1. Fa'atulagaina o le Tulaga MaualugaPfa'a'asu
O le ā le CMP i le Semiconductor?
O le fa'apalapala fa'akemikolo (CMP), e ta'ua fo'i o le fa'ata'atiaga fa'akemikolo, o se tasi lea o galuega fa'atekonolosi sili ona faigata ma taua tau tupe i le gaosiga o semiconductor fa'aonaponei. O lenei faiga fa'apitoa e fa'agaoioia o se faiga fa'afefiloi e le mafaagaloina, e fa'alelei ma le fa'aeteete luga o le wafer e ala i le fa'aogaina fa'atasi o le etching fa'akemikolo ma le fa'aleagaina fa'aletino e matua pulea lelei. E fa'aaogaina tele i le ta'amilosaga o le gaosiga, e taua tele le CMP mo le sauniaina o wafers semiconductor mo vaega o lo'o mulimuli mai, e mafai ai ona tu'usa'o le tu'ufa'atasia maualuga-density e mana'omia e fausaga fa'atekonolosi fa'aonaponei.
CMP i le Fa'agasologa o le Semiconductor
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O le manaʻoga loloto ofa'apalapala fa'amekanika fa'akemikoloe fa'avae i mana'oga fa'aletino o le lithography fa'aonaponei. A'o fa'aitiitia foliga o le integrated circuit ma fa'aputu fa'alava le tele o vaega, o le gafatia o le faiga e aveese tutusa ai meafaitino ma fa'atuina ai se fogaeleele lamolemole i le lalolagi atoa e matua taua tele lava. O le ulu fa'apala malosi ua mamanuina e fa'ata'amilo i luga o axes eseese, ma fa'alaugatasia ma le fa'aeteete le topography le tutusa i luga o le wafer. Mo le fa'aliliuina manuia o mamanu, aemaise lava i metotia fa'aonaponei e pei o le Extreme Ultraviolet (EUV) lithography, o le fogaeleele atoa ua fa'agasoloina e tatau ona pa'u i totonu o se loloto vaapiapi tele o le fanua—o se fa'atapula'aina geometric e mana'omia ai le lamolemole o le Angstrom mo tekinolosi fa'aonaponei i lalo ifo o le 22 nm. A aunoa ma le mana fa'alaugatasi o lefaiga o le semiconductor cmp, o la'asaga mulimuli ane o le photolithography o le a i'u ai i le fa'aletonu o le fa'atulagaina, fa'aletonu o mamanu, ma fa'alavelave matuia i le seleselega.
O le faʻaaogaina lautele o le CMP na mafua ona o le suiga o le alamanuia mai uaea alumini masani i uaea kopa e maualuga le faatinoga. O le faʻametalaina o le kopa e faʻaaogaina ai se faiga faʻaopoopo o mamanu, o le metotia Damascene, lea e faʻalagolago tele i le gafatia tulaga ese o le CMP e aveese ai le kopa tele ma taofi mau le gaioiga o le aveeseina tonu lava i le va o le uʻamea ma le vaega e taofia ai le oxide. O lenei aveeseina o mea e matua filifilia lava e faʻamamafaina ai le paleni faʻakemikolo ma le faʻainisinia e faʻamatalaina ai le faiga, o se paleni e vave ona faʻaleagaina e oʻo lava i nai suiga laiti i le auala e faʻapulusaina ai.
Galuega a le CMP i le Fa'agasologa o le Semiconductor
O le manaʻoga faʻamalosia mo le suiga maualalo o le topographic e le o se sini faʻaopoopo ae o se manaʻoga faʻatino tuusaʻo mo le faʻagaioiga faʻatuatuaina o le masini, faʻamautinoaina le tafe lelei o le eletise, le faʻasalalauina o le vevela, ma le faʻatulagaina o galuega i totonu o fausaga e tele vaega. O le matafaioi autu a le CMP o le puleaina o le topographic, faʻatuina le tulaga mafolafola muamua mo laʻasaga taua uma o le faʻagasologa.
O le faʻaoga faʻapitoa e faʻatonuina ai le filifiliga o meafaitino ma mea talafeagaifa'atulagaga o le slurryUa atiaʻe faiga o le CMP e taulima ai meafaitino eseese, e aofia ai le tungsten, kopa, silicon dioxide (SiO2), ma le silicon nitride (SiN). O mea olopalaina ua fa'aleleia ma le fa'aeteete mo le maualuga o le lelei o le planarization ma le filifiliga lelei o meafaitino i le tele o fa'aoga, e aofia ai le Shallow Trench Isolation (STI) ma le Interlayer Dielectrics (ILD). Mo se fa'ata'ita'iga, o le high-function ceria slurry e fa'aaogaina fa'apitoa mo fa'aoga ILD ona o lona fa'atinoga sili ona lelei i le fa'apaleniina o la'asaga, tutusa, ma le fa'aitiitia o le tele o fa'aletonu. O le natura fa'apitoa tele o nei mea olopalaina ua fa'amaonia ai o le le mautu o le fa'agasologa e mafua mai i suiga i le malosi o le vai o le polishing medium o le a solia ai loa mana'oga autu mo le aveeseina o meafaitino filifilia.
2. O le Matafaioi Taua a le CMP Slurry Health
CMP i le Fa'agasologa o le Semiconductor
O le aoga faifai pea o lefaiga fa'amama fa'amekanika kemikolo cmpe faalagolago atoatoa i le tuʻuina atu ma le faʻatinoga faifai pea o le slurry, lea e fai ma auala taua e faʻafaigofie ai tali faʻakemikolo talafeagai ma le oloina faʻamekanika. O lenei vai faigata, e faʻamatalaina o se colloidal suspension, e tatau ona tuʻuina atu pea ma tutusa ona vaega taua, e aofia ai vailaʻau (oxidizers, accelerators, ma corrosion inhibitors) ma vaega nano-sized abrasive, i luga o le dynamic wafer surface.
O le fa'aputuga o le slurry ua mamanuina e fa'aosofia ai se tali fa'akemikolo fa'apitoa: o le faiga sili ona lelei e fa'alagolago i le fausiaina o se vaega o le oxide e le mafai ona solo i luga o le mea fa'amoemoeina, lea e aveese fa'amekanika e vaega o le abrasive. O lenei faiga e tu'uina atu ai le filifiliga maualuga o le topographic surface e mana'omia mo le planarization lelei, fa'atatau le gaioiga o le aveeseina i luga o vaega maualuluga po'o mea e oso i luga. I se fa'atusatusaga, afai o le tali fa'akemikolo e maua ai se tulaga o le soluble oxide, o le aveeseina o meafaitino e isotropic, ma fa'aumatia ai le filifiliga o le topographic e mana'omia. O vaega faaletino o le slurry e masani ona aofia ai vaega o le abrasive (e pei o le silica, ceria) e amata mai le lapo'a mai le 30 i le 200 nm, e tautau i le va o le 0.3 ma le 12 pasene mamafa o solids.
CMP Slurry Semiconductor
Tausia o le soifua maloloina o leSemiconductor slurry CMPe manaʻomia ai le faʻamatalaina ma le pulea faifai pea i lona olaga atoa, auā o soʻo se faʻaleagaina i le taimi o le taulimaina poʻo le faʻasalalauina e mafai ona oʻo atu ai i le tele o tupe gau. O le lelei o le apa faʻapipiʻi mulimuli, e faʻamatalaina e lona lamolemole nanoscale ma le maualuga o le faʻaletonu, e fesoʻotaʻi saʻo ma le tulaga lelei o le tufatufaina atu o le fasi lapopoʻa o le slurry (PSD) ma le mautu lautele.
O le natura fa'apitoa o mea eseeseituaiga o slurry cmpo lona uiga o vaega laiti e pei o le nano e fa'amautuina e ala i malosiaga eletise e tete'e atu i totonu o le fa'a'au'au. E masani ona tu'uina atu mea palu i se tulaga fa'aputu ma e mana'omia ai le fa'a'au'au sa'o ma le fa'afefiloi ma le vai ma mea fa'a'okesaita i le nofoaga e gaosia ai. O le mea e sili ona taua, o le fa'alagolago i fua fa'atatau o le fa'afefiloi tumau e matua'i sese lava aua o mea fa'aputu e o'o mai e fa'aalia ai suiga masani o le mafiafia mai le vaega i le vaega.
Mo le puleaina o le faagasologa, e ui o le auiliiliga tuusaʻo o le PSD ma le zeta potential (colloidal stability) e taua tele, ae o nei metotia e masani ona faʻaititia i le auiliiliga faʻafuaseʻi, offline. O le moni o le faʻagaioiga o le siosiomaga HVM e manaʻomia ai le toe tali mai i le taimi moni, vave. O le mea lea, o le mafiafia ma le viscosity e avea ma sui sili ona aoga ma aoga mo le soifua maloloina o le slurry. O le mafiafia e maua ai se fua vave ma faifai pea o le aofaʻi o mea mamafa i totonu o le medium. E tutusa lava le taua o le viscosity, e fai ma faʻailoga matua maaleale o le tulaga colloidal o le vai ma le faʻamaoni o le vevela. O le viscosity e le mautu e masani ona faʻailoa mai ai le abrasive particle.fa'apotopotogapo'o le toe fa'afouina, aemaise lava i lalo o tulaga fa'asolosolo o le sele. O le mea lea, o le mata'ituina pea ma le pulea o nei fa'asologa rheological e lua e maua ai le vave, gaioiga fa'asolosolo e mana'omia e fa'amaonia ai o lo'o tausia e le slurry lona tulaga fa'akemikolo ma fa'aletino fa'apitoa i le taimi e fa'aaogaina ai.
3. Su'esu'ega o le Fa'aletonu Fa'amekanika: O Mea e Mafua ai le Fa'aletonu
A'afiaga Leaga e Mafua Mai i Fesuia'iga o le CMP Density & Viscosity
O le fesuia'iga o faiga ua iloa o le mafua'aga autu lea e mafua ai le lamatiaga i le gaosiga maualuga.cmp i le gaosiga o semiconductor. O uiga o le slurry, e ta'ua fa'atasi o le "slurry health," e matua faigofie lava ona a'afia i suiga e mafua mai i le pamuina o le shear, suiga o le vevela, ma le le tutusa o le paluina. O fa'aletonu e mafua mai i le slurry flow system e ese mai i fa'afitauli fa'amekanika, ae o nei mea uma e lua e mafua ai ni otaota tetele ma e masani ona na'o le tuai ona iloa e ala i le post-process end-point systems.
O le i ai o ni vaega tetele tele po o ni faaputuga i totonu o lesemiconductor cmpE manino lava le fesootaʻiga o meafaitino ma le faia o ni maosi laiti ma isi faʻaletonu mataʻutia i luga o le fogāeleele ua faʻapupula. O suiga i le taua o le rheological parameters—viscosity ma le density—o faʻailoga autū ia o loʻo faʻaauau pea ona faʻaleagaina le tulaga lelei o le slurry, ma amata ai le faiga o le faʻatupuina o faʻaletonu.
Fesuiaiga o le Viscosity o le Slurry (e pei o le, e mafua ai le faʻaputuga, suia o le shear)
O le viscosity o se meatotino thermodynamic e pulea ai le amioga o le tafe ma le gaioiga o le feteʻenaʻiga i le va o le polishing, ma avea ai ma se mea e matua aʻafia ai i le siosiomaga ma le faʻalavelave faʻamekanika.
O le faatinoga fa'akemikolo ma fa'aletino o lesemiconductor viscosity slurryE matuā faalagolago le faiga i le puleaina o le vevela. Ua faamaonia e suesuega e tusa lava pe na o le 5°C le suiga laitiiti i le vevela o le faagasologa e mafai ona oo atu ai i le faaitiitia o le viscosity o le slurry e tusa ma le 10%. O lenei suiga i le rheology e aafia sa'o ai le mafiafia o le ata hydrodynamic e vavaeese ai le wafer mai le polishing pad. O le faaitiitia o le viscosity e oo atu ai i le le lava o le lubrication, ma iu ai i le faateleina o le friction mechanical, o se mafuaaga autu o micro-scrutches ma le faatelevaveina o le faaaogaina o le pad.
O se auala taua o le faʻaleagaina e aofia ai le faʻaputuina o vaega laiti e mafua mai i le sele. O mea e faʻavae i luga o le silica e tausia ai le vavaeʻeseina o vaega laiti e ala i malosiaga teteʻe eletise maaleale. A feagai le mea e sele ma ni faʻalavelave maualuga o le sele—e masani ona mafua mai i pamu centrifugal masani e le talafeagai poʻo le toe faʻasalalauina tele i le matasele tufatufaina—e mafai ona faatoilaloina nei malosiaga, e oʻo atu ai i le vave ma le le toe mafai ona toe faʻafoʻisiafa'apotopotogao vaega fa'a'a'a. O mea tetele e maua mai ai e fai ma meafaigaluega e olo ai mea laiti, e mafua ai ni maosi laiti mata'utia i luga o le fogā'ele'ele. O le viscometry i le taimi moni o le auala e mana'omia e iloa ai nei mea tutupu, ma maua ai le fa'amaoniga taua o le "agamalu" o le faiga pamu ma le tufatufaina a'o le'i tupu se fa'aletonu tele.
O le eseesega o le viscosity e mafua mai ai e matua faʻaleagaina ai foi le aoga o le planarization. Talu ai o le viscosity o se mea taua e aʻafia ai le coefficient of friction i le taimi o le polishing, o le a taitai atu ai se faʻasologa o le viscosity e le tutusa i le fua faatatau o le aveeseina o meafaitino. O le faʻateleina o le viscosity i le lotoifale, aemaise lava i le maualuga o le shear rates e tupu i luga o foliga siʻitia o le wafer topography, e suia ai le friction dynamics ma faʻavaivaia ai le sini o le planarization, ma iu ai ina oʻo atu ai i faʻaletonu o le topographical e pei o le dishing ma le erosion.
Fesuiaiga o le Mamafa o le Slurry
O le mafiafia o le palapala o le fa'ailoga vave ma fa'atuatuaina lea o le aofa'i atoa o mea malo o lo'o tautau i totonu o le vai. O le fesuisuia'i o le mafiafia e fa'ailoa mai ai le le tutusa o le tu'uina atu o le palapala, lea e feso'ota'i ma suiga i le fua faatatau o le aveeseina o meafaitino (MRR) ma le fa'atupuina o ni fa'aletonu.
O siosiomaga fa'atino e mana'omia ai le fa'amaoniga fa'apitoa o le tuufaatasiga o le slurry. O le fa'alagolago na'o le fa'aopoopoina o aofa'iga fa'apitoa o le vai ma le oxidizer i vaega fa'apitoa o lo'o o'o mai e le lava, aua e masani ona fesuisuia'i le mafiafia o mea mata, e mafua ai ona le tutusa taunu'uga o le fa'agasologa i le ulu o le meafaigaluega. E le gata i lea, o vaega fa'amama, aemaise lava vaega ceria e maualuga le malosi, e mafai ona fa'aputu pe afai e le lava le saoasaoa o le tafe po'o le mautu o le colloidal. O lenei fa'aputuga e mafua ai le fa'asolosolo o le mafiafia ma le fa'aputuga o meafaitino i totonu o laina tafe, e matua fa'aleagaina ai le mafai ona tu'uina atu se avega fa'amama tutusa.
How DmalosiDfa'alavelaveAffisi ManufacliliuanaProcess?.
O taunuuga tuusaʻo o le mafiafia o le palapala e le mautu e aliali mai o ni faʻaletonu faaletino taua i luga o le mea ua faʻapupula:
Fua Fa'atatau o le Ave'esea e Le'o Tutusa (WIWNU):O suiga i le mafiafia e fa'aliliu sa'o atu i suiga i le tele o vaega o mea fa'apalapala o lo'o tu'uina atu i le va'aiga fa'apulusa. O le mafiafia e maualalo ifo nai lo le fa'amaotiina e fa'aalia ai le fa'aitiitia o le tele o mea fa'apalapala, lea e mafua ai ona fa'aitiitia le MRR ma maua ai le le tutusa i totonu o le wafer (WIWNU). E fa'avaivaia e le WIWNU le mana'oga autu o le planarization. I se isi itu, o le mafiafia maualuga i le lotoifale e fa'ateleina ai le avega aoga o vaega, e o'o atu ai i le tele o le aveeseina o meafaitino. O le pulea lelei o le mafiafia e fa'amautinoa ai le tu'uina atu o mea fa'apalapala tutusa, lea e matua'i feso'ota'i ma malosiaga fete'ena'i mautu ma le MRR e mafai ona va'aia.
Fa'aletonu ona o Suiga Fa'asolo i le Lotoifale:O le maualuga o le fa'aputuga o mea malo e fa'a'a'a i le lotoifale, e masani ona mafua mai i le fa'aputuina po'o le le lava o le fa'afefiloi, e mafua ai ona maualuga tele avega i vaega ta'itasi i luga o le fogā'ele'ele o le wafer. A pipi'i malosi vaega o mea malo, aemaise lava le ceria, i le vaega o le tioata okisa, ma iai ni fa'alavelave i luga, e mafai e le avega fa'amekanika ona mafua ai ona gau le vaega o le tioata, ma i'u ai i ni pito loloto ma ma'ai.luafa'aletonu. O nei suiga o le fa'amama e mafai ona mafua mai i le fa'aletonu o le fa'amamāina, ma fa'atagaina ai mea tetele (mea e sili atu i le $0.5\ \mu m$) e pasia, e mafua mai i le le lelei o le fa'a'au'au o mea. O le mata'ituina o le mafiafia e maua ai se faiga lapata'i taua ma fa'aopoopo i le faitauina o mea, e mafai ai e inisinia o le fa'agasologa ona iloa le amataga o le fa'aputuga o mea fa'amama ma fa'amautu le avega o mea fa'amama.
Fa'aputuga o Mea Toega mai le Fa'a'au'au Leaga o le Vaega:A lē mautu le fa'a'au'au, ma i'u ai i le fesuisuia'i maualuga o le mafiafia, o le a masani ona fa'aputu mea malo i le fausaga o le tafe, ma i'u ai i galu mafiafia ma le fa'aputuga o mea i le faiga tufatufaina atu.17E le gata i lea, i le taimi o le fa'apalapala, e tatau i le slurry ona aveese lelei oloa o le tali atu o vaila'au ma otaota o le ofuina fa'amekanika. Afai e le lelei le fa'aputuga o le vaega po'o le gaioiga o le vai ona o le le mautu, o nei toega e le mafai ona aveese lelei mai le fogāeleele o le wafer, ma mafua ai ona i ai ni vaega ma vaila'au pe a uma le CMP.toegafa'aletonu. O le tumau o le fa'a'au'au o fasi mea, e fa'amautinoaina e le mata'ituina faifai pea o le rheological, e mana'omia mo le fa'amamaina ma le fa'aauau pea o le aveeseina o meafaitino.
Aoao e uiga i nisi o mita o le mamafa
Isi Mita Fa'agasologa i luga ole Initaneti
4. Tulaga Fa'atekinolosi Maualuga o le Inline Metrology
Lonnmeter Inline Densitometers & Viscometers
Ina ia faʻamautu lelei le faʻagasologa o le volatile CMP, e taua tele le fuaina pea ma le lē faia o se taotoga o tulaga faʻamautu o le soifua maloloina o le slurry.Lonnmeter Inline Densitometers & ViscometersFa'aaoga le tekinolosi maualuga o le resonant sensor, e maua ai le fa'atinoga sili atu pe a fa'atusatusa i masini masani e faigofie ona fa'atuai. O lenei gafatia e mafai ai ona mata'ituina lelei ma fa'aauau pea le mafiafia o le mafiafia e tu'ufa'atasia sa'o i totonu o le ala o le tafe, lea e taua tele mo le ausia o tulaga fa'atonuina o le mama ma le sa'o o le fa'afefiloi o nodes fa'aonaponei o le sub-28nm.
Au'ili'ili auiliili a latou mataupu faavae autu o tekinolosi, sa'o o le fuaina, saoasaoa o tali, mautu, fa'atuatuaina i siosiomaga faigata o le CMP, ma fa'avasega ese mai metotia masani e le o luga o le initaneti.
O le fa'aautomatika lelei o le fa'agasologa e mana'omia ai masini fa'apitoa ua mamanuina ina ia fa'agaoioia ma le fa'atuatuaina i lalo o tulaga fa'aonaponei o le tafe maualuga, mamafa maualuga, ma le a'afia i vaila'au fa'ama'i, e tu'uina atu ai se fa'amatalaga vave mo faiga fa'atonutonu.
Mataupu Faavae Autū o Tekonolosi: Le Aogā o le Resonator
E fa'aaogā e meafaigaluega Lonnmeter ni tekinolosi malolosi o le resonant ua mamanuina faapitoa e fa'aitiitia ai vaivaiga o densitometers masani e fa'aaoga ai le U-tube densitometers, ia e lauiloa tele mo le fa'aogaina fa'atasi ma le abrasive colloidal suspensions.
Fuaina o le Mafiafia:O lemita o le mafiafia o le palapalae fa'aaogaina se elemene gatete ua mae'a ona fa'apipi'i, e masani lava o se fa'apotopotoga tui po'o se resonator co-axial. O lenei elemene e fa'aosofia i le piezo-electrically e oscillate i lona frequency masani. O suiga i le mafiafia o le vai o lo'o siomia ai e mafua ai se suiga sa'o i lenei frequency masani, ma mafai ai ona fa'amautuina sa'o ma maualuga le fa'atuatuaina o le mafiafia.
Fuaina o le Mafiafi:O leViscometer o le slurry o lo'o fa'agasoloe fa'aaogaina se masini e malosi lona malosi e fe'avea'i i totonu o le vai. O le mamanu e fa'amautinoa ai o le fuaina o le viscosity e vavae'ese mai aafiaga o le tafe tele o le vai, ma maua ai se fua fa'atatau o le rheology o le meafaitino.
Fa'atinoga o Galuega ma le Maufetuuna'i
O le inline resonant metrology e tuʻuina atu ai fua faʻatatau taua mo le pulea lelei o le HVM:
Sa'o ma le Saosaoa o Tali:E maua mai i faiga fa'a-inline le maualuga o le toe faia, e masani ona sili atu nai lo le 0.1% le sa'o o le viscosity ma le mafiafia e o'o atu i le 0.001 g/cc. Mo le pulea lelei o le fa'agasologa, o lenei maualugasa'o lelei—o le mafai ona fuaina pea le tau tutusa ma iloa ma le mautinoa ni eseesega laiti—e masani ona sili atu lona taua nai lo le sa'o atoatoa. O le mea taua, o le faailoilotaimi talimo nei masini fa'alogo e matua vave lava, e masani lava pe tusa ma le 5 sekone. O lenei toe fa'afo'i vave e mafai ai ona iloa vave mea sese ma fetu'una'iga otometi e aunoa ma se fa'alavelave, o se mana'oga autu mo le puipuia o fa'alavelave fa'afuase'i.
Mausali ma le Fa'atuatuaina i Siosiomaga Faigata:E matuā malolosi lava mea e fa'aaogaina ai le CMP slurries. O mea faigaluega fa'aonaponei ua fausia mo le maufetuuna'i, e fa'aaoga ai meafaitino ma fa'atulagaga fa'apitoa mo le fa'apipi'iina sa'o i totonu o paipa. O nei masini fa'alogo ua mamanuina e fa'agaoioia i le tele o mamafa (e pei o le, e o'o atu i le 6.4 MPa) ma le vevela (e o'o atu i le 350 ℃). O le mamanu e le o le U-tube e fa'aitiitia ai sone oti ma lamatiaga o le poloka e feso'ota'i ma mea fa'amama, fa'ateleina ai le taimi e fa'agaoioia ai le masini fa'alogo ma le fa'atuatuaina o le fa'agaoioiga.
Eseesega mai Metotia Masani e Leai se Initaneti
O eseesega fa'atino i le va o faiga fa'akomepiuta inline ma metotia fa'atino tuusa'o e fa'amatalaina ai le eseesega i le va o le puleaina o fa'aletonu tali atu ma le fa'aleleia atili o le fa'agasologa.
| Tulaga Fa'atonutonu o le Mata'ituina | E le o iai se initaneti (Su'esu'ega i le Fale Su'esu'e/U-Tube Densitometer) | Inline (Lonnmeter Densitometer/Viscometer) | Aafiaga o le Fa'agasologa |
| Saosaoa o le Fuaina | Fa'atuai (Itula) | Taimi Moni, Fa'aauau (Taimi tali e masani ona 5 sekone) | E mafai ai ona puipuia ma pulea lelei le faagasologa e aunoa ma se taotoga tapuni. |
| Tumau/Sa'o o Fa'amaumauga | Maualalo (E ono sese i le fa'aaogaina o le lima, fa'aleagaina o le fa'ata'ita'iga) | Maualuga (Otometi, maualuga le toe fai/sa'o) | Fa'amalosia atili o tapula'a o le puleaina o fa'agasologa ma fa'aitiitia ai ni fa'amaoniga sese. |
| Fegalegaleaiga Fa'apala | Tulaga lamatia maualuga o le poloka (Fuafuaga vaapiapi o le pu o le U-tube) | Lamatiaga maualalo o le poloka (Malosi, mamanu resonator e le o se U-tube) | Fa'ateleina le taimi e fa'agaoioi ai le masini fa'alogo ma le fa'atuatuaina i masini fa'amamago. |
| Malosiaga e Iloa ai Mea Sese | Tali vave (e iloa ai ni faalavelave na tutupu i ni itula ua mavae) | Fa'atino galuega (mata'ituina suiga fa'afuase'i, vave iloa mea e ono tula'i mai) | E taofia ai otaota o apa ma le fa'aitiitia o fua. |
Laulau 3: Su'esu'ega Fa'atusatusa: Fuainumera Fa'asolo e Fa'atusatusa i Fuainumera Fa'asolo Masani
O le au'ili'iliga masani e le o iai i fafo atu o le initaneti e mana'omia ai se faiga e aveese ai fa'ata'ita'iga ma felauaiga, ma e mafua ai ona tele le taimi e fa'atuai ai i totonu o le metrology loop. O lenei fa'atuai, lea e mafai ona umi ni itula, e fa'amautinoa ai pe a iloa mulimuli ane se fa'alavelave, ua uma ona fa'aleagaina se tele o wafers. E le gata i lea, o le taulimaina e ala i le lima e fa'aalia ai le fesuisuia'i ma lamatia ai le fa'aleagaina o fa'ata'ita'iga, aemaise lava ona o suiga o le vevela pe a uma ona faia le sampler, lea e mafai ona fa'aletonu ai le faitauga o le viscosity.
E aveese e le inline metrology lenei fa'alavelave fa'avaivai, ma maua ai se tafega faifai pea o fa'amatalaga sa'o mai le laina tufatufaina. O lenei saoasaoa e taua tele mo le iloa o mea sese; pe a tu'ufa'atasia ma le mamanu malosi, e le poloka ai mea e taua mo mea fa'apala, e maua ai se fafaga fa'atuatuaina mo le fa'amautuina o le faiga tufatufaina atoa. E ui o le lavelave o le CMP e mana'omia ai le mata'ituina o le tele o parakalafa (e pei o le refractive index po'o le pH), o le mafiafia ma le viscosity e maua ai le tali sili ona sa'o ma le taimi moni i luga o le mautu fa'aletino autu o le fa'apala, lea e masani ona le lagona i suiga i parakalafa e pei o le pH po'o le Oxidation-Reduction Potential (ORP) ona o le buffering vaila'au.
5. Fa'atonuga Tau Tamaoaiga ma Fa'agaioiga
Aogā o le Mata'ituina o le Mamafa ma le Viscosity i le Taimi Moni
Mo so'o se laina gaosiga fa'apitoa lea eCMP i le faagasologa o le semiconductorA fa'aaogaina, e fuaina le manuia e ala i le fa'aleleia atili o le fua, le mautu maualuga o le fa'agasologa, ma le puleaina lelei o tau. O le mata'ituina o le rheological i le taimi moni e maua ai le fausaga taua o fa'amaumauga e mana'omia e ausia ai nei mana'oga fa'apisinisi.
Fa'aleleia le Mausali o le Fa'agasologa
O le mata'ituina pea ma le sa'o o le slurry e fa'amautinoa ai o lo'o tumau pea tapula'a taua o le slurry e tu'uina atu i le nofoaga e fa'aaogaina ai (POU) i totonu o tapula'a fa'atonutonu e matua'i faigata lava, e tusa lava po'o le a le pisa o le fa'agasologa i luga. Mo se fa'ata'ita'iga, ona o le eseesega o le mafiafia o lo'o iai i vaega o slurry mata e o'o mai, o le na'o le mulimuli i se fua e le lava. I le mata'ituina o le mafiafia i totonu o le tane paluga i le taimi moni, e mafai e le faiga fa'atonutonu ona fetu'una'i fa'asolosolo le fua fa'atatau o le fa'avaivaia, ma fa'amautinoa ai o lo'o fa'atumauina le maualuga sa'o o le sini i le taimi atoa o le fa'afefiloi. O lenei mea e fa'aitiitia ai le eseesega o le fa'agasologa e mafua mai i mea mata e le tutusa, e o'o atu ai i le fa'atinoga o le fa'apulusaina e matua'i mafai ona va'aia ma fa'aitiitia tele ai le tele ma le tele o fa'alavelave taugata o le fa'agasologa.
Fa'ateleina le Fua
O le faʻatalanoaina saʻo o faʻaletonu faʻainisinia ma vailaʻau e mafua mai i tulaga le mautu o le slurry o le auala sili lea ona aʻafia e faʻaleleia atili aigaosiga o semiconductor cmpfua faatatau o le seleselega. O faiga e mata'ituina ai mea e valoia ma le taimi moni e puipuia ai oloa taua tele. O kamupani gaosi oloa ua fa'atinoina ia faiga ua fa'amaumauina le manuia tele, e aofia ai lipoti o le fa'aitiitia o le o'o atu i le 25% o mea sese e sola ese mai ai. O lenei gafatia puipuia e suia ai le fa'ata'ita'iga fa'atino mai le tali atu i mea sese e le maalofia i le puipuia malosi o lo latou fa'avaeina, ma puipuia ai le miliona tala o wafers mai maosi laiti ma isi fa'aleagaina e mafua mai i vaega e le mautu. O le gafatia e mata'ituina ai suiga fa'afuase'i, e pei o le pa'ū fa'afuase'i o le viscosity e fa'ailoa mai ai le vevela po'o le shear stress, e mafai ai ona faia se gaioiga a'o le'i fa'asalalauina e nei mea mea sese i le tele o wafers.
Fa'aitiitia le Toe Fa'atinoina
O le oloatoe faiaO le fua faatatau, o lona uiga o le pasene o oloa gaosia e manaʻomia le toe faʻagasolo ona o ni mea sese poʻo ni faʻaletonu, o se KPI taua e fuaina ai le le atoatoa o le gaosiga. O le maualuga o le toe faʻaleleia o le gaosiga e faʻaalu ai le tele o galuega, otaota o meafaitino, ma faʻatupuina ai ni faʻatuai tetele. Talu ai o mea sese e pei o le faʻamamaina o le masini, le aveeseina e le tutusa, ma le valuina o ni taunuuga tuusaʻo o le le mautu o le rheological, o le faʻamautuina o le tafe o le slurry e ala i le faʻaauau pea o le mafiafia ma le puleaina o le viscosity e faʻaitiitia ai le amataga o nei mea sese taua. I le faʻamautinoaina o le mautu o le faagasologa, o le aʻafiaga o mea sese e manaʻomia ai le toe faʻaleleia poʻo le toe faʻapulusaina e faʻaitiitia ai, ma iʻu ai i le faʻaleleia atili o le gaosiga ma le lelei atoa o le 'au.
Fa'aleleia atili Tau o Galuega
O le CMP slurries o se tau tele lea e faʻaaogaina i totonu o le siosiomaga gaosiga. Afai e faʻatonuina e le le mautonu o le faagasologa le faʻaaogaina o tapulaʻa saogalemu lautele ma faʻaeteete i le faʻafefiloi ma le faʻaaogaina, o le iʻuga o le le lelei o le faʻaaogaina ma le maualuga o tau o galuega. O le mataʻituina i le taimi moni e mafai ai ona pulea lelei le slurry. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le pulea faifai pea e mafai ai ona faia ni fua faʻatatau saʻo o le faʻafefiloi, faʻaitiitia le faʻaaogaina o le vai faʻavaivaia ma faʻamautinoa o le taugatatuufaatasiga o le slurry cmpe faʻaaogaina lelei, e faʻaitiitia ai le faʻaumatia o meafaitino ma tupe faʻaalu mo le faʻagaioiga. E le gata i lea, o suʻesuʻega rheological i le taimi moni e mafai ona maua ai faʻailoga lapatai vave o faʻafitauli o masini—e pei o le ofuina o le pad poʻo le faʻaletonu o le pamu—lea e mafai ai ona faia le tausiga e faʻavae i luga o tulaga aʻo leʻi mafua ai e le faʻaletonu se faʻalavelave matuia o le slurry ma mulimuli ane ai le taimi e le toe faʻagaoioia ai.
O le gaosiga maualuga e tumau pea e manaʻomia ai le aveʻesea o le fesuisuiaʻiga i faiga taua uma o iunite. O le tekinolosi resonant a le Lonnmeter e maua ai le malosi, saoasaoa, ma le saʻo e manaʻomia e faʻaitiitia ai le lamatiaga o le atinaʻe o le tuʻuina atu o le slurry. E ala i le tuʻufaʻatasia o faʻamatalaga o le mafiafia ma le viscosity i le taimi moni, ua faʻapipiʻiina ai inisinia o faiga i le atamai faifai pea ma faʻatino, ma faʻamautinoa ai le faʻatinoga o le faʻapulusaina e mafai ona vaʻaia ma puipuia le fua o le wafer mai le le mautu o le colloidal.
Ina ia amataina le suiga mai le pulega o le fua fa'atatau e gaoioi vave i le pulea o le faagasologa e gaoioi vave:
Fa'ateleinaTaimi e galue ai maFa'aitiitiaToe galue:La'uina maiO Matou Fa'amatalaga Fa'apitoa maAmatao se RFQ i le Aso.
Matou te vala'aulia inisinia sinia o faiga ma gaosiga etu'uina atuo se RFQ auiliili. O le a atiaʻe e le matou 'au faʻapitoa faʻapitoa se faʻafanua faʻatino saʻo, e faʻapipiʻi ai le tekonolosi Lonnmeter maualuga le saʻo i totonu o lau atinaʻe tufatufaina atu o le slurry e fuafua ai le faʻaitiitia o le mafiafia o mea sese ma le faʻaaogaina o le slurry.Feso'ota'ila matou 'Au Fa'aautomatika Fa'agasologa i le taimi nei esaogalemulou manuia i le seleselega.Sailiilile sa'o taua e mana'omia e fa'amautu ai lau la'asaga fa'atulagaina sili ona taua.
