Fa'apala Fa'amekanika Fa'akemikolo

Lu'itau i le Mata'ituina o Meatotino o le Slurry

O le tausia o le mafiafia ma le viscosity tutusa o le slurry i le faiga o le fa'apala'au fa'akemikolo e tumu i lu'itau. E mafai ona fesuisuia'i meatotino o le slurry ona o mea e pei o le felauaiga, fa'avaivaia i le vai po'o le hydrogen peroxide, le lava o le fa'afefiloi, po'o le fa'aleagaina o vaila'au. Mo se fa'ata'ita'iga, o le fa'aputuina o vaega i totonu o ato slurry e mafai ona mafua ai le maualuga o le mafiafia i le pito i lalo, ma o'o atu ai i le fa'apala'au e le tutusa. O auala masani e mata'ituina ai e pei o le pH, oxidation-reduction potential (ORP), po'o le conductivity e masani ona le lava, aua latou te le iloa ai suiga laiti i le tuufaatasiga o le slurry. O nei tapula'a e mafai ona i'u ai i ni fa'aletonu, fa'aitiitia ai le saoasaoa o le aveeseina, ma fa'ateleina ai tau o mea e fa'aaogaina, ma mafua ai ni lamatiaga tetele mo le au gaosi meafaigaluega semiconductor ma le au tu'uina atu auaunaga CMP. O suiga o le tuufaatasiga i le taimi o le taulimaina ma le tufatufaina atu e a'afia ai le fa'atinoga. O nodes sub-10nm e mana'omia ai le pulea lelei o le mama o le slurry ma le sa'o o le paluga. O le pH ma le ORP e fa'aalia ai sina eseesega la'ititi, ae o le conductivity e fesuisuia'i ma le matua o le slurry. O meatotino slurry e le tutusa e mafai ona fa'ateleina ai le saoasaoa o fa'aletonu e o'o atu i le 20%, e tusa ai ma su'esu'ega a le alamanuia.

Lonnmeter's Inline Sensors mo le Mata'ituina i le Taimi Moni

Ua foia e Lonnmeter nei luʻitau i ana mita maualuluga o le mamafa o le palapala e le o ni mea faaniukilia mamasini su'esu'e o le viscosity, e aofia ai le mita viscosity inline mo le fuaina o le viscosity in-line ma le mita ultrasonic density mo le siakiina fa'atasi o le slurry density ma le viscosity. O nei sensors ua mamanuina mo le tu'ufa'atasia lelei i totonu o faiga CMP, e aofia ai feso'ota'iga fa'atulagaina o pisinisi. O fofo a Lonnmeter e ofoina atu le fa'atuatuaina mo se taimi umi ma le tausiga maualalo mo lona fausiaina malosi. O fa'amaumauga i le taimi moni e mafai ai e le au fa'agaoioia ona fa'aleleia lelei fa'afefiloi slurry, puipuia ai fa'aletonu, ma fa'aleleia atili le fa'atinoga o le fa'apulusaina, ma avea ai nei meafaigaluega ma mea taua mo le au Sapalai o Meafaigaluega Su'esu'ega ma Su'ega ma CMP Consumables Suppliers.

Aogā o le Mata'ituina Pea mo le Fa'aleleia Atili o le CMP

O le mata'ituina pea ma masini fa'alogo a le Lonnmeter e suia ai le faiga o le fa'apalapala fa'amekanika e ala i le tu'uina atu o malamalamaga aoga ma le fa'asaoina tele o tau. O le fuaina moni o le mafiafia o le slurry ma le mata'ituina o le viscosity e fa'aitiitia ai mea sese e pei o maosi po'o le so'ona fa'apalapala e o'o atu i le 20%, e tusa ai ma fa'ata'ita'iga a le alamanuia. O le tu'ufa'atasia ma le faiga PLC e mafai ai ona fa'aautomatika le fa'aputuga ma le puleaina o le faiga, ma fa'amautinoa ai o lo'o tumau pea meatotino o le slurry i totonu o tulaga sili ona lelei. O lenei mea e o'o atu ai i le 15-25% le fa'aitiitia o tau o mea e fa'aaogaina, fa'aitiitia le taimi e le fa'aaogaina ai, ma fa'aleleia atili ai le tutusa o le wafer. Mo Semiconductors Foundries ma CMP Services Providers, o nei fa'amanuiaga e fa'aliliuina i le fa'aleleia atili o le gaosiga, maualuga atu o tupe mama, ma le tausisia o tulaga fa'atonuina e pei o le ISO 6976.