1. ئىلغار مەزمۇننى چۈشىنىشPسىلىقلاش
يېرىم ئۆتكۈزگۈچتە CMP دېگەن نېمە؟
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش (CMP)، يەنى خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تەكشىلەش دەپمۇ ئاتىلىدۇ، زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى تېخنىكىلىق جەھەتتىن ئەڭ قىيىن ۋە ئىقتىسادىي جەھەتتىن ئەڭ مۇھىم بولغان بىرلىك مەشغۇلاتلىرىنىڭ بىرى. بۇ ئالاھىدە جەريان كەم بولسا بولمايدىغان ئارىلاشما جەريان سۈپىتىدە ئىشلەيدۇ، خىمىيىلىك ئويۇش ۋە يۇقىرى دەرىجىدە كونترول قىلىنىدىغان فىزىكىلىق سۈركىلىشنىڭ بىرىكمە قوللىنىلىشى ئارقىلىق ۋافتا يۈزىنى ئىنچىكە سىلىقلايدۇ. ياساش دەۋرىيلىكىدە كەڭ قوللىنىلىدىغان CMP، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافتالارنى كېيىنكى قەۋەتلەر ئۈچۈن تەييارلاشتا مۇھىم بولۇپ، ئىلغار ئۈسكۈنە ئارخىتېكتۇرىسى تەلەپ قىلىدىغان يۇقىرى زىچلىقتىكى بىرلەشتۈرۈشنى بىۋاسىتە ئىشقا ئاشۇرىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانىدىكى CMP
*
نىڭ چوڭقۇر زۆرۈرىيىتىخىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاشزامانىۋى لىتوگرافىيەنىڭ فىزىكىلىق تەلىپىگە ئاساسلانغان. بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئالاھىدىلىكلىرى قىسقىراپ، كۆپ قەۋەتلەر تىك ھالەتتە يىغىلىپ تۇرغاندا، بۇ جەرياننىڭ ماتېرىيالنى بىردەك چىقىرىۋېتىش ۋە دۇنياۋى تەكشى يۈز ھاسىل قىلىش ئىقتىدارى تولىمۇ مۇھىم بولۇپ قالىدۇ. دىنامىك سىلىقلاش بېشى ھەر خىل ئوقلار بويىچە ئايلىنىدىغان قىلىپ لايىھەلەنگەن بولۇپ، ۋافېرنىڭ پۈتۈن يۈزىدىكى تەرتىپسىز يەر شەكلىنى ئىنچىكە تۈزلەيدۇ. نەقىشلەرنى مۇۋەپپەقىيەتلىك يۆتكەش ئۈچۈن، بولۇپمۇ ئىنتايىن ئۇلترابىنەفشە نۇر (EUV) لىتوگرافىيەسى قاتارلىق ئەڭ يېڭى تېخنىكىلار بىلەن، پۈتۈن بىر تەرەپ قىلىنغان يۈز ئىنتايىن تار چوڭقۇرلۇقتىكى مەيدان دائىرىسى ئىچىدە بولۇشى كېرەك - بۇ زامانىۋى 22 نانومېتىردىن تۆۋەن تېخنىكىلار ئۈچۈن ئانگستروم دەرىجىلىك تەكشىلىكنى تەلەپ قىلىدىغان گېئومېتىرىيەلىك چەكلىمە. تەكشىلەش كۈچى بولمىسا.cmp يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانى، كېيىنكى فوتولىتوگرافىيە باسقۇچلىرى ماسلىشىش خاتالىقى، ئەندىزە بۇرمىلىنىشى ۋە مەھسۇلات مىقدارىنىڭ زور دەرىجىدە تۆۋەنلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
CMP نىڭ كەڭ كۆلەمدە قوللىنىلىشى سانائەتنىڭ ئادەتتىكى ئاليۇمىن ئۆتكۈزگۈچلەردىن يۇقىرى ئىقتىدارلىق مىس ئۇلىنىشلىرىغا ئۆزگىرىشى بىلەن مۇھىم دەرىجىدە ئىلگىرى سۈرۈلدى. مىس مېتاللاشتۇرۇش قوشۇمچە شەكىللەندۈرۈش جەريانى، يەنى داماسكېن تېخنىكىسىنى ئىشلىتىدۇ، بۇ ئاساسەن CMP نىڭ ئارتۇق مىسنى تاللاپ ۋە بىردەك چىقىرىۋېتىش ۋە مېتال بىلەن ئوكسىد ئىزولياتسىيە قەۋىتى ئوتتۇرىسىدىكى چەكتە چىقىرىۋېتىش ھەرىكىتىنى توختىتىۋېتىش ئىقتىدارىغا تايىنىدۇ. بۇ يۇقىرى تاللاشچان ماتېرىيال چىقىرىۋېتىش جەريانىنى بەلگىلەيدىغان نازۇك خىمىيىلىك ۋە مېخانىكىلىق تەڭپۇڭلۇقنى تەكىتلەيدۇ، بۇ تەڭپۇڭلۇق پارقىراقلاشتۇرۇش ۋاسىتىسىدىكى كىچىك تەۋرىنىشلەر تەرىپىدىن دەرھال بۇزۇلىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا CMP نىڭ فۇنكسىيەلىرى
يەر شەكلىنىڭ ئىنتايىن تۆۋەن ئۆزگىرىشچانلىقىغا بولغان مەجبۇرىي تەلەپ يان تەرەپتىكى مەقسەت ئەمەس، بەلكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشەنچلىك ئىشلىشىنىڭ بىۋاسىتە فۇنكسىيەلىك ئالدىنقى شەرتى بولۇپ، كۆپ قاتلاملىق قۇرۇلمىلاردا توك ئېقىمىنىڭ مۇۋاپىق بولۇشى، ئىسسىقلىقنىڭ تارقىلىشى ۋە فۇنكسىيەلىك ماسلىشىشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. CMP نىڭ ئاساسلىق ۋەزىپىسى يەر شەكلىنى باشقۇرۇش بولۇپ، كېيىنكى بارلىق مۇھىم بىر تەرەپ قىلىش باسقۇچلىرى ئۈچۈن ئالدىنقى شەرت بولغان تەكشىلىكنى بېكىتىشتىن ئىبارەت.
كونكرېت قوللىنىش ماتېرىياللارنى تاللاش ۋە ئۇنىڭغا ماس كېلىدىغان ئۇسۇلنى بەلگىلەيدۇ.سۇيۇقلۇق فورمۇلاسىCMP جەريانلىرى ۋولفرام، مىس، كرېمنىي دىئوكسىد (SiO2) قاتارلىق ھەر خىل ماتېرىياللارنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن تەرەققىي قىلدۇرۇلدى.2)، ۋە كرېمنىي نىترىدى (SiN). سۇيۇقلۇقلار يۇقىرى تۈزلەش ئۈنۈمى ۋە ساياز ئۆستەڭ ئايرىش (STI) ۋە قەۋەت ئارا دىئېلېكترىك (ILD) قاتارلىق ھەر خىل قوللىنىشچان ساھەلەردە ئالاھىدە ماتېرىيال تاللاشچانلىقى ئۈچۈن ئىنچىكە ئەلالاشتۇرۇلغان. مەسىلەن، يۇقىرى ئىقتىدارلىق سېرىيا سۇيۇقلۇقى باسقۇچلۇق تۈزلەش، بىردەكلىك ۋە نۇقسان چاستوتا ئازايتىش جەھەتتىكى ئۈستۈنلۈكى سەۋەبىدىن ILD قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن ئالاھىدە ئىشلىتىلىدۇ. بۇ سۇيۇقلۇقلارنىڭ يۇقىرى دەرىجىدە ئالاھىدە تەبىئىتى، سىلىقلاش ۋاسىتىسىنىڭ سۇيۇقلۇق دىنامىكىسىدىكى ئۆزگىرىشلەردىن كېلىپ چىققان جەرياننىڭ مۇقىمسىزلىقىنىڭ تاللاش خاراكتېرلىك ماتېرىيال چىقىرىۋېتىشنىڭ ئاساسىي تەلىپىنى دەرھال بۇزۇۋېتىدىغانلىقىنى ئىسپاتلايدۇ.
2. CMP سۇيۇقلۇقىنىڭ ساغلاملىقىنىڭ مۇھىم رولى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانىدىكى CMP
نىڭ داۋاملىق ئۈنۈملۈكلۈكىخىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش CMP جەريانىبۇ پۈتۈنلەي سۇلياۋنىڭ مۇقىم يەتكۈزۈلۈشى ۋە ئىقتىدارىغا تايىنىدۇ، بۇ سۇيۇقلۇق زۆرۈر خىمىيىلىك رېئاكسىيەلەرنى ۋە مېخانىكىلىق سۈركىلىشنى ئىلگىرى سۈرىدىغان مۇھىم ۋاسىتە رولىنى ئوينايدۇ. بۇ مۇرەككەپ سۇيۇقلۇق، كوللوئىدلىق سۇسپېنزىيە دەپ خاراكتېرلىنىدۇ، خىمىيىلىك ماددىلار (ئوكسىدلىغۇچىلار، تېزلەتكۈچلەر ۋە چىرىشنىڭ ئالدىنى ئالغۇچىلار) ۋە نانو چوڭلۇقتىكى سۈركىلىش زەررىچىلىرى قاتارلىق ئاساسلىق تەركىبلىرىنى ئۈزلۈكسىز ۋە بىردەك ھالدا دىنامىك ۋافېر يۈزىگە يەتكۈزۈشى كېرەك.
سۇيۇقلۇق تەركىبى مەلۇم بىر خىمىيىلىك رېئاكسىيەنى قوزغاش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن: ئەڭ ياخشى جەريان نىشان ماتېرىيالدا پاسسىپ، ئېرىمەيدىغان ئوكسىد قەۋىتى ھاسىل قىلىشقا تايىنىدۇ، ئاندىن ئۇ سۈرتكۈچ زەررىچىلەر تەرىپىدىن مېخانىكىلىق ھالدا چىقىرىۋېتىلىدۇ. بۇ مېخانىزم ئۈنۈملۈك تۈزلەش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان يۇقىرى يۈزەكى توپوگرافىيەلىك تاللاشچانلىقنى بېرىدۇ، چىقىرىۋېتىش ھەرىكىتىنى يۇقىرى نۇقتىلارغا ياكى چىقىپ تۇرغان نۇقتىلارغا مەركەزلەشتۈرىدۇ. ئەكسىچە، ئەگەر خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئېرىيدىغان ئوكسىد ھالىتىنى پەيدا قىلسا، ماتېرىيالنى چىقىرىۋېتىش ئىزوتروپ بولۇپ، تەلەپ قىلىنىدىغان توپوگرافىيەلىك تاللاشچانلىقنى يوقىتىدۇ. سۇيۇقلۇقنىڭ فىزىكىلىق تەركىبلىرى ئادەتتە 30 دىن 200 نانومېتىرغىچە بولغان، ئېغىرلىقى %0.3 تىن 12 گىچە بولغان قاتتىق ماددىلارنىڭ قويۇقلۇقىدا ئېسىلىپ تۇرىدىغان سۈرتكۈچ زەررىچىلەردىن (مەسىلەن، كرېمنىي، سېرىيا) تەركىب تاپىدۇ.
CMP سۇيۇقلۇق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ
سالامەتلىكىنى ساقلاشCMP سۇيۇقلۇقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچئۇنىڭ ھاياتلىق دەۋرىيلىكىدە ئۈزلۈكسىز خاراكتېرنى ئېنىقلاش ۋە كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ، چۈنكى بىر تەرەپ قىلىش ياكى ئايلىنىش جەريانىدا ھەر قانداق بۇزۇلۇش زور مىقداردىكى ئىقتىسادىي زىياننى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. نانو كۆلەمدىكى سىلىقلىقى ۋە نۇقسان دەرىجىسى بىلەن بەلگىلىنىدىغان ئاخىرقى سىلىقلانغان تاختاينىڭ سۈپىتى، سۇيۇقلۇقنىڭ زەررىچە چوڭلۇقىنىڭ تەقسىملىنىشى (PSD) ۋە ئومۇمىي مۇقىملىقى بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك.
ھەر خىل ئالاھىدىلىكلەرنىڭ ئالاھىدە تەبىئىتىcmp سۇيۇقلۇقى تۈرلىرىبۇ دېگەنلىك، نانو چوڭلۇقتىكى زەررىچىلەرنىڭ سۇسپېنزىيە ئىچىدىكى نەپىس ئېلېكتروستاتىك كۈچلەر تەرىپىدىن مۇقىملاشتۇرۇلىدىغانلىقىنى بىلدۈرىدۇ. سۇسلاش ماددىلار كۆپىنچە قويۇقلاشتۇرۇلغان شەكىلدە تەمىنلىنىدۇ، شۇڭا ئىشلەپچىقىرىش ئورنىدا سۇ ۋە ئوكسىدلىغۇچىلار بىلەن ئېنىق سۇيۇلدۇرۇش ۋە ئارىلاشتۇرۇش تەلەپ قىلىنىدۇ. ئەڭ مۇھىمى، ستاتىك ئارىلاشتۇرۇش نىسبىتىگە تايىنىش ئاساسەن خاتالىق، چۈنكى كىرگۈزۈلگەن قويۇق ماتېرىيال تۈركۈم بويىچە زىچلىق پەرقىنى كۆرسىتىدۇ.
جەرياننى كونترول قىلىش ئۈچۈن، PSD ۋە زېتا پوتېنسىيالىنى (كوللوئىد مۇقىملىقى) بىۋاسىتە تەھلىل قىلىش ناھايىتى مۇھىم بولسىمۇ، بۇ تېخنىكىلار ئادەتتە ئۈزۈلۈپ قالغان، تور سىرتىدىكى تەھلىلگە چۈشۈرۈلىدۇ. HVM مۇھىتىنىڭ مەشغۇلات رېئاللىقى ھەقىقىي ۋاقىتلىق، دەرھال ئىنكاس قايتۇرۇشنى تەلەپ قىلىدۇ. شۇڭا، زىچلىق ۋە يېپىشقاقلىق سۇيۇقلۇقنىڭ ساغلاملىقى ئۈچۈن ئەڭ ئۈنۈملۈك ۋە ئەمەلىي ئىشلىتىشكە بولىدىغان ئىچكى كۆرسەتكۈچ بولۇپ خىزمەت قىلىدۇ. زىچلىق مۇھىتتىكى ئومۇمىي سۈرتكۈچ قاتتىق ماددىلارنىڭ قويۇقلۇقىنى تېز ۋە ئۈزلۈكسىز ئۆلچەيدۇ. يېپىشقاقلىقمۇ ئوخشاشلا مۇھىم بولۇپ، سۇيۇقلۇقنىڭ كوللوئىد ھالىتى ۋە ئىسسىقلىق پۈتۈنلۈكىنىڭ يۇقىرى سەزگۈر كۆرسەتكۈچى سۈپىتىدە رول ئوينايدۇ. مۇقىمسىز يېپىشقاقلىق دائىم سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنى سىگنال قىلىدۇ.توپلىنىشياكى قايتا بىرىكتۈرۈش، بولۇپمۇ دىنامىك قىرقىش شارائىتى ئاستىدا. شۇڭا، بۇ ئىككى رېئولوگىيەلىك پارامېتىرنى ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىش ۋە كونترول قىلىش، سۇيۇقلۇقنىڭ ئىستېمال قىلىش نۇقتىسىدا بەلگىلەنگەن خىمىيىلىك ۋە فىزىكىلىق ھالىتىنى ساقلاپ قالغانلىقىنى جەزملەشتۈرۈش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان دەرھال، ھەرىكەتچان ئىنكاس ئايلىنىشىنى تەمىنلەيدۇ.
3. مېخانىزم مەغلۇبىيىتىنى تەھلىل قىلىش: نۇقسان قوزغاتقۇچلىرى
CMP زىچلىقى ۋە يېپىشقاقلىق ئۆزگىرىشىنىڭ كەلتۈرۈپ چىقارغان سەلبىي تەسىرى
جەرياننىڭ ئۆزگىرىشچانلىقى يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىدا مەھسۇلات مىقدارى خەۋپ-خەتىرىنىڭ ئەڭ چوڭ تۆھپىسى دەپ قارىلىدۇ.يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا cmp. سۇيۇقلۇقنىڭ خۇسۇسىيىتى، ئومۇمەن قىلىپ ئېيتقاندا «سۇيۇقلۇقنىڭ ساغلاملىقى» دەپ ئاتىلىدۇ، پومپا قىرقىش، تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى ۋە ئارىلاشتۇرۇشتىكى ماسسىزلىق قاتارلىقلارنىڭ تەسىرىگە ئاسان ئۇچرايدۇ. سۇيۇقلۇق ئېقىم سىستېمىسىدىن كېلىپ چىققان خاتالىقلار پەقەت مېخانىكىلىق مەسىلىلەردىن پەرقلىنىدۇ، ئەمما ھەر ئىككىسى ئېغىر لېنتا قالدۇقلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ھەمدە كۆپىنچە ۋاقىتلاردا بىر تەرەپ قىلىنغاندىن كېيىنكى ئاخىرقى نۇقتا سىستېمىلىرى تەرىپىدىن بەك كېچىكىپ بايقىلىدۇ.
ئىچىدە ھەددىدىن زىيادە چوڭ زەررىچىلەر ياكى توپلاملارنىڭ بولۇشىcmp يېرىم ئۆتكۈزگۈچماتېرىيالنىڭ سىلىقلانغان ۋافېر يۈزىدە مىكرو تىرناق ۋە باشقا ئەجەللىك نۇقسانلارنىڭ پەيدا بولۇشى بىلەن ئېنىق مۇناسىۋەتلىك ئىكەنلىكى ئېنىق. ئاساسلىق رېئولوگىيەلىك پارامېتىرلار - يېپىشقاقلىق ۋە زىچلىقتىكى ئۆزگىرىشلەر - سۇيۇقلۇقنىڭ پۈتۈنلۈكىنىڭ بۇزۇلۇپ كەتكەنلىكىنىڭ ئۈزلۈكسىز، ئاساسلىق كۆرسەتكۈچى بولۇپ، نۇقسان شەكىللىنىش مېخانىزمىنى باشلايدۇ.
سۇيۇقلۇقنىڭ يېپىشقاقلىقىدىكى ئۆزگىرىشلەر (مەسىلەن، توپلىنىش، قىرقىشنىڭ ئۆزگىرىشىگە ئېلىپ كېلىدۇ)
يېپىشقاقلىق تېرمودىنامىكىلىق خۇسۇسىيەت بولۇپ، ئۇ ئېقىن ھەرىكىتى ۋە سىلىقلاش يۈزىدىكى سۈركىلىش دىنامىكىسىنى باشقۇرىدۇ، شۇڭا ئۇنى مۇھىت ۋە مېخانىكىلىق بېسىمغا ئالاھىدە سەزگۈر قىلىدۇ.
نىڭ خىمىيىلىك ۋە فىزىكىلىق ئىقتىدارىسۇيۇقلۇقنىڭ قويۇقلۇقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچبۇ سىستېما تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش سىستېمىسىغا ئىنتايىن تايىنىدۇ. تەتقىقاتلار شۇنى ئىسپاتلايدۇكى، ھەتتا جەريان تېمپېراتۇرىسىنىڭ ئازراق 5 سېلسىيە گرادۇسقا ئۆزگىرىشىمۇ سۇيۇقلۇقنىڭ قويۇقلۇقىنى تەخمىنەن %10 تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن. رېئولوگىيەدىكى بۇ ئۆزگىرىش بىۋاسىتە لېنتىنى سىلىقلاش ياستۇقچىسىدىن ئايرىيدىغان گىدرودىنامىك پەردە قېلىنلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. قويۇقلۇقنىڭ تۆۋەنلىشى مايلاشنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇنىڭ نەتىجىسىدە مېخانىكىلىق سۈركىلىش كۈچىيىدۇ، بۇ مىكرو چىزىقلارنىڭ پەيدا بولۇشىنىڭ ئاساسلىق سەۋەبى ۋە ياستۇقچىنىڭ تېز سۈرئەتتە سەرپ قىلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
مۇھىم پارچىلىنىش يولى قىرقىش سەۋەبىدىن زەررىچىلەرنىڭ توپلىنىشىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. كرېمنىي ئاساسلىق سۇلياۋلار نېپىز ئېلېكتروستاتىك ئىتتىرىش كۈچى ئارقىلىق زەررىچىلەرنىڭ ئايرىلىشىنى ساقلايدۇ. سۇلياۋ يۇقىرى قىرقىش بېسىمىغا دۇچ كەلگەندە - ئادەتتە نورمالسىز ئەنئەنىۋى مەركەزدىن قاچۇرۇش پومپىسى ياكى تارقىتىش ھالقىسىدا كەڭ كۆلەمدە قايتا ئايلىنىش سەۋەبىدىن - بۇ كۈچلەرنى يېڭىپ، تېز ۋە قايتۇرغىلى بولمايدىغان ئەھۋالغا ئېلىپ كېلىدۇ.توپلىنىشسۈرتكۈچ زەررىچىلەر. نەتىجىدە پەيدا بولغان چوڭ تىپتىكى پارچىلار مىكرو قىرىش قورالى سۈپىتىدە رول ئوينايدۇ، بۇ ئارقىلىق بىۋاسىتە ۋافېر يۈزىدە ئاپەت خاراكتېرلىك مىكرو تىرناقلارنى پەيدا قىلىدۇ. ھەقىقىي ۋاقىتلىق ۋىسكوزېترىيە بۇ ۋەقەلەرنى بايقاش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئىنكاس مېخانىزمى بولۇپ، چوڭ كۆلەملىك نۇقسان پەيدا بولۇشتىن بۇرۇن پومپا ۋە تارقىتىش سىستېمىسىنىڭ «يۇمشاقلىقى» نى جەزملەشتۈرۈشتە مۇھىم رول ئوينايدۇ.
بۇنىڭ نەتىجىسىدە پەيدا بولغان يېپىشقاقلىقنىڭ ئۆزگىرىشى تۈزلەش ئۈنۈمىگە ئېغىر دەرىجىدە تەسىر كۆرسىتىدۇ. يېپىشقاقلىق سىلىقلاش جەريانىدا سۈركىلىش كوئېففىتسېنتىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان ئاساسلىق ئامىل بولغاچقا، يېپىشقاقلىقنىڭ تەكشى بولماسلىقى ماتېرىيالنىڭ چىقىرىلىش سۈرئىتىنىڭ مۇقىم بولماسلىقىغا ئېلىپ كېلىدۇ. يەرلىك يېپىشقاقلىقنىڭ ئېشىشى، بولۇپمۇ ۋافېرنىڭ يەر شەكلىنىڭ كۆتۈرۈلگەن ئالاھىدىلىكلىرىدە يۈز بېرىدىغان يۇقىرى قىرقىش سۈرئىتىدە، سۈركىلىش دىنامىكىسىنى ئۆزگەرتىپ، تۈزلەش نىشانىغا زىيان يەتكۈزىدۇ، ئاخىرىدا يەر شەكلىنىڭ داغلىنىشى ۋە ئېروزىيە قاتارلىق نۇقسانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
سۇيۇقلۇق زىچلىقىدىكى ئۆزگىرىشلەر
سۇيۇقلۇقنىڭ زىچلىقى سۇيۇقلۇق ئىچىدە قېلىپ قالغان قاتتىق ماددىلارنىڭ ئومۇمىي قويۇقلۇقىنىڭ تېز ۋە ئىشەنچلىك كۆرسەتكۈچى. زىچلىقنىڭ ئۆزگىرىشى سۇيۇقلۇقنىڭ تەكشى ئەمەسلىكىنى كۆرسىتىدۇ، بۇ ماتېرىيالنى چىقىرىۋېتىش سۈرئىتى (MRR) ۋە نۇقساننىڭ شەكىللىنىشىدىكى ئۆزگىرىشلەر بىلەن باغلىنىشلىق.
مەشغۇلات مۇھىتى سۇيۇقلۇق تەركىبىنى دىنامىك تەكشۈرۈشنى تەلەپ قىلىدۇ. پەقەت بەلگىلەنگەن مىقداردا سۇ ۋە ئوكسىدلىغۇچىنى كىرگۈزۈشكە تايىنىش يېتەرلىك ئەمەس، چۈنكى خام ماتېرىيالنىڭ زىچلىقى دائىم ئوخشىمايدۇ، بۇ قورال بېشىدىكى جەريان نەتىجىسىنىڭ مۇقىم بولماسلىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، ئېقىش سۈرئىتى ياكى كوللوئىد مۇقىملىقى يېتەرلىك بولمىسا، سۈرتكۈچ زەررىچىلەر، بولۇپمۇ يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى سېرىيا زەررىچىلىرى، چۆكمىگە ئۇچرايدۇ. بۇ چۆكمە ئېقىش لىنىيەسىدە يەرلىك زىچلىق گرادىيېنتى ۋە ماتېرىيالنىڭ يىغىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ بولسا مۇقىم سۈرتكۈچ يۈكىنى يەتكۈزۈش ئىقتىدارىغا زور دەرىجىدە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
How DكۈچلۈكلۈكDچەتكە قېقىشلارAffۋە باشقا ManufacتۇرингProcess?.
تۇراقسىز سۇيۇقلۇق زىچلىقىنىڭ بىۋاسىتە ئاقىۋەتلىرى سىلىقلانغان يۈزىدە مۇھىم فىزىكىلىق نۇقسانلار سۈپىتىدە ئىپادىلىنىدۇ:
بىردەك بولمىغان چىقىرىۋېتىش نىسبىتى (WIWNU):زىچلىقتىكى ئۆزگىرىشلەر بىۋاسىتە سىلىقلاش يۈزىدىكى ئاكتىپ سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنىڭ قويۇقلۇقىدىكى ئۆزگىرىشلەرگە ئايلىنىدۇ. بەلگىلەنگەن زىچلىقتىن تۆۋەن زىچلىق سۈرتكۈچ قويۇقلۇقىنىڭ تۆۋەنلىشىنى كۆرسىتىدۇ، بۇ MRR نىڭ تۆۋەنلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ۋە ۋافېر ئىچىدىكى قوبۇل قىلغىلى بولمايدىغان تەكشىسىزلىكنى (WIWNU) پەيدا قىلىدۇ. WIWNU ئاساسىي تۈزلەش تەلىپىنى بۇزىدۇ. ئەكسىچە، يەرلىك يۇقىرى زىچلىق ئۈنۈملۈك زەررىچە يۈكىنى ئاشۇرۇپ، ئارتۇقچە ماتېرىيالنىڭ چىقىرىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. زىچلىقنى قاتتىق كونترول قىلىش سۈرتكۈچنىڭ مۇقىم يەتكۈزۈلۈشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، بۇ مۇقىم سۈركىلىش كۈچى ۋە مۆلچەرلىگىلى بولىدىغان MRR بىلەن كۈچلۈك مۇناسىۋەتلىك.
يەرلىك سۈرتۈش ئۆزگىرىشلىرى سەۋەبىدىن چوققا پەيدا بولۇش:يەرلىك قاتتىق ماددىلارنىڭ يۇقىرى قويۇقلۇقى، كۆپىنچە چۆكۈش ياكى ئارىلاشتۇرۇشنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقى سەۋەبىدىن، ۋافېر يۈزىدە ھەر بىر زەررىچىگە يۇقىرى يۈك پەيدا بولىدۇ. قاتتىق زەررىچىلەر، بولۇپمۇ سېرىيا، ئوكسىدلىق ئەينەك قەۋىتىگە چىڭ چاپلىشىپ، يۈزەكى بېسىم مەۋجۇت بولغاندا، مېخانىكىلىق يۈك ئەينەك قەۋىتىنىڭ سۇنۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، چوڭقۇر، ئۆتكۈر قىرلىق يېرىقلارنى پەيدا قىلىدۇ.چۇقۇرنۇقسانلار. بۇ سۈرتۈش ئۆزگىرىشلىرى سۈزۈشنىڭ بۇزۇلۇشى سەۋەبىدىن كېلىپ چىقىشى مۇمكىن، بۇ زەررىچە سۇسپېنزىيەسىنىڭ ناچارلىقىدىن كېلىپ چىققان چوڭ تىپتىكى پارچىلارنىڭ (0.5 مىليون دوللاردىن چوڭ زەررىچىلەر) ئۆتۈشىگە يول قويىدۇ. زىچلىقنى نازارەت قىلىش زەررىچە ھېسابلىغۇچلارغا مۇھىم، تولۇقلىغۇچى ئاگاھلاندۇرۇش سىستېمىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ جەريان ئىنژېنېرلىرىنىڭ سۈرتۈش توپلىنىشىنىڭ باشلىنىشىنى بايقاش ۋە سۈرتۈش يۈكىنى مۇقىملاشتۇرۇشىغا يول قويىدۇ.
ناچار زەررىچە سۇسپېنزىيەسىدىن قالغان ماددىلارنىڭ شەكىللىنىشى:سۇسپېنزىيە مۇقىمسىز بولغاندا، يۇقىرى زىچلىقتىكى گرادىيېنتلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، قاتتىق ماتېرىياللار ئېقىم قۇرۇلمىسىدا توپلىنىپ، زىچلىق دولقۇنى ۋە تارقىتىش سىستېمىسىدا ماتېرىياللارنىڭ يىغىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.17بۇنىڭدىن باشقا، سىلىقلاش جەريانىدا، سۇيۇقلۇق خىمىيىلىك رېئاكسىيە مەھسۇلاتلىرى ۋە مېخانىكىلىق ئۇپراش قالدۇقلىرىنى ئۈنۈملۈك ھالدا ئېلىپ كېتىشى كېرەك. ئەگەر زەررىچە سۇسپېنزىيەسى ياكى سۇيۇقلۇقنىڭ دىنامىكىسى مۇقىمسىزلىق سەۋەبىدىن ناچار بولسا، بۇ قالدۇقلار ۋافلىنىڭ يۈزىدىن ئۈنۈملۈك چىقىرىۋېتىلمەيدۇ، بۇنىڭ نەتىجىسىدە CMP دىن كېيىنكى زەررىچە ۋە خىمىيىلىك ماددىلار ...قالدۇقكەمتۈكلۈكلەر. پاكىز ۋە ئۈزلۈكسىز ماتېرىيال چىقىرىۋېتىش ئۈچۈن، ئۈزلۈكسىز رېئولوگىيەلىك كۆزىتىش ئارقىلىق مۇقىم زەررىچە سۇسپېنزىيەسى مەجبۇرىي.
زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ھەققىدە كۆپرەك مەلۇمات ئېلىڭ
تېخىمۇ كۆپ توردا جەريان ئۆلچەش ئەسۋابلىرى
4. ئىچكى ئۆلچەشنىڭ تېخنىكىلىق ئۈستۈنلۈكى
لوننمېتىر ئىچكى زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋە ۋىسكوزىمېتىرلىرى
CMP نىڭ ئۆزگىرىشچان جەريانىنى مۇۋەپپەقىيەتلىك مۇقىملاشتۇرۇش ئۈچۈن، سۇيۇقلۇقنىڭ ساغلاملىق پارامېتىرلىرىنى ئۈزلۈكسىز، تاجاۋۇزسىز ئۆلچەش ئىنتايىن مۇھىم.لوننمېتىر ئىچكى زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋە ۋىسكوزىمېتىرلىرىيۇقىرى دەرىجىدە ئىلغار رېزونانس سېنزور تېخنىكىسىدىن پايدىلىنىپ، ئەنئەنىۋى، كېچىكىشكە مايىل ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرىگە سېلىشتۇرغاندا ئۈستۈن ئىقتىدار بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇ ئىقتىدار ئېقىم يولىغا بىۋاسىتە بىرلەشتۈرۈلگەن ئۈزۈكسىز ۋە ئۈزلۈكسىز زىچلىقنى نازارەت قىلىشقا شارائىت ھازىرلايدۇ، بۇ زامانىۋى 28nm دىن تۆۋەن جەريان تۈگۈنلىرىنىڭ قاتتىق ساپلىق ۋە ئارىلاشتۇرۇش توغرىلىق ئۆلچىمىگە يېتىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
ئۇلارنىڭ ئاساسلىق تېخنىكا پىرىنسىپلىرى، ئۆلچەش ئېنىقلىقى، جاۋاب قايتۇرۇش سۈرئىتى، مۇقىملىقى، قاتتىق CMP مۇھىتىدىكى ئىشەنچلىكلىكى قاتارلىقلارنى تەپسىلىي چۈشەندۈرۈڭ ۋە ئۇلارنى ئەنئەنىۋى تورسىز ئۇسۇللاردىن پەرقلەندۈرۈڭ.
ئۈنۈملۈك جەريان ئاپتوماتلاشتۇرۇش يۇقىرى ئېقىم، يۇقىرى بېسىم ۋە سۈرتكۈچ خىمىيىلىك ماددىلارنىڭ تەسىرىگە ئۇچراش قاتارلىق دىنامىك شارائىتلاردا ئىشەنچلىك ئىشلەيدىغان، كونترول سىستېمىلىرىغا دەرھال ئىنكاس قايتۇرىدىغان سېنزورلارنى تەلەپ قىلىدۇ.
ئاساسلىق تېخنىكا پىرىنسىپلىرى: رېزوناتورنىڭ ئەۋزەللىكى
لونمېتىر ئەسۋابلىرى ئەنئەنىۋى، تار دىئامېتىرلىق U شەكىللىك زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنىڭ ئىچكى ئاجىزلىقلىرىنى ئازايتىش ئۈچۈن مەخسۇس لايىھەلەنگەن كۈچلۈك رېزونانس تېخنىكىسىنى ئىشلىتىدۇ، بۇ خىل ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ئىسراپچىلىق كوللوئىدلىق ئاسما ماتېرىياللار بىلەن بىر لىنىيەدە ئىشلىتىشتە مەسىلە پەيدا قىلىدىغانلىقى مەلۇم.
زىچلىقنى ئۆلچەش:بۇسۇلياۋ زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابىئادەتتە چاتال قۇرۇلمىسى ياكى بىرلىكتە ئوقلۇق رېزوناتور قاتارلىق تولۇق كەپشەرلەنگەن تىترەش ئېلېمېنتىنى ئىشلىتىدۇ. بۇ ئېلېمېنت پىئېزو ئېلېكترلىك ئۇسۇلدا قوزغىتىلىپ، ئۆزىگە خاس تەبىئىي چاستوتىسىدا تەۋرىنىدۇ. ئەتراپتىكى سۇيۇقلۇقنىڭ زىچلىقىدىكى ئۆزگىرىشلەر بۇ تەبىئىي چاستوتىدا ئېنىق ئۆزگىرىش پەيدا قىلىپ، بىۋاسىتە ۋە يۇقىرى ئىشەنچلىك زىچلىقنى بېكىتىشكە يول قويىدۇ.
يېپىشقاقلىقنى ئۆلچەش:بۇئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى سۇسلاشما ۋىسكوزىمېتىرىسۇيۇقلۇق ئىچىدە تەۋرىنىپ تۇرىدىغان چىداملىق سېنزور ئىشلىتىدۇ. بۇ لايىھە يېپىشقاقلىق ئۆلچىمىنىڭ سۇيۇقلۇق ئېقىمىنىڭ تەسىرىدىن ئايرىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ، بۇ ماتېرىيالنىڭ رېئولوگىيەسىنىڭ ئىچكى ئۆلچىمى بىلەن تەمىنلەيدۇ.
مەشغۇلات ئىقتىدارى ۋە چىدامچانلىقى
ئىچكى رېزونانسلىق ئۆلچەش تېخنىكىسى قاتتىق HVM كونترول قىلىش ئۈچۈن مۇھىم بولغان مۇھىم ئىقتىدار كۆرسەتكۈچلىرىنى تەمىنلەيدۇ:
ئېنىقلىق ۋە جاۋاب قايتۇرۇش سۈرئىتى:ئىچكى سىستېمىلار يۇقىرى تەكرارلىنىشچانلىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ، كۆپىنچە ھاللاردا يېپىشقاقلىق ۋە زىچلىقنىڭ توغرىلىقى ئۈچۈن %0.1 دىن يۇقىرى بولۇپ، 0.001 g/cc غىچە يېتىدۇ. كۈچلۈك جەريان كونترول قىلىش ئۈچۈن، بۇ يۇقىرىئېنىقلىق— ئوخشاش قىممەتنى ئۈزلۈكسىز ئۆلچەش ۋە كىچىك پەرقلەرنى ئىشەنچلىك ھالدا بايقاش ئىقتىدارى — كۆپىنچە چەكتىكى مۇتلەق توغرىلىقتىن قىممەتلىك. ئەڭ مۇھىمى، سىگنالجاۋاب قايتۇرۇش ۋاقتىبۇ سېنزورلار ئۈچۈن ئىنتايىن تېز بولۇپ، ئادەتتە تەخمىنەن 5 سېكۇنت. بۇ دېگۈدەك دەرھال ئىنكاس قايتۇرۇش ئىقتىدارى دەرھال خاتالىقنى بايقاش ۋە ئاپتوماتىك يېپىق ھالەتتىكى تەڭشەشنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ، بۇ بولسا ئېقىشنىڭ ئالدىنى ئېلىشنىڭ ئاساسلىق تەلىپى.
قاتتىق مۇھىتتىكى مۇقىملىق ۋە ئىشەنچلىكلىك:CMP لايلىرى تەبىئىي ھالدا ئاكتىپ. زامانىۋى ئىچكى ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرى چىدامچانلىق ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ، تۇرۇبا يولىغا بىۋاسىتە ئورنىتىش ئۈچۈن ئالاھىدە ماتېرىياللار ۋە سەپلىمىلەرنى ئىشلىتىدۇ. بۇ سېنزورلار كەڭ دائىرىدىكى بېسىم (مەسىلەن، 6.4 MPa غىچە) ۋە تېمپېراتۇرا (350 ℃ غىچە) دائىرىسىدە ئىشلەشكە لايىھەلەنگەن. U شەكىللىك تۇرۇبا بولمىغان لايىھە سۈرتكۈچ ماددىلار بىلەن مۇناسىۋەتلىك ئۆلۈك رايونلار ۋە توسۇلۇپ قېلىش خەۋپىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ، سېنزورنىڭ ئىشلەش ۋاقتى ۋە ئىشلىتىش ئىشەنچلىكلىكىنى ئەڭ چوڭ چەككە يەتكۈزىدۇ.
ئەنئەنىۋى تورسىز ئۇسۇللاردىن پەرقلەندۈرۈش
ئاپتوماتىك ئىچكى سىستېمىلار بىلەن قولدا تورسىز ئۇسۇللار ئوتتۇرىسىدىكى فۇنكسىيەلىك پەرقلەر رېئاكتىپ نۇقسان كونترول قىلىش بىلەن ئاكتىپ جەرياننى ئەلالاشتۇرۇش ئوتتۇرىسىدىكى پەرقنى بەلگىلەيدۇ.
| كۆزىتىش ئۆلچىمى | تورسىز (لابوراتورىيە ئەۋرىشكىسى/U-تۇبۇك زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى) | ئىچكى (لوننمېتىر زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى/ۋىسكوزىمېتىر) | جەرياننىڭ تەسىرى |
| ئۆلچەش سۈرئىتى | كېچىكىپ قالدى (سائەت) | ھەقىقىي ۋاقىت، ئۈزلۈكسىز (جاۋاب قايتۇرۇش ۋاقتى كۆپىنچە 5 سېكۇنت) | ئالدىنى ئېلىش خاراكتېرلىك، يېپىق دەۋرىيلىك جەرياننى كونترول قىلىشنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ. |
| سانلىق مەلۇماتلارنىڭ ئىزچىللىقى/ئېنىقلىقى | تۆۋەن (قولدا خاتالىققا، ئەۋرىشكە پارچىلىنىشىغا ئاسان ئۇچرايدۇ) | يۇقىرى (ئاپتوماتىك، يۇقىرى تەكرارلىنىشچانلىقى/ئېنىقلىقى) | جەرياننى كونترول قىلىش چەكلىمىسى قاتتىقلاشتۇرۇلدى ۋە ساختا ئىجابىي نەتىجىلەر ئازايتىلدى. |
| سۈرتكۈچ ماسلىشىشچانلىقى | توسۇلۇپ قېلىش خەۋپى يۇقىرى (تار U شەكىللىك تۇرۇبا ئېغىزى لايىھەسى) | توسۇلۇپ قېلىش خەۋپى تۆۋەن (مۇستەھكەم، U شەكىللىك تۇرۇبا ئەمەس رېزوناتور لايىھەسى) | سېنزورنىڭ ئىش ۋاقتى ۋە ئىشەنچلىكلىكىنى ئەڭ يۇقىرى چەككە يەتكۈزدى. |
| خاتالىق بايقاش ئىقتىدارى | رېئاكتىپ (بىر قانچە سائەت ئىلگىرى يۈز بەرگەن ئېكىسكۇرسىيەلەرنى بايقىيالايدۇ) | ئالدىنئالا ھەرىكەتلەندۈرگۈچ (دىنامىك ئۆزگىرىشلەرنى نازارەت قىلىدۇ، ئېكىسپېدىتسىيەلەرنى بالدۇر بايقايدۇ) | ۋاپلېر قالدۇقلىرىنىڭ ئاپەت خاراكتېرلىك چۈشۈپ كېتىشى ۋە مەھسۇلات مىقدارىنىڭ تۆۋەنلىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. |
3-جەدۋەل: سېلىشتۇرما ئانالىز: ئىچكى ۋە ئەنئەنىۋى سۇيۇقلۇق ئۆلچەش ئۇسۇلى
ئەنئەنىۋى تورسىز ئانالىز ئەۋرىشكە ئېلىش ۋە توشۇش جەريانىنى تەلەپ قىلىدۇ، بۇ ئۆلچەم ھالقىسىغا زور ۋاقىت كېچىكىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ كېچىكىش بىر قانچە سائەت داۋاملىشىشى مۇمكىن، بۇ ئاخىرى ئۆزگىرىش بايقالغاندا، كۆپ مىقداردىكى ۋافېرلارنىڭ ئاللىقاچان بۇزۇلغانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، قولدا بىر تەرەپ قىلىش ئۆزگىرىشچانلىقنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ۋە ئەۋرىشكە بۇزۇلۇش خەۋپىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بولۇپمۇ ئەۋرىشكە ئېلىنغاندىن كېيىنكى تېمپېراتۇرا ئۆزگىرىشى سەۋەبىدىن، بۇ يېپىشقاقلىق ئوقۇشىنى بۇرمىلىشى مۇمكىن.
ئىچكى ئۆلچەش تېخنىكىسى بۇ ئاجىزلاشتۇرغۇچى كېچىكىشنى يوقىتىپ، تارقىتىش لىنىيىسىدىن بىۋاسىتە ئۈزلۈكسىز سانلىق مەلۇمات ئېقىمىنى تەمىنلەيدۇ. بۇ سۈرئەت خاتالىق بايقاشنىڭ ئاساسىي ئامىلى؛ سۈرتكۈچ ماتېرىياللار ئۈچۈن مۇھىم بولغان پۇختا، توسۇلۇپ قالمايدىغان لايىھە بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەندە، ئۇ پۈتكۈل تارقىتىش سىستېمىسىنى مۇقىملاشتۇرۇش ئۈچۈن ئىشەنچلىك سانلىق مەلۇمات مەنبەسى بىلەن تەمىنلەيدۇ. CMP نىڭ مۇرەككەپلىكى كۆپ خىل پارامېتىرلارنى (مەسىلەن، سىنىش كۆرسەتكۈچى ياكى pH) نازارەت قىلىشنى تەلەپ قىلسىمۇ، زىچلىق ۋە يېپىشقاقلىق سۈرتكۈچ ئاسما ماتېرىيالنىڭ ئاساسىي فىزىكىلىق مۇقىملىقىغا ئەڭ بىۋاسىتە، ھەقىقىي ۋاقىتلىق ئىنكاس قايتۇرىدۇ، بۇ كۆپىنچە خىمىيىلىك بۇففېرلىنىش سەۋەبىدىن pH ياكى ئوكسىدلىنىش-قايتالىنىش پوتېنسىيالى (ORP) قاتارلىق پارامېتىرلارنىڭ ئۆزگىرىشىگە سەزگۈر ئەمەس.
5. ئىقتىسادىي ۋە مەشغۇلات جەھەتتىكى تەلەپلەر
ھەقىقىي ۋاقىتلىق زىچلىق ۋە يېپىشقاقلىقنى كۆزىتىشنىڭ پايدىلىرى
ھەر قانداق ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسى ئۈچۈنيېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەرياندا CMPقوللىنىلغاندا، مۇۋەپپەقىيەت ئۈزلۈكسىز مەھسۇلات مىقدارىنى ئاشۇرۇش، ئەڭ يۇقىرى جەريان مۇقىملىقى ۋە قاتتىق تەننەرخ باشقۇرۇش ئارقىلىق ئۆلچىنىدۇ. ھەقىقىي ۋاقىتلىق رېئولوگىيەلىك كۆزىتىش بۇ سودا ئېھتىياجلىرىغا يېتىش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان مۇھىم سانلىق مەلۇمات ئۇل ئەسلىھەلىرى بىلەن تەمىنلەيدۇ.
جەرياننىڭ مۇقىملىقىنى ئاشۇرىدۇ
ئۈزلۈكسىز، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سۇيۇقلۇقنى نازارەت قىلىش، ئالدىنقى ئېقىمدىكى جەريان شاۋقۇنىغا قارىماي، ئىشلىتىش نۇقتىسىغا يەتكۈزۈلگەن مۇھىم سۇيۇقلۇق پارامېتىرلىرىنىڭ (POU) ئىنتايىن قاتتىق كونترول دائىرىسى ئىچىدە تۇرۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. مەسىلەن، كىرىۋاتقان خام سۇيۇقلۇق تۈركۈملىرىنىڭ زىچلىقىدىكى ئۆزگىرىشچانلىقنى نەزەرگە ئالساق، پەقەت رېتسېپقا ئەمەل قىلىشلا يېتەرلىك ئەمەس. ئارىلاشتۇرغۇچ باكىدىكى زىچلىقنى ھەقىقىي ۋاقىتتا نازارەت قىلىش ئارقىلىق، كونترول سىستېمىسى سۇيۇقلۇق نىسبىتىنى دىنامىك تەڭشىيەلەيدۇ، بۇ ئارىلاشتۇرۇش جەريانىدا ئېنىق نىشان قويۇقلۇقىنىڭ ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ، خام ماتېرىياللارنىڭ مۇقىمسىزلىقىدىن كېلىپ چىققان جەريان ئۆزگىرىشچانلىقىنى زور دەرىجىدە پەسەيتىدۇ، بۇنىڭ بىلەن يۇقىرى مۆلچەرلىگىلى بولىدىغان سىلىقلاش ئۈنۈمىگە ئېرىشىدۇ ھەمدە قىممەت باھالىق جەرياننىڭ كۆپ قېتىم يۈز بېرىشىنىڭ قېتىم سانى ۋە كۆلىمىنى زور دەرىجىدە ئازايتىدۇ.
ھوسۇلنى ئاشۇرىدۇ
مۇقىمسىز سۇيۇقلۇق شارائىتى كەلتۈرۈپ چىقارغان مېخانىكىلىق ۋە خىمىيىلىك مەغلۇبىيەتلەرنى بىۋاسىتە ھەل قىلىش ئەڭ ئۈنۈملۈك ئۇسۇلcmp يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشمەھسۇلات مىقدارى. ئالدىن پەرەز قىلىش، ھەقىقىي ۋاقىتلىق كۆزىتىش سىستېمىلىرى يۇقىرى قىممەتلىك مەھسۇلاتلارنى ئالدىنئالا قوغدايدۇ. بۇ خىل سىستېمىلارنى يولغا قويغان زاۋۇتلار مۇھىم مۇۋەپپەقىيەتلەرنى خاتىرىلىدى، بۇنىڭ ئىچىدە كەمتۈكلۈكلەرنىڭ قېچىشىنى %25 گىچە تۆۋەنلىتىش توغرىسىدىكى دوكلاتلار بار. بۇ ئالدىنى ئېلىش ئىقتىدارى مەشغۇلات پارادىگمىسىنى مۇقەررەر كەمتۈكلۈكلەرگە ئىنكاس قايتۇرۇشتىن ئۇلارنىڭ شەكىللىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىشقا ئۆزگەرتىدۇ، شۇنىڭ بىلەن مىليونلىغان دوللارلىق ۋافلىلارنى مىكرو تىرناقلىنىش ۋە مۇقىمسىز زەررىچە توپلىرىنىڭ كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان باشقا زىيانلاردىن قوغدايدۇ. دىنامىك ئۆزگىرىشلەرنى، مەسىلەن، قاتتىقلىقنىڭ تۇيۇقسىز تۆۋەنلىشىنى سىگنال قىلىدىغان ئىسسىقلىق ياكى قىرقىش بېسىمى قاتارلىق دىنامىك ئۆزگىرىشلەرنى كۆزىتىش ئىقتىدارى، بۇ ئامىللارنىڭ كەمتۈكلۈكلەرنى كۆپ ۋافلىلارغا تارقىتىشتىن بۇرۇن ئارىلىشىشقا يول قويىدۇ.
قايتا ئىشلەشنى ئازايتىدۇ
مەھسۇلاتقايتا ئىشلەشئىشلەپچىقىرىش نەتىجىسىنىڭ خاتالىق ياكى نۇقسان سەۋەبىدىن قايتا ئىشلەشنى تەلەپ قىلىدىغان نىسبىتى سۈپىتىدە ئېنىقلىنىدىغان نىسبەت، ئومۇمىي ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنىڭ تۆۋەنلىكىنى ئۆلچەيدىغان مۇھىم KPI. يۇقىرى قايتا ئىشلەش سۈرئىتى قىممەتلىك ئەمگەك كۈچىنى سەرپ قىلىدۇ، ماتېرىياللارنى ئىسراپ قىلىدۇ ۋە زور كېچىكىشلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. قاچا-قۇچا، تەكشى ئەمەس چىقىرىۋېتىش ۋە چىزىش قاتارلىق نۇقسانلار رېئولوگىيەلىك مۇقىمسىزلىقنىڭ بىۋاسىتە نەتىجىسى بولغاچقا، ئۈزلۈكسىز زىچلىق ۋە يېپىشقاقلىقنى كونترول قىلىش ئارقىلىق سۇيۇقلۇق ئېقىمىنى مۇقىملاشتۇرۇش بۇ مۇھىم خاتالىقلارنىڭ كېلىپ چىقىشىنى زور دەرىجىدە ئازايتىدۇ. جەرياننىڭ مۇقىملىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئارقىلىق، رېمونت قىلىش ياكى قايتا سىلىقلاش تەلەپ قىلىنىدىغان نۇقسانلارنىڭ يۈز بېرىش نىسبىتى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈپ، ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ۋە ئومۇمىي كوللېكتىپ ئۈنۈمىنى ئاشۇرىدۇ.
مەشغۇلات چىقىمىنى ئەلالاشتۇرىدۇ
CMP لايلىرى ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا زور مىقداردا ئىستېمال چىقىمىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. جەرياننىڭ ئېنىقسىزلىقى ئارىلاشتۇرۇش ۋە ئىستېمال قىلىشتا كەڭ، ئېھتىياتچان بىخەتەرلىك چېكىنى ئىشلىتىشنى تەلەپ قىلغاندا، نەتىجىدە ئۈنۈمسىز ئىشلىتىش ۋە يۇقىرى ئىشلىتىش تەننەرخى كېلىپ چىقىدۇ. ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىش لاينى باشقۇرۇشنىڭ ئۈنۈملۈك، ئېنىق بولۇشىغا شارائىت ھازىرلايدۇ. مەسىلەن، ئۈزلۈكسىز كونترول قىلىش ئېنىق ئارىلاشتۇرۇش نىسبىتىگە يول قويۇپ، سۇيۇقلۇق ئىشلىتىشنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ ۋە قىممەت باھالىق بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.cmp سۇيۇقلۇقى تەركىبىئەڭ ياخشى ئىشلىتىلىدۇ، ماتېرىيال ئىسراپچىلىقى ۋە ئىشلىتىش چىقىمىنى ئازايتىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، ھەقىقىي ۋاقىتلىق رېئولوگىيەلىك دىئاگنوز قويۇش ئۈسكۈنىنىڭ مەسىلىلىرىنىڭ - مەسىلەن، ياستۇقنىڭ ئۇپرىشى ياكى پومپا مەغلۇبىيىتى قاتارلىق ئەھۋاللارنىڭ دەسلەپكى ئاگاھلاندۇرۇش ئالامەتلىرىنى بېرەلەيدۇ، بۇ بولسا مەسىلە ئېغىر لاينىڭ ئېقىشى ۋە كېيىنكى ئىشلىتىش ۋاقتىنىڭ توختاپ قېلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشتىن بۇرۇن ئەھۋالغا ئاساسەن ئاسراش ئېلىپ بېرىشقا يول قويىدۇ.
يۇقىرى ئۈنۈملۈك ئىشلەپچىقىرىشنى داۋاملاشتۇرۇش ئۈچۈن، بارلىق مۇھىم بىرلىك جەريانلىرىدىكى ئۆزگىرىشچانلىقنى يوقىتىش كېرەك. لونمېتىر رېزونانس تېخنىكىسى لاي يەتكۈزۈش ئۇل ئەسلىھەلىرىنىڭ خەتەرگە ئۇچرىماسلىقى ئۈچۈن زۆرۈر بولغان چىدامچانلىق، سۈرئەت ۋە ئېنىقلىقنى تەمىنلەيدۇ. ھەقىقىي ۋاقىتلىق زىچلىق ۋە يېپىشقاقلىق سانلىق مەلۇماتلىرىنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق، جەريان ئىنژېنېرلىرى ئۈزلۈكسىز، ئەمەلىي ئەقىل بىلەن تەمىنلىنىپ، ئالدىن پەرەز قىلغىلى بولىدىغان سىلىقلاش ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ ۋە ۋافتا مەھسۇلاتىنى كوللوئىدلىق مۇقىمسىزلىقتىن قوغدايدۇ.
رېئاكتىپ مەھسۇلات باشقۇرۇشتىن ئاكتىپ جەريان كونترول قىلىشقا ئۆتۈشنى باشلاش ئۈچۈن:
ئەڭ چوڭايتىشئىش ۋاقتى ۋەكىچىكلىتىشقايتا ئىشلەش:چۈشۈرۈشبىزنىڭ تېخنىكىلىق ئۆلچەملىرىمىز ۋەباشلاشبۈگۈنكى RFQ.
يۇقىرى دەرىجىلىك ئىشلەپچىقىرىش ۋە مەھسۇلات مىقدارى ئىنژېنېرلىرىنى ئىشقا تەكلىپ قىلىمىزتاپشۇرۇشتەپسىلىي RFQ. بىزنىڭ تېخنىكىلىق مۇتەخەسسىسلىرىمىز ئېنىق يولغا قويۇش يول خەرىتىسىنى تۈزۈپ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى Lonnmeter تېخنىكىسىنى سىزنىڭ لاي تارقىتىش ئۇل ئەسلىھەلىرىڭىزگە بىرلەشتۈرۈپ، نۇقسان زىچلىقى ۋە لاي سەرپىياتىنىڭ مۆلچەرلىنىۋاتقان تۆۋەنلىشىنى مىقدارلاشتۇرۇپ بېرىدۇ.ئالاقىلىشىشبىزنىڭ جەريان ئاپتوماتلاشتۇرۇش گۇرۇپپىمىز ھازىربىخەتەرسىزنىڭ پايدا ئېلىش ئەۋزەللىكىڭىز.بايقاشئەڭ مۇھىم تۈزلەش قەدىمىڭىزنى مۇقىملاشتۇرۇش ئۈچۈن تەلەپ قىلىنىدىغان ئاساسلىق ئېنىقلىق.
