1. Ho hlahisa moelelo o tsoetseng pelePho lahla
CMP ho Semiconductor ke eng?
Ho bentša mechine ka lik'hemik'hale (CMP), e tsejoang hape e le ho hlophisa mechine ka lik'hemik'hale, e emela e 'ngoe ea ts'ebetso ea yuniti e thata ka ho fetisisa ea theknoloji le ea bohlokoa ka lichelete tlhahisong ea sejoale-joale ea semiconductor. Ts'ebetso ena e ikhethang e sebetsa e le ts'ebetso ea motsoako o sa hlokahaleng, e ntlafatsa libaka tsa wafer ka hloko ka ts'ebeliso e kopanetsoeng ea ho betla lik'hemik'hale le ho hohlana ho laoloang haholo ha 'mele. E sebelisoa haholo potolohong ea tlhahiso, CMP e bohlokoa bakeng sa ho lokisa li-wafer tsa semiconductor bakeng sa mekhahlelo e latelang, e nolofalletsang ka kotloloho kopanyo ea bongata bo phahameng bo hlokoang ke meralo e tsoetseng pele ea lisebelisoa.
CMP ho Ts'ebetso ea Semiconductor
*
Tlhokahalo e tebileng eaho bentša mechine ka lik'hemik'halee thehiloe litlhoko tsa 'mele tsa lithography ea mehleng ena. Ha potoloho e kopantsoeng e na le ho fokotseha le mekhahlelo e mengata e bokellana ka ho otloloha, bokhoni ba ts'ebetso ba ho tlosa thepa ka ho lekana le ho theha bokaholimo bo polaneng lefatšeng ka bophara bo ba bohlokoa haholo. Hlooho e matla ea ho bentša e entsoe hore e potolohe ka li-axes tse fapaneng, e lekanyetse ka hloko topography e sa tloaelehang ho pholletsa le wafer. Bakeng sa phetisetso e atlehileng ea lipaterone, haholo-holo ka mekhoa ea sejoale-joale joalo ka lithography ea Extreme Ultraviolet (EUV), bokaholimo bohle bo sebetsitsoeng bo tlameha ho oela botebong bo bonyenyane ba tšimo - thibelo ea jeometri e hlokang ho batalatsa ha boemo ba Angstrom bakeng sa mahlale a sejoale-joale a ka tlase ho 22 nm. Ntle le matla a planari aMokhoa oa semiconductor oa cmp, mehato e latelang ea photolithography e tla fella ka ho hloleha ho hokahanya, ho sotha mekhoa, le maeto a kotsi a tlhahiso.
Ho amoheloa ha CMP ka bongata ho susumelitsoe haholo ke phetoho ea indasteri ho tloha ho li-conductor tsa aluminium tse tloaelehileng ho ea ho li-connector tsa koporo tse sebetsang hantle. Ho sebelisoa ha tšepe ea koporo ho sebelisa mokhoa oa ho etsa lipaterone tse eketsehileng, mokhoa oa Damascene, o itšetlehileng haholo ka bokhoni bo ikhethang ba CMP ba ho tlosa koporo e feteletseng ka mokhoa o ikhethileng le o ts'oanang le ho emisa ts'ebetso ea ho tlosa hantle feela sebakeng se pakeng tsa tšepe le lera la ho thibela oxide. Ho tlosoa hona ha thepa e khethiloeng haholo ho totobatsa tekano e bonolo ea lik'hemik'hale le ea mechini e hlalosang ts'ebetso, tekano e senyehang hang-hang ke liphetoho tse nyane esita le setsing sa ho bentša.
Mesebetsi ea CMP Ts'ebetsong ea Semiconductor
Tlhokahalo e tlamang bakeng sa phetoho e tlase haholo ea topographic ha se sepheo sa kantle empa ke tlhoko e tobileng ea ts'ebetso bakeng sa ts'ebetso e tšepahalang ea sesebelisoa, ho netefatsa phallo e nepahetseng ea hona joale, ho phatloha ha mocheso, le ho lumellana ha ts'ebetso meahong e nang le mekhahlelo e mengata. Taelo ea mantlha ea CMP ke taolo ea topographic, ho theha boemo ba pele ba ho batalla bakeng sa mehato eohle ea bohlokoa ea ts'ebetso e latelang.
Tšebeliso e itseng e laela khetho ea thepa le tse tsamaellanangmokhoa oa ho etsa lerōleMekhoa ea CMP e ntlafalitsoe ho sebetsana le thepa e fapaneng, ho kenyeletsoa tungsten, koporo, silicon dioxide (SiO2).2), le silicon nitride (SiN). Li-slurry li ntlafalitsoe ka hloko bakeng sa katleho e phahameng ea planarization le khetho e ikhethang ea thepa ho pholletsa le mefuta e fapaneng ea lits'ebetso, ho kenyeletsoa Shallow Trench Isolation (STI) le Interlayer Dielectrics (ILD). Mohlala, slurry ea ceria e sebetsang hantle e sebelisoa ka ho khetheha bakeng sa lits'ebetso tsa ILD ka lebaka la ts'ebetso ea eona e phahameng ea ho batalatsa mehato, ho tšoana, le phokotso ea maqhubu a sekoli. Tlhaho e ikhethang haholo ea li-slurry tsena e tiisa hore ho se tsitse ha ts'ebetso ho hlahang ka lebaka la liphetoho tsa matla a mokelikeli oa setsi sa ho bentša ho tla tlōla hang-hang litlhoko tsa motheo tsa ho tlosa thepa e khethiloeng.
2. Karolo ea Bohlokoa ea Bophelo bo Botle ba CMP Slurry
CMP ho Ts'ebetso ea Semiconductor
Katleho e tsitsitseng eaMokhoa oa cmp oa ho bentša mechine ea lik'hemik'halee itshetlehile ka botlalo hodima phano e tsitsitseng le tshebetso ya seretse, e sebetsang e le mokero wa bohlokwa o thusang dikarabelo tse hlokahalang tsa dikhemikhale le ho kgohlana ha mechine. Mokelikeli ona o rarahaneng, o hlaloswang e le ho fanyehwa ha colloidal, o tlameha ho fana ka dikarolo tsa wona tsa bohlokwa ka ho tswela pele le ka ho lekana, ho kenyeletswa le di-agent tsa dikhemikhale (di-oxidizer, di-accelerator, le di-corrosion inhibitors) le dikarolwana tse nyane tse kgohlang, ho ya hodima wafer e matla.
Sebopeho sa lerōle se entsoe ho hlahisa karabelo e itseng ea lik'hemik'hale: ts'ebetso e ntle ka ho fetisisa e itšetlehile ka ho theha lera la oxide le sa qhibiliheng, le sa qhibiliheng holim'a thepa e reriloeng, ebe le tlosoa ka mechine ke likaroloana tse khorofo. Mokhoa ona o fana ka khetho e hlokahalang ea topographic ea holimo e hlokahalang bakeng sa ho planarization e sebetsang hantle, e tsepamisang ts'ebetso ea ho tlosa lintlheng tse phahameng kapa tse hlahelletseng. Ka lehlakoreng le leng, haeba karabelo ea lik'hemik'hale e hlahisa boemo ba oxide e qhibilihang, ho tlosoa ha thepa ke isotropic, ka hona ho felisa khetho e hlokahalang ea topographic. Likarolo tsa 'mele tsa lerōle hangata li na le likaroloana tse khorofo (mohlala, silica, ceria) tse boholo bo tlohang ho 30 ho isa ho 200 nm, tse emisitsoeng maemong a pakeng tsa 0.3 le 12% ea boima ba liphesente tse tiileng.
Semiconductor ea CMP Slurry
Ho boloka bophelo bo botle baSemiconductor ea seretse sa CMPe hloka tlhaloso le taolo e sa feleng ho pholletsa le potoloho ea eona ea bophelo, kaha ho senyeha leha e le hofe nakong ea ho sebetsana kapa ho potoloha ho ka lebisa tahlehelong e kholo ea lichelete. Boleng ba wafer ea ho qetela e bentšitsoeng, e hlalosoang ke boreledi ba eona ba nanoscale le maemo a sekoli, bo amana ka ho toba le botšepehi ba kabo ea boholo ba likaroloana tsa slurry (PSD) le botsitso ka kakaretso.
Tlhaho e ikhethang ea mefuta e fapanengMefuta ea li-slurry tsa cmpHo bolela hore dikarolwana tse nyane tse boholo bo lekanang di tsitsiswa ke matla a bonolo a motlakase a lelekang ka hara ho emisoa. Di-slurry hangata di fanwa ka sebopeho se kopaneng mme di hloka ho hlapollwa ka nepo le ho kopanngwa le metsi le di-oxidizer sebakeng sa tlhahiso. Ha e le hantle, ho itshetleha ka dikarohano tsa ho kopanya tse sa fetoheng ho na le phoso e kgolo hobane thepa e kopaneng e kenang e bontsha diphetoho tsa tlhaho tsa bongata ba sehlopha ho ya ho sehlopha.
Bakeng sa taolo ea ts'ebetso, leha tlhahlobo e tobileng ea PSD le bokhoni ba zeta (botsitso ba colloidal) e le ea bohlokoa, mekhoa ena hangata e fetisetsoa tlhahlobong e sa reroang, e sa sebelisoeng inthaneteng. 'Nete ea ts'ebetso ea tikoloho ea HVM e laela karabelo ea nako ea sebele le ea hang-hang. Ka lebaka leo, bongata le ho teteana li sebetsa e le li-proxies tse sebetsang ka ho fetisisa le tse ka sebelisoang bakeng sa bophelo bo botle ba lerōle. Botenya bo fana ka tekanyo e potlakileng, e tsoelang pele ea mahloriso a mangata a abrasive ka har'a medium. Ho teteana ho bohlokoa ka ho lekana, ho sebetsa e le sesupo se bonolo haholo sa boemo ba colloidal ba mokelikeli le botšepehi ba mocheso. Ho teteana ho sa tsitsang hangata ho bontša karoloana e thethefatsang.ho kopanakapa ho kopanya hape, haholo-holo tlas'a maemo a ho kuta a feto-fetohang. Ka hona, tlhokomelo e tsoelang pele le taolo ea liparamente tsena tse peli tsa rheological li fana ka potoloho ea karabelo e potlakileng, e sebetsang e hlokahalang ho netefatsa hore slurry e boloka boemo ba eona ba lik'hemik'hale le ba 'mele bo boletsoeng sebakeng seo e sebelisoang ho sona.
3. Tlhahlobo ea ho Hlōleha ha Mekaniki: Bakhanni ba Phoso ba Phethahetseng
Litlamorao tse Mpe tse Bakiloeng ke ho Feto-fetoha ha CMP le ho Sistimi
Phapang ea ts'ebetso e ananeloa e le eona feela e kenyang letsoho ka ho fetisisa ho hlahiseng kotsi ho tlhahiso e phahamengcmp tlhahisong ea li-semiconductor. Litšobotsi tsa lerōle, tse bitsoang "bophelo bo botle ba lerōle," li kotsing e kholo ea liphetoho tse bakoang ke ho pompa, ho feto-fetoha ha mocheso le ho se lumellane ha ho kopanya. Ho hloleha ho tsoang tsamaisong ea phallo ea lerōle ho fapane le mathata a mechini feela, empa ka bobeli li fella ka likhechana tsa bohlokoa tsa wafer 'me hangata li bonoa morao haholo ke litsamaiso tsa bofelo ba kamora ts'ebetso.
Boteng ba dikarolwana tse kgolo haholo kapa di-agglomerate ka harasemiconductor ea cmpthepa e amana ka ho hlaka le ho qaptjoa ha mekwatla e menyenyane le diphoso tse ding tse bolayang hodima bokahodimo ba wafer e bentshitsweng. Ho fetofetoha ha diparamente tsa bohlokwa tsa rheological—ho teteana le ho ba le bongata—ke matshwao a tswelang pele, a etellang pele a hore botšepehi ba slurry bo senyehile, e leng se qalang mokgwa wa ho thehwa ha sekoli.
Ho feto-fetoha ha Viscosity ea Slurry (mohlala, ho lebisang ho agglomeration, ho cheka ho fetotsoeng)
Viscosity ke thepa ea thermodynamic e laolang boitšoaro ba phallo le matla a khohlano sebopehong sa ho bentša, e leng se etsang hore e be bonolo haholo ho mamella khatello ea tikoloho le ea mechine.
Tshebetso ya dikhemikhale le ya mmele yasemiconductor ea viscosity ea slurrySistimi e itshetlehile haholo hodima taolo ya mocheso. Diphuputso di tiisa hore esita le phetoho e nyane ya mocheso wa tshebetso ya 5°C e ka lebisa phokotsong e ka bang 10% ya viscosity ya lerōle. Phetoho ena ya rheology e ama ka ho toba botenya ba filimi ya hydrodynamic e arolang wafer ho pad ya ho benya. Viscosity e fokotsehileng e lebisa ho se lokiseng ho sa lekaneng, e leng se fellang ka kgohlano e phahameng ya mechine, sesosa se seholo sa ho menwa ha dikokwana-hloko le tshebediso e potlakileng ya pad.
Tsela ea bohlokoa ea ho senyeha ha lintho e kenyelletsa ho bokellana ha likaroloana tse bakoang ke ho beola. Li-slurry tse thehiloeng ho silica li boloka karohano ea likaroloana ka matla a bonolo a ho leleka a motlakase. Ha slurry e kopana le khatello e phahameng ea ho beola—e atisang ho hlahisoa ke lipompo tse tloaelehileng tsa centrifugal tse sa lokelang kapa ho potoloha ho hoholo ha potoloho ka har'a selikalikoe sa kabo—matla ana a ka hlōloa, e leng se lebisang ho potlakileng le ho ke keng ha fetoloa.ho kopanaea likaroloana tse khorofo. Lihlopha tse kholo tse hlahang li sebetsa e le lisebelisoa tsa ho phunya tse nyenyane, li baka ka ho toba maqeba a maholo holim'a wafer. Viscometry ea nako ea sebele ke mokhoa o hlokahalang oa ho fumana liketsahalo tsena, o fanang ka netefatso ea bohlokoa ea "bonolo" ba sistimi ea ho pompa le ea kabo pele ho hlaha sekoli se seholo.
Phapang e hlahang ho viscosity le yona e sitisa katleho ya planarization haholo. Kaha viscosity ke ntlha e kgolo e susumetsang coefficient ya khohlano nakong ya ho bentsha, profil ya viscosity e sa tshwaneng e tla lebisa ho sekgahla se sa tsitsang sa ho tloswa ha thepa. Keketseho ya viscosity sebakeng seo, haholoholo ka sekgahla se phahameng sa ho kgaola se etsahalang hodima dibopeho tse phahamisitsweng tsa topography ya wafer, e fetola matla a khohlano mme e senya sepheo sa planarization, qetellong e lebisa diphosong tsa topographic jwalo ka ho dishella le kgoholeho ya mobu.
Ho feto-fetoha ha Botenya ba Slurry
Botenya ba lerōle ke sesupo se potlakileng le se tšepahalang sa mahloriso a akaretsang a lintho tse thata tse leketlileng ka har'a mokelikeli. Ho feto-fetoha ha bongata ho bontša hore ho na le lerōle le sa tšoane, e leng se amanang ka tlhaho le liphetoho tsa sekhahla sa ho tlosoa ha thepa (MRR) le ho thehoa ha sekoli.
Tikoloho tsa tshebetso di hloka netefatso e matla ya sebopeho sa lerōle. Ho itshetleha feela ka ho eketsa bongata bo boletsweng ba metsi le oxidizer ho dihlopha tse kopaneng tse kenang ha ho a lekana, kaha bongata ba thepa e tala bo atisa ho fapana, e leng se lebisang diphethong tse sa tsitsang tsa tshebetso hloohong ya sesebediswa. Ho feta moo, dikarolwana tse kgohlang, haholo-holo dikarolwana tse kgohlang tse phahameng tsa ceria, di ka wela fatshe haeba lebelo la phallo kapa botsitso ba colloidal bo sa lekana. Ho dula hona ho baka di-gradients tsa kgohlang tse fumanehang sebakeng se le seng le ho bokellana ha thepa ka hara mela ya phallo, ho beha kotsing e kgolo bokgoni ba ho fana ka mojaro o tsitsitseng wa kgohlang.
How DbongataDmaeto a sefofaneAffect Manufacleetoho ingProcess?.
Litlamorao tse tobileng tsa bongata bo sa tsitsang ba lerōle li bonahala e le likoli tse tebileng tsa 'mele holim'a bokaholimo bo bentšitsoeng:
Litefiso tsa ho Tlosa tse sa Tšoaneng (WIWNU):Diphetoho tsa bongata di fetolela ka ho toba diphetoho tsa bongata ba dikarolwana tse sebetsang tse hlahiswang sebakeng sa ho bentsha. Bongata bo tlase ho feta bo boletsweng bo bontsha ho fokotseha ha bongata ba dintho tse kgopisang, e leng se fellang ka MRR e fokotsehileng mme e hlahisa ho se tshwane ho sa amoheleheng ka hare ho wafer (WIWNU). WIWNU e senya tlhoko ya motheo ya planarization. Ka lehlakoreng le leng, bongata bo hodimo bo sebakeng seo bo eketsa mojaro o sebetsang wa dikarolwana, e leng se lebisang ho tlosweng ho feteletseng ha thepa. Taolo e tiileng hodima bongata e netefatsa hore ho tlatswa ha dintho ka tsela e tsitsitseng, e amanang haholo le matla a tsitsitseng a kgohlano le MRR e ka lebellwang esale pele.
Ho qhaqha ka lebaka la mefuta e fapaneng ea ho khohlela sebakeng se seng:Ho ba le metsoako e matla e hohelang sebakeng seo, hangata ka lebaka la ho se tsitse kapa ho se kopanye hantle, ho lebisa meroalong e phahameng sebakeng ka seng ka karoloana e holim'a wafer. Ha likaroloana tse hohelang, haholo-holo ceria, li khomarela ka matla lera la khalase ea oxide, 'me khatello ea bokaholimo e le teng, mojaro oa mechini o ka baka hore lera la khalase le robehe, e leng se fellang ka ho teba le ho ba bohale.ho kenya sekotidiphoso. Diphetoho tsena tse kgohlang di ka bakwa ke ho sefa ho senyehileng, ho dumella di-aggregate tse kgolo (dikarolo tse fetang $0.5\\mu m$) ho feta, tse bakwang ke ho emisoa ha dikarolwana tse fokolang. Ho beha leihlo bongata ho fana ka sistimi ya bohlokwa, e tlatsanang ya temoso ho di-counter tsa dikarolwana, e dumella baenjiniere ba tshebetso ho lemoha qalo ya ho bokellana ha dikarolwana tse kgohlang le ho tsitsisa mojaro o kgohlang.
Sebopeho sa masalla ho tsoa ho Suspension e Fosahetseng ea Likaroloana:Ha ho emisoa ho sa tsitsa, ho fellang ka di-gradients tse nang le bongata bo boholo, thepa e tiileng e tla atisa ho bokellana ka hara meralo ya phallo, e leng se lebisang maqhubung a bongata le ho bokellana ha thepa tsamaisong ya kabo.17Ho feta moo, nakong ea ho bentša, lerōle le tlameha ho tlosa lihlahisoa tsa lik'hemik'hale le lithōle tsa ho tsofala ha mechine ka katleho. Haeba ho emisoa ha likaroloana kapa matla a mokelikeli a le mabe ka lebaka la ho se tsitse, masala ana ha a tlosoe ka katleho holim'a wafer, e leng se fellang ka likaroloana tsa post-CMP le lik'hemik'hale.masalladiphoso. Ho emisoa ha dikarolwana tse tsitsitseng, ho netefatswang ka tlhokomelo e tswelang pele ya rheological, ke ntho ya bohlokwa bakeng sa ho ntsha dintho tse hlwekileng le tse tswelang pele.
Ithute ka Limithara tse ling tsa Botenya
Limithara tse ling tsa Ts'ebetso ea Inthanete
4. Boleng bo Phahameng ba Tekheniki ba Inline Metrology
Li-Densitometer tsa Lonnmeter Inline le Li-Viscometer
Ho tsitsisa ka katleho ts'ebetso ea CMP e feto-fetohang, tekanyo e tsoelang pele, e sa hlaseleng ea liparamente tsa bophelo bo botle ba lerōle e bohlokoa.Li-Densitometer tsa Lonnmeter Inline le Li-ViscometerSebelisa theknoloji e tsoetseng pele haholo ea sensor ea resonant, e fanang ka ts'ebetso e phahameng ha e bapisoa le lisebelisoa tsa metrology tsa setso, tse sekametseng ho lieha. Bokhoni bona bo nolofalletsa ho beha leihlo ha seamless le ho tsoela pele ha bongata ho kopantsoe ka kotloloho tseleng ea phallo, e leng habohlokoa bakeng sa ho fihlela litekanyetso tse tiileng tsa bohloeki le ho nepahala ha motsoako oa li-node tsa morao-rao tsa ts'ebetso ea sub-28nm.
Hlalosa melao-motheo ea bona ea motheo ea theknoloji, ho nepahala ha tekanyo, lebelo la karabelo, botsitso, botšepehi libakeng tse thata tsa CMP, 'me u li khetholle ho mekhoa ea setso ea inthanete.
Ho iketsetsa tshebetso ka bohona ho hloka hore di-sensor tse entsweng ka bokgabane di sebetse ka botshepehi tlasa maemo a fetofetohang a phallo e phahameng, kgatello e phahameng, le ho pepesehela dikhemikhale tse kgohlang, tse fanang ka maikutlo a hang-hang bakeng sa ditsamaiso tsa taolo.
Melao-motheo ea Theknoloji ea Bohlokoa: Molemo oa Resonator
Lisebelisoa tsa Lonnmeter li sebelisa mahlale a matla a ho thothomela a etselitsoeng ka ho khetheha ho fokotsa bofokoli ba tlhaho ba li-densitometer tsa U-tube tsa setso, tse nang le moqotetsane, tse tsebahalang ka mathata bakeng sa tšebeliso ea kahare ka li-suspension tse khopisang tsa colloidal.
Tekanyo ea Botenya:Themithara ea sekhomaretsi sa slurrye sebelisa karolo e thothomelang e tjheseditsweng ka botlalo, hangata e le kopano ya fereko kapa resonator ya co-axial. Karolo ena e hlohlelletsoa ka motlakase ho sisinyeha maqhubung a yona a tlhaho. Diphetoho manonyeletsong a mokelikeli o potileng di baka phetoho e nepahetseng maqhubung ana a tlhaho, e leng se dumellang ho fumana tekanyo e tobileng le e tshepahalang haholo.
Tekanyo ea ho thothomela:TheViscometer ea slurry e sebetsang nakong ea ts'ebetsoe sebelisa sensor e tšoarellang e sisinyehang ka har'a mokelikeli. Moralo o netefatsa hore tekanyo ea viscosity e arotsoe ho tsoa liphellong tsa phallo ea mokelikeli o mongata, e leng se fanang ka tekanyo ea mantlha ea rheology ea thepa.
Tshebetso le Boikemisetso ba Ts'ebetso
Metrology ea resonant e hokahaneng e fana ka litekanyo tsa bohlokoa tsa ts'ebetso tse hlokahalang bakeng sa taolo e tiileng ea HVM:
Lebelo la ho Sebetsa ka ho Nepahala le Karabelo:Mekhoa e ka hare e fana ka ho pheta-pheta ho hoholo, hangata e fihlella ho feta 0.1% bakeng sa ho hlaka le ho nepahala ha ho teba ho fihlela ho 0.001 g/cc. Bakeng sa taolo e matla ea ts'ebetso, boemo bona bo phahamengho nepahala—bokgoni ba ho lekanya boleng bo tshwanang ka ho tswela pele le ho lemoha diphapang tse nyane ka botshepehi—hangata bo bohlokwa ho feta ho nepahala ho feletseng ha marginal. Habohlokoa le ho feta, letshwaonako ea karabelobakeng sa di-sensor tsena di potlakile haholo, hangata di ka nka metsotsoana e 5. Maikutlo ana a batlang a le teng hang-hang a dumella ho lemoha diphoso hang-hang le diphetoho tse iketsahalletseng tsa closed-loop, e leng tlhoko ya mantlha bakeng sa thibelo ya maeto.
Botsitso le Botšepehi Libakeng tse Mabifi:Li-slurry tsa CMP li mabifi ka tlhaho. Lisebelisoa tsa sejoale-joale tse ka hare li hahiloe bakeng sa ho mamella, ho sebelisoa thepa le litlhophiso tse itseng bakeng sa ho kenya ka ho toba liphaepheng. Li-sensor tsena li etselitsoe ho sebetsa har'a mefuta e mengata ea khatello (mohlala, ho fihlela ho 6.4 MPa) le mocheso (ho fihlela ho 350 ℃). Moralo o seng oa U-tube o fokotsa libaka tse shoeleng le likotsi tsa ho koala tse amanang le mecha ea phatlalatso e khopisang, ho eketsa nako ea ho sebetsa ha sensor le ts'epo ea ts'ebetso.
Phapang ho tsoa ho Mekhoa ea Setso ea Offline
Phapang ea ts'ebetso lipakeng tsa litsamaiso tse ikemetseng tse kenang ka hare le mekhoa ea letsoho e sa sebelisoeng inthaneteng e hlalosa sekheo pakeng tsa taolo ea liphoso tse arabelang le ntlafatso ea ts'ebetso e sebetsang.
| Tekanyetso ea ho Hlokomela | Ha e fumanehe inthaneteng (Sesebelisoa sa ho etsa sampole sa laboratori/U-Tube Densitometer) | Inline (Lonnmeter Densitometer/Viscometer) | Tšusumetso ea Ts'ebetso |
| Lebelo la Tekanyo | E liehile (Lihora) | Hona joale, Tsoelang Pele (Nako ea karabelo hangata metsotsoana e 5) | E nolofalletsa taolo ea ts'ebetso ea thibelo le e koetsoeng. |
| Ho Tsitsisa/Ho Nepahala ha Lintlha | Tlase (E ka angoa ke phoso ka letsoho, ho senyeha ha sampole) | E Phahameng (E iketsahalletseng, e ka pheta-phetoang/e nepahetseng haholo) | Meeli e thata ea taolo ea ts'ebetso le ho fokotsa liphetho tse fosahetseng. |
| Ho lumellana ho sa tsitsang | Kotsi e kholo ea ho koaleha ha lehare (Moralo oa mokoti o mosesaane oa U-tube) | Kotsi e tlase ea ho koaleha (Moralo o matla oa resonator o seng oa U-tube) | Nako e phahameng ea ho sebetsa le ho tšepahala ha sensor mecheng ea phatlalatso e khopisang. |
| Bokhoni ba ho lemoha liphoso | Reactive (e lemoha maeto a etsahetseng lihora tse fetileng) | E sebetsang esale pele (e hlahloba liphetoho tse matla, e lemoha maeto esale pele) | E thibela lithōle tse kotsi tsa wafer le maeto a ho ntša kotsi. |
Tafole ea 3: Tlhahlobo ea Papiso: Metrology ea Lerōle le ea Setso
Tlhahlobo ea setso ea kantle ho marang-rang e hloka ts'ebetso ea ho ntša sampole le ho e tsamaisa, e leng se hlahisang nako e telele haholo ka har'a potoloho ea metrology. Tieho ena, e ka nkang lihora tse ngata, e etsa bonnete ba hore ha leeto le qetella le fumanoe, palo e kholo ea li-wafer e se e senyehile. Ho feta moo, ho sebetsana ka letsoho ho hlahisa phapang le kotsi ea ho senyeha ha sampole, haholo-holo ka lebaka la liphetoho tsa mocheso kamora ho nka sampole, e leng se ka sothang lipalo tsa viscosity.
Metrology e ka hare e felisa ho lieha hona ho fokolisang, e fana ka phallo e tsoelang pele ea data ka kotloloho ho tsoa moleng oa kabo. Lebelo lena ke la bohlokoa bakeng sa ho lemoha liphoso; ha le kopantsoe le moralo o tiileng, o sa koaleheng o hlokahalang bakeng sa thepa e khopameng, e fana ka phepelo ea data e tšepahalang bakeng sa ho tsitsisa sistimi eohle ea kabo. Leha ho rarahana ha CMP ho laela ho beha leihlo liparamente tse ngata (joalo ka refractive index kapa pH), bongata le viscosity li fana ka maikutlo a tobileng ka ho fetisisa, a nako ea sebele mabapi le botsitso ba 'mele ba motheo ba ho emisoa ha khopameng, boo hangata bo sa tsotelleng liphetoho liparamenteng tse kang pH kapa Oxidation-Reduction Potential (ORP) ka lebaka la ho buffering ha lik'hemik'hale.
5. Litlhoko tsa Moruo le Ts'ebetso
Melemo ea Tlhokomelo ea Botebo le ho Tjhenya ha Nako ea Sebele
Bakeng sa mohala ofe kapa ofe o tsoetseng pele oa tlhahiso mooCMP ts'ebetsong ea semiconductorHa e sebelisoa, katleho e lekanngoa ka ntlafatso e tsoelang pele ea chai, botsitso bo boholo ba ts'ebetso, le taolo e matla ea litšenyehelo. Tlhokomelo ea rheological ea nako ea sebele e fana ka meralo ea motheo ea data ea bohlokoa e hlokahalang ho fihlela litlhoko tsena tsa khoebo.
E Ntlafatsa Botsitso ba Ts'ebetso
Tlhokomelo e tsoelang pele le e nepahetseng haholo ea ho qhibilihisa lerotholi e tiisa hore liparamente tsa bohlokoa tsa ho qhibilihisa lerotholi tse tlisoang sebakeng sa ts'ebeliso (POU) li lula li le ka har'a meeli e thata ea taolo, ho sa tsotelehe lerata la ts'ebetso e holimo. Mohlala, ka lebaka la phapang ea bongata bo teng lihlopheng tse kenang tsa ho qhibilihisa lerotholi, ho latela risepe feela ha hoa lekana. Ka ho beha leihlo bongata ba lerotholi ka har'a tanka ea blender ka nako ea sebele, sistimi ea taolo e ka fetola likarolelano tsa ho qhibiliha ka mokhoa o feto-fetohang, ho netefatsa hore mahloriso a nepahetseng a sepheo a bolokoa nakong eohle ea ts'ebetso ea ho kopanya. Sena se fokotsa haholo phapang ea ts'ebetso e hlahang ho tsoa ho lisebelisoa tse tala tse sa tsitsang, e leng se lebisang ts'ebetsong ea ho bentša e ka boleloang esale pele haholo le ho fokotsa haholo makhetlo le boholo ba maeto a litšenyehelo a ts'ebetso.
E eketsa chai
Ho sebetsana ka kotloloho le ho hloleha ha mechine le lik'hemik'hale ho bakoang ke maemo a sa tsitsang a lerōle ke tsela e nang le tšusumetso e kholo ea ho ntlafatsatlhahiso ea li-semiconductor tsa cmpsekgahla sa tlhahiso. Disistimi tsa ho lekola tse bolelang esale pele, tsa nako ya sebele di sireletsa sehlahiswa sa boleng bo hodimo ka mafolofolo. Di-Fabs tse kentseng tshebetsong disistimi tse jwalo di tlalehile katleho e kgolo, ho kenyeletswa le ditlaleho tsa phokotso e fihlang ho 25% ya ho phonyoha ha diphoso. Bokgoni bona ba thibelo bo fetola mokgwa wa tshebetso ho tloha ho arabeleng diphosong tse ke keng tsa qojwa ho ya ho thibela ka mafolofolo ho thehwa ha tsona, ka hona di sireletsa di-wafer tsa boleng ba dimilione tsa didolara ho tloha maqaqailaneng a manyane le tshenyo e nngwe e bakwang ke bongata ba dikarolwana tse sa tsitsang. Bokgoni ba ho lekola diphetoho tse matla, tse kang ho theoha ha viscosity ka tshohanyetso ho bontshang kgatello ya mocheso kapa ya ho kgaola, bo nolofalletsa ho kenella pele dintlha tsena di jala diphoso ho di-wafer tse ngata.
E Fokotsa Mosebetsi-bocha
Sehlahisoamosebetsi bochasekgahla, se hlalosoang e le peresente ya sehlahiswa se hlahisitsweng se hlokang ho sebetswa botjha ka lebaka la diphoso kapa diphoso, ke KPI ya bohlokwa e lekanyang ho se sebetse hantle ha tlhahiso ka kakaretso. Sekgahla se phahameng sa ho lokisa se ja basebetsi ba bohlokwa, ditshila tsa thepa, mme se hlahisa tieho e kgolo. Hobane diphoso tse kang ho dihela, ho tlosa ho sa tshwaneng, le ho ngoapa ke ditlamorao tse tobileng tsa ho se tsitse ha rheological, ho tsitsisa phallo ya lerōle ka hara bongata bo tswelang pele le taolo ya viscosity ho fokotsa haholo ho qalwa ha diphoso tsena tsa bohlokwa. Ka ho netefatsa botsitso ba tshebetso, ho ata ha diphoso tse hlokang ho lokiswa kapa ho polishwa botjha ho a fokotswa, e leng se fellang ka ntlafatso ya tshebetso le bokgoni ba sehlopha ka kakaretso.
E ntlafatsa Litšenyehelo tsa Ts'ebetso
Li-slurry tsa CMP li emela litšenyehelo tse kholo tse ka sebelisoang tikolohong ea tlhahiso. Ha ho se tsitse ha ts'ebetso ho laela tšebeliso ea meeli e meholo, e bolokehileng ea polokeho ho kopanyeng le tšebelisong, sephetho ke ts'ebeliso e sa sebetseng hantle le litšenyehelo tse phahameng tsa ts'ebetso. Tlhokomelo ea nako ea sebele e nolofalletsa taolo ea slurry e bonolo le e nepahetseng. Mohlala, taolo e tsoelang pele e lumella likarolelano tse nepahetseng tsa ho kopanya, ho fokotsa ts'ebeliso ea metsi a qhibilihang le ho netefatsa hore theko e boimasebopeho sa slurry sa cmpe sebelisoa hantle, e fokotsa tšenyo ea thepa le litšenyehelo tsa ts'ebetso. Ho feta moo, tlhahlobo ea rheological ea nako ea sebele e ka fana ka matšoao a temoso ea pele a mathata a lisebelisoa - joalo ka ho tsofala ha pad kapa ho hloleha ha pompo - e lumellang tlhokomelo e thehiloeng maemong pele ho phoso e baka ho senyeha ho hoholo ha lerōle le nako e latelang ea ho se sebetse hantle ha ts'ebetso.
Tlhahiso e tsitsitseng e nang le chai e ngata e hloka ho felisoa ha diphetoho ditshebetsong tsohle tsa bohlokwa tsa yuniti. Theknoloji ya resonant ya Lonnmeter e fana ka matla a hlokahalang, lebelo le ho nepahala ho tlosa kotsi ya meralo ya motheo ya ho tlisa lerōle. Ka ho kopanya data ya nako ya sebele ya bongata le ya viscosity, baenjiniere ba tshebetso ba hlomelletswe ka bohlale bo tswelang pele, bo ka sebediswang, ho netefatsa tshebetso ya ho bentsha e ka lebellwang le ho sireletsa chai ya wafer kgahlanong le ho se tsitse ha colloidal.
Ho qala phetoho ho tloha taolong ea chai e arabelang ho ea taolong ea ts'ebetso e sebetsang:
EketsaNako ea ho sebetsa leFokotsaMosebetsi botjha:KhoasollaLitlhaloso tsa rona tsa Tekheniki leQalaRFQ Kajeno.
Re mema baenjiniere ba baholo ba lits'ebetso le tlhahiso horomelaRFQ e qaqileng. Litsebi tsa rona tsa botekgeniki li tla hlahisa 'mapa o nepahetseng oa ts'ebetsong, li kopanya theknoloji ea Lonnmeter e nepahetseng haholo meralong ea motheo ea kabo ea seretse ho lekanya phokotso e reriloeng ea bongata ba sekoli le tšebeliso ea seretse.Ikopanye le ronaSehlopha sa rona sa Tsamaiso ea Ts'ebetso hona joale hosireletsehilemelemo ea hau ea chai.Sibollaho nepahala ha bohlokwa ho hlokahalang ho tsitsisa mohato wa hao wa bohlokwa ka ho fetisisa wa ho rala.
