సిలికాన్ వేఫర్ డైమండ్ వైర్ కటింగ్‌లో ద్రవ ప్రవాహాన్ని కత్తిరించడం

వేఫర్ కటింగ్ ఆపరేషన్లలో ద్రవ ప్రవాహ కొలత

సిలికాన్ వేఫర్‌ల డైమండ్ వైర్ కటింగ్‌లో కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ డెలివరీని ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి ఖచ్చితమైన ఫ్లో రేట్ కొలత ప్రాథమికమైనది. సిలికాన్ వేఫర్ కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ యొక్క ప్రభావం నేరుగా కాంటాక్ట్ ఇంటర్‌ఫేస్‌లో శీతలీకరణ, లూబ్రికేషన్ మరియు శిధిలాల తొలగింపును రూపొందిస్తుంది, ఇది వేఫర్ ఉపరితల నాణ్యత, కెర్ఫ్ నష్టం మరియు మొత్తం ఉత్పత్తి దిగుబడిని ప్రభావితం చేస్తుంది. సరిపోని లేదా అధిక ప్రవాహం రాపిడి సామర్థ్యాన్ని మారుస్తుంది, సాధనం ధరించడాన్ని పెంచుతుంది మరియు అస్థిరమైన వేఫర్ నాణ్యత లేదా అధిక వనరుల ఖర్చులకు కారణమవుతుంది. సాధారణ సింగిల్-వైర్ యంత్రాల కోసం సరైన 0.15–0.25 L/min పరిధిలో కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ ఫ్లో రేటును నిర్వహించడం ద్వారా ఉపరితల కరుకుదనం (Ra) మరియు ఉపరితల నష్టాన్ని తగ్గించవచ్చని అనుభావిక పరిశోధన సూచిస్తుంది, ఎందుకంటే సరిపోని ప్రవాహం మైక్రోక్రాక్‌లు మరియు శిధిలాల పేరుకుపోవడానికి దారితీస్తుంది, అయితే అదనపు ప్రవాహం అల్లకల్లోలం మరియు అనవసరమైన వినియోగాన్ని పరిచయం చేస్తుంది.

ద్రవ ప్రవాహ రేటు కొలతను తగ్గించడానికి సాంకేతికతలు

కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ ఫ్లో మీటర్లు ఫ్లూయిడ్ సరఫరా లైన్లలో కలిసిపోతాయి, డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ యొక్క డెలివరీ చేయబడిన వాల్యూమ్‌ను నిజ సమయంలో కొలుస్తాయి. సాధారణ ఫ్లో మీటర్ టెక్నాలజీలలో మెకానికల్, ఎలక్ట్రానిక్ మరియు అల్ట్రాసోనిక్ రకాలు ఉన్నాయి:

• టర్బైన్ మరియు ప్యాడిల్‌వీల్ డిజైన్‌ల వంటి యాంత్రిక ప్రవాహ మీటర్లు, ద్రవ ప్రవాహం ద్వారా స్థానభ్రంశం చెందిన భ్రమణ భాగాలను ఉపయోగిస్తాయి. అవి సరళమైనవి మరియు దృఢమైనవి కానీ రాపిడితో నిండిన ద్రవాల నుండి ధరించే అవకాశం ఉంది.
• ఎలక్ట్రానిక్ ఫ్లో మీటర్లు, ముఖ్యంగా విద్యుదయస్కాంత నమూనాలు, విద్యుదయస్కాంత ప్రేరణ సూత్రాలను ఉపయోగించి ద్రవ వేగాన్ని కొలుస్తాయి, వాహక ద్రవాలకు నమ్మకమైన, నిర్వహణ-కాంతి ఆపరేషన్‌ను అందిస్తాయి.
• అల్ట్రాసోనిక్ ఫ్లో మీటర్లు పైపు అంతటా ప్రసారం చేయబడిన మరియు స్వీకరించబడిన అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ ధ్వని తరంగాలను ఉపయోగిస్తాయి. ప్రవాహంతో మరియు వ్యతిరేకంగా ధ్వని రవాణా యొక్క సమయ వ్యత్యాసాన్ని కొలవడం ద్వారా, ఈ పరికరాలు వివిధ వేఫర్ కటింగ్ ద్రవ రకాలకు అనువైన చొరబడని, ఖచ్చితమైన కొలతను అందిస్తాయి.

స్నిగ్ధత లేదా ఉష్ణోగ్రత మార్పులతో సంబంధం లేకుండా ద్రవ ద్రవ్యరాశి యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరమయ్యే అనువర్తనాల్లో కోరియోలిస్ ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ కొలత ప్రత్యేకంగా నిలుస్తుంది. కోరియోలిస్ ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ సెన్సార్లు కోరియోలిస్ ప్రభావం ఆధారంగా ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ రేటును నేరుగా కొలుస్తాయి, నీటి ఆధారిత మరియు చమురు ఆధారిత డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ద్రవాలకు అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు అనుకూలతను అందిస్తాయి. లాన్మీటర్ ఇన్లైన్ సాంద్రత మరియు స్నిగ్ధత మీటర్లను తయారు చేస్తుంది, ఇది సిలికాన్ వేఫర్ కటింగ్‌లో స్థిరత్వం మరియు సరైన ప్రక్రియ నియంత్రణ కోసం ద్రవ లక్షణాల పర్యవేక్షణను మరింత అనుమతిస్తుంది.

క్లిష్టమైన కొలత పారామితులు మరియు సెన్సార్ ప్లేస్‌మెంట్

వేఫర్ కటింగ్‌లో కటింగ్ ద్రవ ప్రవాహాన్ని ఖచ్చితంగా కొలవడానికి అనేక కీలక పారామితులపై శ్రద్ధ అవసరం:

• ప్రవాహ రేటు (లీ/నిమిషం): ప్రక్రియ ఆప్టిమైజేషన్ మరియు నాణ్యత హామీ కోసం ప్రాథమిక కొలత.
• సాంద్రత మరియు స్నిగ్ధత: రెండూ శీతలీకరణ పనితీరు, రాపిడి రవాణా మరియు శిధిలాల తొలగింపును గణనీయంగా ప్రభావితం చేస్తాయి.
• ఉష్ణోగ్రత: కట్ చేసిన ప్రదేశంలో స్నిగ్ధత మరియు ద్రవ ప్రవర్తనను ప్రభావితం చేస్తుంది.

సెన్సార్ ప్లేస్‌మెంట్ చాలా ముఖ్యమైనది. కట్ ఇంటర్‌ఫేస్‌కు ముందు పైపింగ్ నిరోధకత, లీకేజ్ లేదా బాష్పీభవనం కారణంగా వ్యత్యాసాలను తగ్గించడానికి ఫ్లో కొలత సెన్సార్‌లను కటింగ్ జోన్‌కు వీలైనంత దగ్గరగా ఫ్లూయిడ్ డెలివరీ లైన్‌లో నేరుగా ఉంచాలి. రియల్-టైమ్ ఇన్‌లైన్ కొలత నివేదించబడిన ఫ్లో విలువ డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ప్రాంతానికి వాస్తవ సరఫరాతో సరిపోలుతుందని నిర్ధారిస్తుంది.

ఆప్టిమల్ కటింగ్ వాతావరణాలను నిర్వహించడంలో ప్రవాహ కొలత యొక్క విధి

పారిశ్రామిక సిలికాన్ వేఫర్ కటింగ్‌లో ద్రవ డెలివరీ యొక్క నిజ-సమయ పర్యవేక్షణ మరియు అనుకూల నియంత్రణకు ప్రవాహ కొలత సెన్సార్లు అవసరం. సరైన ప్రవాహ రేటును నిర్వహించడం వలన తగినంత వేడి వెదజల్లడం, నిరంతర శిధిలాల తరలింపు మరియు డైమండ్ వైర్ వెంట ఏకరీతి లూబ్రికేషన్ నిర్ధారిస్తుంది. ఇది లేకుండా, ప్రక్రియ స్థిరత్వం తగ్గుతుంది, వైర్ జీవితకాలం తగ్గిపోతుంది మరియు ఉపరితల లోపాలు లేదా అధిక కెర్ఫ్ నష్టం ప్రమాదం పెరగడం వల్ల దిగుబడి దెబ్బతింటుంది.

అధిక-ఖచ్చితమైన ప్రవాహ రేటు కొలతను ఇతర ఫీడ్‌బ్యాక్ పారామితులతో (ఉదా. వైర్ వేగం, ఫీడ్ రేటు) అనుసంధానించడం ద్వారా, తయారీదారులు ప్రాసెస్ థ్రెషోల్డ్ యొక్క అనుకూల నియంత్రణను అమలు చేయవచ్చు, గమనించిన కట్టింగ్ పనితీరుతో ప్రవాహ రేటు సర్దుబాట్లను నేరుగా అనుసంధానిస్తారు. ఫలితంగా, ప్రోగ్రామ్ చేయబడిన ప్రవాహ కవరు నుండి ఏదైనా విచలనం తక్షణ దిద్దుబాటు చర్యను ప్రేరేపిస్తుంది, ప్రక్రియ నాణ్యత మరియు వనరుల సామర్థ్యం రెండింటినీ కాపాడుతుంది.

సారాంశంలో, డైమండ్ వైర్ కటింగ్ యుగంలో అధిక దిగుబడినిచ్చే, ఖర్చుతో కూడుకున్న సిలికాన్ వేఫర్ ఉత్పత్తికి బలమైన ప్రవాహ కొలత సెన్సార్లు మరియు నిజ-సమయ డేటాపై ఆధారపడిన పారిశ్రామిక కటింగ్ ద్రవ ప్రవాహ కొలత మూలస్తంభంగా పనిచేస్తుంది.

కోరియోలిస్ ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ కొలత: సూత్రాలు మరియు అనువర్తనం

కోరియోలిస్ ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ కొలత అనేది కంపించే గొట్టాల ద్వారా ద్రవం కదులుతున్నప్పుడు కలిగే శక్తిని గుర్తించడంపై ఆధారపడి ఉంటుంది. ద్రవం ప్రవహిస్తున్నప్పుడు - డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ లేదా ప్రత్యేకమైన సిలికాన్ వేఫర్ కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ వంటివి - గొట్టాలు చిన్న, కొలవగల దశ మార్పును అనుభవిస్తాయి. ఈ మార్పు ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ రేటుకు అనులోమానుపాతంలో ఉంటుంది, ఇది పంపిణీ చేయబడిన కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ ద్రవ్యరాశి యొక్క ప్రత్యక్ష, నిజ-సమయ పరిమాణాన్ని అందిస్తుంది. అదే సూత్రం ద్రవ సాంద్రత యొక్క ఏకకాల కొలతను అనుమతిస్తుంది, మారుతున్న ద్రవ రకాలు, కూర్పులు మరియు ఉష్ణోగ్రతలలో అధిక ఖచ్చితత్వానికి మద్దతు ఇస్తుంది - సిలికాన్ వేఫర్ తయారీ మరియు డైమండ్ వైర్ కటింగ్ అప్లికేషన్లలో కీలకమైన అవసరం.

వేఫర్ కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ రకాలకు, ముఖ్యంగా అధిక-పనితీరు గల డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ఫ్లూయిడ్‌లను ఉపయోగిస్తున్నప్పుడు, ఈ విధానం యొక్క ప్రయోజనాలు గణనీయమైనవి. కోరియోలిస్ ప్రవాహ కొలత ద్రవ స్నిగ్ధత మరియు కూర్పు మార్పుల నుండి స్వతంత్రంగా ఉంటుంది, రాపిడి కణాలు, నానో-సంకలనాలు లేదా సిలికాన్ వేఫర్‌ల కోసం కటింగ్ ఫ్లూయిడ్‌లలో తరచుగా కనిపించే వైవిధ్య మిశ్రమాల ఉనికి మధ్య చాలా ఖచ్చితమైనదిగా ఉంటుంది. ఈ దృఢత్వం దీనిని సాంప్రదాయ వాల్యూమెట్రిక్ ప్రవాహ పద్ధతుల కంటే ఉన్నతంగా చేస్తుంది, ఇది బుడగలు, సస్పెండ్ చేయబడిన కణాలు మరియు అధునాతన కటింగ్ ఫ్లూయిడ్‌ల యొక్క మారుతున్న భౌతిక లక్షణాల ద్వారా ప్రభావితమవుతుంది.

సిలికాన్ వేఫర్‌ల కోసం కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ యొక్క నమ్మకమైన పర్యవేక్షణను నిర్ధారించడానికి సెమీకండక్టర్ వేఫర్ కటింగ్ అధునాతన ఫ్లూయిడ్ ఫ్లో సెన్సార్ టెక్నాలజీపై ఎక్కువగా ఆధారపడుతుంది. కోరియోలిస్ ప్రభావాన్ని ఉపయోగించి లోన్మీటర్ ఇన్‌లైన్ మాస్ ఫ్లో సెన్సార్లు నేరుగా ప్రాసెస్ లైన్లలో అమలు చేయబడతాయి. ఇది వేఫర్ స్లైసింగ్ సమయంలో నానో-ఫ్లూయిడ్ మరియు డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ఫ్లూయిడ్ యొక్క ఖచ్చితమైన డెలివరీ మరియు పర్యవేక్షణను అనుమతిస్తుంది. ద్రవ క్షీణత, మిశ్రమ అసమానతలు లేదా సాంద్రత మార్పుల సంకేతాలు వెంటనే గుర్తించబడతాయి, ఇది ప్రక్రియ దిగుబడి మరియు ఉపరితల నాణ్యతను నిర్వహించడానికి తక్షణ నియంత్రణ జోక్యాలను అనుమతిస్తుంది.

కోరియోలిస్ ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ సెన్సార్లను ఇతర కటింగ్ ద్రవ పర్యవేక్షణ సెన్సార్లతో - థర్మల్, విద్యుదయస్కాంత లేదా అల్ట్రాసోనిక్ ప్రవాహ వ్యవస్థలు వంటివి - పోల్చడం వలన అనేక బలాలు వెల్లడవుతాయి. కోరియోలిస్ ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ సెన్సార్లు అధిక ఖచ్చితత్వ ప్రవాహ కొలతలో రాణిస్తాయి మరియు స్నిగ్ధత హెచ్చుతగ్గులు లేదా అయస్కాంత లక్షణాల ద్వారా ప్రభావితం కాని ద్రవ్యరాశి-ఆధారిత రీడింగ్‌లను అందిస్తాయి. విద్యుదయస్కాంత మరియు అల్ట్రాసోనిక్ మీటర్లు నానోపార్టికల్స్, ఎయిర్ పాకెట్స్ లేదా సూక్ష్మ సాంద్రత వైవిధ్యాలను కలిగి ఉన్న కటింగ్ ద్రవ మిశ్రమాలతో పోరాడుతాయి, ఇది తరచుగా నమ్మదగని ప్రవాహ రేటు కొలత మరియు పెరిగిన నిర్వహణ ఫ్రీక్వెన్సీకి దారితీస్తుంది.

సిగ్నల్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఉష్ణోగ్రత పరిహార పథకాలు శబ్దం మరియు పర్యావరణ వైవిధ్యాన్ని సమర్థవంతంగా ఫిల్టర్ చేస్తున్నందున, మారుతున్న ద్రవ కూర్పుల కింద కోరియోలిస్ ఫ్లో మీటర్ ఖచ్చితత్వం నిర్వహించబడుతుంది. ఆపరేటర్లు శీతలీకరణ, సరళత మరియు కణాల తొలగింపును ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి రియల్-టైమ్ డేటాను ఉపయోగించుకోవచ్చు, వివిధ వేఫర్ కటింగ్ ద్రవ రకాలు మరియు నానోఫ్లూయిడ్ మిశ్రమాల యొక్క విభిన్న లక్షణాలకు ప్రతిస్పందిస్తారు.

కోరియోలిస్ ద్రవ్యరాశి ప్రవాహ కొలతను అల్ట్రా-సన్నని వైర్ కత్తిరింపు మరియు నానోపార్టికల్స్‌తో ద్రవాలను కత్తిరించడానికి అనుగుణంగా మార్చడం పారిశ్రామిక పర్యవేక్షణలో మార్పును సూచిస్తుంది. కణ కంటెంట్ లేదా ద్రవ వైవిధ్యతతో సంబంధం లేకుండా సెన్సార్లు నిజమైన ద్రవ్యరాశి ప్రవాహం మరియు సాంద్రతను విశ్వసనీయంగా కొలుస్తాయి, క్లోజ్డ్-లూప్ నియంత్రణ మరియు వేఫర్ కటింగ్ కోసం రూపొందించిన ఆటోమేటెడ్ ద్రవ నిర్వహణను ప్రారంభిస్తాయి. సిలికాన్ వేఫర్ తయారీ మరియు డైమండ్ వైర్ కటింగ్ ప్రక్రియల సమయంలో ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించడం, పదార్థ నష్టాన్ని తగ్గించడం మరియు ఉపరితల సమగ్రతను భద్రపరచడానికి ఈ స్థాయి అధిక ఖచ్చితత్వ ప్రవాహ కొలత కేంద్రంగా ఉంటుంది.