MYarı iletken üretim tesislerinde kullanılan tanklardaki sıvı seviyesinin ölçülmesi, kriyojenik strese, dinamik çalışmaya ve sıkı kirlenme kontrollerine dayanabilen çözümler gerektirir. Ölçüm seçiminde, verimliliği ve çalışma süresini korumak için müdahale gerektirmeme, hızlı çevrimiçi yanıt ve minimum bakım önceliklendirilmelidir.
Proses kontrolü ve emniyet kilitlemeleri için uygun sürekli çevrimiçi çıkış.
Yarı iletken üretim tesislerinde proses kontrolü ve güvenlik kilitlemeleri için sürekli, gerçek zamanlı çıkışlar zorunludur. Tercih edilen çıkışlar arasında doğrudan PLC/DCS bağlantısı için HART, Modbus veya Ethernet varyantlarına sahip 4–20 mA bulunur. Cihazın arıza emniyet modlarını ve yüksek/düşük, değişim hızı ve sinyal kaybı koşulları için yapılandırılabilir alarmları desteklediğinden emin olun. Örnek: Bir tank doldurma solenoidine bağlı sürekli 4–20 mA çıkışı, seviye programlanabilir bir eşiği aştığında aşırı doldurmayı önler.
Buhara, köpüğe, türbülansa ve ortam özelliklerindeki değişikliklere karşı bağışıklık
Kriyojenik depolama tankları, transfer sırasında buhar tabakaları, katmanlaşma ve ara sıra türbülans oluşturur. Yanlış yankılara ve yüzey türbülansına karşı güçlü bağışıklığa sahip teknolojileri tercih edin.Radar seviye vericisiTeknoloji ve yönlendirilmiş dalga radar seviye verici sistemleri, doğru şekilde yapılandırıldığında hatalı geri dönüşleri reddedebilir. Buhar, köpük veya sıçramadan kaynaklanan seviye hatalarını önlemek için ayarlanabilir sinyal işleme, yankı eğrisi görüntüleme ve dahili filtreleme konusunda ısrar edin. Örnek: Gelişmiş sinyal işleme ayarları kullanan bir radar vericisi, kaynama sırasında oluşan geçici bir buhar tabakasını göz ardı eder.
Sıvı Azot Seviyesi Ölçümü
*
Minimum Mekanik Girişim ve Hareketli Parça Yok
Vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarında hareketli parçası olmayan ve minimum delinme gerektiren sensörler seçerek sızıntı ve bakım riskini en aza indirin. Mevcut üst nozula monte edilen temassız radar, uzun problardan kaçınmayı ve termal köprülemeyi azaltmayı sağlar. Kısa problu yönlendirilmiş dalga radar seçenekleri, derin deliklere gerek kalmadan mevcut küçük flanşlara uyabilir. Tank bütünlüğünü korumak için vakum ceketleri ve kriyojenik contalarla uyumlu malzemeler ve flanş boyutları belirtin. Örnek: Yalıtımı delecek uzun bir probu ortadan kaldırmak için üstten monte edilmiş temassız bir radar seçin.
Teşhis, Tahmine Dayalı Bakım ve Kolay Sorun Giderme
Gelişmiş seviye vericiler, tesis kullanılabilirliğini en üst düzeye çıkarmak için teşhis ve kolay sorun giderme yardımcıları içermelidir. Yankı eğrisi ekranı, sinyal gücü ölçümleri, prob bütünlüğü kontrolleri ve sıcaklık sensörleri gibi yerleşik teşhis özelliklerine ihtiyaç duyarlar. Uzaktan teşhis ve hata kayıtları desteği, temel neden analizini hızlandırır. Azalan sinyal gücü veya prob kirlenmesi göstergeleri gibi tahmine dayalı uyarılar, bir arıza meydana gelmeden önce müdahale planlamasına yardımcı olur. Örnek: Kademeli yankı zayıflamasını kaydeden bir verici, arıza meydana gelmeden önce birikintinin temizlenmesini sağlayabilir.
Çok Değişkenli Senaryolarda Arayüz Seviyelerini Ölçme Yeteneği
Sıvı/buhar veya katmanlı ortamlarda arayüzlerin ölçülmesi, küçük dielektrik kontrastlarını çözebilen teknikler gerektirir. GWR seviye verici teknolojisi ve yönlendirilmiş dalga radar seviye verici cihazları, katmanlar arasında dielektrik kontrastın bulunduğu arayüzleri algılar. Özellikle sıvı azot için, sıvı ve buhar arasındaki düşük dielektrik kontrast, arayüz çözünürlüğünü sınırlar; bu durum tamamlayıcı ölçümlerle hafifletilebilir. Arayüz konumunu doğrulamak için radar/GWR'yi sıcaklık profilleme, diferansiyel basınç veya birden fazla bağımsız sensörle birleştirin. Örnek: Üstten monte edilmiş bir radar kütle seviyesini izlerken, bir GWR probu kullanarak yağ/sıvı azot arayüzünü tespit edin.
Tank geometrisiyle uyumluluk, hat içi montaj ve tesis kontrol sistemleriyle entegrasyon.
Sensörün form faktörünü vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarına ve mevcut nozullara uygun hale getirin. Üst, yan veya kısa hat içi bağlantı parçaları için montaj seçeneklerini doğrulayın. Hat içi montaj, uzun problar olmadan mevcut boru hatlarına veya küçük flanşlara uyan kompakt sensörleri ifade eder; seçim yapmadan önce mekanik çizimleri ve minimum nozul çaplarını doğrulayın. Elektrik ve iletişim arayüzlerinin sürekli tank doldurma ve boşaltma sistemleri için tesis standartlarına uygun olduğundan emin olun. Kriyojenik ortamlar için belgelenmiş kablolama, sinyal koşullandırma ve önerilen topraklama uygulamalarını gerektirin. Örnek: 1,5 inçlik bir nozula uyan ve merkezi DCS'ye 4–20 mA/HART sağlayan kompakt bir yönlendirilmiş dalga radar probu seçin.
Yönlendirilmiş Dalga Radarı (GWR) teknolojisi — çalışma prensibi ve güçlü yönleri
Ölçüm prensibi
GWR, düşük güçlü, nanosaniyelik mikrodalga darbelerini bir prob üzerinden iletir. Bir darbe, farklı dielektrik sabiti olan bir sınıra çarptığında, enerjinin bir kısmı geri yansır. Verici, gönderilen ve geri dönen darbeler arasındaki zaman gecikmesini ölçerek sıvı yüzeyine olan mesafeyi hesaplar. Bu mesafeden toplam seviyeyi veya bir arayüz seviyesini hesaplar. Yansıma yoğunluğu, çarpım dielektrik sabiti arttıkça yükselir.
Vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tankları ve LN2 için avantajlar
GWR, yoğunluk, iletkenlik, viskozite, pH, sıcaklık veya basınç değişiklikleri için telafi gerektirmeden doğrudan seviye okumaları sağlar. Bu kararlılık, akışkan özelliklerinin ve buhar koşullarının sıklıkla değiştiği vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarındaki sıvı azot çözeltileri için uygundur. GWR, sıvı-buhar ve sıvı-sıvı arayüzlerini doğrudan algılar, bu nedenle sürekli tank doldurma ve boşaltma sistemlerinde sıvı azot seviye ölçümü ve arayüz izleme için kullanılabilir.
Prob yönlendirmesi, mikrodalga enerjisini prob boyunca sınırlandırır. Bu sınırlama, ölçümleri tank şekline, iç donanımlara ve küçük tank geometrilerine karşı büyük ölçüde duyarsız hale getirir. Bu prob yönlendirmeli yaklaşım, hazne tasarımına olan hassasiyeti azaltır ve yarı iletken üretim tesislerinde ve gofret üretim tesislerinde yaygın olan dar veya karmaşık kaplara kurulumu basitleştirir.
GWR, zorlu proses koşullarında da performans gösterir. Buhar, toz, türbülans ve köpük ortamlarında doğruluğunu korur. Bu özellikleri, GWR'yi, müdahale gerektirmeyen ölçüm tekniklerinin tercih edildiği yerlerde pratik bir çevrimiçi seviye ölçüm aracı haline getirir. Bu nedenle GWR seviye transmitter teknolojisi, görsel veya şamandıra tekniklerinin yetersiz kaldığı birçok sıvı seviye transmitter uygulamasına uygundur.
Endüstri onayı
Bağımsız sektör kaynakları, radar tabanlı seviye ölçümünün zorlu koşullarda sağlam olduğunu kabul etmektedir. Radar cihazları, proses ve depolama uygulamalarında birçok müdahaleci sensöre göre daha uygun alternatifler haline getiren ölçüm doğruluğu ve güvenilirliği sunmaktadır.
Proses otomasyonu ve tesis operasyonları ile ilgili
GWR, sürekli tank doldurma ve boşaltma sistemleriyle entegre olarak çevrimiçi seviye ölçüm aracı olarak işlev görür. Yoğunluk veya sıcaklık değişimleri için sık sık yeniden kalibrasyona gerek kalmadan proses döngülerinde sıvı azot seviyesi ölçümünü destekler. Bu, yarı iletken üretim tesislerinde ve diğer yarı iletken tesislerinde hassas işlemler için doğru seviye kontrolünü korurken bakım maliyetlerini düşürür.
Yarı iletken üretim tesislerinde sıvı azot için neden GWR hat içi seviye transmitterleri tercih edilmelidir?
Yönlendirilmiş dalga radarı (GWR) seviye verici teknolojisi, kriyojenik koşullarda istikrarlı doğruluk sağlar. Sıvı azot ve buhar arasındaki güçlü dielektrik kontrast, net bir radar yansıması oluşturur. Prob tabanlı ölçümler, düşük sıcaklıklara ve değişen proses değişkenlerine rağmen tekrarlanabilirliğini korur.
GWR problarında hareketli parça bulunmaz. Mekanik mekanizmaların olmaması, yeniden kalibrasyon sıklığını azaltır ve parçacık oluşumu riskini düşürür. Bu da, saflık gereksinimlerinin katı olduğu yarı iletken üretim tesislerinde kontaminasyon riskini azaltır.
Yukarıdan aşağıya veya hat içi prob montaj seçenekleri, proses penetrasyonlarını ve sızıntı potansiyelini en aza indirir. Yukarıdan aşağıya flanşa monte edilen bir prob, tank çatısında tek bir basınç dereceli penetrasyon kullanır. Hat içi bir prob, küçük bir proses portuna veya makara parçasına takılarak, büyük tank modifikasyonlarına gerek kalmadan kolayca çıkarılmasını sağlar. Örnek: 1,5 mm'lik bir boru aracılığıyla vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tankına yönlendirilmiş dalga radar seviye vericisinin monte edilmesi.
Lonnmeter Kılavuzlu Dalga Radarı Hat İçi Seviye Verici
Kriyojenik Sıvılar İçin Ölçüm Yeteneği ve Güvenilirliği
Uzun dalga kılavuzlu radar seviye vericileri, milimetre altı tekrarlanabilirlik ile sıvı yüzeyini izlemek için prob kılavuzlu mikrodalga darbesi kullanır. Prob tasarımı ve yankı işleme, sıvı azot çözeltilerinde yaygın olan düşük dielektrik sabitlerini ve buhar örtülerini ele alır. Yarı iletken üretim tesislerinde ve wafer üretim tesislerinde bu, vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarında ve sürekli tank doldurma ve boşaltma sistemlerinde tutarlı okumalar sağlar.
SIL2 seviyesindeki uygulamalar için güvenlik sertifikasına sahip olup, ek delinmelere gerek duymaz.
Verici, SIL2 güvenlik sertifikasına sahiptir ve ayrı seviye güvenlik cihazları eklemeye gerek kalmadan güvenlik donanımlı devrelerde kullanılabilir. Tek hatlı penetrasyon tasarımı, tank zarfının bütünlüğünü koruyarak vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarında sızıntı yollarını azaltır. Bu, vakum ve yalıtımın korunmasının hayati önem taşıdığı yarı iletken üretim tesislerindeki kritik süreçler için riski düşürür.
Çok değişkenli verici, cihaz sayısını ve proses müdahalelerini azaltır.
Lonnmeter'ın çok değişkenli yönlendirilmiş dalga radarı, tek bir cihazdan seviye ve ek proses değişkenleri sağlar. Seviye, arayüz/yoğunluk göstergesi ve sıcaklık veya yoğunluktan türetilen teşhislerin birleştirilmesi, ayrı cihazlara olan ihtiyacı ortadan kaldırır. Daha az delme işlemi, vakum bütünlüğünü iyileştirir, kurulum işçiliğini azaltır ve sıvı seviye verici uygulamaları için toplam sahip olma maliyetini düşürür.
Dahili teşhis, öngörücü bakım ve kolay sorun giderme.
Yerleşik teşhis sistemi, sinyal kalitesini, prob durumunu ve yankı kararlılığını gerçek zamanlı olarak izler. Tahminleyici uyarılar, arıza meydana gelmeden önce performans düşüşünü işaretleyerek planlanmamış arıza sürelerini ve ortalama onarım süresini azaltır. Teknisyenler, sürekli tank doldurma ve boşaltma sistemlerindeki anormallikleri, müdahaleci inceleme yapmadan gidermek için kaydedilmiş yankı izlerini kullanabilirler.
Küçük tanklar ve karmaşık geometriler için tasarlanmıştır; buhar, türbülans ve köpük ortamlarında performans gösterir.
Yönlendirilmiş prob ve gelişmiş sinyal işleme özelliği, kısa mesafeli ve dar kaplar için uygundur. Verici, kümeleme aleti LN2 besleme kaplarında bulunan küçük tanklarda, dar boyunlarda ve düzensiz geometrilerde seviyeyi güvenilir bir şekilde algılar. Ayrıca, gerçek sıvı yankılarını buhar, türbülans ve köpükten ayırarak, zorlu tesis düzenlerinde sıvı azot seviyesi ölçümü için pratik bir çözüm sunar.
Düşük güçlü mikrodalga darbeleri, kriyojenik ortamlarda ısı transferini ve bozulmayı en aza indirir.
Düşük enerjili mikrodalga darbeleri, kriyojenik sıvıların ölçümü sırasında yerel ısınmayı azaltır ve buharlaşmayı sınırlar. Bu, sıvı nitrojene verilen rahatsızlığı en aza indirir ve vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarında termal kararlılığı korur. Bu yaklaşım, kriyojen stokunu korur ve hassas yarı iletken üretim tesislerinde istikrarlı çalışmayı destekler.
Yukarıda verilen örnekler: bir yarı iletken üretim tesisinde, tek bir Lonnmeter kılavuzlu dalga radar ünitesi, küçük bir LN2 dewar'ındaki seviye sensörünün ve yoğunluk probunun yerini alabilir, tank duvarında tek bir delik açılmasını sağlayabilir ve üretim kesintisini önleyen öngörücü alarmlar verebilir. Sürekli tank doldurma ve boşaltma sisteminde, aynı cihaz, kriyojene termal yük eklemeden buhar örtüleri ve aralıklı köpük boyunca doğru seviye kontrolünü sağlar.
Vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tankları için kurulum ve entegrasyon en iyi uygulamaları
Montaj stratejisi: hat içi prob mu, yoksa yukarıdan aşağıya mı?
Yukarıdan aşağıya montaj yöntemleri, vakum ceketine yapılan delinmeleri en aza indirir ve sızıntı yollarını azaltır. Sensörü tankın merkez hattına yerleştirir ve giriş jetlerine maruz kalmayı azaltır. Tank geometrisi ve servis erişimi izin verdiğinde yukarıdan aşağıya montaj yöntemini kullanın.
Yan (hat içi) problar, bakım için daha kolay erişim sağlar ve entegre kontrol için proses borularının yakınına yerleştirilebilir. Hat içi montajlar, penetrasyon sayısını artırır ve vakum bütünlüğünü korumak için dikkatli sızdırmazlık ve hizalama gerektirir. Servis kolaylığı veya sürekli dolum ve boşaltma hatlarıyla entegrasyon kritik olduğunda hat içi montajı tercih edin.
Kararınızı şu faktörlere göre dengeleyin: vakum sızıntısı sayısı, bakım kolaylığı, iç tank bağlantıları ve ölçüm konumunun, yarı iletken üretim tesislerinde ve gofret üretim tesislerinde bulunan akış koşulları altında okuma kararlılığını nasıl etkilediği.
Vakum bütünlüğünü korumak için sızdırmazlık ve flanş hususları
Her bir bağlantı noktası, kriyojenik sıcaklıklar için vakum derecesine sahip olmalı ve gerilim giderme işlemine tabi tutulmalıdır. Metalden metale flanş contaları veya tekrarlanan termal döngüler için tasarlanmış kriyojenik kapasiteli conta sistemleri tercih edilmelidir. -196 °C için açıkça derecelendirilmedikçe polimer contalardan kaçınılmalıdır.
Kalıcı montajlarda mümkün olduğunca kaynaklı geçiş bağlantıları kullanın. Sökülebilir sensörlerin gerektiği durumlarda, özel bir vakum pompası çıkış portuna sahip vakuma dayanıklı çok portlu bir flanş veya körük tertibatı takın. Montajdan sonra kılıf bütünlüğünü doğrulamak için sensör flanşlarının yanına vakum test portları yerleştirin.
Isıl büzülmeyi karşılayacak şekilde flanş ve contalar tasarlayın. Soğuma sırasında giriş noktasındaki gerilimi önlemek için esnek elemanlar veya kayar manşonlar ekleyin. Mümkün olduğunca, vakum ceketini kırmadan flanş sıkıştırma donanımına erişilebildiğinden emin olun.
Kriyojenik uyumluluk için prob uzunluğu ve malzeme seçimi
Sıvı azot sıcaklığında sünekliğini koruyan ve kırılganlığa karşı direnç gösteren malzemeler seçin. Kriyojenik uyumlu paslanmaz çelikler (örneğin, 316L sınıfı metalurji) problar için standarttır. Prob ile tank arasındaki göreceli hareketi azaltmak için çok uzun problar için düşük termal genleşmeli alaşımları göz önünde bulundurun.
Probun uzunluğu, beklenen maksimum sıvı seviyesinin altına ve dip tortu bölgesinin üstüne kadar iç tankın içine uzanmalıdır. Probun tankın dibine veya iç bölmelere temas etmesinden kaçınılmalıdır. Yüksek vakum yalıtımlı bir tank için, prob uzunluğunun her metresi için birkaç milimetre termal büzülme payı bırakılmalıdır.
Yönlendirilmiş dalga radar seviye verici kurulumlarında, kriyojenik hizmet için derecelendirilmiş sert çubuk problar veya koaksiyel problar kullanın. Kablo tipi problar yoğuşma veya buz biriktirebilir ve yoğun buharlaşma veya çalkalanma olan tanklarda daha az tercih edilir. Buz oluşumu için çekirdeklenme noktalarını önlemek amacıyla yüzey işleme ve kaynak kalitesini belirtin.
Örnek: 3,5 m iç çaplı bir kap için, büzülmeyi ve montaj flanşı kalınlığını hesaba katmak amacıyla 3,55–3,60 m'lik bir prob gerekebilir. Beklenen çalışma sıcaklığında nihai boyutları doğrulayın.
Sürekli doldurma ve boşaltma koşullarıyla entegrasyon
Türbülanstan kaynaklanan yanlış okumaları önlemek için seviye sensörünü giriş ve çıkış jetlerinden uzağa yerleştirin. Genel bir kural olarak, probları ana giriş veya çıkış portlarından en az bir tank çapı kadar uzağa veya iç bölmelerin arkasına yerleştirin. Alan kısıtlamaları bunu engelliyorsa, birden fazla sensör kullanın veya geçici yankıları reddetmek için sinyal işleme uygulayın.
Probun doğrudan dolum akışına monte edilmesinden kaçının. Sürekli dolum ve boşaltma sistemlerinde, tabakalaşma ve termal katmanlar oluşabilir; sensörü, iyi karışmış ana sıvıyı örnekleyebileceği bir yere, genellikle kabın merkez hattına yakın veya tasarlanmış bir dengeleyici kuyu içine yerleştirin. Bir dengeleyici kuyu veya merkez boru, sensörü akıştan izole edebilir ve hızlı transferler sırasında doğruluğu artırabilir.
Alet temizleme işlemi sırasında sürekli sıvı azot beslemesinin gerçekleştiği yarı iletken levha üretim tesislerinde, kısa süreli ani yükselmeleri göz ardı edecek şekilde ölçüm noktaları ve filtreler ayarlayın. Kısa süreli dalgalanmalardan kaynaklanan yanlış alarmları bastırmak için verici çıkışında ortalama alma, hareketli pencere yumuşatma veya yankı izleme mantığı kullanın.
Güvenilir radar performansı için kablolama, topraklama ve EMC uygulamaları
Sinyal kablolarını, gerilim azaltıcı ve termal geçiş girişlerine sahip vakum dereceli geçiş noktalarından geçirin. Seçilen radar teknolojisinin gerektirdiği şekilde korumalı, bükümlü çift veya koaksiyel kablolar kullanın. Kablo uzunluklarını kısa tutun ve güç kablolarıyla birlikte demetlemekten kaçının.
Topraklama döngülerini önlemek için sensör muhafazası ve cihaz elektroniği için tek noktadan topraklama referansı oluşturun. Üretici kılavuzunda aksi belirtilmedikçe, koruyucu kılıfları yalnızca bir ucundan toprağa bağlayın. Bahçe veya tesisat alanlarından geçen uzun kablo hatlarına aşırı gerilim koruması ve geçici gerilim bastırıcıları takın.
Sensör kablolarını değişken frekanslı sürücülerden, motor besleme hatlarından ve yüksek voltajlı bara sistemlerinden ayırarak elektromanyetik girişimi en aza indirin. Gerektiğinde ferrit çekirdekler ve borular kullanın. Kılavuzlu dalga radar seviye verici kurulumlarında, sinyal bütünlüğünü korumak için geçiş ve konektör arayüzlerinde karakteristik empedans sürekliliğini sağlayın.
Dağıtım yol haritası (önerilen aşamalı yaklaşım)
Değerlendirme aşaması: tank incelemesi, proses koşulları ve kontrol sistemi gereksinimleri
Öncelikle tankın fiziksel bir incelemesini yapın. Tank geometrisini, nozul konumlarını, izolasyon aralıklarını ve mevcut alet giriş noktalarını kaydedin. Vakum boşluğuna erişimi ve sensör yerleşimini etkileyen termal köprüleri not edin.
Sürekli tank doldurma ve boşaltma sistemlerinde normal ve en yüksek çalışma basınçları, buhar boşluğu sıcaklığı, dolum oranları ve beklenen çalkalanma veya dalgalanma dahil olmak üzere proses koşullarını kaydedin. Yarı iletken üretim tesislerinde ve wafer üretim tesislerinde kullanılan döngüsel modelleri belgeleyin.
Kontrol sistemi gereksinimlerini erken aşamada tanımlayın. Çevrimiçi seviye ölçüm araçları için sinyal tiplerini (4 20 mA, HART, Modbus), ayrık alarmları ve beklenen güncelleme hızlarını belirtin. Gerekli doğruluk aralıklarını ve güvenlik bütünlük seviyelerini belirleyin.
Değerlendirme sonucunda teslim edilecek çıktılar arasında kapsam belgesi, montaj çizimleri, tercih edilen müdahalesiz ölçüm tekniklerinin listesi ve kontrol sistemi için giriş/çıkış matrisi yer almalıdır.
Pilot kurulum: Sürekli doldurma/boşaltma koşulları altında tek tanklı doğrulama ve entegrasyon testleri.
Vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarından birinde pilot uygulama gerçekleştirin. Seçilen seviye transmitterini takın ve tam çalışma döngülerini çalıştırın. Hızlı dolum ve yavaş damlama dahil olmak üzere, sürekli tank doldurma ve boşaltma sistemlerinde tanklardaki sıvı seviyesinin ölçümünü doğrulayın.
Pilot uygulamayı kullanarak, mümkün olduğunca aynı tank ortamında radar seviye verici teknolojisini, yönlendirilmiş dalga radar seviye verici performansını ve diğer gelişmiş seviye vericilerini karşılaştırın. Tepki süresini, kararlılığı ve buhar, köpük veya yoğuşmaya karşı hassasiyeti kaydedin. Yönlendirilmiş dalga radar için, prob malzemelerinin kriyojenik büzülmeye dayanıklı olduğunu ve geçiş noktalarının güvenilir bir şekilde sızdırmaz olduğunu doğrulayın.
PLC veya DCS ile entegrasyon testleri gerçekleştirin. Alarm eşiklerini, kilitlemeleri, geçmiş veri etiketlerini ve uzaktan teşhisleri doğrulayın. Uç durumları yakalamak için en az iki hafta boyunca karma görev döngüsü çalıştırın. Temel doğruluk, sapma ve bakım olaylarını toplayın.
Örnek: Bir yarı iletken üretim tesisinde, normal 24 saatlik bir besleme döngüsü boyunca bir pilot uygulama gerçekleştirin. Seviye verici çıkışlarını bilinen dolum hacimleri ve ikincil ölçüm cihazı kontrolleriyle karşılaştırın. Yüksek akış boşaltmaları sırasında oluşan hataları takip edin.
Devreye alma: Standartlaştırılmış yapılandırma ve teşhis ile kriyojenik depolama ağında tam dağıtım.
Pilot doğrulama sonrasında seçilen cihaz konfigürasyonunu standartlaştırın. Prob uzunluklarını, montaj flanşlarını, kablo girişlerini ve verici ayarlarını kilitleyin. Her tank boyutu için model, seri ve kalibrasyon ayarları içeren bir dağıtım paketi oluşturun.
Tüm tanklarda tutarlı teşhis ve alarm mantığı uygulayın. Her çevrimiçi seviye ölçüm cihazının kontrol sistemine yankı profilleri, kendi kendine test işaretleri ve sağlık durumunu göstermesini sağlayın. Standartlaştırılmış teşhis, birden fazla vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tankında sorun gidermeyi hızlandırır.
Süreç aksamalarını en aza indirmek için kurulumu aşamalar halinde planlayın. Kurulumları planlı bakım pencereleri sırasında gerçekleştirin. Yedek parçaları, kalibrasyon cihazlarını ve kriyojenik sınıf aletleri dahil edin. Dağıtılan her sensör için ağ haritalarını ve G/Ç dokümantasyonunu güncelleyin.
Örnek devreye alma temposu: önce kritik proses tanklarını, ardından ikincil depolama tanklarını donatın. Her aşamayı, normal dolum/boşaltma düzenleri altında, kurulum sonrası iki günlük fonksiyonel kontrollerle doğrulayın.
Devir teslim ve eğitim: İzleme ve sorun giderme için net standart işletim prosedürleri (SOP'ler) içeren operatör ve bakım eğitimi.
Standart işletim prosedürlerine (SOP) bağlı yapılandırılmış operatör eğitimi verin. Sıvı nitrojen seviyesi ölçümü, alarm yanıtı ve temel yankı yorumlaması için günlük kontrolleri kapsayın. Operatörleri yankı kaybı, çalkalanma sırasında kararsız okumalar ve kablolama arızaları gibi yaygın arıza modlarını tanımaları konusunda eğitin.
Kriyojenik güvenlik, prob muayenesi, kalibrasyon prosedürleri ve değiştirme adımlarına odaklanan bakım eğitimi verin. Vakum bütünlüğünü koruyarak probların veya müdahale gerektirmeyen sensör kelepçelerinin çıkarılması ve yeniden takılması için uygulamalı egzersizler ekleyin.
Açık ve anlaşılır standart işletim prosedürü (SOP) belgeleri sağlayın. SOP'ler, seviye vericisinin doğruluğunu doğrulama, saha kalibrasyonu gerçekleştirme, vericiyi izole etme ve değiştirme ve sürekli arızaları bildirme için adım adım prosedürleri listelemelidir. Örnek sorun giderme akışlarını ekleyin: önce güç ve sinyal, ardından yankı kalitesi, sonra mekanik kontroller.
Eğitim kayıtlarını ve yeterlilik onaylarını tutun. Kalibrasyon aralıklarıyla uyumlu periyodik yenileme oturumları planlayın.
Fiyat teklifi isteyin / Harekete geçin
Yarı iletken üretim tesislerinde veya vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarında hassas sıvı azot seviyesi ölçümüne ihtiyaç duyduğunuzda, Lonnmeter Kılavuzlu Dalga Radar hat içi seviye transmitterleri için fiyat teklifi isteyin. Teklifin gerçek çalışma döngülerine uygun olması için uygulamanın sürekli tank doldurma ve boşaltma sistemlerini içerdiğini belirtin.
Teklif talebi hazırlarken, kritik proses ve mekanik detayları ekleyin. Şunları sağlayın:
Tank tipi ve hacmi (örnek: vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tankı, 5.000 L), ortam (sıvı azot) ve çalışma sıcaklıkları ve basınçları;
Sürekli dolum ve boşaltma oranları, tipik çalışma döngüsü ve beklenen dalgalanma veya çalkalanma koşulları;
Montaj yeri, mevcut bağlantı noktaları ve boşluk geometrisi;
Gerekli ölçüm aralığı, istenen doğruluk ve tekrarlanabilirlik ile alarm/ayar noktası eşikleri;
Yarı iletken levha üretim tesisleri için malzeme uyumluluğu tercihleri ve temiz oda veya kirlenme kısıtlamaları;
Tehlikeli alan sınıflandırması ve kurulum kısıtlamaları.
Fiyat teklifi istemek veya pilot uygulama ayarlamak için yukarıda listelenen maddeleri derleyip satın alma kanalınız veya tesis mühendisliği sorumlunuz aracılığıyla gönderin. Açık uygulama verileri boyutlandırmayı hızlandırır ve yönlendirilmiş dalga radar seviye vericisi teklifinin, yarı iletken üretim tesislerindeki ve kriyojenik depolama sistemlerindeki sıvı seviye vericisi uygulamalarıyla uyumlu olmasını sağlar.
Sıkça Sorulan Sorular
Yarı iletken üretim tesisinde tanktaki sıvı azot seviyesini ölçmenin en iyi yolu nedir?
Yönlendirilmiş dalga radarı (GWR) hat içi seviye vericileri, yarı iletken üretim tesislerinde kriyojenik sıvı azot (LN2) için sürekli, doğru ve mekanik olmayan ölçüm sağlar. Buhar, türbülans ve küçük tank geometrilerine karşı dayanıklı, prob yönlendirmeli mikrodalga darbesi kullanırlar. Vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tankları için, vakum bütünlüğünü korumak amacıyla vericiyi minimum ve uygun şekilde kapatılmış deliklerle monte edin.
Yönlendirilmiş dalga radar seviye vericisi, sürekli doldurma ve boşaltma koşullarında çalışabilir mi?
Evet. GWR, sürekli çevrimiçi ölçüm için tasarlanmıştır ve dinamik işlemler sırasında güvenilir seviye okumaları sağlar. Doğru prob yerleşimi, cihazın karartma ve ölü bölge ayarlarının yapılması ve yankı doğrulaması, akıştan kaynaklanan yanlış yankıları önler. Örnek: Kararlı yankıları doğrulamak için, devreye alma işleminden sonra, tesisin maksimum akış hızında doldurma sırasında vericiyi ayarlayın.
GWR seviye transmitteri, sıvı azot için temassız sensörlerle nasıl karşılaştırılır?
GWR, bir prob boyunca mikrodalga darbeleri ileterek buhar ve türbülanslı koşullarda güçlü ve tutarlı yankılar üretir. Temassız radar çalışabilir ancak dar tanklarda veya iç yapıların sinyalleri yansıttığı durumlarda zorlanabilir. İç engelleri veya dar geometrisi olan tanklarda, GWR genellikle daha iyi yankı dönüşleri ve LN2 için daha kararlı okumalar sağlar.
Yönlendirilmiş dalga radar vericisi, vakum yalıtımlı kriyojenik tanklardaki vakum bütünlüğünü etkiler mi?
Minimum düzeyde delik ve doğru sızdırmazlık ile hat içi verici olarak kurulduğunda, GWR, birden fazla ayrı sensöre kıyasla toplam delik sayısını azaltır. Daha az delik, sızıntı yollarını kısaltır ve vakumun korunmasına yardımcı olur. Tank vakumunun bozulmasını önlemek için kaynaklı flanşlar veya yüksek bütünlüklü vakum bağlantı parçaları ve nitelikli kriyojenik contalar kullanın.
Kriyojenik servis ortamında kılavuzlu dalga radar vericilerinin sık sık yeniden kalibrasyona veya bakıma ihtiyacı var mıdır?
Hayır. GWR ünitelerinde hareketli parça bulunmaz ve genellikle minimum düzeyde yeniden kalibrasyona ihtiyaç duyarlar. Dahili teşhis ve yankı izleme özellikleri, duruma dayalı kontroller yapılmasına olanak tanır. Planlı bakım duruşları sırasında periyodik yankı spektrumu doğrulaması ve contaların ve prob durumunun görsel incelemesi yapılmalıdır.
Radar seviye vericileri, hassas yarı iletken ortamlarında kullanım için güvenli midir?
Evet. Radar seviye transmitterleri düşük mikrodalga gücünde çalışır ve partikül riski oluşturmaz. Minimum penetrasyonları ve müdahale gerektirmeyen algılama yöntemleri, kontaminasyon kontrolü altındaki alanların korunmasına yardımcı olur. Temiz proses alanlarının yakınına kurulum yaparken hijyenik malzemeler, temizlenebilir problar ve uygun giriş koruması belirtin.
LN2 için GWR seviye transmitteri ile diğer sıvı seviye transmitteri türleri arasında nasıl seçim yapabilirim?
Kriyojenik uyumluluk, sürekli çevrimiçi çıktı, buhar ve türbülansa karşı dayanıklılık, minimum penetrasyon, teşhis ve entegrasyon yeteneği gibi öncelikleri belirleyen bir seçim kontrol listesi kullanın. Birçok yarı iletken üretim tesisi kriyojenik tankı için GWR bu kriterleri karşılamaktadır. Tank geometrisini, iç engelleri ve çok değişkenli ölçümün gerekli olup olmadığını göz önünde bulundurun.
Yönlendirilmiş dalga radar seviye vericisini tesis kontrol sistemime entegre etme konusunda nereden yardım alabilirim?
Entegrasyon desteği, yapılandırma kılavuzu ve devreye alma kontrol listeleri için verici tedarikçisinin uygulama mühendisliği grubuyla iletişime geçin. Yankı doğrulaması, topraklama ve DCS/PLC eşleştirmesi konusunda yardımcı olabilirler. Seviye ölçümüyle birlikte kullanılan hat içi yoğunluk veya viskozite ölçerler için, ürün detayları ve hat içi ölçerlere özel uygulama desteği için Lonnmeter ile iletişime geçin.
Sıvı azot seviye ölçerinde izlenmesi gereken başlıca bakım teşhis işlemleri nelerdir?
Kararlı ve tekrarlanabilir sonuçlar için yankı gücünü ve yankı profilini izleyin. Sinyal-gürültü oranını (SNR), prob bütünlüğü veya süreklilik göstergelerini ve verici arızası veya uyarı kodlarını takip edin. Bu teşhis verilerinin eğilim analizini kullanarak arızalar meydana gelmeden önce incelemeleri planlayın.
Çok değişkenli bir verici kullanılarak cihaz sayısının azaltılması genel maliyeti nasıl etkiler?
Çok değişkenli bir GWR, seviye ve arayüz değişkenlerini eş zamanlı olarak ölçebilir ve ayrı vericilere olan ihtiyacı ortadan kaldırır. Bu, kurulum malzemelerini, geçiş noktalarını, kablolamayı ve uzun vadeli bakımı azaltır. Daha düşük cihaz sayısı ayrıca vakum geçişlerini ve sızıntı riskini azaltır; bu da vakum yalıtımlı kriyojenik depolama tanklarında önemlidir. Sonuç olarak, birden fazla tek işlevli cihaza kıyasla toplam sahip olma maliyeti daha düşüktür.
Yayın tarihi: 30 Aralık 2025
