E taua tele le fuaina o le tafe o le vai i le tipiina o uaea taimane e faia i le silicon wafer, aua e mautinoa ai le sa'o o le tu'uina atu o vai tipi i le feso'ota'iga o le uaea ma le wafer—e taua tele mo le fa'atumauina o le fa'amālūlūina lelei, fa'a'asu'u, ma le ave'esea o otaota.RO faʻamaumauga o le tafe i le taimi moni e puipuia ai le le lava poʻo le tele naua o le sapalai o le vai, lea e ono mafua ai le soona vevela, motusia o uaea, faʻaletonu o le fogāeleele, poʻo le faʻaumatia. O le fuaina saʻo e faʻaitiitia ai le fesuisuiaʻi o le faʻagasologa, puipuia le lamolemole o le apa ma le tulaga lelei o le fogāeleele, faʻalauteleina le umi e ola ai uaea, ma faʻaleleia atili ai le lelei o punaʻoa.
Aotelega o le Tipiina o le Silicon Wafer ma le Matafaioi o Vai Tipiina
O le tipiina o uaea taimane o le metotia autū lea mo le tipiina o monocrystalline ma multicrystalline silicon ingots i ni wafers mo semiconductor ma photovoltaic applications. I lenei faiga, o se uaea u'amea—e masani lava 40–70 μm le lautele—e ufiufi i ni fasi taimane abrasive. E gaoioi le uaea i ni saoasaoa maualuga, ma o taimane ua fa'apipi'iina e olo ese le silicon e ala i le abrasion, e fa'aitiitia ai ni fa'aletonu o luga ma fa'aleleia ai le tutusa o le wafer. O uaea ua fa'aitiitia le lautele na fa'alauiloa mai i tausaga talu ai nei e fa'aitiitia ai le kerf loss, lea e fa'atatau i mea e fa'aumatia o ni fasi silicon manifinifi i le taimi o le tipiina. O le kerf loss e fuafuaina e le lautele o le uaea ma le maualuga o fasi abrasive o lo'o aliali mai i luga o le uaea.
Otiotiina o Uaea Taimane
*
E tele matafaioi taua a vai tipi i le tipiina o uaea taimane. O la latou galuega autū o le fa'amālūlūina lea o le uaea ma le ingot, e puipuia ai le so'ona vevela e ono fa'aleagaina ai le silicon pe fa'aitiitia ai le ola o le uaea. Latou te fufuluina fo'i ni fasi silicon manifinifi na gaosia i le taimi o le tipiina, lea e fesoasoani e fa'atumauina ai se va'aiga mama, puipuia ai le toe fa'aputuina o otaota, ma fa'aitiitia ai ni māvaevae laiti i luga o le wafer. E le gata i lea, o vai tipi e fa'asusuina ai le faiga, e fa'aitiitia ai le fete'ena'iga i le va o le uaea ma le silicon, ma fa'ateleina ai le ola o le uaea ma fa'aleleia atili ai le lelei o le tipiina. O le fa'atulagaga ma meatotino fa'aletino o vai tipi silicon wafer—e pei o le viscosity ma le density—e tatau ona pulea ma le fa'aeteete ina ia fa'aleleia atili ai le fa'amālūlūina, aveeseina o ni fasi, ma le puipuiga o uaea.
E tele ituaiga o vai e tipi ai le wafer, e aofia ai vai e fa'avae i le vai ma mea fa'aopoopo mo le fa'aleleia atili o le fa'asusu ma le fa'asusuina o vaega laiti. O le filifiliga e fa'alagolago i le mamanu o masini, fa'amatalaga o le wafer, ma tapula'a o le siosiomaga. O fa'ata'ita'iga e aofia ai le vai deionized ma surfactants po'o glycols, ua fa'atulagaina e paleni ai le lelei o le fa'amālūlūina ma le itiiti o le fa'aputuga o mea e totoe.
O le alualu i luma agai i uaea taimane manifinifi tele i fale gaosi uamea faʻaonaponei ua faʻateleina ai luʻitau i le tuʻuina atu o vai ma le puleaina o le faagasologa. Aʻo faʻaitiitia le lautele o uaea i lalo ifo o le 40 μm, e faʻateleina ai le lamatiaga o le motusia o uaea ma faʻamalosia ai le onosaʻi mo le suiga o le faagasologa. O le fuaina saʻo o le fua faatatau o le tafe—e lagolagoina e tekinolosi e pei o mita tafe o vai tipi, masini fuaina o le tafe saʻo maualuga, ma masini tafe tetele a Coriolis—e taua tele mo le faʻatumauina o le faʻamālūlūina lelei ma le aveeseina o otaota. O masini e mataʻituina ai le tafe o vai tipi ma fofo fuaina o le tafe o vai tipi faʻapisinisi e mafai ai e le au faʻagaoioia ona siaki ma fetuʻunaʻi le fua faatatau o le tafe i le taimi moni, ma ausia ai le faʻasusuina lelei ma le lelei o le luga. O le saʻo o mita tafe a Coriolis e matua taua tele mo le puleaina o vai e eseese le mafiafia ma le viscosities, ma faʻamautinoa ai tulaga tutusa e tusa lava pe faʻateleina le saoasaoa o le tipiina ma le feteʻenaʻiga o uaea.
O lenei faʻateleina o le manaʻoga mo le saʻo ua suia ai le taulaʻi atu i le mataʻituina o faʻasologa faʻa-vai e pei o le fua o le tafe, le mafiafia, ma le viscosity. O meafaigaluega e pei o na mai Lonnmeter e maua ai fua faʻatuatuaina ma le taimi moni e taua tele mo le faʻamautinoaina o le lelei ma le faʻaleleia atili o le faʻagasologa i galuega faʻapitoa o le tipiina o uaea taimane. A o faʻaauau pea ona alualu i luma le tekinolosi o uaea, o le tuʻufaʻatasia o tekinolosi malosi o le fuaina o le tafe e taua tele i le faʻatumauina o le gaosiga o le wafer, faʻaitiitia le gau o le kerf, ma faʻaitiitia ai manaʻoga faʻauma i lalo mo le vaega o gaosiga o le silicon wafer.
Luʻitau o le Tuʻuina Atu o Vai i le Tipiina Saʻo o Uaea Taimane
I le tipiina o uaea taimane o uaea silicon manifinifi tele—aemaise lava i latou e i lalo ifo o le 40 µm—o le tuʻuina atu o le aofaʻi saʻo o le vai tipi silicon wafer i le vaega e tipi ai e avea ma luʻitau tele. A o faʻaitiitia le mafiafia o uaea, e faʻapea foʻi ona faʻaitiitia le avanoa mo le tafe o le vai. O le tausia pea o le sapalai tutusa o le vai tipi e taua tele ina ia mautinoa le faʻasusuina, pulea o le vevela, ma le aveeseina o otaota i le vaega e paʻi atu ai.
O le tafe lē tutusa po o le lē lava o le vai e mafua ai ona pipii le wafer i masini ona o le lē lava o le suāuu. E lē gata ina faʻalavelaveina ai le faiga o le tipiina ae faʻateleina ai foʻi le lamatiaga o le gau pe faʻaleagaina o le wafer. E matuā faʻateleina le maʻalili o le fogāeleele pe a lē faʻaauau pea ona faʻasusu ma faʻamālūlūina le uaea ma le wafer mai le suāuu tipi uaea taimane. O le iʻuga, o fogāeleele ua faʻaleagaina ma ni faʻaletonu laiti e faʻaitiitia ai le lelei ma le fua o le wafer, ma avea ai ma faʻalavelave tetele mo pisinisi semiconductor ma photovoltaic.
E tolu mea autū e aʻafia ai le sosolo o le vai i totonu o le va o le sawing: o le geometry o le uaea, le saoasaoa o le tipiina, ma le gaioiga o le capillary. O le geometry o le uaea—aemaise lava le lautele o le uaea ma le tufatufaina o fatu taimane—e aʻafia saʻo ai le faigofie ona tafe ma pipii le vai tipi silicon wafer i le sone fesoʻotaʻi. A faʻaaogaina uaea i lalo ifo o le 40 µm, o le laʻititi o le vaega o luga e faʻatapulaʻaina ai le gaioiga saoloto o le vai. O le maualuga o le saoasaoa o le tipiina e faʻaitiitia ai le taimi e avanoa mo le vai e oʻo atu ai ma faʻamālūlūina le va, e mafua ai le vevela tele i le lotoifale ma le le lelei o le faʻasusuina. O le gaioiga o le capillary, o le gafatia masani o le vai e tosoina i totonu o avanoa vaapiapi, e matua faʻamautuina ai le taofia o le vai. Peitaʻi, o alalaupapa vai lava e tasi e faʻaleleia atili ai le felauaiga o le vai e mafai ona faʻalauiloa ai le pipii o le capillary i le va o uaea tuaoi, ma mafua ai le le tutusa o le feʻaveaʻi ma faʻateleina ai le eseesega o le mafiafia o le wafer.
O le faʻalauiloaina o ituaiga vai faʻaonaponei o le tipiina o le wafer—e aofia ai fofo faʻaleleia nanoparticle—e maua ai ni faʻaleleiga e mafai ona fuaina. O vai faʻaonaponei i le SiO₂ poʻo le SiC nanoparticles e sili atu ona lelei le sosolo atu i avanoa vaapiapi ona o le faʻaleleia atili o le viscosity ma le fegalegaleaiga o luga. O nei vai e faʻaleleia atili ai le faʻasusu ma aveʻesea le vevela ma le sili atu ona lelei, ma iu ai i le faʻaitiitia o le maʻalili o luga ma le faʻaleleia atili o le lamolemole o le wafer. Ua faʻaalia e suʻesuʻega o le faʻaaogaina o vai e tumu i nanoparticle e suia ai le vevela i le taimi o le tipiina, ma faʻaitiitia atili ai le mamafa e lamatia ai le tumau o le wafer. O lenei mea, faʻatasi ai ma metotia e pei o le ultrasonic vibration e faʻamalosia ai le felauaiga o capillary, e mafai ai ona sili atu le tutusa o le tuʻuina atu o le vai tipi uaea taimane.
O le tuʻuina atu pea o le vai e manaʻomia ai le mataʻituina ma le fetuʻunaʻi saʻo ma le taimi moni. O le fuaina lelei o le tafe o le vai tipi i pisinisi e taua tele, aemaise lava i faiga e matua pulea lelei. O le faʻaaogaina o se mita tafe o le vai tipi—e pei o se masini fua o le tafe tele a Coriolis e maualuga le saʻo—e mafai ai ona faʻatonutonuina saʻo le fua o le tuʻuina atu. O mita mafiafia ma le viscosity a le Lonnmeter, pe a faʻapipiʻiina ma meafaigaluega e fua ai le tafe saʻo, e fesoasoani i le faʻaleleia atili o le sapalai o le vai ina ia oʻo lava i fasi manifinifi e tipiina ma le sologa lelei, ma le itiiti ifo o le lamatiaga o le faʻaletonu.
Fuaina o le Tafe o le Vai i Galuega o le Tipiina o le Wafer
O le fuaina sa'o o le fua o le tafe e taua tele mo le fa'aleleia atili o le tu'uina atu o le vai tipi i le tipiina o uaea taimane o uaea silicon. O le aoga o le vai tipi o uaea silicon e fa'atulaga sa'o ai le fa'amālūlūina, fa'asusuina, ma le aveeseina o otaota i le vaega e feso'ota'i ai, e a'afia ai le lelei o le fogāeleele o uaea, le gau o kerf, ma le aofa'i o le gaosiga. O le le lava po'o le tele o le tafe e suia ai le aoga o le abrasion, fa'ateleina ai le ofuina o meafaigaluega, ma e mafai ona mafua ai le le tutusa o le lelei o uaea po'o le maualuga o tau o punaoa. O su'esu'ega fa'apitoa e fa'aalia ai e mafai ona fa'aitiitia le mageso o le fogāeleele (Ra) ma le fa'aleagaina o le eleele e ala i le fa'atumauina o le fua o le tafe o le vai tipi i totonu o le va o le 0.15–0.25 L/min mo masini masani e tasi le uaea, aua o le le lava o le tafe e o'o atu ai i ni māvaevae laiti ma le fa'aputuina o otaota, a'o le tele o le tafe e fa'atupuina ai le fenumia'i ma le fa'aaogaina e le mana'omia.
Tekinolosi mo le Fa'aitiitia o le Fuaina o le Fua o le Tafe o le Suavai
O mita tafe o le vai e tipiina e tuʻufaʻatasia i totonu o laina sapalai o vai, e fuaina ai le tele o le uaea taimane e tipiina ai le vai i le taimi moni. O tekinolosi masani o le mita tafe e aofia ai ituaiga faʻainisinia, eletise, ma le ultrasonic:
- O mita tafe fa'amekanika, e pei o mamanu o turbine ma paddlewheel, e fa'aogaina vaega e feliuliua'i e le tafe o le vai. E faigofie ma malolosi ae e faigofie ona ofuina ona o vai e tumu i mea olo.
- O mita tafe eletise, aemaise lava mamanu eletise, e fuaina le saoasaoa o le vai e faʻaaoga ai mataupu faavae o le faʻaosoina eletise, e ofoina atu ai le faʻagaioiga faʻatuatuaina ma le mama mo vai e tafe ai le vai.
- E fa'aaogā e mita tafe o le ultrasonic ni galu leo maualuga e fa'asalalauina ma maua i luga o le paipa. I le fuaina o le eseesega o le taimi e fealua'i ai le leo ma le tafe fa'asaga i le tafe, e maua ai e nei masini ni fua sa'o ma e le fa'alavelave, e talafeagai mo ituaiga eseese o vai e tipi ai le wafer.
E tulaga ese le fuaina o le tafe o le mamafa o le Coriolis i galuega e manaʻomia ai le pulea saʻo o le mamafa o le vai, e tusa lava po o le a le viscosity po o suiga o le vevela. E fuaina saʻo e masini faʻalogo o le tafe o le mamafa o le Coriolis le fua faatatau o le tafe o le mamafa e faʻavae i luga o le aafiaga o Coriolis, ma maua ai le saʻo maualuga ma le talafeagai mo vai e tipi ai uaea taimane e faʻavae i le vai ma le suauʻu. E gaosia e le Lonnmeter le inline density ma le viscosity meters, lea e mafai ai ona mataʻituina atili meatotino o le vai mo le tutusa ma le pulea lelei o le faagasologa i le tipiina o le silicon wafer.
Fa'atulagaga Taua o Fuataga ma le Tu'uina o le Sensor
O le fuaina sa'o o le tafe o le vai i le tipiina o le wafer e mana'omia ai le gauai atu i ni nai fa'ailoga autu:
- Saosaoa o le tafe (L/min): O le fua autū lea mo le fa'aleleia atili o le fa'agasologa ma le fa'amautinoaina o le lelei.
- Mafiafia ma le viscosity: E lua mea e a'afia ai le fa'atinoga o le fa'amālūlūina, felauaiga o mea olo, ma le fa'amamāina o otaota.
- Vevela: E a'afia ai le mafiafia ma le amioga a le vai i le nofoaga na tipiina.
E taua tele le tu'uina o le masini e iloa ai le tafe o le vai. E tatau ona tu'u sa'o masini e iloa ai le tafe o le vai i totonu o le laina e tu'uina atu ai le vai e latalata i le sone e tipi ai ina ia fa'aitiitia ai ni eseesega ona o le tete'e o paipa, tafega, po'o le fa'amamago a'o le'i o'o i le vaega e tipi ai. O le fuaina o le taimi moni i totonu o le laina e fa'amautinoa ai o le tau o le tafe o lo'o lipotia e fetaui ma le sapalai moni i le vaega e tipi ai le uaea taimane.
Galuega a le Fuaina o le Tafe i le Tausia o Siosiomaga Sili Ona Lelei mo le Tipiina
E taua tele masini e fua ai le tafe mo le mata'ituina i le taimi moni ma le pulea lelei o le tu'uina atu o le vai i le tipiina o le silicon wafer fa'apisinisi. O le tausia o se fua fa'atatau lelei o le tafe e mautinoa ai le fa'asalalauina lelei o le vevela, le fa'aauau pea ona aveese o otaota, ma le fa'asusu tutusa i luga o le uaea taimane. A aunoa ma lenei mea, e fa'aitiitia le mautu o le fa'agasologa, e pu'upu'u le ola o le uaea, ma e afaina ai le seleselega ona o le fa'ateleina o le lamatiaga o fa'aletonu o le fogāeleele po'o le tele o le gau o le kerf.
I le tuufaatasia o le fuaina o le saoasaoa o le tafe sa'o ma isi fa'asologa o tali (e pei o le saoasaoa o le uaea, saoasaoa o le fafaga), e mafai e le au gaosi oloa ona fa'amalosia le pulea fetuutuunai o le tulaga fa'atulagaina o le faagasologa, e fa'afeso'ota'i sa'o ai fetuunaiga o le saoasaoa o le tafe ma le fa'atinoga o le tipiina ua matauina. O se taunuuga, so'o se eseesega mai le afifi o le tafe ua fa'atulagaina e mafua ai se gaioiga fa'asa'o vave, e puipuia ai le lelei o le faagasologa ma le lelei o punaoa.
I se aotelega, o le fuaina o le tafe o le vai e tipi ai alamanuia—e faʻalagolago i masini e fua ai le tafe ma faʻamatalaga i le taimi moni—e avea o se maa autu mo le gaosiga maualuga ma taugofie o le silicon wafer i le vaitaimi o le tipiina o uaea taimane.
Fuaina o le Tafe o le Mamafa a Coriolis: Mataupu Faavae ma le Fa'aoga
O le fuaina o le tafe tele o le Coriolis e faʻavae i luga o le iloa o le malosi o loʻo faʻatinoina e le vai o loʻo fealuaʻi i totonu o paipa gatete. Aʻo tafe le vai—e pei o le vai tipi uaea taimane poʻo le vai tipi uaea silicon faapitoa—e oʻo i paipa se suiga laʻititi ma mafai ona fuaina. O lenei suiga e tutusa ma le fua faatatau o le tafe tele, ma maua ai le fuaina saʻo ma le taimi moni o le tele o le vai tipi o loʻo tuʻuina atu. O le mataupu faavae lava lea e tasi e mafai ai ona fuaina faʻatasi le mafiafia o le vai, e lagolagoina ai le saʻo maualuga i ituaiga vai e fesuisuiaʻi, tuufaatasiga, ma le vevela—o se manaʻoga taua i le gaosiga o le uaea silicon ma faʻaoga tipi uaea taimane.
E tele lelei o lenei auala mo ituaiga vai e tipi ai le uaea, aemaise lava pe a faʻaaogaina vai e tipi ai uaea taimane e maualuga le faatinoga. O le fuaina o le tafe o le Coriolis e tutoatasi mai le viscosity o le vai ma suiga o le tuufaatasiga, e tumau pea le saʻo i le lotolotoi o le i ai o ni vaega abrasive, nano-additives, poʻo ni faʻafefiloi eseese e masani ona maua i vai e tipi ai mo wafers silicon. O lenei malosi e sili atu ai nai lo metotia masani o le tafe o le volumetric, lea e mafai ona aʻafia e bubbles, particulates tautau, ma le suia o meatotino faaletino o vai e tipi ai faʻaonaponei.
O le tipiina o le semiconductor wafer ua faʻalagolago tele i tekinolosi faʻapitoa o le fluid flow sensor e faʻamautinoa ai le mataʻituina lelei o le fluid cutting mo silicon wafers. O le Lonnmeter inline mass flow sensors, e faʻaaogaina ai le Coriolis effect, e faʻatinoina saʻo i totonu o laina o le faagasologa. O lenei mea e mafai ai ona tuʻuina atu ma mataʻituina saʻo le nano-fluid ma le diamond wire cutting fluid i le taimi o le tipiina o le wafer. O faʻailoga o le faʻaleagaina o le vai, le tutusa o le paluga, poʻo le suiga o le mafiafia e vave ona iloa, ma mafai ai ona faia ni faʻalavelave faʻatonutonu vave e faʻatumauina ai le fua o le faagasologa ma le lelei o le luga.
O le fa'atusatusaina o masini fa'alogo o le tafe tele a Coriolis i isi masini fa'alogo e mata'ituina ai le tafe o le vai—e pei o le fa'avevela, eletise, po'o le ultrasonic flow system—e fa'aalia ai le tele o malosiaga. E sili atu le lelei o masini fa'alogo o le tafe tele a Coriolis i le fuaina sa'o o le tafe ma tu'uina atu faitauga e fa'avae i luga o le tele e le a'afia i suiga o le viscosity po'o meatotino fa'amaneta. E faigata i mita eletise ma ultrasonic ona fa'afefiloi ma vai tipi o lo'o i ai nanoparticles, taga ea, po'o suiga o le mafiafia o minute, e masani ona o'o atu ai i le le fa'atuatuaina o le fuaina o le fua o le tafe ma le fa'ateleina o le tele o tausiga.
E tausia le sa'o o le mita tafe a le Coriolis i lalo o le suia o le tuufaatasiga o vai, aua o faiga fa'ailoilo ma fa'atulagaga tau le vevela e fa'amama lelei ai le pisa ma le suiga o le siosiomaga. E mafai e le au fa'agaoioia ona fa'aogaina fa'amatalaga i le taimi moni e fa'aleleia atili ai le fa'amālūlūina, fa'asusuina, ma le aveeseina o mea fa'apitoa, e tali atu ai i meatotino eseese o ituaiga eseese o vai tipi ma fa'afefiloi nanofluid.
O le fetu'una'iga o le fuaina o le tafe o le mamafa o Coriolis i le tipiina o uaea manifinifi ma le tipiina o vai fa'atasi ai ma nanoparticles o lo'o fa'ailogaina ai se suiga i le mata'ituina o alamanuia. E fuaina ma le fa'atuatuaina e sensors le tafe moni o le mamafa ma le mafiafia, e tusa lava po'o le a le aofa'i o vaega po'o le eseese o vai, e mafai ai ona pulea le va'aiga tapuni ma le puleaina otometi o vai e fa'apitoa mo le tipiina o le wafer. O lenei tulaga o le fuaina maualuga o le tafe sa'o e taua tele i le tausia o le mautu o le faagasologa, fa'aitiitia le leiloa o meafaitino, ma fa'amautinoa le tumau o le fogaeleele i le taimi o le gaosiga o le silicon wafer ma le tipiina o uaea taimane.
Tuufaatasia o Faʻamatalaga o le Fuaina o le Tafe i le Puleaina o Faiga
O le fuaina o le tafe i le taimi moni e faʻaaoga ai masini faʻalogo Coriolis ua suia ai le pulega o le tipiina o le vai i le taimi o le tipiina o uaea taimane o le silicon wafers. O mita o le mafiafia ma le viscosity inline, e pei o na e gaosia e Lonnmeter, e mafai ai ona mataʻituina vave meatotino o le vai ma le fua o le tafe, e lagolagoina saʻo ai le puleaina o le faagasologa.
E taua tele le tausia o le saoasaoa lelei o le tafe mo le fa'amālūlūina, fa'amamāina, ma le fa'asusuina lelei o le uaea taimane ma le silicon wafers. E sili atu le lelei o le Coriolis mass flow meters i lenei siosiomaga e ala i le tu'uina atu o le sa'o ma le vave o le tali atu i le tafe o le mamafa ma uiga o le vai. Faatasi ai ma nei fa'amaumauga, e mafai e faiga fa'aautomatika ona fetu'una'i le saoasaoa o le pamu, tulaga o le valve, po'o le saoasaoa o le toe fa'aaogaina e tu'uina atu ai ma le sa'o le tele ma le tuufaatasiga o le vai tipi wafer. Mo se fa'ata'ita'iga, i taimi o ta'amilosaga tipi vave, e ono fa'ateleina ai le tu'uina atu o le vai e fa'aleleia atili ai le aveeseina o otaota ma le fa'amālūlūina o le vai e ala i fa'amaumauga o le sensor, ae o ta'amilosaga e lemu e ono mana'omia ai le fa'aitiitia o le tafe e 'alo'ese ai mai le fa'ama'imauina.
E taua tele fo'i le tali atu mai masini e fuaina ai le tafe mo le tali atu i tulaga fesuisuia'i o le vai. A'o suia le viscosity po'o le mafiafia o le vai—ona o suiga o le vevela po'o le fa'aleagaina—e vave ona iloa e mita inline a Lonnmeter nei suiga, ma mafai ai e faiga fa'atonutonu ona fa'afetaui e ala i le fetu'una'iina o le fua o le tafe po'o le amataina o le fa'amamāina o le vai. O lenei auala fa'apitoa, fa'avae i fa'amaumauga e fa'amautinoa ai o lo'o tumau pea le vai i totonu o fa'amatalaga fa'apitoa mo le fa'atinoga sili ona lelei o le tipiina.
I siosiomaga e tele ai le voluma, o le mafai ona mata'ituina ma pulea le tafe o le vai tipi i le taimi moni e lagolagoina ai le mafiafia tutusa ma fa'aitiitia ai le tupu mai o fa'aletonu taugata, e pei ona fa'aalia i laina gaosiga fa'aonaponei i Asia ma Europa. O le pulega fa'aleleia o vai e lagolagoina ai fo'i le tausiga fa'atatau, ma fa'alauteleina ai le umi e ola ai le uaea taimane.
E matuā aogā tele galuega fa'apisinisi mai faiga o vai e tipi ai e pulea le tafe. O le pulega lelei o vai e fa'aitiitia ai tau o le fa'aaogaina ma le lafoa'iina e ala i le fa'amautinoaina o le lava o le vai e fa'aaogaina mo apa ta'itasi, e lagolagoina ai le fa'aauauina ma le tausisia o tulafono fa'atonutonu. O le fa'aitiitia o otaota o vai—e mafai ona fa'atinoina e ala i le fa'aauau pea o le toe fa'afo'i mai ma le fetu'una'iga e fa'avae i luga o fa'amatalaga a le sensor—e fa'aliliuina i le fa'aitiitia o tupe fa'aalu fa'atino ma le fa'aitiitia o le tulagavae o le siosiomaga.
I se aotelega, o le tuʻufaʻatasia o faʻamaumauga o le fuaina o le tafe i le taimi moni, e mafai ona faʻatinoina e fofo faʻapipiʻi a Lonnmeter, e le gata o se maa autu mo le faʻamautinoaina o le lelei o le wafer ae o se faʻamanuiaga faʻatino mo le faiga o le tipiina o uaea taimane. E maua ai ni faʻaleleia atili e mafai ona fuaina i le faʻauma o le fogāeleele, le faʻatuatuaina o masini, le fua o le gaosiga, ma le taugofie.
Malamalamaaga Fa'ata'ita'i ma Taiala Fa'apisinisi
O suʻesuʻega faʻataʻitaʻi talu ai nei ua toe faʻaleleia ai faiga sili ona lelei i le tuʻuina atu o vai mo le tipiina o uaea taimane o le silicon wafers. Ua faʻaalia e suʻesuʻega o le sapalai o vai tipi ua pulea lelei, aemaise lava le faʻaaogaina o metotia faʻaonaponei, e fesoʻotaʻi saʻo ma le maualalo o le adsorption o le wafer ma le lelei o le tulaga o luga.
O le faʻaaogaina o le aafiaga o le capillary ultrasonic i le tuʻuina atu o vai ua tulaʻi mai o se suiga tele. O galu ultrasonic e faʻaoso ai le vai tipiina i totonu o kerfs manifinifi—aemaise lava i vaega e vaapiapi nai lo le 50 μm—lea e masani ona le manuia ai auala masani e sapalai ai. O lenei faʻaleleia atili o le ulufale atu e faʻaitiitia ai le faʻapipiʻiina o vaega faʻamaʻa ma otaota i luga o le wafer. O suʻega faʻapitoa e faʻaalia ai o wafers na faʻaaogaina le ultrasonic-assisted fluid supply e faʻaalia ai le itiiti ifo o faʻaletonu o luga, o lea e maualuga ai le fua ma le faʻatuatuaina i faiga faʻasolosolo.
E taua tele le fa'aleleia atili o parakalafa mo le fa'ateleina o fa'amanuiaga o le fa'aleleia atili o le ultrasonic ma tekinolosi nano-fluid i le tipiina o le tu'uina atu o vai. O parakalafa autu e aofia ai:
- Mamao o le ipu: E tatau ona fa'aitiitia le va i le va o le tane vai ma le sone e tipi ai mo le si'itia lelei o le vai.
- Tulaga o le transducer ultrasonic ma le fa'atulagaina o le parallelism: O le geometry manino ua fa'amatalaina e fa'amautinoa ai le tutusa o le fesiitaiga o galu ma le gaioiga capillary.
- Vevela o le vai: O le fa'avevela fa'atonutonu e fa'ateleina ai le fe'avea'i o le vai ma le lelei o le capillary.
- Umi ma le tele o taimi e fa'aoga ai le ultrasonic: O le taimi sa'o e puipuia ai le soona vevela a'o fa'ateleina ai le sosolo mai.
- Filifiliga o le ituaiga vai: E eseese vai faavae ma mea faaopoopo e tali atu i le tulaga ese i le fa'aosofiaga ultrasonic.
O le tekinolosi Nanofluid ua faʻalauiloa mai ai se isi alualu i luma tele. O vai tipi e faʻafefiloi i nanoparticles e pei o le SiO2 ma le SiC e faʻaalia ai le faʻaleleia atili o le conductivity ma le lubrication o le vevela. O lenei suiga e oʻo atu ai i le faʻamālūlūina lelei, faʻaleleia atili le aveeseina o otaota, ma faʻaitiitia ai le roughness o le wafer surface. O faʻamaumauga e faʻaalia ai o faʻatulagaga faʻafefiloi o nano-particles e ofoina atu ai faʻaleleiga faʻatasi, faʻaitiitia atili ai le warpage ma maua ai le morphology sili atu o le wafer nai lo le ituaiga e tasi poʻo vai tipi masani.
E mafai e kamupani gaosi oloa o loʻo sailia le faʻaleleia atili o le aoga o a latou vai e tipi ai ona faʻatinoina taʻiala faʻatino nei:
- Faaaoga mita o le mafiafia ma le viscosity inline (e pei o na mai Lonnmeter) e mata'ituina ma pulea ai le tutusa o le vai e tipiina, ma ia mautinoa o lo'o lelei pea le tafe o le vai mo le ultrasonic ma le nano-assistance.
- Mata'ituina ma fetu'una'i le saoasaoa o le tafe o le vai tipi e fa'aaoga ai se masini e fuaina ai le tafe sa'o ma maualuga. O le fuaina o le tafe tele o le Coriolis e sili ona aoga mo le fuaina o le tafe o le vai tipi i fale gaosi oloa, e ofoina atu ai le sa'o moni i le taimi moni mo le mafiafia ma le tele.
- Fa'atulaga soo masini e fua ai le tafe o le vai ina ia fa'atuatuaina ai faitauga, e taua tele mo le fa'agasologa tutusa o le fa'agasologa o le wafer.
- Filifili ituaiga o vai e tipi ai le wafer ma le tele o nanoparticle e fetaui ma le tele patino o le wafer, uiga o le uaea taimane, ma le siosiomaga fa'atino.
Ua fa'amaonia e su'esu'ega fa'atusatusa o suiga o le fa'asologa e tasi le vaega—e pei o le fa'ateleina o le saoasaoa o le uaea po'o le fetu'una'iina o le saoasaoa o le fafaga—e feso'ota'i ma suiga i le ofuina o uaea, le ma'a'a o le fogaeleele, ma le fesuia'iga atoa o le mafiafia (TTV). O le tausia o le sa'o o le tafe ma le sapalai vave ma le tali vave o le vai e taua tele mo le fa'aitiitia o mea sese ma le fa'aumiumiina o le ola o uaea.
Fesili e Masani Ona Fesiligia
E fa'apefea ona fa'aleleia e le vaila'au tipi uamea silicon le fa'atinoga o le tipiina o uaea taimane?
E galue le vai e tipi ai le uaea silicon e fai ma mea e fa'asusu ai ma mea e fa'amālūlū ai i le tipiina o uaea taimane. O lona galuega autū o le fa'aitiitia lea o le fe'ese'esea'i ma le fa'asalalauina o le vevela e mafua mai i le va o uaea ma le uaea. O le maualalo o le fe'ese'esea'i ma le vevela e fa'aitiitia ai ni māvaevae laiti ma ni maosi i luga, lea e mafai ona o'o atu ai i le fa'aleagaina o le uaea ma fa'aitiitia ai le aofa'i o le gaosiga. E ave'ese fo'i e le vai otaota mai le vaega e tipi ai, ma tausia ai le mama o le uaea taimane ma le luga o le uaea. O lenei ave'esea pea o vaega laiti e mafua ai ona lamolemole luga o le uaea ma lagolagoina ai le gaosiga tutusa ma maualuga le tulaga lelei. Mo se fa'ata'ita'iga, o vai e tipiina ai nano e fa'aleleia atili ai ma SiO₂ ma SiC nanoparticles e mafai ona loloto atu i totonu o le kerf, e fa'aitiitia ai le mageso o le luga ma le fe'ese'esea'i o le uaea, ma fa'aleleia atili ai le gaosiga o le uaea mo le fa'aaogaina o semiconductor.
O le ā le mita o le tafe o le vai e tipi ai, ma aiseā e tāua ai i le tipiina o le uamea (wafer sawing)?
O le mita tafe o le vai tipi e fuaina le aofaʻi saʻo o le vai e tuʻuina atu i le sone tipi. O le tausia o le tafe saʻo e taua tele mo le lava o le faʻasusu, faʻasalalauina o le vevela, ma le faʻamamāina o otaota. Afai e maualalo tele le tafe, e vevela tele le uaea pe faʻaputuina otaota, ma mafua ai ona maosi ma gau. O le tele o le tafe e mafai ona faʻaumatia ai le vai ma mafua ai le le paleni o le mamafa, e aʻafia ai le lamolemole o le wafer ma le umi o le ola o le meafaigaluega. O mita tafe o le vai tipi, e pei o mita mafiafia i totonu ma mita viscosity e gaosia e Lonnmeter, e fesoasoani i tagata faʻagaoioia e mataʻituina ma fetuʻunaʻi le sapalai i le taimi moni. O lenei mea e faʻamautinoa ai o loʻo tumau le faiga i totonu o tulaga sili ona lelei, faʻateleina le fua o le wafer ma faʻaitiitia ai le ofuina o meafaigaluega.
E fa'apefea ona aoga le fuaina o le tafe tele o le Coriolis i le puleaina o le vai e tipi ai le silicon wafer?
E matuā tāua tele le fuaina o le tafe o le mamafa o le Coriolis mo le fuaina sa'o lelei o le tafe i le gaosiga o le silicon wafer. E le pei o mita tafe masani, e fuaina sa'o e sensors Coriolis le tafe o le mamafa e tusa lava po'o le a le viscosity o le vai, le mafiafia, po'o le suiga o le vevela. O lenei foliga e mafai ai ona mata'ituina sa'o ituaiga eseese o le vai tipi wafer, e aofia ai ma i latou o lo'o i ai nanoparticles. O le i'uga o le tu'uina atu pea o le vai tipi i le fua sa'o, tausia le fa'asusu ma le fa'amālūlūina mautu e ui lava i suiga o le fa'agasologa. O nei fa'amanuiaga e fesoasoani sa'o i le tulaga lelei o le wafer i fa'aoga faigata o le tipiina o uaea taimane, lea e fa'aitiitia ai e le pulea sa'o mea sese ma fa'aleleia atili ai le gaosiga.
O a mea e aʻafia ai le fuaina o le fua o le tafe i totonu o talosaga ili uaea taimane?
O le fuaina sa'o o le fua o le tafe e fa'alagolago i ni nai fesuia'iga feso'ota'i. O le filifilia o le sensor e taua tele; mo se fa'ata'ita'iga, o sensor o le tafe tele a Coriolis e maua ai fa'amatalaga fa'atuatuaina e o'o lava i vai mafiafia po'o vai e tumu i vaega. O le tu'ufa'atasiga o vai—e pei o le i ai o nanoparticles—e ono suia ai le viscosity ma le mafiafia ma a'afia ai mana'oga o le fa'atulagaina o le sensor. O le lautele o uaea ma le saoasaoa o le tipiina e a'afia ai fo'i le tele o le vai e mana'omia mo le fa'amālūlūina lelei ma le aveeseina o otaota. O le fa'atulagaina mo faiga ta'itasi e taua tele ina ia mautinoa o lo'o faitauina e le sensor tau moni, ma ia mautinoa o le aofa'i sa'o o le vai tipi e fa'aaogaina mo vaega ta'itasi.
E mafai e nano-fluids ma metotia ultrasonic ona faʻaleleia atili le sosolo o le vai i le taimi o le tipiina o le silicon wafer?
Ua faʻaalia i suʻesuʻega o nano-fluids, aemaise lava i latou e iai SiO₂ ma SiC nanoparticles, e faʻateleina ai le lelei o le tuʻuina atu o le vai i le va o le uaea ma le wafer taua. O nei vaega e fesoasoani i le vai e oʻo atu i va microscopic, ma faʻamautinoa ai le faʻamālūlūina ma le faʻasusuina lelei. E le gata i lea, o metotia o le ultrasonic capillary effect e faʻaleleia atili ai le gaioiga ma le faʻaogaina o le vai, aemaise lava i le tipiina o uaea manifinifi tele. O lona uiga e itiiti ifo le vai tipi e manaʻomia e ausia ai le faʻatinoga sili ona lelei, ma o taunuuga e aofia ai le faʻaitiitia o le faʻapipiʻiina o le vai, faʻaleleia atili le morphology o luga, ma le maualalo o le fua o mea sese. O nei alualu i luma e lagolagoina ai le agai atu i wafers manifinifi ma tetele le lautele i pisinisi semiconductor ma photovoltaic, faʻatasi ai ma sensors e mataʻituina ai le vai tipi e faʻamautinoa ai le faʻatonutonuina ma le tutusa o le faagasologa i taʻamilosaga taʻitasi o gaosiga.
Taimi na lafoina ai: Tesema-25-2025
