خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش(CMP) ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئاساسىي جەريان. ئۇ ۋافېر يۈزىدە ئاتوم دەرىجىسىدىكى تەكشىلىكنى تەمىنلەيدۇ، كۆپ قەۋەتلىك قۇرۇلما، قاتتىق ئۈسكۈنە ئورالمىسى ۋە تېخىمۇ ئىشەنچلىك ئۈنۈمنى تەمىنلەيدۇ. CMP ئايلانما ياستۇق ۋە مەخسۇس سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى ئارقىلىق بىرلا ۋاقىتتا خىمىيىلىك ۋە مېخانىكىلىق ھەرىكەتلەرنى بىرلەشتۈرۈپ، ئارتۇقچە پىلاستىنكىلارنى ۋە سىلىق يۈزەكى نورمالسىزلىقلارنى چىقىرىۋېتىدۇ، بۇ بولسا ئىنتېگرال توك يولىدىكى ئالاھىدىلىكلەرنى شەكىللەندۈرۈش ۋە تەڭشەش ئۈچۈن مۇھىم.
CMP دىن كېيىنكى ۋافتا سۈپىتى پارقىراتقۇچ سۇيۇقلۇقنىڭ تەركىبى ۋە خۇسۇسىيىتىنى ئەستايىدىل كونترول قىلىشقا باغلىق. سۇيۇقلۇقتا سېرىي ئوكسىد (CeO₂) قاتارلىق سۈرتكۈچ زەررىچىلەر بار بولۇپ، ئۇلار فىزىكىلىق سۈرتۈش ۋە خىمىيىلىك رېئاكسىيە سۈرئىتىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن خىمىيىلىك ماددىلارنىڭ بىرىكمىسىدە لەيلەپ قالىدۇ. مەسىلەن، سېرىي ئوكسىد كرېمنىي ئاساسلىق پىلاستىنكىلار ئۈچۈن ئەڭ ياخشى قاتتىقلىق ۋە يۈزەكى خىمىيىلىك خۇسۇسىيەت بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئۇنى نۇرغۇن CMP قوللىنىشچان پروگراممىلىرىدا تاللىنىدىغان ماتېرىيالغا ئايلاندۇرىدۇ. CMP نىڭ ئۈنۈمى پەقەت سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنىڭ خۇسۇسىيىتى بىلەنلا چەكلىنىپ قالماي، يەنە سۇيۇقلۇقنىڭ قويۇقلۇقى، pH قىممىتى ۋە زىچلىقىنى توغرا باشقۇرۇش بىلەنمۇ بەلگىلىنىدۇ.
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش
*
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىنىڭ ئاساسىي پىرىنسىپلىرى
سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىنىڭ مەركىزى قىسمى. ئۇلار ۋافلىنىڭ يۈزىدە مېخانىكىلىق سۈركىلىش ۋە خىمىيىلىك يۈزە ئۆزگەرتىشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن مۇرەككەپ ئارىلاشمىلار. CMP سۇيۇقلۇقىنىڭ مۇھىم رولى ماتېرىيالنى ئۈنۈملۈك چىقىرىۋېتىش، تۈزلەشنى كونترول قىلىش، چوڭ ۋافلىنىڭ بىردەكلىكى ۋە نۇقسانلارنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىنىڭ رولى ۋە تەركىبى
ئادەتتىكى CMP سۇيۇقلۇقى سۇيۇق ماترىتسىدا ئېسىلىپ تۇرغان سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، ئۇلارغا خىمىيىلىك قوشۇمچە ماددىلار ۋە مۇقىملاشتۇرغۇچلار قوشۇلغان. ھەر بىر تەركىب ئايرىم رول ئوينايدۇ:
- سۈرتكۈچ ماتېرىياللار:بۇ نېپىز، قاتتىق زەررىچىلەر - ئاساسلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلىتىشتە كرېمنىي (SiO₂) ياكى سېرىي ئوكسىد (CeO₂) بولۇپ، ماتېرىيالنى چىقىرىۋېتىشنىڭ مېخانىكىلىق قىسمىنى ئورۇندايدۇ. ئۇلارنىڭ قويۇقلۇقى ۋە زەررىچە چوڭلۇقىنىڭ تارقىلىشى چىقىرىۋېتىش سۈرئىتى ۋە يۈزەكى سۈپىتىنى كونترول قىلىدۇ. سۈرتكۈچنىڭ مىقدارى ئادەتتە ئېغىرلىقى بويىچە %1 تىن %5 كىچە بولىدۇ، زەررىچە دىئامېتىرى 20 نانومېتىردىن 300 نانومېتىرغىچە بولۇپ، ۋاپپېرنىڭ ئارتۇقچە چىزىلىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن قاتتىق بەلگىلەنگەن.
- خىمىيىلىك قوشۇمچە ماددىلار:بۇ ماددىلار ئۈنۈملۈك تەكشىلەش ئۈچۈن خىمىيىلىك مۇھىت يارىتىدۇ. ئوكسىدلىغۇچىلار (مەسىلەن، ۋودورود پېروكسىد) ئاسان سۈركىلىدىغان يۈزەكى قەۋەتلەرنىڭ شەكىللىنىشىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ. مۇرەككەپلەشتۈرگۈچى ياكى خېلاتلىغۇچى ماددىلار (مەسىلەن، ئاممونىي پېرسۇلفات ياكى لىمون كىسلاتاسى) مېتال ئىئونلىرىنى باغلاپ، يوقىتىشنى كۈچەيتىدۇ ۋە نۇقسانلارنىڭ شەكىللىنىشىنى باستۇرىدۇ. قوشنا ياكى ئاستىدىكى ۋافېر قەۋەتلىرىنىڭ ئىستەلمەيدىغان ھالدا ئويۇلۇپ كېتىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن چەكلىگۈچىلەر كىرگۈزۈلۈپ، تاللاشچانلىقىنى ئاشۇرىدۇ.
- مۇقىملاشتۇرغۇچىلار:يۈزەكتىكى ئاكتىپ ماددىلار ۋە pH قىممىتىنى تۆۋەنلىتىش دورىلىرى سۇيۇقلۇقنىڭ مۇقىملىقى ۋە تەكشى تارقىلىشىنى ساقلايدۇ. يۈزەكتىكى ئاكتىپ ماددىلار سۈركىلىشنىڭ ئالدىنى ئېلىپ، تەكشى چىقىرىۋېتىش سۈرئىتىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. pH قىممىتىنى تۆۋەنلىتىش دورىلىرى ئوخشاش خىمىيىلىك رېئاكسىيە سۈرئىتىنى تەمىنلەيدۇ ۋە زەررىچىلەرنىڭ يىغىلىپ قېلىشى ياكى چىرىش ئېھتىماللىقىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
ھەر بىر تەركىبنىڭ فورمۇلاسى ۋە قويۇقلۇقى خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىغا چېتىشلىق ئالاھىدە ۋافېر ماتېرىيالى، ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسى ۋە جەريان باسقۇچىغا ماسلاشتۇرۇلىدۇ.
كۆپ ئۇچرايدىغان سۇيۇقلۇقلار: كرېمنىي (SiO₂) بىلەن سېرىي ئوكسىد (CeO₂)
كرېمنىي (SiO₂) پارقىراتقۇچ سۇيۇقلۇقلىرىقەۋەت ئارىلىقىدىكى دىئېلېكترىك (ILD) ۋە ساياز ئۆستەڭ ئايرىش (STI) ئارقىلىق سىلىقلاش قاتارلىق ئوكسىد تۈزلەش باسقۇچلىرىدا ئۈستۈنلۈكنى ئىگىلەيدۇ. ئۇلار كۆپىنچە ئاساسىي (pH ~ 10) مۇھىتتا كوللوئىد ياكى تۈتۈنلۈك كرېمنىينى سۈرتكۈچ قىلىپ ئىشلىتىدۇ، بەزىدە چىزىلىش نۇقسانلىرىنى چەكلەش ۋە چىقىرىۋېتىش سۈرئىتىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن كىچىك يۈزەك ئاكتىپ ماددىلار ۋە چىرىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش دورىلىرى بىلەن تولۇقلىنىدۇ. كرېمنىي زەررىچىلىرىنىڭ چوڭلۇقى ۋە قاتتىقلىقىنىڭ تۆۋەنلىكى ئۇلارنىڭ قىممىتىگە ئىگە بولۇپ، نازۇك قەۋەتلەرگە ماس كېلىدىغان يۇمشاق، بىردەك ماتېرىيال چىقىرىۋېتىشنى تەمىنلەيدۇ.
سېرىي ئوكسىد (CeO₂) پارقىراتقۇچ سۇيۇقلۇقىيۇقىرى تاللاشچانلىق ۋە ئېنىقلىقنى تەلەپ قىلىدىغان قىيىن قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن تاللىنىدۇ، مەسىلەن، ئاخىرقى ئەينەك ئاساسىنى سىلىقلاش، ئىلغار ئاساسىنى تەكشىلەش ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەردىكى بەزى ئوكسىد قەۋەتلىرى. CeO₂ سۈرتكۈچلىرى، بولۇپمۇ كرېمنىي دىئوكسىد يۈزىدە ئۆزگىچە رېئاكسىيەچانلىقنى نامايان قىلىدۇ، بۇ خىمىيىلىك ۋە مېخانىكىلىق چىقىرىۋېتىش مېخانىزمىنى قوللايدۇ. بۇ قوش ھەرىكەتلىك خۇسۇسىيەت تۆۋەن نۇقسان سەۋىيىسىدە يۇقىرى تەكشىلەش نىسبىتىنى تەمىنلەيدۇ، بۇ CeO₂ لايلىرىنى ئەينەك، قاتتىق دىسكا ئاساسى ياكى ئىلغار مەنتىقىلىق ئۈسكۈنە تۈگۈنلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى قىلىدۇ.
سۈرتكۈچ ماددىلار، قوشۇمچە ماددىلار ۋە مۇقىملاشتۇرغۇچلارنىڭ فۇنكسىيەلىك مەقسىتى
- سۈرتكۈچلەرمېخانىكىلىق سۈركىلىش ئېلىپ بېرىڭ. ئۇلارنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى، شەكلى ۋە قويۇقلۇقى سۈركىلىش سۈرئىتى ۋە يۈزەكى سۈپىتىنى بەلگىلەيدۇ. مەسىلەن، بىردەك 50 نانومېتىرلىق كرېمنىي سۈركىلىش سۇيۇقلۇقى ئوكسىد قەۋەتلىرىنىڭ يۇمشاق، تەكشى تۈزلىنىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
- خىمىيىلىك قوشۇمچە ماددىلار: يۈزەكى ئوكسىدلىنىش ۋە ئېرىتىشنى ئىلگىرى سۈرۈش ئارقىلىق تاللاپ چىقىرىۋېتىشنى قوللايدۇ. مىس CMP دا، گلىتسىن (مۇرەككەپ ھاسىل قىلغۇچى ماددا سۈپىتىدە) ۋە ۋودورود پېروكسىد (ئوكسىدلىغۇچى سۈپىتىدە) بىرلىكتە ئىشلەيدۇ، BTA بولسا مىس خۇسۇسىيىتىنى قوغدايدىغان توسقۇچى رولىنى ئوينايدۇ.
- مۇقىملاشتۇرغۇچىلار: ۋاقىتنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ، سۇيۇقلۇق تەركىبىنىڭ بىردەكلىكىنى ساقلايدۇ. يۈزەكتىكى ئاكتىپ ماددىلار چۆكمە ۋە يىغىلىشنىڭ ئالدىنى ئېلىپ، سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنىڭ مۇقىم تارقىلىشىغا ۋە جەريانغا ئىشلىتىشكە بولىدىغانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئۆزگىچە خۇسۇسىيەتلەر ۋە ئىشلىتىش سىنارىيەلىرى: CeO₂ ۋە SiO₂ سۇيۇقلۇقلىرى
CeO₂ سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىئۆزىگە خاس خىمىيىلىك رېئاكسىيەسى سەۋەبىدىن، ئەينەك بىلەن كرېمنىي ئوكسىدى ئوتتۇرىسىدىكى تاللاشچانلىقىنى يۇقىرى كۆتۈرىدۇ. بولۇپمۇ يۇقىرى ماتېرىيال تاللاشچانلىقى مۇھىم بولغان قاتتىق، مۇرتقا ئاساسلىرى ياكى بىرىكمە ئوكسىد قەۋىتىنى تەكشىلەشتە ئالاھىدە ئۈنۈملۈك. بۇ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە CeO₂ سۇيۇقلۇقىنى ئىلغار ئاساس تەييارلاش، ئېنىق ئەينەك پىششىقلاش ۋە ئالاھىدە سايىز ئۆستەڭ ئايرىش (STI) CMP باسقۇچلىرىدا ئۆلچەمگە ئايلاندۇرىدۇ.
SiO₂ سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىمېخانىكىلىق ۋە خىمىيىلىك چىقىرىۋېتىشنىڭ تەڭپۇڭ بىرىكمىسىنى تەمىنلەيدۇ. ئۇ كۆپ مىقداردىكى ئوكسىد ۋە قەۋەتلەر ئارا دىئېلېكترىك تۈزلەشتە كەڭ قوللىنىلىدۇ، بۇ يەردە يۇقىرى ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە ئەڭ تۆۋەن نۇقسانلىق بولۇشى تەلەپ قىلىنىدۇ. كرېمنىينىڭ بىردەك، كونترول قىلىنىدىغان زەررىچە چوڭلۇقى يەنە چىزىلىشنىڭ پەيدا بولۇشىنى چەكلەيدۇ ۋە ئەڭ يۇقىرى ئاخىرقى يۈز سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
زەررىچە چوڭلۇقى ۋە تارقىلىش بىردەكلىكىنىڭ ئەھمىيىتى
زەررىچە چوڭلۇقى ۋە تارقىلىشنىڭ بىردەكلىكى سۇلياۋنىڭ ئۈنۈمى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. بىردەك، نانومېتىرلىق سۈرتكۈچ زەررىچىلەر ماتېرىيالنىڭ مۇقىم چىقىرىلىش سۈرئىتى ۋە نۇقسانسىز تاختا يۈزىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. توپلىنىش چىزىلىش ياكى ئالدىن پەرەز قىلغىلى بولمايدىغان سىلىقلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، كەڭ كۆلەمدىكى تارقىلىش بولسا تەكشى ئەمەس تۈزلىنىش ۋە نۇقسان زىچلىقىنىڭ ئېشىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
ئۈنۈملۈك سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش - سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابى ياكى ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۇيۇقلۇقى زىچلىقىنى ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرى قاتارلىق تېخنىكىلار ئارقىلىق نازارەت قىلىنىدۇ - دائىم سۈرتۈش يۈكى ۋە ئالدىن پەرەز قىلغىلى بولىدىغان جەريان نەتىجىسىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ، بۇ مەھسۇلات مىقدارى ۋە ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئېنىق زىچلىقنى كونترول قىلىش ۋە بىردەك تارقىلىشقا ئېرىشىش خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تەكشىلەش ئۈسكۈنىلىرىنى ئورنىتىش ۋە جەرياننى ئەلالاشتۇرۇشنىڭ ئاساسلىق تەلىپى.
قىسقىسى، سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىنى ياساش، بولۇپمۇ سۈرتۈش تىپى، زەررىچە چوڭلۇقى ۋە مۇقىملاشتۇرۇش مېخانىزمىنى تاللاش ۋە كونترول قىلىش، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى قوللىنىشلىرىدا خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىنىڭ ئىشەنچلىكلىكى ۋە ئۈنۈمىنى قوللايدۇ.
CMP دا سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەشنىڭ ئەھمىيىتى
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىدا، سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئېنىق ئۆلچەش ۋە كونترول قىلىش ۋافلىنىڭ سىلىقلاش ئۈنۈمى ۋە سۈپىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. سۇيۇقلۇق زىچلىقى - سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىدىكى سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنىڭ قويۇقلۇقى - مەركىزىي جەريان تۇتقۇچ رولىنى ئوينايدۇ، سىلىقلاش سۈرئىتى، ئاخىرقى يۈزە سۈپىتى ۋە ۋافلىنىڭ ئومۇمىي مەھسۇلات مىقدارىنى شەكىللەندۈرىدۇ.
سۇيۇقلۇق زىچلىقى، سىلىقلاش سۈرئىتى، يۈزە سۈپىتى ۋە ۋاپپېر ئۈنۈمى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت
CeO₂ سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى ياكى باشقا سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى تەركىبىدىكى سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنىڭ قويۇقلۇقى ماتېرىيالنىڭ ۋافلى يۈزىدىن قانچىلىك تېز چىقىرىلىشىنى بەلگىلەيدۇ، بۇ ئادەتتە چىقىرىۋېتىش سۈرئىتى ياكى ماتېرىيال چىقىرىۋېتىش سۈرئىتى (MRR) دەپ ئاتىلىدۇ. سۇيۇقلۇق زىچلىقىنىڭ ئېشىشى ئادەتتە بىرلىك كۆلەمدىكى سۈرتكۈچ ئۇچرىشىشلارنىڭ سانىنى ئاشۇرۇپ، سىلىقلاش سۈرئىتىنى تېزلىتىدۇ. مەسىلەن، 2024-يىلدىكى كونترول قىلىنغان بىر تەتقىقاتتا، كوللوئىد سۇيۇقلۇقىدىكى كرېمنىي زەررىچىلىرىنىڭ قويۇقلۇقىنى %5 كە كۆتۈرۈش 200 مىللىمېتىرلىق كرېمنىي ۋافلىلارنىڭ چىقىرىۋېتىش سۈرئىتىنى ئەڭ چوڭ چەككە يەتكۈزگەنلىكى دوكلات قىلىنغان. قانداقلا بولمىسۇن، بۇ مۇناسىۋەت سىزىقلىق ئەمەس - قايتۇرۇش نىسبىتىنىڭ تۆۋەنلىشى مەۋجۇت. سۇيۇقلۇق زىچلىقى يۇقىرى بولغاندا، زەررىچىلەرنىڭ يىغىلىشى ماسسا توشۇشىنىڭ قالايمىقانلىشىشى ۋە يېپىشقاقلىقىنىڭ ئېشىشى سەۋەبىدىن چىقىرىۋېتىش سۈرئىتىنىڭ تۈزلەڭلىكىنى ياكى ھەتتا تۆۋەنلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
يۈزە سۈپىتى سۇيۇقلۇقنىڭ زىچلىقىغا ئوخشاشلا سەزگۈر. يۇقىرى قويۇقلۇقتا، سىزىلىش، ئىچىگە كىرىپ قالغان ئەخلەتلەر ۋە ئۆڭكۈرلەر قاتارلىق نۇقسانلار كۆپ ئۇچرايدۇ. ئوخشاش تەتقىقاتتا سۇيۇقلۇقنىڭ زىچلىقى 8-10% تىن ئاشقاندا يۈزەكى پۇچۇقلۇقنىڭ سىزىقلىق ئۆرلىشى ۋە سىزىلىش زىچلىقىنىڭ كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە يۇقىرىلىغانلىقى كۆزىتىلدى. ئەكسىچە، زىچلىقنى تۆۋەنلىتىش نۇقسان خەۋپىنى تۆۋەنلىتىدۇ، ئەمما يوقىتىشنى ئاستىلىتىپ، تۈزلۈككە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ۋاففىرا ئۈنۈمى، يەنى ۋاففىرانىڭ سىلىقلاش جەريانىدىكى ئۆلچەملەرگە يېتىش نىسبىتى، بۇ بىرلەشتۈرۈلگەن تەسىرلەر تەرىپىدىن تەڭشىلىنىدۇ. يۇقىرى نۇقسان نىسبىتى ۋە تەكشى بولمىغان چىقىرىۋېتىش مەھسۇلات مىقدارىنى تۆۋەنلىتىدۇ، بۇ زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئىشلەپچىقىرىش مىقدارى بىلەن سۈپەت ئوتتۇرىسىدىكى نازۇك تەڭپۇڭلۇقنى تەكىتلەيدۇ.
كىچىك مىقداردىكى سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقى ئۆزگىرىشىنىڭ CMP جەريانىغا تەسىرى
ئەڭ ياخشى سۇلياۋ زىچلىقىدىن ئەڭ ئاز پەرقلىنىش - پىرسەنتلىك بۆلەكلەر - جەرياننىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىگە زور تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. ئەگەر سۈرتكۈچ قويۇقلۇقى نىشاندىن ئېشىپ كەتسە، زەررىچىلەر توپلىنىشى يۈز بېرىپ، ياستۇقچىلار ۋە تەڭشەش دىسكىلىرىنىڭ تېز ئۇپرىشىغا، يۈزەكى چىزىلىش نىسبىتىنىڭ يۇقىرىلىشىغا ۋە خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش ئۈسكۈنىلىرىدىكى سۇيۇق تەركىبلەرنىڭ توسۇلۇپ قېلىشى ياكى ئېروزىيەلىنىشىغا سەۋەب بولۇشى مۇمكىن. زىچلىقىنىڭ تۆۋەن بولۇشى قالدۇق پەردىلەر ۋە نورمالسىز يۈزەكى شەكىللەرنى قالدۇرۇپ، كېيىنكى فوتولىتوگرافىيە باسقۇچلىرىغا قىيىنچىلىق تۇغدۇرۇپ، مەھسۇلات مىقدارىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
سۇيۇقلۇق زىچلىقىدىكى ئۆزگىرىشلەر يەنە ۋافېرنىڭ خىمىيىلىك-مېخانىكىلىق رېئاكسىيەسىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ، بۇنىڭ بىلەن بىرگە، نۇقسانلىق دەرىجىسى ۋە ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. مەسىلەن، سۇيۇقلۇق سۇيۇقلۇقىدىكى كىچىكرەك ياكى تەكشى بولمىغان تارقاق زەررىچىلەر يەرلىك چىقىرىۋېتىش سۈرئىتىگە تەسىر كۆرسىتىپ، يۇقىرى مىقداردىكى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا جەريان خاتالىقى سۈپىتىدە تارقىلىشى مۇمكىن بولغان مىكروتوپوگرافىيەنى پەيدا قىلىدۇ. بۇ ئىنچىكە نۇقتىلار، بولۇپمۇ ئىلغار تۈگۈنلەردە، سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى قاتتىق كونترول قىلىشنى ۋە كۈچلۈك نازارەت قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.
ھەقىقىي ۋاقىتلىق سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ۋە ئەلالاشتۇرۇش
Lonnmeter ئىشلەپچىقارغان ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۇلياۋ زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىغا ئوخشاش ئىچكى زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنى ئورۇنلاشتۇرۇش ئارقىلىق سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ھەقىقىي ۋاقىتلىق ئۆلچەش ھازىر ئالدىنقى قاتاردىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى قوللىنىشچان پروگراممىلىرىدا ئۆلچەملىك ئورۇندا تۇرىدۇ. بۇ ئەسۋابلار سۇيۇقلۇق پارامېتىرلىرىنى ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىشقا يول قويۇپ، سۇيۇقلۇق CMP قوراللىرى ۋە تارقىتىش سىستېمىسى ئارقىلىق يۆتكىلىپ بارغاندا زىچلىق ئۆزگىرىشى توغرىسىدا دەرھال ئىنكاس قايتۇرىدۇ.
ھەقىقىي ۋاقىتلىق سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەشنىڭ ئاساسلىق پايدىلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
- ئۆلچەمدىن تاشقىرى ئەھۋاللارنى دەرھال بايقاش، قىممەت باھالىق كېيىنكى جەريانلار ئارقىلىق نۇقسانلارنىڭ تارقىلىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش
- جەرياننى ئەلالاشتۇرۇش - ئىنژېنېرلارنىڭ ئەڭ ياخشى لاي زىچلىقى كۆزنىكىنى ساقلاپ، چىقىرىۋېتىش نىسبىتىنى ئەڭ يۇقىرى چەككە يەتكۈزۈش بىلەن بىرگە، نۇقساننى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈشىگە شارائىت ھازىرلايدۇ.
- ۋافلىنىڭ ھەر بىر ۋافلىغا ۋە ھەر بىر تۈركۈمنىڭ مۇقىملىقىنى ئاشۇرۇش، ئومۇمىي ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرۈشكە ياردەم بېرىدۇ.
- ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىتىلىشى، چۈنكى قويۇقلۇقى ئېشىپ كەتكەن ياكى يېتەرلىك بولمىغان لايلار سىلىقلاش ياستۇقچىلىرى، ئارىلاشتۇرغۇچلار ۋە تارقىتىش تۇرۇبا يوللىرىنىڭ ئۇپرىشىنى تېزلىتىۋېتىدۇ.
CMP ئۈسكۈنىلىرىنى ئورنىتىش ئورۇنلىرى ئادەتتە ئۈلگە ھالقىلىرى ياكى قايتا ئايلىنىش لىنىيىلىرىنى ئۆلچەش رايونىدىن ئۆتكۈزىدۇ، بۇ ئارقىلىق زىچلىق كۆرسەتكۈچىنىڭ ۋافېرغا يەتكۈزۈلگەن ئەمەلىي ئېقىمغا ۋەكىللىك قىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىنىدۇ.
ئېنىق ۋە ھەقىقىي ۋاقىتلىقسۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەشكۈچلۈك سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى كونترول قىلىش ئۇسۇللىرىنىڭ ئاساسىنى شەكىللەندۈرىدۇ، ئىلغار ئارىلىق قەۋەت ۋە ئوكسىد CMP ئۈچۈن قىيىن سېرىي ئوكسىد (CeO₂) سۇيۇقلۇقى قاتارلىق ئورنىتىلغان ۋە يېڭى سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى فورمۇلالىرىنى قوللايدۇ. بۇ مۇھىم پارامېتىرنى ساقلاش خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تەكشىلەش جەريانىدا ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى، تەننەرخنى كونترول قىلىش ۋە ئۈسكۈنە ئىشەنچلىكلىكى بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك.
سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش پىرىنسىپلىرى ۋە تېخنىكىلىرى
سۇيۇقلۇق زىچلىقى سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىدىكى بىرلىك ھەجىمدىكى قاتتىق ماددىلارنىڭ ماسسىسىنى ئىپادىلەيدۇ، مەسىلەن، خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەشتە (CMP) ئىشلىتىلىدىغان سېرىي ئوكسىد (CeO₂) فورمۇلاسى. بۇ ئۆزگەرگۈچى مىقدار ماتېرىيالنىڭ چىقىرىلىش سۈرئىتى، چىقىرىش بىردەكلىكى ۋە سىلىقلانغان ۋافلىدىكى نۇقسان دەرىجىسىنى بەلگىلەيدۇ. ئۈنۈملۈك سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئىلغار سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم بولۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى قوللىنىشلىرىدا مەھسۇلات مىقدارى ۋە نۇقسانغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
CMP مەشغۇلاتلىرىدا ھەر خىل ئۆلچەش پىرىنسىپلىرىنى قوللىنىدىغان بىر قاتار سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابلىرى قوللىنىلىدۇ. گراۋىمېتىرىيەلىك ئۇسۇللار بەلگىلەنگەن سۇيۇقلۇق مىقدارىنى توپلاش ۋە ئېغىرلاشتۇرۇشقا تايىنىدۇ، بۇ يۇقىرى ئېنىقلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ، ئەمما ھەقىقىي ۋاقىتلىق ئىقتىدارغا ئىگە ئەمەس، شۇڭا ئۇلارنى CMP ئۈسكۈنىلىرىنى ئورنىتىش ئورۇنلىرىدا ئۈزلۈكسىز ئىشلىتىشكە بولمايدۇ. ئېلېكترو ماگنىتلىق زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ئېلېكترو ماگنىت مەيدانىنى ئىشلىتىپ، ئېسىلىپ تۇرغان سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنىڭ ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە ئۆتكۈزۈشچانلىقىدىكى ئۆزگىرىشلەرگە ئاساسەن زىچلىقنى مۆلچەرلەيدۇ. تىترەش تۇرۇبىسى زىچلىقىنى ئۆلچەيدىغان ئەسۋابلار سۇيۇقلۇق بىلەن تولدۇرۇلغان تۇرۇبىنىڭ چاستوتا ئىنكاسىنى ئۆلچەيدۇ؛ زىچلىقتىكى ئۆزگىرىشلەر تىترەش چاستوتىسىغى تەسىر كۆرسىتىپ، ئۈزلۈكسىز كۆزىتىشنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ. بۇ تېخنىكىلار ئىچكى كۆزىتىشنى قوللايدۇ، ئەمما بۇلغىنىش ياكى خىمىيىلىك ئۆزگىرىشلەرگە سەزگۈر بولۇشى مۇمكىن.
ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى قويۇقلۇق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى خىمىيىلىك-مېخانىكىلىق تۈزلەشتىكى ھەقىقىي ۋاقىتلىق زىچلىقنى نازارەت قىلىشتىكى مۇھىم تېخنىكىلىق ئىلگىرىلەشنى ئىپادىلەيدۇ. بۇ ئەسۋابلار ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنىنى قويۇقلۇق ئارقىلىق تارقىتىدۇ ۋە ئاۋازنىڭ ئۇچۇش ۋاقتى ياكى تارقىلىش سۈرئىتىنى ئۆلچەيدۇ. ئاۋازنىڭ مۇھىتتىكى سۈرئىتى ئۇنىڭ زىچلىقى ۋە قاتتىق ماددىلارنىڭ قويۇقلۇقىغا باغلىق بولۇپ، قويۇقلۇق خۇسۇسىيىتىنى ئېنىق بېكىتىشكە يول قويىدۇ. ئۇلترا ئاۋاز مېخانىزمى CMP غا خاس بولغان سۈرتۈش ۋە خىمىيىلىك جەھەتتىن ئاكتىپ مۇھىتلارغا ناھايىتى ماس كېلىدۇ، چۈنكى ئۇ بىۋاسىتە ئۇچرىشىش ئۆلچەش ئەسۋابلىرىغا سېلىشتۇرغاندا سېنزورنىڭ بۇلغىنىشىنى ئازايتىدۇ. Lonnmeter يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى CMP لىنىيىلىرى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئىچكى ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى قويۇقلۇق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنى ئىشلەپچىقىرىدۇ.
ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۇسلاش زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنىڭ ئەۋزەللىكلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
- دەخلىسىز ئۆلچەش: سېنزورلار ئادەتتە سىرتتىن ياكى ئايلانما ئېقىم كاتەكچىلىرىنىڭ ئىچىگە ئورنىتىلىدۇ، بۇ ئارقىلىق لايغا تەسىر كۆرسىتىشنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ ۋە سېنزور يۈزىنىڭ سۈركىلىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
- ھەقىقىي ۋاقىتلىق ئىقتىدار: ئۈزلۈكسىز چىقىرىش دەرھال جەرياننى تەڭشەشكە شارائىت ھازىرلاپ، سۇلياۋ زىچلىقىنىڭ بەلگىلەنگەن پارامېتىرلار ئىچىدە ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىپ، ئەڭ ياخشى سىلىقلاش سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
- يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە چىداملىق: ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سكاننېرلىرى مۇقىم ۋە تەكرارلىنىدىغان ئوقۇش نەتىجىسى بىلەن تەمىنلەيدۇ، ئۇزۇن مۇددەت ئورنىتىش جەريانىدا لاي خىمىيىلىك تەركىبىنىڭ ئۆزگىرىشى ياكى زەررىچە يۈكىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرىمايدۇ.
- CMP ئۈسكۈنىلىرى بىلەن بىر گەۋدىلەشتۈرۈش: ئۇلارنىڭ لايىھىسى قايتا ئايلىنىدىغان لاي لىنىيىسى ياكى يەتكۈزۈش كوللېكتورلىرىغا ئورنىتىشنى قوللايدۇ، بۇ جەرياننى كونترول قىلىشنى ئاددىيلاشتۇرۇپ، ئۇزۇن ۋاقىت توختاپ قېلىشتىن ساقلايدۇ.
يېقىنقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىدىكى تەتقىقاتلاردا، سېرىي ئوكسىد (CeO₂) سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى جەريانلىرى ئۈچۈن خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش ئۈسكۈنىلىرىنى ئورنىتىشنى تولۇقلىغاندا، ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى زىچلىقىنى كۆزىتىش %30 گىچە تۆۋەنلىگەنلىكى دوكلات قىلىندى. ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سېنزورلىرىدىن ئاپتوماتىك ئىنكاس قايتۇرۇش سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى فورمۇلاسىنى قاتتىق كونترول قىلىشقا يول قويۇپ، قېلىنلىقنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلاپ، ماتېرىيال ئىسراپچىلىقىنى ئازايتىدۇ. ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى كۈچلۈك كالىبراتسىيە پروتوكوللىرى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەندە، ئىلغار CMP مەشغۇلاتلىرىدا دائىم ئۇچرايدىغان سۇيۇقلۇق تەركىبى ئۆزگىرىشىگە دۇچ كەلگەندە ئىشەنچلىك ئىقتىدارنى ساقلايدۇ.
خۇلاسىلەپ ئېيتقاندا، ھەقىقىي ۋاقىتلىق سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش، بولۇپمۇ ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تېخنىكىسىنى ئىشلىتىش ئارقىلىق، CMP دىكى سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى توغرا كونترول قىلىش ئۇسۇللىرىنىڭ مەركىزىگە ئايلاندى. بۇ ئىلگىرىلەشلەر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە مەھسۇلات مىقدارى، جەريان ئۈنۈمى ۋە لېنتا سۈپىتىنى بىۋاسىتە ياخشىلايدۇ.
CMP سىستېمىلىرىغا ئورنىتىش ئورۇنلاشتۇرۇش ۋە بىرلەشتۈرۈش
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىدا سۇلياۋ قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىشتا سۇلياۋ قويۇقلۇقىنى توغرا ئۆلچەش ئىنتايىن مۇھىم. سۇلياۋ زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنىڭ ئۈنۈملۈك ئورنىتىش نۇقتىلىرىنى تاللاش توغرىلىق، جەرياننىڭ مۇقىملىقى ۋە تاختاي سۈپىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئورنىتىش نۇقتىلىرىنى تاللاشتىكى مۇھىم ئامىللار
CMP قۇرۇلمىلىرىدا، زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋافلىنىڭ سىلىقلىنىشىغا ئىشلىتىلىدىغان ئەمەلىي سۇلياۋنى نازارەت قىلىش ئۈچۈن ئورۇنلاشتۇرۇلۇشى كېرەك. ئاساسلىق ئورنىتىش ئورۇنلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
- قايتا ئايلىنىش باكى:ئۆلچەش ئەسۋابىنى چىقىش ئېغىزىغا قويۇش ئارقىلىق، ئاساسىي لاينىڭ تەقسىملىنىشتىن بۇرۇنقى ئەھۋالىنى چۈشىنىشكە بولىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، بۇ جايدا كۆپۈك شەكىللىنىش ياكى يەرلىك ئىسسىقلىق تەسىرى قاتارلىق تۆۋەنكى ئېقىمدا يۈز بېرىدىغان ئۆزگىرىشلەر كۆرۈلمەسلىكى مۇمكىن.
- يەتكۈزۈش لىنىيىسى:ئارىلاشتۇرۇش ئۈسكۈنىلىرىنى ئارىلاشتۇرغاندىن كېيىن ۋە تارقىتىش كوللىكتىپلىرىغا كىرىشتىن بۇرۇن ئورنىتىش، زىچلىقنى ئۆلچەشنىڭ سۇيۇقلۇقنىڭ ئاخىرقى فورمۇلاسىنى، جۈملىدىن سېرىي ئوكسىد (CeO₂) پارقىراتقۇچ سۇيۇقلۇقى ۋە باشقا قوشۇمچە ماددىلارنى ئەكس ئەتتۈرۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ ئورۇن سۇيۇقلۇقنىڭ قويۇقلۇقىنىڭ ئۆزگىرىشىنى ۋافلىلارنى پىششىقلاپ ئىشلەشتىن بۇرۇن دەرھال بايقاشقا يول قويىدۇ.
- ئىشلىتىش نۇقتىسىنى نازارەت قىلىش:ئەڭ ياخشى ئورۇن ئىشلىتىش نۇقتىسىدىكى كلاپان ياكى قورالنىڭ دەرھال ئۈستۈنكى قىسمى. بۇ، لاي قويۇقلۇقىنى ھەقىقىي ۋاقىتلىق خاتىرىلەيدۇ ۋە لىنىيە قىزىتىش، ئايرىش ياكى مىكرو كۆپۈك ھاسىل قىلىش قاتارلىق جەريان شارائىتىدىكى ئۆزگىرىشلەر توغرىسىدا مەشغۇلاتچىلارنى ئاگاھلاندۇرىدۇ.
ئورنىتىش ئورنىنى تاللىغاندا، ئېقىن ھالىتى، تۇرۇبا يۆنىلىشى ۋە پومپا ياكى كلاپانغا يېقىنلىق قاتارلىق قوشۇمچە ئامىللارنى ئويلىشىش كېرەك:
- ياقتۇرۇشتىك ئورنىتىشسېزىش ئېلېمېنتىدا ھاۋا كۆپۈكچىسى ۋە چۆكمە توپلىنىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن يۇقىرىغا قاراپ ئېقىش بىلەن.
- ئېقىن قالايمىقانچىلىقى سەۋەبىدىن كېلىپ چىقىدىغان ئوقۇش خاتالىقىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، ئۆلچەش ئەسۋابى بىلەن ئاساسلىق تۇربۇلېنسىيە مەنبەلىرى (پومپا، كلاپان) ئارىسىدا بىر قانچە تۇرۇبا دىئامېتىرىنى ساقلاڭ.
- ئىشلىتىشئېقىمنى تەڭشەش(تۈزلىگۈچ ياكى تىنچلاندۇرۇش بۆلەكلىرى) مۇقىم لامىنار مۇھىتتا زىچلىقنى ئۆلچەشنى باھالاش ئۈچۈن.
ئىشەنچلىك سېنزور بىرلەشتۈرۈش ئۈچۈن ئورتاق خىرىسلار ۋە ئەڭ ياخشى ئەمەلىيەتلەر
CMP لاي سۇيۇقلۇقى سىستېمىسى بىر قاتار بىرلەشتۈرۈش قىيىنچىلىقلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ:
- ھاۋا كىرىشى ۋە كۆپۈكچىلەر:ئەگەر مىكرو كۆپۈكچىلەر بولسا، ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۇلياۋ زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى زىچلىقنى خاتا ئوقۇشى مۇمكىن. سېنزورلارنى ھاۋا كىرىش نۇقتىلىرىغا ياكى تۇيۇقسىز ئېقىم ئۆزگىرىشلىرىگە يېقىن قويۇشتىن ساقلىنىڭ، چۈنكى بۇنداق ئەھۋاللار ئادەتتە پومپا چىقىرىش ئېغىزى ياكى ئارىلاشتۇرۇش باكىغا يېقىن جايدا يۈز بېرىدۇ.
- چۆكمە:گورىزونتال سىزىقلاردا، سېنزورلار چۆكمە قاتتىق ماددىلارغا يولۇقۇشى مۇمكىن، بولۇپمۇ CeO₂ سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىدا. سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى توغرا كونترول قىلىش ئۈچۈن، تىك ئورنىتىش ياكى چۆكۈش رايونلىرىنىڭ ئۈستىگە قويۇش تەۋسىيە قىلىنىدۇ.
- سېنزورنىڭ بۇلغىنىشى:CMP لايلىرى سېنزورنىڭ بۇلغىنىشى ياكى قاپلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن بولغان سۈرتكۈچ ۋە خىمىيىلىك ماددىلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. لوننمېتىرنىڭ ئىچكى ئۈسكۈنىلىرى بۇنى ئازايتىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن، ئەمما ئىشەنچلىكلىك ئۈچۈن دائىملىق تەكشۈرۈش ۋە تازىلاش ئىنتايىن مۇھىم.
- مېخانىكىلىق تىترەشلەر:ئاكتىپ مېخانىكىلىق ئۈسكۈنىلەرگە يېقىن قويۇش سېنزورنىڭ ئىچىدە شاۋقۇن پەيدا قىلىپ، ئۆلچەش ئېنىقلىقىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. تىترەش تەسىرى ئەڭ تۆۋەن بولغان ئورنىتىش نۇقتىلىرىنى تاللاڭ.
ئەڭ ياخشى بىرلەشتۈرۈش نەتىجىسىگە ئېرىشىش ئۈچۈن:
- ئورنىتىش ئۈچۈن لامىنار ئېقىم بۆلەكلىرىنى ئىشلىتىڭ.
- مۇمكىن بولغان جايلاردا تىك يۆنىلىشتە تەڭشەشكە كاپالەتلىك قىلىڭ.
- ۋاقىتلىق ئاسراش ۋە تەڭشەش ئۈچۈن قولايلىق شارائىت بىلەن تەمىنلەڭ.
- سېنزورلارنى تىترەش ۋە ئېقىمنىڭ بۇزۇلۇشىدىن ئايرىڭ.
CMP
*
سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش ئۇسۇللىرى
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىدا ئۈنۈملۈك سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش ماتېرىيال چىقىرىۋېتىش سۈرئىتىنىڭ مۇقىم بولۇشىنى ساقلاش، ۋاپپېر يۈزىدىكى كەمتۈكلۈكلەرنى ئازايتىش ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋاپپېرلارنىڭ بىردەكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. بۇ ئېنىقلىققا ئېرىشىش ئۈچۈن نۇرغۇن ئۇسۇل ۋە تېخنىكىلار قوللىنىلىدۇ، بۇلار ئاددىيلاشتۇرۇلغان مەشغۇلاتلارنى ۋە يۇقىرى ئۈسكۈنە ئۈنۈمىنى قوللايدۇ.
ئەڭ ياخشى سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى ساقلاش تېخنىكىسى ۋە قوراللىرى
سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش پارقىراتقۇچ سۇيۇقلۇقتىكى سۈرتكۈچ زەررىچىلەر ۋە خىمىيىلىك ماددىلارنى ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىشتىن باشلىنىدۇ. سېرىي ئوكسىد (CeO₂) پارقىراتقۇچ سۇيۇقلۇقى ۋە باشقا CMP فورمۇلالىرى ئۈچۈن، ئىچكى سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش قاتارلىق بىۋاسىتە ئۇسۇللار ئىنتايىن مۇھىم. Lonnmeter ئىشلەپچىقارغان ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابلىرى سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۈزلۈكسىز ئۆلچەيدۇ، بۇ ئومۇمىي قاتتىق ماددا مىقدارى ۋە بىردەكلىكى بىلەن كۈچلۈك مۇناسىۋەتلىك.
قوشۇمچە تېخنىكىلار لايلىق ئانالىزى (بۇ يەردە ئوپتىكىلىق سېنزورلار ئاسما زەررىچىلەردىن تارقالغان ماددىلارنى بايقىيالايدۇ) ۋە لاي ئېقىمىدىكى مۇھىم رېئاكسىيەچىلەرنى مىقدارلاشتۇرۇش ئۈچۈن UV-Vis ياكى يېقىن ئىنفىرا قىزىل نۇر (NIR) سپېكتروسكوپىيە قاتارلىق سپېكتروسكوپىيە ئۇسۇللىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. بۇ ئۆلچەشلەر CMP جەريان كونترول سىستېمىسىنىڭ ئاساسىنى شەكىللەندۈرىدۇ، نىشان قويۇقلۇق دېرىزىسىنى ساقلاپ قېلىش ۋە تۈركۈمدىن تۈركۈمگە ئۆزگىرىشچانلىقنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن جانلىق تەڭشەشلەرنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.
ئېلېكتروخىمىيىلىك سېنزورلار مېتال ئىئونلىرىغا مول بولغان فورمۇلالاردا ئىشلىتىلىدۇ، بۇلار ئالاھىدە ئىئون قويۇقلۇقى توغرىسىدا تېز ئىنكاس قايتۇرۇش ئۇچۇرلىرى بىلەن تەمىنلەيدۇ ھەمدە ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى قوللىنىشچان پروگراممىلىرىدا تېخىمۇ ئىنچىكە تەڭشەشنى قوللايدۇ.
يېپىق دەۋرىيلىك كونترول ئۈچۈن پىكىر ئالماشتۇرۇش دەۋرىيلىكى ۋە ئاپتوماتلاشتۇرۇش
زامانىۋى خىمىيىلىك-مېخانىكىلىق تەكشىلەش ئۈسكۈنىلىرىنى ئورنىتىشتا، ئىچكى ئۆلچەش سىستېمىسى بىلەن ئاپتوماتىك تارقىتىش سىستېمىسىنى تۇتاشتۇرىدىغان يېپىق ئايلانما كونترول سىستېمىلىرى بارغانسېرى كۆپ ئىشلىتىلىدۇ. سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋە مۇناسىۋەتلىك سېنزورلاردىن كەلگەن سانلىق مەلۇماتلار بىۋاسىتە پروگراممىلىنىدىغان مەنتىقىي كونتروللىغۇچلار (PLC) ياكى تارقاقلاشتۇرۇلغان كونترول سىستېمىلىرىغا (DCS) يەتكۈزۈلىدۇ. بۇ سىستېمىلار سۇ قوشۇش، قويۇق سۇيۇقلۇق مىقدارىنى تەڭشەش ۋە ھەتتا مۇقىملاشتۇرغۇچنى ئوكۇل قىلىش ئۈچۈن كلاپانلارنى ئاپتوماتىك قوزغىتىدۇ، بۇ جەرياننىڭ ھەر ۋاقىت تەلەپ قىلىنىدىغان مەشغۇلات دائىرىسى ئىچىدە بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
بۇ ئىنكاس قۇرۇلمىسى ھەقىقىي ۋاقىتلىق سېنزورلار بايقىغان ھەر قانداق چەتنىشلەرنى ئۈزلۈكسىز تۈزىتىشكە، ھەددىدىن زىيادە سۇيۇلدۇرۇشنىڭ ئالدىنى ئېلىشقا، ئەڭ ياخشى سۈرتۈش قويۇقلۇقىنى ساقلاشقا ۋە ئارتۇقچە خىمىيىلىك ئىشلىتىشنى ئازايتىشقا يول قويىدۇ. مەسىلەن، ئىلغار ۋافېر تۈگۈنلىرى ئۈچۈن يۇقىرى ئۈنۈملۈك CMP قورالىدا، ئىچكى ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۇيۇقلۇقى زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى سۈرتۈش قويۇقلۇقىنىڭ تۆۋەنلىشىنى بايقاپ، زىچلىق بەلگىلەنگەن نۇقتىغا قايتقۇچە دەرھال مىقدار سىستېمىسىغا سۇيۇقلۇقىنى كۆپەيتىش سىگنالىنى بېرىدۇ. ئەكسىچە، ئەگەر ئۆلچەنگەن زىچلىق ئۆلچەمدىن ئېشىپ كەتسە، كونترول مەنتىقى توغرا قويۇقلۇقنى ئەسلىگە كەلتۈرۈش ئۈچۈن سۇ قوشۇشنى باشلايدۇ.
قويۇقلۇقنى ئۆلچەشنىڭ سۇ ۋە سۇيۇقلۇق قوشۇش نىسبىتىنى تەڭشەشتىكى رولى
سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئاكتىپ قويۇقلۇقنى كونترول قىلىشنىڭ ئاچقۇچى. Lonnmeter نىڭ ئىچكى زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى قاتارلىق ئۈسكۈنىلەر تەمىنلىگەن زىچلىق قىممىتى ئىككى مۇھىم مەشغۇلات پارامېتىرىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ: تەركىب سۇ مىقدارى ۋە قويۇق سۇيۇقلۇقنىڭ بېرىش سۈرئىتى.
زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنى CMP قورالىنى كىرگۈزۈشتىن بۇرۇن ياكى ئىشلىتىش نۇقتىسىدىكى ئارىلاشتۇرغۇچتىن كېيىن قاتارلىق ئىستراتېگىيەلىك نۇقتىلارغا قويۇش ئارقىلىق، ھەقىقىي ۋاقىتلىق سانلىق مەلۇماتلار ئاپتوماتىك سىستېمىلارنىڭ سۇ قوشۇش سۈرئىتىنى تەڭشىشىگە شارائىت ھازىرلايدۇ، شۇنىڭ بىلەن سۇيۇقلۇقنى خالىغان ئۆلچەمگە يەتكۈزىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، سىستېما قويۇق سۇيۇقلۇقنىڭ بېرىش سۈرئىتىنى تەڭشەپ، ئەسۋاب ئىشلىتىش، قېرىش تەسىرى ۋە جەريان كەلتۈرۈپ چىقارغان زىيانلارنى ھېسابقا ئالالايدۇ.
مەسىلەن، 3D NAND قۇرۇلمىسى ئۈچۈن ئۇزارتىلغان تۈزلەشمە ئىجرا قىلىش جەريانىدا، ئۈزلۈكسىز زىچلىقنى كۆزىتىش سۇيۇقلۇقنىڭ يىغىلىشى ياكى چۆكۈش يۈزلىنىشىنى بايقايدۇ، بۇ جەرياننىڭ مۇقىملىقى ئۈچۈن تەلەپ قىلىنىدىغان سۇنىڭ ئاپتوماتىك ئېشىشىنى ياكى ئارىلىشىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ قاتتىق تەڭشەلگەن كونترول ھالقىسى، بولۇپمۇ ئۈسكۈنە ئۆلچىمى ۋە جەريان كۆزنەكلىرى تارىيغاندا، قاتتىق ۋافېردىن ۋافېرغا ۋە ۋافېر ئىچىدىكى بىردەكلىك نىشانىنى ساقلاشتا ئاساس سالىدۇ.
خۇلاسىلەپ ئېيتقاندا، CMP دىكى سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش ئىستراتېگىيىسى ئىلغار لىنىيە ئىچىدىكى ئۆلچەش ۋە ئاپتوماتىك يېپىق ئايلانما ئىنكاسنىڭ بىرىكمىسىگە تايىنىدۇ. سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابلىرى، بولۇپمۇ Lonnmeter دىكىگە ئوخشاش ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى ئۈسكۈنىلىرى، مۇھىم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش باسقۇچلىرىدا قاتتىق جەريان باشقۇرۇش ئۈچۈن زۆرۈر بولغان يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ۋە ۋاقتىدا سانلىق مەلۇماتلارنى يەتكۈزۈشتە مۇھىم رول ئوينايدۇ. بۇ قوراللار ۋە ئۇسۇللار ئۆزگىرىشچانلىقنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ، خىمىيىلىك ئىشلىتىشنى ئەلالاشتۇرۇش ئارقىلىق ئىمكانىيەتلىك تەرەققىياتنى قوللايدۇ ۋە زامانىۋى تۈگۈن تېخنىكىسى ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئېنىقلىقنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ئۈچۈن سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابىنى تاللاش قوللانمىسى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش (CMP) ئۈچۈن سۇيۇقلۇق زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابىنى تاللاش بىر قاتار تېخنىكىلىق تەلەپلەرگە ئەستايىدىل دىققەت قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ. ئاساسلىق ئىقتىدار ۋە قوللىنىش ئۆلچىمى سەزگۈرلۈك، توغرىلىق، ئاكتىپ سۇيۇقلۇق خىمىيىلىك ماتېرىياللىرى بىلەن ماسلىشىشچانلىقى ۋە CMP سۇيۇقلۇق يەتكۈزۈش سىستېمىسى ۋە ئۈسكۈنىلىرىنى ئورنىتىشقا ئاسان بىرلەشتۈرۈشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
سەزگۈرلۈك ۋە توغرىلىق تەلىپى
CMP جەريانىنى كونترول قىلىش سۇيۇقلۇق تەركىبىدىكى كىچىك ئۆزگىرىشلەرگە باغلىق. زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى ئەڭ ئاز بولغاندا 0.001 g/cm³ ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى ئۆزگىرىشلەرنى بايقىشى كېرەك. بۇ سەزگۈرلۈك دەرىجىسى CeO₂ سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى ياكى كرېمنىي ئاساسلىق سۇيۇقلۇقلاردا بايقالغانغا ئوخشاش، سۈرتكۈچ تەركىبىدىكى ئىنتايىن كىچىك ئۆزگىرىشلەرنىمۇ بايقاش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم، چۈنكى بۇلار ماتېرىيالنىڭ چىقىرىلىش سۈرئىتى، ۋاپېرنىڭ تۈزلۈكى ۋە كەمتۈكلۈكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سۇيۇقلۇق زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنىڭ ئادەتتىكى قوبۇل قىلغىلى بولىدىغان توغرىلىق دائىرىسى ±0.001–0.002 g/cm³.
ئاگرېسسىيەلىك سۇيۇقلۇقلار بىلەن ماسلىشىشچانلىقى
CMP دا ئىشلىتىلىدىغان سۇيۇقلۇقلار سېرىي ئوكسىد (CeO₂)، ئاليۇمىن ياكى كرېمنىي قاتارلىق خىمىيىلىك ئاكتىپ مۇھىتتا لەيلەپ قالغان ئۇۋۇشچان نانو زەررىچىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئېلىشى مۇمكىن. زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى ئۇزۇن مۇددەت فىزىكىلىق ئۇۋۇش ۋە چىرىشچان مۇھىتقا بەرداشلىق بېرىشى كېرەك، بۇ مۇھىتتا كالىبراتسىيەدىن چىقىپ كەتمەيدۇ ياكى بۇلغىمىلارغا ئۇچرىمايدۇ. ھۆللەنگەن قىسىملاردا ئىشلىتىلىدىغان ماتېرىياللار كۆپ ئىشلىتىلىدىغان سۇيۇقلۇق خىمىيىلىك ماددىلارغا ماس كەلمەسلىكى كېرەك.
بىرلەشتۈرۈشنىڭ ئاسانلىقى
ئىچكى لاي زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابلىرى مەۋجۇت CMP ئۈسكۈنىلىرىگە ئاسانلا ماس كېلىشى كېرەك. دىققەت قىلىشقا تېگىشلىك ئىشلار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
- سۇلياۋنىڭ يەتكۈزۈلۈشىگە تەسىر كۆرسىتىشتىن ساقلىنىش ئۈچۈن ئۆلۈك ھەجىم ئەڭ تۆۋەن ۋە بېسىم تۆۋەنلىشى تۆۋەن.
- تېز ئورنىتىش ۋە ئاسراش ئۈچۈن ئۆلچەملىك سانائەت جەريان ئۇلىنىشلىرىنى قوللايدۇ.
- سۇلياۋ قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش سىستېمىسى بىلەن ھەقىقىي ۋاقىتلىق بىر گەۋدىلەشتۈرۈش ئۈچۈن چىقىرىش ماسلىشىشچانلىقى (مەسىلەن، ئانالىزلىق/رەقەملىك سىگناللار)، ئەمما بۇ سىستېمىلارنىڭ ئۆزىنى تەمىنلىمەيدۇ.
ئالدىنقى قاتاردىكى سېنزور تېخنىكىسىنىڭ سېلىشتۇرما ئالاھىدىلىكلىرى
سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىنىڭ زىچلىقىنى كونترول قىلىش ئاساسلىقى ئىككى خىل سېنزور سىنىپى ئارقىلىق باشقۇرۇلىدۇ: زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى ۋە رېفراكتومېترىيە ئاساسلىق ئۆلچەش ئەسۋابى. ھەر بىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ قوللىنىشچانلىقىغا مۇناسىۋەتلىك كۈچلۈك تەرەپلەرگە ئىگە.
زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى (مەسىلەن، ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى قويۇقلۇق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى)
- ئاۋازنىڭ قويۇقلۇققا بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك بولغان لاي ئارقىلىق تارقىلىش سۈرئىتىنى ئىشلىتىدۇ.
- ھەر خىل سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقى ۋە سۈرتكۈچ تىپلىرى ئارىسىدا زىچلىقنى ئۆلچەشتە يۇقىرى سىزىقلىقلىقنى تەمىنلەيدۇ.
- سېزىش ئېلېمېنتلىرىنى خىمىيىلىك ماددىلاردىن فىزىكىلىق جەھەتتىن ئايرىۋالغىلى بولغاچقا، CeO₂ ۋە كرېمنىي فورمۇلاسى قاتارلىق ئاكتىپ پارقىراتقۇچ سۇيۇقلۇقلارغا ناھايىتى ماس كېلىدۇ.
- ئادەتتىكى سەزگۈرلۈك ۋە توغرىلىق 0.001 گرام/سانتىمېتىردىن تۆۋەن تەلەپكە يېتىدۇ.
- ئادەتتە بىر لىنىيە ئىچىدە ئورنىتىلىدۇ، بۇ خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تەكشىلەش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئىشلىتىلىشى جەريانىدا ئۈزلۈكسىز ھەقىقىي ۋاقىتلىق ئۆلچەشكە يول قويىدۇ.
رېفراكتومېترىيەگە ئاساسلانغان ئۆلچەش ئەسۋابلىرى
- سۇيۇقلۇقنىڭ زىچلىقىنى پەرەز قىلىش ئۈچۈن سىنىش كۆرسەتكۈچىنى ئۆلچەيدۇ.
- قويۇقلۇق ئۆزگىرىشىگە يۇقىرى سەزگۈرلۈك سەۋەبىدىن سۇيۇقلۇق تەركىبىدىكى ئىنچىكە ئۆزگىرىشلەرنى بايقاشتا ئۈنۈملۈك؛ <0.1% ماسسا ئۈلۈشى ئۆزگىرىشىنى ھەل قىلالايدۇ.
- قانداقلا بولمىسۇن، سىنىش كۆرسەتكۈچى تېمپېراتۇرا قاتارلىق مۇھىت ئۆزگەرگۈچىلىرىگە سەزگۈر بولۇپ، ئېھتىياتچانلىق بىلەن تەڭشەش ۋە تېمپېراتۇرانى تولۇقلاشنى تەلەپ قىلىدۇ.
- خىمىيىلىك ماسلىشىشچانلىقى چەكلىك بولۇشى مۇمكىن، بولۇپمۇ ئىنتايىن ئاكتىپ ياكى تۇتۇق سۇيۇقلۇقلاردا.
زەررىچە چوڭلۇقىنى ئۆلچەش تولۇقلاش سۈپىتىدە
- زىچلىق كۆرسەتكۈچى زەررىچە چوڭلۇقىنىڭ تارقىلىشى ياكى توپلىنىش ئۆزگىرىشى سەۋەبىدىن بۇرمىلىنىشى مۇمكىن.
- سانائەتتىكى ئەڭ ياخشى ئۇسۇللار دەۋرىي زەررىچە چوڭلۇقى ئانالىزى (مەسىلەن، دىنامىك نۇر چېچىلىشى ياكى ئېلېكترون مىكروسكوپى) بىلەن بىرلەشتۈرۈشنى تەۋسىيە قىلىدۇ، بۇ ئارقىلىق كۆرۈنگەن زىچلىق ئۆزگىرىشىنىڭ پەقەت زەررىچە توپلىنىشىدىنلا كېلىپ چىقمايدىغانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىنىدۇ.
لونمېتىر ئىچكى زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىغا قارىتا ئويلىنىشقا تېگىشلىك نۇقتىلار
- Lonnmeter شىركىتى قوللاش يۇمشاق دېتالى ياكى سىستېما بىرلەشتۈرۈش بىلەن تەمىنلىمەستىن، ئىچكى زىچلىق ۋە قويۇقلۇق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنى ئىشلەپچىقىرىشقا ئىختىساسلاشقان.
- لونمېتىر ئۆلچەش ئەسۋابلىرى سۈركىلىشچان، خىمىيىلىك جەھەتتىن ئاكتىپ CMP لايلىرىغا چىداملىق بولۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈسكۈنىلىرىگە بىۋاسىتە ئورنىتىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ، ھەقىقىي ۋاقىتلىق لاي زىچلىقىنى ئۆلچەش ئېھتىياجىغا ماس كېلىدۇ.
تاللاشلارنى كۆزدىن كەچۈرگەندە، ئاساسلىق قوللىنىش ئۆلچىمىگە دىققەت قىلىڭ: زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابىنىڭ تەلەپ قىلىنىدىغان سەزگۈرلۈك ۋە توغرىلىققا يېتىشىگە، سۇيۇقلۇق خىمىيىلىك تەركىبىڭىزگە ماس كېلىدىغان ماتېرىياللاردىن ياسالغانلىقىغا، ئۈزلۈكسىز ئىشلىتىشكە چىداملىق ئىكەنلىكىگە ۋە CMP جەريانىدىكى پارقىراق سۇيۇقلۇق يەتكۈزۈش لىنىيىسىگە مۇكەممەل بىرلەشتۈرۈلگەنلىكىگە كاپالەتلىك قىلىڭ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى ئۈچۈن، سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى توغرا ئۆلچەش ۋاپېرنىڭ بىردەكلىكى، مەھسۇلات مىقدارى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى قوللايدۇ.
ئۈنۈملۈك سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى كونترول قىلىشنىڭ CMP نەتىجىلىرىگە تەسىرى
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىدا ئېنىق سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى كونترول قىلىش ناھايىتى مۇھىم. زىچلىق مۇقىم ساقلانغاندا، سىلىقلاش جەريانىدا مەۋجۇت بولغان سۈرتكۈچ زەررىچىلەرنىڭ مىقدارى مۇقىم بولىدۇ. بۇ ماتېرىيالنىڭ چىقىرىلىش سۈرئىتى (MRR) ۋە تاختاينىڭ يۈزەكى سۈپىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ۋافېر يۈزىدىكى كەمتۈكلۈكلەرنى ئازايتىش ۋە WIWNU نى ياخشىلاش
ئەڭ ياخشى سۇلياۋ زىچلىقىنى ساقلاش، مىكرو چىزىقلار، چۆكۈشلەر، ئېروزىيە ۋە زەررىچە بۇلغىنىشى قاتارلىق ۋافلىنىڭ يۈزىدىكى نۇقسانلارنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدىغانلىقى ئىسپاتلاندى. 2024-يىلدىكى تەتقىقاتلار، ئادەتتە كوللوئىدلىق كرېمنىي ئاساسلىق فورمۇلا ئۈچۈن 1% تىن 5% گىچە بولغان كونترول قىلىنىدىغان زىچلىق دائىرىسى، يوقىتىش ئۈنۈمى بىلەن نۇقساننى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئوتتۇرىسىدا ئەڭ ياخشى تەڭپۇڭلۇقنى ھاسىل قىلىدىغانلىقىنى كۆرسەتتى. ئارتۇقچە يۇقىرى زىچلىق سۈركىلىشلەرنى كۆپەيتىپ، ئاتوم كۈچى مىكروسكوپى ۋە ئېللىپسمېتىرىيە ئانالىزى ئارقىلىق دەلىللەنگەندەك، كۋادرات سانتىمېتىردىكى نۇقسان سانىنىڭ ئىككى ھەسسىدىن ئۈچ ھەسسىگىچە ئېشىشىغا سەۋەب بولىدۇ. زىچ زىچلىقنى كونترول قىلىش يەنە ۋافلىنىڭ ئىچىدىكى تەكشىسىزلىكنى (WIWNU) ياخشىلاپ، ماتېرىيالنىڭ ۋافلىنىڭ ئۈستىدىن تەكشى چىقىرىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ، بۇ ئىلغار تۈگۈنلۈك يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن مۇھىم. مۇقىم زىچلىق پىلاستىنكا قېلىنلىقى نىشانى ياكى تۈزلۈككە خەۋپ يەتكۈزىدىغان جەرياننىڭ يۆتكىلىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىشقا ياردەم بېرىدۇ.
سۇلياۋنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىش ۋە سەرپىيات ماتېرىياللىرىنىڭ تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىش
سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش تېخنىكىلىرى، شۇنىڭ ئىچىدە ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۇيۇقلۇق زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى ئارقىلىق ھەقىقىي ۋاقىتلىق كۆزىتىش، CMP سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ. خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تەكشىلەش ئۈسكۈنىلىرى ئارتۇقچە مىقداردا ئىشلىتىش ياكى ئارتۇقچە سۇيۇقلۇقنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئارقىلىق، سەرپ قىلىنىدىغان ماتېرىياللارنى ئەڭ ياخشى ئىشلىتىدۇ. بۇ ئۇسۇل سۇيۇقلۇقنى ئالماشتۇرۇش قېتىم سانىنى ئازايتىدۇ ۋە قايتا ئىشلەش ئىستراتېگىيىسىنى يولغا قويۇپ، ئومۇمىي چىقىمنى تۆۋەنلىتىدۇ. مەسىلەن، CeO₂ سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى قوللىنىشلىرىدا، زىچلىقنى ئەستايىدىل ساقلاش سۇيۇقلۇق تۈركۈملىرىنى قايتا ئىشلىتىشكە يول قويىدۇ ھەمدە ئىقتىدارغا تەسىر كۆرسەتمەي تۇرۇپ ئىسراپچىلىق مىقدارىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ. ئۈنۈملۈك زىچلىقنى كونترول قىلىش جەريان ئىنژېنېرلىرىغا قوبۇل قىلىنىدىغان ئىقتىدار چېكى ئىچىدە قالغان سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىنى قايتۇرۇۋېلىش ۋە قايتا ئىشلىتىش ئىمكانىيىتىنى يارىتىپ، چىقىمنى تېخىمۇ تېجەيدۇ.
ئىلغار تۈگۈن ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن كۈچەيتىلگەن تەكرارلىنىشچانلىقى ۋە جەريان كونتروللۇقى
زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ قوللىنىشچان پروگراممىلىرى خىمىيىلىك-مېخانىكىلىق تۈزلەش باسقۇچىدا يۇقىرى تەكرارلىنىشچانلىقنى تەلەپ قىلىدۇ. ئىلغار تۈگۈن ئىشلەپچىقىرىشتا، سۇيۇقلۇق زىچلىقىدىكى كىچىك تەۋرىنىشلەرمۇ ۋافتا نەتىجىسىدە قوبۇل قىلغىلى بولمايدىغان ئۆزگىرىشلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. Lonnmeter ئىشلەپچىقارغانغا ئوخشاش ئىچكى ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى سۇيۇقلۇق زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنى ئاپتوماتلاشتۇرۇش ۋە بىرلەشتۈرۈش جەرياننى كونترول قىلىش ئۈچۈن ئۈزلۈكسىز، ھەقىقىي ۋاقىتلىق ئىنكاسنى ئاسانلاشتۇرىدۇ. بۇ ئەسۋابلار CMP غا خاس قاتتىق خىمىيىلىك مۇھىتتا توغرا ئۆلچەش ئېلىپ بارىدۇ، بۇ چەتنىشكە دەرھال ئىنكاس قايتۇرىدىغان يېپىق ھالقىلىق سىستېمىلارنى قوللايدۇ. ئىشەنچلىك زىچلىق ئۆلچەش ۋافتادىن ۋافتاغىچە بولغان بىردەكلىكنى ئاشۇرۇش ۋە MRR نى قاتتىق كونترول قىلىشنى كۆرسىتىدۇ، بۇ 7nm دىن تۆۋەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. ئۈسكۈنىلەرنى توغرا ئورنىتىش - سۇيۇقلۇق يەتكۈزۈش لىنىيىسىدە توغرا ئورۇنلاشتۇرۇش - ۋە دائىملىق ئاسراش ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنىڭ ئىشەنچلىك ئىشلىشىنى كاپالەتلەندۈرۈش ۋە جەرياننىڭ مۇقىملىقى ئۈچۈن مۇھىم سانلىق مەلۇماتلار بىلەن تەمىنلەش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
مەھسۇلات مىقدارىنى ئەڭ چوڭ دەرىجىدە ئاشۇرۇش، نۇقسانلارنى ئەڭ تۆۋەن چەكتە تۇتۇش ۋە CMP جەريانلىرىدا ئىشلەپچىقىرىشنىڭ تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىشتە يېتەرلىك سۇسلاش زىچلىقىنى ساقلاش ئىنتايىن مۇھىم.
كۆپ سورىلىدىغان سوئاللار (FAQ)
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىدا سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابىنىڭ رولى نېمە؟
سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابى سىلىقلاش سۇيۇقلۇقىنىڭ زىچلىقى ۋە قويۇقلۇقىنى ئۈزلۈكسىز ئۆلچەش ئارقىلىق خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىدىكى مۇھىم رول ئوينايدۇ. ئۇنىڭ ئاساسلىق رولى سۇيۇقلۇقتىكى سۈرتكۈچ ۋە خىمىيىلىك تەڭپۇڭلۇق توغرىسىدا ھەقىقىي ۋاقىتلىق سانلىق مەلۇماتلار بىلەن تەمىنلەش بولۇپ، بۇ ئىككىسىنىڭ ئەڭ ياخشى ۋافلا تۈزلەش ئۈچۈن ئېنىق چەك ئىچىدە ئىكەنلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ ھەقىقىي ۋاقىتلىق كونترول قىلىش سۇيۇقلۇق ئارىلاشمىسىنىڭ ئارتۇق ياكى ئاز سۇيۇقلىنىشىدا كۆپ ئۇچرايدىغان چىزىلىش ياكى تەكشى ئەمەس ماتېرىيال چىقىرىۋېتىش قاتارلىق نۇقسانلارنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. سۇيۇقلۇقنىڭ مۇقىم زىچلىقى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا قايتا ئىشلەش ئىقتىدارىنى ساقلاپ قېلىشقا ياردەم بېرىدۇ، ۋافلادىن ۋافلاغا بولغان ئۆزگىرىشنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ ۋە ئەگەر چەتنىش بايقالسا تۈزىتىش تەدبىرلىرىنى قوللىنىش ئارقىلىق جەرياننى ئەلالاشتۇرۇشنى قوللايدۇ. ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ۋە يۇقىرى ئىشەنچلىك قوللىنىشچان پروگراممىلاردا، ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىش ئىسراپچىلىقنى ئازايتىدۇ ۋە قاتتىق سۈپەت كاپالىتى تەدبىرلىرىنى قوللايدۇ.
نېمىشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە بەزى تەكشىلەش باسقۇچلىرى ئۈچۈن CeO₂ سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى ئەڭ ياخشى دەپ قارىلىدۇ؟
سېرىي ئوكسىد (CeO₂) سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى، بولۇپمۇ ئەينەك ۋە ئوكسىد پەردىلىرى ئۈچۈن ئالاھىدە تاللاشچانلىقى ۋە خىمىيىلىك يېقىنلىقى سەۋەبىدىن، مەلۇم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تەكشىلەش باسقۇچلىرى ئۈچۈن تاللىنىدۇ. ئۇنىڭ بىردەك سۈرتكۈچ زەررىچىلىرى يۇقىرى سۈپەتلىك تەكشىلەشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ ئىنتايىن تۆۋەن نۇقسان نىسبىتى ۋە ئەڭ ئاز يۈزە چىزىلىشى بىلەن تەمىنلەيدۇ. CeO₂ نىڭ خىمىيىلىك خۇسۇسىيىتى مۇقىم ۋە تەكرارلىنىدىغان چىقىرىۋېتىش نىسبىتىنى تەمىنلەيدۇ، بۇ فوتون ۋە يۇقىرى زىچلىقتىكى بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى قاتارلىق ئىلغار قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. بۇنىڭدىن باشقا، CeO₂ سۇيۇقلۇقى يىغىلىشقا قارشى تۇرىدۇ، ھەتتا ئۇزارتىلغان CMP مەشغۇلاتى جەريانىدا مۇقىم سۇسپېنزىيە ھالىتىنى ساقلايدۇ.
ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى ئارقىلىق سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابى باشقا ئۆلچەش تۈرلىرىگە سېلىشتۇرغاندا قانداق ئىشلەيدۇ؟
ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنىنى سۇيۇقلۇق ئارقىلىق ئۆتكۈزۈپ، بۇ دولقۇنلارنىڭ سۈرئىتى ۋە ئاجىزلىشىش دەرىجىسىنى ئۆلچەش ئارقىلىق ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنىنى ئىشلىتىدۇ. سۇيۇقلۇقنىڭ زىچلىقى دولقۇنلارنىڭ قانچىلىك تېز تارقىلىشى ۋە كۈچلۈكلۈكىنىڭ تۆۋەنلىشىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. بۇ ئۆلچەش ئۇسۇلى دەخلىسىز بولۇپ، جەريان ئېقىمىنى ئايرىۋېتىش ياكى فىزىكىلىق جەھەتتىن بۇزۇشنىڭ ھاجىتى يوق، ھەقىقىي ۋاقىتلىق سۇيۇقلۇقنىڭ قويۇقلۇق سانلىق مەلۇماتلىرىنى تەمىنلەيدۇ. ئۇلترا ئاۋاز ئۇسۇللىرى مېخانىكىلىق (سۇ ئۈستىدە) ياكى ئېغىرلىق كۈچى زىچلىقىنى ئۆلچەش سىستېمىلىرىغا سېلىشتۇرغاندا، ئېقىم سۈرئىتى ياكى زەررىچە چوڭلۇقى قاتارلىق ئۆزگەرگۈچى مىقدارلارغا بولغان سەزگۈرلۈكنى تۆۋەن كۆرسىتىدۇ. خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تەكشىلەشتە، بۇ يۇقىرى ئېقىملىق، زەررىچىلەرگە باي سۇيۇقلۇقلاردىمۇ ئىشەنچلىك، كۈچلۈك ئۆلچەشكە ئايلاندۇرىدۇ.
CMP سىستېمىسىدا ئادەتتە لاي زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابلىرى قەيەرگە ئورنىتىلىشى كېرەك؟
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش ئۈسكۈنىلىرىدە سۇلياۋ زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابىنى ئورنىتىشنىڭ ئەڭ ياخشى ئورۇنلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
- قايتا ئايلىنىش باكى: تارقىتىشتىن بۇرۇن ئومۇمىي لاي زىچلىقىنى ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىش.
- ئىشلىتىشتىن بۇرۇن، سىلىقلاش تاختىسىغا يەتكۈزۈلىدۇ: تەمىنلەنگەن سۇيۇقلۇقنىڭ نىشان زىچلىق ئۆلچىمىگە يېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن.
- سۇيۇقلۇق ئارىلاشتۇرۇش نۇقتىلىرىدىن كېيىن: يېڭى تەييارلانغان تۈركۈملەرنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ھالقىسىغا كىرىشتىن بۇرۇن تەلەپ قىلىنغان فورمۇلاغا ماس كېلىدىغانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش.
بۇ ئىستراتېگىيىلىك ئورۇنلار سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىدىكى ھەر قانداق ئۆزگىرىشنى تېز بايقاش ۋە تۈزىتىشكە يول قويۇپ، ۋاپپېر سۈپىتىنىڭ بۇزۇلۇشى ۋە جەرياننىڭ ئۈزۈلۈپ قېلىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. ئورۇنلاشتۇرۇش سۇيۇقلۇق ئېقىمىنىڭ دىنامىكىسى، ئادەتتىكى ئارىلاشتۇرۇش ھەرىكىتى ۋە تۈزلەش مەيدانىغا يېقىن جايدا دەرھال ئىنكاس قايتۇرۇشنىڭ زۆرۈرلۈكى بىلەن بەلگىلىنىدۇ.
ئېنىق سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش CMP جەريانىنىڭ ئىقتىدارىنى قانداق ياخشىلايدۇ؟
ئېنىق سۇيۇقلۇق قويۇقلۇقىنى كونترول قىلىش، بىردەك چىقىرىۋېتىش نىسبىتىگە كاپالەتلىك قىلىش، يوپۇق قارشىلىق ئۆزگىرىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ۋە يۈزەكى كەمتۈكلۈكلەرنىڭ كۆرۈلۈش قېتىم سانىنى ئازايتىش ئارقىلىق خىمىيىلىك مېخانىكىلىق تۈزلەش جەريانىنى ياخشىلايدۇ. مۇقىم سۇيۇقلۇق زىچلىقى سۈرتكۈچنىڭ ئارتۇقچە ئىشلىتىلىشى ياكى كەم ئىشلىتىلىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئارقىلىق سىلىقلاش ياستۇقچىسى ۋە ۋافتا ئۆمرىنى ئۇزارتىدۇ. ئۇ يەنە سۇيۇقلۇق سەرپىياتىنى ئەلالاشتۇرۇش، قايتا ئىشلەشنى ئازايتىش ۋە يۇقىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنە ئۈنۈمىنى قوللاش ئارقىلىق جەريان تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ. بولۇپمۇ ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش ۋە كۋانت ئۈسكۈنىلىرىنى ياساشتا، قاتتىق سۇيۇقلۇق كونترول قىلىش قايتا ھاسىل بولىدىغان تۈزلۈك، مۇقىم ئېلېكتر ئىقتىدارى ۋە ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسىدىكى ئېقىپ كېتىشنى ئازايتىدۇ.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 12-ئاينىڭ 9-كۈنى
