1. Kontekstuallaşdyrmagyň ösen usulyPjilolamak
Ýarymgeçirijilerde CMP näme?
Himiki mehaniki jylamak (HMJ), başgaça himiki mehaniki tekizleşdirme diýlip hem atlandyrylýar, häzirki zaman ýarymgeçirijileri öndürmekde tehnologik taýdan iň kyn we maliýe taýdan möhüm enjam operasiýalarynyň birini aňladýar. Bu ýöriteleşdirilen prosedura himiki aşındyrma we ýokary derejede gözegçilik edilýän fiziki aşındyrma arkaly waferleriň ýüzlerini üns bilen tekizläp, aýrylmaz gibrid proses hökmünde işleýär. Öndüriş siklinde giňden ulanylýan HMJ, ýarymgeçiriji waferleri indiki gatlaklar üçin taýýarlamak üçin möhümdir we ösen enjam arhitekturalary tarapyndan talap edilýän ýokary dykyzlykly integrasiýany gönüden-göni üpjün edýär.
Ýarymgeçiriji prosesinde CMP
*
çuňňur zerurlykhimiki mehaniki jylaňlamahäzirki zaman litografiýasynyň fiziki talaplaryna esaslanýar. Integral mikrosxemanyň aýratynlyklary kiçelip, köp gatlaklar dikligine ýygnananda, bu prosesiň materialy deň derejede aýyrmak we global tekiz ýüz döretmek ukyby örän möhüm bolýar. Dinamik jylawlaýjy başy dürli oklarda aýlanyp, plastinkanyň boýunça düzgünsiz topografiýany üns bilen deňleşdirmek üçin döredildi. Nusgany üstünlikli geçirmek üçin, esasanam Ekstremal Ultrafiolet (EUV) litografiýasy ýaly öňdebaryjy usullar bilen, tutuş işlenen ýüz meýdanyň örän dar çuňlugyna düşmeli - bu häzirki zaman 22 nm-den aşak tehnologiýalar üçin Angstrom derejesindäki tekizligi talap edýän geometrik çäklendirme. Tekizleşdiriji güýji bolmasa.cmp ýarymgeçiriji proses, soňraky fotolitografiýa ädimleri deňleşdirme bozulmalaryna, nagyş bozulmalaryna we hasylyň betbagtçylykly üýtgemegine getirerdi.
CMP-niň giňden ornaşdyrylmagy senagatyň adaty alýumin geçirijilerinden ýokary öndürijilikli mis birleşdirijilerine geçmegi bilen düýpli derejede öňe gitdi. Mis metallaşdyrmasy goşmaça nusga döretmek prosesini, Damask tehnikasyny ulanýar, bu bolsa esasan CMP-niň artykmaç misi saýlama we deň derejede aýyrmak we metal bilen oksid izolýasiýa gatlagynyň arasyndaky serhetde aýyrmak hereketini yzygiderli togtatmak üçin özboluşly ukybyna daýanýar. Bu ýokary derejede saýlama material aýyrmak prosesi kesgitleýän inçe himiki we mehaniki deňagramlylygy nygtaýar, bu deňagramlylyk jylawlaýjy gurşawdaky kiçi üýtgeşiklikler bilen hem derrew bozulýar.
Ýarymgeçiriji prosesde CMP-niň funksiýalary
Topografik üýtgeşikligiň örän pes derejesi üçin hökmany talap periferik maksat däl-de, enjamyň ygtybarly işlemegi üçin gönüden-göni funksional şert bolup, köp gatlakly gurluşlarda dogry tok akymyny, termal ýaýramagy we funksional deňleşdirmegi üpjün edýär. CMP-niň esasy wezipesi topografiýany dolandyrmak bolup, soňraky ähli möhüm işleme ädimleri üçin zerur bolan tekizligi kesgitlemekdir.
Anyk ulanylyş materiallaryň saýlanmagyny we degişlisuspenziýanyň formulasiýasy. CMP prosesleri wolfram, mis, kremniý dioksidi (SiO2) ýaly dürli materiallary işläp düzmek üçin işlenip düzüldi.2), we kremniý nitridi (SiN). Süýünler ýokary tekizleşdirme netijeliligi we dürli ulanylyşlarda, şol sanda Saýz Ok Izolýasiýasy (STI) we Gatlaklarara Dielektrikler (ILD) üçin aýratyn optimizirlenen. Mysal üçin, ýokary funksiýaly seriýa süýüni basgançakly tekizlemekde, birmeňzeşlikde we kemçilikleriň ýygylygyny azaltmakda ýokary öndürijiligi sebäpli ILD ulanylyşlary üçin aýratyn ulanylýar. Bu süýünleriň ýokary derejede ýöriteleşdirilen tebigaty, jylawlaýjy gurşawyň suwuklyk dinamikasyndaky üýtgeşmelerden ýüze çykýan proses durnuksyzlygynyň selektiw material aýyrmak üçin esasy talaplary derrew bozjakdygyny tassyklaýar.
2. CMP suspenziýasynyň saglygynyň möhüm roly
Ýarymgeçiriji prosesinde CMP
Durnukly netijeliligihimiki mehaniki jylamak CMP prosesizerur himiki reaksiýalary we mehaniki aşynmalary ýeňilleşdirýän möhüm serişde hökmünde hereket edýän şlamyň yzygiderli berilmegine we işlemegine doly baglydyr. Kolloid suspenziýa hökmünde häsiýetlendirilýän bu çylşyrymly suwuklyk, himiki agentleri (oksidleýjiler, tizlendirijiler we korroziýanyň ingibitorlary) we nano ölçegli aşyndyryjy bölejikleri öz içine alýan esasy komponentlerini dinamiki plastinka ýüzüne yzygiderli we deň derejede ýetirmelidir.
Süýümiň düzümi belli bir himiki reaksiýany döretmek üçin işlenip düzülýär: iň gowy proses nyşana materialda passiwleşdiriji, eremeýän oksid gatlagyny döretmäge esaslanýar, soňra ol abraziw bölejikler tarapyndan mehaniki usulda aýrylýar. Bu mehanizm netijeli tekizleşmek üçin zerur bolan ýokary ýüz topografiki selektiwligi berýär, aýyrmak hereketini ýokary nokatlara ýa-da çykyndylara jemleýär. Tersine, eger himiki reaksiýa ereýän oksid ýagdaýyny döretse, materialyň aýrylmagy izotrop bolýar we şonuň bilen zerur topografiki selektiwligi ýok edýär. Süýümiň fiziki bölekleri, adatça, 0,3 we 12 agram prosenti aralygyndaky gaty maddalarda asylýan, 30-dan 200 nm-e çenli ululykdaky abraziw bölejiklerden (meselem, kremniý, seriýa) ybarat bolýar.
CMP Şlam Ýarymgeçirijisi
Saglygyny saklamakCMP şlam ýarymgeçirijisiişleniş ýa-da dolanyşyk wagtyndaky islendik zaýalanma uly maliýe ýitgilerine getirip bilýändigi üçin, ömrüniň dowamynda yzygiderli häsiýetlendirmegi we gözegçiligi talap edýär. Nano ölçegli ýumşaklygy we kemçilik derejeleri bilen kesgitlenýän soňky jylaňlanan plastinkanyň hili, şlamyň bölejikleriniň ululygynyň paýlanyşynyň (PSD) bitewiligi we umumy durnuklylygy bilen gönüden-göni baglanyşyklydyr.
Dürli zatlaryň ýöriteleşdirilen tebigatycmp suspenziýa görnüşlerinano ölçegli bölejikleriň suspenziýanyň içindeki inçe itekleýji elektrostatik güýçler tarapyndan durnuklaşdyrylýandygyny aňladýar. Süýüntgiler köplenç konsentrlenen görnüşde berilýär we önümçilik ýerinde suw we oksidleýjiler bilen takyk suwuklandyrmagy we garyşdyrmagy talap edýär. Iň esasysy, statik garyşdyrma gatnaşyklaryna bil baglamak düýpli kemçiliklidir, sebäbi gelýän konsentrlenen material her tapgyrda dykyzlygyň üýtgemelerini görkezýär.
Prosesleriň gözegçiligi üçin, PSD we zeta potensialynyň (koloid durnuklylygy) gönüden-göni analizi möhüm bolsa-da, bu usullar adatça aralykly, oflaýn analize geçirilýär. HVM gurşawynyň işleýiş hakykaty real wagt režiminde, derrew jogap bermegi talap edýär. Netijede, dykyzlyk we ýapyşyklyk suspenziýanyň saglygy üçin iň täsirli we amal edip boljak içki proksiler bolup hyzmat edýär. Dykyzlyk gurşawdaky abraziw gaty maddalaryň umumy konsentrasiýasynyň çalt we üznüksiz ölçegini üpjün edýär. Ýapyşyklyk hem şeýle möhümdir, suwuklygyň kolloid ýagdaýynyň we termal bitewüliginiň ýokary duýgur görkezijisi hökmünde hereket edýär. Durnuksyz ýapyşyklyk köplenç abraziw bölejigiň alamatlaryny berýäraglomerasiýaýa-da rekombinasiýa, esasanam dinamiki kesiş şertlerinde. Şonuň üçin, bu iki reologik parametriň yzygiderli gözegçiligi we gözegçiligi, suspenziýanyň sarp edilişi wagtynda görkezilen himiki we fiziki ýagdaýyny saklaýandygyny barlamak üçin zerur bolan derrew, herekete geçirip bolýan yzyna gaýtarma halkasyny üpjün edýär.
3. Mehanistik näsazlyklaryň seljermesi: Näsazlyklaryň sebäpleri
CMP Dykyzlygynyň we Ýapyşlygynyň Üýtgemeleriniň Negatiw Täsirleri
Prosesleriň üýtgeýänligi ýokary öndürijilikli önümçilikde girdeji töwekgelçiliginiň iň uly sebäbi hökmünde ykrar edilýärýarymgeçiriji önümçilikde cmp"Slýpyň saglygy" diýlip atlandyrylýan şlamyň häsiýetnamalary nasosyň kesilmegi, temperatura üýtgemeleri we garyşdyryşdaky deňsizlikler sebäpli ýüze çykýan üýtgeşmelere örän duýgurdyr. Şlamyň akym ulgamyndan gelip çykýan näsazlyklar diňe mehaniki meselelerden tapawutlanýar, ýöne ikisi hem möhüm wafer galyndylaryna getirýär we köplenç prosesden soňky soňky nokat ulgamlary tarapyndan gaty giç anyklanýar.
Aşa uly bölejikleriň ýa-da aglomeratlaryň bolmagycmp ýarymgeçirijimaterialyň jylaňlanan plastinka ýüzünde mikro dyrnaklaryň we beýleki ölüm howply kemçilikleriň döremegi bilen aýdyň baglanyşyklydygy aýdyňdyr. Esasy reologik parametrlerdäki — ýapyşyklykdaky we dykyzlykdaky — üýtgeşiklikler suspenziýanyň bitewüliginiň bozulandygynyň üznüksiz, esasy görkezijileri bolup, kemçilikleriň emele gelme mehanizmini başlaýar.
Süýümiň ýapyşganlygyndaky üýtgemeler (meselem, aglomerasiýa, üýtgeýän kesişme)
Ýapyşganlyk, akym hereketini we jylaňlama serhetinde sürtülme dinamikasyny dolandyrýan termodinamiki häsiýet bolup, ony daşky gurşawa we mehaniki streslere aýratyn duýgur edýär.
Himiki we fiziki görkezijilerisuspenziýanyň ýapyşyklygy ýarymgeçirijiulgam temperatura gözegçiligine örän baglydyr. Barlaglar, hatda proses temperaturasynyň 5°C-e çenli kiçi bir üýtgemesiniň hem şlakyň ýapyşyklygynyň takmynan 10% azalmagyna getirip biljekdigini tassyklaýar. Reologiýadaky bu üýtgeşme waferi jylawlaýjy ýassykdan bölýän gidrodinamik plýonkanyň galyňlygyna gönüden-göni täsir edýär. Ýassyklygyň peselmegi ýeterlik derejede ýaglanmazlyga getirýär, bu bolsa mikro dyrnaklaryň we ýassyk sarp edilişiniň çaltlaşmagynyň esasy sebäbi bolan mehaniki sürtülmäniň ýokarlanmagyna getirýär.
Kritiki dargama ýoly kesişme sebäpli bölünen bölejikleriň toplanmagyny öz içine alýar. Kremniý esasly şlaklar inçe elektrostatik itekleme güýçleri arkaly bölejikleriň bölünmegini saklaýar. Şlak ýokary kesiş streslerine duçar bolanda - adatça nädogry adaty merkezden gaçyryjy nasoslar ýa-da paýlaýyş halkasynda giň gaýtadan aýlanmak arkaly döreýär - bu güýçleri ýeňip geçmek mümkin, bu bolsa çalt we gaýtarylmaz ýagdaýa getirýär.aglomerasiýaabraziw bölejikleriň. Netijede dörän uly agregatlar mikro-ýüziji gurallar hökmünde hereket edýär we plastinanyň ýüzünde gönüden-göni heläkçilikli mikro-dyrnaklary döredýär. Hakyky wagtdaky wiskozimetriýa bu wakalary anyklamak üçin zerur bolan yzyna gaýtarma mehanizmi bolup, uly göwrümli kemçilikleriň döremeginden öň nasos we paýlaýyş ulgamynyň "ýumşaklygynyň" möhüm tassyklanmasyny üpjün edýär.
Ýapyşlygyň üýtgemegi tekizleşdirmegiň netijeliligine hem uly täsir edýär. Ýapyşlyk jylaňlama wagtynda sürtülme koeffisiýentine täsir edýän esasy faktor bolany üçin, ýapyşlyk profiliniň deň dälligi materialyň aýrylma tizliginiň deňsizligine getirer. Ýapyşlygyň ýerli derejede ýokarlanmagy, esasanam wafer topografiýasynyň ýokary aýratynlyklarynda ýüze çykýan ýokary kesiş tizliklerinde, sürtülme dinamikasyny üýtgedýär we tekizleşdirme maksadyna zyýan ýetirýär, netijede bolsa çöplenme we eroziýa ýaly topografiki kemçiliklere getirýär.
Süýüntüniň dykyzlygyndaky üýtgemeler
Süýji maddalaryň dykyzlygy suwuklygyň içinde saklanýan abraziw gaty maddalaryň umumy konsentrasiýasynyň çalt we ygtybarly görkezijisidir. Dykyzlygyň üýtgemeleri süýji maddalaryň deň däl iberilýändigini görkezýär, bu bolsa materialyň aýrylma tizliginiň (MRR) üýtgemegi we kemçilikleriň emele gelmegi bilen baglanyşyklydyr.
Işleýiş şertleri şlamyň düzüminiň dinamiki barlagyny talap edýär. Diňe konsentrlenen partiýalara belli bir mukdarda suw we oksidleýji goşmaga bil baglamak ýeterlik däl, sebäbi çig malyň dykyzlygy köplenç üýtgeýär, bu bolsa guralyň başynda deňsiz proses netijelerine getirýär. Mundan başga-da, akym tizligi ýa-da kolloid durnuklylygy ýeterlik bolmasa, abraziw bölejikler, esasanam ýokary konsentrirlenen seriýa bölejikleri çökündilere sezewar bolýar. Bu çökündi akym liniýalarynyň içinde ýerli dykyzlyk gradientlerini we materiallaryň agregasiýasyny döredýär, bu bolsa yzygiderli abraziw ýüküni bermek ukybyna düýpli täsir edýär.
How DgüýçDgaçyşlarAffekt ManufacturingProcess?.
Durnuksyz şlak dykyzlygynyň gönüden-göni netijeleri jylaňlanan ýüzde möhüm fiziki kemçilikler hökmünde ýüze çykýar:
Birmeňzeş däl aýyrmak derejeleri (WIWNU):Dykyzlygyň üýtgemeleri gönüden-göni jylawlama serhedinde görkezilen işjeň abraziw bölejikleriň konsentrasiýasynyň üýtgemelerine öwrülýär. Görkezilen dykyzlykdan pes dykyzlyk abraziw konsentrasiýasynyň peselendigini görkezýär, bu bolsa MRR-iň peselmegine getirýär we waferiň içinde kabul ederliksiz deňsizlik (WIWNU) döredýär. WIWNU esasy tekizleşdirme talabyny gowşadýar. Tersine, ýerli ýokary dykyzlyk täsirli bölejik ýüküni artdyrýar we materialyň aşa köp aýrylmagyna getirýär. Dykyzlygyň berk gözegçiligi durnukly sürtülme güýçleri we öňünden çaklap bolýan MRR bilen berk baglanyşykly bolan yzygiderli abraziw iberilmegini üpjün edýär.
Ýerli aşındyryjy üýtgeşmeler sebäpli çukurlaryň döremegi:Aşyndyryjy gaty maddalaryň ýokary ýerli konsentrasiýalary, köplenç çökme ýa-da ýeterlik derejede garyşdyrylmazlygy sebäpli, wafer ýüzünde bölejiklere ýokary ýükleriň bolmagyna getirýär. Aşyndyryjy bölejikler, esasanam seriýa, oksid aýna gatlagyna berk ýapyşanda we ýüzde dartgynlyklar bolanda, mehaniki ýük aýna gatlagynyň döwülmegine sebäp bolup biler we bu bolsa çuňňur, ýiti uçly kesiklere sebäp bolup biler.çukurjykkemçilikler. Bu abraziw üýtgeşmeler süzgüçiň bozulmagy sebäpli döräp biler, bu bolsa bölejikleriň ýaramaz suspenziýasynyň netijesinde uly ölçegli agregatlaryň (0,5 million dollardan uly bölejikler) geçmegine mümkinçilik berýär. Dykyzlygy gözegçilik etmek bölejik hasaplaýjylaryna möhüm, goşmaça duýduryş ulgamyny üpjün edýär, bu bolsa proses inženerlerine abraziw toparlanyşynyň başlangyjyny anyklamaga we abraziw ýüküni durnuklaşdyrmaga mümkinçilik berýär.
Ýaramaz bölejikleriň suspenziýasyndan galan maddalaryň emele gelmegi:Süspansiyon durnuksyz bolanda, ýokary dykyzlyk gradientlerine sebäp bolanda, gaty materiallar akym arhitekturasynda toplanmaga meýilli bolar, bu bolsa paýlaýyş ulgamynda dykyzlyk tolkunlaryna we materiallaryň agregasiýasyna getirýär.17Mundan başga-da, jylamak wagtynda şlak himiki reaksiýa önümlerini we mehaniki aşynma galyndylaryny netijeli aýyrmalydyr. Eger bölejikleriň suspenziýasynyň ýa-da suwuklygyň dinamikasy durnuksyzlyk sebäpli pes bolsa, bu galyndylary plastina ýüzünden netijeli aýrylmaýar, bu bolsa CMP-den soňky bölejikleriň we himiki maddalaryňgalyndykemçilikler. Arassa we üznüksiz materiallary boşaltmak üçin üznüksiz reologik gözegçilik arkaly üpjün edilýän durnukly bölejik suspenziýa hökmanydyr.
Dykyzlyk ölçeýjileri barada has köp öwreniň
Has köp onlaýn proses ölçeýjileri
4. Içerki metrologiýanyň tehniki artykmaçlygy
Lonnmetr Çyzyk içi densitometrler we wiskometrler
Uçujy CMP prosesini üstünlikli durnuklaşdyrmak üçin, suspenziýanyň saglyk parametrleriniň üznüksiz, inwaziw däl ölçeglerini geçirmek möhümdir.Lonnmetr Çyzyk içi densitometrler we wiskometrlerAdaty, gijikdirişlere meýilli metrologiýa enjamlary bilen deňeşdirilende ýokary öndürijiligi üpjün edýän ýokary derejeli rezonans sensor tehnologiýasyny ulanýar. Bu mümkinçilik akym ýoluna gönüden-göni birikdirilen üznüksiz we üznüksiz dykyzlyk gözegçiligini üpjün edýär, bu bolsa häzirki zaman 28nm-den kiçi proses düwünleriniň berk arassalyk we garyndy takyklyk standartlaryna laýyk gelmek üçin örän möhümdir.
Olaryň esasy tehnologiýa ýörelgelerini, ölçeg takyklygyny, jogap beriş tizligini, durnuklylygyny, berk CMP gurşawlarynda ygtybarlylygyny jikme-jik düşündiriň we olary däp bolan oflaýn usullardan tapawutlandyryň.
Netijeli proses awtomatlaşdyrmasy, ýokary akym, ýokary basyş we abraziw himiki täsirleriň dinamiki şertlerinde ygtybarly işlemek üçin döredilen sensorlary talap edýär we dolandyryş ulgamlary üçin derrew pikir alyşmasyny üpjün edýär.
Esasy tehnologiýa ýörelgeleri: Rezonatoryň artykmaçlygy
Lonnmetr gurallary abraziw kolloid suspenziýalar bilen içerde ulanmakda kynçylyk döredýän däp bolan, dar deşikli U-formaly densitometrleriň içki gowşaklyklaryny azaltmak üçin ýörite işlenip düzülen güýçli rezonans tehnologiýalaryny ulanýar.
Dykyzlygyň ölçegi:Thesuspenziýanyň dykyzlyk ölçegçisiadatça çatal gurnama ýa-da koaksial rezonator ýaly doly kebşirlenen titreşýän elementi ulanýar. Bu element özüne mahsus tebigy ýygylykda yrgyldamak üçin pýezoelektrik arkaly höweslendirilýär. Daş-töweregindäki suwuklygyň dykyzlygyndaky üýtgeşmeler bu tebigy ýygylykda takyk üýtgeşmä sebäp bolýar we dykyzlygyň gönüden-göni we ýokary derejede ygtybarly kesgitlenmegine mümkinçilik berýär.
Ýapyşyklylygyň ölçegi:TheIş wagtyndaky şlam wiskozimetrisuwuklygyň içinde titräp durýan berk datçigi ulanýar. Dizaýn ýapyşyklyk ölçeginiň suwuklygyň köpçülikleýin akymynyň täsirinden bölünip durmagyny üpjün edýär we materialyň reologiýasynyň içki ölçegini üpjün edýär.
Operasiýa netijeliligi we çydamlylyk
Içerki rezonans metrologiýasy berk HVM gözegçiligi üçin zerur bolan möhüm öndürijilik ölçeglerini hödürleýär:
Takyklyk we jogap beriş tizligi:Içerki ulgamlar ýokary gaýtalanmagy üpjün edýär, köplenç 0,001 g/sm3 çenli ýapyşyklyk we dykyzlyk takyklygy üçin 0,1% -den has gowy netije gazanýar. Işleriň ygtybarly gözegçiligi üçin bu ýokarytakyklyk— şol bir gymmaty yzygiderli ölçemek we kiçi üýtgeşmeleri ygtybarly ýüze çykarmak ukyby — köplenç çäkli absolýut takyklykdan has gymmatlydyr. Iň esasysy, signaljogap wagtybu sensorlar üçin örän çalt, adatça 5 sekunt töweregi. Bu derrew bolýan pikir alyşma näsazlyklary derrew anyklamaga we awtomatlaşdyrylan ýapyk aýlawly sazlamalara mümkinçilik berýär, bu bolsa syýahatlaryň öňüni almak üçin esasy talapdyr.
Gaty güýçli gurşawlarda durnuklylyk we ygtybarlylyk:CMP şlamlary öz-özünden agressiwdir. Häzirki zaman liniýadaky enjamlar berklik üçin guruldy, turba geçirijilerine gönüden-göni gurnamak üçin ýörite materiallary we konfigurasiýalary ulanýar. Bu sensorlar dürli basyşlarda (meselem, 6,4 MPa çenli) we temperaturada (350 ℃ çenli) işlemek üçin niýetlenendir. U-şekilli turba däl dizaýn abraziw serişdeler bilen baglanyşykly ölü zolaklary we tıkanma howplaryny azaldýar, sensoryň iş wagtyny we işleýiş ygtybarlylygyny ýokarlandyrýar.
Adaty oflaýn usullardan tapawudy
Awtomatlaşdyrylan içerki ulgamlar bilen el bilen işleýän oflaýn usullaryň arasyndaky funksional tapawutlar reaktiw kemçilikleriň gözegçiligi bilen proaktiw proses optimizasiýasynyň arasyndaky tapawudy kesgitleýär.
| Gözegçilik kriteriýasy | Oflaýn (Laboratoriýa nusgalary/U-truba densitometri) | Içerki (Lonnmetr Densitometr/Wiskozimetr) | Prosesiň täsiri |
| Ölçeg tizligi | Gijikdirildi (Sagatlar) | Real-Time, Üznüksiz (Jogap wagty köplenç 5 sekunt) | Öňüni alyş, ýapyk döwürleýin proses gözegçiligini üpjün edýär. |
| Maglumatlaryň yzygiderliligi/takyklygy | Pes (El bilen ýalňyşlyga, nusganyň zaýalanmagyna sezewar bolýar) | Ýokary (Awtomatlaşdyrylan, ýokary gaýtalanýanlyk/takyklyk) | Prosesleriň gözegçiliginiň çäklerini berkeltmek we ýalňyş pozitiw netijeleri azaltmak. |
| Aşındyryjylyk bilen utgaşyklyk | Ýokary tıkanma howpy (Dar U-şekilli deşik dizaýny) | Tykylma howpy pes (Berk, U-şekilli turba däl rezonator dizaýny) | Abraziw serişdelerde sensoryň iş wagtyny we ygtybarlylygyny iň ýokary derejä çykardy. |
| Näsazlyklary anyklamak ukyby | Reaktiw (birnäçe sagat öň bolup geçen gezelençleri anyklaýar) | Öňüni alyş (dinamik üýtgeşmeleri gözegçilik edýär, ekskursiýalary ir anyklaýar) | Wafer galyndylarynyň we hasylyň gaçmagynyň öňüni alýar. |
3-nji tablisa: Deňeşdirme seljermesi: Içerki we däp bolan şlam metrologiýasy
Adaty oflaýn analiz nusgany çykarmak we daşamak prosesini talap edýär, bu bolsa metrologiýa halkasyna uly wagt gijikdirmesini girizýär. Sagatlap dowam edip bilýän bu gijikdirme, ekskursiýa ahyrsoňy anyklananda, köp mukdarda waferleriň eýýäm zaýalanandygyny üpjün edýär. Mundan başga-da, el bilen ulanmak üýtgeşikligi döredýär we nusganyň zaýalanmagyna, esasanam nusga alnandan soň temperatura üýtgemeleri sebäpli töwekgelçilik döredýär, bu bolsa ýapyşyklyk görkezijilerini bozup biler.
Içerki metrologiýa bu ejizleşdiriji gijikmäni aradan aýyrýar we paýlaýyş liniýasyndan göni maglumatlaryň üznüksiz akymyny üpjün edýär. Bu tizlik näsazlyklary anyklamak üçin esasydyr; abraziw materiallar üçin zerur bolan berk, dykylmaýan dizaýn bilen utgaşdyrylanda, tutuş paýlaýyş ulgamyny durnuklaşdyrmak üçin ygtybarly maglumat akymyny üpjün edýär. CMP-niň çylşyrymlylygy köp sanly parametrleri (meselem, döwülme görkezijisi ýa-da pH) gözegçilikde saklamagy talap etse-de, dykyzlyk we ýapyşyklyk abraziw suspenziýanyň esasy fiziki durnuklylygy barada iň göni, hakyky wagtda pikir alyşmalary üpjün edýär, bu bolsa köplenç himiki buferleşdirme sebäpli pH ýa-da Oksidlenme-Kemeldiş Potensialy (ORP) ýaly parametrleriň üýtgemegine duýgur däl.
5. Ykdysady we iş şertleri
Real wagt dykyzlygynyň we ýapyşyklygyň gözegçiliginiň peýdalary
Islendik ösen önümçilik liniýasy üçinÝarymaý prosesinde CMPulanylanda, üstünlik yzygiderli hasyllylygyň ýokarlanmagy, prosesiň iň ýokary durnuklylygy we çykdajylaryň berk dolandyrylmagy bilen ölçenýär. Real wagt reologiki gözegçilik bu täjirçilik talaplaryna ýetmek üçin zerur bolan esasy maglumat infrastrukturasyny üpjün edýär.
Proses durnuklylygyny güýçlendirýär
Üznüksiz, ýokary takyklykly şlam gözegçiligi, önümiň öň tarapyndaky prosesiň şowhunyna garamazdan, ulanyş nokadyna (POU) getirilýän şlam parametrleriniň örän berk gözegçilik çäklerinde galmagyny kepillendirýär. Mysal üçin, gelýän çig şlam partiýalaryna mahsus dykyzlygyň üýtgeýänligini göz öňünde tutup, diňe resept boýunça görkezmeleri ýerine ýetirmek ýeterlik däl. Blender bakyndaky dykyzlygy real wagt režiminde gözegçilik etmek arkaly gözegçilik ulgamy suwuklandyrma gatnaşyklaryny dinamiki taýdan sazlap biler we garyşdyrma prosesinde takyk maksatly konsentrasiýanyň saklanmagyny üpjün edýär. Bu bolsa, çig malyň deňsizliginden ýüze çykýan proses üýtgeýänligini ep-esli azaldýar, bu bolsa ýokary derejede öňünden çaklanyp bilinýän jylaňlama işine getirýär we gymmat proses gezelençleriniň ýygylygyny we möçberini ep-esli azaldýar.
Hasyllylygy artdyrýar
Durnuksyz şlam şertlerinden ýüze çykýan mehaniki we himiki näsazlyklary gönüden-göni çözmek, güýçlendirmegiň iň täsirli usulydyrcmp ýarymgeçiriji önümçiligiÇykaryş derejeleri. Öňünden çaklaýjy, real wagt gözegçilik ulgamlary ýokary gymmatly önümi öňünden goraýar. Şeýle ulgamlary ornaşdyran fabrikler uly üstünlik gazandylar, şol sanda kemçilikleriň gaçmagynyň 25% -e çenli azalandygy barada hasabatlar bar. Bu öňüni alyş ukyby operasiýa paradigmasyny hökman kemçiliklere reaksiýa bermekden olaryň emele gelmeginiň öňüni almaga çalyşýar, şeýlelik bilen millionlarça dollarlyk waferleri mikro dyrnaklardan we durnuksyz bölejikler populýasiýalarynyň döredýän beýleki zyýanlaryndan goraýar. Dinamik üýtgeşmeleri, meselem, birden ýapyşlylygyň peselmegini alamatlandyrýan termal ýa-da kesiş stresini gözegçilik etmek ukyby, bu faktorlaryň kemçilikleri köp waferlerde ýaýratmazdan öň goşulyşmaga mümkinçilik berýär.
Gaýtadan işlemegi azaldýar
Önümgaýtadan işlemekÝalňyşlyklar ýa-da kemçilikler sebäpli gaýtadan işlenmegi talap edýän öndürilen önümiň göterimi hökmünde kesgitlenýän dereje, umumy önümçiligiň netijesizligini ölçeýän möhüm KPI-dir. Gaýtadan işlemegiň ýokary tizligi gymmatly zähmeti sarp edýär, materiallary zaýalaýar we uly gijikmelere getirýär. Gap-gaçlaryň gatlagy, deň däl aýrylmagy we dyrnaklanmagy ýaly kemçilikler reologiki durnuksyzlygyň gönüden-göni netijeleri bolany üçin, dykyzlygy we ýapyşyklygy yzygiderli gözegçilik arkaly şlak akymyny durnuklaşdyrmak bu möhüm ýalňyşlyklaryň döremegini ep-esli azaldýar. Prosesiň durnuklylygyny üpjün etmek arkaly abatlaýyş ýa-da gaýtadan jylamak talap edýän kemçilikleriň ýüze çykmagy iň pes derejä düşürilýär, bu bolsa iş öndürijiliginiň we umumy toparyň netijeliliginiň ýokarlanmagyna getirýär.
Operasiýa çykdajylaryny optimizirleýär
CMP şlaklary önümçilik gurşawynda uly sarp ediş çykdajylaryny emele getirýär. Prosesiň näbelliligi garyşdyrmakda we sarp etmekde giň, konserwatiw howpsuzlyk çäkleriniň ulanylmagyny talap edende, netijede netijeli ulanylmazlyk we ýokary iş çykdajylary ýüze çykýar. Real wagt gözegçiligi şlaklary arassa we takyk dolandyrmaga mümkinçilik berýär. Mysal üçin, üznüksiz gözegçilik takyk garyşdyrma gatnaşyklaryna mümkinçilik berýär, suwuklandyrylan suwuň sarp edilişini azaltmaga we gymmat bahaly bolmagyna kepil geçýär.cmp suspenziýasynyň düzümioptimal ulanylýar, material ýitgilerini we iş çykdajylaryny azaldýar. Mundan başga-da, real wagt reologiki diagnostika enjam meseleleriniň — mysal üçin, prokladkalaryň aşynmagy ýa-da nasosyň näsazlygy ýaly — irki duýduryş alamatlaryny berip biler, bu bolsa näsazlyk möhüm şlamyň ekskursiýasyna we soňraky iş wagtyndan öň ýagdaýa esaslanýan tehniki hyzmata mümkinçilik berýär.
Ýokary öndürijilikli önümçiligiň dowamlylygy ähli möhüm birlik proseslerinde üýtgeşikligiň aradan aýrylmagyny talap edýär. Lonnmetr rezonans tehnologiýasy suspenziýanyň eltilmeginiň infrastrukturasyny howpdan aýyrmak üçin zerur bolan berkligi, tizligi we takyklygy üpjün edýär. Real wagt dykyzlygy we ýapyşyklyk maglumatlaryny birleşdirmek arkaly, proses inženerleri üznüksiz, amaly aň bilen üpjün edilýärler, bu bolsa öňünden çaklanyp bilinýän jylaňlama işini üpjün edýär we plastinalaryň çykmagyny kolloid durnuksyzlygyna garşy goraýar.
Reaktiw girdeji dolandyryşyndan proaktiw proses dolandyryşyna geçişi başlatmak üçin:
Iň ýokary derejä çykarmakIş wagty weKiçeltmekGaýtadan işlemek:Göçürip alyňBiziň tehniki aýratynlyklarymyz weBaşlaňşu gün RFQ.
Biz ýokary derejeli proses we önüm öndüriji inženerlerini işe çagyrýarystabşyrmakJikme-jik RFQ. Tehniki hünärmenlerimiz kemçilikleriň dykyzlygynyň we suspenziýanyň sarp edilişiniň meýilleşdirilýän azalmasyny kesgitlemek üçin ýokary takyklykly Lonnmetr tehnologiýasyny suspenziýa paýlaýyş infrastrukturaňyza goşup, takyk durmuşa geçirmegiň ýol kartasyny işläp düzerler.AragatnaşykProsesleri awtomatlaşdyrmak boýunça toparymyz indihowpsuzgirdeji artykmaçlygyňyz.Açyňiň möhüm planarizasiýa ädimiňizi durnuklaşdyrmak üçin zerur bolan esasy takyklyk.
