Tekanyo ea phallo ke ea bohlokoa haholo ho seheng terata ea daemane ea silicon wafer, kaha e netefatsa hore maro a ho seha a fihla hantle ho sebopeho sa terata le wafer—e leng sa bohlokoa bakeng sa ho boloka ho pholisa hantle, ho tlotsa mafura le ho tlosa lithōle.RLintlha tsa phallo ea nako ea eal li thibela phepelo e sa lekaneng kapa e feteletseng ea mokelikeli, e leng se neng se tla baka ho chesa haholo, ho robeha ha terata, liphoso tsa bokaholimo, kapa litšila. Tekanyo e nepahetseng e fokotsa ho feto-fetoha ha ts'ebetso, e sireletsa ho se teteane ha wafer le botšepehi ba bokaholimo, e atolosa bophelo ba terata, 'me e ntlafatsa ts'ebetso ea lisebelisoa.
Kakaretso ea ho Seha ka Silicon Wafer le Karolo ea ho Seha Metsi
Ho seha terata ea daemane ke mokhoa o ka sehloohong oa ho seha li-ingot tsa silicon tse nang le kristale e le 'ngoe le tse nang le kristale e ngata ka har'a li-wafer bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor le photovoltaic. Ts'ebetsong ena, terata ea tšepe—hangata e bophara ba 40–70 μm—e koahetsoe ka lithollo tsa daemane tse khohlelang. Terata e tsamaea ka lebelo le phahameng, 'me litaemane tse kentsoeng li sila silicon ka ho khohlela, li fokotsa liphoso tsa bokaholimo le ho khothaletsa ho tšoana ha li-wafer. Lithapo tse fokotsehileng tsa bophara tse hlahisitsoeng lilemong tsa morao tjena li fokotsa tahlehelo ea kerf, e bolelang hore thepa e senyehileng e le likaroloana tse ntle tsa silicon nakong ea ts'ebetso ea ho seha. Tahlehelo ea kerf e khethoa ke bophara ba terata le bophahamo ba lithollo tse khohlelang tse hlahang holim'a terata.
Ho Seha terata ea Taemane
*
Ho seha maro a phetha karolo e 'maloa ea bohlokoa ho seheng terata ea daemane. Mosebetsi oa bona o ka sehloohong ke ho pholisa ingot le terata, ho thibela ho chesa haholo ho ka senyang silicon kapa ho fokotsa bophelo ba terata. Li boetse li hlatsoa likaroloana tse nyane tsa silicon tse hlahisoang nakong ea ho seha, e leng se thusang ho boloka sebopeho se hloekile, ho thibela ho fetoha ha lithōle, le ho fokotsa mapetso a manyane holim'a wafer. Ho feta moo, maro a ho seha a tlotsa ts'ebetso, a fokotsa khohlano pakeng tsa terata le silicon, ka hona a lelefatsa nako ea bophelo ba terata le ho ntlafatsa boleng ba ho seha. Sebopeho le thepa ea 'mele ea maro a ho seha a silicon wafer - joalo ka viscosity le viscous - li tlameha ho laoloa ka hloko ho ntlafatsa pholiso, ho tlosoa ha chip le tšireletso ea terata.
Ho na le mefuta e 'maloa ea mokelikeli oa ho seha oa wafer, ho kenyeletsoa le mokelikeli o thehiloeng metsing o nang le lintho tse eketsang bakeng sa ho tlotsa ka mokhoa o ntlafalitsoeng le ho emisoa ha likaroloana. Khetho e itšetlehile ka moralo oa lisebelisoa, litlhaloso tsa wafer, le lithibelo tsa tikoloho. Mehlala e kenyelletsa metsi a hloekisitsoeng a nang le li-surfactants kapa li-glycols, tse entsoeng ho leka-lekanya katleho ea ho pholisa le ho thehoa ha masala a tlase.
Phetoho e lebisang ho lithapo tsa taemane tse tšesaane haholo limela tsa sejoale-joale tsa wafer e eketsa liphephetso tsa ho fana ka mokelikeli le taolo ea ts'ebetso. Ha bophara ba terata bo fokotseha ka tlase ho 40 μm, kotsi ea ho robeha ha terata ea eketseha 'me mamello ea phetoho ea ts'ebetso ea tiea. Tekanyo e nepahetseng ea sekhahla sa phallo - e tšehetsoang ke mahlale a kang ho seha limithara tsa phallo ea mokelikeli, li-sensor tsa tekanyo ea phallo e nepahetseng haholo, le li-sensor tsa phallo ea boima ba Coriolis - ke tsa bohlokoa ho boloka ho pholisa le ho tlosa litšila ka katleho. Li-sensor tsa tlhokomelo ea mokelikeli tse sehang le litharollo tsa tekanyo ea phallo ea mokelikeli tse sehang indastering li nolofalletsa basebetsi ho latela le ho fetola sekhahla sa phallo ka nako ea sebele, ho fihlela ho tlotsa le boleng bo botle ba bokaholimo. Ho nepahala ha limithara tsa phallo ea Coriolis ho bohlokoa haholo bakeng sa ho laola metsi a nang le makhabane le viscosity tse fapaneng, ho netefatsa maemo a tsitsitseng leha lebelo la ho seha le tsitsipano ea terata li ntse li eketseha.
Tlhoko ena e ntseng e eketseha ea ho nepahala e fetotse tlhokomelo ho lekola liparamente tsa mokelikeli o fetohang joalo ka sekhahla sa phallo, bongata le ho teteana. Lisebelisoa tse kang tsa Lonnmeter li fana ka litekanyo tse tšepahalang, tsa nako ea sebele tse bohlokoa bakeng sa netefatso ea boleng le ntlafatso ea ts'ebetso ts'ebetsong e tsoetseng pele ea ho seha terata ea taemane. Ha theknoloji ea terata e ntse e tsoela pele, kopanyo ea mahlale a matla a ho lekanya phallo ke ea bohlokoa ho ts'ehetsa phallo ea wafer, ho fokotsa tahlehelo ea kerf, le ho fokotsa litlhoko tsa ho qeta tse theohelang bakeng sa lekala la tlhahiso ea wafer ea silicon.
Liphephetso tsa Phano ea Mokelikeli ho Seheng ka Terata ea Taemane ka ho Sebetsa
Ho seheng terata ea daemane ha li-wafer tsa silicon tse tšesaane haholo—haholo-holo tse ka tlase ho 40 µm—ho isa tekanyo e nepahetseng ea mokelikeli oa silicon oa wafer ho sehokelo sa ho seha e ba phephetso e kholo. Ha botenya ba terata bo fokotseha, sebaka sa phallo ea mokelikeli le sona sea fokotseha. Ho boloka phepelo e tsitsitseng ea mokelikeli oa ho seha ke habohlokoa ho netefatsa ho tlotsa, taolo ea mocheso le ho tlosoa ha lithōle sebakeng seo li kopanang ho sona.
Phallo e sa tsitsang kapa e sa lekaneng ea mokelikeli e lebisa ka kotloloho ho monyellong oa wafer, moo wafer e khomarelang lisebelisoa ka mokhoa o sa rateheng ka lebaka la ho se tlotse ho lekaneng. Sena ha se sitise feela ts'ebetso ea ho seha empa hape se eketsa kotsi ea ho robeha kapa ho senyeha ha wafer. Ho se tsitse ha bokaholimo ho phahama haholo ha terata le wafer li sa fumane lubrication e tsoelang pele le ho phola ho tsoa mokelikeling oa ho seha terata ea daemane. Libaka tse senyehileng tse hlahang le liphoso tse nyane li fokotsa boleng le chai ea wafer, e leng se bakang litšitiso tse kholo bakeng sa liindasteri tsa semiconductor le photovoltaic.
Mabaka a mararo a ka sehloohong a ama ho kenella ha mokelikeli ka hara sekgeo sa ho saga sa tekanyo e nyane: jiometri ya terata, lebelo la ho seha, le ketso ya capillary. jiometri ya terata—haholo-holo bophara ba terata le kabo ya dithollo tsa daemane—e susumetsa ka ho toba hore na mokelikeli wa ho seha wa silicon wafer o phalla habonolo hakae le ho kgomarela sebaka sa ho kopana. Ha o sebedisa dithapo tse ka tlase ho 40 µm, sebaka se senyenyane sa bokaholimo se thibela motsamao o lokolohileng wa mokelikeli. Lebelo le phahameng la ho seha le fokotsa nako e fumanehang ya hore mokelikeli o fihle le ho phodisa sebopeho, e leng se lebisang ho ho chesa haholo sebakeng seo le ho tlotsa ho fokolang. Ketso ya capillary, bokgoni ba tlhaho ba mokelikeli ho hulwa dibakeng tse moqotetsane, e etsa qeto e matla ya ho boloka mokelikeli. Leha ho le jwalo, marokho a tshwanang a metsi a ntlafatsang ho tsamaiswa ha mokelikeli a ka hlahisa ho kgomarelana ha capillary pakeng tsa dithapo tse haufi, e leng se bakang kgatello e sa tshwaneng le phapang e eketsehileng ya botenya ba wafer.
Ho hlahisoa ha mefuta e tsoetseng pele ea mokelikeli oa wafer o sehang—ho kenyeletsoa le litharollo tse ntlafalitsoeng ke nanoparticle—ho fana ka lintlafatso tse ka lekanngoang. Mekelikeli e entsoeng ka nanoparticles ea SiO₂ kapa SiC e kenella likheong tse tšesaane ka katleho ka lebaka la ho hlaka ho ntlafalitsoeng le tšebelisano-'moho ea bokaholimo. Mekelikeli ena e ntlafatsa ho tlotsa 'me e tsamaisa mocheso ka katleho e kholo, e leng se fellang ka ho ba le makhopho a tlase holim'a metsi le ho ba sephara ha wafer ho ntlafetseng. Lipatlisiso li bontša hore ho sebelisa mekelikeli e tletseng nanoparticle ho fetola sebaka sa mocheso nakong ea ho seha, ho fokotsa khatello ea maikutlo e sokelang botšepehi ba wafer. Sena, hammoho le mekhoa e kang ho thothomela ha ultrasonic ho matlafatsa ho tsamaisoa ha capillary, ho lumella ho fanoa ha mokelikeli o lekanang oa ho seha terata ea daemane.
Ho fana ka mokelikeli ka mokhoa o tsitsitseng ho hloka tlhokomelo le tokiso e nepahetseng, ea nako ea sebele. Tekanyo e phahameng ea phallo ea mokelikeli oa ho seha indastering e ba ea bohlokoa, haholo-holo lits'ebetsong tse laoloang ka thata. Ho kenya tšebetsong sesupa-tsela sa ho seha phallo ea mokelikeli—joalo ka sensor ea ho lekanya phallo ea boima ba Coriolis e nepahetseng haholo—ho nolofalletsa taolo e nepahetseng ea sekhahla sa ho fana. Methapo ea Lonnmeter ea inline density le viscosity, ha e kopantsoe le lisebelisoa tse nepahetseng tsa ho lekanya sekhahla sa phallo, e kenya letsoho ho ntlafatseng phepelo ea mokelikeli kahoo esita le li-wafer tse tšesaane ka ho fetisisa li khaoloa hantle, ka kotsi e fokolang ea sekoli.
Tekanyo ea Phallo ea Mokelikeli Ts'ebetsong ea ho Seha Wafer
Tekanyo e nepahetseng ea sekhahla sa phallo ke ea bohlokoa bakeng sa ho ntlafatsa ho tsamaisoa ha mokelikeli o khaotsoeng ho sehiloeng ka terata ea taemane ea li-wafer tsa silicon. Katleho ea mokelikeli o khaotsoeng oa silicon wafer e bopa ka ho toba ho pholisa, ho tlotsa le ho tlosa lithōle sebakeng sa ho kopana, e ama boleng ba bokaholimo ba wafer, tahlehelo ea kerf, le chai ea tlhahiso ka kakaretso. Phallo e sa lekaneng kapa e feteletseng e fetola katleho ea ho khohlela, e eketsa ho senyeha ha lisebelisoa, 'me e ka baka boleng bo sa tsitsang ba wafer kapa litšenyehelo tse phahameng tsa lisebelisoa. Lipatlisiso tsa pono li bontša hore ho roughness ea bokaholimo (Ra) le tšenyo ea bokaholimo bo ka tlase li ka fokotsoa ka ho boloka sekhahla sa phallo ea mokelikeli o khaotsoeng ka har'a sebaka se setle sa 0.15–0.25 L/min bakeng sa mechini e tloaelehileng ea terata e le 'ngoe, kaha phallo e sa lekaneng e lebisa ho mapetsong a manyane le ho bokellana ha lithōle, ha phallo e feteletseng e hlahisa pherekano le tšebeliso e sa hlokahaleng.
Mahlale a ho Khaola Tekanyo ea Sekhahla sa Phallo ea Mokelikeli
Methapo ea phallo ea mokelikeli e sehiloeng e kopanngoa le mela ea phepelo ea mokelikeli, e lekanyang bophahamo ba mokelikeli o sehiloeng oa terata ea taemane ka nako ea sebele. Mekhoa e tloaelehileng ea ho lekanya phallo e kenyelletsa mefuta ea mechine, ea elektroniki le ea ultrasonic:
- Methapo ea phallo ea mechine, joalo ka meralo ea turbine le paddlewheel, e sebelisa likarolo tse potolohang tse tlosoang ke phallo ea mokelikeli. Li bonolo ebile li tiile empa li ka senyeha habonolo ke maro a tletseng marotholi.
- Methapo ea phallo ea elektroniki, haholo-holo meralo ea motlakase, e lekanya lebelo la mokelikeli ho sebelisoa melao-motheo ea ho kenya motlakase ka motlakase, e fanang ka ts'ebetso e tšepahalang le e bonesang bakeng sa mokelikeli o tsamaisang motlakase.
- Limithara tsa phallo ea ultrasound li sebelisa maqhubu a molumo a maqhubu a phahameng a fetisetsoang le ho amoheloa ho pholletsa le phaephe. Ka ho lekanya phapang ea nako ea phetisetso ea molumo le phallo le khahlanong le eona, lisebelisoa tsena li fana ka tekanyo e sa keneleng, e nepahetseng e loketseng mefuta e fapaneng ea mokelikeli oa ho seha oa wafer.
Tekanyo ea phallo ea boima ba Coriolis e hlahella lits'ebetsong moo ho hlokahalang taolo e nepahetseng ea boima ba mokelikeli, ho sa tsotelehe viscosity kapa liphetoho tsa mocheso. Li-sensor tsa phallo ea boima ba Coriolis li lekanya ka kotloloho sekhahla sa phallo ea boima ho latela phello ea Coriolis, li fana ka ho nepahala ho hoholo le ho tšoaneleha bakeng sa maro a ho seha terata ea taemane a thehiloeng metsing le a thehiloeng oling. Lonnmeter e hlahisa li-inline density le viscosity metres, tse nolofalletsang ho beha leihlo thepa ea mokelikeli bakeng sa botsitso le taolo e ntle ea ts'ebetso ho seheng sa silicon wafer.
Liparamente tsa Tekanyo e Bohlokoa le Sebaka sa Sensor
Tekanyo e nepahetseng ea phallo ea mokelikeli o khaotsoeng ho sehiloeng ha wafer e hloka tlhokomelo ho liparamente tse 'maloa tsa bohlokoa:
- Sekhahla sa phallo (L/min): Tekanyo ea mantlha bakeng sa ntlafatso ea ts'ebetso le netefatso ea boleng.
- Botenya le ho teteana: Ka bobeli li ama haholo ts'ebetso ea ho pholisa, ho tsamaisoa ha lintho tse khorofo, le ho tlosoa ha lithōle.
- Mocheso: E ama ho teteana le ho sekama ha metsi sebakeng seo ho sehiloeng ho sona.
Sebaka sa sensor ke sa bohlokoa. Li-sensor tsa tekanyo ea phallo li tlameha ho beoa ka ho toba moleng oa ho tsamaisa metsi haufi le sebaka sa ho seha kamoo ho ka khonehang ho fokotsa liphapang tse bakoang ke khanyetso ea liphaephe, ho lutla, kapa mouoane pele ho sebopeho sa ho seha. Tekanyo ea nako ea sebele e netefatsa hore boleng ba phallo bo tlalehiloeng bo lumellana le phepelo ea 'nete sebakeng sa ho seha terata ea daemane.
Mosebetsi oa Tekanyo ea Phallo ho Boloka Tikoloho e Ntle ea ho Seha
Li-sensor tsa ho lekanya phallo li bohlokoa bakeng sa ho beha leihlo ka nako ea sebele le taolo e feto-fetohang ea phepelo ea mokelikeli ho seheng ha wafer ea silicon indastering. Ho boloka sekhahla se setle sa phallo ho netefatsa ho qhalana ho lekaneng ha mocheso, ho tlosoa ha lithōle tse sa khaotseng, le ho tlotsa ka mokhoa o ts'oanang terata ea daemane. Ntle le sena, botsitso ba ts'ebetso boa fokotseha, bophelo ba terata boa khutsufala, 'me chai e oa ka lebaka la kotsi e eketsehileng ea liphoso tsa bokaholimo kapa tahlehelo e feteletseng ea kerf.
Ka ho kopanya tekanyo ea sekhahla sa phallo e nepahetseng haholo le liparamente tse ling tsa karabelo (mohlala, lebelo la terata, sekhahla sa phepelo), bahlahisi ba ka qobella taolo e feto-fetohang ea moeli oa ts'ebetso, ba hokahanya ka ho toba liphetoho tsa sekhahla sa phallo le ts'ebetso ea ho seha e bonoang. Ka lebaka leo, ho kheloha leha e le hofe ho tloha enfelopong ea phallo e hlophisitsoeng ho baka ketso ea tokiso hang-hang, ho sireletsa boleng ba ts'ebetso le katleho ea mehloli.
Ka bokhutšoanyane, tekanyo ea phallo ea mokelikeli oa ho seha indastering—e itšetlehileng ka li-sensor tse matla tsa ho lekanya phallo le data ea nako ea sebele—e sebetsa e le lejoe la motheo bakeng sa tlhahiso ea silicon wafer e nang le chai e ngata le e theko e tlaase mehleng ea ho seha terata ea daemane.
Tekanyo ea Phallo ea 'Misa ea Coriolis: Melao-motheo le Ts'ebeliso
Tekanyo ea phallo ea boima ba Coriolis e ipapisitse le ho lemoha matla a hlahisoang ke mokelikeli o tsamaeang ka har'a liphaephe tse thothomelang. Ha mokelikeli o phalla—joalo ka mokelikeli o sehang terata ea daemane kapa mokelikeli o khethehileng oa ho seha wafer oa silicon—liphaephe li ba le phetoho e nyane, e ka lekanngoang ea mohato. Phetoho ena e lekana le sekhahla sa phallo ea boima, e fana ka tekanyo e tobileng, ea nako ea sebele ea boima ba mokelikeli o sehang o tlisoang. Molao-motheo o tšoanang o lumella ho lekanya ka nako e le 'ngoe bongata ba mokelikeli, ho tšehetsa ho nepahala ho hoholo ho pholletsa le mefuta e fetohang ea mokelikeli, metsoako le mocheso—e leng tlhoko ea bohlokoa tlhahisong ea wafer ea silicon le lits'ebetsong tsa ho seha terata ea daemane.
Melemo ea mokhoa ona bakeng sa mefuta ea mokelikeli oa ho seha oa wafer, haholo-holo ha ho sebelisoa maro a ho seha terata ea taemane a sebetsang hantle, e kholo haholo. Tekanyo ea phallo ea Coriolis ha e itšetlehe ka viscosity ea mokelikeli le liphetoho tsa sebopeho, e lula e nepahetse haholo har'a boteng ba likaroloana tse khorofo, li-nano-additives, kapa metsoako e fapaneng e atisang ho fumanoa maroleng a ho seha bakeng sa li-wafer tsa silicon. Ho tiea hona ho etsa hore e be betere ho feta mekhoa ea setso ea phallo ea volumetric, e ka angoang ke lipululana, likaroloana tse emisitsoeng, le thepa e fetohang ea 'mele ea maroleng a ho seha a tsoetseng pele.
Ho seha ha wafer ea semiconductor ho itšetleha haholo ka theknoloji e tsoetseng pele ea sensor ea phallo ea mokelikeli ho netefatsa tlhokomelo e tšepahalang ea mokelikeli oa ho seha bakeng sa li-wafer tsa silicon. Li-sensor tsa phallo ea boima ba Lonnmeter tse sebelisang phello ea Coriolis, li kenngoa tšebetsong ka kotloloho meleng ea ts'ebetso. Sena se nolofalletsa ho fana ka le ho beha leihlo ka nepo mokelikeli oa ho seha oa nano-fluid le daemane nakong ea ho seha wafer. Matšoao a ho senyeha ha mokelikeli, ho se tsitse ha motsoako, kapa liphetoho tsa bongata li bonoa kapele, e leng se lumellang ho kenella hang-hang taolong ho boloka chai ea ts'ebetso le boleng ba bokaholimo.
Ho bapisa di-sensor tsa phallo ya boima ba Coriolis le di-sensor tse ding tsa ho lekola mokelikeli o sehang—tse kang ditsamaiso tsa phallo ya mocheso, ya motlakase, kapa ya ultrasonic—ho senola matla a mmalwa. Di-sensor tsa phallo ya boima ba Coriolis di ipabola ka tekanyo e phahameng ya phallo mme di fana ka dipalo tse thehilweng hodima boima tse sa angweng ke diphetoho tsa viscosity kapa thepa ya makenete. Dimithara tsa motlakase le tsa ultrasonic di thatafallwa ke metswako ya mokelikeli o sehang e nang le di-nanoparticles, dipokotho tsa moya, kapa diphetoho tsa bonyane ba motsotso, hangata di lebisa tekanyong e sa tshepahaleng ya sekgahla sa phallo le keketseho ya makgetlo a tlhokomelo.
Ho nepahala ha sesupa-tsela sa phallo ea Coriolis ho bolokoa tlas'a mekhoa e fetohang ea mokelikeli, kaha merero ea ts'ebetso ea matšoao le ea puseletso ea mocheso e sefa lerata le phapang ea tikoloho ka katleho. Basebelisi ba ka sebelisa data ea nako ea sebele ho ntlafatsa ho pholisa, ho tlotsa le ho tlosa likaroloana, ho arabela litšobotsing tse fapaneng tsa mefuta e fapaneng ea mokelikeli oa ho seha oa wafer le metsoako ea nanofluid.
Ho ikamahanya ha tekanyo ya phallo ya boima ba Coriolis ho ya ho saga terata e tshesane haholo le maro a sehang a nang le di-nanoparticles ho tshwaya phetoho tlhokomelong ya indasteri. Di-sensor di lekanya phallo ya nnete ya boima le bongata ka botshepehi, ho sa tsotelehe dikahare tsa dikarolwana kapa ho se tshwane ha mokelikeli, ho nolofalletsa taolo e kwalletsweng le taolo ya mokelikeli e iketsahalletseng e etseditsweng ho seha wafer. Boemo bona ba tekanyo e phahameng ya phallo e nepahetseng ke ba bohlokwa ho boloka botsitso ba tshebetso, ho fokotsa tahlehelo ya thepa, le ho tiisa botsitso ba bokahodimo nakong ya tshebetso ya ho etsa wafer ya silicon le ditshebetso tsa ho seha terata ya daemane.
Ho Kopanya Lintlha tsa Tekanyo ea Phallo Taolong ea Ts'ebetso
Tekanyo ea phallo ea nako ea sebele ho sebelisoa li-sensor tsa phallo ea boima ba Coriolis e fetotse tsamaiso ea mokelikeli o sehiloeng nakong ea ho seha terata ea taemane ea li-wafer tsa silicon. Methara ea ho ba le boima bo kahare le ea viscosity, joalo ka tse hlahisoang ke Lonnmeter, li nolofalletsa ho beha leihlo hang-hang thepa ea mokelikeli le sekhahla sa phallo, li tšehetsa ka kotloloho taolo e nepahetseng ea ts'ebetso.
Ho boloka sekgahla se setle sa phallo ho bohlokwa bakeng sa ho phodisa, ho hlwekisa le ho tlotsa terata ya daemane le di-wafer tsa silicon ka katleho. Dimithara tsa phallo ya boima ba Coriolis di a ipabola tikolohong ena ka ho fana ka maikutlo a nepahetseng haholo, a nako ya nnete mabapi le phallo ya boima le dibopeho tsa mokelikeli. Ka data ena, ditsamaiso tse iketsang di ka fetola lebelo la pompo, maemo a di-valve, kapa sekgahla sa ho sebedisa hape ho fana ka bophahamo le sebopeho se hlokahalang sa mokelikeli wa ho seha wafer ka nepo. Mohlala, nakong ya dipotoloho tse potlakileng tsa ho seha, data ya sensor e ka baka ho eketseha ha phano ya mokelikeli bakeng sa ho ntlafala ha ho tloswa ha ditshila le ho phodisa, ha dipotoloho tse liehang di ka hloka phallo e fokotsehileng ho qoba tshenyo.
Maikutlo a tsoang ho li-sensor tsa ho lekanya phallo le ona a bohlokoa bakeng sa ho arabela maemong a fetohang a mokelikeli. Ha viscosity ea mokelikeli kapa bongata ba metsi bo fetoha—ka lebaka la liphetoho tsa mocheso kapa tšilafalo—Limithara tse ka hare tsa Lonnmeter li lemoha liphetoho tsena hang-hang, li lumella litsamaiso tsa taolo ho lefella ka ho fetola sekhahla sa phallo kapa ho qala ho sefa mokelikeli. Mokhoa ona o nang le lintlha tse hlophisitsoeng, o tsamaisoang ke data o netefatsa hore mokelikeli o lula o le ka har'a litlhaloso tse thata bakeng sa ts'ebetso e ntle ea ho seha.
Libakeng tse nang le bongata bo boholo, bokhoni ba ho beha leihlo le ho laola phallo ea mokelikeli e khaotsoeng ka nako ea sebele bo tšehetsa botenya bo tsitsitseng le ho fokotsa ho hlaha ha liphoso tse turang, joalo ka ha ho bontšitsoe mefuteng e meholo ea tlhahiso Asia le Europe. Tsamaiso e tsoetseng pele ea mokelikeli e boetse e tšehetsa tlhokomelo e boletsoeng esale pele, e lelefatsang bophelo ba terata ea taemane.
Mesebetsi ea indasteri e rua molemo haholo ho tsoa litsamaisong tsa mokelikeli o sehang o laoloang ke phallo. Tsamaiso e sebetsang ea mokelikeli e fokotsa litšenyehelo tsa tšebeliso le tsa ho lahla ka ho netefatsa hore ho sebelisoa mokelikeli o lekaneng bakeng sa wafer ka 'ngoe, e tšehetsang botsitso le ho latela melao. Phokotso ea litšila tsa mokelikeli—e nolofalitsoeng ke maikutlo a tsoelang pele le phetoho e thehiloeng ho data ea sensor—e fetolela litšenyehelong tse tlase tsa ts'ebetso le ho fokotseha ha khatello ea tikoloho.
Ka bokhutšoanyane, kopanyo ea data ea tekanyo ea phallo ea nako ea sebele, e nolofalitsoeng ke litharollo tsa Lonnmeter tse ka hare, ha se feela lejoe la motheo bakeng sa netefatso ea boleng ba wafer empa hape ke monyetla oa ts'ebetso bakeng sa ts'ebetso ea ho seha terata ea daemane. E fana ka lintlafatso tse ka lekanngoang pheletsong ea bokaholimo, ts'epo ea mechini, chai ea tlhahiso le katleho ea litšenyehelo.
Temohisiso ea Liteko le Tataiso ea Indasteri
Lithuto tsa morao tjena tsa liteko li fetotse mekhoa e metle ea ho fana ka mokelikeli bakeng sa ho seha li-wafer tsa silicon ka terata ea taemane. Lipatlisiso li bontša hore phepelo ea mokelikeli e laoloang hantle, haholo-holo ho sebelisoa mekhoa e tsoetseng pele, e amana ka ho toba le ho monya ha li-wafer ka tlase le boleng bo betere ba bokaholimo.
Tšebeliso ea phello ea capillary ea ultrasonic ho phanong ea mokelikeli e hlahile e le phetoho e kholo. Maqhubu a ultrasound a khanna mokelikeli o sehang ka botebo ho li-kerf tse tšesaane haholo-haholo-holo libakeng tse moqotetsane ho feta 50 μm-moo mekhoa ea phepelo ea setso e atisang ho hloleha. Ho kenella hona ho matlafalitsoeng ho fokotsa haholo ho monngoa ha likaroloana tse khorofo le lithōle holim'a wafer. Liteko tsa pono li bontša hore li-wafer tse fuoeng mokelikeli o thusoang ke ultrasonic li bontša liphoso tse fokolang tsa bokaholimo, ka hona chai e phahameng le ts'epo lits'ebetsong tse tlase.
Ntlafatso ea liparamente e bohlokoa bakeng sa ho eketsa melemo ea ntlafatso ea ultrasonic le theknoloji ea nano-fluid ho fokotsa ho tsamaisoa ha mokelikeli. Liparamente tsa bohlokoa li kenyelletsa:
- Sebaka sa poleiti: Sekheo se pakeng tsa polokelo ea mokelikeli le sebaka sa ho seha se lokela ho fokotsoa bakeng sa ho phahama ha mokelikeli hantle.
- Boemo ba transducer ea ultrasonic le ho tšoana ha ho seta: Jeometri e hlalositsoeng ka ho hlaka e netefatsa phetiso ea maqhubu a tšoanang le ts'ebetso ea capillary.
- Mocheso o nang le mokelikeli: Ho futhumatsa ho laolehileng ho eketsa ho tsamaea ha mokelikeli le katleho ea capillary.
- Nako le makhetlo a ts'ebeliso ea ultrasound: Nako e nepahetseng e thibela ho chesa haholo ha ka nako e ts'oanang e eketsa ho kenella ha metsi.
- Khetho ea mofuta oa mokelikeli: Mekelikeli e fapaneng ea motheo le li-additives li arabela ka mokhoa o ikhethang ho khothatso ea ultrasonic.
Theknoloji ea Nanofluid e hlahisa tsoelo-pele e 'ngoe e kholo. Metsi a sehang a kopantsoeng le li-nanoparticles tse kang SiO2 le SiC a bontša ho ntlafala ha motlakase le ho tlotsa. Phetoho ena e lebisa ho pholisong e sebetsang hantle, ho tlosoa ha lithōle tse ntlafalitsoeng, le ho fokotseha ha ho teteana ha bokaholimo ba wafer. Lintlha li bontša hore mekhoa e tsoakiloeng ea li-nano-particles e fana ka lintlafatso tse kopanetsoeng, e fokotsang ho thiba le ho hlahisa sebopeho se setle sa wafer ho feta maro a sehang a mofuta o le mong kapa a tloaelehileng.
Bahlahisi ba batlang ho ntlafatsa katleho ea bona ea mokelikeli oa ho seha ba ka kenya tšebetsong litataiso tse latelang tsa ts'ebetso:
- Sebelisa li-inline density metres le li-viscosity metres (tse kang tse tsoang Lonnmeter) ho beha leihlo le ho laola ho tsitsa ha mokelikeli, ho netefatsa hore litšobotsi tsa phallo li lula li loketse bakeng sa thuso ea ultrasonic le nano.
- Lekola le ho lokisa sekgahla sa phallo ya mokelikeli o kgaolwang o sebedisa sensor ya ho lekanya phallo ka nepo e phahameng. Tekanyo ya phallo ya boima ba Coriolis e thusa haholo bakeng sa tekanyo ya phallo ya mokelikeli o kgaolwang indastering, e fanang ka ho nepahala ha nako ya sebele bakeng sa bongata le bophahamo.
- Lekanya di-sensor tsa ho lekanya phallo kgafetsa ho boloka dipalo tse tshepahalang, tsa bohlokwa bakeng sa tshebetso e tsitsitseng ya wafer.
- Khetha mefuta ea mokelikeli oa wafer o sehiloeng le mahloriso a nanoparticle a tsamaellanang le boholo bo itseng ba wafer, litšobotsi tsa terata ea daemane, le tikoloho ea ts'ebetso.
Lithuto tsa papiso li tiisa hore liphetoho tsa paramethara ea ntlha e le 'ngoe—joalo ka ho eketsa lebelo la terata kapa ho fetola sekhahla sa phepelo—li amana le liphetoho tsa ho senyeha ha terata, ho ba thata ha bokaholimo, le phapang ea botenya bohle (TTV). Ho boloka ho nepahala ha phallo le phepelo e potlakileng le e arabelang ea mokelikeli ke tsa bohlokoa ho fokotsa liphoso le ho lelefatsa bophelo ba terata.
Lipotso Tse Botsoang Khafetsa
Mokelikeli oa ho seha oa silicone wafer o ntlafatsa ts'ebetso ea ho seha terata ea taemane joang?
Mokelikeli oa ho seha oa silicon o sebetsa e le setlolo le sepholisetsang ho seheng terata ea daemane. Mosebetsi oa eona oa mantlha ke ho fokotsa khohlano le ho qhala mocheso o hlahisoang sebakeng sa terata le wafer. Khohlano e tlase le mocheso li fokotsa mapetso a manyane le ho ngoatheha holimo, e leng se ka lebisang tšenyo ea wafer le ho theola chai ka kakaretso. Mokelikeli o boetse o tlosa lithōle sebakeng sa ho seha, o boloka terata ea daemane le wafer e hloekile. Ho tlosoa hona ho tsoelang pele ha likaroloana ho fella ka libaka tse boreleli tsa wafer 'me ho tšehetsa tlhahiso e tsitsitseng le ea boleng bo holimo. Mohlala, maro a ntlafalitsoeng a ho seha a nang le li-nanoparticles tsa SiO₂ le SiC a ka kenella ka botebo ka har'a kerf, a fokotsa ho teteana ha bokaholimo le warpage ea wafer, a ntlafatsa tlhahiso ea wafer bakeng sa tšebeliso ea semiconductor.
Sesupa-nako sa ho seha mokelikeli ke eng, hona ke hobane'ng ha se le bohlokoa ho seheng li-wafer?
Sethara sa phallo ea mokelikeli se sehang se lekanya bongata bo nepahetseng ba mokelikeli o tlisoang sebakeng sa ho sakha. Ho boloka phallo e nepahetseng ho bohlokoa bakeng sa ho tlotsa ka ho lekaneng, ho qhalana ha mocheso le ho tlosoa ha lithōle. Haeba phallo e le tlase haholo, terata e chesa kapa e bokella lithōle, e leng se bakang ho ngoapa le ho robeha. Phallo e feteletseng e ka senya mokelikeli 'me ea baka ho se leka-lekane ha khatello, e amang ho batalla ha wafer le bophelo ba sesebelisoa. Ho khaola lithara tsa phallo ea mokelikeli, joalo ka lithara tsa density inline le lithara tsa viscosity tse entsoeng ke Lonnmeter, ho thusa basebetsi ho beha leihlo le ho fetola phepelo ka nako ea sebele. Sena se netefatsa hore ts'ebetso e lula ka har'a liparamente tse ntle, e eketsa chai ea wafer le ho fokotsa ho senyeha ha sesebelisoa.
Tekanyo ea phallo ea boima ba Coriolis e thusa taolo ea mokelikeli oa ho seha ha silicon wafer joang?
Tekanyo ea phallo ea boima ba Coriolis e bohlokoa haholo bakeng sa tekanyo e phahameng ea phallo tlhahisong ea wafer ea silicon. Ho fapana le li-flowmeter tsa setso, li-sensor tsa Coriolis li lekanya phallo ea boima ka kotloloho ho sa tsotelehe viscosity ea mokelikeli, bongata, kapa liphetoho tsa mocheso. Tšobotsi ena e nolofalletsa ho beha leihlo ka nepo mefuta e fapaneng ea mokelikeli oa ho seha wafer, ho kenyeletsoa le tse nang le li-nanoparticles. Sephetho ke ho fana ka mokelikeli o sehang ka mokhoa o tsitsitseng ka sekhahla se nepahetseng, ho boloka setlolo se tsitsitseng le ho pholisa ho sa tsotelehe liphetoho tsa ts'ebetso. Melemo ena e kenya letsoho ka kotloloho boleng bo holimo ba wafer lits'ebetsong tse hlokang ho seha terata ea daemane, moo taolo e nepahetseng e fokotsang liphoso le ho ntlafatsa tlhahiso.
Ke lintlha life tse amang tekanyo ea sekhahla sa phallo lits'ebetsong tsa sakha ea terata ea taemane?
Tekanyo e nepahetseng ea sekhahla sa phallo e itšetlehile ka mefuta e 'maloa e hokahaneng. Khetho ea sensor ke ea bohlokoa; mohlala, li-sensor tsa phallo ea boima ba Coriolis li fana ka data e tšepahalang esita le bakeng sa maro a viscous kapa a tletseng likaroloana. Sebopeho sa mokelikeli—joalo ka boteng ba li-nanoparticles—se ka fetola viscosity le viscous 'me sa susumetsa litlhoko tsa ho lekanya sensor. Bophara ba terata le lebelo la ho seha le tsona li ama hore na ho hlokahala mokelikeli o mokae bakeng sa ho pholisa le ho tlosa litšila ka katleho. Ho lekanya bakeng sa ts'ebetso e 'ngoe le e 'ngoe e ikhethileng hoa hlokahala ho netefatsa hore sensor e bala boleng ba 'nete, ho netefatsa hore tekanyo e nepahetseng ea mokelikeli oa ho seha e sebelisoa bakeng sa sehlopha ka seng.
Na nano-fluids le mekhoa ea ultrasonic li ka ntlafatsa ho kenella ha mokelikeli nakong ea ho seha silicon wafer?
Diphuputso di bontsha hore di-nano-fluids, haholo-holo tse nang le di-nanoparticles tsa SiO₂ le SiC, di eketsa bokgoni ba ho tlisa mokelikeli ho sebopeho sa bohlokwa sa terata le wafer. Dikaroloana tsena di thusa mokelikeli ho fihlella dikgeo tse nyane haholo, ho netefatsa ho phodisa le ho tlotsa ho betere. Ho feta moo, mekgwa ya phello ya capillary ya ultrasonic e ntlafatsa motsamao le ho kenella ha mokelikeli, haholoholo ho seheng ha terata e tshesane haholo. Sena se bolela hore ho hlokahala mokelikeli o fokolang wa ho seha ho fihlella tshebetso e ntle, mme diphetho di kenyeletsa phokotso ya ho monya mokelikeli, sebopeho se ntlafetseng sa bokahodimo, le sekgahla se tlase sa diphoso. Ditswelopele tsena di tshehetsa kgato e yang ho di-wafer tse tshesane, tse bophara bo boholo diindastering tsa semiconductor le tsa photovoltaic, ka di-sensor tsa ho seha tsa ho lekola mokelikeli tse netefatsang hore tshebetso e dula e laolwa ebile e tsitsitse ho pholletsa le potoloho e nngwe le e nngwe ya tlhahiso.
Nako ea poso: Tshitwe-25-2025
