливає на стабільність показань в умовах потоку, що спостерігаються на заводах з виробництва пластин та напівпровідників.
Рекомендації щодо герметизації та фланців для збереження вакуумної цілісності
Кожен отвір для проникнення має бути розрахований на вакуум та зняття напруги за кріогенних температур. Віддавайте перевагу металевим фланцевим ущільненням або кріогенним системам прокладок, розробленим для багаторазового термоциклування. Уникайте полімерних ущільнень, якщо вони не розраховані на -196 °C.
По можливості використовуйте зварні вхідні отвори для стаціонарного встановлення. Там, де потрібні знімні датчики, встановіть вакуумний багатопортовий фланець або сильфонний вузол зі спеціальним вакуумним відкачувальним отвором. Передбачте вакуумні випробувальні отвори поруч із фланцями датчика для перевірки цілісності оболонки після встановлення.
Сконструюйте фланці та ущільнення з урахуванням теплового стиснення. Використовуйте гнучкі елементи або ковзні втулки для запобігання напруженню в точці проникнення під час охолодження. Забезпечте доступ до затискних елементів фланців без пошкодження вакуумної оболонки, де це можливо.
Довжина зонда та вибір матеріалу для кріогенної сумісності
Вибирайте матеріали, які зберігають пластичність і стійкі до окрихчення за температури рідкого азоту. Кріогенно-сумісні нержавіючі сталі (наприклад, класу 316L) є стандартними для зондів. Для дуже довгих зондів розгляньте використання сплавів з низьким коефіцієнтом теплового розширення, щоб зменшити відносний рух між зондом і резервуаром.
Довжина зонда повинна сягати глибоко у внутрішню ємність нижче очікуваного максимального рівня рідини та вище зони донного осаду. Уникайте зондів, які торкаються дна резервуара або внутрішніх перегородок. Для високого резервуара з вакуумною ізоляцією слід враховувати припуск на теплове стиснення в кілька міліметрів на кожен метр довжини зонда.
Для встановлення радіолокаційних датчиків рівня з спрямованою хвилею використовуйте жорсткі стержневі зонди або коаксіальні зонди, розраховані на кріогенні умови. Тросові зонди можуть накопичувати конденсат або лід і менш бажані для резервуарів з сильним випаровуванням або розбризкуванням. Уточнюйте якість обробки поверхні та зварювання, щоб уникнути місць утворення льоду.
Приклад: для внутрішньої посудини довжиною 3,5 м може знадобитися зонд довжиною 3,55–3,60 м, щоб врахувати стиснення та товщину монтажного фланця. Перевірте кінцеві розміри за очікуваної робочої температури.
Інтеграція з умовами безперервного наповнення та розвантаження
Розмістіть датчик рівня подалі від вхідних та вихідних форсунок, щоб запобігти хибним показанням через турбулентність. Як правило, розміщуйте зонди на відстані щонайменше одного діаметра резервуара від основних вхідних або вихідних отворів або за внутрішніми перегородками. Якщо обмежений простір цьому перешкоджає, використовуйте кілька датчиків або застосовуйте обробку сигналів для відхилення тимчасових відлунь.
Уникайте встановлення зонда безпосередньо в потоці заповнення. У системах безперервного наповнення та розвантаження можуть утворюватися шари розшарування та теплові шари; розмістіть датчик там, де він відбирає проби добре перемішаної рідини, зазвичай поблизу центральної лінії резервуара або всередині спеціально розробленого стримуючого колодязя. Стримуючий колодязь або центральна трубка можуть ізолювати датчик від потоку та підвищити точність під час швидких перекачувань.
Для заводів з виготовлення пластин, де під час продувки інструменту відбувається безперервна подача рідкого азоту, слід встановити місця вимірювання та фільтри таким чином, щоб ігнорувати короткочасні піки. Використовуйте усереднення, згладжування рухомого вікна або логіку відстеження луни на виході передавача для придушення хибних тривог від коротких імпульсів.
Проводка, заземлення та методи електромагнітної сумісності для надійної роботи радара
Прокладайте сигнальні кабелі через вакуумні вводи з розвантаженням від натягу та термоперехідними вводами. Використовуйте екрановані кабелі типу «вита пара» або коаксіальні кабелі відповідно до обраної радіолокаційної технології. Забезпечте короткі відрізки кабелів та уникайте зв'язування з силовими кабелями.
Встановіть єдину точку заземлення для корпусу датчика та електроніки приладу, щоб запобігти заземленню. Заземлюйте екрани лише на одному кінці, якщо в інструкціях виробника не зазначено інше. Встановіть захист від перенапруги та обмежувачі перехідних струмів на довгих кабельних трасах, що перетинають подвір’я або комунальні зони.
Мінімізуйте електромагнітні перешкоди, відокремлюючи кабелі датчиків від частотно-регульованих приводів, живильників двигунів та високовольтних шин. Використовуйте феритові осердя та труби, де необхідно. Для встановлення хвильових радіолокаційних датчиків рівня слід підтримувати безперервність характеристичного імпедансу на прохідних та роз'ємних інтерфейсах, щоб зберегти цілісність сигналу.
Дорожня карта розгортання (рекомендований поетапний підхід)
Етап оцінювання: огляд резервуара, умови процесу та вимоги до системи керування
Почніть з фізичного огляду резервуара. Запишіть геометрію резервуара, розташування сопел, відстань між ізоляцією та доступні порти приладів. Зверніть увагу на доступ до вакуумного простору та будь-які теплові містки, які впливають на розміщення датчика.
Фіксуйте умови процесу, включаючи нормальний та піковий робочий тиск, температуру парового простору, швидкість заповнення та очікуваний хлюпот або сплеск під час систем безперервного наповнення та розрядження резервуарів. Документуйте циклічні закономірності, що використовуються на заводах з виробництва пластин та напівпровідників.
Визначте вимоги до системи керування заздалегідь. Вкажіть типи сигналів (4-20 мА, HART, Modbus), дискретні сигнали тривоги та очікувану частоту оновлення для онлайн-інструментів вимірювання рівня. Визначте необхідні діапазони точності та рівні цілісності безпеки.
Результати оцінювання повинні включати опис обсягу робіт, монтажні креслення, перелік бажаних неінвазивних методів вимірювання та матрицю вводу/виводу для системи керування.
Пілотна установка: валідація одного резервуара та інтеграційні випробування в умовах безперервного наповнення/розряду
Пілотне випробування одного репрезентативного вакуумно-ізольованого кріогенного резервуара для зберігання. Встановлення вибраного датчика рівня та виконання повних робочих циклів. Перевірка рівня рідини в резервуарах під час безперервних систем наповнення та розвантаження резервуарів, включаючи швидке наповнення та повільне стікання.
Використовуйте пілотний пристрій для порівняння технології радіолокаційних рівнемірів, характеристик радіолокаційних рівнемірів на хвилі та інших передових рівнемірів в одному середовищі резервуара, коли це можливо. Зафіксуйте час відгуку, стабільність та схильність до пари, піни або конденсації. Для радіолокаційних рівнемірів на хвилі переконайтеся, що матеріали зонда переносять кріогенне стискання, а вхідні отвори надійно герметизуються.
Виконайте інтеграційні тести з ПЛК або системою управління системою керування (DCS). Перевірте пороги спрацьовування тривоги, блокування, теги історії та дистанційну діагностику. Запустіть циклічний режим зі змішаним режимом роботи протягом щонайменше двох тижнів для фіксації граничних випадків. Зберіть дані про точність базової лінії, дрейф та події технічного обслуговування.
Приклад: на заводі з виробництва напівпровідників запустити пілотний проект через звичайний 24-годинний цикл подачі води до фабрики. Вихідні показники датчика рівня логарифмуються відносно відомих об'ємів заповнення та перевірок вторинних манометрів. Відстежувати похибки під час скидання високої витрати.
Розгортання: повне розгортання в мережі кріогенного зберігання зі стандартизованою конфігурацією та діагностикою
Стандартизуйте вибрану конфігурацію пристрою після перевірки пілотного пристрою. Зафіксуйте довжину зонда, монтажні фланці, кабельні вводи та налаштування передавача. Створіть пакет розгортання з налаштуваннями моделі, серійного номера та калібрування для кожного розміру резервуара.
Застосовуйте узгоджену діагностику та логіку сигналізації для всіх резервуарів. Забезпечте, щоб кожен онлайн-інструмент вимірювання рівня надавав системі керування профілі ехо-сигналів, прапорці самотестування та стан справності. Стандартизована діагностика прискорює усунення несправностей у кількох вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарах для зберігання.
Плануйте розгортання хвилями, щоб мінімізувати перебої в процесі. Плануйте встановлення протягом запланованих періодів технічного обслуговування. Включіть запасні частини, калібрувальні установки та кріогенні інструменти. Оновіть карти мережі та документацію вводу/виводу для кожного розгорнутого датчика.
Приклад частоти розгортання: спочатку обладнати критично важливі технологічні резервуари, потім резервуари для вторинного зберігання. Перевірити кожну хвилю за допомогою дводенних функціональних перевірок після встановлення за нормальних схем наповнення/розвантаження.
Передача та навчання: навчання операторів та технічного обслуговування з чіткими стандартними операційними процедурами (СОП) для моніторингу та усунення несправностей
Проведіть структуроване навчання операторів, пов'язане з стандартними операційними процедурами (СОП). Охоплюйте щоденні перевірки вимірювання рівня рідкого азоту, реагування на тривогу та базову інтерпретацію ехо-сигналу. Навчіть операторів розпізнавати поширені режими несправностей, такі як втрата ехо-сигналу, нестабільні показники під час хлюпання та несправності проводки.
Проведіть навчання з технічного обслуговування, зосереджене на кріогенній безпеці, перевірці зондів, процедурах калібрування та етапах заміни. Включіть практичні вправи зі зняття та повторного встановлення зондів або неінвазивних затискачів датчиків, зберігаючи при цьому цілісність вакууму.
Надайте чіткі документи стандартних операційних процедур (СОП). СОП повинні перераховувати покрокові процедури для: перевірки точності рівнеміра, виконання польового калібрування, ізоляції та заміни рівнеміра, а також усунення стійких несправностей. Включіть приклади процесів усунення несправностей: почніть з живлення та сигналу, потім якість відлуння, а потім механічні перевірки.
Ведіть журнал навчання та підписів компетенцій. Плануйте періодичні сеанси підвищення кваліфікації, узгоджені з інтервалами калібрування.
Запит цінової пропозиції / Заклик до дії
Запитуйте цінову пропозицію на вбудовані хвильові радарні рівнеміри Lonnmeter, якщо вам потрібне точне вимірювання рівня рідкого азоту на заводах з виробництва пластин або у вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарах для зберігання. Вкажіть, що застосування передбачає системи безперервного наповнення та розвантаження резервуарів, щоб пропозиція відповідала реальним робочим циклам.
Під час підготовки запиту на цінову пропозицію вкажіть критичні деталі процесу та механіки. Надайте:
тип та об’єм резервуара (наприклад: вакуумно-ізольований кріогенний резервуар для зберігання, 5000 л), середовище (рідкий азот), а також робочі температури та тиск;
безперервні швидкості наповнення та розряду, типовий робочий цикл та очікувані умови перенапруги або хлюпання;
місце монтажу, доступні порти та геометрія вільного простору;
необхідний діапазон вимірювання, бажана точність і повторюваність, а також пороги спрацьовування сигналізації/заданих значень;
переваги сумісності матеріалів та будь-які обмеження щодо чистоти приміщення або забруднення для заводів з виробництва пластин;
класифікація небезпечних зон та будь-які обмеження на встановлення.
Щоб запросити цінову пропозицію або домовитися про пілотне випробування, зберіть перелічені вище елементи та надішліть їх через ваш канал закупівель або контактну особу з інженерії об'єкта. Чіткі дані про застосування пришвидшують визначення розміру та гарантують, що пропозиція хвильового радіолокаційного датчика рівня відповідає застосуванню датчиків рівня рідини на заводах з виробництва пластин та в системах кріогенного зберігання.
Найчастіші запитання
Який найкращий спосіб вимірювання рівня рідкого азоту в резервуарі на заводі з виробництва пластин?
Вбудовані рівнеміри з хвильовим радіолокатором (GWR) забезпечують безперервне, точне, немеханічне вимірювання кріогенного рідкого зрідженого ніацин (LN2) на заводах з виробництва пластин. Вони використовують мікрохвильовий імпульс, керований зондом, стійкий до пари, турбулентності та малих геометрій резервуарів. Для вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарів для зберігання встановлюйте рівнемір з мінімальними, належним чином герметизованими отворами для збереження цілісності вакууму.
Чи може радіолокаційний рівнемір на основі спрямованої хвилі працювати під час безперервного наповнення та розвантаження?
Так. GWR розроблено для безперервного онлайн-вимірювання та підтримує надійні показники рівня під час динамічних операцій. Правильне розміщення зонда, налаштування параметрів гасіння та зони нечутливості приладу, а також перевірка відлуння запобігають появі хибних відлунь, викликаних потоком. Приклад: налаштуйте передавач після введення в експлуатацію під час заповнення з максимальною швидкістю потоку установки, щоб підтвердити стабільні відлуння.
Як перетворювач рівня GWR порівнюється з безконтактними датчиками для рідкого азоту?
GWR передає мікрохвильові імпульси вздовж зонда, створюючи сильні, стабільні відлуння в умовах пари та турбулентності. Безконтактний радар може працювати, але може мати труднощі в тісних резервуарах або там, де внутрішні структури відбивають сигнали. У резервуарах з внутрішніми перешкодами або вузькою геометрією GWR зазвичай дає кращі відбиті відлуння та стабільніші показники для LN2.
Чи вплине хвильовий радіолокаційний передавач на вакуумну цілісність у вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарах?
При встановленні як вбудований передавач з мінімізованими проникненнями та належним ущільненням, GWR зменшує загальну кількість проникнень порівняно з кількома дискретними датчиками. Менша кількість проникнень зменшує шляхи витоків і допомагає зберегти вакуум. Використовуйте зварні фланці або високоміцні вакуумні фітинги та кваліфіковані кріогенні ущільнення, щоб уникнути погіршення вакууму в резервуарі.
Чи потребують хвильові радіолокаційні передавачі частого калібрування або технічного обслуговування в кріогенних умовах експлуатації?
Ні. Блоки GWR не мають рухомих частин і зазвичай потребують мінімального повторного калібрування. Вбудована діагностика та моніторинг відлуння дозволяють проводити перевірки на основі стану. Виконуйте періодичну перевірку спектру відлуння та візуальний огляд стану ущільнень і зонда під час планових зупинок.
Чи безпечні радарні рівнеміри для використання в чутливих напівпровідникових середовищах?
Так. Радарні рівнеміри працюють на низькій потужності мікрохвиль і не становлять ризику потрапляння твердих частинок. Їх мінімальне проникнення та неінтрузивне зондування допомагають підтримувати контрольовані зони з контролем забруднення. Під час встановлення поблизу чистих технологічних зон слід вказувати гігієнічні матеріали, зонди, що очищаються, та відповідний захист від проникнення.
Як мені вибрати між рівнеміром GWR та іншими типами рівнемірів рідини для LN2?
Використовуйте контрольний список вибору, який надає пріоритет кріогенній сумісності, безперервному онлайн-виходу, стійкості до пари та турбулентності, мінімальному проникненню, діагностиці та можливостям інтеграції. Для багатьох кріогенних резервуарів, виготовлених на пластинах, GWR відповідає цим критеріям. Враховуйте геометрію резервуара, внутрішні перешкоди та необхідність багатовимірного вимірювання.
Де я можу отримати допомогу з інтеграцією хвильового радіолокаційного датчика рівня в систему керування моїм заводом?
Зверніться до групи розробників застосувань постачальника передавача для отримання підтримки з інтеграції, інструкцій з налаштування та контрольних списків введення в експлуатацію. Вони можуть допомогти з перевіркою ехо-сигналу, заземленням та відображенням DCS/PLC. Щодо вбудованих вимірювачів щільності або в'язкості, що використовуються разом із вимірюванням рівня, зверніться до Lonnmeter для отримання детальної інформації про продукт та підтримки застосувань, що стосуються вбудованих вимірювачів.
Які основні діагностичні показники технічного обслуговування слід контролювати за допомогою вимірювача рівня рідкого азоту?
Контролюйте силу та профіль відлуння для отримання стабільних, повторюваних повернень. Відстежуйте співвідношення сигнал/шум (SNR), індикатори цілісності або безперервності зонда, а також будь-які коди несправностей або попереджень передавача. Використовуйте відстеження тенденцій цих діагностичних даних для планування перевірок до виникнення збоїв.
Як зменшення кількості приладів за допомогою багатовимірного передавача впливає на загальну вартість?
Багатовимірний GWR може одночасно вимірювати змінні рівня та інтерфейсу, що усуває необхідність використання окремих перетворювачів. Це зменшує кількість монтажних матеріалів, проникнень, проводки та довгострокового обслуговування. Менша кількість приладів також зменшує вакуумні проникнення та ризик витоків, що важливо у вакуумно-ізольованих кріогенних резервуарах для зберігання. Кінцевим результатом є нижча загальна вартість володіння порівняно з кількома однофункціональними приладами.
Час публікації: 30 грудня 2025 р.
