Вимірювання витрати є незамінним при різанні кремнієвих пластин алмазним дротом, оскільки воно забезпечує точну подачу рідин для різання до межі між дротом і пластиною, що є критично важливим для підтримки оптимального охолодження, змащення та видалення сміття.RДані про витрату в режимі реального часу запобігають недостатній або надмірній подачі рідини, яка в іншому випадку могла б призвести до перегріву, обриву дроту, дефектів поверхні або відходів. Точне вимірювання зменшує мінливість процесу, забезпечує площинність пластини та цілісність поверхні, подовжує термін служби дроту та оптимізує ефективність використання ресурсів.
Огляд різання кремнієвих пластин та роль рідин для різання
Алмазне різання дротом є домінуючою технікою для нарізання монокристалічних та мультикристалічних кремнієвих злитків на пластини для напівпровідникових та фотоелектричних застосувань. У цьому процесі сталевий дріт, зазвичай діаметром 40–70 мкм, покривається алмазними абразивними зернами. Дріт рухається з високою швидкістю, а вбудовані алмази стирають кремній шляхом стирання, мінімізуючи дефекти поверхні та сприяючи однорідності пластини. Дроти зменшеного діаметра, що впроваджені в останні роки, зменшують втрати на пропилі, що означає втрату матеріалу у вигляді дрібних частинок кремнію під час операції нарізання. Втрати на пропилі визначаються діаметром дроту та висотою абразивних зерен, що виступають з поверхні дроту.
Різання алмазним дротом
*
Ріжучі рідини відіграють кілька важливих ролей у різанні алмазним дротом. Їхня основна функція полягає в охолодженні як злитка, так і дроту, запобігаючи перегріву, який може пошкодити кремній або скоротити термін служби дроту. Вони також змивають дрібні частинки кремнію, що утворюються під час різання, що допомагає підтримувати чистоту інтерфейсу, запобігати повторному відкладенню сміття та зменшувати поверхневі мікротріщини на пластині. Крім того, ріжучі рідини змащують процес, знижуючи тертя між дротом і кремнієм, тим самим подовжуючи термін служби дроту та покращуючи якість різання. Склад та фізичні властивості ріжучих рідин для кремнієвих пластин, такі як в'язкість та щільність, необхідно ретельно контролювати для оптимізації охолодження, видалення стружки та захисту дроту.
Існує кілька типів рідин для різання пластин, включаючи рідини на водній основі з добавками для покращеного змащування та суспендування частинок. Вибір залежить від конструкції обладнання, специфікацій пластин та екологічних обмежень. Прикладами є деіонізована вода з поверхнево-активними речовинами або гліколями, розроблені для балансування ефективності охолодження з низьким утворенням залишків.
Еволюція в напрямку надтонких алмазних дротів на сучасних заводах з виробництва пластин посилює проблеми з подачею рідини та контролем процесів. Зі зменшенням діаметра дроту нижче 40 мкм зростає ризик його обриву та зменшується допуск до коливань процесу. Точне вимірювання швидкості потоку, що підтримується такими технологіями, як витратоміри різальної рідини, високоточні датчики вимірювання потоку та датчики масової витрати Коріоліса, є важливим для підтримки ефективного охолодження та видалення сміття. Датчики моніторингу різальної рідини та промислові рішення для вимірювання витрати різальної рідини дозволяють операторам відстежувати та регулювати швидкість потоку в режимі реального часу, досягаючи оптимального змащування та якості поверхні. Точність витратомірів Коріоліса особливо важлива для керування рідинами з різною щільністю та в'язкістю, забезпечуючи стабільні умови навіть при збільшенні швидкості різання та натягу дроту.
Цей зростаючий попит на точність змістив акцент на моніторинг динамічних параметрів рідини, таких як швидкість потоку, густина та в'язкість. Прилади, подібні до Lonnmeter, забезпечують надійні вимірювання в режимі реального часу, які є незамінними для забезпечення якості та оптимізації процесів у передових операціях алмазного різання дротом. З розвитком технології дроту інтеграція надійних технологій вимірювання потоку є невід'ємною частиною підтримки пропускної здатності пластин, мінімізації втрат на пропилі та зниження вимог до подальшої обробки для сектора виробництва кремнієвих пластин.
Проблеми подачі рідини при прецизійному алмазному різанні дротом
Під час різання алмазним дротом надтонких кремнієвих пластин, особливо тих, що мають товщину менше 40 мкм, подача потрібної кількості рідини для різання кремнієвих пластин до поверхні різання стає надзвичайно складним завданням. Зі зменшенням товщини дроту зменшується і простір для потоку рідини. Підтримка постійної подачі рідини для різання має вирішальне значення для забезпечення змащування, контролю температури та видалення сміття в точці контакту.
Нестабільний або недостатній потік рідини безпосередньо призводить до адсорбції пластини, коли пластина небажано прилипає до обладнання через недостатнє змащування. Це не тільки порушує процес різання, але й збільшує ризик поломки або пошкодження пластини. Шорсткість поверхні значно зростає, коли дріт і пластина не отримують постійного змащування та охолодження від ріжучої рідини з алмазним дротом. У результаті пошкоджені поверхні та мікродефекти знижують якість і вихід пластини, що створює серйозні перешкоди для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості.
Три основні фактори впливають на проникнення рідини в мікророзмірний зазор пиляння: геометрія дроту, швидкість різання та капілярний ефект. Геометрія дроту, зокрема діаметр дроту та розподіл алмазних зерен, безпосередньо впливають на те, наскільки легко рідина для різання кремнієвих пластин тече та прилипає до зони контакту. При використанні дротів товщиною менше 40 мкм менша площа поверхні обмежує вільний рух рідини. Вищі швидкості різання зменшують час, необхідний для досягнення рідиною поверхні розділу фаз та її охолодження, що призводить до локального перегріву та поганого змащування. Капілярний ефект, природна здатність рідини втягуватися у вузькі простори, сильно визначає утримання рідини. Однак ті ж рідинні містки, що покращують транспортування рідини, можуть призвести до капілярної адгезії між сусідніми дротами, що спричиняє неоднорідний натяг та збільшує варіацію товщини пластини.
Впровадження передових типів рідин для різання пластин, включаючи розчини, покращені наночастинками, забезпечує помітні покращення. Рідини, розроблені з наночастинками SiO₂ або SiC, ефективніше проникають у вузькі зазори завдяки оптимізованій в'язкості та взаємодії з поверхнею. Ці рідини покращують змащування та ефективніше відводять тепло, що призводить до зниження шорсткості поверхні та покращення площинності пластини. Дослідження показують, що використання рідин, насичених наночастинками, змінює температурне поле під час різання, ще більше зменшуючи напруження, які загрожують цілісності пластини. Це, у поєднанні з такими методами, як ультразвукова вібрація для посилення капілярного транспорту, дозволяє більш рівномірно подати рідину для різання алмазним дротом.
Стабільна подача рідини вимагає точного моніторингу та регулювання в режимі реального часу. Високоточне вимірювання витрати рідини для різання стає важливим, особливо в жорстко контрольованих процесах. Впровадження витратоміра рідини для різання, такого як високоточний датчик масової витрати Коріоліса, дозволяє точно регулювати швидкість подачі. Вбудовані вимірювачі щільності та в'язкості Lonnmeter у поєднанні з точними інструментами вимірювання швидкості потоку сприяють оптимізації подачі рідини, завдяки чому навіть найтонші пластини ріжуться плавно з мінімальним ризиком дефектів.
Вимірювання потоку рідини під час різання пластин
Точне вимірювання витрати є фундаментальним для оптимізації подачі ріжучої рідини під час алмазного різання кремнієвих пластин. Ефективність ріжучої рідини для кремнієвих пластин безпосередньо впливає на охолодження, змащення та видалення сміття на контактній поверхні, впливаючи на якість поверхні пластини, втрати в пропилі та загальний вихід продукції. Недостатній або надмірний потік змінює ефективність абразиву, збільшує знос інструменту та може призвести до нестабільної якості пластини або підвищення витрат на ресурси. Емпіричні дослідження показують, що шорсткість поверхні (Ra) та пошкодження під поверхнею можна мінімізувати, підтримуючи швидкість потоку ріжучої рідини в оптимальному діапазоні 0,15–0,25 л/хв для типових однодротових верстатів, оскільки недостатній потік призводить до мікротріщин та накопичення сміття, тоді як надлишковий потік створює турбулентність та непотрібне споживання.
Технології вимірювання витрати рідини для різання
Витратоміри рідини для різання інтегруються в лінії подачі рідини, вимірюючи об'єм рідини для різання з алмазним дротом у режимі реального часу. Поширені технології витратомірів включають механічні, електронні та ультразвукові типи:
- Механічні витратоміри, такі як турбінні та лопатні, використовують обертові компоненти, що переміщуються потоком рідини. Вони прості та міцні, але схильні до зносу від рідин, насичених абразивом.
- Електронні витратоміри, зокрема електромагнітні конструкції, вимірюють швидкість рідини за принципами електромагнітної індукції, забезпечуючи надійну та невибагливу роботу з провідними рідинами.
- Ультразвукові витратоміри використовують високочастотні звукові хвилі, що передаються та приймаються по трубі. Вимірюючи різницю в часі проходження звуку вздовж потоку та проти нього, ці пристрої забезпечують неінвазивне, точне вимірювання, що підходить для різних типів рідин для різання пластин.
Вимірювання масової витрати Коріоліса є важливим у сферах застосування, де потрібен точний контроль маси рідини, незалежно від змін в'язкості чи температури. Датчики масової витрати Коріоліса безпосередньо вимірюють масову витрату на основі ефекту Коріоліса, забезпечуючи високу точність та придатність для алмазних ріжучих рідин як на водній, так і на масляній основі. Lonnmeter виробляє вбудовані вимірювачі щільності та в'язкості, які додатково дозволяють контролювати властивості рідини для забезпечення консистенції та оптимального контролю процесу різання кремнієвих пластин.
Критичні параметри вимірювання та розміщення датчиків
Точне вимірювання потоку рідини для різання пластин вимагає уваги до кількох ключових параметрів:
- Швидкість потоку (л/хв): основний показник для оптимізації процесу та забезпечення якості.
- Густина та в'язкість: обидві речовини суттєво впливають на ефективність охолодження, транспортування абразиву та видалення сміття.
- Температура: Впливає на в'язкість та поведінку рідини в місці розрізу.
Розміщення датчиків є вирішальним. Датчики вимірювання витрати повинні бути розташовані безпосередньо в лінії подачі рідини якомога ближче до зони різання, щоб мінімізувати розбіжності через опір трубопроводу, витік або випаровування перед межею різання. Вимірювання в режимі реального часу в лінії гарантує, що повідомлене значення витрати відповідає фактичній подачі в зону різання алмазним дротом.
Функція вимірювання потоку в підтримці оптимальних умов різання
Датчики вимірювання витрати є важливими для моніторингу в режимі реального часу та адаптивного керування подачею рідини під час промислового різання кремнієвих пластин. Підтримка оптимальної швидкості потоку забезпечує адекватне розсіювання тепла, безперервне видалення сміття та рівномірне змащування вздовж алмазного дроту. Без цього знижується стабільність процесу, скорочується термін служби дроту та падає вихід продукції через підвищений ризик дефектів поверхні або надмірних втрат різу.
Інтегруючи високоточне вимірювання швидкості потоку з іншими параметрами зворотного зв'язку (наприклад, швидкістю дроту, швидкістю подачі), виробники можуть забезпечити адаптивне керування порогом процесу, безпосередньо пов'язуючи коригування швидкості потоку зі спостережуваною продуктивністю різання. В результаті будь-яке відхилення від запрограмованої границі потоку запускає негайні коригувальні дії, захищаючи як якість процесу, так і ефективність використання ресурсів.
Підсумовуючи, вимірювання витрати рідини для різання в промисловості, що спирається на надійні датчики вимірювання витрати та дані в режимі реального часу, слугує основою для високопродуктивного та економічно ефективного виробництва кремнієвих пластин в епоху алмазного різання.
Вимірювання масової витрати Коріоліса: принципи та застосування
Вимірювання масової витрати Коріоліса базується на виявленні сили, що створюється рідиною, що рухається через вібруючі трубки. Під час потоку рідини, такої як рідина для різання алмазним дротом або спеціалізована рідина для різання кремнієвих пластин, трубки зазнають невеликого вимірюваного фазового зсуву. Цей зсув пропорційний масовій витраті, що забезпечує пряме кількісне визначення маси подається рідини для різання в режимі реального часу. Той самий принцип дозволяє одночасне вимірювання щільності рідини, забезпечуючи високу точність при зміні типів рідин, їх складу та температур, що є критично важливою вимогою у виробництві кремнієвих пластин та застосуванні алмазного різання дротом.
Переваги цього підходу для різних типів рідин для різання пластин, особливо при використанні високопродуктивних рідин для різання з алмазним дротом, є суттєвими. Вимірювання коріолісового потоку не залежить від змін в'язкості та складу рідини, залишаючись високоточним навіть за наявності абразивних частинок, нанодобавок або гетерогенних сумішей, які часто зустрічаються в рідинах для різання кремнієвих пластин. Ця надійність робить його кращим за традиційні методи об'ємного потоку, на які можуть впливати бульбашки, зважені частинки та зміна фізичних властивостей сучасних рідин для різання.
Різання напівпровідникових пластин дедалі більше залежить від передової технології датчиків потоку рідини для забезпечення надійного моніторингу ріжучої рідини для кремнієвих пластин. Вбудовані датчики масової витрати лоннметра, що використовують ефект Коріоліса, впроваджуються безпосередньо в технологічні лінії. Це дозволяє точно подавати та контролювати нанорідину та ріжучу рідину з алмазним дротом під час різання пластини. Ознаки деградації рідини, невідповідності суміші або зміни щільності виявляються негайно, що дозволяє негайно вживати заходів контролю для підтримки продуктивності процесу та якості поверхні.
Порівняння датчиків масової витрати Coriolis з іншими датчиками моніторингу рідини для різання, такими як теплові, електромагнітні або ультразвукові системи вимірювання витрати, виявляє кілька переваг. Датчики масової витрати Coriolis перевершують у високоточному вимірюванні витрати та забезпечують показники на основі маси, незалежні від коливань в'язкості чи магнітних властивостей. Електромагнітні та ультразвукові вимірювачі мають проблеми із сумішами рідин для різання, що містять наночастинки, повітряні кишені або незначні коливання щільності, що часто призводить до ненадійного вимірювання витрати та збільшення частоти технічного обслуговування.
Точність коріолісового витратоміра підтримується навіть при зміні складу рідини, оскільки схеми обробки сигналів та температурної компенсації ефективно фільтрують шум та коливання навколишнього середовища. Оператори можуть використовувати дані в режимі реального часу для оптимізації охолодження, змащення та видалення частинок, реагуючи на різноманітні властивості різних типів рідин для різання пластин та сумішей нанорідин.
Адаптація вимірювання масової витрати Коріоліса до рідин для різання та різання надтонким дротом з наночастинками знаменує собою зміну в промисловому моніторингу. Датчики надійно вимірюють справжній масовий потік та густину, незалежно від вмісту частинок або неоднорідності рідини, що дозволяє керувати замкненим контуром та автоматизувати управління рідиною, адаптовану для різання пластин. Цей рівень високоточних вимірювань витрати є ключовим для підтримки стабільності процесу, зменшення втрат матеріалу та забезпечення цілісності поверхні під час виготовлення кремнієвих пластин та процесів різання алмазним дротом.
Інтеграція даних вимірювання витрати в управління процесами
Вимірювання витрати в режимі реального часу за допомогою датчиків масової витрати Коріоліса змінило управління ріжучою рідиною під час різання кремнієвих пластин алмазним дротом. Вбудовані вимірювачі щільності та в'язкості, такі як ті, що виробляються Lonnmeter, дозволяють негайно контролювати властивості рідини та швидкість потоку, безпосередньо підтримуючи точне керування процесом.
Підтримка оптимальної швидкості потоку є важливою для ефективного охолодження, очищення та змащування алмазного дроту та кремнієвих пластин. Масові витратоміри Коріоліса чудово працюють у цьому середовищі, забезпечуючи високоточний зворотний зв'язок у режимі реального часу щодо масового потоку та характеристик рідини. За допомогою цих даних автоматизовані системи можуть регулювати швидкість насоса, положення клапанів або швидкість рециркуляції, щоб точно подавати необхідний об'єм та склад рідини для різання пластин. Наприклад, під час швидких циклів різання дані датчиків можуть ініціювати збільшення подачі рідини для покращення видалення сміття та охолодження, тоді як повільніші цикли можуть вимагати зменшення потоку, щоб уникнути втрат.
Зворотний зв'язок від датчиків вимірювання витрати також є критично важливим для реагування на зміну стану рідини. Оскільки в'язкість або щільність рідини змінюються — через зміни температури або забруднення — вбудовані вимірювачі Lonnmeter миттєво виявляють ці зміни, дозволяючи системам керування компенсувати це, регулюючи швидкість потоку або ініціюючи фільтрацію рідини. Такий детальний підхід, заснований на даних, гарантує, що рідина залишається в межах чітких специфікацій для оптимальної продуктивності різання.
У середовищах з великим обсягом робіт можливість моніторингу та контролю потоку ріжучої рідини в режимі реального часу забезпечує стабільну товщину та зменшує виникнення дороговартісних дефектів, як показано на передових виробничих лініях в Азії та Європі. Удосконалене управління рідинами також підтримує прогнозне обслуговування, подовжуючи термін служби алмазного дроту.
Промислові операції отримують суттєві переваги від систем різально-охолоджувальних рідин з контролем потоку. Ефективне управління рідинами скорочує витрати на їх споживання та утилізацію, забезпечуючи використання достатньої кількості рідини для кожної пластини, підтримуючи сталий розвиток та дотримання нормативних вимог. Зменшення втрат рідин, що забезпечується постійним зворотним зв'язком та коригуванням на основі даних датчиків, призводить до зниження експлуатаційних витрат та зменшення впливу на навколишнє середовище.
Підсумовуючи, інтеграція даних вимірювання потоку в режимі реального часу, що забезпечується вбудованими рішеннями Lonnmeter, є не лише наріжним каменем для забезпечення якості пластин, але й експлуатаційною перевагою процесу алмазного різання. Вона забезпечує вимірні покращення якості поверхні, механічної надійності, виробничого потенціалу та економічної ефективності.
Експериментальні висновки та промислове керівництво
Нещодавні експериментальні дослідження змінили найкращі практики подачі рідини для алмазного різання кремнієвих пластин. Дослідження показують, що точно керована подача рідини для різання, особливо з використанням передових технологій, безпосередньо корелює з нижчою адсорбцією пластин та кращою якістю поверхні.
Застосування ультразвукового капілярного ефекту в подачі рідини стало революційним рішенням. Ультразвукові хвилі проштовхують ріжучу рідину глибше в надтонкі пропили, особливо в області вужчі за 50 мкм, де традиційні методи подачі часто не справляються. Ця посилена інфільтрація суттєво зменшує адсорбцію абразивних частинок та сміття на поверхні пластини. Емпіричні випробування показують, що пластини, що піддавалися подачі рідини за допомогою ультразвуку, мають помітно менше дефектів поверхні, отже, вищий вихід та надійність у наступних процесах.
Оптимізація параметрів має вирішальне значення для максимізації переваг як ультразвукового покращення, так і нанорідинних технологій у подачі рідини для різання. Ключові параметри включають:
- Відстань між пластинами: Зазор між резервуаром для рідини та зоною різання має бути мінімізований для оптимального підйому рідини.
- Положення ультразвукового перетворювача та паралельність встановлення: Чітко визначена геометрія забезпечує рівномірну передачу хвиль та капілярний ефект.
- Температура рідини: контрольоване нагрівання збільшує рухливість рідини та ефективність капілярів.
- Тривалість та частота ультразвукового застосування: Правильний вибір часу запобігає перегріванню, одночасно максимізуючи інфільтрацію.
- Вибір типу рідини: Різні базові рідини та добавки по-різному реагують на ультразвукову стимуляцію.
Технологія нанорідин пропонує ще один важливий крок вперед. Рідини для різання, наповнені наночастинками, такими як SiO2 та SiC, демонструють покращену теплопровідність та змащування. Ця модифікація призводить до ефективнішого охолодження, покращеного видалення сміття та зменшення шорсткості поверхні пластини. Дані свідчать про те, що змішані формули наночастинок пропонують синергетичні покращення, ще більше зменшуючи деформацію та забезпечуючи кращу морфологію пластини, ніж однотипні або звичайні рідини для різання.
Виробники, які прагнуть оптимізувати ефективність своїх рідин для різання, можуть впроваджувати такі експлуатаційні рекомендації:
- Використовуйте вбудовані густиноміри та вязкоміри (наприклад, від Lonnmeter) для контролю та контролю консистенції рідини для різання, забезпечуючи ідеальні властивості текучості для ультразвукового та нанодопоміжного використання.
- Контролюйте та регулюйте швидкість потоку ріжучої рідини за допомогою високоточних датчиків вимірювання витрати. Вимірювання масової витрати Коріоліса особливо корисне для вимірювання витрати ріжучої рідини в промисловому масштабі, забезпечуючи точність у режимі реального часу як для густини, так і для об'єму.
- Регулярно калібруйте датчики вимірювання витрати для підтримки надійних показників, що є критично важливим для стабільної обробки пластин.
- Виберіть типи рідин для різання пластин та концентрації наночастинок, що відповідають конкретному розміру пластини, характеристикам алмазного дроту та умовам експлуатації.
Порівняльні дослідження підтверджують, що зміни однофакторних параметрів, такі як збільшення швидкості дроту або регулювання швидкості подачі, корелюють зі змінами зносу дроту, шорсткості поверхні та загальної варіації товщини (TTV). Підтримка точності потоку та швидка, чуйна подача рідини є життєво важливими як для мінімізації дефектів, так і для продовження терміну служби дроту.
Часті запитання
Як рідина для різання кремнієвих пластин покращує продуктивність різання алмазним дротом?
Рідина для різання кремнієвих пластин служить як мастилом, так і охолоджуючою рідиною під час різання алмазним дротом. Її основна функція полягає у зменшенні тертя та розсіюванні тепла, що утворюється на межі між дротом і пластиною. Нижчі показники тертя та температури мінімізують мікротріщини та поверхневі подряпини, які можуть призвести до пошкодження пластини та зниження загального виходу продукції. Рідина також виносить сміття із зони різання, підтримуючи чистоту алмазного дроту та поверхні пластини. Таке безперервне видалення частинок призводить до більш гладких поверхонь пластин та підтримує стабільно високу якість виробництва. Наприклад, покращені нанорідини для різання з наночастинками SiO₂ та SiC можуть проникати глибше в пропил, зменшуючи шорсткість поверхні та деформацію пластини, що ще більше покращує вихід пластин для напівпровідникового використання.
Що таке витратомір рідини для різання та чому він важливий при розпилюванні пластин?
Витратомір рідини для різання вимірює точну кількість рідини, що подається в зону розпилювання. Підтримка точного потоку є життєво важливою для належного змащування, розсіювання тепла та видалення сміття. Якщо потік занадто низький, дріт перегрівається або накопичує сміття, що призводить до подряпин та тріщин. Надмірний потік може призвести до марнування рідини та створення дисбалансу тиску, що впливає на площинність пластини та термін служби інструменту. Витратоміри рідини для різання, такі як вбудовані густиноміри та вязкоміри, що виробляються Lonnmeter, допомагають операторам контролювати та регулювати подачу в режимі реального часу. Це гарантує, що процес залишається в межах оптимальних параметрів, максимізуючи вихід пластини та мінімізуючи знос інструменту.
Як вимірювання масової витрати Коріоліса впливає на керування рідиною для різання кремнієвих пластин?
Вимірювання масової витрати за допомогою Коріоліса є безцінним для високоточних вимірювань витрати у виробництві кремнієвих пластин. На відміну від традиційних витратомірів, датчики Коріоліса безпосередньо вимірюють масову витрату незалежно від в'язкості, щільності чи коливань температури рідини. Ця функція дозволяє точно контролювати різні типи рідин для різання пластин, включаючи ті, що містять наночастинки. Результатом є стабільна подача рідини для різання з правильною швидкістю, підтримка стабільного змащування та охолодження, незважаючи на коливання процесу. Ці переваги безпосередньо сприяють високій якості пластин у вимогливих умовах алмазного різання, де точний контроль зменшує кількість дефектів та оптимізує продуктивність.
Які фактори впливають на вимірювання швидкості потоку в алмазних дротяних пилах?
Точне вимірювання швидкості потоку залежить від кількох взаємопов'язаних змінних. Вибір датчика є ключовим; наприклад, датчики масової витрати Коріоліса забезпечують надійні дані навіть для в'язких або насичених частинками рідин. Склад рідини, такий як наявність наночастинок, може змінювати в'язкість і щільність і впливати на вимоги до калібрування датчика. Діаметр дроту та швидкість різання також впливають на кількість рідини, необхідної для ефективного охолодження та видалення сміття. Калібрування для кожного конкретного процесу є важливим для гарантії того, що датчик зчитує правильні значення, забезпечуючи правильну кількість рідини для різання для кожної партії.
Чи можуть нанорідини та ультразвукові методи покращити проникнення рідини під час різання кремнієвих пластин?
Дослідження показують, що нанорідини, особливо ті, що містять наночастинки SiO₂ та SiC, підвищують ефективність доставки рідини до критичного розділу дроту та пластини. Ці частинки допомагають рідині досягати мікроскопічних щілин, забезпечуючи краще охолодження та змащування. Крім того, методи ультразвукового капілярного ефекту ще більше покращують рух і проникнення рідини, особливо при різанні надтонкого дроту. Це означає, що для досягнення оптимальної продуктивності потрібно менше ріжучої рідини, а результати включають зниження адсорбції рідини, покращення морфології поверхні та зниження рівня дефектів. Ці досягнення підтримують перехід до тонших пластин більшого діаметра як у напівпровідниковій, так і в фотоелектричній промисловості, а датчики моніторингу ріжучої рідини забезпечують контрольований та стабільний процес протягом кожного виробничого циклу.
Час публікації: 25 грудня 2025 р.
