රසායනික යාන්ත්රික තලකරණය(CMP) යනු දියුණු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ මූලික ක්රියාවලියකි. එය වේෆර් මතුපිට හරහා පරමාණුක මට්ටමේ සමතලා බවක් ලබා දෙයි, බහු ස්ථර ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය, තද උපාංග ඇසුරුම් කිරීම සහ වඩාත් විශ්වාසදායක අස්වැන්නක් ලබා දෙයි. CMP භ්රමණය වන පෑඩ් සහ විශේෂිත ඔප දැමීමේ පොහොර භාවිතා කරමින් එකවර රසායනික හා යාන්ත්රික ක්රියා ඒකාබද්ධ කරයි - අතිරික්ත පටල ඉවත් කිරීම සහ සුමට මතුපිට අක්රමිකතා, ඒකාබද්ධ පරිපථවල විශේෂාංග රටා සහ පෙළගැස්ම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
CMP පසු වේෆර් ගුණාත්මකභාවය ඔප දැමීමේ පොහොරවල සංයුතිය සහ ලක්ෂණ ප්රවේශමෙන් පාලනය කිරීම මත දැඩි ලෙස රඳා පවතී. පොහොරවල භෞතික උල්ෙල්ඛ සහ රසායනික ප්රතික්රියා අනුපාත යන දෙකම ප්රශස්ත කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති රසායනික ද්රව්ය කොක්ටේල් එකක අත්හිටුවන ලද සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) වැනි උල්ෙල්ඛ අංශු අඩංගු වේ. උදාහරණයක් ලෙස, සීරියම් ඔක්සයිඩ් සිලිකන් පාදක පටල සඳහා ප්රශස්ත දෘඪතාව සහ මතුපිට රසායන විද්යාව ලබා දෙන අතර, එය බොහෝ CMP යෙදුම්වල තෝරා ගැනීමේ ද්රව්යය බවට පත් කරයි. CMP හි කාර්යක්ෂමතාව උල්ෙල්ඛ අංශු ගුණාංග මගින් පමණක් නොව, පොහොර සාන්ද්රණය, pH අගය සහ ඝනත්වය නිවැරදිව කළමනාකරණය කිරීම මගින් ද නියම කෙරේ.
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණය
*
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී පොහොර ඔප දැමීමේ මූලික කරුණු
ඔප දැමීමේ පොහොර රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියේ කේන්ද්රීය වේ. ඒවා වේෆර් මතුපිට යාන්ත්රික උල්ෙල්ඛ සහ රසායනික මතුපිට වෙනස් කිරීම් යන දෙකම සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා නිර්මාණය කරන ලද සංකීර්ණ මිශ්රණ වේ. CMP පොහොරවල අත්යවශ්ය කාර්යභාරයන් අතර ඵලදායී ද්රව්ය ඉවත් කිරීම, තලීයතාව පාලනය, විශාල වේෆර් ප්රදේශ මත ඒකාකාරිත්වය සහ දෝෂ අවම කිරීම ඇතුළත් වේ.
ඔප දැමීමේ පොහොරවල භූමිකාවන් සහ සංයුතිය
සාමාන්ය CMP පොහොර මිශ්රණයක රසායනික ආකලන සහ ස්ථායීකාරක මගින් පරිපූරණය කරන ලද ද්රව අනුකෘතියක අත්හිටුවන ලද උල්ෙල්ඛ අංශු අඩංගු වේ. සෑම සංරචකයක්ම වෙනස් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි:
- උල්ෙල්ඛ:අර්ධ සන්නායක යෙදීම්වල මෙම සියුම්, ඝන අංශු - ප්රධාන වශයෙන් සිලිකා (SiO₂) හෝ සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) - ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ යාන්ත්රික කොටස ඉටු කරයි. ඒවායේ සාන්ද්රණය සහ අංශු ප්රමාණයේ ව්යාප්තිය ඉවත් කිරීමේ අනුපාතය සහ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය යන දෙකම පාලනය කරයි. උල්ෙල්ඛ අන්තර්ගතය සාමාන්යයෙන් බර අනුව 1% සිට 5% දක්වා පරාසයක පවතින අතර අංශු විෂ්කම්භය 20 nm සහ 300 nm අතර වන අතර අධික වේෆර් සීරීම් වළක්වා ගැනීම සඳහා තදින් දක්වා ඇත.
- රසායනික ආකලන:මෙම කාරක ඵලදායී තලකරණය සඳහා රසායනික පරිසරය ස්ථාපිත කරයි. ඔක්සිකාරක (උදා: හයිඩ්රජන් පෙරොක්සයිඩ්) සීරීමට පහසු මතුපිට ස්ථර සෑදීමට පහසුකම් සපයයි. සංකීර්ණ හෝ චෙලේටින් කාරක (ඇමෝනියම් පර්සල්ෆේට් හෝ සිට්රික් අම්ලය වැනි) ලෝහ අයන බන්ධනය කරයි, ඉවත් කිරීම වැඩි දියුණු කරයි සහ දෝෂ සෑදීම මර්දනය කරයි. යාබද හෝ යටින් පවතින වේෆර් ස්ථර අනවශ්ය ලෙස කැටයම් කිරීම වැළැක්වීම සඳහා නිෂේධක හඳුන්වා දෙනු ලැබේ, තේරීම වැඩි දියුණු කරයි.
- ස්ථායීකාරක:සර්ෆැක්ටන්ට් සහ pH බෆර මගින් පොහොර ස්ථායිතාව සහ ඒකාකාර විසරණය පවත්වා ගනී. සර්ෆැක්ටන්ට් මගින් උල්ෙල්ඛ සමුච්චය වීම වළක්වයි, සමජාතීය ඉවත් කිරීමේ අනුපාත සහතික කරයි. pH බෆර මඟින් ස්ථාවර රසායනික ප්රතික්රියා අනුපාත සක්රීය කරන අතර අංශු කැටි ගැසීමේ හෝ විඛාදනයට ලක්වීමේ සම්භාවිතාව අඩු කරයි.
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියට සම්බන්ධ වන නිශ්චිත වේෆර් ද්රව්ය, උපාංග ව්යුහය සහ ක්රියාවලි පියවරට අනුව එක් එක් සංරචකයේ සූත්රගත කිරීම සහ සාන්ද්රණය සකස් කර ඇත.
පොදු පොහොර: සිලිකා (SiO₂) එදිරිව සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂)
සිලිකා (SiO₂) ඔප දැමීමේ පොහොරඅන්තර් ස්ථර ඩයෙලෙක්ටික් (ILD) සහ නොගැඹුරු අගල් හුදකලා කිරීම (STI) ඔප දැමීම වැනි ඔක්සයිඩ් තලකරණ පියවර ප්රමුඛ වේ. ඒවා බොහෝ විට මූලික (pH ~10) පරිසරයක උල්ෙල්ඛ ලෙස කොලොයිඩල් හෝ දුම් දමන ලද සිලිකා භාවිතා කරන අතර, සමහර විට සීරීම් දෝෂ සීමා කිරීමට සහ ඉවත් කිරීමේ අනුපාත ප්රශස්ත කිරීමට සුළු මතුපිටක සහ විඛාදන නිෂේධක සමඟ අතිරේක වේ. සිලිකා අංශු ඒවායේ ඒකාකාර ප්රමාණය සහ අඩු දෘඪතාව සඳහා අගය කරනු ලබන අතර, සියුම් ස්ථර සඳහා සුදුසු මෘදු, ඒකාකාර ද්රව්ය ඉවත් කිරීම සපයයි.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) ඔප දැමීමේ පොහොරඅවසාන වීදුරු උපස්ථර ඔප දැමීම, උසස් උපස්ථර තලකරණය සහ අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ඇතැම් ඔක්සයිඩ් ස්ථර වැනි ඉහළ තේරීමක් සහ නිරවද්යතාවයක් අවශ්ය වන අභියෝගාත්මක යෙදුම් සඳහා තෝරා ගනු ලැබේ. CeO₂ උල්ෙල්ඛ අද්විතීය ප්රතික්රියාශීලීත්වයක් පෙන්නුම් කරයි, විශේෂයෙන් සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් මතුපිට සමඟ, රසායනික හා යාන්ත්රික ඉවත් කිරීමේ යාන්ත්රණ දෙකම සක්රීය කරයි. මෙම ද්විත්ව ක්රියාකාරී හැසිරීම අඩු දෝෂ මට්ටම්වලදී ඉහළ තලකරණ අනුපාත ලබා දෙන අතර, CeO₂ පොහොර වීදුරු, දෘඩ තැටි උපස්ථර හෝ උසස් තාර්කික උපාංග නෝඩ් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ.
උල්ෙල්ඛ, ආකලන සහ ස්ථායීකාරකවල ක්රියාකාරී අරමුණ
- උල්ෙල්ඛ: යාන්ත්රික සීරීම් ක්රියාත්මක කරන්න. ඒවායේ ප්රමාණය, හැඩය සහ සාන්ද්රණය ඉවත් කිරීමේ අනුපාතය සහ මතුපිට නිමාව නියම කරයි. උදාහරණයක් ලෙස, ඒකාකාර 50 nm සිලිකා උල්ෙල්ඛ ඔක්සයිඩ් ස්ථර මෘදු, ඒකාකාරව තලීකරණය කිරීම සහතික කරයි.
- රසායනික ආකලන: මතුපිට ඔක්සිකරණය සහ දියවීම පහසු කිරීමෙන් වරණීය ඉවත් කිරීම සක්රීය කරන්න. තඹ CMP හි, ග්ලයිසීන් (සංකීර්ණ කාරකයක් ලෙස) සහ හයිඩ්රජන් පෙරොක්සයිඩ් (ඔක්සිකාරකයක් ලෙස) සහජීවනයෙන් ක්රියා කරන අතර, BTA තඹ ලක්ෂණ ආරක්ෂා කරන නිෂේධකයක් ලෙස ක්රියා කරයි.
- ස්ථායීකාරක: කාලයත් සමඟ පොහොර සංයුතිය ඒකාකාරව තබා ගන්න. සර්ෆැක්ටන්ට් අවසාදිත වීම සහ සමුච්චය වීම වළක්වයි, උල්ෙල්ඛ අංශු අඛණ්ඩව විසිරී ඇති බවත් ක්රියාවලිය සඳහා ලබා ගත හැකි බවත් සහතික කරයි.
අද්විතීය ගුණාංග සහ භාවිත අවස්ථා: CeO₂ සහ SiO₂ පොහොර
CeO₂ ඔප දැමීමේ පොහොරඑහි ආවේණික රසායනික ප්රතික්රියාශීලීත්වය හේතුවෙන් වීදුරු සහ සිලිකන් ඔක්සයිඩ් අතර ඉහළ තේරීමක් ලබා දෙයි. ඉහළ ද්රව්ය තේරීමක් අත්යවශ්ය වන දෘඩ, බිඳෙනසුලු උපස්ථර හෝ සංයුක්ත ඔක්සයිඩ් තොග තලකරණය කිරීම සඳහා එය විශේෂයෙන් ඵලදායී වේ. මෙය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ උසස් උපස්ථර සකස් කිරීම, නිරවද්ය වීදුරු නිමාව සහ නිශ්චිත නොගැඹුරු අගල් හුදකලා (STI) CMP පියවරයන්හි CeO₂ පොහොර ප්රමිතිගත කරයි.
SiO₂ ඔප දැමීමේ පොහොරයාන්ත්රික හා රසායනික ඉවත් කිරීමේ සමතුලිත සංයෝජනයක් සපයයි. ඉහළ ප්රතිදානයක් සහ අවම දෝෂ සහිත බවක් අවශ්ය වන තොග ඔක්සයිඩ් සහ අන්තර් ස්ථර පාර විද්යුත් තලකරණය සඳහා එය බහුලව භාවිතා වේ. සිලිකා වල ඒකාකාර, පාලිත අංශු ප්රමාණය සීරීම් උත්පාදනය සීමා කරන අතර උසස් අවසාන මතුපිට ගුණාත්මකභාවය සහතික කරයි.
අංශු ප්රමාණයේ සහ විසරණ ඒකාකාරිත්වයේ වැදගත්කම
අංශු ප්රමාණය සහ විසරණ ඒකාකාරිත්වය පොහොර ක්රියාකාරිත්වය සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. ඒකාකාර, නැනෝමීටර පරිමාණයේ උල්ෙල්ඛ අංශු ස්ථාවර ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ අනුපාත සහ දෝෂ රහිත වේෆර් මතුපිටක් සහතික කරයි. සමුච්චය වීම සීරීම් හෝ අනපේක්ෂිත ඔප දැමීමකට තුඩු දෙන අතර, පුළුල් ප්රමාණයේ ව්යාප්තිය ඒකාකාර නොවන තලකරණයට සහ දෝෂ ඝනත්වය වැඩි කිරීමට හේතු වේ.
ඵලදායී පොහොර සාන්ද්රණ පාලනය - පොහොර ඝනත්ව මීටරයක් හෝ අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මිනුම් උපකරණ වැනි තාක්ෂණයන් මගින් නිරීක්ෂණය කරනු ලැබේ - අස්වැන්න සහ උපාංග ක්රියාකාරිත්වයට සෘජුවම බලපාන, නිරන්තර උල්ෙල්ඛ පැටවීම සහ පුරෝකථනය කළ හැකි ක්රියාවලි ප්රතිඵල සහතික කරයි. නිශ්චිත ඝනත්ව පාලනය සහ ඒකාකාර විසරණය සාක්ෂාත් කර ගැනීම රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ උපකරණ ස්ථාපනය සහ ක්රියාවලි ප්රශස්තිකරණය සඳහා ප්රධාන අවශ්යතා වේ.
සාරාංශයක් ලෙස, ඔප දැමීමේ පොහොර සැකසීම - විශේෂයෙන් උල්ෙල්ඛ වර්ගය, අංශු ප්රමාණය සහ ස්ථායීකරණ යාන්ත්රණ තෝරා ගැනීම සහ පාලනය කිරීම - අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත යෙදීම්වල රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියේ විශ්වසනීයත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාවයට පදනම සපයයි.
CMP හි බොරළු ඝනත්වය මැනීමේ වැදගත්කම
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියේදී, පොහොර ඝනත්වය නිවැරදිව මැනීම සහ පාලනය කිරීම වේෆර් ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාවයට සහ ගුණාත්මක භාවයට සෘජුවම බලපායි. පොහොර ඝනත්වය - ඔප දැමීමේ පොහොර තුළ ඇති උල්ෙල්ඛ අංශු සාන්ද්රණය - මධ්යම ක්රියාවලි ලීවරයක් ලෙස ක්රියා කරයි, ඔප දැමීමේ අනුපාතය, අවසාන මතුපිට ගුණාත්මකභාවය සහ සමස්ත වේෆර් අස්වැන්න හැඩගස්වයි.
පොහොර ඝනත්වය, ඔප දැමීමේ අනුපාතය, මතුපිට ගුණාත්මකභාවය සහ වේෆර් අස්වැන්න අතර සම්බන්ධතාවය
CeO₂ ඔප දැමීමේ පොහොරක් හෝ වෙනත් ඔප දැමීමේ පොහොරක් තුළ ඇති උල්ෙල්ඛ අංශු සාන්ද්රණය, වේෆර් මතුපිටින් ද්රව්ය කෙතරම් ඉක්මනින් ඉවත් කරන්නේද යන්න තීරණය කරයි, එය සාමාන්යයෙන් ඉවත් කිරීමේ අනුපාතය හෝ ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ අනුපාතය (MRR) ලෙස හැඳින්වේ. පොහොර ඝනත්වය වැඩිවීම සාමාන්යයෙන් ඒකක ප්රදේශයකට උල්ෙල්ඛ සම්බන්ධතා ගණන ඉහළ නංවන අතර ඔප දැමීමේ අනුපාතය වේගවත් කරයි. නිදසුනක් වශයෙන්, 2024 පාලිත අධ්යයනයකින් වාර්තා වූයේ කොලොයිඩල් පොහොරවල සිලිකා අංශු සාන්ද්රණය 5 wt% දක්වා වැඩි කිරීම මිලිමීටර් 200 සිලිකන් වේෆර් සඳහා උපරිම ඉවත් කිරීමේ අනුපාත බවයි. කෙසේ වෙතත්, මෙම සම්බන්ධතාවය රේඛීය නොවේ - ප්රතිලාභ අඩුවීමේ ලක්ෂ්යයක් පවතී. ඉහළ පොහොර ඝනත්වයන්හිදී, අංශු සමුච්චය වීම දුර්වල ස්කන්ධ ප්රවාහනය සහ වැඩි දුස්ස්රාවිතතාවය හේතුවෙන් ඉවත් කිරීමේ අනුපාතයේ සානුවක් හෝ අඩුවීමක් ඇති කරයි.
මතුපිට ගුණාත්මකභාවය පොහොර ඝනත්වයට සමානව සංවේදී වේ. ඉහළ සාන්ද්රණයකදී, සීරීම්, කාවැද්දූ සුන්බුන් සහ වලවල් වැනි දෝෂ නිතර දක්නට ලැබේ. එම අධ්යයනයේදීම පොහොර ඝනත්වය 8-10 wt ට වඩා වැඩි වන විට මතුපිට රළුබවෙහි රේඛීය වැඩිවීමක් සහ සැලකිය යුතු සීරීම් ඝනත්වයක් නිරීක්ෂණය විය. අනෙක් අතට, ඝනත්වය අඩු කිරීම දෝෂ අවදානම අඩු කරයි, නමුත් ඉවත් කිරීම මන්දගාමී කළ හැකි අතර තලයට හානි කළ හැකිය.
වේෆර් අස්වැන්න, ඔප දැමීමෙන් පසු ක්රියාවලි පිරිවිතර සපුරාලන වේෆර්වල අනුපාතය, මෙම ඒකාබද්ධ බලපෑම් මගින් නියාමනය කරනු ලැබේ. ඉහළ දෝෂ අනුපාත සහ ඒකාකාර නොවන ඉවත් කිරීම යන දෙකම අස්වැන්න අඩු කරයි, නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ප්රතිදානය සහ ගුණාත්මකභාවය අතර සියුම් සමතුලිතතාවය අවධාරනය කරයි.
CMP ක්රියාවලියට සුළු පොහොර සාන්ද්රණ වෙනස්කම්වල බලපෑම
ප්රශස්ත පොහොර ඝනත්වයෙන් - සියයට එකක භාග වලින් - අවම අපගමනයන් පවා ක්රියාවලි ප්රතිදානයට සැලකිය යුතු ලෙස බලපෑ හැකිය. උල්ෙල්ඛ සාන්ද්රණය ඉලක්කයට වඩා ඉහළ ගියහොත්, අංශු පොකුරුකරණය සිදුවිය හැකි අතර, එමඟින් පෑඩ් සහ කන්ඩිෂනින් තැටි මත වේගවත් ඇඳීම්, ඉහළ මතුපිට සීරීම් අනුපාත සහ රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ උපකරණවල ද්රව සංරචක අවහිර වීම හෝ ඛාදනය විය හැකිය. අඩු ඝනත්වය අවශේෂ පටල සහ අක්රමවත් මතුපිට භූ ලක්ෂණ ඉතිරි කළ හැකි අතර, එය පසුකාලීන ෆොටෝලිතෝග්රැෆි පියවරයන්ට අභියෝග කරන අතර අස්වැන්න අඩු කරයි.
පොහොර ඝනත්වයේ වෙනස්කම් වේෆරය මත රසායනික-යාන්ත්රික ප්රතික්රියා වලට ද බලපාන අතර, දෝෂ සහ උපාංග ක්රියාකාරිත්වය කෙරෙහි පහළට බලපෑම් ඇති කරයි. නිදසුනක් ලෙස, තනුක කළ පොහොරවල කුඩා හෝ ඒකාකාරව විසුරුවා හරින ලද අංශු දේශීය ඉවත් කිරීමේ අනුපාතවලට බලපාන අතර, ඉහළ පරිමාවකින් යුත් නිෂ්පාදනයේදී ක්රියාවලි දෝෂ ලෙස ප්රචාරය කළ හැකි ක්ෂුද්ර භූ විෂමතාව නිර්මාණය කරයි. මෙම සියුම්කම් සඳහා දැඩි පොහොර සාන්ද්රණ පාලනයක් සහ ශක්තිමත් අධීක්ෂණයක් අවශ්ය වේ, විශේෂයෙන් උසස් නෝඩ් වල.
තත්ය කාලීන බොරළු ඝනත්වය මැනීම සහ ප්රශස්තිකරණය
Lonnmeter විසින් නිෂ්පාදනය කරන ලද අතිධ්වනික slurry density meter වැනි inline density meter යෙදවීමෙන් සක්රීය කරන ලද slurry density හි තත්ය කාලීන මිනුම් දැන් ප්රමුඛ පෙළේ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත යෙදුම්වල සම්මත වේ. මෙම උපකරණ slurry පරාමිතීන් අඛණ්ඩව නිරීක්ෂණය කිරීමට ඉඩ සලසයි, CMP මෙවලම් කට්ටල සහ බෙදාහැරීමේ පද්ධති හරහා slurry චලනය වන විට ඝනත්ව උච්චාවචනයන් පිළිබඳ ක්ෂණික ප්රතිපෝෂණ සපයයි.
තත්ය කාලීන පොහොර ඝනත්වය මැනීමේ ප්රධාන ප්රතිලාභ අතරට:
- මිල අධික පහළ ක්රියාවලීන් හරහා දෝෂ පැතිරීම වැළැක්වීම, පිරිවිතරයෙන් බැහැර තත්වයන් වහාම හඳුනා ගැනීම.
- ක්රියාවලි ප්රශස්තිකරණය - ඉංජිනේරුවන්ට ප්රශස්ත පොහොර ඝනත්ව කවුළුවක් පවත්වා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි, ඉවත් කිරීමේ අනුපාතය උපරිම කරන අතරම දෝෂ අවම කරයි.
- වේෆර්-ටු-වේෆර් සහ ලොට්-ටු-ලොට් අනුකූලතාව වැඩිදියුණු කිරීම, සමස්ත නිෂ්පාදන අස්වැන්න ඉහළ නැංවීමට හේතු වේ.
- අධික සාන්ද්රිත හෝ අඩු සාන්ද්රිත පොහොර ඔප දැමීමේ පෑඩ්, මික්සර් සහ බෙදාහැරීමේ ජලනල මත ගෙවී යාම වේගවත් කළ හැකි බැවින්, උපකරණවල දිගුකාලීන සෞඛ්යය.
CMP උපකරණ සඳහා ස්ථාපන ස්ථානගත කිරීම් සාමාන්යයෙන් නියැදි ලූප හෝ ප්රතිචක්රීකරණ රේඛා මිනුම් කලාපය හරහා යොමු කරයි, ඝනත්ව කියවීම් වේෆර් වෙත ලබා දෙන සත්ය ප්රවාහය නියෝජනය කරන බව සහතික කරයි.
නිරවද්ය සහ තත්ය කාලීනපොහොර ඝනත්වය මැනීමශක්තිමත් පොහොර ඝනත්ව පාලන ක්රමවල කොඳු නාරටිය සාදයි, උසස් අන්තර් ස්ථර සහ ඔක්සයිඩ් CMP සඳහා අභියෝගාත්මක සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) පොහොර ඇතුළුව ස්ථාපිත සහ නව ඔප දැමීමේ පොහොර සූත්රගත කිරීම් දෙකටම සහාය වේ. මෙම තීරණාත්මක පරාමිතිය පවත්වා ගැනීම රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලිය පුරාවට ඵලදායිතාව, පිරිවැය පාලනය සහ උපාංග විශ්වසනීයත්වය සමඟ සෘජුවම සම්බන්ධ වේ.
බොරළු ඝනත්වය මැනීම සඳහා මූලධර්ම සහ තාක්ෂණයන්
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණයේ (CMP) භාවිතා කරන සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) සූත්රගත කිරීම් වැනි ඔප දැමීමේ පොහොරවල ඒකක පරිමාවකට ඝන ද්රව්යවල ස්කන්ධය ස්ලරි ඝනත්වය විස්තර කරයි. මෙම විචල්යය ඔප දැමූ වේෆර්වල ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ අනුපාත, ප්රතිදාන ඒකාකාරිත්වය සහ දෝෂ මට්ටම් තීරණය කරයි. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත යෙදීම්වල අස්වැන්න සහ දෝෂයට සෘජුවම බලපාන, දියුණු පොහොර සාන්ද්රණ පාලනය සඳහා ඵලදායී පොහොර ඝනත්වය මැනීම අත්යවශ්ය වේ.
CMP මෙහෙයුම් වලදී, විවිධ මිනුම් මූලධර්ම භාවිතා කරමින්, පොහොර ඝනත්ව මීටර පරාසයක් යොදවා ඇත. ගුරුත්වාකර්ෂණ ක්රම මගින් නිර්වචනය කරන ලද පොහොර පරිමාවක් එකතු කිරීම සහ කිරා බැලීම මත රඳා පවතින අතර, ඉහළ නිරවද්යතාවයක් ලබා දෙන නමුත් තත්ය කාලීන හැකියාවක් නොමැති අතර CMP උපකරණ සඳහා ස්ථාපන ස්ථානගත කිරීම් වලදී ඒවා අඛණ්ඩව භාවිතා කිරීම ප්රායෝගික නොවේ. අත්හිටවූ උල්ෙල්ඛ අංශු හේතුවෙන් සන්නායකතාවයේ සහ අවසරයේ වෙනස්වීම් මත පදනම්ව ඝනත්වය අනුමාන කිරීමට විද්යුත් චුම්භක ඝනත්ව මීටර විද්යුත් චුම්භක ක්ෂේත්ර භාවිතා කරයි. කම්පන නල ඝනත්වමාන වැනි කම්පන මීටර, පොහොරවලින් පිරුණු නළයක සංඛ්යාත ප්රතිචාරය මනිනු ලබයි; ඝනත්වයේ වෙනස්කම් කම්පන සංඛ්යාතයට බලපාන අතර, අඛණ්ඩ අධීක්ෂණයට ඉඩ සලසයි. මෙම තාක්ෂණයන් පේළිගත නිරීක්ෂණයට සහාය වන නමුත් අපිරිසිදුකම හෝ රසායනික වෙනස්කම් වලට සංවේදී විය හැකිය.
අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටර රසායනික-යාන්ත්රික තලකරණයේ තත්ය කාලීන ඝනත්ව අධීක්ෂණය සඳහා ප්රධාන තාක්ෂණික දියුණුවක් නියෝජනය කරයි. මෙම උපකරණ පොහොර හරහා අතිධ්වනික තරංග නිකුත් කරන අතර ශබ්ද ප්රචාරණයේ පියාසර කාලය හෝ ප්රවේගය මනිනු ලබයි. මාධ්යයක ශබ්දයේ වේගය එහි ඝනත්වය සහ ඝන ද්රව්ය සාන්ද්රණය මත රඳා පවතින අතර එමඟින් පොහොර ගුණාංග නිවැරදිව තීරණය කිරීමට ඉඩ සලසයි. අතිධ්වනික යාන්ත්රණය CMP හි සාමාන්ය උල්ෙල්ඛ සහ රසායනිකව ආක්රමණශීලී පරිසරයන් සඳහා බෙහෙවින් සුදුසු ය, මන්ද එය ආක්රමණශීලී නොවන අතර සෘජු සම්බන්ධතා මීටර හා සසඳන විට සංවේදක අපිරිසිදුකම අඩු කරයි. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත CMP රේඛා සඳහා සකස් කරන ලද පේළිගත අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටර ලෝන්මීටරය නිෂ්පාදනය කරයි.
අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටරවල වාසි අතර:
- ආක්රමණශීලී නොවන මිනුම්: සංවේදක සාමාන්යයෙන් බාහිරව හෝ බයිපාස් ප්රවාහ සෛල තුළ ස්ථාපනය කර ඇති අතර, එමඟින් පොහොරවලට සිදුවන බාධා අවම කර සංවේදක පෘෂ්ඨයන්හි සීරීම් වළක්වයි.
- තත්ය කාලීන හැකියාව: අඛණ්ඩ ප්රතිදානය ක්ෂණික ක්රියාවලි ගැලපීම් සක්රීය කරයි, ප්රශස්ත වේෆර් ඔප දැමීමේ ගුණාත්මකභාවය සඳහා පොහොර ඝනත්වය නිර්වචනය කරන ලද පරාමිතීන් තුළ පවතින බව සහතික කරයි.
- ඉහළ නිරවද්යතාවය සහ ශක්තිමත් බව: අතිධ්වනික ස්කෑනර් මඟින් ස්ථාවර සහ නැවත නැවත කියවීම් ලබා දෙන අතර, උච්චාවචනය වන පොහොර රසායන විද්යාවෙන් හෝ දිගු ස්ථාපනයන් මත අංශු බරින් බලපෑමට ලක් නොවේ.
- CMP උපකරණ සමඟ ඒකාබද්ධ කිරීම: ඔවුන්ගේ සැලසුම ප්රතිචක්රීකරණ පොහොර රේඛා හෝ බෙදාහැරීමේ බහුවිධවල ස්ථාපන ස්ථානගත කිරීම් සඳහා සහාය වන අතර, පුළුල් අක්රීය කාලයකින් තොරව ක්රියාවලි පාලනය විධිමත් කරයි.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) ඔප දැමීමේ පොහොර ක්රියාවලීන් සඳහා රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ උපකරණ ස්ථාපනය කිරීම සමඟ පේළිගත අතිධ්වනික ඝනත්ව අධීක්ෂණය සම්පූර්ණ කරන විට, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්ෂේත්රයේ මෑත කාලීන අධ්යයනයන් 30% දක්වා දෝෂ අඩුවීමක් වාර්තා කරයි. අතිධ්වනික සංවේදක වලින් ලැබෙන ස්වයංක්රීය ප්රතිපෝෂණ මඟින් පොහොර සංයෝග ඔප දැමීම දැඩි ලෙස පාලනය කිරීමට ඉඩ සලසයි, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස ඝණකම ඒකාකාරිත්වය වැඩි දියුණු වන අතර ද්රව්ය අපද්රව්ය අඩු වේ. ශක්තිමත් ක්රමාංකන ප්රොටෝකෝල සමඟ ඒකාබද්ධ වූ විට, උසස් CMP මෙහෙයුම් වලදී නිතර සිදුවන පොහොර සංයුතියේ මාරුවීම් හමුවේ විශ්වාසදායක කාර්ය සාධනයක් පවත්වා ගනී.
සාරාංශයක් ලෙස, තත්ය කාලීන පොහොර ඝනත්වය මැනීම - විශේෂයෙන් අතිධ්වනික තාක්ෂණය භාවිතා කිරීම - CMP හි නිරවද්ය පොහොර ඝනත්ව පාලන ක්රම සඳහා කේන්ද්රීය වී ඇත. මෙම දියුණුව අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ අස්වැන්න, ක්රියාවලි කාර්යක්ෂමතාව සහ වේෆර් ගුණාත්මකභාවය සෘජුවම වැඩිදියුණු කරයි.
CMP පද්ධතිවල ස්ථාපන ස්ථානගත කිරීම් සහ ඒකාබද්ධ කිරීම
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියේදී පොහොර සාන්ද්රණය පාලනය කිරීම සඳහා නිසි පොහොර ඝනත්වය මැනීම අත්යවශ්ය වේ. පොහොර ඝනත්ව මීටර සඳහා ඵලදායී ස්ථාපන ස්ථාන තෝරා ගැනීම නිරවද්යතාවය, ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහ වේෆර් ගුණාත්මකභාවයට සෘජුවම බලපායි.
ස්ථාපන ස්ථාන තෝරා ගැනීම සඳහා තීරණාත්මක සාධක
CMP සැකසුම් වලදී, වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා භාවිතා කරන සත්ය පොහොර ප්රමාණය නිරීක්ෂණය කිරීම සඳහා ඝනත්ව මීටර ස්ථානගත කළ යුතුය. ප්රාථමික ස්ථාපන ස්ථානගත කිරීම්වලට ඇතුළත් වන්නේ:
- ප්රතිචක්රීකරණ ටැංකිය:මීටරය පිටවන ස්ථානයේ තැබීමෙන් බෙදා හැරීමට පෙර පාදක පොහොර තත්ත්වය පිළිබඳ අවබෝධයක් ලබා ගත හැකිය. කෙසේ වෙතත්, මෙම ස්ථානයේ බුබුලු සෑදීම හෝ දේශීය තාප බලපෑම් වැනි තවදුරටත් පහළට සිදුවන වෙනස්කම් මග හැරිය හැක.
- බෙදාහැරීමේ මාර්ග:මිශ්ර කිරීමෙන් පසු සහ බෙදාහැරීමේ බහුවිධ ඇතුළු කිරීමට පෙර ඒකක ස්ථාපනය කිරීමෙන් ඝනත්ව මැනීම සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) ඔප දැමීමේ පොහොර සහ අනෙකුත් ආකලන ඇතුළුව පොහොරවල අවසාන සූත්රගත කිරීම පිළිබිඹු කරයි. මෙම පිහිටීම වේෆර් සැකසීමට පෙර පොහොර සාන්ද්රණ මාරුවීම් ක්ෂණිකව හඳුනා ගැනීමට ඉඩ සලසයි.
- භාවිත ලක්ෂ්ය අධීක්ෂණය:ප්රශස්ත ස්ථානය භාවිත ලක්ෂ්ය කපාටයේ හෝ මෙවලමෙහි ඉහළට වහාම පිහිටා ඇත. මෙය තත්ය කාලීන පොහොර ඝනත්වය ග්රහණය කර ගන්නා අතර රේඛීය උණුසුම, වෙන් කිරීම හෝ ක්ෂුද්ර බුබුලු උත්පාදනය හේතුවෙන් ඇති විය හැකි ක්රියාවලි තත්වයන්හි අපගමනයන් පිළිබඳව ක්රියාකරුවන්ට අනතුරු අඟවයි.
ස්ථාපන ස්ථාන තෝරාගැනීමේදී, ප්රවාහ තන්ත්රය, නල දිශානතිය සහ පොම්ප හෝ කපාට වලට සමීප වීම වැනි අමතර සාධක සලකා බැලිය යුතුය:
- අනුග්රහය දක්වන්නසිරස් සවි කිරීමසංවේදක මූලද්රව්යය මත වායු බුබුල සහ අවසාදිත සමුච්චය අවම කිරීම සඳහා ඉහළට ගලා යාමක් සහිතව.
- ප්රවාහ බාධා හේතුවෙන් කියවීමේ දෝෂ වළක්වා ගැනීම සඳහා මීටරය සහ ප්රධාන කැළඹිලි ප්රභවයන් (පොම්ප, කපාට) අතර නල විෂ්කම්භයන් කිහිපයක් පවත්වා ගන්න.
- භාවිතප්රවාහ සමීකරණය(කෙළින් කරන යන්ත්ර හෝ සන්සුන් කරන කොටස්) ස්ථාවර ලැමිනාර් පරිසරයක ඝනත්වය මැනීම ඇගයීම සඳහා.
විශ්වසනීය සංවේදක ඒකාබද්ධ කිරීම සඳහා පොදු අභියෝග සහ හොඳම පිළිවෙත්
CMP පොහොර පද්ධති ඒකාබද්ධ කිරීමේ අභියෝග කිහිපයක් මතු කරයි:
- වායු ඇතුල්වීම සහ බුබුලු:ක්ෂුද්ර බුබුලු තිබේ නම් අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටර ඝනත්වය වැරදි ලෙස කියවිය හැක. වාතය ඇතුළු වන ස්ථාන අසල සංවේදක තැබීමෙන් වළකින්න හෝ පොම්ප විසර්ජන හෝ මිශ්ර ටැංකි අසල සාමාන්යයෙන් සිදුවන හදිසි ප්රවාහ සංක්රාන්ති වළක්වා ගන්න.
- අවසාදිතකරණය:තිරස් රේඛාවලදී, සංවේදකවලට, විශේෂයෙන් CeO₂ ඔප දැමීමේ පොහොර සමඟ, තැන්පත් වන ඝන ද්රව්ය හමුවිය හැක. නිවැරදි පොහොර ඝනත්ව පාලනය පවත්වා ගැනීම සඳහා සිරස් සවි කිරීම හෝ හැකි තැන්පත් වන කලාපවලට ඉහළින් ස්ථානගත කිරීම නිර්දේශ කෙරේ.
- සංවේදක අපවිත්ර වීම:CMP පොහොරවල උල්ෙල්ඛ සහ රසායනික කාරක අඩංගු වන අතර එමඟින් සංවේදකය අපිරිසිදු වීමට හෝ ආලේපනයට හේතු විය හැක. මෙය අවම කිරීම සඳහා ලෝන්මීටර ඉන්ලයින් උපකරණ නිර්මාණය කර ඇත, නමුත් විශ්වසනීයත්වය සඳහා නිතිපතා පරීක්ෂා කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම අත්යවශ්ය වේ.
- යාන්ත්රික කම්පන:ක්රියාකාරී යාන්ත්රික උපාංගවලට සමීපව ස්ථානගත කිරීම සංවේදකය තුළ ශබ්දය ඇති කළ හැකි අතර, මිනුම් නිරවද්යතාවය පිරිහීමට ලක් කරයි. අවම කම්පන නිරාවරණයක් සහිත ස්ථාපන ස්ථාන තෝරන්න.
හොඳම ඒකාබද්ධ කිරීමේ ප්රතිඵල සඳහා:
- ස්ථාපනය සඳහා ලැමිනාර් ප්රවාහ කොටස් යොදන්න.
- හැකි සෑම තැනකම සිරස් පෙළගැස්ම සහතික කරන්න.
- වරින් වර නඩත්තු කිරීම සහ ක්රමාංකනය කිරීම සඳහා පහසු ප්රවේශයක් ලබා දෙන්න.
- කම්පනය සහ ප්රවාහ බාධා වලින් සංවේදක හුදකලා කරන්න.
සීඑම්පී
*
පොහොර සාන්ද්රණ පාලන උපාය මාර්ග
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියේදී ඵලදායී පොහොර සාන්ද්රණ පාලනය, ස්ථාවර ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ අනුපාත පවත්වා ගැනීමට, වේෆර් මතුපිට දෝෂ අඩු කිරීමට සහ අර්ධ සන්නායක වේෆර් හරහා ඒකාකාරිත්වය සහතික කිරීමට අත්යවශ්ය වේ. මෙම නිරවද්යතාවය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා ක්රම සහ තාක්ෂණයන් කිහිපයක් භාවිතා කරනු ලැබේ, එය විධිමත් මෙහෙයුම් සහ ඉහළ උපාංග අස්වැන්න යන දෙකටම සහාය වේ.
ප්රශස්ත පොහොර සාන්ද්රණය පවත්වා ගැනීම සඳහා ශිල්පීය ක්රම සහ මෙවලම්
ඔප දැමීමේ පොහොරවල ඇති උල්ෙල්ඛ අංශු සහ රසායනික විශේෂ දෙකම තත්ය කාලීනව නිරීක්ෂණය කිරීමත් සමඟ බොරළු සාන්ද්රණ පාලනය ආරම්භ වේ. සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) ඔප දැමීමේ පොහොර සහ අනෙකුත් CMP සූත්රගත කිරීම් සඳහා, පේළිගත පොහොර ඝනත්වය මැනීම වැනි සෘජු ක්රම මූලික වේ. ලෝන්මීටරය විසින් නිෂ්පාදනය කරන ලද අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටර, සම්පූර්ණ ඝන අන්තර්ගතය සහ ඒකාකාරිත්වය සමඟ දැඩි ලෙස සහසම්බන්ධ වන පොහොර ඝනත්වයේ අඛණ්ඩ මිනුම් ලබා දෙයි.
අනුපූරක ශිල්පීය ක්රම අතරට කැලඹිලි විශ්ලේෂණය ඇතුළත් වේ - එහිදී දෘශ්ය සංවේදක මගින් අත්හිටවූ උල්ෙල්ඛ අංශු වලින් විසිරීම හඳුනා ගනී - සහ පොහොර ප්රවාහයේ ප්රධාන ප්රතික්රියාකාරක ප්රමාණනය කිරීම සඳහා UV-Vis හෝ Near-Infrared (NIR) වර්ණාවලීක්ෂය වැනි වර්ණාවලීක්ෂ ක්රම. මෙම මිනුම් CMP ක්රියාවලි පාලන පද්ධතිවල කොඳු නාරටිය වන අතර, ඉලක්ක සාන්ද්රණ කවුළු පවත්වා ගැනීමට සහ කාණ්ඩයෙන් කාණ්ඩයට විචල්යතාවය අවම කිරීමට සජීවී ගැලපීම් සක්රීය කරයි.
ලෝහ අයන වලින් පොහොසත් සූත්රගත කිරීම් වලදී විද්යුත් රසායනික සංවේදක භාවිතා කරනු ලබන අතර, එමඟින් නිශ්චිත අයනික සාන්ද්රණයන් පිළිබඳ වේගවත් ප්රතිචාර තොරතුරු සපයන අතර දියුණු අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත යෙදීම්වල තවදුරටත් සියුම්-සුසර කිරීමට සහාය වේ.
සංවෘත-ලූප් පාලනය සඳහා ප්රතිපෝෂණ ලූප සහ ස්වයංක්රීයකරණය
නවීන රසායනික-යාන්ත්රික තලකරණ උපකරණ ස්ථාපනයන්, ස්වයංක්රීය බෙදා හැරීමේ පද්ධති සමඟ මාර්ගගත මිනුම් විද්යාව සම්බන්ධ කරන සංවෘත-ලූප් පාලන පද්ධති වැඩි වැඩියෙන් භාවිතා කරයි. පොහොර ඝනත්ව මීටර සහ අදාළ සංවේදක වලින් දත්ත සෘජුවම වැඩසටහන්ගත කළ හැකි තාර්කික පාලක (PLC) හෝ බෙදා හරින ලද පාලන පද්ධති (DCS) වෙත ලබා දෙනු ලැබේ. මෙම පද්ධති ස්වයංක්රීයව වේශ නිරූපණ ජලය එකතු කිරීම, සාන්ද්රිත පොහොර මාත්රාව සහ ස්ථායීකාරක එන්නත් කිරීම සඳහා කපාට ක්රියාත්මක කරයි, ක්රියාවලිය සෑම විටම අවශ්ය මෙහෙයුම් කවරය තුළ පවතින බව සහතික කරයි.
මෙම ප්රතිපෝෂණ ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය මඟින් තත්ය කාලීන සංවේදක මගින් අනාවරණය කරගත් ඕනෑම අපගමනය අඛණ්ඩව නිවැරදි කිරීමට, අධික ලෙස තනුක කිරීම වැළැක්වීමට, ප්රශස්ත උල්ෙල්ඛ සාන්ද්රණය ආරක්ෂා කිරීමට සහ අතිරික්ත රසායනික භාවිතය අඩු කිරීමට ඉඩ සලසයි. නිදසුනක් ලෙස, උසස් වේෆර් නෝඩ් සඳහා ඉහළ ප්රතිදාන CMP මෙවලමක, පේළිගත අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටරයක් උල්ෙල්ඛ සාන්ද්රණයේ පහත වැටීමක් හඳුනාගෙන ඝනත්වය එහි නියම කළ ස්ථානයට නැවත පැමිණෙන තෙක් පොහොර හඳුන්වාදීම වැඩි කිරීමට මාත්රා පද්ධතියට වහාම සංඥා කරයි. අනෙක් අතට, මනින ලද ඝනත්වය පිරිවිතර ඉක්මවා ගියහොත්, පාලන තර්කනය නිවැරදි සාන්ද්රණයන් යථා තත්ත්වයට පත් කිරීම සඳහා වේශ නිරූපණ ජලය එකතු කිරීම ආරම්භ කරයි.
වේශ නිරූපණ ජලය සහ පොහොර එකතු කිරීමේ අනුපාත සකස් කිරීමේදී ඝනත්වය මැනීමේ කාර්යභාරය
ක්රියාකාරී සාන්ද්රණ පාලනයේ යතුර වන්නේ බොරළු ඝනත්වය මැනීමයි. ලෝන්මීටරයේ පේළිගත ඝනත්ව මීටර වැනි උපකරණ මගින් සපයන ඝනත්ව අගය තීරණාත්මක මෙහෙයුම් පරාමිතීන් දෙකක් සෘජුවම දැනුම් දෙයි: මේක්-අප් ජල පරිමාව සහ සාන්ද්රිත බොරළු පෝෂක අනුපාතය.
CMP මෙවලම් ආදානයට පෙර හෝ භාවිත ලක්ෂ්ය මිශ්රණයෙන් පසු වැනි උපායමාර්ගික ස්ථානවල ඝනත්ව මීටර ස්ථානගත කිරීමෙන් තත්ය කාලීන දත්ත මඟින් ස්වයංක්රීය පද්ධතිවලට වේශ නිරූපණ ජල එකතු කිරීමේ අනුපාතය සකස් කිරීමට හැකියාව ලබා දෙන අතර එමඟින් පොහොර අපේක්ෂිත පිරිවිතරයන්ට තනුක කරයි. ඒ සමඟම, උල්ෙල්ඛ සහ රසායනික සාන්ද්රණයන් නිවැරදිව පවත්වා ගැනීම සඳහා සාන්ද්රිත පොහොරවල පෝෂක අනුපාතය මොඩියුලේට් කිරීමට පද්ධතියට හැකි වන අතර, මෙවලම් භාවිතය, වයසට යාමේ බලපෑම් සහ ක්රියාවලි-ප්රේරිත පාඩු සඳහා ගිණුම්ගත කරයි.
උදාහරණයක් ලෙස, 3D NAND ව්යුහයන් සඳහා දීර්ඝ කරන ලද තලකරණ ධාවනයන් අතරතුර, අඛණ්ඩ ඝනත්ව නිරීක්ෂණය මඟින් පොහොර එකතු කිරීම හෝ නිරවුල් කිරීමේ ප්රවණතා අනාවරණය කරයි, ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සඳහා අවශ්ය වන පරිදි, වේෆරයේ ස්වයංක්රීය වැඩිවීමක් හෝ කැළඹීමක් ඇති කරයි. මෙම තදින් නියාමනය කරන ලද පාලන ලූපය, විශේෂයෙන් උපාංග මානයන් සහ ක්රියාවලි කවුළු පටු වන විට, දැඩි වේෆරයෙන් වේෆරයට සහ වේෆරය තුළ ඒකාකාරී ඉලක්ක පවත්වා ගැනීම සඳහා මූලික වේ.
සාරාංශයක් ලෙස, CMP හි පොහොර සාන්ද්රණ පාලන උපාය මාර්ග උසස් මාර්ගගත මිනුම් සහ ස්වයංක්රීය සංවෘත-ලූප් ප්රතිචාරවල මිශ්රණයක් මත රඳා පවතී. විශේෂයෙන් Lonnmeter වැනි අතිධ්වනික ඒකක, පොහොර ඝනත්ව මීටර, තීරණාත්මක අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පියවරයන්හි දැඩි ක්රියාවලි කළමනාකරණය සඳහා අවශ්ය අධි-විභේදන, කාලෝචිත දත්ත ලබා දීමේදී කේන්ද්රීය කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. මෙම මෙවලම් සහ ක්රමවේද විචල්යතාවය අවම කරයි, රසායනික භාවිතය ප්රශස්ත කිරීම මගින් තිරසාරභාවයට සහාය වේ, සහ නවීන නෝඩ් තාක්ෂණයන් සඳහා අවශ්ය නිරවද්යතාවය සක්රීය කරයි.
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සඳහා බොරළු ඝනත්ව මීටර තෝරා ගැනීමේ මාර්ගෝපදේශය
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ රසායනික යාන්ත්රික තලකරණය (CMP) සඳහා පොහොර ඝනත්ව මීටරයක් තෝරා ගැනීම සඳහා තාක්ෂණික අවශ්යතා පරාසයක් කෙරෙහි ප්රවේශමෙන් අවධානය යොමු කිරීම අවශ්ය වේ. ප්රධාන කාර්ය සාධනය සහ යෙදුම් නිර්ණායක අතරට සංවේදීතාව, නිරවද්යතාවය, ආක්රමණශීලී පොහොර රසායන විද්යාවන් සමඟ අනුකූලතාවය සහ CMP පොහොර බෙදා හැරීමේ පද්ධති සහ උපකරණ ස්ථාපනයන් තුළ ඒකාබද්ධ වීමේ පහසුව ඇතුළත් වේ.
සංවේදීතාව සහ නිරවද්යතා අවශ්යතා
CMP ක්රියාවලි පාලනය රඳා පවතින්නේ පොහොර සංයුතියේ කුඩා වෙනස්කම් මත ය. ඝනත්ව මීටරය අවම වශයෙන් 0.001 g/cm³ හෝ ඊට වඩා හොඳ වෙනස්කම් හඳුනාගත යුතුය. CeO₂ ඔප දැමීමේ පොහොර හෝ සිලිකා මත පදනම් වූ පොහොරවල දක්නට ලැබෙන උල්ෙල්ඛ අන්තර්ගතයේ ඉතා සුළු වෙනස්කම් පවා හඳුනා ගැනීම සඳහා මෙම සංවේදීතා මට්ටම අත්යවශ්ය වේ - මන්ද මේවා ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ අනුපාත, වේෆර් තලය සහ දෝෂ සහිත බව කෙරෙහි බලපායි. අර්ධ සන්නායක පොහොර ඝනත්ව මීටර සඳහා සාමාන්ය පිළිගත හැකි නිරවද්යතා පරාසයක් ±0.001–0.002 g/cm³ වේ.
ආක්රමණශීලී පොහොර සමඟ අනුකූලතාව
CMP හි භාවිතා කරන පොහොරවල රසායනිකව ක්රියාකාරී මාධ්යවල අත්හිටුවන ලද සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂), ඇලුමිනා හෝ සිලිකා වැනි උල්ෙල්ඛ නැනෝ අංශු අඩංගු විය හැක. ඝනත්ව මීටරය ක්රමාංකනයෙන් පිටතට ගලා යාමෙන් හෝ අපිරිසිදු වීමෙන් පීඩා විඳීමකින් තොරව භෞතික උල්ෙල්ඛ සහ විඛාදන පරිසරයන් දෙකටම දිගු කාලයක් නිරාවරණය වීමට ඔරොත්තු දිය යුතුය. තෙත් කරන ලද කොටස්වල භාවිතා කරන ද්රව්ය බහුලව භාවිතා වන සියලුම පොහොර රසායන විද්යාවන්ට නිෂ්ක්රීය විය යුතුය.
ඒකාබද්ධ කිරීමේ පහසුව
පේළිගත පොහොර ඝනත්ව මීටර පවතින CMP උපකරණ ස්ථාපනයන්ට පහසුවෙන් ගැළපිය යුතුය. සලකා බැලීම්වලට ඇතුළත් වන්නේ:
- පොහොර බෙදා හැරීමට බලපෑම් නොකිරීමට අවම මළ පරිමාවක් සහ අඩු පීඩන පහත වැටීමක්.
- ඉක්මන් ස්ථාපනය සහ නඩත්තුව සඳහා සම්මත කාර්මික ක්රියාවලි සම්බන්ධතා සඳහා සහාය.
- පොහොර සාන්ද්රණ පාලන පද්ධති සමඟ තත්ය කාලීන ඒකාබද්ධ කිරීම සඳහා ප්රතිදාන අනුකූලතාව (උදා: ඇනලොග්/ඩිජිටල් සංඥා), නමුත් එම පද්ධතිම සැපයීමෙන් තොරව.
ප්රමුඛ සංවේදක තාක්ෂණයන්හි සංසන්දනාත්මක විශේෂාංග
ඔප දැමීමේ පොහොරවල ඝනත්ව පාලනය ප්රධාන වශයෙන් සංවේදක පන්ති දෙකක් හරහා කළමනාකරණය කෙරේ: densitometry-පාදක සහ refractometry-පාදක මීටර. ඒ සෑම එකක්ම අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත යෙදුම්වලට අදාළ ශක්තීන් ගෙන එයි.
ඩෙන්සිටෝමිතිය මත පදනම් වූ මීටර (උදා: අතිධ්වනික බොර ඝනත්ව මීටරය)
- ඝනත්වයට සෘජුවම සම්බන්ධ වන පරිදි, පොහොර හරහා ශබ්දයේ ප්රචාරණ ප්රවේගය භාවිතා කරයි.
- විවිධ පොහොර සාන්ද්රණයන් සහ උල්ෙල්ඛ වර්ග හරහා ඝනත්වය මැනීමේදී ඉහළ රේඛීයතාවයක් සපයයි.
- සංවේදී මූලද්රව්ය රසායනික ද්රව්යවලින් භෞතිකව හුදකලා කළ හැකි බැවින්, CeO₂ සහ සිලිකා සූත්ර ඇතුළු ආක්රමණශීලී ඔප දැමීමේ පොහොර සඳහා හොඳින් ගැලපේ.
- සාමාන්ය සංවේදීතාව සහ නිරවද්යතාවය 0.001 g/cm³ ට අඩු අවශ්යතාවය සපුරාලයි.
- ස්ථාපනය සාමාන්යයෙන් පේළිගතව පවතින අතර, රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ උපකරණ ක්රියාකාරිත්වය අතරතුර අඛණ්ඩ තත්ය කාලීන මිනුම් සඳහා ඉඩ සලසයි.
වර්තනමිතික පාදක මීටර
- පොහොර ඝනත්වය අනුමාන කිරීම සඳහා වර්තන දර්ශකය මැනීම.
- සාන්ද්රණ මාරුවීම් වලට ඉහළ සංවේදීතාවයක් හේතුවෙන් පොහොර සංයුතියේ සියුම් වෙනස්කම් හඳුනා ගැනීම සඳහා ඵලදායී වේ; <0.1% ස්කන්ධ භාග වෙනස්කම් විසඳීමට හැකියාව ඇත.
- කෙසේ වෙතත්, වර්තන දර්ශකය උෂ්ණත්වය වැනි පාරිසරික විචල්යයන්ට සංවේදී වන අතර, ප්රවේශමෙන් ක්රමාංකනය කිරීම සහ උෂ්ණත්ව වන්දි ගෙවීම අනිවාර්ය කරයි.
- විශේෂයෙන් ඉතා ආක්රමණශීලී හෝ පාරාන්ධ පොහොරවල රසායනික අනුකූලතාව සීමිත විය හැක.
අනුපූරකයක් ලෙස අංශු ප්රමාණය මිනුම් විද්යාව
- අංශු ප්රමාණයේ ව්යාප්තියේ හෝ සමුච්චනයේ වෙනස්වීම් මගින් ඝනත්ව කියවීම් විකෘති විය හැක.
- ආවර්තිතා අංශු ප්රමාණය විශ්ලේෂණය (උදා: ගතික ආලෝක විසිරීම හෝ ඉලෙක්ට්රෝන අන්වීක්ෂය) සමඟ ඒකාබද්ධ කිරීම කර්මාන්තයේ හොඳම භාවිතයන් මගින් නිර්දේශ කරනු ලැබේ, එමඟින් දෘශ්ය ඝනත්ව මාරුවීම් අංශු සමුච්චය වීම නිසා පමණක් නොවන බව සහතික කෙරේ.
ලෝන්මීටර් පේළිගත ඝනත්ව මීටර සඳහා සලකා බැලිය යුතු කරුණු
- සහායක මෘදුකාංග හෝ පද්ධති ඒකාබද්ධ කිරීම් සැපයීමකින් තොරව, පේළිගත ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවීතා මීටර නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා Lonnmeter විශේෂඥතාවයක් දක්වයි.
- උල්ෙල්ඛ, රසායනිකව ක්රියාකාරී CMP පොහොර මිශ්රණයට ඔරොත්තු දීම සඳහා ලෝන්මීටර් මීටර නියම කළ හැකි අතර අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි උපකරණවල සෘජු පේළිගත ස්ථාපනය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, තත්ය කාලීන පොහොර ඝනත්වය මැනීමේ අවශ්යතාවලට ගැලපේ.
විකල්ප සමාලෝචනය කිරීමේදී, මූලික යෙදුම් නිර්ණායක කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන්න: ඝනත්ව මීටරය අවශ්ය සංවේදීතාව සහ නිරවද්යතාවය ලබා ගන්නා බවටත්, ඔබේ පොහොර රසායන විද්යාවට අනුකූල ද්රව්ය වලින් ගොඩනගා ඇති බවටත්, අඛණ්ඩ ක්රියාකාරිත්වයට ඔරොත්තු දෙන බවටත්, CMP ක්රියාවලියේදී පොහොර බෙදා හැරීමේ මාර්ග ඔප දැමීමේ ඒවාට බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ වන බවටත් සහතික වන්න. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සඳහා, නිරවද්ය පොහොර ඝනත්ව මැනීම වේෆර් ඒකාකාරිත්වය, අස්වැන්න සහ නිෂ්පාදන ප්රතිදානය යටින් පවතී.
CMP ප්රතිඵල මත ඵලදායී බොර ඝනත්ව පාලනයේ බලපෑම
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියේදී නිශ්චිත පොහොර ඝනත්ව පාලනය ඉතා වැදගත් වේ. ඝනත්වය ස්ථාවරව තබා ගන්නා විට, ඔප දැමීමේදී ඇති උල්ෙල්ඛ අංශු ප්රමාණය ස්ථායීව පවතී. මෙය වේෆරයේ ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ අනුපාතය (MRR) සහ මතුපිට ගුණාත්මක භාවයට සෘජුවම බලපායි.
වේෆර් මතුපිට දෝෂ අඩු කිරීම සහ වැඩිදියුණු කළ WIWNU
ප්රශස්ත පොහොර ඝනත්වය පවත්වා ගැනීම ක්ෂුද්ර සීරීම්, පිඟන් කෝප්ප, ඛාදනය සහ අංශු දූෂණය වැනි වේෆර් මතුපිට දෝෂ අවම කරන බව ඔප්පු වී ඇත. 2024 සිට කරන ලද පර්යේෂණවලින් පෙනී යන්නේ කොලොයිඩල් සිලිකා පාදක සූත්රගත කිරීම් සඳහා සාමාන්යයෙන් 1 wt% සිට 5 wt% දක්වා පාලිත ඝනත්ව පරාසයක් ඉවත් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව සහ දෝෂ අවම කිරීම අතර හොඳම සමතුලිතතාවය ලබා දෙන බවයි. අධික ලෙස ඉහළ ඝනත්වය උල්ෙල්ඛ ගැටුම් වැඩි කරන අතර, පරමාණුක බල අන්වීක්ෂය සහ ඉලිප්සොමිතික විශ්ලේෂණයන් මගින් තහවුරු කර ඇති පරිදි, වර්ග සෙන්ටිමීටරයකට දෝෂ ගණන දෙගුණයක සිට තුන් ගුණයකින් වැඩි වේ. තද ඝනත්ව පාලනය වේෆර් තුළ ඒකාකාර නොවන බව (WIWNU) ද වැඩි දියුණු කරයි, ද්රව්ය වේෆර් හරහා ඒකාකාරව ඉවත් කිරීම සහතික කරයි, එය උසස් නෝඩ් අර්ධ සන්නායක උපාංග සඳහා අත්යවශ්ය වේ. අඛණ්ඩ ඝනත්වය පටල ඝණකම ඉලක්ක හෝ සමතලා බව අනතුරේ හෙළන ක්රියාවලි විනෝද චාරිකා වැළැක්වීමට උපකාරී වේ.
පොහොරවල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම සහ පරිභෝජන ද්රව්යවල පිරිවැය අඩු කිරීම
අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටර සමඟ තත්ය කාලීන අධීක්ෂණය ඇතුළුව - පොහොර සාන්ද්රණ පාලන ශිල්පීය ක්රම මගින් CMP ඔප දැමීමේ පොහොරවල ප්රයෝජනවත් ආයු කාලය දීර්ඝ කරයි. අධික මාත්රාව හෝ අධික තනුක කිරීම වැළැක්වීමෙන්, රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ උපකරණ පරිභෝජන ද්රව්යවල ප්රශස්ත භාවිතය සාක්ෂාත් කර ගනී. මෙම ප්රවේශය පොහොර ප්රතිස්ථාපනයේ වාර ගණන අඩු කරන අතර ප්රතිචක්රීකරණ උපාය මාර්ග සක්රීය කරයි, මුළු පිරිවැය අඩු කරයි. උදාහරණයක් ලෙස, CeO₂ ඔප දැමීමේ පොහොර යෙදුම් වලදී, ප්රවේශමෙන් ඝනත්වය නඩත්තු කිරීම පොහොර කාණ්ඩ නැවත සකස් කිරීමට ඉඩ සලසන අතර කාර්ය සාධනය කැප නොකර අපද්රව්ය පරිමාව අවම කරයි. ඵලදායී ඝනත්ව පාලනය මඟින් ක්රියාවලි ඉංජිනේරුවන්ට පිළිගත හැකි කාර්ය සාධන සීමාවන් තුළ පවතින ඔප දැමීමේ පොහොර නැවත ලබා ගැනීමට සහ නැවත භාවිතා කිරීමට හැකි වන අතර, පිරිවැය ඉතිරිකිරීම් තවදුරටත් සිදු කරයි.
උසස් නෝඩ් නිෂ්පාදනය සඳහා වැඩිදියුණු කළ පුනරාවර්තන හැකියාව සහ ක්රියාවලි පාලනය
නවීන අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත යෙදුම් රසායනික-යාන්ත්රික තලකරණ පියවරේදී ඉහළ පුනරාවර්තන හැකියාවක් ඉල්ලා සිටී. දියුණු නෝඩ් නිෂ්පාදනයේදී, පොහොර ඝනත්වයේ සුළු උච්චාවචනයන් පවා වේෆර් ප්රතිඵලවල පිළිගත නොහැකි වෙනස්කම් ඇති කළ හැකිය. ලෝන්මීටරය විසින් නිෂ්පාදනය කරන ලද ඒවා වැනි පේළිගත අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටර ස්වයංක්රීයකරණය සහ ඒකාබද්ධ කිරීම ක්රියාවලි පාලනය සඳහා අඛණ්ඩ, තත්ය කාලීන ප්රතිපෝෂණ සඳහා පහසුකම් සපයයි. මෙම උපකරණ CMP හි සාමාන්ය කටුක රසායනික පරිසරයන්හි නිවැරදි මිනුම් ලබා දෙන අතර, අපගමනයන්ට වහාම ප්රතිචාර දක්වන සංවෘත-ලූප් පද්ධති සඳහා සහාය වේ. විශ්වාසදායක ඝනත්ව මැනීම යනු වේෆරයේ සිට වේෆර් දක්වා වැඩි ඒකාකාරිත්වයක් සහ 7nm ට අඩු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අත්යවශ්ය වන MRR මත දැඩි පාලනයකි. නිසි උපකරණ ස්ථාපනය - පොහොර බෙදා හැරීමේ රේඛාවේ නිවැරදි ස්ථානගත කිරීම - සහ නිතිපතා නඩත්තු කිරීම මීටර විශ්වාසදායක ලෙස ක්රියාත්මක වන බව සහතික කිරීමට සහ ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සඳහා තීරණාත්මක දත්ත සැපයීමට අත්යවශ්ය වේ.
නිෂ්පාදන අස්වැන්න උපරිම කිරීම, දෝෂ අවම කිරීම සහ CMP ක්රියාවලීන්හි පිරිවැය-ඵලදායී නිෂ්පාදනය සහතික කිරීම සඳහා ප්රමාණවත් පොහොර ඝනත්වයක් පවත්වා ගැනීම මූලික වේ.
නිතර අසන ප්රශ්න (නිතර අසන ප්රශ්න)
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියේදී පොහොර ඝනත්ව මාපකයේ ක්රියාකාරිත්වය කුමක්ද?
ඔප දැමීමේ පොහොරවල ඝනත්වය සහ සාන්ද්රණය අඛණ්ඩව මැනීම මගින් පොහොර ඝනත්ව මීටරයක් රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලියේදී තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. එහි ප්රධාන කාර්යය වන්නේ පොහොරවල උල්ෙල්ඛ සහ රසායනික සමතුලිතතාවය පිළිබඳ තත්ය කාලීන දත්ත සැපයීම, ප්රශස්ත වේෆර් තලකරණ සඳහා දෙකම නිශ්චිත සීමාවන් තුළ ඇති බව සහතික කිරීමයි. මෙම තත්ය කාලීන පාලනය අධික ලෙස හෝ අඩුවෙන් තනුක කළ පොහොර මිශ්රණ සමඟ බහුලව දක්නට ලැබෙන සීරීම් හෝ අසමාන ද්රව්ය ඉවත් කිරීම වැනි දෝෂ වළක්වයි. ස්ථාවර පොහොර ඝනත්වය නිෂ්පාදන ධාවනය පුරා ප්රතිනිෂ්පාදන හැකියාව පවත්වා ගැනීමට උපකාරී වේ, වේෆර්-වේෆර් විචලනය අවම කරයි, සහ අපගමනයන් අනාවරණය වුවහොත් නිවැරදි කිරීමේ ක්රියාමාර්ග අවුලුවාලීමෙන් ක්රියාවලි ප්රශස්තිකරණයට සහාය වේ. උසස් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සහ ඉහළ විශ්වසනීයත්ව යෙදුම් වලදී, අඛණ්ඩ අධීක්ෂණය ද අපද්රව්ය අඩු කරන අතර දැඩි තත්ත්ව සහතික කිරීමේ පියවරයන්ට සහාය වේ.
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ඇතැම් තලකරණ පියවර සඳහා CeO₂ ඔප දැමීමේ පොහොර වඩාත් කැමති වන්නේ ඇයි?
සීරියම් ඔක්සයිඩ් (CeO₂) ඔප දැමීමේ පොහොර නිශ්චිත අර්ධ සන්නායක තලකරණ පියවර සඳහා තෝරා ගනු ලබන්නේ එහි සුවිශේෂී තේරීම් හැකියාව සහ රසායනික සම්බන්ධතාවය නිසාය, විශේෂයෙන් වීදුරු සහ ඔක්සයිඩ් පටල සඳහා. එහි ඒකාකාර උල්ෙල්ඛ අංශු ඉතා අඩු දෝෂ අනුපාත සහ අවම මතුපිට සීරීම් සහිත උසස් තත්ත්වයේ තලකරණ ප්රතිඵලයක් ලෙස සිදු වේ. CeO₂ හි රසායනික ගුණාංග ස්ථායී සහ පුනරාවර්තනය කළ හැකි ඉවත් කිරීමේ අනුපාත සක්රීය කරයි, ඒවා ෆෝටෝනික්ස් සහ ඉහළ ඝනත්ව ඒකාබද්ධ පරිපථ වැනි උසස් යෙදුම් සඳහා අත්යවශ්ය වේ. අතිරේකව, CeO₂ පොහොර සමුච්චය වීමට ප්රතිරෝධී වන අතර, දිගු CMP මෙහෙයුම් වලදී පවා ස්ථාවර අත්හිටුවීමක් පවත්වා ගනී.
අනෙකුත් මිනුම් වර්ග හා සසඳන විට අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මීටරයක් ක්රියා කරන්නේ කෙසේද?
අතිධ්වනික පොහොර ඝනත්ව මාපකයක් ක්රියාත්මක වන්නේ පොහොර හරහා ශබ්ද තරංග සම්ප්රේෂණය කිරීමෙන් සහ මෙම තරංගවල වේගය සහ දුර්වල වීම මැනීමෙනි. පොහොර ඝනත්වය තරංග කොතරම් වේගයෙන් ගමන් කරනවාද සහ ඒවායේ තීව්රතාවය අඩු වන ප්රමාණයට සෘජුවම බලපායි. මෙම මිනුම් ප්රවේශය ආක්රමණශීලී නොවන අතර ක්රියාවලි ප්රවාහය හුදකලා කිරීමට හෝ භෞතිකව බාධා කිරීමට අවශ්ය නොවී තත්ය කාලීන පොහොර සාන්ද්රණ දත්ත සපයයි. යාන්ත්රික (පාවෙන-පාදක) හෝ ගුරුත්වාකර්ෂණ ඝනත්ව මිනුම් පද්ධති හා සසඳන විට අතිධ්වනික ක්රම මඟින් ප්රවාහ ප්රවේගය හෝ අංශු ප්රමාණය වැනි විචල්යයන්ට අඩු සංවේදීතාවයක් පෙන්වයි. රසායනික යාන්ත්රික තලකරණයේදී, මෙය ඉහළ ප්රවාහ, අංශු-පොහොසත් පොහොරවල පවා විශ්වාසදායක, ශක්තිමත් මිනුම් බවට පරිවර්තනය වේ.
CMP පද්ධතියක සාමාන්යයෙන් පොහොර ඝනත්ව මීටර ස්ථාපනය කළ යුත්තේ කොතැනද?
රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ උපකරණවල පොහොර ඝනත්ව මීටරයක් සඳහා ප්රශස්ත ස්ථාපන ස්ථානගත කිරීම්වලට ඇතුළත් වන්නේ:
- ප්රතිචක්රීකරණ ටැංකිය: බෙදා හැරීමට පෙර සමස්ත පොහොර ඝනත්වය අඛණ්ඩව නිරීක්ෂණය කිරීම.
- ඔප දැමීමේ පෑඩ් වෙත භාවිත ස්ථානයට භාරදීමට පෙර: සපයන ලද පොහොර ඉලක්කගත ඝනත්ව පිරිවිතරයන් සපුරාලන බවට සහතික වීම.
- පොහොර මිශ්ර කිරීමේ ස්ථාන වලින් පසු: ක්රියාවලි ලූපයට ඇතුළු වීමට පෙර අලුතින් සකස් කරන ලද කාණ්ඩ අවශ්ය සූත්රගත කිරීම්වලට අනුකූල වන බව සහතික කිරීම.
මෙම උපායමාර්ගික ස්ථාන මඟින් පොහොර සාන්ද්රණයේ ඕනෑම අපගමනයක් ඉක්මනින් හඳුනා ගැනීමට සහ නිවැරදි කිරීමට ඉඩ සලසයි, එමඟින් හානියට පත් වේෆර් ගුණාත්මකභාවය සහ ක්රියාවලි බාධා කිරීම් වළක්වයි. ස්ථානගත කිරීම නියම කරනු ලබන්නේ පොහොර ප්රවාහ ගතිකත්වය, සාමාන්ය මිශ්ර කිරීමේ හැසිරීම සහ තලකරණ පෑඩ් අසල ක්ෂණික ප්රතිපෝෂණ අවශ්යතාවය මගිනි.
නිරවද්ය පොහොර සාන්ද්රණ පාලනය CMP ක්රියාවලි කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරන්නේ කෙසේද?
නිරවද්ය පොහොර සාන්ද්රණ පාලනය ඒකාකාර ඉවත් කිරීමේ අනුපාත සහතික කිරීම, පත්ර ප්රතිරෝධක විචලනය අවම කිරීම සහ මතුපිට දෝෂ සංඛ්යාතය අඩු කිරීම මගින් රසායනික යාන්ත්රික තලකරණ ක්රියාවලිය වැඩි දියුණු කරයි. ස්ථායී පොහොර ඝනත්වය උල්ෙල්ඛ අධික ලෙස භාවිතා කිරීම හෝ අඩුවෙන් භාවිතා කිරීම වැළැක්වීම මගින් ඔප දැමීමේ පෑඩ් සහ වේෆර් ආයු කාලය යන දෙකම දීර්ඝ කරයි. පොහොර පරිභෝජනය ප්රශස්ත කිරීම, නැවත වැඩ කිරීම අඩු කිරීම සහ ඉහළ අර්ධ සන්නායක උපාංග අස්වැන්නක් සඳහා සහාය වීම මගින් ක්රියාවලි පිරිවැය ද අඩු කරයි. විශේෂයෙන් උසස් නිෂ්පාදන සහ ක්වොන්ටම් උපාංග නිෂ්පාදනයේදී, දැඩි පොහොර පාලනය ප්රතිනිෂ්පාදනය කළ හැකි පැතලි බව, ස්ථාවර විද්යුත් ක්රියාකාරිත්වය සහ උපාංග ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය හරහා කාන්දු වීම අඩු කිරීමට සහාය වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-09-2025
