Chemical Mechanical Polishing

Himiki-mehaniki jylamak (HMJ) köplenç himiki reaksiýa arkaly tekiz ýüzleri öndürmek bilen baglanyşyklydyr, esasanam ýarymgeçirijiler önümçiliginde ulanylýar.Lonnmetr, 20 ýyldan gowrak tejribe toplaýan ygtybarly innowator, iň täze tehnologiýalary hödürleýärýadro däl dykyzlyk ölçeýjileriwe suspenziýanyň dolandyrylyşyndaky kynçylyklary çözmek üçin ýapyşyklyk sensorlary.

Süýümiň hiliniň we Lonnmetriň tejribesiniň ähmiýeti

Himiki mehaniki jylawlaýjy şlam CMP prosesiniň esasy bolup, ýüzleriň deňligini we hilini kesgitleýär. Şlamyň dykyzlygynyň ýa-da ýapyşyklygynyň deň dälligi mikro dyrnaklamalar, materiallaryň deň däl aýrylmagy ýa-da ýapyşyklaryň dykylmagy ýaly kemçiliklere getirip, plastinkanyň hiline täsir edip we önümçilik çykdajylaryny ýokarlandyryp biler. Senagat ölçeg çözgütlerinde dünýä lideri bolan Lonnmeter, şlamyň iň gowy işini üpjün etmek üçin içerki şlam ölçeglerine ýöriteleşýär. Ygtybarly, ýokary takyklykly sensorlary hödürlemekde subut edilen tejribe bilen, Lonnmeter prosesiň gözegçiligini we netijeliligini ýokarlandyrmak üçin öňdebaryjy ýarymgeçiriji önüm öndürijileri bilen hyzmatdaşlyk etdi. Olaryň ýadro däl şlamyň dykyzlyk ölçeýjileri we ýapyşyklyk sensorlary hakyky wagt maglumatlaryny berýär, şlamyň yzygiderliligini saklamak we häzirki zaman ýarymgeçiriji önümçiliginiň berk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin takyk sazlamalary üpjün edýär.

Iň gowy ýarymgeçiriji firmalaryň ynamyna eýe bolan, çyzyk içi konsentrasiýa ölçeglerinde iki onýyllykdan gowrak tejribe. Lonnmeteriň datçikleri üznüksiz integrasiýa we nol tehniki hyzmat üçin niýetlenendir, bu bolsa iş çykdajylaryny azaldýar. Aýratyn proses zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin niýetlenen çözgütler, ýokary plastina önümçiligini we laýyklygy üpjün edýär.

Ýarymgeçirijiler önümçiliginde himiki mehaniki jylaňlamanyň roly

Himiki mehaniki jylamak (HMJ), himiki-mehaniki tekizleşdirme diýlip hem atlandyrylýar, ýarymgeçiriji önümçiliginiň esasydyr we ösen çip önümçiligi üçin tekiz, kemçiliksiz ýüzleri döretmäge mümkinçilik berýär. Himiki aşındyrmany mehaniki aşındyrmagy birleşdirmek arkaly HMJ prosesi 10 nm-den aşak düwünlerde köp gatlakly integral mikrosxemalar üçin zerur bolan takyklygy üpjün edýär. Suwdan, himiki reagentlerden we aşındyryjy bölejiklerden ybarat bolan himiki mehaniki jylamak şlamy, materialy deň derejede aýyrmak üçin jylamak ýastygy we list bilen özara täsirleşýär. Ýarymgeçiriji dizaýnlary ösýän mahaly, HMJ prosesi barha çylşyrymly bolýar, kemçilikleriň öňüni almak we Ýarymgeçiriji Döküjiler we Materiallar Üpjün edijileri tarapyndan talap edilýän tekiz, jylamakly listleri gazanmak üçin şlamyň häsiýetlerine berk gözegçilik edilmegini talap edýär.

Bu proses minimal kemçilikli 5nm we 3nm çipleri öndürmek üçin möhümdir, bu bolsa indiki gatlaklaryň takyk ýerleşdirilmegi üçin tekiz ýüzleri üpjün edýär. Hatda kiçi şlam deňsizlikleri hem gymmat gaýtadan işlenmäge ýa-da hasylyň ýitmegine sebäp bolup biler.

Şlamyň häsiýetlerini gözegçilikde saklamakdaky kynçylyklar

Himiki mehaniki jylamak prosesinde suspenziýanyň dykyzlygyny we ýapyşyklygyny yzygiderli saklamak köp kynçylyklara sebäp bolýar. Supenziýanyň häsiýetleri daşamak, suw ýa-da wodorod peroksid bilen suwuklandyrmak, ýeterlik derejede garyşdyrmazlyk ýa-da himiki dargama ýaly faktorlara görä üýtgeýär. Mysal üçin, suspenziýa gaplarynda bölejikleriň çökmegi aşakda ýokary dykyzlyga sebäp bolup, jylamaklygyň deň dälligine getirýär. pH, oksidlenme-dikeldiş potensialy (ORP) ýa-da geçirijilik ýaly däp bolan gözegçilik usullary köplenç ýeterlik däl, sebäbi olar suspenziýanyň düzüminde inçe üýtgeşmeleri anyklamaýar. Bu çäklendirmeler kemçiliklere, aýrylma tizliginiň peselmegine we sarp edilişiň çykdajylarynyň ýokarlanmagyna getirip biler, bu bolsa ýarymgeçiriji enjam öndürijileri we CMP hyzmatlaryny üpjün edijiler üçin uly töwekgelçilikleri döredýär. Işläp-çalyşmak we paýlamak wagtynda düzüm üýtgeşmeleri öndürijilige täsir edýär. 10 nm-den kiçi düwünler suspenziýanyň arassalygyna we garyndynyň takyklygyna has berk gözegçilik talap edýär. pH we ORP minimal üýtgeşmeleri görkezýär, geçirijilik bolsa suspenziýanyň ýaşlanmagy bilen üýtgeýär. Pudak barlaglaryna görä, suspenziýanyň häsiýetleriniň deňsizligi kemçilikleriň derejesini 20% -e çenli ýokarlandyryp biler.

Lonnmeter-iň hakyky wagt gözegçiligi üçin içerki datçikleri

Lonnmeter bu kynçylyklary özüniň ösen ýadro däl şlam dykyzlyk ölçeýjileri bilen çözýär weýapyşgynlyk sensorlary, şol sanda çyzykly çyzyklylyk ölçegleri üçin çyzyklylyk ölçeýjisi we şol bir wagtyň özünde şlam dykyzlygyny we çyzyklylygy gözegçilik etmek üçin ultrases dykyzlyk ölçeýjisi. Bu sensorlar senagat standartyndaky birikmeleri öz içine alýan CMP proseslerine bökdençsiz integrasiýa üçin niýetlenendir. Lonnmeter-iň çözgütleri berk gurluşy üçin uzak möhletli ygtybarlylygy we az tehniki hyzmaty hödürleýär. Real wagt maglumatlary operatorlara şlam garyndylaryny sazlamaga, kemçilikleriň öňüni almaga we jylawlama işini optimizirlemäge mümkinçilik berýär, bu bolsa bu gurallary Analiz we synag enjamlarynyň üpjün edijileri we CMP sarp ediş materiallarynyň üpjün edijileri üçin zerur edýär.

CMP optimizasiýasy üçin üznüksiz gözegçiligiň peýdalary

“Lonnmeter”-iň içki datçikleri bilen yzygiderli gözegçilik etmek, amaly düşünjeleri we uly çykdajylary tygşytlamak arkaly himiki mehaniki jylamak prosesini özgerdýär. Pudak ölçeglerine görä, real wagt režiminde şlamyň dykyzlygyny ölçemek we ýapyşyklygy gözegçilik etmek çyzyklanmalar ýa-da aşa köp jylamak ýaly kemçilikleri 20% -e çenli azaldýar. PLC ulgamy bilen integrasiýa awtomatik dozalaşdyrmaga we prosesiň dolandyrylmagyna mümkinçilik berýär, şlamyň häsiýetleriniň iň gowy çäklerde galmagyny üpjün edýär. Bu bolsa sarp edilýän çykdajylaryň 15-25% azalmagyna, işlemeýän wagtyň azalmagyna we waferleriň birmeňzeşliginiň gowulanmagyna getirýär. Ýarymgeçiriji döküm zawodlary we CMP hyzmatlarynyň üpjün edijileri üçin bu peýdalar öndürijiligiň ýokarlanmagyna, girdejiniň ýokarlanmagyna we ISO 6976 ýaly standartlara laýyk gelmegine getirýär.

CMP-de suspenziýanyň gözegçiligi barada umumy soraglar

CMP üçin şlamyň dykyzlygyny ölçemek näme üçin möhüm?

Süýümiň dykyzlygyny ölçemek, bölejikleriň deň paýlanmagyny we garyndynyň yzygiderliligini üpjün edýär, kemçilikleriň öňüni alýar we himiki mehaniki jylamak prosesinde aýyrmak tizligini optimizirleýär. Ol ýokary hilli wafer önümçiligini we senagat standartlaryna laýyk gelmegi goldaýar.

Ýapyşma gözegçiligi CMP-niň netijeliligini nähili ýokarlandyrýar?

Ýapyşganlygyň gözegçiligi yzygiderli şlak akymyny saklaýar we ýastykçalaryň tıkanmagy ýa-da deň däl jylaňlama ýaly meseleleriň öňüni alýar. Lonnmeteriň içerki datçikleri CMP prosesini optimizirlemek we waferiň önümçiligini ýokarlandyrmak üçin real wagt maglumatlaryny berýär.

Lonnmeteriň ýadrosyz şlam dykyzlyk ölçeýjilerini näme özboluşly edýär?

Lonnmeteriň ýadrosyz şlam dykyzlyk ölçeýjileri ýokary takyklyk we hiç hili tehniki hyzmat talap etmeýän bir wagtyň özünde dykyzlyk we ýapyşyklyk ölçeglerini hödürleýär. Olaryň berk dizaýny talap edilýän CMP proses gurşawlarynda ygtybarlylygy üpjün edýär.

Ýarymgeçiriji önümçilikde himiki mehaniki jylaňlama prosesini optimizirlemek üçin hakyky wagt režiminde şlamyň dykyzlygyny ölçemek we ýapyşyklygy gözegçilik etmek örän möhümdir. Lonnmeter-iň ýadro däl şlamyň dykyzlyk ölçeýjileri we ýapyşyklyk datçikleri Ýarymgeçiriji Enjamlaryny Öndürijilere, CMP Sarp Edijilerine we Ýarymgeçiriji Döküji Zawodlaryna şlamy dolandyrmakdaky kynçylyklary ýeňip geçmek, kemçilikleri azaltmak we çykdajylary azaltmak üçin gurallar hödürleýär. Takyk, hakyky wagt maglumatlaryny bermek arkaly bu çözgütler prosesiň netijeliligini ýokarlandyrýar, laýyklygy üpjün edýär we bäsdeşlikli CMP bazarynda girdejililigi ýokarlandyrýar. Sapar ediň.Lonnmeteriň web sahypasyýa-da Lonnmeteriň himiki mehaniki jylaňlama amallaryňyzy nähili üýtgedip biljekdigini bilmek üçin şu gün olaryň topary bilen habarlaşyň.

Häzir herekete geçiň

Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 22-nji iýuly