ئۆلچەش ئەقىل-پاراسىتىنى تېخىمۇ توغرا قىلىڭ!

توغرا ۋە ئەقىللىق ئۆلچەش ئۈچۈن لوننمېتىرنى تاللاڭ!

خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش

خىمىيىلىك-مېخانىكىلىق سىلىقلاش (CMP) كۆپىنچە خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق سىلىق يۈزلەرنى ھاسىل قىلىشقا ئىشلىتىلىدۇ، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش سانائىتىدە ئىشلىتىلىدۇ.لوننېمېتىر، 20 يىلدىن ئارتۇق ئىچكى قويۇقلۇق ئۆلچەش تەجرىبىسىگە ئىگە ئىشەنچلىك يېڭىلىق ياراتقۇچى بولۇپ، ئەڭ ئىلغار تېخنىكىلارنى تەمىنلەيدۇيادروسىز زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىۋە لاينى باشقۇرۇشتىكى قىيىنچىلىقلارنى ھەل قىلىش ئۈچۈن قويۇقلۇق سېنزورلىرى.

CMP

سۇيۇقلۇق سۈپىتىنىڭ مۇھىملىقى ۋە لونمېتىرنىڭ كەسپىي ماھارىتى

خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى CMP جەريانىنىڭ ئاساسى بولۇپ، يۈزلەرنىڭ بىردەكلىكى ۋە سۈپىتىنى بەلگىلەيدۇ. سۇيۇقلۇقنىڭ زىچلىقى ياكى يېپىشقاقلىقىنىڭ ماس كەلمەسلىكى مىكرو چىزىقلار، ماتېرىيالنىڭ تەكشى بولماسلىقى ياكى ياستۇقنىڭ توسۇلۇپ قېلىشى قاتارلىق نۇقسانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، ۋاپېلنىڭ سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىپ، ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى ئاشۇرۇۋېتىدۇ. سانائەت ئۆلچەش چارىلىرى ساھەسىدىكى دۇنياۋى باشلامچى بولغان Lonnmeter، سۇيۇقلۇقنىڭ ئەڭ ياخشى ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ئىچكى سۇيۇقلۇق ئۆلچەشتە ئىختىساسلاشقان. ئىشەنچلىك، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سېنزورلارنى تەمىنلەشتە ئىسپاتلانغان نەتىجىلەر بىلەن، Lonnmeter ئالدىنقى قاتاردىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار بىلەن ھەمكارلىشىپ، جەرياننى كونترول قىلىش ۋە ئۈنۈمنى ئاشۇرۇشقا ياردەم بەردى. ئۇلارنىڭ يادروسىز سۇيۇقلۇق زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋە يېپىشقاقلىق سېنزورلىرى ھەقىقىي ۋاقىتلىق سانلىق مەلۇماتلار بىلەن تەمىنلەيدۇ، سۇيۇقلۇقنىڭ مۇقىملىقىنى ساقلاش ۋە زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ قاتتىق تەلىپىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن ئېنىق تەڭشەشلەرنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.

ئىچكى قويۇقلۇقنى ئۆلچەشتە يىگىرمە يىلدىن ئارتۇق تەجرىبىگە ئىگە بولۇپ، ئالدىنقى قاتاردىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ شىركەتلىرىنىڭ ئىشەنچىسىگە ئېرىشكەن. Lonnmeter نىڭ سېنزورلىرى ئۈزۈلمەس بىرلەشتۈرۈش ۋە نۆل ئاسراش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ، ئىشلىتىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ. ئالاھىدە جەريان ئېھتىياجىنى قاندۇرۇش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن، يۇقىرى لېنتا ئۈنۈمى ۋە ماسلىشىشچانلىقىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاشنىڭ رولى

خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش (CMP)، يەنە خىمىيىلىك-مېخانىكىلىق تەكشىلەش دەپمۇ ئاتىلىدۇ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئاساسى بولۇپ، ئىلغار چىپ ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن تۈز، نۇقسانسىز يۈزلەرنى يارىتىشقا شارائىت ھازىرلايدۇ. خىمىيىلىك ئويۇش بىلەن مېخانىكىلىق سۈركىلىشنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق، CMP جەريانى 10nm دىن تۆۋەن تۈگۈنلەردە كۆپ قاتلاملىق بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئۈچۈن تەلەپ قىلىنىدىغان ئېنىقلىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. سۇ، خىمىيىلىك رېئاگېنتلار ۋە سۈركىلىش زەررىچىلىرىدىن تەركىب تاپقان خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش سۇيۇقلۇقى سىلىقلاش ياستۇقچىسى ۋە ۋاف بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىپ، ماتېرىيالنى تەكشى چىقىرىۋېتىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لايىھەلىرى تەرەققىي قىلغانسېرى، CMP جەريانى بارغانسېرى مۇرەككەپلىشىۋاتىدۇ، بۇ نۇقسانلارنىڭ ئالدىنى ئېلىش ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قۇيۇش زاۋۇتلىرى ۋە ماتېرىيال تەمىنلىگۈچىلىرى تەلەپ قىلىدىغان سىلىق، سىلىقلانغان ۋافلارغا ئېرىشىش ئۈچۈن سۇيۇقلۇق خۇسۇسىيىتىنى قاتتىق كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.

بۇ جەريان ئەڭ ئاز نۇقسانلىق 5nm ۋە 3nm چىپلارنى ئىشلەپچىقىرىشتا ئىنتايىن مۇھىم بولۇپ، كېيىنكى قەۋەتلەرنىڭ توغرا چاپلىنىشى ئۈچۈن تەكشى يۈزلەرنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. ھەتتا ئازراق سۇلياۋ ماس كەلمەسلىكلەرمۇ قىممەت باھالىق قايتا ئىشلەش ياكى مەھسۇلاتنىڭ تۆۋەنلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.

CMP سىخېمىسى

سۇيۇقلۇق خۇسۇسىيىتىنى نازارەت قىلىشتىكى قىيىنچىلىقلار

خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش جەريانىدا سۇيۇقلۇقنىڭ زىچلىقى ۋە قويۇقلۇقىنىڭ مۇقىم بولۇشىنى ساقلاش بىر قاتار قىيىنچىلىقلارغا تولغان. سۇيۇقلۇقنىڭ خۇسۇسىيىتى توشۇش، سۇ ياكى ۋودورود پېروكسىد بىلەن سۇيۇلدۇرۇش، ئارىلاشتۇرۇشنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقى ياكى خىمىيىلىك پارچىلىنىش قاتارلىق ئامىللار تۈپەيلىدىن ئوخشىماسلىقى مۇمكىن. مەسىلەن، سۇيۇقلۇق خالتىسىغا زەررىچىلەرنىڭ چۆكۈپ قېلىشى ئاستى تەرىپىدە يۇقىرى زىچلىقنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، سىلىقلاشنىڭ تەكشى بولماسلىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. pH قىممىتى، ئوكسىدلىنىش-قايتالىنىش پوتېنسىيالى (ORP) ياكى ئۆتكۈزۈشچانلىق قاتارلىق ئەنئەنىۋى نازارەت قىلىش ئۇسۇللىرى كۆپىنچە يېتەرلىك ئەمەس، چۈنكى ئۇلار سۇيۇقلۇق تەركىبىدىكى ئىنچىكە ئۆزگىرىشلەرنى بايقىيالمايدۇ. بۇ چەكلىمىلەر نۇقسانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، چىقىرىۋېتىش نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىپ، ئىستېمال تەننەرخىنى ئاشۇرۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنە ئىشلەپچىقارغۇچىلار ۋە CMP مۇلازىمەت تەمىنلىگۈچىلىرى ئۈچۈن زور خەۋپلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بىر تەرەپ قىلىش ۋە تارقىتىش جەريانىدىكى تەركىب ئۆزگىرىشى ئىقتىدارغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. 10nm دىن تۆۋەن تۈگۈنلەر سۇيۇقلۇقنىڭ ساپلىقى ۋە ئارىلاشتۇرۇش توغرىلىقىنى قاتتىق كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ. pH قىممىتى ۋە ORP ئەڭ ئاز ئۆزگىرىشنى كۆرسىتىدۇ، ئۆتكۈزۈشچانلىق بولسا سۇيۇقلۇقنىڭ قېرىشىغا ئەگىشىپ ئۆزگىرىدۇ. كەسىپ تەتقىقاتلىرىغا قارىغاندا، سۇيۇقلۇقنىڭ خۇسۇسىيىتىنىڭ مۇقىم بولماسلىقى نۇقسان نىسبىتىنى %20 گىچە ئاشۇرۇۋېتىدۇ.

لوننمېتىرنىڭ ھەقىقىي ۋاقىتلىق كۆزىتىش ئۈچۈن ئىچكى سېنزورلىرى

Lonnmeter ئىلغار يادروسىز سۇلياۋ زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى ئارقىلىق بۇ قىيىنچىلىقلارنى ھەل قىلىدۇ.قېپىقلىق سېنزورلىرىبۇنىڭ ئىچىدە، بىر لىنىيەدىكى قويۇقلۇق ئۆلچەش ئۈچۈن ئىچكى قاپلاش ئۆلچەش ئەسۋابى ۋە بىرلا ۋاقىتتا سۇيۇقلۇق زىچلىقى ۋە قاپلاشلىقنى نازارەت قىلىش ئۈچۈن ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابى بار. بۇ سېنزورلار CMP جەريانلىرىغا ئۈزۈلمەس بىرلەشتۈرۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ، كەسىپ ئۆلچىمىدىكى ئۇلىنىشلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. Lonnmeter نىڭ ھەل قىلىش چارىلىرى ئۇنىڭ پۇختا قۇرۇلمىسى ئۈچۈن ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىك ۋە تۆۋەن ئاسراشنى تەمىنلەيدۇ. ھەقىقىي ۋاقىتلىق سانلىق مەلۇماتلار مەشغۇلاتچىلارنىڭ سۇيۇقلۇق ئارىلاشمىلىرىنى تەڭشەش، نۇقسانلارنىڭ ئالدىنى ئېلىش ۋە سىلىقلاش ئىقتىدارىنى ئەلالاشتۇرۇش ئىمكانىيىتىنى بېرىدۇ، بۇ قوراللارنى ئانالىز ۋە سىناق ئۈسكۈنىلىرى تەمىنلىگۈچىلىرى ۋە CMP ئىستېمال بۇيۇملىرى تەمىنلىگۈچىلىرى ئۈچۈن مۇھىم قىلىدۇ.

CMP ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن ئۈزلۈكسىز كۆزىتىشنىڭ پايدىلىرى

Lonnmeter نىڭ ئىچكى سېنزورلىرى بىلەن ئۈزلۈكسىز كۆزىتىش، ھەرىكەتچان چۈشەنچىلەر ۋە زور مىقداردا چىقىمنى تېجەش ئارقىلىق خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش جەريانىنى ئۆزگەرتىدۇ. كەسىپ ئۆلچىمىگە ئاساسلانغاندا، ھەقىقىي ۋاقىتلىق سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ۋە يېپىشقاقلىقنى كۆزىتىش، چىزىلىش ياكى ئارتۇقچە سىلىقلاش قاتارلىق نۇقسانلارنى %20 گىچە ئازايتىدۇ. PLC سىستېمىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈش ئاپتوماتىك مىقدارلاشتۇرۇش ۋە جەرياننى كونترول قىلىشقا شارائىت يارىتىپ، سۇيۇقلۇق خۇسۇسىيىتىنىڭ ئەڭ ياخشى دائىرىدە ساقلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ، ئىستېمال قىلىنىدىغان چىقىمنى %15-25 تۆۋەنلىتىشكە، توختاپ قېلىش ۋاقتىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈشكە ۋە ۋافېرنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلاشقا ئېلىپ كېلىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قۇيۇش زاۋۇتلىرى ۋە CMP مۇلازىمەت بىلەن تەمىنلىگۈچىلىرى ئۈچۈن، بۇ پايدىلار ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇش، پايدا نىسبىتىنى ئاشۇرۇش ۋە ISO 6976 قاتارلىق ئۆلچەملەرگە ماسلىشىشقا ياردەم بېرىدۇ.

CMP دىكى لاينى كۆزىتىش توغرىسىدا كۆپ ئۇچرايدىغان سوئاللار

نېمە ئۈچۈن CMP ئۈچۈن سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش مۇھىم؟

سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش زەررىچىلەرنىڭ بىردەك تارقىلىشى ۋە ئارىلاشمىنىڭ قويۇقلۇقىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش جەريانىدا نۇقسانلارنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ۋە چىقىرىۋېتىش سۈرئىتىنى ئەڭ ياخشىلايدۇ. ئۇ يۇقىرى سۈپەتلىك ۋافتا ئىشلەپچىقىرىش ۋە كەسىپ ئۆلچىمىگە ماسلىشىشنى قوللايدۇ.

يېپىشقاقلىقنى كۆزىتىش CMP ئۈنۈمىنى قانداق ئاشۇرىدۇ؟

يېپىشقاقلىقنى كۆزىتىش ئارقىلىق سۇيۇقلۇقنىڭ مۇقىم ئېقىمى ساقلىنىپ، ياستۇقنىڭ توسۇلۇپ قېلىشى ياكى تەكشىسىز سىلىقلاش قاتارلىق مەسىلىلەرنىڭ ئالدىنى ئېلىدۇ. Lonnmeter نىڭ ئىچكى سېنزورلىرى CMP جەريانىنى ئەلالاشتۇرۇش ۋە ۋافېرنىڭ مەھسۇلات مىقدارىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن ھەقىقىي ۋاقىتلىق سانلىق مەلۇماتلار بىلەن تەمىنلەيدۇ.

Lonnmeter نىڭ يادروسىز سۇيۇقلۇق زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرىنى ئۆزگىچە قىلىدىغان نەرسە نېمە؟

Lonnmeter نىڭ يادروسىز سۇيۇقلۇق زىچلىق ئۆلچەش ئەسۋابلىرى يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە نۆل ئاسراش بىلەن بىرلا ۋاقىتتا زىچلىق ۋە قويۇقلۇق ئۆلچەش ئىقتىدارىنى تەمىنلەيدۇ. ئۇلارنىڭ پۇختا لايىھىسى تەلەپچان CMP ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا ئىشەنچلىكلىكنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش جەريانىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن ھەقىقىي ۋاقىتلىق سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ۋە يېپىشقاقلىقنى نازارەت قىلىش ئىنتايىن مۇھىم. Lonnmeter نىڭ يادروسىز سۇيۇقلۇق زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابلىرى ۋە يېپىشقاقلىق سېنزورلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلار، CMP ئىستېمال بۇيۇملىرى تەمىنلىگۈچىلىرى ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قۇيۇش زاۋۇتلىرىغا سۇيۇقلۇق باشقۇرۇش قىيىنچىلىقلىرىنى يېڭىش، نۇقسانلارنى ئازايتىش ۋە چىقىمنى تۆۋەنلىتىش قوراللىرى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بۇ ھەل قىلىش چارىلىرى ئېنىق، ھەقىقىي ۋاقىتلىق سانلىق مەلۇماتلارنى يەتكۈزۈش ئارقىلىق، جەرياننىڭ ئۈنۈمىنى ئاشۇرىدۇ، ماسلىشىشچانلىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ ۋە رىقابەت كۈچىگە ئىگە CMP بازىرىدا پايدا ئېلىشنى ئىلگىرى سۈرىدۇ. زىيارەت قىلىڭ.لوننمېتېرنىڭ تور بېتىياكى Lonnmeter نىڭ خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش مەشغۇلاتلىرىڭىزنى قانداق ئۆزگەرتەلەيدىغانلىقىنى بىلىش ئۈچۈن بۈگۈن ئۇلارنىڭ گۇرۇپپىسى بىلەن ئالاقىلىشىڭ.


ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 7-ئاينىڭ 22-كۈنى