Chemical Mechanical Polishing

Сайқалдиҳии кимиёвӣ-механикӣ (CMP) аксар вақт бо истеҳсоли сатҳҳои ҳамвор тавассути реаксияи кимиёвӣ алоқаманд аст, махсусан дар саноати истеҳсоли нимноқилҳо.Лоннметр, як навовари боэътимод бо таҷрибаи беш аз 20-сола дар андозагирии консентратсияи дохилӣ, технологияҳои муосирро пешниҳод мекунадметрҳои зичии ғайриҳастаӣва сенсорҳои часпакӣ барои ҳалли мушкилоти идоракунии шлам.

Аҳамияти сифати суспензия ва таҷрибаи лоннметр

Маҳлули сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ асоси раванди CMP буда, якрангӣ ва сифати сатҳҳоро муайян мекунад. Зичии номувофиқ ё часпакии маҳлули ...

Зиёда аз ду даҳсола таҷриба дар андозагирии консентратсияи хаттӣ, ки аз ҷониби ширкатҳои пешбари нимноқилҳо эътимод дорад. Сенсорҳои Lonnmeter барои ҳамгироии бефосила ва нигоҳдории сифрӣ тарҳрезӣ шудаанд, ки хароҷоти амалиётиро кам мекунанд. Ҳалли мутобиқшуда барои қонеъ кардани ниёзҳои мушаххаси равандҳо, ки ҳосилнокии баланди пластинаҳо ва мутобиқатро таъмин мекунанд.

Нақши сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо

Сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ (CMP), ки онро ҳамворкунии химиявӣ-механикӣ низ меноманд, санги асосии истеҳсоли нимноқилҳо буда, имкон медиҳад, ки сатҳҳои ҳамвор ва бе нуқсон барои истеҳсоли пешрафтаи чипҳо эҷод карда шаванд. Бо якҷоя кардани кандакории кимиёвӣ бо абразияи механикӣ, раванди CMP дақиқии заруриро барои схемаҳои интегралии бисёрқабата дар гиреҳҳои камтар аз 10 нм таъмин мекунад. Маҳлули сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ, ки аз об, реагентҳои кимиёвӣ ва зарраҳои абразивӣ иборат аст, бо болишти сайқалдиҳӣ ва пластина ҳамкорӣ мекунад, то маводро яксон тоза кунад. Бо таҳаввули тарҳҳои нимноқил, раванди CMP бо мураккабии афзоянда рӯбарӯ мешавад, ки назорати қатъии хосиятҳои маҳлули сайқалёфтаро талаб мекунад, то аз нуқсонҳо пешгирӣ карда шавад ва пластинаҳои ҳамвор ва сайқалёфтае, ки аз ҷониби рехтагарон ва таъминкунандагони маводҳои нимноқилҳо талаб карда мешаванд, ба даст оварда шаванд.

Ин раванд барои истеҳсоли чипҳои 5nm ва 3nm бо камбудиҳои ҳадди ақал муҳим аст, ки сатҳҳои ҳамворро барои гузоштани дақиқи қабатҳои баъдӣ таъмин мекунад. Ҳатто номувофиқатии ночизи шлам метавонад ба коркарди гаронбаҳо ё талафоти ҳосил оварда расонад.

Мушкилот дар мониторинги хосиятҳои суспензия

Нигоҳ доштани зичии доимӣ ва часпакии шлам дар раванди сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ бо мушкилот рӯбарӯ аст. Хусусиятҳои шлам метавонанд аз сабаби омилҳо ба монанди интиқол, обёрӣ бо об ё пероксиди гидроген, омезиши нокифоя ё вайроншавии кимиёвӣ фарқ кунанд. Масалан, ҷойгиршавии зарраҳо дар халтаҳои шлам метавонад боиси зичии баландтар дар поён гардад, ки боиси сайқалдиҳии нобаробар мегардад. Усулҳои анъанавии мониторинг, ба монанди рН, потенсиали оксидшавӣ-камшавӣ (ORP) ё гузаронандагӣ аксар вақт нокифоя мебошанд, зеро онҳо тағироти нозукро дар таркиби шлам муайян карда наметавонанд. Ин маҳдудиятҳо метавонанд боиси нуқсонҳо, коҳиши суръати тозакунӣ ва афзоиши хароҷоти истеъмолӣ шаванд, ки барои истеҳсолкунандагони таҷҳизоти нимноқилӣ ва провайдерҳои хидматрасонии CMP хатарҳои назаррас эҷод мекунанд. Тағйироти таркибӣ ҳангоми коркард ва тақсимкунӣ ба кор таъсир мерасонанд. Гиреҳҳои зер аз 10 нм назорати сахттарро аз болои тозагии шлам ва дақиқии омехта талаб мекунанд. рН ва ORP тағирёбии ҳадди ақалро нишон медиҳанд, дар ҳоле ки гузаронандагӣ бо пиршавии шлам фарқ мекунад. Тибқи таҳқиқоти соҳавӣ, хосиятҳои номувофиқи шлам метавонанд сатҳи нуқсонҳоро то 20% зиёд кунанд.

Сенсорҳои дохилии Лоннметр барои мониторинги вақти воқеӣ

Лоннметр ин мушкилотро бо истифода аз ҳисобкунакҳои пешрафтаи зичии суспензияи ғайриҳастаии худ ҳал мекунад васенсорҳои часпакӣ, аз ҷумла ченкунаки часпакӣ дар хатти ченкунии часпакӣ дар хатти ченкунӣ ва ченкунаки зичии ултрасадо барои назорати ҳамзамони зичии шлам ва часпакӣ. Ин сенсорҳо барои ҳамгироии бефосила ба равандҳои CMP тарҳрезӣ шудаанд, ки дорои пайвастҳои стандартии саноатӣ мебошанд. Ҳалли Lonnmeter эътимоднокии дарозмуддат ва нигоҳдории камро барои сохтори мустаҳками он пешниҳод мекунад. Маълумоти вақти воқеӣ ба операторҳо имкон медиҳад, ки омехтаҳои шламро дақиқ танзим кунанд, аз камбудиҳо пешгирӣ кунанд ва самаранокии сайқалдиҳиро беҳтар созанд, ки ин асбобҳоро барои таъминкунандагони таҷҳизоти таҳлил ва озмоиш ва таъминкунандагони масолеҳи истеъмолии CMP ҳатмӣ мегардонад.

Манфиатҳои мониторинги доимӣ барои беҳсозии CMP

Назорати доимӣ бо сенсорҳои дохилии Lonnmeter раванди сайқалдиҳии механикии кимиёвиро тавассути пешниҳоди фаҳмишҳои амалӣ ва сарфаи назарраси хароҷот тағйир медиҳад. Андозагирии зичии шлам ва мониторинги часпакӣ дар вақти воқеӣ, мувофиқи меъёрҳои соҳа, камбудиҳо ба монанди харошидан ё сайқалдиҳии аз ҳад зиёдро то 20% кам мекунад. Ҳамгироӣ бо системаи PLC имкон медиҳад, ки миқдори автоматӣ ва назорати равандҳо муайян карда шавад ва таъмин карда шавад, ки хосиятҳои шлам дар доираи диапазонҳои беҳтарин боқӣ монанд. Ин боиси 15-25% коҳиш ёфтани хароҷоти истеъмолӣ, кам кардани вақти корношоямӣ ва беҳтар шудани якрангии вафл мегардад. Барои рехтагарони нимноқилҳо ва провайдерҳои хидматрасонии CMP, ин бартариҳо ба баланд шудани ҳосилнокӣ, фоидаи баландтар ва риояи стандартҳо ба монанди ISO 6976 табдил меёбанд.

Саволҳои маъмулӣ дар бораи мониторинги суспензия дар CMP

Чаро андозагирии зичии суспензия барои CMP муҳим аст?

Андозагирии зичии суспензия тақсимоти якхелаи зарраҳо ва мувофиқати омехтаро таъмин мекунад, аз камбудиҳо пешгирӣ мекунад ва суръати тозакуниро дар раванди сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ беҳтар мекунад. Он истеҳсоли пластинаҳои баландсифат ва риояи стандартҳои саноатиро дастгирӣ мекунад.

Чӣ тавр мониторинги часпакӣ самаранокии CMP-ро афзоиш медиҳад?

Назорати часпакӣ ҷараёни мунтазами суспензияро нигоҳ медорад ва аз мушкилоте ба монанди бандшавии болиштҳо ё сайқалдиҳии нобаробар пешгирӣ мекунад. Сенсорҳои дохилии Lonnmeter маълумоти воқеиро барои беҳсозии раванди CMP ва беҳтар кардани ҳосилнокии вафлҳо пешниҳод мекунанд.

Чӣ чиз зеҳнҳои ғайриҳастаии зичии шлами Лоннметрро беназир мегардонад?

Ҳисобкунакҳои зичии суспензияи ғайриҳастаии Lonnmeter андозагирии ҳамзамони зичӣ ва часпакиро бо дақиқии баланд ва нигоҳдории сифрӣ пешниҳод мекунанд. Тарҳи мустаҳками онҳо эътимоднокиро дар муҳитҳои серталаби раванди CMP таъмин мекунад.

Андозагирии зичии шлам дар вақти воқеӣ ва мониторинги часпакӣ барои беҳтар кардани раванди сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо муҳиманд. Андозагирҳои зичии шлам ва сенсорҳои часпакии ғайриҳастаии Lonnmeter ба истеҳсолкунандагони таҷҳизоти нимноқилҳо, таъминкунандагони масолеҳи истеъмолии CMP ва рехтагарони нимноқилҳо асбобҳоеро барои бартараф кардани мушкилоти идоракунии шлам, кам кардани нуқсонҳо ва кам кардани хароҷот фароҳам меоранд. Бо пешниҳоди маълумоти дақиқ ва вақти воқеӣ, ин роҳҳои ҳал самаранокии равандро афзоиш медиҳанд, мутобиқатро таъмин мекунанд ва фоидаовариро дар бозори рақобатпазири CMP афзоиш медиҳанд. Боздид кунед.Вебсайти Лоннметерё имрӯз бо дастаи онҳо тамос гиред, то бифаҳмед, ки чӣ гуна Lonnmeter метавонад амалиёти сайқалдиҳии механикии кимиёвии шуморо тағйир диҳад.

Ҳоло чора андешед

Вақти нашр: 22 июли соли 2025