வேதியியல் இயந்திர சமதளமாக்கல்(CMP) என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு அடிப்படை செயல்முறையாகும். இது வேஃபர் மேற்பரப்புகளில் அணு-நிலை தட்டையான தன்மையை வழங்குகிறது, பல அடுக்கு கட்டமைப்புகள், இறுக்கமான சாதன பேக்கிங் மற்றும் அதிக நம்பகமான மகசூலை செயல்படுத்துகிறது. ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் அம்ச வடிவமைப்பு மற்றும் சீரமைப்புக்கு முக்கியமான, அதிகப்படியான படலங்கள் மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பு முறைகேடுகளை அகற்ற, சுழலும் திண்டு மற்றும் சிறப்பு பாலிஷ் ஸ்லரியைப் பயன்படுத்தி CMP ஒரே நேரத்தில் வேதியியல் மற்றும் இயந்திர செயல்களை ஒருங்கிணைக்கிறது.
CMP-க்குப் பிறகு வேஃபர் தரம், பாலிஷ் செய்யும் குழம்பின் கலவை மற்றும் பண்புகளை கவனமாகக் கட்டுப்படுத்துவதைப் பொறுத்தது. குழம்பில் சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) போன்ற சிராய்ப்புத் துகள்கள் உள்ளன, அவை உடல் சிராய்ப்பு மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினை விகிதங்கள் இரண்டையும் மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ரசாயனங்களின் காக்டெய்லில் இடைநீக்கம் செய்யப்பட்டுள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, சீரியம் ஆக்சைடு சிலிக்கான் அடிப்படையிலான படலங்களுக்கு உகந்த கடினத்தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு வேதியியலை வழங்குகிறது, இது பல CMP பயன்பாடுகளில் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொருளாக அமைகிறது. CMP-யின் செயல்திறன் சிராய்ப்பு துகள் பண்புகளால் மட்டுமல்ல, குழம்பு செறிவு, pH மற்றும் அடர்த்தியின் துல்லியமான மேலாண்மையாலும் கட்டளையிடப்படுகிறது.
வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன்
*
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் குழம்புகளை மெருகூட்டுவதற்கான அடிப்படைகள்
மெருகூட்டல் குழம்புகள் வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்முறையின் மையமாகும். அவை வேஃபர் மேற்பரப்புகளில் இயந்திர சிராய்ப்பு மற்றும் வேதியியல் மேற்பரப்பு மாற்றம் இரண்டையும் அடைய வடிவமைக்கப்பட்ட சிக்கலான கலவைகள் ஆகும். CMP குழம்புகளின் அத்தியாவசிய பாத்திரங்களில் பயனுள்ள பொருள் நீக்கம், பிளானரிட்டி கட்டுப்பாடு, பெரிய வேஃபர் பகுதிகளில் சீரான தன்மை மற்றும் குறைபாடு குறைப்பு ஆகியவை அடங்கும்.
பாலிஷ் செய்யும் குழம்புகளின் பாத்திரங்கள் மற்றும் கலவைகள்
ஒரு பொதுவான CMP குழம்பு, ஒரு திரவ மேட்ரிக்ஸில் இடைநிறுத்தப்பட்ட சிராய்ப்புத் துகள்களைக் கொண்டுள்ளது, இது வேதியியல் சேர்க்கைகள் மற்றும் நிலைப்படுத்திகளால் கூடுதலாக வழங்கப்படுகிறது. ஒவ்வொரு கூறும் ஒரு தனித்துவமான பாத்திரத்தை வகிக்கிறது:
- சிராய்ப்புகள்:குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் இந்த நுண்ணிய, திடமான துகள்கள் - முதன்மையாக சிலிக்கா (SiO₂) அல்லது சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) - பொருள் அகற்றுதலின் இயந்திரப் பகுதியைச் செய்கின்றன. அவற்றின் செறிவு மற்றும் துகள் அளவு விநியோகம் அகற்றும் வீதத்தையும் மேற்பரப்பு தரத்தையும் கட்டுப்படுத்துகின்றன. சிராய்ப்பு உள்ளடக்கம் பொதுவாக எடையால் 1% முதல் 5% வரை இருக்கும், துகள் விட்டம் 20 nm முதல் 300 nm வரை இருக்கும், அதிகப்படியான வேஃபர் அரிப்பைத் தவிர்க்க இறுக்கமாக குறிப்பிடப்பட்டுள்ளது.
- வேதியியல் சேர்க்கைகள்:இந்த முகவர்கள் பயனுள்ள பிளானரைசேஷனுக்கான வேதியியல் சூழலை நிறுவுகின்றன. ஆக்ஸிஜனேற்றிகள் (எ.கா., ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு) சிராய்ப்புக்கு எளிதான மேற்பரப்பு அடுக்குகளை உருவாக்குவதை எளிதாக்குகின்றன. சிக்கலான அல்லது செலேட்டிங் முகவர்கள் (அம்மோனியம் பெர்சல்பேட் அல்லது சிட்ரிக் அமிலம் போன்றவை) உலோக அயனிகளை பிணைக்கின்றன, நீக்குதலை மேம்படுத்துகின்றன மற்றும் குறைபாடு உருவாவதை அடக்குகின்றன. அருகிலுள்ள அல்லது அடிப்படை வேஃபர் அடுக்குகளின் தேவையற்ற பொறிப்பைத் தடுக்க, தேர்ந்தெடுப்பை மேம்படுத்த தடுப்பான்கள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன.
- நிலைப்படுத்திகள்:சர்பாக்டான்ட்கள் மற்றும் pH பஃபர்கள் குழம்பு நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான சிதறலை பராமரிக்கின்றன. சர்பாக்டான்ட்கள் சிராய்ப்பு திரட்டலைத் தடுக்கின்றன, ஒரே மாதிரியான அகற்றும் விகிதங்களை உறுதி செய்கின்றன. pH பஃபர்கள் சீரான வேதியியல் எதிர்வினை விகிதங்களை செயல்படுத்துகின்றன மற்றும் துகள் கொத்தாகுதல் அல்லது அரிப்பு ஏற்படுவதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கின்றன.
ஒவ்வொரு கூறுகளின் உருவாக்கம் மற்றும் செறிவு, வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்பாட்டில் ஈடுபட்டுள்ள குறிப்பிட்ட வேஃபர் பொருள், சாதன அமைப்பு மற்றும் செயல்முறை படிநிலைக்கு ஏற்ப வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
பொதுவான குழம்புகள்: சிலிக்கா (SiO₂) vs சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂)
சிலிக்கா (SiO₂) பாலிஷ் செய்யும் குழம்புகள்இடை அடுக்கு மின்கடத்தா (ILD) மற்றும் ஆழமற்ற அகழி தனிமைப்படுத்தல் (STI) மெருகூட்டல் போன்ற ஆக்சைடு பிளானரைசேஷன் படிகளில் ஆதிக்கம் செலுத்துகின்றன. அவை கூழ் அல்லது புகைபிடித்த சிலிக்காவை உராய்வுப் பொருட்களாகப் பயன்படுத்துகின்றன, பெரும்பாலும் அடிப்படை (pH ~10) சூழலில், மேலும் சில நேரங்களில் கீறல் குறைபாடுகளைக் கட்டுப்படுத்தவும் அகற்றும் விகிதங்களை மேம்படுத்தவும் சிறிய சர்பாக்டான்ட்கள் மற்றும் அரிப்பு தடுப்பான்களுடன் கூடுதலாக வழங்கப்படுகின்றன. சிலிக்கா துகள்கள் அவற்றின் சீரான அளவு மற்றும் குறைந்த கடினத்தன்மைக்கு மதிப்பிடப்படுகின்றன, இது மென்மையான அடுக்குகளுக்கு ஏற்ற மென்மையான, சீரான பொருள் அகற்றலை வழங்குகிறது.
சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) பாலிஷ் செய்யும் குழம்புகள்இறுதி கண்ணாடி அடி மூலக்கூறு மெருகூட்டல், மேம்பட்ட அடி மூலக்கூறு பிளானரைசேஷன் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் சில ஆக்சைடு அடுக்குகள் போன்ற உயர் தேர்வு மற்றும் துல்லியம் தேவைப்படும் சவாலான பயன்பாடுகளுக்கு அவை தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன. CeO₂ உராய்வுகள் தனித்துவமான வினைத்திறனை வெளிப்படுத்துகின்றன, குறிப்பாக சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு மேற்பரப்புகளுடன், வேதியியல் மற்றும் இயந்திர நீக்க வழிமுறைகள் இரண்டையும் செயல்படுத்துகின்றன. இந்த இரட்டை-செயல் நடத்தை குறைந்த குறைபாடு நிலைகளில் அதிக பிளானரைசேஷன் விகிதங்களை வழங்குகிறது, இதனால் CeO₂ குழம்புகள் கண்ணாடி, ஹார்ட் டிஸ்க் அடி மூலக்கூறுகள் அல்லது மேம்பட்ட லாஜிக் சாதன முனைகளுக்கு விரும்பத்தக்கதாக அமைகிறது.
உராய்வுப் பொருட்கள், சேர்க்கைப் பொருட்கள் மற்றும் நிலைப்படுத்திகளின் செயல்பாட்டு நோக்கம்
- சிராய்ப்புகள்: இயந்திர சிராய்ப்பைச் செயல்படுத்துங்கள். அவற்றின் அளவு, வடிவம் மற்றும் செறிவு ஆகியவை அகற்றும் வீதத்தையும் மேற்பரப்பு முடிவையும் ஆணையிடுகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, சீரான 50 nm சிலிக்கா உராய்வுகள் ஆக்சைடு அடுக்குகளின் மென்மையான, சீரான பிளானரைசேஷனை உறுதி செய்கின்றன.
- வேதியியல் சேர்க்கைகள்: மேற்பரப்பு ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் கரைப்பை எளிதாக்குவதன் மூலம் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட நீக்கத்தை செயல்படுத்துகிறது. செப்பு CMP இல், கிளைசின் (ஒரு சிக்கலான முகவராக) மற்றும் ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு (ஒரு ஆக்ஸிஜனேற்றியாக) ஒருங்கிணைந்த முறையில் செயல்படுகின்றன, அதே நேரத்தில் BTA செப்பு அம்சங்களைப் பாதுகாக்கும் தடுப்பானாக செயல்படுகிறது.
- நிலைப்படுத்திகள்: காலப்போக்கில் குழம்பு கலவையை ஒரே மாதிரியாக வைத்திருங்கள். சர்பாக்டான்ட்கள் வண்டல் மற்றும் திரட்டலைத் தடுக்கின்றன, சிராய்ப்பு துகள்கள் தொடர்ந்து சிதறடிக்கப்பட்டு செயல்முறைக்குக் கிடைப்பதை உறுதி செய்கின்றன.
தனித்துவமான பண்புகள் மற்றும் பயன்பாட்டு சூழ்நிலைகள்: CeO₂ மற்றும் SiO₂ குழம்புகள்
CeO₂ பாலிஷ் குழம்புஅதன் உள்ளார்ந்த வேதியியல் வினைத்திறன் காரணமாக கண்ணாடி மற்றும் சிலிக்கான் ஆக்சைடுக்கு இடையில் உயர்ந்த தேர்ந்தெடுப்பை வழங்குகிறது. அதிக பொருள் தேர்ந்தெடுப்பு அவசியமான கடினமான, உடையக்கூடிய அடி மூலக்கூறுகள் அல்லது கலப்பு ஆக்சைடு அடுக்குகளை பிளானரைஸ் செய்வதற்கு இது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும். இது குறைக்கடத்தித் துறையில் மேம்பட்ட அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு, துல்லியமான கண்ணாடி முடித்தல் மற்றும் குறிப்பிட்ட ஆழமற்ற அகழி தனிமைப்படுத்தல் (STI) CMP படிகளில் CeO₂ குழம்புகளை தரநிலையாக்குகிறது.
SiO₂ பாலிஷ் செய்யும் குழம்புஇயந்திர மற்றும் வேதியியல் நீக்குதலின் சமநிலையான கலவையை வழங்குகிறது. அதிக செயல்திறன் மற்றும் குறைந்தபட்ச குறைபாடு தேவைப்படும் மொத்த ஆக்சைடு மற்றும் இடை அடுக்கு மின்கடத்தா பிளானரைசேஷனுக்கு இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிலிக்காவின் சீரான, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட துகள் அளவு கீறல் உருவாக்கத்தைக் கட்டுப்படுத்துகிறது மற்றும் சிறந்த இறுதி மேற்பரப்பு தரத்தை உறுதி செய்கிறது.
துகள் அளவு மற்றும் பரவல் சீரான தன்மையின் முக்கியத்துவம்
துகள் அளவு மற்றும் சிதறல் சீரான தன்மை, குழம்பு செயல்திறனுக்கு மிகவும் முக்கியமானது. சீரான, நானோமீட்டர் அளவிலான சிராய்ப்புத் துகள்கள் சீரான பொருள் அகற்றும் விகிதங்களையும் குறைபாடு இல்லாத வேஃபர் மேற்பரப்பையும் உறுதி செய்கின்றன. திரட்டுதல் அரிப்பு அல்லது கணிக்க முடியாத மெருகூட்டலுக்கு வழிவகுக்கிறது, அதே நேரத்தில் பரந்த அளவு விநியோகங்கள் சீரற்ற பிளானரைசேஷன் மற்றும் அதிகரித்த குறைபாடு அடர்த்தியை ஏற்படுத்துகின்றன.
குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர் அல்லது மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி அளவீட்டு சாதனங்கள் போன்ற தொழில்நுட்பங்களால் கண்காணிக்கப்படும் பயனுள்ள குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாடு, நிலையான சிராய்ப்பு ஏற்றுதல் மற்றும் கணிக்கக்கூடிய செயல்முறை விளைவுகளை உறுதி செய்கிறது, இது மகசூல் மற்றும் சாதன செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. துல்லியமான அடர்த்தி கட்டுப்பாடு மற்றும் சீரான பரவலை அடைவது என்பது வேதியியல் இயந்திர திட்டமிடல் உபகரணங்களை நிறுவுதல் மற்றும் செயல்முறை மேம்படுத்தலுக்கான முக்கிய தேவைகளாகும்.
சுருக்கமாக, மெருகூட்டல் குழம்புகளை உருவாக்குதல் - குறிப்பாக சிராய்ப்பு வகை, துகள் அளவு மற்றும் உறுதிப்படுத்தல் வழிமுறைகளின் தேர்வு மற்றும் கட்டுப்பாடு - குறைக்கடத்தி தொழில் பயன்பாடுகளில் வேதியியல் இயந்திர திட்டமிடல் செயல்முறையின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதிப்படுத்துகிறது.
CMP இல் சேறு அடர்த்தி அளவீட்டின் முக்கியத்துவம்
வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்பாட்டில், குழம்பு அடர்த்தியின் துல்லியமான அளவீடு மற்றும் கட்டுப்பாடு, வேஃபர் பாலிஷின் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. குழம்பு அடர்த்தி - பாலிஷ் செய்யும் குழம்பிற்குள் சிராய்ப்பு துகள்களின் செறிவு - ஒரு மைய செயல்முறை நெம்புகோலாக செயல்படுகிறது, பாலிஷ் விகிதம், இறுதி மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் ஒட்டுமொத்த வேஃபர் மகசூலை வடிவமைக்கிறது.
குழம்பு அடர்த்தி, பாலிஷ் செய்யும் விகிதம், மேற்பரப்பு தரம் மற்றும் வேஃபர் மகசூல் ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான உறவு
CeO₂ பாலிஷ் ஸ்லரி அல்லது பிற பாலிஷ் ஸ்லரி ஃபார்முலேஷன் மூலம் பெறப்படும் சிராய்ப்புத் துகள் செறிவு, வேஃபர் மேற்பரப்பில் இருந்து எவ்வளவு விரைவாகப் பொருள் அகற்றப்படுகிறது என்பதைத் தீர்மானிக்கிறது, இது பொதுவாக அகற்றும் விகிதம் அல்லது பொருள் அகற்றும் விகிதம் (MRR) என்று அழைக்கப்படுகிறது. அதிகரித்த ஸ்லரி அடர்த்தி பொதுவாக ஒரு யூனிட் பகுதிக்கு சிராய்ப்புத் தொடர்புகளின் எண்ணிக்கையை அதிகரிக்கிறது, பாலிஷ் செய்யும் விகிதத்தை துரிதப்படுத்துகிறது. உதாரணமாக, 2024 ஆம் ஆண்டு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட ஆய்வில், கூழ்ம குழம்பில் சிலிக்கா துகள் செறிவை 5 wt% வரை அதிகரிப்பது 200 மிமீ சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்கான அதிகபட்ச நீக்குதல் விகிதங்களை அதிகரிக்கிறது என்று தெரிவிக்கப்பட்டுள்ளது. இருப்பினும், இந்த உறவு நேரியல் அல்ல - குறைந்து வரும் வருமானத்தின் ஒரு புள்ளி உள்ளது. அதிக ஸ்லரி அடர்த்தியில், துகள் திரட்டுதல் ஒரு பீடபூமியை ஏற்படுத்துகிறது அல்லது வெகுஜன போக்குவரத்து குறைபாடு மற்றும் அதிகரித்த பாகுத்தன்மை காரணமாக அகற்றும் விகிதத்தில் குறைப்பை ஏற்படுத்துகிறது.
மேற்பரப்பு தரம் குழம்பு அடர்த்திக்கு சமமாக உணர்திறன் கொண்டது. உயர்ந்த செறிவுகளில், கீறல்கள், உட்பொதிக்கப்பட்ட குப்பைகள் மற்றும் குழிகள் போன்ற குறைபாடுகள் அடிக்கடி நிகழ்கின்றன. அதே ஆய்வில், 8-10 wt க்கு மேல் குழம்பு அடர்த்தியை அதிகரிக்கும் போது மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையில் நேரியல் உயர்வு மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க கீறல் அடர்த்தி இருப்பதைக் கண்டறிந்தது. மாறாக, அடர்த்தியைக் குறைப்பது குறைபாடு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, ஆனால் அகற்றுதலை மெதுவாக்கும் மற்றும் பிளானாரிட்டியை சமரசம் செய்யலாம்.
மெருகூட்டலுக்குப் பிறகு செயல்முறை விவரக்குறிப்புகளைச் சந்திக்கும் வேஃபர்களின் விகிதமான வேஃபர் மகசூல், இந்த ஒருங்கிணைந்த விளைவுகளால் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. அதிக குறைபாடு விகிதங்கள் மற்றும் சீரானதாக இல்லாத நீக்கம் இரண்டும் மகசூலைக் குறைக்கின்றன, இது நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செயல்திறன் மற்றும் தரத்திற்கு இடையிலான நுட்பமான சமநிலையை அடிக்கோடிட்டுக் காட்டுகிறது.
CMP செயல்பாட்டில் சிறிய குழம்பு செறிவு மாறுபாடுகளின் தாக்கம்
உகந்த குழம்பு அடர்த்தியிலிருந்து குறைந்தபட்ச விலகல்கள் - ஒரு சதவீத பின்னங்கள் - கூட செயல்முறை வெளியீட்டை கணிசமாக பாதிக்கலாம். சிராய்ப்பு செறிவு இலக்கை விட அதிகமாக இருந்தால், துகள் கொத்து ஏற்படக்கூடும், இது பட்டைகள் மற்றும் கண்டிஷனிங் டிஸ்க்குகளில் விரைவான தேய்மானம், அதிக மேற்பரப்பு கீறல் விகிதங்கள் மற்றும் வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் கருவிகளில் திரவ கூறுகளின் அடைப்பு அல்லது அரிப்புக்கு வழிவகுக்கும். குறைந்த அடர்த்தி எஞ்சிய படலங்கள் மற்றும் ஒழுங்கற்ற மேற்பரப்பு நிலப்பரப்புகளை விட்டுச்செல்லும், இது அடுத்தடுத்த ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி படிகளை சவால் செய்து மகசூலைக் குறைக்கும்.
குழம்பு அடர்த்தியில் ஏற்படும் மாறுபாடுகள் வேஃபரில் ஏற்படும் வேதியியல்-இயந்திர எதிர்வினைகளையும் பாதிக்கின்றன, குறைபாடு மற்றும் சாதன செயல்திறனில் கீழ்நிலை விளைவுகள் ஏற்படுகின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, நீர்த்த குழம்புகளில் உள்ள சிறிய அல்லது சீராக சிதறாத துகள்கள் உள்ளூர் அகற்றும் விகிதங்களைப் பாதிக்கின்றன, அதிக அளவு உற்பத்தியில் செயல்முறை பிழைகளாகப் பரவக்கூடிய நுண்நிலத்தோற்றத்தை உருவாக்குகின்றன. இந்த நுணுக்கங்கள் இறுக்கமான குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாடு மற்றும் வலுவான கண்காணிப்பைக் கோருகின்றன, குறிப்பாக மேம்பட்ட முனைகளில்.
நிகழ்நேர குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு மற்றும் உகப்பாக்கம்
லோன்மீட்டரால் தயாரிக்கப்பட்ட மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் போன்ற இன்லைன் அடர்த்தி மீட்டர்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் செயல்படுத்தப்படும் குழம்பு அடர்த்தியின் நிகழ்நேர அளவீடு இப்போது முன்னணி குறைக்கடத்தி தொழில் பயன்பாடுகளில் தரநிலையாக உள்ளது. இந்த கருவிகள் குழம்பு அளவுருக்களை தொடர்ந்து கண்காணிக்க அனுமதிக்கின்றன, CMP கருவித்தொகுப்புகள் மற்றும் விநியோக அமைப்புகள் வழியாக குழம்பு நகரும்போது அடர்த்தி ஏற்ற இறக்கங்கள் குறித்த உடனடி கருத்துக்களை வழங்குகின்றன.
நிகழ்நேர குழம்பு அடர்த்தி அளவீட்டின் முக்கிய நன்மைகள் பின்வருமாறு:
- குறிப்பிட்ட தன்மையற்ற நிலைமைகளை உடனடியாகக் கண்டறிதல், விலையுயர்ந்த கீழ்நிலை செயல்முறைகள் மூலம் குறைபாடுகள் பரவுவதைத் தடுத்தல்.
- செயல்முறை உகப்பாக்கம் - பொறியாளர்கள் உகந்த குழம்பு அடர்த்தி சாளரத்தை பராமரிக்க உதவுகிறது, குறைபாடுகளைக் குறைக்கும் அதே வேளையில் அகற்றும் விகிதத்தை அதிகரிக்கிறது.
- மேம்படுத்தப்பட்ட வேஃபர்-டு-வேஃபர் மற்றும் லாட்-டு-லாட் நிலைத்தன்மை, ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி மகசூலை அதிகரிக்கிறது.
- அதிக செறிவூட்டப்பட்ட அல்லது குறைவான செறிவூட்டப்பட்ட குழம்புகள் பாலிஷ் பேட்கள், மிக்சர்கள் மற்றும் விநியோக பிளம்பிங் ஆகியவற்றின் தேய்மானத்தை துரிதப்படுத்தக்கூடும் என்பதால், உபகரணங்களின் நீடித்த ஆரோக்கியம்.
CMP உபகரணங்களுக்கான நிறுவல் இடங்கள் பொதுவாக மாதிரி சுழல்கள் அல்லது மறுசுழற்சி கோடுகளை அளவீட்டு மண்டலம் வழியாக வழிநடத்துகின்றன, அடர்த்தி அளவீடுகள் வேஃபர்களுக்கு வழங்கப்படும் உண்மையான ஓட்டத்தின் பிரதிநிதியாக இருப்பதை உறுதி செய்கின்றன.
துல்லியமான மற்றும் நிகழ்நேரகுழம்பு அடர்த்தி அளவீடுவலுவான குழம்பு அடர்த்தி கட்டுப்பாட்டு முறைகளின் முதுகெலும்பாக அமைகிறது, மேம்பட்ட இடை அடுக்கு மற்றும் ஆக்சைடு CMP க்கான சவாலான சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) குழம்புகள் உட்பட, நிறுவப்பட்ட மற்றும் புதுமையான மெருகூட்டல் குழம்பு சூத்திரங்களை ஆதரிக்கிறது. இந்த முக்கியமான அளவுருவைப் பராமரிப்பது, வேதியியல் இயந்திர திட்டமிடல் செயல்முறை முழுவதும் உற்பத்தித்திறன், செலவுக் கட்டுப்பாடு மற்றும் சாதன நம்பகத்தன்மையுடன் நேரடியாக இணைக்கப்பட்டுள்ளது.
சேறு அடர்த்தி அளவீட்டிற்கான கோட்பாடுகள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்கள்
வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷனில் (CMP) பயன்படுத்தப்படும் சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) சூத்திரங்கள் போன்ற பாலிஷ் செய்யும் குழம்பில் உள்ள ஒரு யூனிட் தொகுதிக்கு திடப்பொருட்களின் நிறை, குழம்பு அடர்த்தியைக் குறிக்கிறது. இந்த மாறி மெருகூட்டப்பட்ட வேஃபர்களில் பொருள் அகற்றும் விகிதங்கள், வெளியீட்டு சீரான தன்மை மற்றும் குறைபாடு நிலைகளை தீர்மானிக்கிறது. மேம்பட்ட குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாட்டிற்கு பயனுள்ள குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு மிக முக்கியமானது, இது குறைக்கடத்தி தொழில் பயன்பாடுகளில் மகசூல் மற்றும் குறைபாடுகளை நேரடியாக பாதிக்கிறது.
CMP செயல்பாடுகளில் பல்வேறு வகையான குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஒவ்வொன்றும் வெவ்வேறு அளவீட்டுக் கொள்கைகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. ஈர்ப்பு அளவீட்டு முறைகள் வரையறுக்கப்பட்ட குழம்பு அளவைச் சேகரித்து எடைபோடுவதை நம்பியுள்ளன, அதிக துல்லியத்தை வழங்குகின்றன, ஆனால் நிகழ்நேர திறன் இல்லாதவை மற்றும் CMP உபகரணங்களுக்கான நிறுவல் இடங்களில் அவற்றை தொடர்ச்சியான பயன்பாட்டிற்கு சாத்தியமற்றதாக ஆக்குகின்றன. இடைநிறுத்தப்பட்ட சிராய்ப்பு துகள்கள் காரணமாக கடத்துத்திறன் மற்றும் அனுமதித்தன்மையில் ஏற்படும் மாற்றங்களின் அடிப்படையில் அடர்த்தியை ஊகிக்க மின்காந்த அடர்த்தி மீட்டர்கள் மின்காந்த புலங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன. அதிர்வுறும் குழாய் அடர்த்தி அளவீடுகள் போன்ற அதிர்வு மீட்டர்கள், குழம்பு நிரப்பப்பட்ட குழாயின் அதிர்வெண் பதிலை அளவிடுகின்றன; அடர்த்தியில் உள்ள மாறுபாடுகள் அதிர்வு அதிர்வெண்ணைப் பாதிக்கின்றன, தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பை செயல்படுத்துகின்றன. இந்த தொழில்நுட்பங்கள் இன்லைன் கண்காணிப்பை ஆதரிக்கின்றன, ஆனால் கறைபடிதல் அல்லது வேதியியல் மாறுபாடுகளுக்கு உணர்திறன் கொண்டதாக இருக்கலாம்.
வேதியியல்-இயந்திர பிளானரைசேஷனில் நிகழ்நேர அடர்த்தி கண்காணிப்புக்கு மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்ப முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கின்றன. இந்த கருவிகள் குழம்பு வழியாக மீயொலி அலைகளை வெளியிடுகின்றன மற்றும் பறக்கும் நேரம் அல்லது ஒலி பரவலின் வேகத்தை அளவிடுகின்றன. ஒரு ஊடகத்தில் ஒலியின் வேகம் அதன் அடர்த்தி மற்றும் திடப்பொருட்களின் செறிவைப் பொறுத்தது, இது குழம்பு பண்புகளை துல்லியமாக தீர்மானிக்க அனுமதிக்கிறது. மீயொலி பொறிமுறையானது CMP இன் பொதுவான சிராய்ப்பு மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக ஆக்கிரமிப்பு சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது, ஏனெனில் இது ஊடுருவாதது மற்றும் நேரடி தொடர்பு மீட்டர்களுடன் ஒப்பிடும்போது சென்சார் கறைபடுவதைக் குறைக்கிறது. லோன்மீட்டர் குறைக்கடத்தி தொழில் CMP வரிகளுக்கு ஏற்றவாறு இன்லைன் மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்களை உற்பத்தி செய்கிறது.
மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்களின் நன்மைகள் பின்வருமாறு:
- ஊடுருவாத அளவீடு: சென்சார்கள் பொதுவாக வெளிப்புறமாகவோ அல்லது பைபாஸ் ஓட்ட செல்களுக்குள் நிறுவப்படுகின்றன, இது குழம்புக்கு ஏற்படும் தொந்தரவைக் குறைக்கிறது மற்றும் உணர்திறன் மேற்பரப்புகளின் சிராய்ப்பைத் தவிர்க்கிறது.
- நிகழ்நேர திறன்: தொடர்ச்சியான வெளியீடு உடனடி செயல்முறை சரிசெய்தல்களை செயல்படுத்துகிறது, உகந்த வேஃபர் பாலிஷ் தரத்திற்காக வரையறுக்கப்பட்ட அளவுருக்களுக்குள் குழம்பு அடர்த்தி இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
- உயர் துல்லியம் மற்றும் உறுதித்தன்மை: மீயொலி ஸ்கேனர்கள் நிலையான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய அளவீடுகளை வழங்குகின்றன, நீட்டிக்கப்பட்ட நிறுவல்களில் ஏற்ற இறக்கமான குழம்பு வேதியியல் அல்லது துகள் சுமையால் பாதிக்கப்படாது.
- CMP உபகரணங்களுடன் ஒருங்கிணைப்பு: அவற்றின் வடிவமைப்பு, மறுசுழற்சி செய்யும் குழம்பு கோடுகள் அல்லது விநியோக மேனிஃபோல்டுகளில் நிறுவல் இடங்களை ஆதரிக்கிறது, விரிவான செயலிழப்பு நேரம் இல்லாமல் செயல்முறை கட்டுப்பாட்டை ஒழுங்குபடுத்துகிறது.
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் சமீபத்திய வழக்கு ஆய்வுகள், சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) மெருகூட்டல் குழம்பு செயல்முறைகளுக்கான வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் உபகரண நிறுவலை இன்-லைன் மீயொலி அடர்த்தி கண்காணிப்பு பூர்த்தி செய்யும் போது 30% வரை குறைபாடு குறைப்பைப் புகாரளிக்கின்றன. மீயொலி சென்சார்களிடமிருந்து தானியங்கி பின்னூட்டம், மெருகூட்டல் குழம்பு சூத்திரங்களின் மீது இறுக்கமான கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது, இதன் விளைவாக மேம்பட்ட தடிமன் சீரான தன்மை மற்றும் குறைந்த பொருள் கழிவுகள் ஏற்படுகின்றன. மீயொலி அடர்த்தி மீட்டர்கள், வலுவான அளவுத்திருத்த நெறிமுறைகளுடன் இணைந்தால், மேம்பட்ட CMP செயல்பாடுகளில் அடிக்கடி நிகழும் குழம்பு கலவை மாற்றங்களுக்கு முகங்கொடுக்கும் போது நம்பகமான செயல்திறனைப் பராமரிக்கின்றன.
சுருக்கமாக, நிகழ்நேர குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு - குறிப்பாக மீயொலி தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி - CMP இல் துல்லியமான குழம்பு அடர்த்தி கட்டுப்பாட்டு முறைகளுக்கு மையமாக மாறியுள்ளது. இந்த முன்னேற்றங்கள் குறைக்கடத்தித் துறையில் மகசூல், செயல்முறை திறன் மற்றும் வேஃபர் தரத்தை நேரடியாக மேம்படுத்துகின்றன.
CMP அமைப்புகளில் நிறுவல் இடங்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைப்பு
வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்பாட்டில், குழம்பு செறிவைக் கட்டுப்படுத்த சரியான குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு மிக முக்கியமானது. குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்களுக்கான பயனுள்ள நிறுவல் புள்ளிகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது துல்லியம், செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் வேஃபர் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது.
நிறுவல் புள்ளிகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கான முக்கியமான காரணிகள்
CMP அமைப்புகளில், வேஃபர் பாலிஷ் செய்வதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் உண்மையான குழம்பை கண்காணிக்க அடர்த்தி மீட்டர்கள் நிலைநிறுத்தப்பட வேண்டும். முதன்மை நிறுவல் இடங்களில் பின்வருவன அடங்கும்:
- மறுசுழற்சி தொட்டி:மீட்டரை கடையின் இடத்தில் வைப்பது, விநியோகத்திற்கு முன் அடிப்படை குழம்பு நிலையைப் பற்றிய நுண்ணறிவை வழங்குகிறது. இருப்பினும், இந்த இடம் குமிழி உருவாக்கம் அல்லது உள்ளூர் வெப்ப விளைவுகள் போன்ற கீழ்நோக்கி நிகழும் மாற்றங்களைத் தவறவிடக்கூடும்.
- டெலிவரி கோடுகள்:கலவை அலகுகளுக்குப் பிறகும் விநியோக மேனிஃபோல்டுகளுக்குள் நுழைவதற்கு முன்பும் நிறுவுவது, அடர்த்தி அளவீடு, சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) பாலிஷ் செய்யும் குழம்பு மற்றும் பிற சேர்க்கைகள் உள்ளிட்ட குழம்பின் இறுதி உருவாக்கத்தை பிரதிபலிப்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த நிலை, வேஃபர்கள் செயலாக்கப்படுவதற்கு சற்று முன்பு குழம்பு செறிவு மாற்றங்களை உடனடியாகக் கண்டறிய அனுமதிக்கிறது.
- பயன்பாட்டு புள்ளி கண்காணிப்பு:பயன்பாட்டு வால்வு அல்லது கருவியின் மேல்நோக்கி உடனடியாக உகந்த இடம் அமைந்துள்ளது. இது நிகழ்நேர குழம்பு அடர்த்தியைப் படம்பிடித்து, வரி வெப்பமாக்கல், பிரித்தல் அல்லது நுண்குமிழி உருவாக்கம் ஆகியவற்றிலிருந்து எழக்கூடிய செயல்முறை நிலைமைகளில் ஏற்படும் விலகல்கள் குறித்து ஆபரேட்டர்களை எச்சரிக்கிறது.
நிறுவல் தளங்களைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, ஓட்ட முறை, குழாய் நோக்குநிலை மற்றும் பம்புகள் அல்லது வால்வுகளுக்கு அருகாமையில் இருப்பது போன்ற கூடுதல் காரணிகளைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்:
- சாதகமாகசெங்குத்து ஏற்றுதல்உணர்திறன் தனிமத்தின் மீது காற்று குமிழி மற்றும் வண்டல் குவிப்பைக் குறைக்க மேல்நோக்கி ஓட்டத்துடன்.
- ஓட்ட இடையூறுகள் காரணமாக வாசிப்புப் பிழைகளைத் தவிர்க்க, மீட்டருக்கும் முக்கிய கொந்தளிப்பான மூலங்களுக்கும் (பம்புகள், வால்வுகள்) இடையே பல குழாய் விட்டங்களைப் பராமரிக்கவும்.
- பயன்படுத்தவும்ஓட்ட சீரமைப்பு(நேராக்கிகள் அல்லது அமைதிப்படுத்தும் பிரிவுகள்) ஒரு நிலையான லேமினார் சூழலில் அடர்த்தி அளவீட்டை மதிப்பிடுவதற்கு.
நம்பகமான சென்சார் ஒருங்கிணைப்புக்கான பொதுவான சவால்கள் மற்றும் சிறந்த நடைமுறைகள்
CMP குழம்பு அமைப்புகள் பல ஒருங்கிணைப்பு சவால்களை ஏற்படுத்துகின்றன:
- காற்று நுழைவு மற்றும் குமிழ்கள்:மைக்ரோகுமிழ்கள் இருந்தால் மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் அடர்த்தியை தவறாகப் படிக்கக்கூடும். காற்று நுழையும் இடங்களுக்கு அருகில் சென்சார்களை வைப்பதைத் தவிர்க்கவும் அல்லது பம்ப் வெளியேற்றங்கள் அல்லது கலவை தொட்டிகளுக்கு அருகில் பொதுவாக ஏற்படும் திடீர் ஓட்ட மாற்றங்களைத் தவிர்க்கவும்.
- படிவு:கிடைமட்ட கோடுகளில், சென்சார்கள் செறிவூட்டப்பட்ட திடப்பொருட்களை எதிர்கொள்ளக்கூடும், குறிப்பாக CeO₂ பாலிஷ் ஸ்லரியுடன். துல்லியமான ஸ்லரி அடர்த்தி கட்டுப்பாட்டை பராமரிக்க, சாத்தியமான செட்டில் மண்டலங்களுக்கு மேலே செங்குத்தாக ஏற்றுதல் அல்லது நிலைநிறுத்துதல் பரிந்துரைக்கப்படுகிறது.
- சென்சார் கறைபடிதல்:CMP குழம்புகளில் சிராய்ப்பு மற்றும் ரசாயன முகவர்கள் உள்ளன, அவை சென்சாரின் கறைபடிதல் அல்லது பூச்சுக்கு வழிவகுக்கும். லோன்மீட்டர் இன்லைன் கருவிகள் இதைத் தணிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, ஆனால் நம்பகத்தன்மைக்கு வழக்கமான ஆய்வு மற்றும் சுத்தம் செய்தல் அவசியம்.
- இயந்திர அதிர்வுகள்:செயலில் உள்ள இயந்திர சாதனங்களுக்கு அருகில் வைப்பது சென்சாருக்குள் சத்தத்தைத் தூண்டும், அளவீட்டு துல்லியத்தை குறைக்கும். குறைந்தபட்ச அதிர்வு வெளிப்பாடு கொண்ட நிறுவல் புள்ளிகளைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.
சிறந்த ஒருங்கிணைப்பு முடிவுகளுக்கு:
- நிறுவலுக்கு லேமினார் பாய்வுப் பிரிவுகளைப் பயன்படுத்துங்கள்.
- முடிந்தவரை செங்குத்து சீரமைப்பை உறுதி செய்யவும்.
- அவ்வப்போது பராமரிப்பு மற்றும் அளவுத்திருத்தத்திற்கான எளிதான அணுகலை வழங்குதல்.
- அதிர்வு மற்றும் ஓட்ட இடையூறுகளிலிருந்து சென்சார்களைப் தனிமைப்படுத்தவும்.
சி.எம்.பி.
*
குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாட்டு உத்திகள்
வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்பாட்டில் பயனுள்ள குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாடு, சீரான பொருள் அகற்றும் விகிதங்களை பராமரிக்கவும், செதில் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும், குறைக்கடத்தி செதில்களில் சீரான தன்மையை உறுதி செய்யவும் அவசியம். இந்த துல்லியத்தை அடைய பல முறைகள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது நெறிப்படுத்தப்பட்ட செயல்பாடுகள் மற்றும் உயர் சாதன மகசூல் இரண்டையும் ஆதரிக்கிறது.
உகந்த குழம்பு செறிவைப் பராமரிப்பதற்கான நுட்பங்கள் மற்றும் கருவிகள்
மெருகூட்டல் குழம்பில் உள்ள சிராய்ப்புத் துகள்கள் மற்றும் வேதியியல் இனங்கள் இரண்டையும் நிகழ்நேரக் கண்காணிப்பதன் மூலம் குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாடு தொடங்குகிறது. சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) மெருகூட்டல் குழம்பு மற்றும் பிற CMP சூத்திரங்களுக்கு, இன்லைன் குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு போன்ற நேரடி முறைகள் அடிப்படையானவை. லோன்மீட்டரால் தயாரிக்கப்பட்ட மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள், குழம்பு அடர்த்தியின் தொடர்ச்சியான அளவீடுகளை வழங்குகின்றன, இது மொத்த திட உள்ளடக்கம் மற்றும் சீரான தன்மையுடன் வலுவாக தொடர்புடையது.
நிரப்பு நுட்பங்களில் டர்பிடிட்டி பகுப்பாய்வு - ஆப்டிகல் சென்சார்கள் இடைநிறுத்தப்பட்ட சிராய்ப்பு துகள்களிலிருந்து சிதறலைக் கண்டறியும் - மற்றும் குழம்பு நீரோட்டத்தில் உள்ள முக்கிய வினைபடுபொருட்களை அளவிட UV-Vis அல்லது Near-Infrared (NIR) ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி போன்ற ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபிக் முறைகள் ஆகியவை அடங்கும். இந்த அளவீடுகள் CMP செயல்முறை கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளின் முதுகெலும்பாக அமைகின்றன, இலக்கு செறிவு சாளரங்களை பராமரிக்கவும் தொகுதி-க்கு-தொகுதி மாறுபாட்டைக் குறைக்கவும் நேரடி சரிசெய்தல்களை செயல்படுத்துகின்றன.
உலோக அயனிகள் நிறைந்த சூத்திரங்களில் மின்வேதியியல் உணரிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவை குறிப்பிட்ட அயனி செறிவுகள் குறித்த விரைவான மறுமொழித் தகவலை வழங்குகின்றன மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி தொழில் பயன்பாடுகளில் மேலும் நுணுக்கமான சரிசெய்தலை ஆதரிக்கின்றன.
மூடிய-சுழல் கட்டுப்பாட்டுக்கான பின்னூட்ட சுழல்கள் மற்றும் ஆட்டோமேஷன்
நவீன வேதியியல்-இயந்திர பிளானரைசேஷன் உபகரண நிறுவல்கள், இன்லைன் அளவியலை தானியங்கி விநியோக அமைப்புகளுடன் இணைக்கும் மூடிய-லூப் கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளை அதிகளவில் பயன்படுத்துகின்றன. குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் மற்றும் தொடர்புடைய சென்சார்களிடமிருந்து தரவுகள் நேரடியாக நிரல்படுத்தக்கூடிய லாஜிக் கன்ட்ரோலர்கள் (PLCs) அல்லது விநியோகிக்கப்பட்ட கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளுக்கு (DCS) வழங்கப்படுகின்றன. இந்த அமைப்புகள் மேக்கப் நீர் சேர்த்தல், செறிவூட்டப்பட்ட குழம்பு டோசிங் மற்றும் நிலைப்படுத்தி ஊசி ஆகியவற்றிற்கான வால்வுகளை தானாகவே செயல்படுத்துகின்றன, இதனால் செயல்முறை எல்லா நேரங்களிலும் தேவையான இயக்க உறைக்குள் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
இந்த பின்னூட்ட கட்டமைப்பு, நிகழ்நேர உணரிகளால் கண்டறியப்பட்ட எந்தவொரு விலகல்களையும் தொடர்ந்து சரிசெய்யவும், அதிகப்படியான நீர்த்தலைத் தவிர்க்கவும், உகந்த சிராய்ப்பு செறிவைப் பாதுகாக்கவும், அதிகப்படியான இரசாயன பயன்பாட்டைக் குறைக்கவும் அனுமதிக்கிறது. எடுத்துக்காட்டாக, மேம்பட்ட வேஃபர் முனைகளுக்கான உயர்-செயல்திறன் CMP கருவியில், ஒரு இன்லைன் அல்ட்ராசோனிக் ஸ்லரி அடர்த்தி மீட்டர், சிராய்ப்பு செறிவில் ஒரு வீழ்ச்சியைக் கண்டறிந்து, அடர்த்தி அதன் செட் பாயிண்டிற்குத் திரும்பும் வரை, ஸ்லரி அறிமுகத்தை அதிகரிக்க டோசிங் அமைப்பை உடனடியாக சமிக்ஞை செய்யும். மாறாக, அளவிடப்பட்ட அடர்த்தி விவரக்குறிப்பை மீறினால், கட்டுப்பாட்டு தர்க்கம் சரியான செறிவுகளை மீட்டெடுக்க மேக்கப் நீர் சேர்க்கையைத் தொடங்குகிறது.
ஒப்பனை நீர் மற்றும் குழம்பு சேர்க்கை விகிதங்களை சரிசெய்வதில் அடர்த்தி அளவீட்டின் பங்கு
சேறு அடர்த்தி அளவீடு என்பது செயலில் உள்ள செறிவு கட்டுப்பாட்டின் முக்கியக் கல்லாகும். லோன்மீட்டரின் இன்லைன் அடர்த்தி மீட்டர்கள் போன்ற கருவிகளால் வழங்கப்படும் அடர்த்தி மதிப்பு இரண்டு முக்கியமான செயல்பாட்டு அளவுருக்களை நேரடியாகத் தெரிவிக்கிறது: ஒப்பனை நீர் அளவு மற்றும் செறிவூட்டப்பட்ட குழம்பு தீவன விகிதம்.
CMP கருவி உள்ளீட்டிற்கு முன் அல்லது பாயிண்ட்-ஆஃப்-பயன்பாட்டு மிக்சருக்குப் பிறகு போன்ற மூலோபாய புள்ளிகளில் அடர்த்தி மீட்டர்களைக் கண்டறிவதன் மூலம், நிகழ்நேர தரவு, தானியங்கி அமைப்புகள் ஒப்பனை நீர் சேர்க்கை விகிதத்தை சரிசெய்ய உதவுகிறது, இதனால் குழம்பை விரும்பிய விவரக்குறிப்புகளுக்கு நீர்த்துப்போகச் செய்கிறது. அதே நேரத்தில், கருவி பயன்பாடு, வயதான விளைவுகள் மற்றும் செயல்முறை தூண்டப்பட்ட இழப்புகளைக் கணக்கில் எடுத்துக்கொண்டு, சிராய்ப்பு மற்றும் வேதியியல் செறிவுகளைத் துல்லியமாக பராமரிக்க, செறிவூட்டப்பட்ட குழம்பின் ஊட்ட விகிதத்தை இந்த அமைப்பு மாற்றியமைக்க முடியும்.
உதாரணமாக, 3D NAND கட்டமைப்புகளுக்கான நீட்டிக்கப்பட்ட பிளானரைசேஷன் ரன்களின் போது, தொடர்ச்சியான அடர்த்தி கண்காணிப்பு, குழம்பு திரட்டுதல் அல்லது படிவு போக்குகளைக் கண்டறிந்து, செயல்முறை நிலைத்தன்மைக்குத் தேவையானபடி, மேக்-அப் நீர் அல்லது கிளர்ச்சியில் தானியங்கி அதிகரிப்புகளைத் தூண்டுகிறது. இந்த இறுக்கமாக ஒழுங்குபடுத்தப்பட்ட கட்டுப்பாட்டு வளையம், குறிப்பாக சாதன பரிமாணங்கள் மற்றும் செயல்முறை ஜன்னல்கள் குறுகும்போது, கடுமையான வேஃபர்-டு-வேஃபர் மற்றும் வேஃபருக்குள் சீரான இலக்குகளைப் பராமரிப்பதில் அடித்தளமாகும்.
சுருக்கமாக, CMP இல் உள்ள குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாட்டு உத்திகள் மேம்பட்ட இன்-லைன் அளவீடுகள் மற்றும் தானியங்கி மூடிய-லூப் பதில்களின் கலவையை நம்பியுள்ளன. குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள், குறிப்பாக லோன்மீட்டரில் இருந்து வரும் மீயொலி அலகுகள், முக்கியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி படிகளில் கடுமையான செயல்முறை மேலாண்மைக்குத் தேவையான உயர் தெளிவுத்திறன், சரியான நேரத்தில் தரவை வழங்குவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. இந்த கருவிகள் மற்றும் வழிமுறைகள் மாறுபாட்டைக் குறைக்கின்றன, வேதியியல் பயன்பாட்டை மேம்படுத்துவதன் மூலம் நிலைத்தன்மையை ஆதரிக்கின்றன மற்றும் நவீன முனை தொழில்நுட்பங்களுக்குத் தேவையான துல்லியத்தை செயல்படுத்துகின்றன.
குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கான குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர் தேர்வு வழிகாட்டி
குறைக்கடத்தித் துறையில் வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷனுக்கான (CMP) குழம்பு அடர்த்தி மீட்டரைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு பல்வேறு தொழில்நுட்பத் தேவைகளுக்கு கவனமாக கவனம் செலுத்த வேண்டும். முக்கிய செயல்திறன் மற்றும் பயன்பாட்டு அளவுகோல்களில் உணர்திறன், துல்லியம், ஆக்கிரமிப்பு குழம்பு வேதியியல்களுடன் இணக்கத்தன்மை மற்றும் CMP குழம்பு விநியோக அமைப்புகள் மற்றும் உபகரண நிறுவல்களுக்குள் ஒருங்கிணைப்பின் எளிமை ஆகியவை அடங்கும்.
உணர்திறன் மற்றும் துல்லியத் தேவைகள்
CMP செயல்முறை கட்டுப்பாடு குழம்பு கலவையில் உள்ள சிறிய மாறுபாடுகளைப் பொறுத்தது. அடர்த்தி மீட்டர் குறைந்தபட்சம் 0.001 g/cm³ அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட மாற்றங்களைக் கண்டறிய வேண்டும். CeO₂ பாலிஷ் குழம்பு அல்லது சிலிக்கா அடிப்படையிலான குழம்புகளில் காணப்படும் சிராய்ப்பு உள்ளடக்கத்தில் மிகக் குறைந்த மாற்றங்களைக் கூட அடையாளம் காண இந்த உணர்திறன் நிலை அவசியம், ஏனெனில் இவை பொருள் அகற்றும் விகிதங்கள், வேஃபர் பிளானரிட்டி மற்றும் குறைபாடுகளை பாதிக்கின்றன. குறைக்கடத்தி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்களுக்கான ஒரு பொதுவான ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய துல்லிய வரம்பு ±0.001–0.002 g/cm³ ஆகும்.
ஆக்ரோஷமான குழம்புகளுடன் இணக்கத்தன்மை
CMP-யில் பயன்படுத்தப்படும் குழம்புகளில், வேதியியல் ரீதியாக செயல்படும் ஊடகங்களில் இடைநீக்கம் செய்யப்பட்ட சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂), அலுமினா அல்லது சிலிக்கா போன்ற சிராய்ப்பு நானோ துகள்கள் இருக்கலாம். அடர்த்தி மீட்டர், அளவுத்திருத்தத்திலிருந்து வெளியேறாமல் அல்லது கறைபடிவதால் பாதிக்கப்படாமல், உடல் சிராய்ப்பு மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கு நீண்டகால வெளிப்பாட்டைத் தாங்க வேண்டும். ஈரப்படுத்தப்பட்ட பகுதிகளில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் அனைத்து குழம்பு வேதியியலுக்கும் மந்தமாக இருக்க வேண்டும்.
ஒருங்கிணைப்பின் எளிமை
இன்லைன் குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் ஏற்கனவே உள்ள CMP உபகரண நிறுவல்களில் உடனடியாகப் பொருந்த வேண்டும். கருத்தில் கொள்ள வேண்டியவை:
- குழம்பு விநியோகத்தைப் பாதிக்காமல் இருக்க குறைந்தபட்ச டெட் வால்யூம் மற்றும் குறைந்த அழுத்த வீழ்ச்சி.
- விரைவான நிறுவல் மற்றும் பராமரிப்புக்கான நிலையான தொழில்துறை செயல்முறை இணைப்புகளுக்கான ஆதரவு.
- குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகளுடன் நிகழ்நேர ஒருங்கிணைப்புக்கான வெளியீட்டு இணக்கத்தன்மை (எ.கா., அனலாக்/டிஜிட்டல் சிக்னல்கள்), ஆனால் அந்த அமைப்புகளையே வழங்காமல்.
முன்னணி சென்சார் தொழில்நுட்பங்களின் ஒப்பீட்டு அம்சங்கள்
மெருகூட்டல் குழம்புகளின் அடர்த்தி கட்டுப்பாடு முக்கியமாக இரண்டு சென்சார் வகுப்புகள் மூலம் நிர்வகிக்கப்படுகிறது: டென்சிடோமெட்ரி அடிப்படையிலான மற்றும் ரிஃப்ராக்டோமெட்ரி அடிப்படையிலான மீட்டர்கள். ஒவ்வொன்றும் குறைக்கடத்தி தொழில் பயன்பாடுகளுக்கு பொருத்தமான பலங்களைக் கொண்டுவருகின்றன.
டென்சிடோமெட்ரி அடிப்படையிலான மீட்டர்கள் (எ.கா., மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்)
- அடர்த்தியுடன் நேரடியாக தொடர்புடைய, குழம்பு வழியாக ஒலியின் பரவல் வேகத்தைப் பயன்படுத்துகிறது.
- பல்வேறு வகையான குழம்பு செறிவுகள் மற்றும் சிராய்ப்பு வகைகளில் அடர்த்தி அளவீட்டில் உயர் நேர்கோட்டுத்தன்மையை வழங்குகிறது.
- உணர்திறன் கூறுகளை இரசாயனங்களிலிருந்து உடல் ரீதியாக தனிமைப்படுத்த முடியும் என்பதால், CeO₂ மற்றும் சிலிக்கா சூத்திரங்கள் உள்ளிட்ட தீவிரமான மெருகூட்டல் குழம்புகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.
- வழக்கமான உணர்திறன் மற்றும் துல்லியம் 0.001 g/cm³ க்கும் குறைவான தேவையைப் பூர்த்தி செய்கின்றன.
- நிறுவல் பொதுவாக இன்லைனில் இருக்கும், இது வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் உபகரண செயல்பாட்டின் போது தொடர்ச்சியான நிகழ்நேர அளவீட்டை அனுமதிக்கிறது.
ஒளிவிலகல் அளவியல் அடிப்படையிலான மீட்டர்கள்
- குழம்பின் அடர்த்தியை ஊகிக்க ஒளிவிலகல் குறியீட்டை அளவிடுகிறது.
- செறிவு மாற்றங்களுக்கு அதிக உணர்திறன் காரணமாக குழம்பு கலவையில் ஏற்படும் நுட்பமான மாற்றங்களைக் கண்டறிவதில் பயனுள்ளதாக இருக்கும்; <0.1% நிறை பின்ன மாற்றங்களைத் தீர்க்கும் திறன் கொண்டது.
- இருப்பினும், ஒளிவிலகல் குறியீடு வெப்பநிலை போன்ற சுற்றுச்சூழல் மாறிகளுக்கு உணர்திறன் கொண்டது, கவனமாக அளவுத்திருத்தம் மற்றும் வெப்பநிலை இழப்பீடு ஆகியவற்றை கட்டாயமாக்குகிறது.
- குறிப்பாக அதிக ஆக்ரோஷமான அல்லது ஒளிபுகா குழம்புகளில், வரையறுக்கப்பட்ட வேதியியல் பொருந்தக்கூடிய தன்மையைக் கொண்டிருக்கலாம்.
ஒரு நிரப்பியாக துகள் அளவு அளவியல்
- துகள் அளவு பரவல் அல்லது திரட்டலில் ஏற்படும் மாற்றங்களால் அடர்த்தி அளவீடுகள் சாய்ந்து போகலாம்.
- தொழில்துறையின் சிறந்த நடைமுறைகளால் அவ்வப்போது துகள் அளவு பகுப்பாய்வுடன் (எ.கா., டைனமிக் லைட் ஸ்கேட்டரிங் அல்லது எலக்ட்ரான் மைக்ரோஸ்கோபி) ஒருங்கிணைப்பு பரிந்துரைக்கப்படுகிறது, இது வெளிப்படையான அடர்த்தி மாற்றங்கள் துகள் திரட்டலால் மட்டுமே ஏற்படுவதில்லை என்பதை உறுதி செய்கிறது.
லோன்மீட்டர் இன்லைன் அடர்த்தி மீட்டர்களுக்கான பரிசீலனைகள்
- லோன்மீட்டர் துணை மென்பொருள் அல்லது அமைப்பு ஒருங்கிணைப்புகளை வழங்காமல், இன்லைன் அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை மீட்டர்களை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது.
- லோன்மீட்டர் மீட்டர்கள் சிராய்ப்பு, வேதியியல் ரீதியாக செயல்படும் CMP குழம்புகளைத் தாங்கும் வகையில் குறிப்பிடப்படலாம் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயல்முறை உபகரணங்களில் நேரடி இன்லைன் நிறுவலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, நிகழ்நேர குழம்பு அடர்த்தி அளவீட்டிற்கான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கின்றன.
விருப்பங்களை மதிப்பாய்வு செய்யும்போது, முக்கிய பயன்பாட்டு அளவுகோல்களில் கவனம் செலுத்துங்கள்: அடர்த்தி மீட்டர் தேவையான உணர்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை அடைவதை உறுதிசெய்து கொள்ளுங்கள், உங்கள் குழம்பு வேதியியலுடன் இணக்கமான பொருட்களிலிருந்து கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது, தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டைத் தாங்குகிறது மற்றும் CMP செயல்பாட்டில் குழம்பு விநியோக வரிகளை மெருகூட்டுவதில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கிறது. குறைக்கடத்தித் தொழிலுக்கு, துல்லியமான குழம்பு அடர்த்தி அளவீடு வேஃபர் சீரான தன்மை, மகசூல் மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை ஆதரிக்கிறது.
CMP விளைவுகளில் பயனுள்ள சேறு அடர்த்தி கட்டுப்பாட்டின் தாக்கம்
வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்பாட்டில் துல்லியமான குழம்பு அடர்த்தி கட்டுப்பாடு மிக முக்கியமானது. அடர்த்தி சீராக இருக்கும்போது, மெருகூட்டலின் போது இருக்கும் சிராய்ப்பு துகள்களின் அளவு நிலையானதாக இருக்கும். இது நேரடியாக பொருள் அகற்றும் வீதத்தையும் (MRR) வேஃபரின் மேற்பரப்பு தரத்தையும் பாதிக்கிறது.
வேஃபர் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளைக் குறைத்தல் மற்றும் மேம்படுத்தப்பட்ட WIWNU
உகந்த குழம்பு அடர்த்தியைப் பராமரிப்பது, நுண்ணிய கீறல்கள், பாத்திரங்களை அப்புறப்படுத்துதல், அரிப்பு மற்றும் துகள் மாசுபாடு போன்ற வேஃபர் மேற்பரப்பு குறைபாடுகளைக் குறைக்கும் என்று நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளது. 2024 ஆம் ஆண்டு ஆராய்ச்சி, கூழ் சிலிக்கா அடிப்படையிலான சூத்திரங்களுக்கு பொதுவாக 1 wt% முதல் 5 wt% வரை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அடர்த்தி வரம்பு, அகற்றும் திறன் மற்றும் குறைபாடு குறைப்புக்கு இடையே சிறந்த சமநிலையை அளிக்கிறது என்பதைக் காட்டுகிறது. அதிகப்படியான அதிக அடர்த்தி சிராய்ப்பு மோதல்களை அதிகரிக்கிறது, இது ஒரு சதுர சென்டிமீட்டருக்கு குறைபாடு எண்ணிக்கையில் இரண்டு முதல் மூன்று மடங்கு அதிகரிப்புக்கு வழிவகுக்கிறது, இது அணு விசை நுண்ணோக்கி மற்றும் நீள்வட்ட அளவீட்டு பகுப்பாய்வுகளால் உறுதிப்படுத்தப்பட்டுள்ளது. இறுக்கமான அடர்த்தி கட்டுப்பாடு வேஃபருக்குள் சீரான தன்மையின்மை (WIWNU) ஐ மேம்படுத்துகிறது, இது வேஃபர் முழுவதும் சமமாக பொருள் அகற்றப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, இது மேம்பட்ட முனை குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு அவசியம். பட தடிமன் இலக்குகள் அல்லது தட்டையான தன்மையை பாதிக்கக்கூடிய செயல்முறை உல்லாசப் பயணங்களைத் தடுக்க நிலையான அடர்த்தி உதவுகிறது.
குழம்பு ஆயுட்காலம் நீட்டிப்பு மற்றும் நுகர்பொருட்களின் விலை குறைப்பு
மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் மூலம் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு உட்பட, குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாட்டு நுட்பங்கள், CMP பாலிஷ் செய்யும் குழம்பின் பயனுள்ள வாழ்நாளை நீட்டிக்கின்றன. அதிகப்படியான அளவு அல்லது அதிகப்படியான நீர்த்தலைத் தடுப்பதன் மூலம், வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் உபகரணங்கள் நுகர்பொருட்களின் உகந்த பயன்பாட்டை அடைகின்றன. இந்த அணுகுமுறை குழம்பு மாற்றத்தின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது மற்றும் மறுசுழற்சி உத்திகளை செயல்படுத்துகிறது, மொத்த செலவுகளைக் குறைக்கிறது. எடுத்துக்காட்டாக, CeO₂ பாலிஷ் செய்யும் குழம்பு பயன்பாடுகளில், கவனமாக அடர்த்தி பராமரிப்பு குழம்பு தொகுதிகளை மறுசீரமைக்க அனுமதிக்கிறது மற்றும் செயல்திறனை தியாகம் செய்யாமல் கழிவு அளவைக் குறைக்கிறது. பயனுள்ள அடர்த்தி கட்டுப்பாடு செயல்முறை பொறியாளர்கள் ஏற்றுக்கொள்ளக்கூடிய செயல்திறன் வரம்புகளுக்குள் இருக்கும் பாலிஷ் செய்யும் குழம்பை மீட்டெடுக்கவும் மீண்டும் பயன்படுத்தவும் உதவுகிறது, மேலும் செலவு சேமிப்பை அதிகரிக்கிறது.
மேம்பட்ட முனை உற்பத்திக்கான மேம்படுத்தப்பட்ட மறுநிகழ்வுத்திறன் மற்றும் செயல்முறை கட்டுப்பாடு
நவீன குறைக்கடத்தி தொழில்துறை பயன்பாடுகள் வேதியியல்-இயந்திர பிளானரைசேஷன் படியில் அதிக மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மையைக் கோருகின்றன. மேம்பட்ட முனை உற்பத்தியில், குழம்பு அடர்த்தியில் ஏற்படும் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்கள் கூட வேஃபர் விளைவுகளில் ஏற்றுக்கொள்ள முடியாத மாறுபாட்டை ஏற்படுத்தும். லோன்மீட்டரால் தயாரிக்கப்பட்டவை போன்ற இன்லைன் மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்களின் ஆட்டோமேஷன் மற்றும் ஒருங்கிணைப்பு செயல்முறை கட்டுப்பாட்டுக்கான தொடர்ச்சியான, நிகழ்நேர பின்னூட்டத்தை எளிதாக்குகிறது. இந்த கருவிகள் CMP இன் பொதுவான கடுமையான வேதியியல் சூழல்களில் துல்லியமான அளவீடுகளை வழங்குகின்றன, விலகல்களுக்கு உடனடியாக பதிலளிக்கும் மூடிய-லூப் அமைப்புகளை ஆதரிக்கின்றன. நம்பகமான அடர்த்தி அளவீடு என்பது வேஃபரிலிருந்து வேஃபருக்கு அதிக சீரான தன்மை மற்றும் MRR மீது இறுக்கமான கட்டுப்பாட்டைக் குறிக்கிறது, இது துணை-7nm குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு இன்றியமையாதது. மீட்டர்கள் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்படுவதை உறுதி செய்வதற்கும் செயல்முறை நிலைத்தன்மைக்கு முக்கியமான தரவை வழங்குவதற்கும் சரியான உபகரண நிறுவல் - குழம்பு விநியோக வரிசையில் சரியான நிலைப்படுத்தல் - மற்றும் வழக்கமான பராமரிப்பு அவசியம்.
CMP செயல்முறைகளில் தயாரிப்பு விளைச்சலை அதிகரிக்கவும், குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும், செலவு குறைந்த உற்பத்தியை உறுதி செய்யவும் போதுமான குழம்பு அடர்த்தியைப் பராமரிப்பது அடிப்படையாகும்.
அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் (FAQகள்)
வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்பாட்டில் குழம்பு அடர்த்தி மீட்டரின் செயல்பாடு என்ன?
மெருகூட்டல் குழம்பின் அடர்த்தி மற்றும் செறிவைத் தொடர்ந்து அளவிடுவதன் மூலம், ஒரு குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர், வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இதன் முதன்மை செயல்பாடு, குழம்பில் உள்ள சிராய்ப்பு மற்றும் வேதியியல் சமநிலை குறித்த நிகழ்நேரத் தரவை வழங்குவதாகும், இரண்டும் உகந்த வேஃபர் பிளானரைசேஷனுக்கான துல்லியமான வரம்புகளுக்குள் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த நிகழ்நேரக் கட்டுப்பாடு, அதிகமாகவோ அல்லது குறைவாகவோ நீர்த்த குழம்பு கலவைகளுடன் பொதுவான அரிப்பு அல்லது சீரற்ற பொருள் அகற்றுதல் போன்ற குறைபாடுகளைத் தடுக்கிறது. நிலையான குழம்பு அடர்த்தி உற்பத்தி ஓட்டங்கள் முழுவதும் இனப்பெருக்கத்தை பராமரிக்க உதவுகிறது, வேஃபர்-டு-வேஃபர் மாறுபாட்டைக் குறைக்கிறது மற்றும் விலகல்கள் கண்டறியப்பட்டால் சரியான நடவடிக்கைகளைத் தூண்டுவதன் மூலம் செயல்முறை மேம்படுத்தலை ஆதரிக்கிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் உயர் நம்பகத்தன்மை பயன்பாடுகளில், தொடர்ச்சியான கண்காணிப்பு கழிவுகளையும் குறைக்கிறது மற்றும் கடுமையான தர உறுதி நடவடிக்கைகளை ஆதரிக்கிறது.
குறைக்கடத்தித் தொழிலில் சில குறிப்பிட்ட பிளானரைசேஷன் படிகளுக்கு CeO₂ பாலிஷ் ஸ்லரி ஏன் விரும்பப்படுகிறது?
சீரியம் ஆக்சைடு (CeO₂) பாலிஷ் ஸ்லரி, அதன் விதிவிலக்கான தேர்வுத்திறன் மற்றும் வேதியியல் தொடர்பு காரணமாக, குறிப்பாக கண்ணாடி மற்றும் ஆக்சைடு படலங்களுக்கு, குறிப்பிட்ட குறைக்கடத்தி பிளானரைசேஷன் படிகளுக்குத் தேர்ந்தெடுக்கப்படுகிறது. அதன் சீரான சிராய்ப்புத் துகள்கள் மிகக் குறைந்த குறைபாடு விகிதங்கள் மற்றும் குறைந்தபட்ச மேற்பரப்பு அரிப்புடன் உயர்தர பிளானரைசேஷனை விளைவிக்கின்றன. CeO₂ இன் வேதியியல் பண்புகள் நிலையான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் அகற்றக்கூடிய அகற்றும் விகிதங்களை செயல்படுத்துகின்றன, அவை ஃபோட்டானிக்ஸ் மற்றும் உயர் அடர்த்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் போன்ற மேம்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு அவசியம். கூடுதலாக, CeO₂ ஸ்லரி திரட்டலை எதிர்க்கிறது, நீட்டிக்கப்பட்ட CMP செயல்பாடுகளின் போது கூட நிலையான இடைநீக்கத்தை பராமரிக்கிறது.
மற்ற அளவீட்டு வகைகளுடன் ஒப்பிடும்போது மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர் எவ்வாறு செயல்படுகிறது?
ஒரு மீயொலி குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர், குழம்பு வழியாக ஒலி அலைகளை கடத்துவதன் மூலமும், இந்த அலைகளின் வேகம் மற்றும் தணிவை அளவிடுவதன் மூலமும் செயல்படுகிறது. குழம்பு அடர்த்தி அலைகள் எவ்வளவு வேகமாக பயணிக்கின்றன என்பதையும், அவற்றின் தீவிரம் எந்த அளவிற்கு குறைகிறது என்பதையும் நேரடியாக பாதிக்கிறது. இந்த அளவீட்டு அணுகுமுறை ஊடுருவக்கூடியது அல்ல, மேலும் செயல்முறை ஓட்டத்தை தனிமைப்படுத்தவோ அல்லது உடல் ரீதியாக சீர்குலைக்கவோ தேவையில்லாமல் நிகழ்நேர குழம்பு செறிவு தரவை வழங்குகிறது. இயந்திர (மிதவை அடிப்படையிலான) அல்லது கிராவிமெட்ரிக் அடர்த்தி அளவீட்டு அமைப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது மீயொலி முறைகள் ஓட்ட வேகம் அல்லது துகள் அளவு போன்ற மாறிகளுக்கு குறைவான உணர்திறனைக் காட்டுகின்றன. வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷனில், இது அதிக ஓட்டம், துகள்கள் நிறைந்த குழம்புகளில் கூட நம்பகமான, வலுவான அளவீடுகளாக மொழிபெயர்க்கப்படுகிறது.
CMP அமைப்பில் குழம்பு அடர்த்தி மீட்டர்கள் பொதுவாக எங்கு நிறுவப்பட வேண்டும்?
வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் கருவிகளில் குழம்பு அடர்த்தி மீட்டருக்கான உகந்த நிறுவல் இடங்கள் பின்வருமாறு:
- மறுசுழற்சி தொட்டி: விநியோகிப்பதற்கு முன் ஒட்டுமொத்த குழம்பு அடர்த்தியைத் தொடர்ந்து கண்காணிக்க.
- பாலிஷ் பேடிற்கு பயன்பாட்டு புள்ளியில் டெலிவரி செய்வதற்கு முன்: வழங்கப்பட்ட குழம்பு இலக்கு அடர்த்தி விவரக்குறிப்புகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்ய.
- குழம்பு கலவை புள்ளிகளுக்குப் பிறகு: செயல்முறை சுழற்சியில் நுழைவதற்கு முன், புதிதாக தயாரிக்கப்பட்ட தொகுதிகள் தேவையான சூத்திரங்களுக்கு இணங்குவதை உறுதி செய்தல்.
இந்த மூலோபாய நிலைகள், குழம்பு செறிவில் ஏதேனும் விலகலை விரைவாகக் கண்டறிந்து சரிசெய்ய அனுமதிக்கின்றன, இதனால் சமரசம் செய்யப்பட்ட வேஃபர் தரம் மற்றும் செயல்முறை குறுக்கீடுகளைத் தடுக்கின்றன. குழம்பு ஓட்ட இயக்கவியல், வழக்கமான கலவை நடத்தை மற்றும் பிளானரைசேஷன் பேடுக்கு அருகில் உடனடி பின்னூட்டத்தின் அவசியம் ஆகியவற்றால் இடம் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.
துல்லியமான குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாடு CMP செயல்முறை செயல்திறனை எவ்வாறு மேம்படுத்துகிறது?
துல்லியமான குழம்பு செறிவு கட்டுப்பாடு, சீரான அகற்றும் விகிதங்களை உறுதி செய்வதன் மூலமும், தாள் எதிர்ப்பு மாறுபாட்டைக் குறைப்பதன் மூலமும், மேற்பரப்பு குறைபாடுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைப்பதன் மூலமும் வேதியியல் இயந்திர பிளானரைசேஷன் செயல்முறையை மேம்படுத்துகிறது. நிலையான குழம்பு அடர்த்தி, சிராய்ப்பு அதிகப்படியான பயன்பாடு அல்லது குறைவான பயன்பாட்டைத் தடுப்பதன் மூலம் பாலிஷ் பேட் மற்றும் வேஃபர் ஆயுட்காலம் இரண்டையும் நீட்டிக்கிறது. குழம்பு நுகர்வை மேம்படுத்துதல், மறுவேலையைக் குறைத்தல் மற்றும் அதிக குறைக்கடத்தி சாதன மகசூலை ஆதரிப்பதன் மூலம் இது செயல்முறை செலவுகளைக் குறைக்கிறது. குறிப்பாக மேம்பட்ட உற்பத்தி மற்றும் குவாண்டம் சாதன உற்பத்தியில், கடுமையான குழம்பு கட்டுப்பாடு மீண்டும் உருவாக்கக்கூடிய தட்டையான தன்மை, நிலையான மின் செயல்திறன் மற்றும் சாதன கட்டமைப்புகள் முழுவதும் குறைக்கப்பட்ட கசிவை ஆதரிக்கிறது.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-09-2025
