1. උසස් සන්දර්භගත කිරීමPඔලිෂිං
අර්ධ සන්නායකයක CMP යනු කුමක්ද?
රසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීම (CMP), විකල්ප වශයෙන් රසායනික යාන්ත්රික තලකරණය ලෙස හැඳින්වේ, නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වඩාත්ම තාක්ෂණික වශයෙන් අභියෝගාත්මක සහ මූල්යමය වශයෙන් තීරණාත්මක ඒකක මෙහෙයුම් වලින් එකක් නියෝජනය කරයි. මෙම විශේෂිත ක්රියා පටිපාටිය අත්යවශ්ය දෙමුහුන් ක්රියාවලියක් ලෙස ක්රියාත්මක වන අතර, රසායනික කැටයම් කිරීමේ සහ ඉහළ පාලිත භෞතික උල්ෙල්ඛයේ සහයෝගී යෙදුම හරහා වේෆර් මතුපිට ඉතා සූක්ෂම ලෙස සුමට කරයි. නිෂ්පාදන චක්රයේ බහුලව භාවිතා වන CMP, උසස් උපාංග ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පයට අවශ්ය ඉහළ ඝනත්ව ඒකාබද්ධ කිරීම සෘජුවම සක්රීය කරමින්, පසුකාලීන ස්ථර සඳහා අර්ධ සන්නායක වේෆර් සකස් කිරීම සඳහා අත්යවශ්ය වේ.
අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලියේ CMP
*
ගැඹුරු අවශ්යතාවයරසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීමසමකාලීන ලිතෝග්රැෆි හි භෞතික අවශ්යතා තුළ මුල් බැස ඇත. ඒකාබද්ධ පරිපථ ලක්ෂණ හැකිලීම සහ බහු ස්ථර සිරස් අතට ගොඩගැසීම නිසා, ක්රියාවලියේ ද්රව්ය ඒකාකාරව ඉවත් කර ගෝලීය වශයෙන් තල මතුපිටක් ස්ථාපිත කිරීමේ හැකියාව අතිශයින්ම තීරණාත්මක වේ. ගතික ඔප දැමීමේ හිස විවිධ අක්ෂ ඔස්සේ භ්රමණය වන පරිදි නිර්මාණය කර ඇති අතර, වේෆරය හරහා අක්රමවත් භූ විෂමතාව ඉතා සූක්ෂම ලෙස සමතලා කරයි. සාර්ථක රටා හුවමාරුව සඳහා, විශේෂයෙන් අන්ත පාරජම්බුල (EUV) ලිතෝග්රැෆි වැනි අති නවීන ශිල්පීය ක්රම සමඟ, සම්පූර්ණ සැකසූ මතුපිට සුවිශේෂී ලෙස පටු ක්ෂේත්ර ගැඹුරකට වැටිය යුතුය - නවීන උප-22 nm තාක්ෂණයන් සඳහා Angstrom-මට්ටමේ පැතලි බව අවශ්ය වන ජ්යාමිතික සීමාවකි. තලකරණ බලය නොමැතිවcmp අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලිය, පසුකාලීන ෆොටෝලිතෝග්රැෆි පියවරයන් පෙළගැස්වීමේ අසාර්ථකත්වයන්, රටා විකෘති කිරීම් සහ විනාශකාරී අස්වැන්න වික්රමාන්විතයන්ට හේතු වනු ඇත.
සාම්ප්රදායික ඇලුමිනියම් සන්නායකවල සිට ඉහළ ක්රියාකාරී තඹ අන්තර් සම්බන්ධතා වෙත කර්මාන්තය මාරුවීම මගින් CMP පුළුල් ලෙස භාවිතා කිරීම සැලකිය යුතු ලෙස මෙහෙයවනු ලැබීය. තඹ ලෝහකරණය මඟින් අතිරේක රටා සැකසීමේ ක්රියාවලියක් වන ඩැමසීන් තාක්ෂණය භාවිතා කරන අතර එය මූලික වශයෙන් CMP හි අද්විතීය ධාරිතාව මත රඳා පවතින්නේ අතිරික්ත තඹ තෝරා බේරා ඒකාකාරව ඉවත් කිරීමට සහ ලෝහ සහ ඔක්සයිඩ් පරිවාරක ස්ථරය අතර අතුරුමුහුණතේදී ඉවත් කිරීමේ ක්රියාව අඛණ්ඩව නැවැත්වීමට ය. මෙම ඉතා තෝරාගත් ද්රව්ය ඉවත් කිරීම ක්රියාවලිය නිර්වචනය කරන සියුම් රසායනික හා යාන්ත්රික සමතුලිතතාවය අවධාරණය කරයි, ඔප දැමීමේ මාධ්යයේ සුළු උච්චාවචනයන් මගින් පවා වහාම සම්මුතියකට ලක්වන සමතුලිතතාවයකි.
අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලියේදී CMP හි කාර්යයන්
අතිශය අඩු භූ විෂමතා විචලනය සඳහා අනිවාර්ය අවශ්යතාවය පර්යන්ත ඉලක්කයක් නොව විශ්වාසදායක උපාංග ක්රියාකාරිත්වය සඳහා සෘජු ක්රියාකාරී පූර්ව අවශ්යතාවයකි, බහු ස්ථර ව්යුහයන් තුළ නිසි ධාරා ප්රවාහය, තාප විසර්ජනය සහ ක්රියාකාරී පෙළගැස්ම සහතික කරයි. CMP හි මූලික විධානය වන්නේ භූ විෂමතා කළමනාකරණයයි, එය පසුකාලීන සියලුම තීරණාත්මක සැකසුම් පියවර සඳහා පූර්ව අවශ්යතාවය වන සමතලා බව ස්ථාපිත කරයි.
නිශ්චිත යෙදුම මඟින් ද්රව්ය තෝරා ගැනීම සහ ඊට අනුරූප වේපොහොර සැකසීමටංස්ටන්, තඹ, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් (SiO2) ඇතුළු විවිධ ද්රව්ය හැසිරවීම සඳහා CMP ක්රියාවලීන් සංවර්ධනය කර ඇත.2), සහ සිලිකන් නයිට්රයිඩ් (SiN). නොගැඹුරු අගල් හුදකලා කිරීම (STI) සහ අන්තර් ස්ථර ද්වි විද ත් (ILD) ඇතුළු යෙදුම් වර්ණාවලියක් හරහා ඉහළ තලකරණ කාර්යක්ෂමතාව සහ සුවිශේෂී ද්රව්ය තේරීම සඳහා පොහොර ඉතා සූක්ෂම ලෙස ප්රශස්තිකරණය කර ඇත. උදාහරණයක් ලෙස, පියවර සමතලා කිරීම, ඒකාකාරිත්වය සහ දෝෂ සංඛ්යාත අඩු කිරීම සඳහා එහි උසස් ක්රියාකාරිත්වය හේතුවෙන් ඉහළ ක්රියාකාරී සීරියා පොහොර විශේෂයෙන් ILD යෙදුම් සඳහා යොදා ගනී. ඔප දැමීමේ මාධ්යයේ තරල ගතිකයේ වෙනස්කම් වලින් පැන නගින ක්රියාවලි අස්ථාවරත්වය තෝරාගත් ද්රව්ය ඉවත් කිරීම සඳහා වන මූලික අවශ්යතා ක්ෂණිකව උල්ලංඝනය කරන බව මෙම පොහොරවල ඉහළ විශේෂිත ස්වභාවය තහවුරු කරයි.
2. CMP ස්ලරි සෞඛ්යයේ තීරණාත්මක කාර්යභාරය
අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලියේ CMP
තිරසාර කාර්යක්ෂමතාවරසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීමේ cmp ක්රියාවලියඅවශ්ය රසායනික ප්රතික්රියා සහ යාන්ත්රික උල්ෙල්ඛ යන දෙකම පහසු කරන තීරණාත්මක මාධ්යය ලෙස ක්රියා කරන පොහොරවල ස්ථාවර බෙදා හැරීම සහ ක්රියාකාරිත්වය මත සම්පූර්ණයෙන්ම රඳා පවතී. කොලොයිඩල් අත්හිටුවීමක් ලෙස සංලක්ෂිත මෙම සංකීර්ණ තරලය, රසායනික කාරක (ඔක්සිකාරක, ත්වරණකාරක සහ විඛාදන නිෂේධක) සහ නැනෝ ප්රමාණයේ උල්ෙල්ඛ අංශු ඇතුළු එහි අත්යවශ්ය සංරචක අඛණ්ඩව සහ ඒකාකාරව ගතික වේෆර් මතුපිටට ලබා දිය යුතුය.
නිශ්චිත රසායනික ප්රතික්රියාවක් ඇති කිරීම සඳහා පොහොර සංයුතිය නිර්මාණය කර ඇත: ප්රශස්ත ක්රියාවලිය ඉලක්කගත ද්රව්ය මත නිෂ්ක්රීය, දිය නොවන ඔක්සයිඩ් තට්ටුවක් සෑදීම මත රඳා පවතින අතර, එය උල්ෙල්ඛ අංශු මගින් යාන්ත්රිකව ඉවත් කරනු ලැබේ. මෙම යාන්ත්රණය ඵලදායී තලීකරණය සඳහා අත්යවශ්ය ඉහළ මතුපිට භූලක්ෂණාත්මක තේරීමක් ලබා දෙයි, ඉවත් කිරීමේ ක්රියාව ඉහළ ලක්ෂ්ය හෝ නෙරා යාම මත සාන්ද්රණය කරයි. ඊට වෙනස්ව, රසායනික ප්රතික්රියාව ද්රාව්ය ඔක්සයිඩ් තත්වයක් ඇති කරන්නේ නම්, ද්රව්ය ඉවත් කිරීම සමස්ථානික වන අතර එමඟින් අවශ්ය භූලක්ෂණාත්මක තේරීම ඉවත් කරයි. පොහොරවල භෞතික සංරචක සාමාන්යයෙන් 30 සිට 200 nm දක්වා ප්රමාණයේ උල්ෙල්ඛ අංශු (උදා: සිලිකා, සීරියා) වලින් සමන්විත වන අතර බරින් සියයට 0.3 සහ 12 අතර ඝන ද්රව්ය සාන්ද්රණයන්හි අත්හිටුවා ඇත.
CMP ස්ලරි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන
සෞඛ්යය පවත්වා ගැනීමCMP ස්ලරි අර්ධ සන්නායකයහැසිරවීමේදී හෝ සංසරණයේදී සිදුවන ඕනෑම පිරිහීමක් සැලකිය යුතු මූල්ය අලාභයකට හේතු විය හැකි බැවින්, එහි ජීවන චක්රය පුරාවටම නොනවතින ගුනාංගීකරනය සහ පාලනය අවශ්ය වේ. එහි නැනෝ පරිමාණ සුමටතාවය සහ දෝෂ මට්ටම් මගින් අර්ථ දක්වා ඇති අවසාන ඔප දැමූ වේෆරයේ ගුණාත්මකභාවය, පොහොරවල අංශු ප්රමාණයේ ව්යාප්තියේ (PSD) අඛණ්ඩතාව සහ සමස්ත ස්ථායිතාව සමඟ සෘජුවම සහසම්බන්ධ වේ.
විවිධත්වයේ විශේෂිත ස්වභාවයcmp පොහොර වර්ගඑයින් අදහස් වන්නේ නැනෝ ප්රමාණයේ අංශු අත්හිටුවීම තුළ සියුම් විකර්ෂක විද්යුත් ස්ථිතික බලවේග මගින් ස්ථාවර කර ඇති බවයි. පොහොර බොහෝ විට සාන්ද්රිත ආකාරයෙන් සපයනු ලබන අතර නිෂ්පාදන ස්ථානයේ ජලය සහ ඔක්සිකාරක සමඟ නිරවද්ය තනුක කිරීම සහ මිශ්ර කිරීම අවශ්ය වේ. තීරණාත්මක ලෙස, ස්ථිතික මිශ්ර කිරීමේ අනුපාත මත රඳා පැවතීම මූලික වශයෙන් දෝෂ සහිත වන්නේ එන සාන්ද්රිත ද්රව්ය ආවේණික කාණ්ඩ-කාණ්ඩ ඝනත්ව වෙනස්කම් ප්රදර්ශනය කරන බැවිනි.
ක්රියාවලි පාලනය සඳහා, PSD සහ zeta විභවය (කොලොයිඩල් ස්ථායිතාව) පිළිබඳ සෘජු විශ්ලේෂණය අත්යවශ්ය වන අතර, මෙම ශිල්පීය ක්රම සාමාන්යයෙන් අතරමැදි, නොබැඳි විශ්ලේෂණයකට යොමු කෙරේ. HVM පරිසරයේ ක්රියාකාරී යථාර්ථය තත්ය කාලීන, ක්ෂණික ප්රතිපෝෂණ අනිවාර්ය කරයි. එහි ප්රතිඵලයක් වශයෙන්, ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවිතතාවය පොහොර සෞඛ්යය සඳහා වඩාත් ඵලදායී සහ ක්රියාකාරී පේළිගත ප්රොක්සි ලෙස සේවය කරයි. ඝනත්වය මාධ්යයේ මුළු උල්ෙල්ඛ ඝන ද්රව්ය සාන්ද්රණයේ වේගවත්, අඛණ්ඩ මිනුමක් සපයයි. දුස්ස්රාවිතතාවය සමානව තීරණාත්මක වන අතර, තරලයේ කොලොයිඩල් තත්ත්වය සහ තාප අඛණ්ඩතාව පිළිබඳ ඉතා සංවේදී දර්ශකයක් ලෙස ක්රියා කරයි. අස්ථායී දුස්ස්රාවිතතාවය බොහෝ විට උල්ෙල්ඛ අංශුව සංඥා කරයි.සමූහකරණයහෝ නැවත ඒකාබද්ධ කිරීම, විශේෂයෙන් ගතික කැපුම් තත්වයන් යටතේ. එමනිසා, මෙම භූ විද්යාත්මක පරාමිතීන් දෙක අඛණ්ඩව නිරීක්ෂණය කිරීම සහ පාලනය කිරීම, පොහොර පරිභෝජනය කරන ස්ථානයේ එහි නිශ්චිත රසායනික හා භෞතික තත්ත්වය පවත්වා ගෙන යන බව සත්යාපනය කිරීමට අවශ්ය ක්ෂණික, ක්රියාකාරී ප්රතිපෝෂණ ලූපය සපයයි.
3. යාන්ත්රික අසාර්ථක විශ්ලේෂණය: දෝෂ ධාවක
CMP ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවීතාවයේ උච්චාවචනයන් නිසා ඇතිවන ඍණාත්මක බලපෑම්
ක්රියාවලි විචල්යතාවය ඉහළ ප්රතිදානයේ අස්වැන්න අවදානමට දායක වන තනි විශාලතම දායකයා ලෙස පිළිගැනේ.අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ cmp. "බොර සෞඛ්යය" ලෙස සාමූහිකව හඳුන්වනු ලබන බොර ලක්ෂණ, පොම්ප කිරීමේ කැපීම, උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් සහ මිශ්ර කිරීමේ නොගැලපීම් මගින් ඇතිවන වෙනස්කම් වලට බෙහෙවින් ගොදුරු වේ. බොර ප්රවාහ පද්ධතියෙන් ඇතිවන අසාර්ථකත්වයන් සම්පූර්ණයෙන්ම යාන්ත්රික ගැටළු වලින් වෙනස් වේ, නමුත් දෙකම තීරණාත්මක වේෆර් සීරීම් වලට හේතු වන අතර බොහෝ විට පශ්චාත්-ක්රියාවලි අන්ත-ලක්ෂ්ය පද්ධති මගින් ප්රමාද වී අනාවරණය වේ.
අධික ලෙස විශාල අංශු හෝ ඇග්ලොමරේට් පැවතීමcmp අර්ධ සන්නායකඔප දැමූ වේෆර් මතුපිට ක්ෂුද්ර සීරීම් සහ අනෙකුත් මාරාන්තික දෝෂ නිර්මාණය කිරීම සමඟ ද්රව්යය පැහැදිලිවම සම්බන්ධ වේ. ප්රධාන භූ විද්යාත්මක පරාමිතීන්හි උච්චාවචනයන් - දුස්ස්රාවිතතාවය සහ ඝනත්වය - යනු පොහොරවල අඛණ්ඩතාව අවදානමට ලක්ව ඇති බවට අඛණ්ඩ, ප්රමුඛ දර්ශක වන අතර, දෝෂ සෑදීමේ යාන්ත්රණය ආරම්භ කරයි.
පොහොර දුස්ස්රාවිතතාවයේ උච්චාවචනයන් (උදා: සමුච්චය වීමට තුඩු දෙන, වෙනස් වූ කැපුම)
දුස්ස්රාවීතාවය යනු ඔප දැමීමේ අතුරුමුහුණතෙහි ප්රවාහ හැසිරීම සහ ඝර්ෂණ ගතිකය පාලනය කරන තාප ගතික ගුණාංගයක් වන අතර එමඟින් එය පාරිසරික හා යාන්ත්රික ආතතියට සුවිශේෂී ලෙස සංවේදී වේ.
රසායනික හා භෞතික කාර්ය සාධනයපොහොර දුස්ස්රාවීතා අර්ධ සන්නායකයපද්ධතිය උෂ්ණත්ව පාලනය මත බෙහෙවින් රඳා පවතී. ක්රියාවලි උෂ්ණත්වයේ සුළු 5°C මාරුවක් පවා පොහොර දුස්ස්රාවිතතාවයේ ආසන්න වශයෙන් 10% ක අඩුවීමකට හේතු විය හැකි බව පර්යේෂණ මගින් සනාථ වේ. භූ විද්යාවේ මෙම වෙනස වේෆරය ඔප දැමීමේ පෑඩයෙන් වෙන් කරන ජල ගතික පටල ඝණකමට සෘජුවම බලපායි. දුස්ස්රාවීතාවය අඩුවීම ප්රමාණවත් ලිහිසිකරණයට හේතු වන අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස යාන්ත්රික ඝර්ෂණය ඉහළ යන අතර එය ක්ෂුද්ර සීරීම් සහ වේගවත් පෑඩ් පරිභෝජනයට ප්රධාන හේතුවකි.
තීරණාත්මක හායන මාර්ගයකට කැපුම්-ප්රේරිත අංශු පොකුරු ඇතුළත් වේ. සිලිකා මත පදනම් වූ පොහොර සියුම් විද්යුත් ස්ථිතික විකර්ෂණ බලවේග හරහා අංශු වෙන් කිරීම පවත්වා ගනී. පොහොර පොහොර අධික කැපුම් ආතතීන්ට මුහුණ දෙන විට - සාමාන්යයෙන් නුසුදුසු සාම්ප්රදායික කේන්ද්රාපසාරී පොම්ප හෝ බෙදාහැරීමේ ලූපයේ පුළුල් ප්රතිචක්රීකරණය මගින් ජනනය වේ - මෙම බලවේග ජය ගත හැකි අතර, එමඟින් වේගවත් හා ආපසු හැරවිය නොහැකි වෙනස්කම් වලට තුඩු දෙයි.සමූහකරණයඋල්ෙල්ඛ අංශු. ප්රතිඵලයක් ලෙස ලැබෙන විශාල සමුච්චයන් ක්ෂුද්ර-ගූජිං මෙවලම් ලෙස ක්රියා කරන අතර, වේෆර් මතුපිට සෘජුවම විනාශකාරී ක්ෂුද්ර-සීරීම් නිර්මාණය කරයි. මෙම සිදුවීම් හඳුනා ගැනීමට අවශ්ය ප්රතිපෝෂණ යාන්ත්රණය තත්ය කාලීන දුස්ස්රාවීතාවය වන අතර, විශාල පරිමාණ දෝෂ ජනනය වීමට පෙර පොම්ප කිරීමේ සහ බෙදා හැරීමේ පද්ධතියේ "මෘදු බව" පිළිබඳ තීරණාත්මක වලංගුකරණය සපයයි.
දුස්ස්රාවිතතාවයේ ඇතිවන විචලනය ද තලකරණ කාර්යක්ෂමතාවයට දැඩි ලෙස හානි කරයි. ඔප දැමීමේදී දුස්ස්රාවිතතාවය ඝර්ෂණ සංගුණකයට බලපාන ප්රධාන සාධකයක් වන බැවින්, ඒකාකාර නොවන දුස්ස්රාවීතා පැතිකඩක් නොගැලපෙන ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ අනුපාතවලට හේතු වේ. විශේෂයෙන් වේෆර් භූ විෂමතාවයේ ඉහළ ලක්ෂණ මත සිදුවන ඉහළ කැපුම් අනුපාතවලදී, දුස්ස්රාවීතාවයේ දේශීයකරණය වූ වැඩි වීමක්, ඝර්ෂණ ගතිකය වෙනස් කරන අතර තලකරණ ඉලක්කය අඩපණ කරයි, අවසානයේ දී පිඟන් සේදීම සහ ඛාදනය වැනි භූලක්ෂණාත්මක දෝෂ ඇති කරයි.
බොරළු ඝනත්වයේ උච්චාවචනයන්
දියර ඝනත්වය යනු තරලය තුළ අත්හිටුවන ලද උල්ෙල්ඛ ඝන ද්රව්යවල සමස්ත සාන්ද්රණය පිළිබඳ වේගවත් හා විශ්වාසදායක දර්ශකයකි. ඝනත්ව උච්චාවචනයන් ඒකාකාර නොවන පොහොර බෙදා හැරීමක් පෙන්නුම් කරයි, එය ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ අනුපාතයේ (MRR) වෙනස්කම් සහ දෝෂ සෑදීම සමඟ සහජයෙන්ම සම්බන්ධ වේ.
මෙහෙයුම් පරිසරයන් සඳහා පොහොර සංයුතියේ ගතික සත්යාපනය අවශ්ය වේ. අමුද්රව්ය ඝනත්වය බොහෝ විට වෙනස් වන බැවින්, මෙවලම් හිසෙහි නොගැලපෙන ක්රියාවලි ප්රතිඵලවලට තුඩු දෙන බැවින්, පැමිණෙන සාන්ද්රිත කාණ්ඩවලට නිශ්චිත ප්රමාණයේ ජලය සහ ඔක්සිකාරක එකතු කිරීම මත පමණක් රඳා සිටීම ප්රමාණවත් නොවේ. තවද, උල්ෙල්ඛ අංශු, විශේෂයෙන් ඉහළ සාන්ද්රණයකින් යුත් සීරියා අංශු, ප්රවාහ ප්රවේගය හෝ කොලොයිඩල් ස්ථායිතාව ප්රමාණවත් නොවේ නම් අවසාදිත වීමට යටත් වේ. මෙම නිරවුල් කිරීම ප්රවාහ රේඛා තුළ දේශීයකරණය වූ ඝනත්ව අනුක්රමණ සහ ද්රව්ය එකතු කිරීම නිර්මාණය කරයි, ස්ථාවර උල්ෙල්ඛ බරක් ලබා දීමේ හැකියාව ගැඹුරින් අවදානමට ලක් කරයි.
How Dනිරවුල් බවDපිටකිරීම්Affයනාදිය Manයූඑෆ්ඒසීටර්ing (ඉං)Process?.
අස්ථායී පොහොර ඝනත්වයේ සෘජු ප්රතිවිපාක ඔප දැමූ මතුපිට තීරණාත්මක භෞතික දෝෂ ලෙස ප්රකාශ වේ:
ඒකාකාර නොවන ඉවත් කිරීමේ අනුපාත (WIWNU):ඝනත්වයේ වෙනස්කම් ඔප දැමීමේ අතුරුමුහුණතෙහි ඉදිරිපත් කරන ලද ක්රියාකාරී උල්ෙල්ඛ අංශුවල සාන්ද්රණයේ වෙනස්කම් වලට සෘජුවම පරිවර්තනය වේ. නිශ්චිත ඝනත්වයට වඩා අඩු ඝනත්වයක් පෙන්නුම් කරන්නේ අඩු උල්ෙල්ඛ සාන්ද්රණයක් වන අතර එමඟින් MRR අඩු වන අතර වේෆර් තුළ පිළිගත නොහැකි ඒකාකාර නොවන බව (WIWNU) ඇති කරයි. WIWNU මූලික තලකරණ අවශ්යතාවය අඩපණ කරයි. ප්රතිවිරුද්ධව, දේශීයකරණය වූ ඉහළ ඝනත්වය ඵලදායී අංශු භාරය වැඩි කරන අතර එමඟින් අධික ද්රව්ය ඉවත් කිරීමට හේතු වේ. ඝනත්වය මත දැඩි පාලනය ස්ථාවර උල්ෙල්ඛ බෙදා හැරීම සහතික කරයි, එය ස්ථාවර ඝර්ෂණ බලවේග සහ පුරෝකථනය කළ හැකි MRR සමඟ දැඩි ලෙස සහසම්බන්ධ වේ.
ස්ථානගත උල්ෙල්ඛ වෙනස්කම් හේතුවෙන් වලවල් ඇතිවීම:උල්ෙල්ඛ ඝන ද්රව්යවල ඉහළ දේශීය සාන්ද්රණය, බොහෝ විට තැන්පත් වීම හෝ ප්රමාණවත් ලෙස මිශ්ර නොකිරීම හේතුවෙන්, වේෆර් මතුපිට අංශුවකට ස්ථානගත කළ ඉහළ බරක් ඇති කරයි. උල්ෙල්ඛ අංශු, විශේෂයෙන් සීරියා, ඔක්සයිඩ් වීදුරු ස්ථරයට තදින් ඇලී සිටින විට සහ මතුපිට ආතතීන් පවතින විට, යාන්ත්රික බර වීදුරු ස්ථරය කැඩීමට හේතු විය හැකි අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස ගැඹුරු, තියුණු දාර සහිතවලවල් දැමීමදෝෂ. මෙම උල්ෙල්ඛ වෙනස්කම් සම්මුතිගත පෙරීම නිසා ඇති විය හැකි අතර, දුර්වල අංශු අත්හිටුවීමේ ප්රතිඵලයක් ලෙස විශාල ප්රමාණයේ සමස්ථ ($0.5\ \mu m$ ට වැඩි අංශු) ගමන් කිරීමට ඉඩ සලසයි. අධීක්ෂණ ඝනත්වය අංශු කවුන්ටර සඳහා අත්යවශ්ය, අනුපූරක අනතුරු ඇඟවීමේ පද්ධතියක් සපයන අතර, ක්රියාවලි ඉංජිනේරුවන්ට උල්ෙල්ඛ පොකුරු ආරම්භය හඳුනා ගැනීමට සහ උල්ෙල්ඛ භාරය ස්ථාවර කිරීමට ඉඩ සලසයි.
දුර්වල අංශු අත්හිටුවීමෙන් අපද්රව්ය සෑදීම:අත්හිටුවීම අස්ථායී වන විට, ඉහළ ඝනත්ව අනුක්රමණ ඇති වන විට, ඝන ද්රව්ය ප්රවාහ ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය තුළ එකතු වීමට නැඹුරු වන අතර, එමඟින් බෙදාහැරීමේ පද්ධතිය තුළ ඝනත්ව තරංග සහ ද්රව්ය එකතු වීමට හේතු වේ.17තවද, ඔප දැමීමේදී, පොහොර රසායනික ප්රතික්රියා නිෂ්පාදන සහ යාන්ත්රික ඇඳුම් සුන්බුන් යන දෙකම ඵලදායී ලෙස රැගෙන යා යුතුය. අස්ථාවරත්වය හේතුවෙන් අංශු අත්හිටුවීම හෝ තරල ගතිකය දුර්වල නම්, මෙම අවශේෂ වේෆර් මතුපිටින් කාර්යක්ෂමව ඉවත් නොකෙරේ, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස පශ්චාත් CMP අංශු සහ රසායනිකඅවශේෂදෝෂ. අඛණ්ඩ භූ විද්යාත්මක නිරීක්ෂණය මගින් සහතික කරන ලද ස්ථායී අංශු අත්හිටුවීම, පිරිසිදු, අඛණ්ඩ ද්රව්ය ඉවත් කිරීම සඳහා අනිවාර්ය වේ.
තවත් ඝනත්ව මාපක ගැන ඉගෙන ගන්න
තවත් මාර්ගගත ක්රියාවලි මීටර
4. මාර්ගගත මිනුම් විද්යාවේ තාක්ෂණික උසස් බව
ලෝන්මීටර් ඉන්ලයින් ඩෙන්සිටෝමීටර සහ විස්කොමීටර
චංචල CMP ක්රියාවලිය සාර්ථකව ස්ථාවර කිරීම සඳහා, පොහොර සෞඛ්ය පරාමිතීන් අඛණ්ඩව, ආක්රමණශීලී නොවන ලෙස මැනීම අත්යවශ්ය වේ.ලෝන්මීටර් ඉන්ලයින් ඩෙන්සිටෝමීටර සහ විස්කොමීටරසාම්ප්රදායික, ප්රමාදයට නැඹුරු මිනුම් විද්යා උපාංග හා සසඳන විට උසස් කාර්ය සාධනයක් ලබා දෙමින් ඉතා දියුණු අනුනාද සංවේදක තාක්ෂණය උපයෝගී කර ගනී. මෙම හැකියාව මගින් ප්රවාහ මාර්ගයට සෘජුවම ඒකාබද්ධ කරන ලද බාධාවකින් තොරව සහ අඛණ්ඩ ඝනත්ව නිරීක්ෂණය සක්රීය කරයි, එය නවීන උප-28nm ක්රියාවලි නෝඩ් වල දැඩි සංශුද්ධතාවය සහ මිශ්ර නිරවද්යතා ප්රමිතීන් සපුරාලීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
ඔවුන්ගේ මූලික තාක්ෂණික මූලධර්ම, මිනුම් නිරවද්යතාවය, ප්රතිචාර වේගය, ස්ථාවරත්වය, කටුක CMP පරිසරයන්හි විශ්වසනීයත්වය විස්තර කර සාම්ප්රදායික නොබැඳි ක්රමවලින් ඒවා වෙන්කර හඳුනා ගන්න.
ඵලදායී ක්රියාවලි ස්වයංක්රීයකරණය සඳහා, අධි ප්රවාහ, අධි පීඩනය සහ උල්ෙල්ඛ රසායනික නිරාවරණයේ ගතික තත්වයන් යටතේ විශ්වාසදායක ලෙස ක්රියා කිරීමට ඉංජිනේරු සංවේදක අවශ්ය වන අතර, පාලන පද්ධති සඳහා ක්ෂණික ප්රතිපෝෂණ ලබා දේ.
මූලික තාක්ෂණ මූලධර්ම: අනුනාදක වාසිය
උල්ෙල්ඛ කොලොයිඩල් අත්හිටුවීම් සමඟ පේළිගත භාවිතය සඳහා කුප්රකට ගැටළු සහගත වන සාම්ප්රදායික, පටු සිදුරු සහිත U-නල ඩෙන්සිටෝමීටරවල ආවේනික අවදානම් අවම කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇති ශක්තිමත් අනුනාද තාක්ෂණයන් ලෝන්මීටර උපකරණ භාවිතා කරයි.
ඝනත්වය මැනීම:එමපොහොර ඝනත්ව මීටරයසම්පූර්ණයෙන්ම වෑල්ඩින් කරන ලද කම්පන මූලද්රව්යයක්, සාමාන්යයෙන් දෙබලක එකලස් කිරීමක් හෝ සම-අක්ෂීය අනුනාදකයක් භාවිතා කරයි. මෙම මූලද්රව්යය එහි ලාක්ෂණික ස්වාභාවික සංඛ්යාතයේදී දෝලනය වීමට පීසෝ-විද්යුත් වශයෙන් උත්තේජනය වේ. අවට තරලයේ ඝනත්වයේ වෙනස්වීම් මෙම ස්වාභාවික සංඛ්යාතයේ නිරවද්ය මාරුවක් ඇති කරයි, එමඟින් සෘජු සහ ඉතා විශ්වාසදායක ඝනත්ව නිර්ණයකට ඉඩ සලසයි.
දුස්ස්රාවීතාවය මැනීම:එමක්රියාවලිය තුළ ඇති පොහොර දුස්ස්රාවී මාපකයතරලය තුළ දෝලනය වන කල් පවතින සංවේදකයක් භාවිතා කරයි. මෙම සැලසුම මඟින් දුස්ස්රාවීතා මැනීම තොග තරල ප්රවාහයේ බලපෑම් වලින් හුදකලා වී ඇති බව සහතික කරන අතර එමඟින් ද්රව්යයේ භූ විද්යාව පිළිබඳ අභ්යන්තර මිනුමක් සපයයි.
මෙහෙයුම් කාර්ය සාධනය සහ ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව
දැඩි HVM පාලනය සඳහා අත්යවශ්ය තීරණාත්මක කාර්ය සාධන මිනුම් විද්යාව, පේළිගත අනුනාද මිනුම් විද්යාව මගින් සපයයි:
නිරවද්යතාවය සහ ප්රතිචාර වේගය:අභ්යන්තර පද්ධති ඉහළ පුනරාවර්තන හැකියාවක් ලබා දෙන අතර, බොහෝ විට 0.001 g/cc දක්වා දුස්ස්රාවීතාවය සහ ඝනත්ව නිරවද්යතාවය සඳහා 0.1% ට වඩා හොඳින් ලබා ගනී. ශක්තිමත් ක්රියාවලි පාලනය සඳහා, මෙම ඉහළනිරවද්යතාවය— එකම අගය නිරන්තරයෙන් මැනීමට සහ කුඩා අපගමනයන් විශ්වාසදායක ලෙස අනාවරණය කර ගැනීමට ඇති හැකියාව — බොහෝ විට ආන්තික නිරපේක්ෂ නිරවද්යතාවයට වඩා වටිනා ය. තීරණාත්මක ලෙස, සංඥාවප්රතිචාර කාලයමෙම සංවේදක සඳහා එය අසාමාන්ය ලෙස වේගවත් වේ, සාමාන්යයෙන් තත්පර 5 ක් පමණ වේ. මෙම ආසන්න ක්ෂණික ප්රතිපෝෂණය මඟින් ක්ෂණික දෝෂ හඳුනාගැනීම සහ ස්වයංක්රීය සංවෘත-ලූප ගැලපීම් සඳහා ඉඩ සැලසෙන අතර එය විනෝද චාරිකා වැළැක්වීම සඳහා මූලික අවශ්යතාවයකි.
කටුක පරිසරවල ස්ථාවරත්වය සහ විශ්වසනීයත්වය:CMP පොහොර සහජයෙන්ම ආක්රමණශීලී වේ. නවීන පේළිගත උපකරණ නල මාර්ගවලට සෘජුවම සවි කිරීම සඳහා නිශ්චිත ද්රව්ය සහ වින්යාසයන් භාවිතා කරමින් ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව සඳහා ගොඩනගා ඇත. මෙම සංවේදක පුළුල් පරාසයක පීඩන (උදා: 6.4 MPa දක්වා) සහ උෂ්ණත්ව (350 ℃ දක්වා) හරහා ක්රියා කිරීමට නිර්මාණය කර ඇත. U-නල නොවන සැලසුම උල්ෙල්ඛ මාධ්ය හා සම්බන්ධ මළ කලාප සහ අවහිර වීමේ අවදානම් අවම කරයි, සංවේදක ක්රියාකාරී කාලය සහ මෙහෙයුම් විශ්වසනීයත්වය උපරිම කරයි.
සාම්ප්රදායික නොබැඳි ක්රමවලින් වෙනස් වීම
ස්වයංක්රීය පේළිගත පද්ධති සහ අතින් නොබැඳි ක්රම අතර ක්රියාකාරී වෙනස්කම් ප්රතික්රියාශීලී දෝෂ පාලනය සහ ක්රියාකාරී ක්රියාවලි ප්රශස්තිකරණය අතර පරතරය නිර්වචනය කරයි.
| අධීක්ෂණ නිර්ණායකය | නොබැඳි (රසායනාගාර සාම්පල/U-නල ඩෙන්සිටෝමීටරය) | පේළිගත (ලෝන්මීටර ඩෙන්සිටෝමීටරය/විස්කෝමීටරය) | ක්රියාවලි බලපෑම |
| මිනුම් වේගය | ප්රමාදයි (පැය) | තත්ය කාලය, අඛණ්ඩ (ප්රතිචාර කාලය බොහෝ විට තත්පර 5) | වැළැක්වීමේ, සංවෘත-ලූප ක්රියාවලි පාලනය සක්රීය කරයි. |
| දත්ත අනුකූලතාව/නිරවද්යතාවය | අඩුයි (අතින් දෝෂ, නියැදි පිරිහීම වැනි දේවලට ගොදුරු වීමේ හැකියාව) | ඉහළ (ස්වයංක්රීය, ඉහළ පුනරාවර්තන හැකියාව/නිරවද්යතාවය) | ක්රියාවලි පාලන සීමාවන් දැඩි කිරීම සහ ව්යාජ ධනාත්මක අඩු කිරීම. |
| උල්ෙල්ඛ අනුකූලතාව | අවහිර වීමේ ඉහළ අවදානමක් (පටු U-නල සිදුරු නිර්මාණය) | අඩු අවහිර වීමේ අවදානම (ශක්තිමත්, U-නල නොවන අනුනාදක නිර්මාණය) | උල්ෙල්ඛ මාධ්යවල උපරිම සංවේදක ක්රියාකාරී කාලය සහ විශ්වසනීයත්වය. |
| දෝෂ හඳුනාගැනීමේ හැකියාව | ප්රතික්රියාශීලී (පැය ගණනකට පෙර සිදු වූ විනෝද චාරිකා හඳුනා ගනී) | ක්රියාශීලී (ගතික වෙනස්කම් නිරීක්ෂණය කරයි, විනෝද චාරිකා කලින් හඳුනා ගනී) | විනාශකාරී වේෆර් සීරීම් සහ අස්වැන්න ඉහළ යාම වළක්වයි. |
වගුව 3: සංසන්දනාත්මක විශ්ලේෂණය: පේළිගත එදිරිව සාම්ප්රදායික පොහොර මිනුම් විද්යාව
සාම්ප්රදායික නොබැඳි විශ්ලේෂණයට නියැදි නිස්සාරණය සහ ප්රවාහන ක්රියාවලියක් අවශ්ය වන අතර, එය මිනුම් විද්යා ලූපයට සැලකිය යුතු කාල ප්රමාදයක් සහජයෙන්ම හඳුන්වා දෙයි. පැය ගණනක් පැවතිය හැකි මෙම ප්රමාදය, අවසානයේ විනෝද චාරිකාවක් අනාවරණය වූ විට, වේෆර් විශාල ප්රමාණයක් දැනටමත් අවදානමට ලක්ව ඇති බව සහතික කරයි. තවද, අතින් හැසිරවීම විචල්යතාවයක් හඳුන්වා දෙන අතර නියැදි පිරිහීමේ අවදානමක් ඇති කරයි, විශේෂයෙන් නියැදීමෙන් පසු උෂ්ණත්ව මාරුවීම් හේතුවෙන්, දුස්ස්රාවීතා කියවීම් විකෘති කළ හැකිය.
මාර්ගගත මිනුම් විද්යාව මෙම දුර්වල කරන ප්රමාදය ඉවත් කරයි, බෙදාහැරීමේ මාර්ගයෙන් සෘජුවම දත්ත අඛණ්ඩ ප්රවාහයක් සපයයි. දෝෂ හඳුනාගැනීම සඳහා මෙම වේගය මූලික වේ; උල්ෙල්ඛ ද්රව්ය සඳහා අත්යවශ්ය ශක්තිමත්, අවහිර නොවන සැලසුම සමඟ ඒකාබද්ධ වූ විට, එය සමස්ත බෙදාහැරීමේ පද්ධතිය ස්ථාවර කිරීම සඳහා විශ්වාසදායක දත්ත සංග්රහයක් සපයයි. CMP හි සංකීර්ණත්වය බහු පරාමිතීන් (වර්තන දර්ශකය හෝ pH අගය වැනි) නිරීක්ෂණය කිරීම අනිවාර්ය කරන අතර, ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවිතතාවය උල්ෙල්ඛ අත්හිටුවීමේ මූලික භෞතික ස්ථායිතාව පිළිබඳ වඩාත් සෘජු, තත්ය කාලීන ප්රතිපෝෂණය සපයයි, එය බොහෝ විට රසායනික බෆරින් හේතුවෙන් pH හෝ ඔක්සිකරණ-අඩු කිරීමේ විභවය (ORP) වැනි පරාමිතීන්හි වෙනස්කම් වලට සංවේදී නොවේ.
5. ආර්ථික හා මෙහෙයුම් අත්යවශ්යතා
තත්ය කාලීන ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවීතාවය නිරීක්ෂණයේ ප්රතිලාභ
ඕනෑම දියුණු නිෂ්පාදන මාර්ගයක් සඳහාඅර්ධ සන්නායක ක්රියාවලියේදී CMPභාවිතා කරනු ලබන අතර, සාර්ථකත්වය මනිනු ලබන්නේ අඛණ්ඩ අස්වැන්න වැඩිදියුණු කිරීම, උපරිම ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහ දැඩි පිරිවැය කළමනාකරණය මගිනි. මෙම වාණිජ අවශ්යතා සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා අවශ්ය අත්යවශ්ය දත්ත යටිතල පහසුකම් තත්ය කාලීන භූ විද්යාත්මක අධීක්ෂණය සපයයි.
ක්රියාවලි ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු කරයි
අඛණ්ඩ, ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් පොහොර නිරීක්ෂණය මඟින්, උඩුගං බලා ක්රියාවලි ශබ්දය නොසලකා, භාවිත ලක්ෂ්යයට (POU) ලබා දෙන තීරණාත්මක පොහොර පරාමිතීන් සුවිශේෂී ලෙස දැඩි පාලන සීමාවන් තුළ පවතින බව සහතික කරයි. උදාහරණයක් ලෙස, පැමිණෙන අමු පොහොර කාණ්ඩවල ආවේණික ඝනත්වයේ විචල්යතාවය ලබා දී ඇති විට, වට්ටෝරුවක් අනුගමනය කිරීම ප්රමාණවත් නොවේ. තත්ය කාලීනව බ්ලෙන්ඩර් ටැංකියේ ඝනත්වය නිරීක්ෂණය කිරීමෙන්, පාලන පද්ධතියට තනුක අනුපාත ගතිකව සකස් කළ හැකි අතර, මිශ්ර කිරීමේ ක්රියාවලිය පුරාම නිශ්චිත ඉලක්ක සාන්ද්රණය පවත්වා ගෙන යන බව සහතික කරයි. මෙය නොගැලපෙන අමුද්රව්ය වලින් පැන නගින ක්රියාවලි විචල්යතාවය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි, ඉහළ පුරෝකථනය කළ හැකි ඔප දැමීමේ කාර්ය සාධනයකට මඟ පාදන අතර මිල අධික ක්රියාවලි විනෝද චාරිකා වල සංඛ්යාතය සහ විශාලත්වය නාටකාකාර ලෙස අඩු කරයි.
අස්වැන්න වැඩි කරයි
අස්ථායී පොහොර තත්ත්වයන් නිසා ඇතිවන යාන්ත්රික හා රසායනික අසාර්ථකත්වයන් සෘජුවම ආමන්ත්රණය කිරීම ඉහළ නැංවීමට වඩාත්ම බලපෑම්කාරී ක්රමයයි.cmp අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයඅස්වැන්න අනුපාත. පුරෝකථන, තත්ය කාලීන අධීක්ෂණ පද්ධති ඉහළ වටිනාකමක් ඇති නිෂ්පාදනයක් කල්තියා ආරක්ෂා කරයි. එවැනි පද්ධති ක්රියාත්මක කර ඇති ෆැබ්ස් සැලකිය යුතු සාර්ථකත්වයක් වාර්තා කර ඇති අතර, දෝෂ ගැලවී යාමේ 25% දක්වා අඩු කිරීමේ වාර්තා ද ඇතුළත් වේ. මෙම වැළැක්වීමේ හැකියාව නොවැළැක්විය හැකි දෝෂ වලට ප්රතික්රියා කිරීමෙන් ක්රියාකාරීව වැළැක්වීම දෙසට මෙහෙයුම් ආදර්ශය මාරු කරයි, එමඟින් ක්ෂුද්ර සීරීම් සහ අස්ථායී අංශු ජනගහනය නිසා ඇති වන වෙනත් හානිවලින් ඩොලර් මිලියන ගණනක් වටිනා වේෆර් ආරක්ෂා කරයි. තාප හෝ කැපුම් ආතතිය සංඥා කරන හදිසි දුස්ස්රාවීතාවයේ පහත වැටීම් වැනි ගතික වෙනස්කම් නිරීක්ෂණය කිරීමේ හැකියාව, මෙම සාධක බහු වේෆර් හරහා දෝෂ ප්රචාරණය කිරීමට පෙර මැදිහත් වීමට හැකියාව ලබා දෙයි.
නැවත වැඩ අඩු කරයි
නිෂ්පාදිතයනැවත වැඩ කරන්නදෝෂ හෝ දෝෂ හේතුවෙන් නැවත සැකසීම අවශ්ය වන නිෂ්පාදිත නිෂ්පාදනයේ ප්රතිශතය ලෙස අර්ථ දක්වා ඇති අනුපාතය, සමස්ත නිෂ්පාදන අකාර්යක්ෂමතාව මනින තීරණාත්මක KPI වේ. ඉහළ ප්රතිසංස්කරණ අනුපාත වටිනා ශ්රමය, අපද්රව්ය පරිභෝජනය කරන අතර සැලකිය යුතු ප්රමාදයන් හඳුන්වා දෙයි. පිඟන් සේදීම, ඒකාකාර නොවන ඉවත් කිරීම සහ සීරීම් වැනි දෝෂ භූ විද්යාත්මක අස්ථාවරත්වයේ සෘජු ප්රතිවිපාක වන බැවින්, අඛණ්ඩ ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවිතතා පාලනය හරහා පොහොර ප්රවාහය ස්ථාවර කිරීම මෙම තීරණාත්මක දෝෂ ආරම්භ කිරීම විශාල ලෙස අවම කරයි. ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහතික කිරීමෙන්, අලුත්වැඩියා කිරීම හෝ නැවත ඔප දැමීම අවශ්ය වන දෝෂ ඇතිවීම අවම කරනු ලබන අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස මෙහෙයුම් ප්රතිදානය සහ සමස්ත කණ්ඩායම් කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු වේ.
මෙහෙයුම් පිරිවැය ප්රශස්ත කරයි
නිෂ්පාදන පරිසරය තුළ CMP පොහොර සැලකිය යුතු පරිභෝජන පිරිවැයක් නියෝජනය කරයි. ක්රියාවලි අවිනිශ්චිතතාවය මිශ්ර කිරීමේදී සහ පරිභෝජනය කිරීමේදී පුළුල්, ගතානුගතික ආරක්ෂිත ආන්තිකයන් භාවිතා කිරීමට නියම කරන විට, ප්රතිඵලය අකාර්යක්ෂම භාවිතය සහ ඉහළ මෙහෙයුම් පිරිවැයයි. තත්ය කාලීන අධීක්ෂණය කෙට්ටු, නිරවද්ය පොහොර කළමනාකරණයට ඉඩ සලසයි. නිදසුනක් ලෙස, අඛණ්ඩ පාලනය මඟින් නිශ්චිත මිශ්ර කිරීමේ අනුපාත සඳහා ඉඩ සලසයි, තනුක ජල භාවිතය අවම කිරීම සහ මිල අධික බව සහතික කිරීමcmp පොහොර සංයුතියද්රව්යමය අපද්රව්ය සහ මෙහෙයුම් වියදම් අඩු කරමින් ප්රශස්ත ලෙස භාවිතා කරයි. තවද, තත්ය කාලීන භූ විද්යාත්මක රෝග විනිශ්චය මඟින් උපකරණ ගැටළු පිළිබඳ පූර්ව අනතුරු ඇඟවීමේ සලකුණු ලබා දිය හැකිය - පෑඩ් ඇඳීම හෝ පොම්ප අසමත් වීම වැනි - එමඟින් අක්රිය වීම තීරණාත්මක පොහොරමය කොටසකට සහ පසුව මෙහෙයුම් අක්රිය කාලයට හේතු වීමට පෙර තත්ත්වය මත පදනම් වූ නඩත්තුවකට ඉඩ සලසයි.
තිරසාර ඉහළ අස්වැන්නක් ලබා දීම සඳහා සියලුම තීරණාත්මක ඒකක ක්රියාවලීන්හි විචල්යතාවය ඉවත් කිරීම අවශ්ය වේ. ලෝන්මීටර් අනුනාද තාක්ෂණය පොහොර බෙදා හැරීමේ යටිතල පහසුකම් අවදානම අඩු කිරීම සඳහා අවශ්ය ශක්තිමත් බව, වේගය සහ නිරවද්යතාවය සපයයි. තත්ය කාලීන ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවිතතා දත්ත ඒකාබද්ධ කිරීමෙන්, ක්රියාවලි ඉංජිනේරුවන් අඛණ්ඩ, ක්රියාකාරී බුද්ධියකින් සන්නද්ධ වන අතර, පුරෝකථනය කළ හැකි ඔප දැමීමේ කාර්ය සාධනය සහතික කරන අතර කොලොයිඩල් අස්ථාවරත්වයට එරෙහිව වේෆර් අස්වැන්න ආරක්ෂා කරයි.
ප්රතික්රියාශීලී අස්වැන්න කළමනාකරණයේ සිට ක්රියාකාරී ක්රියාවලි පාලනය දක්වා සංක්රමණය ආරම්භ කිරීම සඳහා:
උපරිම කරන්නක්රියාකාරී කාලය සහඅවම කරන්නනැවත සකස් කිරීම:බාගත කරන්නඅපගේ තාක්ෂණික පිරිවිතර සහආරම්භ කරන්නඅද RFQ එකක්.
අපි ජ්යෙෂ්ඨ ක්රියාවලි සහ අස්වැන්න ඉංජිනේරුවන්ට ආරාධනා කරමුඉදිරිපත් කරන්නසවිස්තරාත්මක RFQ එකක්. අපගේ තාක්ෂණික විශේෂඥයින් දෝෂ ඝනත්වය සහ පොහොර පරිභෝජනයේ ප්රක්ෂේපිත අඩු කිරීම ප්රමාණනය කිරීම සඳහා ඔබේ පොහොර බෙදා හැරීමේ යටිතල පහසුකම්වලට ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් ලොන්මීටර් තාක්ෂණය ඒකාබද්ධ කරමින් නිරවද්ය ක්රියාත්මක කිරීමේ මාර්ග සිතියමක් සකස් කරනු ඇත.අමතන්නඅපගේ ක්රියාවලි ස්වයංක්රීයකරණ කණ්ඩායම දැන්ආරක්ෂිතයිඔබේ අස්වැන්න වාසිය.සොයා ගන්නඔබගේ වඩාත්ම තීරණාත්මක සැලසුම්කරණ පියවර ස්ථාවර කිරීමට අවශ්ය අත්යවශ්ය නිරවද්යතාවය.
