சிலிக்கான் வேஃபர் வைர கம்பி வெட்டுதலில் ஓட்ட அளவீடு இன்றியமையாதது, ஏனெனில் இது கம்பி-வேஃபர் இடைமுகத்திற்கு வெட்டும் திரவங்களை துல்லியமாக வழங்குவதை உறுதி செய்கிறது - உகந்த குளிர்ச்சி, உயவு மற்றும் குப்பைகள் அகற்றலை பராமரிப்பதற்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.Real-time flow தரவு போதுமான அல்லது அதிகப்படியான திரவ விநியோகத்தைத் தடுக்கிறது, இல்லையெனில் இது அதிக வெப்பமடைதல், கம்பி உடைப்பு, மேற்பரப்பு குறைபாடுகள் அல்லது கழிவுகளை ஏற்படுத்தும். துல்லியமான அளவீடு செயல்முறை மாறுபாட்டைக் குறைக்கிறது, வேஃபர் தட்டையானது மற்றும் மேற்பரப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது, கம்பி ஆயுட்காலத்தை நீட்டிக்கிறது மற்றும் வள செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
சிலிக்கான் வேஃபர் கட்டிங் மற்றும் வெட்டும் திரவங்களின் பங்கு பற்றிய கண்ணோட்டம்
குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த பயன்பாடுகளுக்கு மோனோகிரிஸ்டலின் மற்றும் மல்டிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் இங்காட்களை வேஃபர்களாக வெட்டுவதற்கு வைர கம்பி வெட்டுதல் ஒரு முக்கிய நுட்பமாகும். இந்த செயல்பாட்டில், ஒரு எஃகு கம்பி - பொதுவாக 40–70 μm விட்டம் கொண்டது - வைர சிராய்ப்பு தானியங்களால் பூசப்படுகிறது. கம்பி அதிக வேகத்தில் நகர்கிறது, மேலும் உட்பொதிக்கப்பட்ட வைரங்கள் சிராய்ப்பு மூலம் சிலிக்கானை அரைத்து, மேற்பரப்பு குறைபாடுகளைக் குறைத்து, வேஃபர் சீரான தன்மையை ஊக்குவிக்கின்றன. சமீபத்திய ஆண்டுகளில் அறிமுகப்படுத்தப்பட்ட குறைக்கப்பட்ட விட்டம் கொண்ட கம்பிகள் கெர்ஃப் இழப்பைக் குறைக்கின்றன, இது வெட்டுதல் செயல்பாட்டின் போது நுண்ணிய சிலிக்கான் துகள்களாக வீணாகும் பொருளைக் குறிக்கிறது. கெர்ஃப் இழப்பு கம்பி விட்டம் மற்றும் கம்பி மேற்பரப்பில் இருந்து நீண்டு செல்லும் சிராய்ப்பு தானியங்களின் உயரத்தால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.
வைர கம்பி வெட்டுதல்
*
வைர கம்பி அறுக்கும் செயல்பாட்டில் வெட்டும் திரவங்கள் பல முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன. அவற்றின் முதன்மை செயல்பாடு இங்காட் மற்றும் கம்பி இரண்டையும் குளிர்விப்பதாகும், இது சிலிக்கானை சேதப்படுத்தும் அல்லது கம்பி ஆயுளைக் குறைக்கக்கூடிய அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்கிறது. அவை வெட்டும்போது உருவாகும் நுண்ணிய சிலிக்கான் துகள்களையும் கழுவுகின்றன, இது ஒரு சுத்தமான இடைமுகத்தை பராமரிக்க உதவுகிறது, குப்பைகள் மீண்டும் படிவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் வேஃபரில் மேற்பரப்பு மைக்ரோ-பிராக்ஸைக் குறைக்கிறது. மேலும், வெட்டும் திரவங்கள் செயல்முறையை உயவூட்டுகின்றன, கம்பி மற்றும் சிலிக்கானுக்கு இடையிலான உராய்வைக் குறைக்கின்றன, இதனால் கம்பி ஆயுட்காலம் அதிகரிக்கிறது மற்றும் வெட்டு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது. சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் திரவங்களின் கலவை மற்றும் இயற்பியல் பண்புகள் - பாகுத்தன்மை மற்றும் அடர்த்தி போன்றவை - குளிரூட்டல், சிப் அகற்றுதல் மற்றும் கம்பி பாதுகாப்பை மேம்படுத்த கவனமாக நிர்வகிக்கப்பட வேண்டும்.
மேம்படுத்தப்பட்ட உயவு மற்றும் துகள் இடைநீக்கத்திற்கான சேர்க்கைகளுடன் கூடிய நீர் சார்ந்த திரவங்கள் உட்பட பல வேஃபர் வெட்டும் திரவ வகைகள் உள்ளன. தேர்வு உபகரண வடிவமைப்பு, வேஃபர் விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடுகளைப் பொறுத்தது. எடுத்துக்காட்டுகளில் சர்பாக்டான்ட்கள் அல்லது கிளைகோல்களுடன் கூடிய அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட நீர் அடங்கும், இது குறைந்த எச்ச உருவாக்கத்துடன் குளிரூட்டும் செயல்திறனை சமநிலைப்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
நவீன வேஃபர் ஆலைகளில் மிக மெல்லிய வைர கம்பிகளை நோக்கிய பரிணாமம் திரவ விநியோகம் மற்றும் செயல்முறை கட்டுப்பாட்டில் உள்ள சவால்களை அதிகரிக்கிறது. கம்பி விட்டம் 40 μm க்குக் கீழே சுருங்கும்போது, கம்பி உடைப்பு ஆபத்து அதிகரிக்கிறது மற்றும் செயல்முறை ஏற்ற இறக்கத்திற்கான சகிப்புத்தன்மை இறுக்கமடைகிறது. துல்லியமான ஓட்ட விகித அளவீடு - திரவ ஓட்ட மீட்டர்களை வெட்டுதல், உயர் துல்லிய ஓட்ட அளவீட்டு சென்சார்கள் மற்றும் கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட உணரிகள் போன்ற தொழில்நுட்பங்களால் ஆதரிக்கப்படுகிறது - பயனுள்ள குளிர்ச்சி மற்றும் குப்பைகளை அகற்றுவதை பராமரிக்க அவசியம். திரவ கண்காணிப்பு சென்சார்களை வெட்டுதல் மற்றும் தொழில்துறை வெட்டு திரவ ஓட்ட அளவீட்டு தீர்வுகள் ஆபரேட்டர்கள் உண்மையான நேரத்தில் ஓட்ட விகிதங்களைக் கண்காணித்து சரிசெய்ய உதவுகின்றன, உகந்த உயவு மற்றும் மேற்பரப்பு தரத்தை அடைகின்றன. கோரியோலிஸ் ஓட்ட மீட்டர்களின் துல்லியம் மாறுபட்ட அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை கொண்ட திரவங்களை நிர்வகிப்பதற்கும், வெட்டு வேகம் மற்றும் கம்பி பதற்றம் அதிகரிக்கும் போதும் நிலையான நிலைமைகளை உறுதி செய்வதற்கும் மிகவும் முக்கியமானது.
துல்லியத்திற்கான இந்த அதிகரித்து வரும் தேவை, ஓட்ட விகிதம், அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை போன்ற மாறும் திரவ அளவுருக்களைக் கண்காணிப்பதில் கவனம் செலுத்துகிறது. லோன்மீட்டர் போன்ற கருவிகள், மேம்பட்ட வைர கம்பி வெட்டும் செயல்பாடுகளில் தர உறுதி மற்றும் செயல்முறை மேம்படுத்தலுக்கு இன்றியமையாத நம்பகமான, நிகழ்நேர அளவீடுகளை வழங்குகின்றன. கம்பி தொழில்நுட்பம் தொடர்ந்து முன்னேறி வருவதால், வலுவான ஓட்ட அளவீட்டு தொழில்நுட்பங்களின் ஒருங்கிணைப்பு, வேஃபர் செயல்திறனைத் தக்கவைத்துக்கொள்வதற்கும், கெர்ஃப் இழப்பைக் குறைப்பதற்கும், சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்தித் துறைக்கான கீழ்நிலை முடித்தல் தேவைகளைக் குறைப்பதற்கும் ஒருங்கிணைந்ததாகும்.
துல்லியமான வைர கம்பி வெட்டுவதில் திரவ விநியோக சவால்கள்
மிக மெல்லிய சிலிக்கான் வேஃபர்களை வைர கம்பி வெட்டுவதில் - குறிப்பாக 40 µm க்கும் குறைவானவை - ஸ்லைசிங் இடைமுகத்திற்கு சரியான அளவு சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் திரவத்தை வழங்குவது ஒரு வலிமையான சவாலாக மாறும். கம்பி தடிமன் குறைவதால், திரவ ஓட்டத்திற்கான இடமும் குறைகிறது. தொடர்பு புள்ளியில் உயவு, வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் குப்பைகளை அகற்றுவதை உறுதி செய்வதற்கு சீரான வெட்டு திரவ விநியோகத்தை பராமரிப்பது மிக முக்கியம்.
சீரற்ற அல்லது போதுமான திரவ ஓட்டம் நேரடியாக வேஃபர் உறிஞ்சுதலுக்கு வழிவகுக்கிறது, அங்கு போதுமான உயவு இல்லாததால் வேஃபர் விரும்பத்தகாத வகையில் உபகரணங்களுடன் ஒட்டிக்கொள்கிறது. இது வெட்டும் செயல்முறையை சீர்குலைப்பது மட்டுமல்லாமல், வேஃபர் உடைப்பு அல்லது சேதத்தின் அபாயத்தையும் அதிகரிக்கிறது. வைர கம்பி வெட்டும் திரவத்திலிருந்து கம்பி மற்றும் வேஃபர் தொடர்ச்சியான உயவு மற்றும் குளிரூட்டலைப் பெறாதபோது மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது. சேதமடைந்த மேற்பரப்புகள் மற்றும் நுண்ணிய குறைபாடுகள் வேஃபர் தரம் மற்றும் மகசூலைக் குறைக்கின்றன, இது குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்களுக்கு பெரும் தடைகளை ஏற்படுத்துகிறது.
நுண்ணிய அளவிலான அறுக்கும் இடைவெளியில் திரவ ஊடுருவலை மூன்று முக்கிய காரணிகள் பாதிக்கின்றன: கம்பி வடிவியல், வெட்டு வேகம் மற்றும் தந்துகி செயல்பாடு. கம்பி வடிவியல் - குறிப்பாக கம்பி விட்டம் மற்றும் வைர தானியங்களின் விநியோகம் - சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் திரவம் எவ்வளவு எளிதாக பாய்கிறது மற்றும் தொடர்பு மண்டலத்தில் ஒட்டிக்கொள்கிறது என்பதை நேரடியாக பாதிக்கிறது. 40 µm க்கும் குறைவான கம்பிகளைப் பயன்படுத்தும் போது, சிறிய மேற்பரப்பு பகுதி திரவத்தின் இலவச இயக்கத்தை கட்டுப்படுத்துகிறது. அதிக வெட்டு வேகம் திரவம் இடைமுகத்தை அடைந்து குளிர்விப்பதற்கான கிடைக்கக்கூடிய நேரத்தைக் குறைக்கிறது, இது உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட அதிக வெப்பமடைதல் மற்றும் மோசமான உயவுக்கு வழிவகுக்கிறது. கேபிலரி செயல்பாடு, திரவத்தை குறுகிய இடைவெளிகளுக்குள் இழுக்கும் இயற்கையான திறன், திரவ தக்கவைப்பை வலுவாக தீர்மானிக்கிறது. இருப்பினும், திரவ போக்குவரத்தை மேம்படுத்தும் அதே திரவ பாலங்கள் அருகிலுள்ள கம்பிகளுக்கு இடையில் தந்துகி ஒட்டுதலை அறிமுகப்படுத்தலாம், இதனால் சீரான பதற்றம் மற்றும் அதிகரிக்கும் வேஃபர் தடிமன் மாறுபாடு ஏற்படுகிறது.
மேம்பட்ட வேஃபர் வெட்டும் திரவ வகைகளின் அறிமுகம் - நானோ துகள்களால் மேம்படுத்தப்பட்ட தீர்வுகள் உட்பட - அளவிடக்கூடிய மேம்பாடுகளை வழங்குகிறது. SiO₂ அல்லது SiC நானோ துகள்களால் வடிவமைக்கப்பட்ட திரவங்கள் உகந்த பாகுத்தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு தொடர்பு காரணமாக குறுகிய இடைவெளிகளை மிகவும் திறம்பட ஊடுருவுகின்றன. இந்த திரவங்கள் உயவுத்தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன மற்றும் வெப்பத்தை மிகவும் திறமையாக எடுத்துச் செல்கின்றன, இதன் விளைவாக குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மற்றும் மேம்பட்ட வேஃபர் தட்டையானது ஏற்படுகிறது. நானோ துகள்கள் நிறைந்த திரவங்களைப் பயன்படுத்துவது வெட்டும்போது வெப்பநிலை புலத்தை மாற்றியமைக்கிறது, வேஃபர் ஒருமைப்பாட்டை அச்சுறுத்தும் அழுத்தங்களை மேலும் குறைக்கிறது என்று ஆராய்ச்சி காட்டுகிறது. இது, தந்துகி போக்குவரத்தை பெருக்க மீயொலி அதிர்வு போன்ற நுட்பங்களுடன் இணைந்து, மிகவும் சீரான வைர கம்பி வெட்டும் திரவ விநியோகத்தை அனுமதிக்கிறது.
நிலையான திரவ விநியோகத்திற்கு துல்லியமான, நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் சரிசெய்தல் தேவைப்படுகிறது. குறிப்பாக இறுக்கமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறைகளில், உயர் துல்லியமான தொழில்துறை வெட்டு திரவ ஓட்ட அளவீடு அவசியமாகிறது. உயர் துல்லியம் கொண்ட கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட அளவீட்டு சென்சார் போன்ற வெட்டு திரவ ஓட்ட மீட்டரை செயல்படுத்துவது, விநியோக விகிதத்தை துல்லியமாக ஒழுங்குபடுத்த உதவுகிறது. லோன்மீட்டரின் இன்லைன் அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை மீட்டர்கள், துல்லியமான ஓட்ட விகித அளவீட்டு கருவிகளுடன் இணைக்கப்படும்போது, திரவ விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதற்கு பங்களிக்கின்றன, இதனால் மெல்லிய வேஃபர்கள் கூட குறைந்தபட்ச குறைபாடு அபாயத்துடன் சீராக வெட்டப்படுகின்றன.
வேஃபர் வெட்டும் செயல்பாடுகளில் திரவ ஓட்ட அளவீடு
சிலிக்கான் வேஃபர்களின் வைர கம்பி வெட்டுதலில் வெட்டும் திரவ விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதற்கு துல்லியமான ஓட்ட விகித அளவீடு அடிப்படையாகும். சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் திரவத்தின் செயல்திறன் நேரடியாக தொடர்பு இடைமுகத்தில் குளிரூட்டல், உயவு மற்றும் குப்பைகள் அகற்றலை வடிவமைக்கிறது, இது வேஃபர் மேற்பரப்பு தரம், கெர்ஃப் இழப்பு மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி மகசூலை பாதிக்கிறது. போதுமான அல்லது அதிகப்படியான ஓட்டம் சிராய்ப்பு செயல்திறனை மாற்றுகிறது, கருவி தேய்மானத்தை அதிகரிக்கிறது மற்றும் சீரற்ற வேஃபர் தரம் அல்லது அதிக வள செலவுகளை ஏற்படுத்தும். வழக்கமான ஒற்றை-வயர் இயந்திரங்களுக்கு உகந்த 0.15–0.25 L/min வரம்பிற்குள் வெட்டும் திரவ ஓட்ட விகிதத்தை பராமரிப்பதன் மூலம் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை (Ra) மற்றும் நிலத்தடி சேதத்தை குறைக்க முடியும் என்று அனுபவ ஆராய்ச்சி சுட்டிக்காட்டுகிறது, ஏனெனில் போதுமான ஓட்டம் மைக்ரோகிராக்குகள் மற்றும் குப்பைகள் குவிப்புக்கு வழிவகுக்கிறது, அதே நேரத்தில் அதிகப்படியான ஓட்டம் கொந்தளிப்பு மற்றும் தேவையற்ற நுகர்வுக்கு வழிவகுக்கிறது.
திரவ ஓட்ட விகித அளவீட்டைக் குறைப்பதற்கான தொழில்நுட்பங்கள்
கட்டிங் ஃப்ளூயிட் ஃப்ளோ மீட்டர்கள், ஃப்ளூயிட் சப்ளை லைன்களில் ஒருங்கிணைக்கப்பட்டு, வைர கம்பி வெட்டும் ஃப்ளூயிட் வழங்கப்பட்ட அளவை நிகழ்நேரத்தில் அளவிடுகின்றன. பொதுவான ஃப்ளோ மீட்டர் தொழில்நுட்பங்களில் மெக்கானிக்கல், எலக்ட்ரானிக் மற்றும் அல்ட்ராசோனிக் வகைகள் அடங்கும்:
- டர்பைன் மற்றும் துடுப்பு சக்கர வடிவமைப்புகள் போன்ற இயந்திர ஓட்ட மீட்டர்கள், திரவ ஓட்டத்தால் இடம்பெயர்க்கப்பட்ட சுழலும் கூறுகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. அவை எளிமையானவை மற்றும் உறுதியானவை, ஆனால் சிராய்ப்பு நிறைந்த திரவங்களால் தேய்மானத்திற்கு ஆளாகின்றன.
- மின்னணு ஓட்ட மீட்டர்கள், குறிப்பாக மின்காந்த வடிவமைப்புகள், மின்காந்த தூண்டலின் கொள்கைகளைப் பயன்படுத்தி திரவ வேகத்தை அளவிடுகின்றன, கடத்தும் திரவங்களுக்கு நம்பகமான, பராமரிப்பு-ஒளி செயல்பாட்டை வழங்குகின்றன.
- மீயொலி ஓட்ட மீட்டர்கள் குழாய் முழுவதும் பரவும் மற்றும் பெறப்படும் உயர் அதிர்வெண் ஒலி அலைகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. ஓட்டத்துடன் மற்றும் எதிராக ஒலி போக்குவரத்தின் நேர வேறுபாட்டை அளவிடுவதன் மூலம், இந்த சாதனங்கள் பல்வேறு வேஃபர் வெட்டும் திரவ வகைகளுக்கு ஏற்ற ஊடுருவாத, துல்லியமான அளவீட்டை வழங்குகின்றன.
பாகுத்தன்மை அல்லது வெப்பநிலை மாற்றங்களைப் பொருட்படுத்தாமல், திரவ நிறை துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் பயன்பாடுகளில் கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட அளவீடு தனித்து நிற்கிறது. கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட உணரிகள் கோரியோலிஸ் விளைவை அடிப்படையாகக் கொண்டு நிறை ஓட்ட விகிதத்தை நேரடியாக அளவிடுகின்றன, இது நீர் சார்ந்த மற்றும் எண்ணெய் சார்ந்த வைர கம்பி வெட்டும் திரவங்களுக்கு அதிக துல்லியம் மற்றும் பொருத்தத்தை வழங்குகிறது. லோன்மீட்டர் இன்லைன் அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை மீட்டர்களை உற்பத்தி செய்கிறது, இது சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டலில் நிலைத்தன்மை மற்றும் உகந்த செயல்முறை கட்டுப்பாட்டிற்கான திரவ பண்புகளை மேலும் கண்காணிக்க உதவுகிறது.
முக்கியமான அளவீட்டு அளவுருக்கள் மற்றும் சென்சார் இடம்
வேஃபர் வெட்டலில் வெட்டும் திரவ ஓட்டத்தின் துல்லியமான அளவீட்டிற்கு பல முக்கிய அளவுருக்களுக்கு கவனம் தேவை:
- ஓட்ட விகிதம் (லி/நிமிடம்): செயல்முறை உகப்பாக்கம் மற்றும் தர உத்தரவாதத்திற்கான முதன்மை அளவீடு.
- அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை: இரண்டும் குளிரூட்டும் செயல்திறன், சிராய்ப்பு போக்குவரத்து மற்றும் குப்பைகள் அகற்றுதல் ஆகியவற்றை கணிசமாக பாதிக்கின்றன.
- வெப்பநிலை: வெட்டப்பட்ட இடத்தில் பாகுத்தன்மை மற்றும் திரவ நடத்தையை பாதிக்கிறது.
சென்சார் இடம் மிக முக்கியமானது. வெட்டு இடைமுகத்திற்கு முன் குழாய் எதிர்ப்பு, கசிவு அல்லது ஆவியாதல் காரணமாக ஏற்படும் முரண்பாடுகளைக் குறைக்க, ஓட்ட அளவீட்டு சென்சார்கள் வெட்டு மண்டலத்திற்கு முடிந்தவரை நெருக்கமாக திரவ விநியோக வரிசையில் நேரடியாக நிலைநிறுத்தப்பட வேண்டும். நிகழ்நேர இன்லைன் அளவீடு, அறிக்கையிடப்பட்ட ஓட்ட மதிப்பு வைர கம்பி வெட்டும் பகுதிக்கு உண்மையான விநியோகத்துடன் பொருந்துவதை உறுதி செய்கிறது.
உகந்த வெட்டு சூழல்களைப் பராமரிப்பதில் ஓட்ட அளவீட்டின் செயல்பாடு
தொழில்துறை சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டுதலில் திரவ விநியோகத்தின் நிகழ்நேர கண்காணிப்பு மற்றும் தகவமைப்பு கட்டுப்பாட்டிற்கு ஓட்ட அளவீட்டு உணரிகள் அவசியம். உகந்த ஓட்ட விகிதத்தை பராமரிப்பது போதுமான வெப்பச் சிதறல், தொடர்ச்சியான குப்பைகள் வெளியேற்றம் மற்றும் வைர கம்பியில் சீரான உயவு ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது. இது இல்லாமல், செயல்முறை நிலைத்தன்மை குறைகிறது, கம்பி ஆயுள் குறைகிறது, மேலும் மேற்பரப்பு குறைபாடுகள் அல்லது அதிகப்படியான கெர்ஃப் இழப்பு ஏற்படும் அபாயம் காரணமாக விளைச்சல் பாதிக்கப்படுகிறது.
உயர் துல்லியமான ஓட்ட விகித அளவீட்டை பிற பின்னூட்ட அளவுருக்களுடன் (எ.கா., கம்பி வேகம், ஊட்ட விகிதம்) ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் செயல்முறை வரம்பின் தகவமைப்பு கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்த முடியும், ஓட்ட விகித சரிசெய்தல்களை கவனிக்கப்பட்ட வெட்டு செயல்திறனுடன் நேரடியாக இணைக்க முடியும். இதன் விளைவாக, திட்டமிடப்பட்ட ஓட்ட உறையிலிருந்து ஏதேனும் விலகல் உடனடி சரிசெய்தல் நடவடிக்கையைத் தூண்டுகிறது, இது செயல்முறை தரம் மற்றும் வள செயல்திறன் இரண்டையும் பாதுகாக்கிறது.
சுருக்கமாக, தொழில்துறை வெட்டு திரவ ஓட்ட அளவீடு - வலுவான ஓட்ட அளவீட்டு உணரிகள் மற்றும் நிகழ்நேர தரவை நம்பியிருப்பது - வைர கம்பி வெட்டும் சகாப்தத்தில் அதிக மகசூல், செலவு குறைந்த சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்திக்கு ஒரு மூலக்கல்லாக செயல்படுகிறது.
கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட அளவீடு: கோட்பாடுகள் மற்றும் பயன்பாடு
கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட அளவீடு, அதிர்வுறும் குழாய்கள் வழியாக திரவம் நகரும்போது ஏற்படும் சக்தியைக் கண்டறிவதை அடிப்படையாகக் கொண்டது. வைர கம்பி வெட்டும் திரவம் அல்லது சிறப்பு சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் திரவம் போன்ற திரவம் பாயும்போது, குழாய்கள் ஒரு சிறிய, அளவிடக்கூடிய கட்ட மாற்றத்தை அனுபவிக்கின்றன. இந்த மாற்றம் நிறை ஓட்ட விகிதத்திற்கு விகிதாசாரமாகும், இது வழங்கப்படும் வெட்டும் திரவத்தின் நிறைவின் நேரடி, நிகழ்நேர அளவீட்டை வழங்குகிறது. அதே கொள்கை திரவ அடர்த்தியை ஒரே நேரத்தில் அளவிட அனுமதிக்கிறது, மாறிவரும் திரவ வகைகள், கலவைகள் மற்றும் வெப்பநிலைகளில் அதிக துல்லியத்தை ஆதரிக்கிறது - சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் வைர கம்பி வெட்டும் பயன்பாடுகளில் இது ஒரு முக்கியமான தேவை.
வேஃபர் வெட்டும் திரவ வகைகளுக்கு, குறிப்பாக உயர் செயல்திறன் கொண்ட வைர கம்பி வெட்டும் திரவங்களைப் பயன்படுத்தும் போது, இந்த அணுகுமுறையின் நன்மைகள் கணிசமானவை. கோரியோலிஸ் ஓட்ட அளவீடு திரவ பாகுத்தன்மை மற்றும் கலவை மாற்றங்களிலிருந்து சுயாதீனமானது, சிராய்ப்பு துகள்கள், நானோ-சேர்க்கைகள் அல்லது சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்கான வெட்டு திரவங்களில் பெரும்பாலும் காணப்படும் பன்முகத்தன்மை கொண்ட கலவைகள் ஆகியவற்றின் முன்னிலையில் மிகவும் துல்லியமாக உள்ளது. இந்த வலிமையானது, குமிழ்கள், இடைநிறுத்தப்பட்ட துகள்கள் மற்றும் மேம்பட்ட வெட்டு திரவங்களின் மாறும் இயற்பியல் பண்புகளால் பாதிக்கப்படக்கூடிய பாரம்பரிய அளவீட்டு ஓட்ட முறைகளை விட இதை சிறந்ததாக ஆக்குகிறது.
சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்கான வெட்டும் திரவத்தின் நம்பகமான கண்காணிப்பை உறுதி செய்வதற்காக, குறைக்கடத்தி வேஃபர் வெட்டுதல், மேம்பட்ட திரவ ஓட்ட சென்சார் தொழில்நுட்பத்தை அதிகளவில் நம்பியுள்ளது. கோரியோலிஸ் விளைவைப் பயன்படுத்தும் லோன்மீட்டர் இன்லைன் மாஸ் ஃப்ளோ சென்சார்கள், செயல்முறை வரிகளில் நேரடியாக செயல்படுத்தப்படுகின்றன. இது வேஃபர் வெட்டலின் போது நானோ-திரவம் மற்றும் வைர கம்பி வெட்டும் திரவத்தின் துல்லியமான விநியோகத்தையும் கண்காணிப்பையும் செயல்படுத்துகிறது. திரவச் சிதைவு, கலவை முரண்பாடுகள் அல்லது அடர்த்தி மாற்றங்களின் அறிகுறிகள் உடனடியாகக் கண்டறியப்படுகின்றன, இது செயல்முறை மகசூல் மற்றும் மேற்பரப்பு தரத்தை பராமரிக்க உடனடி கட்டுப்பாட்டு தலையீடுகளை அனுமதிக்கிறது.
கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட உணரிகளை வெப்ப, மின்காந்த அல்லது மீயொலி ஓட்ட அமைப்புகள் போன்ற பிற வெட்டு திரவ கண்காணிப்பு உணரிகளுடன் ஒப்பிடுவது பல பலங்களை வெளிப்படுத்துகிறது. கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட உணரிகள் உயர் துல்லியமான ஓட்ட அளவீட்டில் சிறந்து விளங்குகின்றன மற்றும் பாகுத்தன்மை ஏற்ற இறக்கங்கள் அல்லது காந்த பண்புகளால் பாதிக்கப்படாத நிறை அடிப்படையிலான அளவீடுகளை வழங்குகின்றன. மின்காந்த மற்றும் மீயொலி மீட்டர்கள் நானோ துகள்கள், காற்றுப் பைகள் அல்லது நிமிட அடர்த்தி மாறுபாடுகளைக் கொண்ட திரவ கலவைகளை வெட்டுவதில் சிரமப்படுகின்றன, இது பெரும்பாலும் நம்பமுடியாத ஓட்ட விகித அளவீடு மற்றும் அதிகரித்த பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணுக்கு வழிவகுக்கிறது.
கோரியோலிஸ் ஓட்ட மீட்டர் துல்லியம் மாறிவரும் திரவ கலவைகளின் கீழ் பராமரிக்கப்படுகிறது, ஏனெனில் சமிக்ஞை செயலாக்கம் மற்றும் வெப்பநிலை இழப்பீட்டுத் திட்டங்கள் சத்தம் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாறுபாட்டை திறம்பட வடிகட்டுகின்றன. ஆபரேட்டர்கள் குளிரூட்டல், உயவு மற்றும் துகள் நீக்கத்தை மேம்படுத்த நிகழ்நேர தரவைப் பயன்படுத்தி, வெவ்வேறு வேஃபர் வெட்டும் திரவ வகைகள் மற்றும் நானோஃப்ளூயிட் கலவைகளின் பல்வேறு பண்புகளுக்கு பதிலளிக்கலாம்.
கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட அளவீட்டை மிக மெல்லிய கம்பி அறுக்கும் மற்றும் நானோ துகள்களைப் பயன்படுத்தி திரவங்களை வெட்டுவதற்கு ஏற்ப மாற்றுவது தொழில்துறை கண்காணிப்பில் ஒரு மாற்றத்தைக் குறிக்கிறது. துகள் உள்ளடக்கம் அல்லது திரவ பன்முகத்தன்மையைப் பொருட்படுத்தாமல், சென்சார்கள் உண்மையான நிறை ஓட்டம் மற்றும் அடர்த்தியை நம்பத்தகுந்த முறையில் அளவிடுகின்றன, மூடிய-லூப் கட்டுப்பாடு மற்றும் வேஃபர் வெட்டுவதற்கு ஏற்ற தானியங்கி திரவ மேலாண்மையை செயல்படுத்துகின்றன. இந்த உயர் துல்லியமான ஓட்ட அளவீட்டு நிலை செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதற்கும், பொருள் இழப்பைக் குறைப்பதற்கும், சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் வைர கம்பி வெட்டும் செயல்முறைகளின் போது மேற்பரப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாப்பதற்கும் மையமாக உள்ளது.
செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டில் ஓட்ட அளவீட்டுத் தரவை ஒருங்கிணைத்தல்
சிலிக்கான் வேஃபர்களின் வைர கம்பி வெட்டும் போது கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட உணரிகளைப் பயன்படுத்தி நிகழ்நேர ஓட்ட அளவீடு, வெட்டும் திரவ மேலாண்மையை மாற்றியுள்ளது. லோன்மீட்டரால் தயாரிக்கப்பட்டதைப் போலவே, இன்லைன் அடர்த்தி மற்றும் பாகுத்தன்மை மீட்டர்கள், திரவ பண்புகள் மற்றும் ஓட்ட விகிதத்தை உடனடியாகக் கண்காணிக்க உதவுகின்றன, துல்லியமான செயல்முறை கட்டுப்பாட்டை நேரடியாக ஆதரிக்கின்றன.
வைரக் கம்பி மற்றும் சிலிக்கான் வேஃபர்களின் பயனுள்ள குளிர்வித்தல், சுத்தம் செய்தல் மற்றும் உயவு ஆகியவற்றிற்கு உகந்த ஓட்ட விகிதங்களைப் பராமரிப்பது அவசியம். கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட மீட்டர்கள், நிறை ஓட்டம் மற்றும் திரவ பண்புகள் குறித்த உயர் துல்லியமான, நிகழ்நேர கருத்துக்களை வழங்குவதன் மூலம் இந்த சூழலில் சிறந்து விளங்குகின்றன. இந்தத் தரவைக் கொண்டு, தானியங்கி அமைப்புகள் பம்ப் வேகம், வால்வு நிலைகள் அல்லது மறுசுழற்சி விகிதங்களை சரிசெய்யலாம், இதனால் வேஃபர் வெட்டும் திரவத்தின் தேவையான அளவு மற்றும் கலவையை துல்லியமாக வழங்க முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, விரைவான வெட்டு சுழற்சிகளின் போது, சென்சார் தரவு மேம்பட்ட குப்பைகள் அகற்றுதல் மற்றும் குளிரூட்டலுக்கு அதிகரித்த திரவ விநியோகத்தைத் தூண்டலாம், அதே நேரத்தில் மெதுவான சுழற்சிகளுக்கு கழிவுகளைத் தவிர்க்க குறைந்த ஓட்டம் தேவைப்படலாம்.
மாறிவரும் திரவ நிலைகளுக்கு எதிர்வினையாற்றுவதற்கு ஓட்ட அளவீட்டு உணரிகளின் கருத்தும் மிக முக்கியமானது. வெப்பநிலை மாற்றங்கள் அல்லது மாசுபாடு காரணமாக திரவ பாகுத்தன்மை அல்லது அடர்த்தி மாறும்போது - லோன்மீட்டரின் இன்லைன் மீட்டர்கள் இந்த மாறுபாடுகளை உடனடியாகக் கண்டறிந்து, கட்டுப்பாட்டு அமைப்புகள் ஓட்ட விகிதங்களை சரிசெய்வதன் மூலமோ அல்லது திரவ வடிகட்டுதலைத் தொடங்குவதன் மூலமோ ஈடுசெய்ய அனுமதிக்கிறது. இந்த நுணுக்கமான, தரவு சார்ந்த அணுகுமுறை உகந்த வெட்டு செயல்திறனுக்காக திரவம் இறுக்கமான விவரக்குறிப்புகளுக்குள் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.
அதிக அளவுள்ள சூழல்களில், நிகழ்நேரத்தில் வெட்டும் திரவ ஓட்டத்தைக் கண்காணித்து கட்டுப்படுத்தும் திறன், நிலையான தடிமனை ஆதரிக்கிறது மற்றும் ஆசியா மற்றும் ஐரோப்பாவில் முன்னணி உற்பத்தி வரிகளில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, விலையுயர்ந்த குறைபாடுகள் ஏற்படுவதைக் குறைக்கிறது. மேம்பட்ட திரவ மேலாண்மை, முன்கணிப்பு பராமரிப்பையும் ஆதரிக்கிறது, வைர கம்பி ஆயுளை நீடிக்கிறது.
தொழில்துறை செயல்பாடுகள் ஓட்டத்தால் கட்டுப்படுத்தப்படும் வெட்டும் திரவ அமைப்புகளிலிருந்து கணிசமாக பயனடைகின்றன. திறமையான திரவ மேலாண்மை, ஒவ்வொரு வேஃபருக்கும் போதுமான திரவம் பயன்படுத்தப்படுவதை உறுதி செய்வதன் மூலம் நுகர்வு மற்றும் அகற்றல் செலவுகளைக் குறைக்கிறது, இது நிலைத்தன்மை மற்றும் ஒழுங்குமுறை இணக்கத்தை ஆதரிக்கிறது. சென்சார் தரவின் அடிப்படையில் தொடர்ச்சியான கருத்து மற்றும் சரிசெய்தல் மூலம் செயல்படுத்தப்படும் திரவக் கழிவுகளைக் குறைத்தல், குறைந்த செயல்பாட்டுச் செலவுகள் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட சுற்றுச்சூழல் தடயத்திற்கு வழிவகுக்கிறது.
சுருக்கமாக, லோன்மீட்டரின் இன்லைன் தீர்வுகளால் செயல்படுத்தப்பட்ட நிகழ்நேர ஓட்ட அளவீட்டுத் தரவின் ஒருங்கிணைப்பு, வேஃபர் தர உத்தரவாதத்திற்கான ஒரு மூலக்கல்லாக மட்டுமல்லாமல், வைர கம்பி வெட்டும் செயல்முறைக்கான செயல்பாட்டு நன்மையாகவும் உள்ளது. இது மேற்பரப்பு பூச்சு, இயந்திர நம்பகத்தன்மை, உற்பத்தி மகசூல் மற்றும் செலவு செயல்திறன் ஆகியவற்றில் அளவிடக்கூடிய முன்னேற்றங்களை வழங்குகிறது.
பரிசோதனை நுண்ணறிவு மற்றும் தொழில்துறை வழிகாட்டுதல்
சமீபத்திய சோதனை ஆய்வுகள் சிலிக்கான் வேஃபர்களின் வைர கம்பி வெட்டுதலுக்கான திரவ விநியோகத்தில் சிறந்த நடைமுறைகளை மறுவடிவமைத்துள்ளன. குறிப்பாக மேம்பட்ட நுட்பங்களைப் பயன்படுத்தி துல்லியமாக நிர்வகிக்கப்பட்ட வெட்டு திரவ விநியோகம், குறைந்த வேஃபர் உறிஞ்சுதல் மற்றும் சிறந்த மேற்பரப்பு தரத்துடன் நேரடியாக தொடர்புடையது என்று ஆராய்ச்சி காட்டுகிறது.
திரவ விநியோகத்தில் மீயொலி நுண்குழாய் விளைவைப் பயன்படுத்துவது ஒரு பெரிய மாற்றமாக உருவெடுத்துள்ளது. மீயொலி அலைகள், பாரம்பரிய விநியோக முறைகள் பெரும்பாலும் தோல்வியடையும் மிக மெல்லிய கெர்ஃப்களில் - குறிப்பாக 50 μm க்கும் குறைவான பகுதிகளில் - திரவத்தை ஆழமாக வெட்டுவதற்கு இயக்குகின்றன. இந்த மேம்படுத்தப்பட்ட ஊடுருவல், சிராய்ப்புத் துகள்கள் மற்றும் குப்பைகளை வேஃபர் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சுவதை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. மீயொலி உதவியுடன் திரவ விநியோகத்திற்கு உட்படுத்தப்பட்ட வேஃபர்கள் அளவிடக்கூடிய அளவுக்கு குறைவான மேற்பரப்பு குறைபாடுகளைக் காட்டுகின்றன, இதனால் கீழ்நிலை செயல்முறைகளில் அதிக மகசூல் மற்றும் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றை அனுபவ சோதனைகள் விளக்குகின்றன.
திரவ விநியோகத்தை குறைப்பதில் மீயொலி மேம்பாடு மற்றும் நானோ-திரவ தொழில்நுட்பங்கள் இரண்டின் நன்மைகளையும் அதிகரிக்க அளவுரு உகப்பாக்கம் மிகவும் முக்கியமானது. முக்கிய அளவுருக்கள் பின்வருமாறு:
- தட்டு தூரம்: உகந்த திரவ உயர்வுக்கு திரவ நீர்த்தேக்கத்திற்கும் வெட்டு மண்டலத்திற்கும் இடையிலான இடைவெளியைக் குறைக்க வேண்டும்.
- மீயொலி மின்மாற்றியின் நிலை மற்றும் அமைவு இணைத்தன்மை: தெளிவாக வரையறுக்கப்பட்ட வடிவியல் சீரான அலை பரிமாற்றத்தையும் தந்துகி செயல்பாட்டையும் உறுதி செய்கிறது.
- திரவ வெப்பநிலை: கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்பமாக்கல் திரவ இயக்கம் மற்றும் நுண்குழாய் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.
- மீயொலி பயன்பாட்டின் கால அளவு மற்றும் அதிர்வெண்: சரியான நேரம் அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்கிறது, அதே நேரத்தில் ஊடுருவலை அதிகரிக்கிறது.
- திரவ வகை தேர்வு: வெவ்வேறு அடிப்படை திரவங்கள் மற்றும் சேர்க்கைகள் மீயொலி தூண்டுதலுக்கு தனித்துவமாக பதிலளிக்கின்றன.
நானோஃப்ளூயிட் தொழில்நுட்பம் மற்றொரு பெரிய முன்னேற்றத்தை அறிமுகப்படுத்துகிறது. SiO2 மற்றும் SiC போன்ற நானோ துகள்களால் உட்செலுத்தப்பட்ட வெட்டும் திரவங்கள் மேம்பட்ட வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயவுத்தன்மையைக் காட்டுகின்றன. இந்த மாற்றம் மிகவும் பயனுள்ள குளிர்ச்சி, மேம்பட்ட குப்பைகள் அகற்றுதல் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட வேஃபர் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மைக்கு வழிவகுக்கிறது. கலப்பு நானோ-துகள் சூத்திரங்கள் ஒருங்கிணைந்த மேம்பாடுகளை வழங்குகின்றன, வார்பேஜ் மேலும் குறைக்கின்றன மற்றும் ஒற்றை வகை அல்லது வழக்கமான வெட்டும் திரவங்களை விட சிறந்த வேஃபர் உருவ அமைப்பை உருவாக்குகின்றன என்று தரவு குறிப்பிடுகிறது.
தங்கள் வெட்டு திரவ செயல்திறனை மேம்படுத்த விரும்பும் உற்பத்தியாளர்கள் பின்வரும் செயல்பாட்டு வழிகாட்டுதல்களை செயல்படுத்தலாம்:
- வெட்டும் திரவ நிலைத்தன்மையைக் கண்காணிக்கவும் கட்டுப்படுத்தவும் இன்லைன் அடர்த்தி மீட்டர்கள் மற்றும் பாகுத்தன்மை மீட்டர்கள் (லோன்மீட்டரில் இருந்து வந்தவை போன்றவை) பயன்படுத்தவும், அல்ட்ராசோனிக் மற்றும் நானோ-உதவிக்கு ஓட்ட பண்புகள் சிறந்ததாக இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது.
- உயர் துல்லிய ஓட்ட அளவீட்டு உணரியைப் பயன்படுத்தி வெட்டும் திரவ ஓட்ட விகிதங்களைக் கண்காணித்து சரிசெய்யவும். கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட அளவீடு தொழில்துறை வெட்டும் திரவ ஓட்ட அளவீட்டிற்கு மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும், அடர்த்தி மற்றும் அளவு இரண்டிற்கும் நிகழ்நேர துல்லியத்தை வழங்குகிறது.
- நம்பகமான அளவீடுகளைப் பராமரிக்க, நிலையான வேஃபர் செயலாக்கத்திற்கு முக்கியமான, ஓட்ட அளவீட்டு உணரிகளை தொடர்ந்து அளவீடு செய்யுங்கள்.
- குறிப்பிட்ட வேஃபர் அளவு, வைர கம்பி பண்புகள் மற்றும் செயல்பாட்டு சூழலுக்கு பொருந்தக்கூடிய வேஃபர் வெட்டும் திரவ வகைகள் மற்றும் நானோ துகள் செறிவுகளைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.
கம்பி வேகத்தை அதிகரித்தல் அல்லது ஊட்ட விகிதத்தை சரிசெய்தல் போன்ற ஒற்றை-காரணி அளவுரு மாற்றங்கள் கம்பி தேய்மானம், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மற்றும் மொத்த தடிமன் மாறுபாடு (TTV) ஆகியவற்றில் ஏற்படும் மாற்றங்களுடன் தொடர்புடையவை என்பதை ஒப்பீட்டு ஆய்வுகள் உறுதிப்படுத்துகின்றன. ஓட்ட துல்லியத்தையும் விரைவான, பதிலளிக்கக்கூடிய திரவ விநியோகத்தையும் பராமரிப்பது குறைபாடுகளைக் குறைப்பதற்கும் கம்பி ஆயுளை நீடிப்பதற்கும் இன்றியமையாதது.
அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள்
சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் திரவம் வைர கம்பி வெட்டும் செயல்திறனை எவ்வாறு மேம்படுத்துகிறது?
சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் திரவம் வைர கம்பி வெட்டுவதில் ஒரு மசகு எண்ணெய் மற்றும் குளிரூட்டியாக செயல்படுகிறது. இதன் முதன்மை செயல்பாடு உராய்வைக் குறைப்பதும், கம்பி-வேஃபர் இடைமுகத்தில் உருவாகும் வெப்பத்தை வெளியேற்றுவதும் ஆகும். குறைந்த உராய்வு மற்றும் வெப்பநிலை மைக்ரோகிராக்குகள் மற்றும் மேற்பரப்பு கீறல்களைக் குறைக்கிறது, இது வேஃபர் சேதத்திற்கு வழிவகுக்கும் மற்றும் ஒட்டுமொத்த மகசூலைக் குறைக்கும். திரவம் வெட்டும் பகுதியிலிருந்து குப்பைகளை எடுத்துச் செல்கிறது, வைர கம்பி மற்றும் வேஃபர் மேற்பரப்பை சுத்தமாக வைத்திருக்கிறது. துகள்களின் இந்த தொடர்ச்சியான நீக்கம் மென்மையான வேஃபர் மேற்பரப்புகளுக்கு வழிவகுக்கிறது மற்றும் நிலையான, உயர்தர உற்பத்தியை ஆதரிக்கிறது. எடுத்துக்காட்டாக, SiO₂ மற்றும் SiC நானோ துகள்களுடன் மேம்படுத்தப்பட்ட நானோ-வெட்டும் திரவங்கள் கெர்ஃபில் ஆழமாக ஊடுருவி, மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மற்றும் வேஃபர் வார்பேஜைக் குறைத்து, குறைக்கடத்தி பயன்பாட்டிற்கான வேஃபர் வெளியீட்டை மேலும் மேம்படுத்துகிறது.
வெட்டும் திரவ ஓட்ட மீட்டர் என்றால் என்ன, அது வேஃபர் அறுக்கும் போது ஏன் முக்கியமானது?
ஒரு வெட்டு திரவ ஓட்ட மீட்டர், அறுக்கும் மண்டலத்திற்கு வழங்கப்படும் திரவத்தின் சரியான அளவை அளவிடுகிறது. போதுமான உயவு, வெப்பச் சிதறல் மற்றும் குப்பைகள் அகற்றலுக்கு துல்லியமான ஓட்டத்தை பராமரிப்பது மிக முக்கியம். ஓட்டம் மிகக் குறைவாக இருந்தால், கம்பி அதிக வெப்பமடைகிறது அல்லது குப்பைகளைக் குவிக்கிறது, இதனால் கீறல்கள் மற்றும் எலும்பு முறிவுகள் ஏற்படுகின்றன. அதிகப்படியான ஓட்டம் திரவத்தை வீணாக்கி அழுத்த ஏற்றத்தாழ்வுகளை உருவாக்கி, வேஃபர் தட்டையான தன்மை மற்றும் கருவி ஆயுளை பாதிக்கிறது. லோன்மீட்டரால் தயாரிக்கப்படும் இன்லைன் அடர்த்தி மீட்டர்கள் மற்றும் பாகுத்தன்மை மீட்டர்கள் போன்ற திரவ ஓட்ட மீட்டர்களை வெட்டுவது, ஆபரேட்டர்கள் உண்மையான நேரத்தில் விநியோகத்தைக் கண்காணிக்கவும் சரிசெய்யவும் உதவுகிறது. இது செயல்முறை உகந்த அளவுருக்களுக்குள் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, வேஃபர் மகசூலை அதிகரிக்கிறது மற்றும் கருவி தேய்மானத்தைக் குறைக்கிறது.
கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட அளவீடு சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் திரவக் கட்டுப்பாட்டிற்கு எவ்வாறு பயனளிக்கிறது?
சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்தியில் உயர் துல்லிய ஓட்ட அளவீட்டிற்கு கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட அளவீடு விலைமதிப்பற்றது. பாரம்பரிய ஓட்ட மீட்டர்களைப் போலன்றி, கோரியோலிஸ் சென்சார்கள் திரவ பாகுத்தன்மை, அடர்த்தி அல்லது வெப்பநிலை மாறுபாடுகளைப் பொருட்படுத்தாமல் நேரடியாக நிறை ஓட்டத்தை அளவிடுகின்றன. இந்த அம்சம் நானோ துகள்கள் உட்பட பல்வேறு வேஃபர் வெட்டும் திரவ வகைகளை துல்லியமாக கண்காணிக்க உதவுகிறது. இதன் விளைவாக, சரியான விகிதத்தில் வெட்டும் திரவத்தின் சீரான விநியோகம், செயல்முறை ஏற்ற இறக்கங்கள் இருந்தபோதிலும் நிலையான உயவு மற்றும் குளிர்ச்சியைப் பராமரித்தல். துல்லியமான கட்டுப்பாடு குறைபாடுகளைக் குறைத்து உற்பத்தித்திறனை மேம்படுத்தும் வைர கம்பி வெட்டும் பயன்பாடுகளில் உயர்ந்த வேஃபர் தரத்திற்கு இந்த நன்மைகள் நேரடியாக பங்களிக்கின்றன.
வைர கம்பி ரம்பம் பயன்பாடுகளில் ஓட்ட விகித அளவீட்டை எந்த காரணிகள் பாதிக்கின்றன?
துல்லியமான ஓட்ட விகித அளவீடு பல ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட மாறிகளைப் பொறுத்தது. சென்சார் தேர்வு முக்கியமானது; எடுத்துக்காட்டாக, கோரியோலிஸ் நிறை ஓட்ட உணரிகள் பிசுபிசுப்பு அல்லது துகள்கள் நிறைந்த திரவங்களுக்கு கூட நம்பகமான தரவை வழங்குகின்றன. திரவ கலவை - நானோ துகள்களின் இருப்பு போன்றவை - பாகுத்தன்மை மற்றும் அடர்த்தியை மாற்றக்கூடும் மற்றும் சென்சார் அளவுத்திருத்தத் தேவைகளை பாதிக்கலாம். கம்பி விட்டம் மற்றும் வெட்டும் வேகம் பயனுள்ள குளிர்விப்பு மற்றும் குப்பைகளை அகற்றுவதற்கு எவ்வளவு திரவம் தேவைப்படுகிறது என்பதையும் பாதிக்கிறது. சென்சார் உண்மையான மதிப்புகளைப் படிப்பதை உறுதி செய்வதற்கும், ஒவ்வொரு தொகுதிக்கும் சரியான அளவு வெட்டும் திரவம் பயன்படுத்தப்படுவதை உறுதி செய்வதற்கும் ஒவ்வொரு குறிப்பிட்ட செயல்முறைக்கும் அளவுத்திருத்தம் அவசியம்.
சிலிக்கான் வேஃபர் வெட்டும் போது நானோ திரவங்கள் மற்றும் மீயொலி நுட்பங்கள் திரவ ஊடுருவலை மேம்படுத்த முடியுமா?
நானோ-திரவங்கள், குறிப்பாக SiO₂ மற்றும் SiC நானோ துகள்கள் கொண்டவை, முக்கியமான கம்பி-வேஃபர் இடைமுகத்திற்கு திரவ விநியோகத்தின் செயல்திறனை அதிகரிக்கின்றன என்பதை ஆராய்ச்சி நிரூபிக்கிறது. இந்த துகள்கள் திரவம் நுண்ணிய இடைவெளிகளை அடைய உதவுகின்றன, சிறந்த குளிர்ச்சி மற்றும் உயவுத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. கூடுதலாக, மீயொலி தந்துகி விளைவு நுட்பங்கள் திரவ இயக்கம் மற்றும் ஊடுருவலை மேலும் மேம்படுத்துகின்றன, குறிப்பாக மிக மெல்லிய கம்பி வெட்டலில். இதன் பொருள் உகந்த செயல்திறனை அடைய குறைந்த வெட்டு திரவம் தேவைப்படுகிறது, மேலும் முடிவுகளில் குறைக்கப்பட்ட திரவ உறிஞ்சுதல், மேம்பட்ட மேற்பரப்பு உருவவியல் மற்றும் குறைந்த குறைபாடு விகிதங்கள் ஆகியவை அடங்கும். இந்த முன்னேற்றங்கள் குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த தொழில்கள் இரண்டிலும் மெல்லிய, பெரிய விட்டம் கொண்ட வேஃபர்களை நோக்கி நகர்வதை ஆதரிக்கின்றன, வெட்டும் திரவ கண்காணிப்பு சென்சார்கள் ஒவ்வொரு உற்பத்தி சுழற்சியிலும் செயல்முறை கட்டுப்படுத்தப்பட்டு சீராக இருப்பதை உறுதி செய்கின்றன.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-25-2025
