1. மேம்பட்டவற்றைச் சூழலாக்குதல்Pஎண்ணெய் கலந்த மருந்து
குறைக்கடத்தியில் CMP என்றால் என்ன?
வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல் (CMP), மாற்றாக வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் என்று அழைக்கப்படுகிறது, இது நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மிகவும் தொழில்நுட்ப ரீதியாக சவாலான மற்றும் நிதி ரீதியாக முக்கியமான அலகு செயல்பாடுகளில் ஒன்றாகும். இந்த சிறப்பு செயல்முறை ஒரு தவிர்க்க முடியாத கலப்பின செயல்முறையாக செயல்படுகிறது, வேதியியல் பொறித்தல் மற்றும் மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உடல் சிராய்ப்பு ஆகியவற்றின் ஒருங்கிணைந்த பயன்பாடு மூலம் வேஃபர் மேற்பரப்புகளை உன்னிப்பாக மென்மையாக்குகிறது. உற்பத்தி சுழற்சியில் விரிவாகப் பயன்படுத்தப்படும் CMP, அடுத்தடுத்த அடுக்குகளுக்கு குறைக்கடத்தி செதில்களைத் தயாரிப்பதற்கு அவசியமானது, மேம்பட்ட சாதன கட்டமைப்புகளுக்குத் தேவையான உயர் அடர்த்தி ஒருங்கிணைப்பை நேரடியாக செயல்படுத்துகிறது.
குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் CMP
*
ஆழ்ந்த தேவைவேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல்சமகால லித்தோகிராஃபியின் இயற்பியல் தேவைகளில் இது வேரூன்றியுள்ளது. ஒருங்கிணைந்த சுற்று அம்சங்கள் சுருங்கி, பல அடுக்குகள் செங்குத்தாக அடுக்கி வைக்கப்படுவதால், பொருளை சீராக அகற்றி உலகளாவிய சமதள மேற்பரப்பை நிறுவுவதற்கான செயல்முறையின் திறன் மிகவும் முக்கியமானதாகிறது. டைனமிக் பாலிஷ் ஹெட் வெவ்வேறு அச்சுகளில் சுழலும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, வேஃபர் முழுவதும் ஒழுங்கற்ற நிலப்பரப்பை கவனமாக சமன் செய்கிறது. வெற்றிகரமான வடிவ பரிமாற்றத்திற்கு, குறிப்பாக எக்ஸ்ட்ரீம் அல்ட்ரா வயலட் (EUV) லித்தோகிராஃபி போன்ற அதிநவீன நுட்பங்களுடன், முழு பதப்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பும் விதிவிலக்காக குறுகிய புல ஆழத்திற்குள் வர வேண்டும் - நவீன துணை-22 nm தொழில்நுட்பங்களுக்கு ஆங்ஸ்ட்ரோம்-நிலை தட்டையான தன்மை தேவைப்படும் ஒரு வடிவியல் கட்டுப்பாடு.cmp குறைக்கடத்தி செயல்முறை, அடுத்தடுத்த ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி படிகள் சீரமைப்பு தோல்விகள், வடிவ சிதைவுகள் மற்றும் பேரழிவு தரும் மகசூல் உல்லாசப் பயணங்களுக்கு வழிவகுக்கும்.
வழக்கமான அலுமினிய கடத்திகளிலிருந்து உயர் செயல்திறன் கொண்ட செப்பு இடை இணைப்புகளுக்கு தொழில்துறை மாறியதன் மூலம் CMP இன் பரவலான ஏற்றுக்கொள்ளல் கணிசமாக உந்தப்பட்டது. செப்பு உலோகமயமாக்கல் ஒரு சேர்க்கை வடிவ செயல்முறையை, டமாஸ்கீன் நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, இது அடிப்படையில் அதிகப்படியான தாமிரத்தைத் தேர்ந்தெடுத்து சீராக அகற்றுவதற்கும், உலோகத்திற்கும் ஆக்சைடு காப்பு அடுக்குக்கும் இடையிலான இடைமுகத்தில் துல்லியமாக அகற்றும் செயலை தொடர்ந்து நிறுத்துவதற்கும் CMP இன் தனித்துவமான திறனை நம்பியுள்ளது. இந்த மிகவும் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொருள் அகற்றுதல் செயல்முறையை வரையறுக்கும் நுட்பமான வேதியியல் மற்றும் இயந்திர சமநிலையை அடிக்கோடிட்டுக் காட்டுகிறது, இது பாலிஷ் ஊடகத்தில் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்களால் கூட உடனடியாக சமரசம் செய்யப்படும் சமநிலை.
குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் CMP இன் செயல்பாடுகள்
மிகக் குறைந்த நிலப்பரப்பு மாறுபாட்டிற்கான கட்டாயத் தேவை ஒரு புற இலக்கு அல்ல, ஆனால் நம்பகமான சாதன செயல்பாட்டிற்கான நேரடி செயல்பாட்டு முன்நிபந்தனையாகும், இது பல அடுக்கு கட்டமைப்புகளில் சரியான மின்னோட்ட ஓட்டம், வெப்பச் சிதறல் மற்றும் செயல்பாட்டு சீரமைப்பு ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது. CMP இன் முதன்மையான பணி நிலப்பரப்பு மேலாண்மை ஆகும், இது அனைத்து அடுத்தடுத்த முக்கியமான செயலாக்க படிகளுக்கும் முன்நிபந்தனையான தட்டையான தன்மையை நிறுவுகிறது.
குறிப்பிட்ட பயன்பாடு பொருட்களின் தேர்வு மற்றும் அதனுடன் தொடர்புடையவற்றை ஆணையிடுகிறதுகுழம்பு உருவாக்கம்டங்ஸ்டன், தாமிரம், சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO2), மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு (SiN). ஷாலோ டிரெஞ்ச் ஐசோலேஷன் (STI) மற்றும் இன்டர்லேயர் டைலெக்ட்ரிக்ஸ் (ILD) உள்ளிட்ட பல்வேறு பயன்பாடுகளில் உயர் பிளானரைசேஷன் திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான பொருள் தேர்ந்தெடுப்பிற்காக குழம்புகள் மிகவும் கவனமாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, படி தட்டையாக்குதல், சீரான தன்மை மற்றும் குறைபாடு அதிர்வெண் குறைப்பு ஆகியவற்றில் அதன் சிறந்த செயல்திறன் காரணமாக உயர்-செயல்பாட்டு செரியா குழம்பு குறிப்பாக ILD பயன்பாடுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பாலிஷ் செய்யும் ஊடகத்தின் திரவ இயக்கவியலில் ஏற்படும் மாறுபாடுகளால் எழும் செயல்முறை உறுதியற்ற தன்மை தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொருள் அகற்றலுக்கான அடிப்படைத் தேவைகளை உடனடியாக மீறும் என்பதை இந்த குழம்புகளின் மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த தன்மை உறுதிப்படுத்துகிறது.
2. CMP ஸ்லரி ஆரோக்கியத்தின் முக்கிய பங்கு
குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் CMP
நீடித்த செயல்திறன்வேதியியல் இயந்திர பாலிஷ் சிஎம்பி செயல்முறைதேவையான வேதியியல் எதிர்வினைகள் மற்றும் இயந்திர சிராய்ப்பு இரண்டையும் எளிதாக்கும் முக்கியமான ஊடகமாகச் செயல்படும் குழம்பின் சீரான விநியோகம் மற்றும் செயல்திறனை முழுமையாகச் சார்ந்துள்ளது. கூழ்ம இடைநீக்கமாக வகைப்படுத்தப்படும் இந்த சிக்கலான திரவம், வேதியியல் முகவர்கள் (ஆக்ஸிஜனேற்றிகள், முடுக்கிகள் மற்றும் அரிப்பு தடுப்பான்கள்) மற்றும் நானோ அளவிலான சிராய்ப்புத் துகள்கள் உள்ளிட்ட அதன் அத்தியாவசிய கூறுகளை தொடர்ச்சியாகவும் சீராகவும் டைனமிக் வேஃபர் மேற்பரப்புக்கு வழங்க வேண்டும்.
ஒரு குறிப்பிட்ட வேதியியல் எதிர்வினையைத் தூண்டுவதற்காக குழம்பு கலவை வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது: உகந்த செயல்முறை இலக்கு பொருளின் மீது ஒரு செயலற்ற, கரையாத ஆக்சைடு அடுக்கை உருவாக்குவதை நம்பியுள்ளது, பின்னர் அது சிராய்ப்பு துகள்களால் இயந்திரத்தனமாக அகற்றப்படுகிறது. இந்த பொறிமுறையானது பயனுள்ள பிளானரைசேஷனுக்கு அவசியமான தேவையான உயர் மேற்பரப்பு நிலப்பரப்புத் தேர்ந்தெடுப்பை வழங்குகிறது, அகற்றும் செயலை உயர் புள்ளிகள் அல்லது நீட்டிப்புகளில் குவிக்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, வேதியியல் எதிர்வினை ஒரு கரையக்கூடிய ஆக்சைடு நிலையை உருவாக்கினால், பொருள் அகற்றுதல் ஐசோட்ரோபிக் ஆகும், இதன் மூலம் தேவையான நிலப்பரப்புத் தேர்ந்தெடுப்பை நீக்குகிறது. குழம்பின் இயற்பியல் கூறுகள் பொதுவாக 30 முதல் 200 nm வரையிலான அளவுகளில், 0.3 முதல் 12 எடை சதவீத திடப்பொருட்களுக்கு இடையிலான செறிவுகளில் இடைநிறுத்தப்பட்ட சிராய்ப்புத் துகள்களைக் (எ.கா., சிலிக்கா, செரியா) கொண்டிருக்கும்.
CMP ஸ்லரி செமிகண்டக்டர்
ஆரோக்கியத்தைப் பராமரித்தல்CMP குழம்பு குறைக்கடத்திகையாளுதல் அல்லது சுழற்சியின் போது ஏற்படும் எந்தவொரு சிதைவும் கணிசமான நிதி இழப்புக்கு வழிவகுக்கும் என்பதால், அதன் வாழ்க்கைச் சுழற்சி முழுவதும் இடைவிடாத தன்மை மற்றும் கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. இறுதி மெருகூட்டப்பட்ட வேஃபரின் தரம், அதன் நானோ அளவிலான மென்மை மற்றும் குறைபாடு அளவுகளால் வரையறுக்கப்படுகிறது, இது குழம்பின் துகள் அளவு விநியோகம் (PSD) மற்றும் ஒட்டுமொத்த நிலைத்தன்மையின் ஒருமைப்பாட்டுடன் நேரடியாக தொடர்புடையது.
பல்வேறு வகைகளின் சிறப்பு இயல்புCMP குழம்பு வகைகள்அதாவது நானோ அளவிலான துகள்கள் இடைநீக்கத்திற்குள் நுட்பமான விரட்டும் மின்னியல் சக்திகளால் நிலைப்படுத்தப்படுகின்றன. குழம்புகள் பெரும்பாலும் செறிவூட்டப்பட்ட வடிவத்தில் வழங்கப்படுகின்றன, மேலும் உற்பத்தி தளத்தில் நீர் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்றிகளுடன் துல்லியமான நீர்த்தல் மற்றும் கலத்தல் தேவைப்படுகிறது. விமர்சன ரீதியாக, நிலையான கலவை விகிதங்களை நம்பியிருப்பது அடிப்படையில் குறைபாடுடையது, ஏனெனில் உள்வரும் செறிவூட்டப்பட்ட பொருள் உள்ளார்ந்த தொகுதி-க்கு-தொகுதி அடர்த்தி மாறுபாடுகளைக் காட்டுகிறது.
செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டிற்கு, PSD மற்றும் ஜீட்டா ஆற்றலின் நேரடி பகுப்பாய்வு (கூழ் நிலைத்தன்மை) இன்றியமையாததாக இருந்தாலும், இந்த நுட்பங்கள் பொதுவாக இடைப்பட்ட, ஆஃப்லைன் பகுப்பாய்விற்குத் தள்ளப்படுகின்றன. HVM சூழலின் செயல்பாட்டு யதார்த்தம் நிகழ்நேர, உடனடி பின்னூட்டத்தை கட்டாயப்படுத்துகிறது. இதன் விளைவாக, அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை குழம்பு ஆரோக்கியத்திற்கு மிகவும் பயனுள்ள மற்றும் செயல்படக்கூடிய இன்லைன் ப்ராக்ஸிகளாகச் செயல்படுகின்றன. அடர்த்தி ஊடகத்தில் மொத்த சிராய்ப்பு திடப்பொருட்களின் செறிவின் விரைவான, தொடர்ச்சியான அளவீட்டை வழங்குகிறது. பாகுத்தன்மை சமமாக முக்கியமானது, இது திரவத்தின் கூழ் நிலை மற்றும் வெப்ப ஒருமைப்பாட்டின் மிகவும் உணர்திறன் குறிகாட்டியாக செயல்படுகிறது. நிலையற்ற பாகுத்தன்மை அடிக்கடி சிராய்ப்புத் துகளை சமிக்ஞை செய்கிறது.ஒன்றுகூடுதல்அல்லது மறுசீரமைப்பு, குறிப்பாக டைனமிக் ஷியர் நிலைமைகளின் கீழ். எனவே, இந்த இரண்டு ரியாலஜிக்கல் அளவுருக்களின் தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பு மற்றும் கட்டுப்பாடு, குழம்பு நுகர்வு இடத்தில் அதன் குறிப்பிட்ட வேதியியல் மற்றும் இயற்பியல் நிலையை பராமரிக்கிறதா என்பதை சரிபார்க்க தேவையான உடனடி, செயல்படக்கூடிய பின்னூட்ட வளையத்தை வழங்குகிறது.
3. இயந்திர தோல்வி பகுப்பாய்வு: குறைபாடு இயக்கிகள்
CMP அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் எதிர்மறை தாக்கங்கள்
அதிக செயல்திறன் கொண்ட உற்பத்தியில், செயல்முறை மாறுபாடு மகசூல் அபாயத்திற்கு மிகப்பெரிய ஒற்றை பங்களிப்பாளராக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது.குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் cmp. "குழம்பு ஆரோக்கியம்" என்று கூட்டாக அழைக்கப்படும் குழம்பு பண்புகள், பம்பிங் ஷியர், வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் கலப்பு முரண்பாடுகள் ஆகியவற்றால் தூண்டப்படும் மாற்றங்களுக்கு மிகவும் எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன. குழம்பு ஓட்ட அமைப்பிலிருந்து உருவாகும் தோல்விகள் முற்றிலும் இயந்திர சிக்கல்களிலிருந்து வேறுபடுகின்றன, ஆனால் இரண்டும் முக்கியமான வேஃபர் ஸ்கிராப்பில் விளைகின்றன மற்றும் பெரும்பாலும் பிந்தைய செயல்முறை இறுதி-புள்ளி அமைப்புகளால் மிகவும் தாமதமாக மட்டுமே கண்டறியப்படுகின்றன.
அதிகப்படியான பெரிய துகள்கள் அல்லது திரட்டுகள் இருப்பதுcmp குறைக்கடத்திமெருகூட்டப்பட்ட வேஃபர் மேற்பரப்பில் நுண்ணிய கீறல்கள் மற்றும் பிற அபாயகரமான குறைபாடுகளை உருவாக்குவதோடு இந்த பொருள் வெளிப்படையாக இணைக்கப்பட்டுள்ளது. முக்கிய வேதியியல் அளவுருக்களில் ஏற்படும் ஏற்ற இறக்கங்கள் - பாகுத்தன்மை மற்றும் அடர்த்தி - குழம்பின் ஒருமைப்பாடு சமரசம் செய்யப்பட்டுள்ளதற்கான தொடர்ச்சியான, முன்னணி குறிகாட்டிகளாகும், இது குறைபாடு உருவாவதற்கான வழிமுறையைத் தொடங்குகிறது.
குழம்பின் பாகுத்தன்மையில் ஏற்படும் ஏற்ற இறக்கங்கள் (எ.கா., திரட்டலுக்கு வழிவகுக்கும், மாற்றப்பட்ட வெட்டு)
பாகுத்தன்மை என்பது ஒரு வெப்ப இயக்கவியல் பண்பாகும், இது மெருகூட்டல் இடைமுகத்தில் ஓட்ட நடத்தை மற்றும் உராய்வு இயக்கவியலை நிர்வகிக்கிறது, இது சுற்றுச்சூழல் மற்றும் இயந்திர அழுத்தங்களுக்கு விதிவிலக்காக உணர்திறன் கொண்டது.
வேதியியல் மற்றும் இயற்பியல் செயல்திறன்குழம்பு பாகுத்தன்மை குறைக்கடத்திஇந்த அமைப்பு வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை அதிகம் சார்ந்துள்ளது. செயல்முறை வெப்பநிலையில் ஒரு சிறிய 5°C மாற்றம் கூட குழம்பு பாகுத்தன்மையில் தோராயமாக 10% குறைப்புக்கு வழிவகுக்கும் என்பதை ஆராய்ச்சி உறுதிப்படுத்துகிறது. ரியாலஜியில் ஏற்படும் இந்த மாற்றம், பாலிஷ் பேடிலிருந்து வேஃபரைப் பிரிக்கும் ஹைட்ரோடைனமிக் படலத்தின் தடிமனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. பாகுத்தன்மை குறைவது போதுமான உயவுக்கு வழிவகுக்கிறது, இதன் விளைவாக இயந்திர உராய்வை அதிகரிக்கிறது, இது நுண்ணிய கீறல்கள் மற்றும் துரிதப்படுத்தப்பட்ட பேட் நுகர்வுக்கான முதன்மை காரணமாகும்.
ஒரு முக்கியமான சிதைவு பாதையில் வெட்டு-தூண்டப்பட்ட துகள் கிளஸ்டரிங் அடங்கும். சிலிக்கா அடிப்படையிலான குழம்புகள் நுட்பமான மின்னியல் விரட்டும் சக்திகள் மூலம் துகள் பிரிப்பைப் பராமரிக்கின்றன. குழம்பு அதிக வெட்டு அழுத்தங்களை எதிர்கொள்ளும்போது - பொதுவாக முறையற்ற வழக்கமான மையவிலக்கு விசையியக்கக் குழாய்கள் அல்லது விநியோக வளையத்தில் விரிவான மறுசுழற்சி மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது - இந்த விசைகளை சமாளிக்க முடியும், இது விரைவான மற்றும் மீளமுடியாத விளைவுகளுக்கு வழிவகுக்கும்.ஒன்றுகூடுதல்சிராய்ப்புத் துகள்கள். இதன் விளைவாக வரும் பெரிய திரட்டுகள் நுண்ணிய-கோஜிங் கருவிகளாகச் செயல்படுகின்றன, வேஃபர் மேற்பரப்பில் நேரடியாக பேரழிவு தரும் நுண்ணிய கீறல்களை உருவாக்குகின்றன. நிகழ்நேர விஸ்கோமெட்ரி என்பது இந்த நிகழ்வுகளைக் கண்டறிய தேவையான பின்னூட்ட பொறிமுறையாகும், இது பெரிய அளவிலான குறைபாடு உருவாக்கம் ஏற்படுவதற்கு முன்பு உந்தி மற்றும் விநியோக அமைப்பின் "மென்மையின்" முக்கியமான சரிபார்ப்பை வழங்குகிறது.
இதன் விளைவாக ஏற்படும் பாகுத்தன்மை மாறுபாடு பிளானரைசேஷன் செயல்திறனை கடுமையாக பாதிக்கிறது. பாலிஷ் செய்யும் போது உராய்வு குணகத்தை பாதிக்கும் ஒரு முக்கிய காரணியாக பாகுத்தன்மை இருப்பதால், சீரானதாக இல்லாத பாகுத்தன்மை சுயவிவரம் சீரற்ற பொருள் அகற்றும் விகிதங்களுக்கு வழிவகுக்கும். குறிப்பாக வேஃபர் நிலப்பரப்பின் உயர்ந்த அம்சங்களில் ஏற்படும் அதிக வெட்டு விகிதங்களில், பாகுத்தன்மையில் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட அதிகரிப்பு, உராய்வு இயக்கவியலை மாற்றுகிறது மற்றும் பிளானரைசேஷன் இலக்கைக் குறைமதிப்பிற்கு உட்படுத்துகிறது, இறுதியில் டிஷ் செய்தல் மற்றும் அரிப்பு போன்ற நிலப்பரப்பு குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது.
சேறு அடர்த்தியில் ஏற்ற இறக்கங்கள்
திரவத்திற்குள் இடைநிறுத்தப்பட்ட சிராய்ப்பு திடப்பொருட்களின் ஒட்டுமொத்த செறிவின் விரைவான மற்றும் நம்பகமான குறிகாட்டியாக குழம்பு அடர்த்தி உள்ளது. அடர்த்தி ஏற்ற இறக்கங்கள் சீரான அல்லாத குழம்பு விநியோகத்தைக் குறிக்கின்றன, இது பொருள் அகற்றும் விகிதம் (MRR) மற்றும் குறைபாடு உருவாக்கத்தில் ஏற்படும் மாற்றங்களுடன் இயல்பாகவே இணைக்கப்பட்டுள்ளது.
செயல்பாட்டு சூழல்களுக்கு குழம்பு கலவையின் மாறும் சரிபார்ப்பு தேவைப்படுகிறது. மூலப்பொருட்களின் அடர்த்தி பெரும்பாலும் மாறுபடும், இதனால் கருவி தலையில் சீரற்ற செயல்முறை முடிவுகள் ஏற்படுகின்றன என்பதால், உள்வரும் செறிவூட்டப்பட்ட தொகுதிகளுக்கு குறிப்பிட்ட அளவு நீர் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றியை சேர்ப்பதை மட்டுமே நம்பியிருப்பது போதுமானதாக இல்லை. மேலும், சிராய்ப்பு துகள்கள், குறிப்பாக அதிக செறிவுள்ள செரியா துகள்கள், ஓட்ட வேகம் அல்லது கூழ் நிலைத்தன்மை போதுமானதாக இல்லாவிட்டால் வண்டல் படிவுக்கு உட்படும். இந்த படிவு, ஓட்டக் கோடுகளுக்குள் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட அடர்த்தி சாய்வுகளையும் பொருள் திரட்டலையும் உருவாக்குகிறது, இது ஒரு நிலையான சிராய்ப்பு சுமையை வழங்கும் திறனை ஆழமாக சமரசம் செய்கிறது.
How DஉறுதிDவெளியேற்றங்கள்Affபோன்றவை Manயுஎஃப்ஏசிதுர்நாற்றம்இங்Process?.
நிலையற்ற குழம்பு அடர்த்தியின் நேரடி விளைவுகள் பளபளப்பான மேற்பரப்பில் முக்கியமான உடல் குறைபாடுகளாக வெளிப்படுகின்றன:
சீரற்ற நீக்க விகிதங்கள் (WIWNU):அடர்த்தியில் ஏற்படும் மாறுபாடுகள், மெருகூட்டல் இடைமுகத்தில் வழங்கப்படும் செயலில் உள்ள சிராய்ப்புத் துகள்களின் செறிவில் ஏற்படும் மாறுபாடுகளாக நேரடியாக மொழிபெயர்க்கப்படுகின்றன. குறிப்பிடப்பட்டதை விடக் குறைவான அடர்த்தி, குறைக்கப்பட்ட சிராய்ப்பு செறிவைக் குறிக்கிறது, இதன் விளைவாக MRR குறைகிறது மற்றும் ஏற்றுக்கொள்ள முடியாத செதில்-க்குள் சீரான தன்மையின்மை (WIWNU) ஏற்படுகிறது. WIWNU அடிப்படை பிளானரைசேஷன் தேவையை குறைமதிப்பிற்கு உட்படுத்துகிறது. மாறாக, உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட உயர் அடர்த்தி பயனுள்ள துகள் சுமையை அதிகரிக்கிறது, இது அதிகப்படியான பொருள் அகற்றலுக்கு வழிவகுக்கிறது. அடர்த்தியின் மீதான இறுக்கமான கட்டுப்பாடு நிலையான சிராய்ப்பு விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது நிலையான உராய்வு சக்திகள் மற்றும் கணிக்கக்கூடிய MRR உடன் வலுவாக தொடர்புடையது.
உள்ளூர் சிராய்ப்பு மாறுபாடுகள் காரணமாக குழிகள்:சிராய்ப்புத் திடப்பொருட்களின் அதிக உள்ளூர் செறிவுகள், பெரும்பாலும் படிதல் அல்லது போதுமான அளவு கலத்தல் காரணமாக, வேஃபர் மேற்பரப்பில் ஒரு துகள் ஒன்றுக்கு உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட அதிக சுமைகளுக்கு வழிவகுக்கும். சிராய்ப்புத் துகள்கள், குறிப்பாக செரியா, ஆக்சைடு கண்ணாடி அடுக்குடன் வலுவாக ஒட்டிக்கொண்டு, மேற்பரப்பு அழுத்தங்கள் இருக்கும்போது, இயந்திர சுமை கண்ணாடி அடுக்கை உடைக்கத் தூண்டும், இதன் விளைவாக ஆழமான, கூர்மையான முனைகள் கொண்டகுழி வெட்டுதல்குறைபாடுகள். இந்த சிராய்ப்பு மாறுபாடுகள் சமரசம் செய்யப்பட்ட வடிகட்டுதலால் ஏற்படலாம், இது மோசமான துகள் இடைநீக்கத்தின் விளைவாக பெரிதாக்கப்பட்ட திரட்டுகளை ($0.5\ \mu m$ க்கும் அதிகமான துகள்கள்) கடந்து செல்ல அனுமதிக்கிறது. கண்காணிப்பு அடர்த்தி துகள் கவுண்டர்களுக்கு ஒரு முக்கியமான, நிரப்பு எச்சரிக்கை அமைப்பை வழங்குகிறது, இது செயல்முறை பொறியாளர்கள் சிராய்ப்பு கிளஸ்டரிங்கின் தொடக்கத்தைக் கண்டறிந்து சிராய்ப்பு சுமையை நிலைப்படுத்த அனுமதிக்கிறது.
மோசமான துகள் தொங்கலில் இருந்து எச்சம் உருவாக்கம்:இடைநீக்கம் நிலையற்றதாக இருக்கும்போது, அதிக அடர்த்தி சாய்வுகள் ஏற்படும்போது, திடப்பொருள் ஓட்டக் கட்டமைப்பில் குவிந்து, விநியோக அமைப்பில் அடர்த்தி அலைகள் மற்றும் பொருள் திரட்டலுக்கு வழிவகுக்கும்.17மேலும், மெருகூட்டலின் போது, குழம்பு வேதியியல் எதிர்வினை தயாரிப்புகள் மற்றும் இயந்திர தேய்மான குப்பைகள் இரண்டையும் திறம்பட எடுத்துச் செல்ல வேண்டும். துகள் இடைநீக்கம் அல்லது திரவ இயக்கவியல் நிலையற்ற தன்மை காரணமாக மோசமாக இருந்தால், இந்த எச்சங்கள் வேஃபர் மேற்பரப்பில் இருந்து திறமையாக அகற்றப்படாது, இதன் விளைவாக பிந்தைய CMP துகள் மற்றும் வேதியியல்எச்சம்குறைபாடுகள். தொடர்ச்சியான புவியியல் கண்காணிப்பு மூலம் உறுதி செய்யப்படும் நிலையான துகள் இடைநீக்கம், சுத்தமான, தொடர்ச்சியான பொருள் வெளியேற்றத்திற்கு கட்டாயமாகும்.
மேலும் அடர்த்தி மீட்டர்கள் பற்றி அறிக
மேலும் ஆன்லைன் செயல்முறை மீட்டர்கள்
4. இன்லைன் அளவியலின் தொழில்நுட்ப மேன்மை
லோன்மீட்டர் இன்லைன் டென்சிடோமீட்டர்கள் & விஸ்காமீட்டர்கள்
நிலையற்ற CMP செயல்முறையை வெற்றிகரமாக நிலைப்படுத்த, குழம்பு சுகாதார அளவுருக்களின் தொடர்ச்சியான, ஊடுருவாத அளவீடு அவசியம்.லோன்மீட்டர் இன்லைன் டென்சிடோமீட்டர்கள் & விஸ்காமீட்டர்கள்மிகவும் மேம்பட்ட ஒத்ததிர்வு சென்சார் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, பாரம்பரிய, தாமதத்திற்கு ஆளாகும் அளவியல் சாதனங்களுடன் ஒப்பிடும்போது சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகிறது. இந்த திறன் தடையற்ற மற்றும் தொடர்ச்சியான அடர்த்தி கண்காணிப்பை நேரடியாக ஓட்டப் பாதையில் ஒருங்கிணைக்க உதவுகிறது, இது நவீன துணை-28nm செயல்முறை முனைகளின் கடுமையான தூய்மை மற்றும் கலவை துல்லியத் தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கு மிகவும் முக்கியமானது.
அவற்றின் முக்கிய தொழில்நுட்பக் கொள்கைகள், அளவீட்டு துல்லியம், மறுமொழி வேகம், நிலைத்தன்மை, கடுமையான CMP சூழல்களில் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றை விரிவாகக் கூறி, பாரம்பரிய ஆஃப்லைன் முறைகளிலிருந்து அவற்றை வேறுபடுத்துங்கள்.
பயனுள்ள செயல்முறை ஆட்டோமேஷனுக்கு, அதிக ஓட்டம், உயர் அழுத்தம் மற்றும் சிராய்ப்பு இரசாயன வெளிப்பாடு ஆகியவற்றின் மாறும் நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்பட பொறிக்கப்பட்ட சென்சார்கள் தேவை, இது கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளுக்கு உடனடி கருத்துக்களை வழங்குகிறது.
முக்கிய தொழில்நுட்பக் கோட்பாடுகள்: ரெசனேட்டர் நன்மை
லோன்மீட்டர் கருவிகள், பாரம்பரிய, குறுகிய-துளை U-குழாய் அடர்த்திமானிகளின் உள்ளார்ந்த பாதிப்புகளைக் குறைப்பதற்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட வலுவான ஒத்ததிர்வு தொழில்நுட்பங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன, அவை சிராய்ப்பு கூழ்ம இடைநீக்கங்களுடன் இன்லைன் பயன்பாட்டிற்கு மிகவும் சிக்கலானவை.
அடர்த்தி அளவீட்டு:திகுழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்முழுமையாக பற்றவைக்கப்பட்ட அதிர்வுறும் உறுப்பைப் பயன்படுத்துகிறது, பொதுவாக ஒரு ஃபோர்க் அசெம்பிளி அல்லது ஒரு கோ-ஆக்சியல் ரெசனேட்டர். இந்த உறுப்பு அதன் சிறப்பியல்பு இயற்கை அதிர்வெண்ணில் ஊசலாட பைசோ-மின்சார ரீதியாக தூண்டப்படுகிறது. சுற்றியுள்ள திரவத்தின் அடர்த்தியில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் இந்த இயற்கை அதிர்வெண்ணில் துல்லியமான மாற்றத்தை ஏற்படுத்துகின்றன, இது நேரடி மற்றும் மிகவும் நம்பகமான அடர்த்தி தீர்மானத்தை அனுமதிக்கிறது.
பாகுத்தன்மை அளவீடு:திசெயல்பாட்டில் உள்ள குழம்பு விஸ்கோமீட்டர்திரவத்திற்குள் ஊசலாடும் ஒரு நீடித்த உணரியைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த வடிவமைப்பு, பாகுத்தன்மை அளவீடு மொத்த திரவ ஓட்டத்தின் விளைவுகளிலிருந்து தனிமைப்படுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இது பொருளின் ரியாலஜியின் உள்ளார்ந்த அளவீட்டை வழங்குகிறது.
செயல்பாட்டு செயல்திறன் மற்றும் மீள்தன்மை
இன்லைன் ரெசோனன்ட் அளவியல், இறுக்கமான HVM கட்டுப்பாட்டிற்கு அவசியமான முக்கியமான செயல்திறன் அளவீடுகளை வழங்குகிறது:
துல்லியம் மற்றும் மறுமொழி வேகம்:இன்லைன் அமைப்புகள் அதிக மறுநிகழ்வுத்திறனை வழங்குகின்றன, பெரும்பாலும் 0.001 g/cc வரை பாகுத்தன்மை மற்றும் அடர்த்தி துல்லியத்தில் 0.1% ஐ விட சிறப்பாக அடைகின்றன. வலுவான செயல்முறை கட்டுப்பாட்டிற்கு, இந்த உயர்துல்லியம்—ஒரே மதிப்பை தொடர்ந்து அளவிடும் திறன் மற்றும் சிறிய விலகல்களை நம்பத்தகுந்த முறையில் கண்டறியும் திறன்— பெரும்பாலும் விளிம்பு முழுமையான துல்லியத்தை விட மிகவும் மதிப்புமிக்கது. முக்கியமாக, சமிக்ஞைமறுமொழி நேரம்இந்த சென்சார்கள் விதிவிலக்காக வேகமாக இருக்கும், பொதுவாக சுமார் 5 வினாடிகள். இந்த கிட்டத்தட்ட உடனடி பின்னூட்டம் உடனடி தவறு கண்டறிதல் மற்றும் தானியங்கி மூடிய-லூப் சரிசெய்தல்களை அனுமதிக்கிறது, இது உல்லாசப் பயணத் தடுப்புக்கான ஒரு முக்கிய தேவையாகும்.
கடுமையான சூழல்களில் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மை:CMP குழம்புகள் இயல்பாகவே ஆக்ரோஷமானவை. நவீன இன்லைன் கருவிகள் மீள்தன்மைக்காக உருவாக்கப்பட்டுள்ளன, குழாய்களில் நேரடியாக பொருத்துவதற்கு குறிப்பிட்ட பொருட்கள் மற்றும் உள்ளமைவுகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. இந்த சென்சார்கள் பரந்த அளவிலான அழுத்தங்கள் (எ.கா., 6.4 MPa வரை) மற்றும் வெப்பநிலைகள் (350 ℃ வரை) முழுவதும் செயல்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. U-குழாய் அல்லாத வடிவமைப்பு, சிராய்ப்பு ஊடகங்களுடன் தொடர்புடைய இறந்த மண்டலங்கள் மற்றும் அடைப்பு அபாயங்களைக் குறைக்கிறது, சென்சார் இயக்க நேரம் மற்றும் செயல்பாட்டு நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.
பாரம்பரிய ஆஃப்லைன் முறைகளிலிருந்து வேறுபாடு
தானியங்கி இன்லைன் அமைப்புகள் மற்றும் கையேடு ஆஃப்லைன் முறைகளுக்கு இடையிலான செயல்பாட்டு வேறுபாடுகள் எதிர்வினை குறைபாடு கட்டுப்பாடு மற்றும் முன்கூட்டிய செயல்முறை உகப்பாக்கத்திற்கு இடையிலான இடைவெளியை வரையறுக்கின்றன.
| கண்காணிப்பு அளவுகோல் | ஆஃப்லைன் (ஆய்வக மாதிரி/யூ-குழாய் அடர்த்திமானி) | இன்லைன் (லோன்மீட்டர் டென்சிடோமீட்டர்/விஸ்கோமீட்டர்) | செயல்முறை தாக்கம் |
| அளவீட்டு வேகம் | தாமதமானது (மணிநேரம்) | நிகழ்நேரம், தொடர்ச்சி (பதில் நேரம் பெரும்பாலும் 5 வினாடிகள்) | தடுப்பு, மூடிய-லூப் செயல்முறை கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது. |
| தரவு நிலைத்தன்மை/துல்லியம் | குறைவு (கையேடு பிழை, மாதிரி சிதைவுக்கு ஆளாகக்கூடியது) | உயர் (தானியங்கி, அதிக மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை/துல்லியம்) | செயல்முறை கட்டுப்பாட்டு வரம்புகள் இறுக்கமானவை மற்றும் தவறான நேர்மறைகள் குறைக்கப்பட்டன. |
| சிராய்ப்பு இணக்கத்தன்மை | அதிக அடைப்பு ஆபத்து (குறுகிய U-குழாய் துளை வடிவமைப்பு) | குறைந்த அடைப்பு ஆபத்து (வலுவான, யூ-குழாய் அல்லாத ரெசனேட்டர் வடிவமைப்பு) | சிராய்ப்பு ஊடகங்களில் அதிகபட்ச சென்சார் இயக்க நேரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை. |
| தவறு கண்டறிதல் திறன் | எதிர்வினை (மணிநேரங்களுக்கு முன்பு நடந்த உல்லாசப் பயணங்களைக் கண்டறிகிறது) | முன்னெச்சரிக்கையுடன் செயல்படுதல் (மாறும் மாற்றங்களைக் கண்காணித்தல், பயணங்களை முன்கூட்டியே கண்டறிதல்) | பேரழிவு தரும் வேஃபர் ஸ்கிராப் மற்றும் மகசூல் உயர்வுகளைத் தடுக்கிறது. |
அட்டவணை 3: ஒப்பீட்டு பகுப்பாய்வு: இன்லைன் vs. பாரம்பரிய குழம்பு அளவியல்
பாரம்பரிய ஆஃப்லைன் பகுப்பாய்விற்கு மாதிரி பிரித்தெடுத்தல் மற்றும் போக்குவரத்து செயல்முறை தேவைப்படுகிறது, இது அளவியல் சுழற்சியில் இயல்பாகவே குறிப்பிடத்தக்க நேர தாமதத்தை அறிமுகப்படுத்துகிறது. மணிநேரங்கள் நீடிக்கும் இந்த தாமதம், ஒரு உல்லாசப் பயணம் இறுதியாகக் கண்டறியப்படும்போது, அதிக அளவிலான வேஃபர்கள் ஏற்கனவே சமரசம் செய்யப்பட்டுள்ளதை உறுதி செய்கிறது. மேலும், கைமுறையாகக் கையாளுதல் மாறுபாட்டை அறிமுகப்படுத்துகிறது மற்றும் மாதிரி சிதைவை அபாயப்படுத்துகிறது, குறிப்பாக மாதிரிக்குப் பிந்தைய வெப்பநிலை மாற்றங்கள் காரணமாக, இது பாகுத்தன்மை அளவீடுகளை சிதைக்கக்கூடும்.
இன்லைன் அளவியல் இந்த பலவீனப்படுத்தும் தாமதத்தை நீக்குகிறது, விநியோக வரியிலிருந்து நேரடியாக தரவுகளின் தொடர்ச்சியான ஸ்ட்ரீமை வழங்குகிறது. இந்த வேகம் தவறு கண்டறிதலுக்கு அடிப்படையானது; சிராய்ப்புப் பொருட்களுக்கு அவசியமான வலுவான, அடைப்பு இல்லாத வடிவமைப்புடன் இணைந்தால், இது முழு விநியோக அமைப்பையும் நிலைப்படுத்த நம்பகமான தரவு ஊட்டத்தை வழங்குகிறது. CMP இன் சிக்கலானது பல அளவுருக்களை (ஒளிவிலகல் குறியீடு அல்லது pH போன்றவை) கண்காணிப்பதை கட்டாயப்படுத்துகிறது, அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை ஆகியவை சிராய்ப்பு இடைநீக்கத்தின் அடிப்படை இயற்பியல் நிலைத்தன்மையில் மிகவும் நேரடியான, நிகழ்நேர கருத்துக்களை வழங்குகின்றன, இது பெரும்பாலும் வேதியியல் இடையகத்தால் pH அல்லது ஆக்ஸிஜனேற்ற-குறைப்பு திறன் (ORP) போன்ற அளவுருக்களில் ஏற்படும் மாற்றங்களுக்கு உணர்திறன் இல்லாதது.
5. பொருளாதார மற்றும் செயல்பாட்டு கட்டாயங்கள்
நிகழ்நேர அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை கண்காணிப்பின் நன்மைகள்
எந்தவொரு மேம்பட்ட உற்பத்தி வரிசைக்கும், அங்குகுறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் CMPபயன்படுத்தப்படுகிறது, வெற்றி தொடர்ச்சியான மகசூல் மேம்பாடு, அதிகபட்ச செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் கடுமையான செலவு மேலாண்மை மூலம் அளவிடப்படுகிறது. நிகழ்நேர வானியல் கண்காணிப்பு இந்த வணிக கட்டாயங்களை அடைய தேவையான அத்தியாவசிய தரவு உள்கட்டமைப்பை வழங்குகிறது.
செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது
தொடர்ச்சியான, உயர்-துல்லியமான குழம்பு கண்காணிப்பு, அப்ஸ்ட்ரீம் செயல்முறை சத்தத்தைப் பொருட்படுத்தாமல், பயன்பாட்டு புள்ளிக்கு (POU) வழங்கப்படும் முக்கியமான குழம்பு அளவுருக்கள் விதிவிலக்காக இறுக்கமான கட்டுப்பாட்டு வரம்புகளுக்குள் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. உதாரணமாக, உள்வரும் மூல குழம்பு தொகுதிகளில் உள்ளார்ந்த அடர்த்தி மாறுபாடு கொடுக்கப்பட்டால், ஒரு செய்முறையைப் பின்பற்றுவது போதுமானதாக இல்லை. கலப்பான் தொட்டியில் அடர்த்தியை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிப்பதன் மூலம், கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு நீர்த்த விகிதங்களை மாறும் வகையில் சரிசெய்ய முடியும், கலவை செயல்முறை முழுவதும் துல்லியமான இலக்கு செறிவு பராமரிக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. இது சீரற்ற மூலப்பொருட்களிலிருந்து எழும் செயல்முறை மாறுபாட்டைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது, இது மிகவும் கணிக்கக்கூடிய மெருகூட்டல் செயல்திறனுக்கு வழிவகுக்கிறது மற்றும் விலையுயர்ந்த செயல்முறை உல்லாசப் பயணங்களின் அதிர்வெண் மற்றும் அளவை வியத்தகு முறையில் குறைக்கிறது.
மகசூலை அதிகரிக்கிறது
நிலையற்ற குழம்பு நிலைமைகளால் ஏற்படும் இயந்திர மற்றும் வேதியியல் தோல்விகளை நேரடியாக நிவர்த்தி செய்வது, அதிகரிப்பதற்கான மிகவும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும் வழியாகும்.cmp குறைக்கடத்தி உற்பத்திமகசூல் விகிதங்கள். முன்னறிவிப்பு, நிகழ்நேர கண்காணிப்பு அமைப்புகள் அதிக மதிப்புள்ள தயாரிப்பை முன்கூட்டியே பாதுகாக்கின்றன. இத்தகைய அமைப்புகளை செயல்படுத்திய ஃபேப்கள் குறிப்பிடத்தக்க வெற்றியை ஆவணப்படுத்தியுள்ளன, இதில் குறைபாடு தப்பிப்புகளில் 25% வரை குறைப்பு அறிக்கைகள் அடங்கும். இந்த தடுப்பு திறன், தவிர்க்க முடியாத குறைபாடுகளுக்கு எதிர்வினையாற்றுவதிலிருந்து அவற்றின் உருவாக்கத்தைத் தீவிரமாகத் தடுப்பதை நோக்கி செயல்பாட்டு முன்னுதாரணத்தை மாற்றுகிறது, இதன் மூலம் மில்லியன் கணக்கான டாலர் மதிப்புள்ள வேஃபர்களை மைக்ரோ-கீறல்கள் மற்றும் நிலையற்ற துகள் மக்கள்தொகையால் ஏற்படும் பிற சேதங்களிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. திடீர் பாகுத்தன்மை குறைதல், வெப்பம் அல்லது வெட்டு அழுத்தத்தை சமிக்ஞை செய்தல் போன்ற மாறும் மாற்றங்களைக் கண்காணிக்கும் திறன், இந்த காரணிகள் பல வேஃபர்களில் குறைபாடுகளைப் பரப்புவதற்கு முன்பு தலையீட்டை செயல்படுத்துகிறது.
மறுவேலையைக் குறைக்கிறது
தயாரிப்புமறுவேலைபிழைகள் அல்லது குறைபாடுகள் காரணமாக மறு செயலாக்கம் தேவைப்படும் உற்பத்தி செய்யப்பட்ட உற்பத்தியின் சதவீதமாக வரையறுக்கப்படும் விகிதம், ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி திறமையின்மையை அளவிடும் ஒரு முக்கியமான KPI ஆகும். அதிக மறுவேலை விகிதங்கள் மதிப்புமிக்க உழைப்பு, கழிவுப்பொருட்களை உட்கொள்கின்றன மற்றும் கணிசமான தாமதங்களை அறிமுகப்படுத்துகின்றன. பாத்திரங்களை கழுவுதல், சீரானதாக இல்லாததை அகற்றுதல் மற்றும் அரிப்பு போன்ற குறைபாடுகள் வானியல் உறுதியற்ற தன்மையின் நேரடி விளைவுகளாக இருப்பதால், தொடர்ச்சியான அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை கட்டுப்பாடு மூலம் குழம்பு ஓட்டத்தை நிலைப்படுத்துவது இந்த முக்கியமான பிழைகளின் தொடக்கத்தை வெகுவாகக் குறைக்கிறது. செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதன் மூலம், பழுதுபார்ப்பு அல்லது மறு மெருகூட்டல் தேவைப்படும் குறைபாடுகளின் நிகழ்வு குறைக்கப்படுகிறது, இதன் விளைவாக மேம்பட்ட செயல்பாட்டு செயல்திறன் மற்றும் ஒட்டுமொத்த குழு செயல்திறன் ஏற்படுகிறது.
செயல்பாட்டு செலவுகளை மேம்படுத்துகிறது
CMP குழம்புகள் உற்பத்தி சூழலில் கணிசமான நுகர்வு செலவைக் குறிக்கின்றன. செயல்முறை நிச்சயமற்ற தன்மை கலத்தல் மற்றும் நுகர்வில் பரந்த, பழமைவாத பாதுகாப்பு விளிம்புகளைப் பயன்படுத்துவதை ஆணையிடும்போது, இதன் விளைவாக திறமையற்ற பயன்பாடு மற்றும் அதிக செயல்பாட்டு செலவுகள் ஏற்படும். நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மெலிந்த, துல்லியமான குழம்பு மேலாண்மையை செயல்படுத்துகிறது. உதாரணமாக, தொடர்ச்சியான கட்டுப்பாடு சரியான கலப்பு விகிதங்களை அனுமதிக்கிறது, நீர்த்த நீர் பயன்பாட்டைக் குறைக்கிறது மற்றும் விலையுயர்ந்தது என்பதை உறுதி செய்கிறதுcmp குழம்பு கலவைஉகந்த முறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, பொருள் கழிவுகள் மற்றும் செயல்பாட்டு செலவினங்களைக் குறைக்கிறது. மேலும், நிகழ்நேர வானியல் நோயறிதல்கள், பேட் தேய்மானம் அல்லது பம்ப் செயலிழப்பு போன்ற உபகரண சிக்கல்களின் ஆரம்ப எச்சரிக்கை அறிகுறிகளை வழங்க முடியும் - இது செயலிழப்பு ஒரு முக்கியமான குழம்பு வெளியேற்றத்தையும் அதைத் தொடர்ந்து செயல்பாட்டு செயலிழப்பு நேரத்தையும் ஏற்படுத்தும் முன் நிலை அடிப்படையிலான பராமரிப்பை அனுமதிக்கிறது.
நீடித்த உயர்-உற்பத்தி உற்பத்திக்கு அனைத்து முக்கியமான அலகு செயல்முறைகளிலும் மாறுபாடு நீக்கப்பட வேண்டும். லோன்மீட்டர் ரெசோனன்ட் தொழில்நுட்பம் குழம்பு விநியோக உள்கட்டமைப்பை ஆபத்திலிருந்து பாதுகாக்க தேவையான வலிமை, வேகம் மற்றும் துல்லியத்தை வழங்குகிறது. நிகழ்நேர அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை தரவை ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், செயல்முறை பொறியாளர்கள் தொடர்ச்சியான, செயல்படக்கூடிய நுண்ணறிவுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளனர், இது கணிக்கக்கூடிய மெருகூட்டல் செயல்திறனை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் கூழ்ம உறுதியற்ற தன்மைக்கு எதிராக வேஃபர் விளைச்சலைப் பாதுகாக்கிறது.
எதிர்வினை மகசூல் மேலாண்மையிலிருந்து முன்னெச்சரிக்கை செயல்முறை கட்டுப்பாட்டுக்கு மாறுவதைத் தொடங்க:
பெரிதாக்குஇயக்க நேரம் மற்றும்சிறிதாக்குமறுவேலை:பதிவிறக்கவும்எங்கள் தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் மற்றும்தொடங்குஇன்று ஒரு RFQ.
மூத்த செயல்முறை மற்றும் மகசூல் பொறியாளர்களை நாங்கள் அழைக்கிறோம்சமர்ப்பிக்கவும்ஒரு விரிவான RFQ. எங்கள் தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் ஒரு துல்லியமான செயல்படுத்தல் சாலை வரைபடத்தை உருவாக்குவார்கள், உயர்-துல்லியமான லோன்மீட்டர் தொழில்நுட்பத்தை உங்கள் குழம்பு விநியோக உள்கட்டமைப்பில் ஒருங்கிணைத்து, குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் குழம்பு நுகர்வு ஆகியவற்றில் திட்டமிடப்பட்ட குறைப்பை அளவிடுவார்கள்.தொடர்புஎங்கள் செயல்முறை ஆட்டோமேஷன் குழு இப்போதுபாதுகாப்பானதுஉங்கள் மகசூல் நன்மை.கண்டுபிடிஉங்கள் மிக முக்கியமான திட்டமிடல் படியை நிலைப்படுத்த தேவையான அத்தியாவசிய துல்லியம்.
