MKupunguza kiwango cha kioevu katika matangi yanayotumiwa na viwanda vya nusu-semiconductor kunahitaji suluhisho zinazostahimili msongo wa mawazo, uendeshaji unaobadilika, na udhibiti mkali wa uchafuzi. Chaguo la kipimo lazima litoe kipaumbele kutoingilia kati, mwitikio wa haraka mtandaoni, na matengenezo madogo ili kulinda mavuno na muda wa kufanya kazi.
Utoaji wa Mtandaoni Unaoendelea Unafaa kwa Udhibiti wa Mchakato na Vifungashio vya Usalama
Matokeo endelevu na ya wakati halisi ni lazima kwa udhibiti wa michakato na miingiliano ya usalama katika vifaa vya utengenezaji wa nusu-sekondi. Matokeo yanayopendelewa ni pamoja na 4–20 mA yenye HART, Modbus, au lahaja za Ethernet kwa muunganisho wa moja kwa moja wa PLC/DCS. Hakikisha kifaa kinaunga mkono hali za usalama na kengele zinazoweza kusanidiwa kwa hali ya juu/chini, kiwango cha mabadiliko, na upotevu wa mawimbi. Mfano: matokeo endelevu ya 4–20 mA yaliyofungwa kwenye solenoid ya kujaza tank huzuia kujaza kupita kiasi wakati kiwango kinapovuka kizingiti kinachoweza kupangwa.
Kinga dhidi ya Mvuke, Povu, Msukosuko, na Sifa za Vyombo vya Habari Vinavyobadilika
Matangi ya kuhifadhia yenye umbo la cryogenic hutoa blanketi za mvuke, tabaka, na msukosuko wa mara kwa mara wakati wa uhamisho. Chagua teknolojia zenye kinga kali dhidi ya mwangwi wa uongo na msukosuko wa uso.Kisambazaji cha kiwango cha radaTeknolojia na mifumo ya kupitisha kiwango cha rada ya mawimbi inayoongozwa inaweza kukataa marejesho bandia ikiwa imewekwa ipasavyo. Sisitiza usindikaji wa mawimbi unaoweza kurekebishwa, utazamaji wa mkunjo wa mwangwi, na uchujaji uliojengewa ndani ili kuepuka makosa ya kiwango yanayosababishwa na mvuke, povu, au kumwagika. Mfano: kipitisha rada kinachotumia mipangilio ya hali ya juu ya usindikaji wa mawimbi hupuuza safu ya mvuke ya muda mfupi wakati wa kuchemsha.
Kipimo cha Kiwango cha Nitrojeni Kioevu
*
Upenyaji Mdogo wa Kimitambo na Sehemu Zisizosogea
Punguza hatari ya uvujaji na matengenezo kwa kuchagua vitambuzi visivyo na sehemu zinazosogea na upenyezaji mdogo kupitia matangi ya kuhifadhia yenye insulation ya utupu. Rada isiyogusana iliyowekwa kwenye pua ya juu iliyopo huepuka probes ndefu na hupunguza uunganishaji wa joto. Chaguzi za rada ya wimbi inayoongozwa na probe fupi inaweza kutoshea flanges ndogo zilizopo bila visima virefu. Bainisha vifaa na ukubwa wa flanges unaoendana na jaketi za utupu na mihuri ya cryogenic ili kuhifadhi uadilifu wa tanki. Mfano: chagua rada isiyogusana iliyowekwa juu ili kuondoa probe ndefu ambayo ingepenya insulation.
Utambuzi, Utunzaji wa Utabiri, na Utatuzi Rahisi wa Matatizo
Visambazaji vya kiwango cha juu lazima vijumuishe uchunguzi na vifaa rahisi vya utatuzi wa matatizo ili kuongeza upatikanaji wa mitambo. Inahitaji uchunguzi ndani ya ndege kama vile onyesho la mkunjo wa mwangwi, vipimo vya nguvu ya ishara, ukaguzi wa uadilifu wa uchunguzi, na vitambuzi vya halijoto. Usaidizi wa uchunguzi wa mbali na kumbukumbu za makosa huharakisha uchanganuzi wa chanzo cha chanzo. Arifa za utabiri—kama vile nguvu ya ishara inayopungua au viashiria vya uchafuzi wa uchunguzi—husaidia kupanga uingiliaji kati kabla ya kuzima. Mfano: kisambazaji kinachorekodi kupungua kwa mwangwi taratibu kinaweza kusababisha usafishaji wa mkusanyiko kabla ya hitilafu kutokea.
Uwezo wa Kupima Viwango vya Kiolesura Katika Matukio Yanayoweza Kubadilika-badilika
Kupima violesura katika hali za kioevu/mvuke au tabaka zilizopangwa kunahitaji mbinu zinazoweza kutatua tofauti ndogo za dielektriki. Teknolojia ya kisambaza kiwango cha GWR na vifaa vya kisambaza kiwango cha rada ya mawimbi vinavyoongozwa huhisi violesura ambapo tofauti ya dielektriki ipo kati ya tabaka. Kwa nitrojeni kioevu haswa, tofauti ndogo ya dielektriki kati ya kioevu na mvuke hupunguza azimio la kiolesura; punguza hili kwa vipimo vya ziada. Changanya rada/GWR na wasifu wa halijoto, shinikizo tofauti, au vitambuzi vingi huru ili kuthibitisha nafasi ya kiolesura. Mfano: tumia kipima cha GWR kugundua kiolesura cha mafuta/LN2 huku rada iliyowekwa juu ikifuatilia kiwango cha wingi.
Utangamano na Jiometri ya Tangi, Upachikaji wa Ndani, na Ujumuishaji na Mifumo ya Udhibiti wa Kituo
Kipengele cha umbo la kitambuzi kinacholingana na matangi ya kuhifadhia yenye insulation ya utupu na nozeli zinazopatikana. Thibitisha chaguo za kupachika kwa vifaa vya juu, vya pembeni, au vifupi vya ndani. Kupachika ndani kunarejelea vitambuzi vidogo vinavyolingana na mabomba yaliyopo au flange ndogo bila probe ndefu; thibitisha michoro ya mitambo na kipenyo cha chini cha nozeli kabla ya uteuzi. Hakikisha violesura vya umeme na mawasiliano vinalingana na viwango vya kiwanda kwa mifumo endelevu ya kujaza na kutoa tangi. Inahitaji nyaya zilizoandikwa, hali ya mawimbi, na mbinu zinazopendekezwa za kutuliza kwa mazingira yenye insulation. Mfano: chagua probe ndogo ya rada ya mawimbi inayoongozwa ambayo inafaa pua ya inchi 1.5 na hutoa 4–20 mA/HART kwa DCS ya kati.
Teknolojia ya Rada ya Mawimbi Yanayoongozwa (GWR) — kanuni na nguvu za uendeshaji
Kanuni ya kipimo
GWR hutuma nguvu ndogo, microwave ya sekunde nano hupiga chini ya probe. Wakati mapigo yanapokutana na mpaka wenye kigezo tofauti cha dielectric, sehemu ya nishati huakisi nyuma. Kisambazaji hupima ucheleweshaji wa muda kati ya mapigo yaliyotumwa na yaliyorudishwa ili kuhesabu umbali hadi kwenye uso wa kioevu. Kutoka umbali huo huhesabu kiwango cha jumla au kiwango cha kiolesura. Kiwango cha kuakisi huongezeka kadri kigezo cha dielectric cha bidhaa kinavyoongezeka.
Nguvu za matangi ya kuhifadhia yenye insulation ya utupu na LN2
GWR hutoa usomaji wa ngazi moja kwa moja bila kuhitaji fidia kwa msongamano, upitishaji, mnato, pH, halijoto, au mabadiliko ya shinikizo. Uthabiti huu unafaa kwa myeyusho wa nitrojeni kioevu katika matangi ya kuhifadhia yenye utupu yaliyowekwa ndani, ambapo sifa za umajimaji na hali ya mvuke mara nyingi hutofautiana. GWR hugundua miingiliano ya kioevu-mvuke na kioevu-kioevu moja kwa moja, kwa hivyo inafanya kazi kwa kipimo cha kiwango cha nitrojeni kioevu na ufuatiliaji wa kiolesura katika mifumo endelevu ya kujaza na kutoa tanki.
Mwongozo wa uchunguzi huweka kikomo cha nishati ya microwave kando ya uchunguzi. Ufungaji huu hufanya vipimo kuwa visivyojali sana umbo la tanki, vifaa vya ndani, na jiometri ndogo za tanki. Mbinu hiyo inayoongozwa na uchunguzi hupunguza unyeti kwa muundo wa chumba na kurahisisha usakinishaji katika vyombo vikali au tata vinavyopatikana katika viwanda vya utengenezaji wa wafer na vifaa vya utengenezaji wa nusu-semiconductor.
GWR pia hufanya kazi katika hali ngumu za mchakato. Inadumisha usahihi katika mvuke, vumbi, mtikisiko, na povu. Sifa hizo hufanya GWR kuwa kifaa cha kupima kiwango cha mtandaoni kinachofaa ambapo mbinu za kupima zisizoingiliana hupendelewa. Kwa hivyo, teknolojia ya kupitisha kiwango cha GWR inafaa matumizi mengi ya kupitisha kiwango cha kioevu ambapo mbinu za kuona au kuelea hushindwa.
Uthibitishaji wa sekta
Vyanzo huru vya tasnia hutambua kipimo cha kiwango cha rada kama imara katika hali ngumu. Vifaa vya rada hutoa usahihi na uaminifu wa vipimo unaovifanya kuwa mbadala unaofaa kwa vitambuzi vingi vinavyoingilia kati katika matumizi ya michakato na uhifadhi.
Umuhimu wa michakato ya kiotomatiki na shughuli za kiwanda
GWR huunganishwa na mifumo ya kujaza na kutoa chaji inayoendelea kama zana ya kupima kiwango cha mtandaoni. Inasaidia upimaji wa kiwango cha nitrojeni kioevu katika mizunguko ya michakato bila urekebishaji wa mara kwa mara kwa msongamano au mabadiliko ya halijoto. Hiyo hupunguza matengenezo huku ikihifadhi udhibiti sahihi wa kiwango kwa shughuli nyeti katika viwanda vya utengenezaji wa wafer na vifaa vingine vya nusu nusu.
Kwa nini uchague vipeperushi vya kiwango cha ndani cha GWR kwa nitrojeni kioevu katika mitambo ya utengenezaji wa wafer
Teknolojia ya kipitishi cha kiwango cha rada ya mawimbi inayoongozwa (GWR) hudumisha usahihi thabiti katika hali ya cryogenic. Tofauti kubwa ya dielektriki kati ya nitrojeni kioevu na mvuke hutoa tafakari wazi ya rada. Vipimo vinavyotegemea uchunguzi hubakia kurudiwa licha ya halijoto ya chini na mabadiliko ya vigezo vya mchakato.
Vipimo vya GWR havina sehemu zinazosogea. Kutokuwepo kwa mifumo ya mitambo hupunguza masafa ya urekebishaji upya na kupunguza hatari ya uzalishaji wa chembe. Hilo hupunguza hatari ya uchafuzi katika vituo vya utengenezaji wa nusu-semiconductor ambapo mahitaji ya usafi ni makali.
Chaguo za usakinishaji wa probe kutoka juu hadi chini au ndani ya mstari hupunguza kupenya kwa mchakato na uwezekano wa kuvuja. Probe iliyowekwa kwenye flange kutoka juu hutumia kupenya kwa shinikizo moja kwenye paa la chombo. Probe ya ndani ya mstari inafaa kwenye mlango mdogo wa mchakato au kipande cha spool, na kuruhusu kuondolewa kwa urahisi bila marekebisho makubwa ya chombo. Mfano: kuweka kipitisha sauti cha kiwango cha rada ya mawimbi kinachoongozwa kwenye tanki la kuhifadhia cryogenic lenye utupu kupitia 1.5
Kisambazaji cha Kiwango cha Ndani cha Rada ya Mawimbi ya Lonnmeter
Uwezo wa Vipimo na Uaminifu wa Vimiminika vya Cryogenic
Vipeperushi vya kiwango cha rada ya mawimbi vinavyoongozwa na Lonnmeter hutumia mapigo ya microwave yanayoongozwa na probe kufuatilia uso wa kioevu kwa uwezo wa kurudia wa chini ya milimita. Ubunifu wa probe na usindikaji wa mwangwi hushughulikia vigeu vya chini vya dielektri na blanketi za mvuke zinazopatikana katika myeyusho ya nitrojeni kioevu. Katika viwanda vya utengenezaji wa wafer na vifaa vya utengenezaji wa semiconductor, hii hutoa usomaji thabiti katika matangi ya kuhifadhia ya cryogenic yaliyowekwa ndani ya utupu na mifumo ya kujaza na kutoa tanki inayoendelea.
Imethibitishwa usalama kwa programu za kiwango cha SIL2 huku ikiepuka kupenya zaidi
Kisambazaji kimeidhinishwa kwa usalama kwa SIL2, kuruhusu matumizi katika vitanzi vyenye vifaa vya usalama bila kuongeza vifaa tofauti vya usalama. Muundo wake wa kupenya wa mstari mmoja huhifadhi uadilifu wa bahasha ya tanki, na kupunguza njia za kuvuja katika matangi ya kuhifadhia yenye insulation ya utupu. Hii hupunguza hatari ya michakato muhimu katika vifaa vya utengenezaji wa nusu-semiconductor ambapo kudumisha utupu na insulation ni muhimu.
Kisambazaji kinachoweza kubadilika-badilika hupunguza idadi ya vifaa na upenyezaji wa michakato
Rada ya mawimbi inayoongozwa na Lonnmeter inayoweza kubadilika-badilika hutoa vigezo vya ziada vya mchakato kutoka kwa kifaa kimoja. Kuchanganya kiwango, kiashiria cha kiolesura/uzito na utambuzi unaotokana na halijoto au msongamano huondoa vifaa tofauti. Upenyezaji mdogo huboresha uadilifu wa utupu, hupunguza nguvu kazi ya usakinishaji, na kupunguza gharama ya jumla ya umiliki kwa matumizi ya visambazaji vya kiwango cha kioevu.
Utambuzi uliojengewa ndani, matengenezo ya utabiri, na utatuzi rahisi wa matatizo
Utambuzi wa ndani hufuatilia ubora wa mawimbi, hali ya uchunguzi, na uthabiti wa mwangwi kwa wakati halisi. Arifa za utabiri huonyesha utendaji unaopungua kabla ya hitilafu, kupunguza muda usiopangwa wa kufanya kazi na muda wa wastani wa kutengeneza. Mafundi wanaweza kutumia alama za mwangwi zilizohifadhiwa ili kutatua matatizo katika mifumo ya kujaza na kutoa tangi bila ukaguzi vamizi.
Imeundwa kwa ajili ya matangi madogo na jiometri tata; hufanya kazi katika mvuke, mtikisiko, na povu
Kichunguzi kinachoongozwa na usindikaji wa mawimbi wa hali ya juu hufaa vyombo vya masafa mafupi na vilivyofungwa. Kisambazaji hugundua kwa uhakika usawa katika matangi madogo, shingo nyembamba, na jiometri isiyo ya kawaida inayopatikana katika vyombo vya usambazaji vya LN2 vya zana ya kundi. Pia hutenga mwangwi halisi wa kioevu kutoka kwa mvuke, mtikisiko, na povu, na kuifanya iwe rahisi kwa kipimo cha kiwango cha nitrojeni kioevu katika mipangilio ya mimea inayohitaji nguvu.
Mipigo ya microwave yenye nguvu ndogo hupunguza uhamishaji wa joto na usumbufu katika vyombo vya habari vya cryogenic
Mipigo ya microwave yenye nishati kidogo hupunguza joto la ndani na kupunguza mchemko wakati wa kupima majimaji ya cryogenic. Hii hupunguza usumbufu wa nitrojeni kioevu na kudumisha uthabiti wa joto katika matangi ya kuhifadhi cryogenic yaliyowekwa ndani ya utupu. Mbinu hii huhifadhi hesabu ya cryogen na inasaidia uendeshaji thabiti katika vituo nyeti vya utengenezaji wa semiconductor.
Mifano iliyojumuishwa hapo juu: katika kiwanda cha kutengeneza wafer, kitengo kimoja cha rada ya wimbi kinachoongozwa na Lonnmeter kinaweza kuchukua nafasi ya kitambuzi cha kiwango na probe ya msongamano katika dewar ndogo ya LN2, kuweka kupenya moja kwenye ukuta wa tanki, na kutoa kengele za utabiri zinazozuia usumbufu wa uzalishaji. Katika mfumo endelevu wa kujaza na kutoa tanki, kifaa hicho hicho hudumisha udhibiti sahihi wa kiwango kupitia blanketi za mvuke na povu ya vipindi bila kuongeza mzigo wa joto kwenye cryogen.
Mbinu bora za usakinishaji na ujumuishaji kwa matangi ya kuhifadhia yenye insulation ya utupu
Mkakati wa kupachika: probe ya ndani dhidi ya kutoka juu hadi chini
Vifungashio vya juu-chini hupunguza kupenya kupitia koti ya utupu na hupunguza njia za uvujaji. Huweka kitambuzi katikati ya tanki na kupunguza uwezekano wa kuathiriwa na ndege za kuingilia. Tumia juu-chini wakati jiometri ya tanki na ufikiaji wa huduma vinaruhusu.
Vipima vya ndani (upande) huruhusu ufikiaji rahisi wa matengenezo na vinaweza kuwekwa karibu na mabomba ya mchakato kwa udhibiti jumuishi. Vipima vya ndani huongeza idadi ya kupenya na vinahitaji kuziba na kupanga kwa uangalifu ili kuhifadhi uadilifu wa utupu. Chagua uwekaji wa ndani wakati ufaafu au ujumuishaji na mistari inayoendelea ya kujaza na kutoa chaji ni muhimu.
Sawazisha uamuzi kwa kuzingatia mambo haya: idadi ya uvujaji wa ombwe, urahisi wa matengenezo, vifaa vya ndani vya tanki, na jinsi eneo la kipimo linavyoathiri uthabiti wa usomaji chini ya hali ya mtiririko inayopatikana katika viwanda vya utengenezaji wa wafer na vifaa vya utengenezaji wa nusu-semiconductor.
Mambo ya kuziba na kuzingatia ili kuhifadhi uadilifu wa utupu
Kila kupenya lazima kupimwa kwa utupu na kupunguzwa msongo wa mawazo kwa halijoto ya cryogenic. Pendelea mihuri ya flange ya chuma hadi chuma au mifumo ya gasket inayoweza cryogenic iliyoundwa kwa mzunguko wa joto unaorudiwa. Epuka mihuri ya polima isipokuwa imepimwa waziwazi kwa -196 °C.
Tumia njia za kuingiliana zinazounganishwa inapowezekana kwa ajili ya usakinishaji wa kudumu. Pale ambapo vitambuzi vinavyoweza kutolewa vinahitajika, sakinisha flange yenye milango mingi au kusanyiko la mvukuto lenye mlango maalum wa kusukuma pampu ya utupu. Toa milango ya majaribio ya utupu iliyo karibu na flange za vitambuzi ili kuthibitisha uadilifu wa jaketi baada ya usakinishaji.
Buni flange na mihuri ili kuendana na mkazo wa joto. Jumuisha vipengele vinavyonyumbulika au mikono ya kuteleza ili kuzuia msongo katika sehemu ya kupenya wakati wa kupoa. Hakikisha vifaa vya kubana flange vinapatikana bila kuvunja koti la utupu inapowezekana.
Urefu wa uchunguzi na uteuzi wa nyenzo kwa ajili ya utangamano wa cryogenic
Chagua vifaa vinavyodumisha unyumbufu na vinavyostahimili kuganda kwa joto la nitrojeni kioevu. Vyuma vya pua vinavyoendana na cryogenic (kwa mfano, metallurgy ya darasa la 316L) ni vya kawaida kwa probes. Fikiria aloi za upanuzi wa joto la chini kwa probes ndefu sana ili kupunguza mwendo wa jamaa kati ya probe na tanki.
Urefu wa chungu unapaswa kufikia vizuri ndani ya chombo cha ndani chini ya kiwango cha juu cha kioevu kinachotarajiwa na juu ya eneo la chini la mashapo. Epuka chungu zinazogusa chini ya tangi au vizuizi vya ndani. Kwa tangi refu lenye utupu, ruhusu posho ya mgandamizo wa joto ya milimita kadhaa kwa kila mita ya urefu wa chungu.
Kwa usakinishaji wa vipitishi vya kiwango cha rada ya mawimbi inayoongozwa, tumia vipima fimbo ngumu au vipima koaxial vilivyokadiriwa kwa huduma ya cryogenic. Vipima aina ya kebo vinaweza kukusanya mvuke au barafu na havipendelewi sana katika matangi yenye mchemko mzito au mteremko. Bainisha umaliziaji wa uso na ubora wa kulehemu ili kuepuka maeneo ya nucleation kwa ajili ya uundaji wa barafu.
Mfano: chombo cha ndani cha mita 3.5 kinaweza kuhitaji kipimajoto cha mita 3.55–3.60 ili kuzingatia mkazo na unene wa flange inayowekwa. Thibitisha vipimo vya mwisho kwa halijoto inayotarajiwa ya uendeshaji.
Ujumuishaji na masharti ya kujaza na kutoa chaji mfululizo
Weka kitambuzi cha kiwango mbali na jeti za kuingiza na kutoa ili kuzuia usomaji bandia kutokana na msukosuko. Kama kanuni ya kidole gumba, tafuta vichunguzi vyenye kipenyo cha angalau tanki moja kutoka kwa milango mikubwa ya kuingiza au kutoa, au nyuma ya vizuizi vya ndani. Ikiwa vikwazo vya nafasi vitazuia hili, tumia vitambuzi vingi au tumia usindikaji wa mawimbi kukataa mwangwi wa muda mfupi.
Epuka kuweka probe moja kwa moja kwenye mkondo wa kujaza. Katika mifumo ya kujaza na kutoa chaji inayoendelea, tabaka za tabaka na joto zinaweza kuunda; weka kitambuzi ambapo hupima kioevu kikubwa kilichochanganywa vizuri, kwa kawaida karibu na katikati ya chombo au ndani ya kisima cha kutuliza kilichoundwa. Kisima cha kutuliza au bomba la katikati linaweza kutenganisha kitambuzi na mtiririko na kuboresha usahihi wakati wa uhamishaji wa haraka.
Kwa mitambo ya utengenezaji wa wafer ambapo uwasilishaji endelevu wa nitrojeni kioevu hutokea wakati wa kusafisha vifaa, weka maeneo ya kipimo na vichujio ili kupuuza miiba ya muda mfupi. Tumia wastani, ulainishaji wa dirisha linalosogea, au mantiki ya kufuatilia mwangwi katika matokeo ya kisambazaji ili kukandamiza kengele za uwongo kutoka kwa konokono fupi.
Mbinu za waya, kutuliza, na EMC kwa utendaji wa kuaminika wa rada
Pitisha nyaya za mawimbi kupitia njia za kuingilia zenye kiwango cha utupu zenye unafuu wa mvutano na viingilio vya mpito wa joto. Tumia nyaya zilizolindwa, zilizopinda au za koaxial kama inavyohitajika na teknolojia ya rada iliyochaguliwa. Weka kebo ikiwa fupi na epuka kuunganishwa na nyaya za umeme.
Anzisha marejeleo ya ardhi ya nukta moja kwa ajili ya sehemu ya kuwekea vitambuzi na vifaa vya kielektroniki ili kuzuia mizunguko ya ardhi. Funga ngao kwenye ardhi upande mmoja isipokuwa mwongozo wa mtengenezaji ueleze vinginevyo. Sakinisha kinga ya mawimbi na vikandamizaji vya muda mfupi kwenye njia ndefu za kebo zinazopita kwenye yadi au maeneo ya matumizi.
Punguza mwingiliano wa sumakuumeme kwa kutenganisha nyaya za vitambuzi kutoka kwa viendeshi vya masafa yanayobadilika, vilishaji vya mota, na mabasi yenye volteji nyingi. Tumia viini vya feri na mfereji inapohitajika. Kwa usakinishaji wa visambazaji vya kiwango cha rada ya mawimbi yanayoongozwa, dumisha mwendelezo wa sifa za uzuiaji kwenye kiolesura cha mlisho na kiunganishi ili kuhifadhi uadilifu wa mawimbi.
Ramani ya utekelezaji (mbinu iliyopendekezwa ya awamu)
Awamu ya tathmini: utafiti wa tanki, hali ya mchakato, na mahitaji ya mfumo wa udhibiti
Anza na utafiti halisi wa tanki. Rekodi jiometri ya tanki, maeneo ya pua, nafasi ya insulation, na milango inayopatikana ya vifaa. Andika ufikiaji wa nafasi ya utupu na madaraja yoyote ya joto yanayoathiri uwekaji wa vitambuzi.
Nasa hali ya mchakato ikijumuisha shinikizo la kawaida na la kilele la uendeshaji, halijoto ya nafasi ya mvuke, viwango vya kujaza, na mteremko unaotarajiwa au kuongezeka wakati wa mifumo ya kujaza na kutoa tangi mfululizo. Andika ruwaza za mzunguko zinazotumika katika viwanda vya utengenezaji wa wafer na vifaa vya utengenezaji wa nusu-semiconductor.
Bainisha mahitaji ya mfumo wa udhibiti mapema. Bainisha aina za mawimbi (4 20 mA, HART, Modbus), kengele tofauti, na viwango vinavyotarajiwa vya sasisho kwa zana za upimaji wa kiwango cha mtandaoni. Bainisha bendi zinazohitajika za usahihi na viwango vya uadilifu wa usalama.
Malengo ya tathmini yanapaswa kujumuisha karatasi ya upeo, michoro ya kupachika, orodha ya mbinu za upimaji zisizoingiliana zinazopendekezwa, na matrix ya I/O kwa mfumo wa udhibiti.
Ufungaji wa majaribio: uthibitishaji wa tanki moja na upimaji wa ujumuishaji chini ya hali ya kujaza/kutoa maji mfululizo
Rubani kwenye tanki moja la kuhifadhia lenye utupu lililowekwa ndani ya utupu. Sakinisha kipitisha maji cha kiwango kilichochaguliwa na uendelee na mizunguko kamili ya uendeshaji. Thibitisha kiwango cha kioevu kinachopimwa kwenye matangi wakati wa mifumo ya kujaza na kutoa maji ya tanki mfululizo, ikiwa ni pamoja na kujaza haraka na matone ya polepole.
Tumia rubani kulinganisha teknolojia ya kisambaza kiwango cha rada, utendaji wa kisambaza kiwango cha rada ya mawimbi yanayoongozwa, na visambazaji vingine vya kiwango cha juu katika mazingira sawa ya tanki inapowezekana. Rekodi muda wa majibu, uthabiti, na uwezekano wa mvuke, povu, au mgandamizo. Kwa rada ya mawimbi yanayoongozwa, thibitisha kuwa vifaa vya uchunguzi huvumilia mgandamizo wa cryogenic na milipuko ya milipuko hufungwa kwa uhakika.
Fanya majaribio ya ujumuishaji na PLC au DCS. Thibitisha vizingiti vya kengele, vifungashio, lebo za historia, na uchunguzi wa mbali. Fanya angalau wiki mbili za mzunguko mchanganyiko ili kunasa kesi za ukingo. Kusanya usahihi wa msingi, matukio ya kuteleza, na matengenezo.
Mfano: katika kituo cha utengenezaji wa nusu-semiconductor, endesha majaribio kupitia mzunguko wa kawaida wa kulisha kwa saa 24. Kisambazaji cha kiwango cha logi hutoa matokeo dhidi ya ujazo unaojulikana na ukaguzi wa kipimo cha pili. Fuatilia makosa wakati wa utupaji wa mtiririko mkubwa.
Usambazaji: utumaji kamili katika mtandao wa hifadhi ya cryogenic wenye usanidi na uchunguzi sanifu
Sawazisha usanidi wa kifaa kilichochaguliwa baada ya uthibitishaji wa majaribio. Urefu wa probe ya kufunga, flange za kupachika, viingilio vya kebo, na mipangilio ya kipitisha data. Unda kifurushi cha uwasilishaji chenye mipangilio ya modeli, mfululizo, na urekebishaji kwa kila ukubwa wa tanki.
Tumia utambuzi thabiti na mantiki ya kengele kwenye matangi yote. Hakikisha kila kifaa cha kupimia kiwango cha mtandaoni kinaweka wasifu wa mwangwi, alama za kujipima, na hali ya afya kwenye mfumo wa udhibiti. Uchunguzi sanifu huharakisha utatuzi wa matatizo kwenye matangi mengi ya kuhifadhia yenye utupu yaliyowekwa ndani ya maji.
Panga usambazaji katika mawimbi ili kupunguza usumbufu wa mchakato. Panga usakinishaji wakati wa madirisha ya matengenezo yaliyopangwa. Jumuisha vipuri, vifaa vya urekebishaji, na vifaa vilivyokadiriwa kuwa cryogenic. Sasisha ramani za mtandao na hati za I/O kwa kila kitambuzi kilichotumika.
Mfano wa kasi ya uzinduzi: andaa matangi muhimu ya mchakato kwanza, kisha matangi ya pili ya kuhifadhi. Thibitisha kila wimbi kwa ukaguzi wa utendaji kazi wa siku mbili baada ya usakinishaji chini ya mifumo ya kawaida ya kujaza/kutoa.
Makabidhiano na mafunzo: mafunzo ya mwendeshaji na matengenezo yenye SOP zilizo wazi kwa ajili ya ufuatiliaji na utatuzi wa matatizo
Toa mafunzo ya mwendeshaji yaliyopangwa kulingana na SOP. Fuatilia ukaguzi wa kila siku wa kipimo cha kiwango cha nitrojeni kioevu, mwitikio wa kengele, na tafsiri ya msingi ya mwangwi. Wafunze waendeshaji kutambua njia za kawaida za hitilafu kama vile upotevu wa mwangwi, usomaji usio thabiti wakati wa slosh, na hitilafu za nyaya.
Toa mafunzo ya matengenezo yanayolenga usalama wa cryogenic, ukaguzi wa probe, taratibu za urekebishaji, na hatua za uingizwaji. Jumuisha mazoezi ya vitendo ya kuondoa na kusakinisha tena probe au vibanio vya sensa visivyoingilia huku ukihifadhi uadilifu wa utupu.
Toa hati za SOP zilizo wazi. SOP zinapaswa kuorodhesha taratibu za hatua kwa hatua kwa: kuthibitisha usahihi wa kisambazaji cha kiwango, kufanya urekebishaji wa sehemu, kutenga na kubadilisha kisambazaji, na kuongeza hitilafu zinazoendelea. Jumuisha mifano ya mtiririko wa utatuzi wa matatizo: anza na nguvu na ishara, kisha ubora wa mwangwi, kisha ukaguzi wa kiufundi.
Dumisha kumbukumbu ya mafunzo na saini za uwezo. Panga vipindi vya kujikumbusha mara kwa mara vinavyoendana na vipindi vya urekebishaji.
Omba nukuu / Wito wa kuchukua hatua
Omba nukuu ya vipeperushi vya ndani vya kiwango cha Lonnmeter Guided Wave Radar unapohitaji kipimo sahihi cha kiwango cha nitrojeni kioevu katika mitambo ya utengenezaji wa wafer au matangi ya kuhifadhia yenye insulation ya utupu. Bainisha kwamba programu inahusisha mifumo ya kujaza na kutoa tangi mfululizo ili pendekezo lilingane na mizunguko halisi ya uendeshaji.
Unapoandaa ombi la nukuu, jumuisha maelezo muhimu ya mchakato na kiufundi. Toa:
aina na ujazo wa tanki (mfano: tanki la kuhifadhia lenye utupu lililowekwa ndani ya utupu, lita 5,000), vyombo vya habari (nitrojeni kioevu), na halijoto na shinikizo la uendeshaji;
viwango vya kujaza na kutoa maji mfululizo, mzunguko wa kawaida wa wajibu, na hali zinazotarajiwa za kuongezeka au kushuka kwa kasi;
eneo la kupachika, milango inayopatikana, na jiometri ya nafasi ya kichwa;
kiwango kinachohitajika cha kipimo, usahihi unaohitajika na uwezekano wa kurudiwa, na vizingiti vya kengele/sehemu ya kuweka;
mapendeleo ya utangamano wa nyenzo na vikwazo vyovyote vya usafi au uchafuzi kwa viwanda vya utengenezaji wa wafer;
uainishaji wa eneo hatari na vikwazo vyovyote vya usakinishaji.
Ili kuomba nukuu au kupanga jaribio, kusanya vitu vilivyoorodheshwa hapo juu na uviwasilishe kupitia njia yako ya ununuzi au mawasiliano ya uhandisi wa kituo. Data ya programu iliyo wazi huharakisha ukubwa na kuhakikisha pendekezo la kisambazaji cha kiwango cha rada ya wimbi linaloongozwa linalingana na matumizi ya kisambazaji cha kiwango cha kioevu katika viwanda vya utengenezaji wa wafer na mifumo ya kuhifadhi cryogenic.
Maswali Yanayoulizwa Mara kwa Mara
Ni ipi njia bora ya kupima kiwango cha nitrojeni kioevu kwenye tanki katika kiwanda cha kutengeneza wafer?
Vipeperushi vya ndani vya kiwango cha rada ya mawimbi inayoongozwa (GWR) hutoa kipimo endelevu, sahihi, kisicho cha kiufundi kwa LN2 ya cryogenic katika viwanda vya utengenezaji wa wafer. Vinatumia mapigo ya microwave yanayoongozwa na probe ambayo ni imara dhidi ya mvuke, mtikisiko, na jiometri ndogo za tanki. Kwa matangi ya kuhifadhia cryogenic yaliyowekwa ndani ya utupu, sakinisha kipeperushi chenye upenyo mdogo na uliofungwa vizuri ili kuhifadhi uthabiti wa utupu.
Je, kisambazaji cha kiwango cha rada ya mawimbi kinachoongozwa kinaweza kufanya kazi wakati wa hali ya kujaza na kutoa umeme mfululizo?
Ndiyo. GWR imeundwa kwa ajili ya upimaji endelevu mtandaoni na hudumisha usomaji wa kiwango cha kuaminika wakati wa shughuli zinazobadilika. Uwekaji sahihi wa chungu, urekebishaji wa mipangilio ya tupu ya kifaa na eneo lisilo na umeme, na uthibitishaji wa mwangwi huzuia mwangwi bandia unaosababishwa na mtiririko. Mfano: rekebisha kipitisha sauti baada ya kuagiza huku kikijaza kiwango cha juu cha mtiririko wa kiwanda ili kuthibitisha mwangwi imara.
Kisambazaji cha kiwango cha GWR kinalinganishwaje na vitambuzi visivyo vya mguso kwa nitrojeni kioevu?
GWR husambaza mapigo ya microwave kupitia probe, na kutoa mwangwi imara na thabiti katika hali ya mvuke na misukosuko. Rada isiyogusa inaweza kufanya kazi lakini inaweza kupata shida katika matangi magumu au ambapo miundo ya ndani huakisi ishara. Katika matangi yenye vikwazo vya ndani au jiometri nyembamba, GWR kwa kawaida hutoa marejesho bora ya mwangwi na usomaji thabiti zaidi wa LN2.
Je, kisambazaji cha rada ya mawimbi kinachoongozwa kitaathiri uadilifu wa utupu katika matangi ya cryogenic yaliyowekwa ndani ya utupu?
Inapowekwa kama kipitisha sauti cha ndani chenye upenyo mdogo na ufungaji sahihi, GWR hupunguza idadi ya upenyo jumla ikilinganishwa na vitambuzi vingi tofauti. Upenyo mdogo hupunguza njia za uvujaji na husaidia kuhifadhi utupu. Tumia flange zilizounganishwa au vifaa vya utupu vya ubora wa juu na mihuri iliyohitimu ya cryogenic ili kuepuka kuharibu utupu wa tanki.
Je, visambazaji vya rada ya mawimbi vinavyoongozwa vinahitaji marekebisho ya mara kwa mara au matengenezo katika huduma ya cryogenic?
Hapana. Vitengo vya GWR havina sehemu zinazosogea na kwa kawaida huhitaji urekebishaji mdogo. Utambuzi uliojengewa ndani na ufuatiliaji wa mwangwi huruhusu ukaguzi kulingana na hali. Fanya uthibitishaji wa mara kwa mara wa wigo wa mwangwi na ukaguzi wa kuona wa mihuri na hali ya uchunguzi wakati wa kuzima kwa muda uliopangwa.
Je, visambazaji vya kiwango cha rada ni salama kwa matumizi katika mazingira nyeti ya nusu-semiconductor?
Ndiyo. Vipeperushi vya kiwango cha rada hufanya kazi kwa nguvu ya chini ya microwave na havitoi hatari ya chembechembe. Upenyo wao mdogo na utambuzi usioingilia husaidia kudumisha nafasi zinazodhibitiwa na uchafuzi. Bainisha vifaa vya usafi, vichunguzi vinavyoweza kusafishwa, na ulinzi unaofaa wa kuingilia wakati wa kufunga karibu na maeneo safi ya mchakato.
Ninawezaje kuchagua kati ya kipitishi cha kiwango cha GWR na aina zingine za kipitishi cha kiwango cha kioevu kwa LN2?
Tumia orodha ya uteuzi inayoweka kipaumbele utangamano wa cryogenic, matokeo endelevu ya mtandaoni, uimara wa mvuke na mtikisiko, upenyaji mdogo, utambuzi, na uwezo wa ujumuishaji. Kwa matangi mengi ya cryogenic ya kitambaa cha wafer, GWR inakidhi vigezo hivi. Fikiria jiometri ya tanki, vizuizi vya ndani, na kama kipimo kinachoweza kubadilika-badilika kinahitajika.
Ninaweza kupata wapi msaada wa kuunganisha kisambazaji cha kiwango cha rada ya mawimbi kinachoongozwa kwenye mfumo wangu wa udhibiti wa kiwanda?
Wasiliana na kikundi cha uhandisi wa programu cha muuzaji wa kisambazaji kwa usaidizi wa ujumuishaji, mwongozo wa usanidi, na orodha za ukaguzi za kuwaagiza. Wanaweza kusaidia katika uthibitishaji wa mwangwi, kutuliza, na uchoraji ramani wa DCS/PLC. Kwa mita za msongamano wa ndani au mnato zinazotumika pamoja na kipimo cha ngazi, wasiliana na Lonnmeter kwa maelezo ya bidhaa na usaidizi wa programu mahususi kwa mita za ndani.
Ni vipimo gani vikuu vya uchunguzi wa matengenezo vinavyopaswa kufuatiliwa kwenye kipimo cha kiwango cha nitrojeni kioevu?
Fuatilia nguvu ya mwangwi na wasifu wa mwangwi kwa marejesho thabiti na yanayoweza kurudiwa. Fuatilia uwiano wa ishara-kwa-kelele (SNR), viashiria vya uadilifu wa uchunguzi au mwendelezo, na hitilafu yoyote ya kisambazaji au misimbo ya onyo. Tumia mwelekeo wa utambuzi huu ili kupanga ukaguzi kabla ya hitilafu kutokea.
Kupunguza hesabu ya vifaa kwa kutumia kisambazaji kinachoweza kubadilika-badilika kunaathirije gharama ya jumla?
GWR inayoweza kubadilika-badilika inaweza kupima vigezo vya kiwango na kiolesura kwa wakati mmoja, ikiondoa visambazaji tofauti. Hii hupunguza vifaa vya usakinishaji, upenyaji, nyaya, na matengenezo ya muda mrefu. Idadi ndogo ya vifaa pia hupunguza upenyaji wa utupu na hatari ya kuvuja, ambayo ni muhimu katika matangi ya kuhifadhia yenye insulation ya utupu. Matokeo halisi ni gharama ya chini ya jumla ya umiliki dhidi ya vifaa vingi vya kazi moja.
Muda wa chapisho: Desemba-30-2025
