Ho polisha Mechine ea Lik'hemik'hale

Liphephetso tsa ho Lekola Thepa ea Lerōle

Ho boloka bongata ba slurry le viscosity tse tsitsitseng ts'ebetsong ea ho bentša lik'hemik'hale ho tletse liphephetso. Litšobotsi tsa slurry li ka fapana ka lebaka la lintlha tse kang lipalangoang, ho qhibiliha ka metsi kapa hydrogen peroxide, ho kopanya ho sa lekaneng, kapa ho senyeha ha lik'hemik'hale. Mohlala, ho lula ha likaroloana ka har'a li-slurry totes ho ka baka bongata bo phahameng tlase, e leng se lebisang ho bentšeng e sa lekanang. Mekhoa ea setso ea ho beha leihlo joalo ka pH, bokhoni ba ho fokotsa oxidation (ORP), kapa conductivity hangata ha e ea lekana, kaha e hlōleha ho lemoha liphetoho tse poteletseng tsa sebopeho sa slurry. Meeli ena e ka fella ka liphoso, sekhahla se fokotsehileng sa ho tlosoa, le litšenyehelo tse eketsehileng tse ka sebelisoang, e leng se behang likotsi tse kholo bakeng sa bahlahisi ba lisebelisoa tsa semiconductor le bafani ba lits'ebeletso tsa CMP. Liphetoho tsa sebopeho nakong ea ho sebetsana le ho aba li ama ts'ebetso. Li-node tsa Sub-10nm li hloka taolo e tiileng holim'a bohloeki ba slurry le ho nepahala ha motsoako. pH le ORP li bontša phapang e nyane, ha conductivity e fapana ka botsofali ba slurry. Litšobotsi tsa slurry tse sa tsitsang li ka eketsa sekhahla sa liphoso ka ho fihlela ho 20%, ho latela lithuto tsa indasteri.

Li-sensor tsa Lonnmeter tse ka hare bakeng sa Tlhokomelo ea Nako ea Sebele

Lonnmeter e sebetsana le diphephetso tsena ka dimithara tsa yona tse tswetseng pele tsa seretse se se nang nyutlelie leli-sensor tsa ho teteana, ho kenyeletsoa le mithara ya viscosity e ka hare ho moleng bakeng sa ditekanyo tsa viscosity tse ka hare ho moleng le mithara ya ultrasonic density bakeng sa ho lekola density ya slurry le viscosity ka nako e le nngwe. Di-sensor tsena di etseditswe ho kopanngwa ka ho se nang sekoli le ditshebetso tsa CMP, tse nang le dikgokelo tse tloaelehileng tsa indasteri. Ditharollo tsa Lonnmeter di fana ka tshepahalo ya nako e telele le tlhokomelo e tlase bakeng sa kaho ya yona e matla. Lintlha tsa nako ya sebele di thusa basebetsi ho lokisa metswako ya slurry, ho thibela diphoso, le ho ntlafatsa tshebetso ya ho bentsha, e leng se etsang hore disebediswa tsena di be bohlokwa bakeng sa Bafepedi ba Disebediswa tsa Tlhahlobo le Teko le Bafepedi ba Disebediswa tse Sebedisetswang tsa CMP.

Melemo ea Tlhokomelo e Tsoelang Pele bakeng sa Ntlafatso ea CMP

Tlhokomelo e tsoelang pele ka li-sensor tsa Lonnmeter tse ka hare ho mola e fetola ts'ebetso ea ho bentša lik'hemik'hale ka ho fana ka temohisiso e sebetsang le ho boloka litšenyehelo tse kholo. Tekanyo ea ho ba le lerōle la slurry ka nako ea sebele le tlhokomelo ea viscosity li fokotsa liphoso tse kang ho ngoapa kapa ho bentša ho feta tekano ka ho fihlela ho 20%, ho latela litekanyetso tsa indasteri. Ho kopanngoa le sistimi ea PLC ho nolofalletsa ho lekanya le ho laola ts'ebetso ka boiketsetso, ho netefatsa hore thepa ea lerōle e lula ka har'a maemo a nepahetseng. Sena se lebisa phokotsong ea 15-25% ea litšenyehelo tse ka sebelisoang, nako ea ho phomola e fokotsehileng, le ho tšoana ho ntlafetseng ha wafer. Bakeng sa Semiconductor Foundries le Bafani ba Litšebeletso tsa CMP, melemo ena e fetolela tlhahiso e ntlafetseng, phaello e phahameng, le ho latela maemo a kang ISO 6976.