සිලිකන් වේෆර් දියමන්ති වයර් කැපීමේදී ප්රවාහ මැනීම අත්යවශ්ය වේ, මන්ද එය වයර්-වේෆර් අතුරුමුහුණතට කැපුම් තරල නිවැරදිව බෙදා හැරීම සහතික කරයි - ප්රශස්ත සිසිලනය, ලිහිසි කිරීම සහ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම පවත්වා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.Real-කාල ප්රවාහ දත්ත ප්රමාණවත් නොවන හෝ අධික තරල සැපයුමක් වළක්වයි, එසේ නොමැතිනම් එය අධික උනුසුම් වීම, වයර් කැඩීම, මතුපිට දෝෂ හෝ නාස්තියට හේතු වේ. නිවැරදි මිනුම් ක්රියාවලි විචල්යතාවය අඩු කරයි, වේෆර් පැතලි බව සහ මතුපිට අඛණ්ඩතාව ආරක්ෂා කරයි, වයර් ආයු කාලය දීර්ඝ කරයි, සහ සම්පත් කාර්යක්ෂමතාව ප්රශස්ත කරයි.
සිලිකන් වේෆර් කැපීම සහ කැපුම් තරලවල කාර්යභාරය පිළිබඳ දළ විශ්ලේෂණය
අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා යෙදුම් සඳහා ඒකස්ඵටික සහ බහුස්ඵටික සිලිකන් ඉන්ගෝට් වේෆර් බවට පෙති කැපීම සඳහා ප්රමුඛතම තාක්ෂණය දියමන්ති වයර් කැපීමයි. මෙම ක්රියාවලියේදී, වානේ වයර් - සාමාන්යයෙන් විෂ්කම්භය 40-70 μm - දියමන්ති උල්ෙල්ඛ ධාන්ය වලින් ආලේප කර ඇත. වයරය අධික වේගයෙන් චලනය වන අතර, කාවැද්දූ දියමන්ති උල්ෙල්ඛ මගින් සිලිකන් ඇඹරීමට ලක් කරයි, මතුපිට දෝෂ අවම කර වේෆර් ඒකාකාරිත්වය ප්රවර්ධනය කරයි. මෑත වසරවලදී හඳුන්වා දුන් අඩු විෂ්කම්භය වයර්, කැපුම් ක්රියාවලියේදී සියුම් සිලිකන් අංශු ලෙස අපතේ යන ද්රව්යය සඳහන් කරන, කැපුම් අලාභය අඩු කරයි. කැපුම් අලාභය තීරණය වන්නේ වයර් විෂ්කම්භය සහ වයර් මතුපිටින් නෙරා ඇති උල්ෙල්ඛ ධාන්යවල උස අනුව ය.
දියමන්ති වයර් කැපීම
*
දියමන්ති වයර් කියත් කිරීමේදී කැපුම් තරල තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඒවායේ ප්රධාන කාර්යය වන්නේ ඉන්ගෝට් සහ වයර් දෙකම සිසිල් කිරීම, සිලිකන් වලට හානි කළ හැකි හෝ වයර් ආයු කාලය අඩු කළ හැකි අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීමයි. ඒවා කැපීමේදී ජනනය වන සියුම් සිලිකන් අංශු ද සෝදා හරින අතර එමඟින් පිරිසිදු අතුරු මුහුණතක් පවත්වා ගැනීමට, සුන්බුන් නැවත තැන්පත් වීම වැළැක්වීමට සහ වේෆරයේ මතුපිට ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් අඩු කිරීමට උපකාරී වේ. එපමණක් නොව, කැපුම් තරල ක්රියාවලිය ලිහිසි කරයි, වයර් සහ සිලිකන් අතර ඝර්ෂණය අඩු කරයි, එමඟින් වයර් ආයු කාලය දිගු කරයි සහ කැපුම් ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරයි. සිලිකන් වේෆර් කැපුම් තරලවල සංයුතිය සහ භෞතික ගුණාංග - දුස්ස්රාවිතතාවය සහ ඝනත්වය වැනි - සිසිලනය, චිප් ඉවත් කිරීම සහ වයර් ආරක්ෂාව ප්රශස්ත කිරීම සඳහා ප්රවේශමෙන් කළමනාකරණය කළ යුතුය.
වැඩි දියුණු කළ ලිහිසිකරණය සහ අංශු අත්හිටුවීම සඳහා ආකලන සහිත ජලය මත පදනම් වූ තරල ඇතුළුව වේෆර් කැපුම් තරල වර්ග කිහිපයක් තිබේ. තේරීම උපකරණ නිර්මාණය, වේෆර් පිරිවිතර සහ පාරිසරික සීමාවන් මත රඳා පවතී. උදාහරණ ලෙස අඩු අපද්රව්ය සෑදීම සමඟ සිසිලන කාර්යක්ෂමතාව සමතුලිත කිරීම සඳහා සකස් කරන ලද සර්ෆැක්ටන්ට් හෝ ග්ලයිකෝල් සහිත ඩයෝනීකරණය කළ ජලය ඇතුළත් වේ.
නවීන වේෆර් කම්හල්වල අතිශය තුනී දියමන්ති වයර් දෙසට සිදුවන පරිණාමය තරල බෙදා හැරීමේ සහ ක්රියාවලි පාලනයේ අභියෝග වැඩි කරයි. වයර් විෂ්කම්භය 40 μm ට වඩා අඩු වන විට, වයර් කැඩීමේ අවදානම වැඩි වන අතර ක්රියාවලි උච්චාවචනයන් සඳහා ඉවසීම තද වේ. ඵලදායි සිසිලනය සහ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම පවත්වා ගැනීම සඳහා කැපුම් තරල ප්රවාහ මීටර, ඉහළ නිරවද්යතා ප්රවාහ මිනුම් සංවේදක සහ කොරියොලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ සංවේදක වැනි තාක්ෂණයන් මගින් සහාය දක්වන නිරවද්ය ප්රවාහ අනුපාත මැනීම අත්යවශ්ය වේ. තරල අධීක්ෂණ සංවේදක කැපීම සහ කාර්මික කැපුම් තරල ප්රවාහ මිනුම් විසඳුම් ක්රියාකරුවන්ට තත්ය කාලීනව ප්රවාහ අනුපාත නිරීක්ෂණය කිරීමට සහ සකස් කිරීමට හැකියාව ලබා දෙයි, ප්රශස්ත ලිහිසිකරණය සහ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය ලබා ගනී. විවිධ ඝනත්වයන් සහ දුස්ස්රාවිතතාවයන් සහිත තරල කළමනාකරණය කිරීම සඳහා කොරියොලිස් ප්රවාහ මීටරවල නිරවද්යතාවය විශේෂයෙන් වැදගත් වේ, කැපුම් වේගය සහ වයර් ආතතීන් වැඩි වන විට පවා ස්ථාවර තත්වයන් සහතික කරයි.
නිරවද්යතාවය සඳහා මෙම වැඩිවන ඉල්ලුම, ප්රවාහ අනුපාතය, ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවිතතාවය වැනි ගතික තරල පරාමිතීන් නිරීක්ෂණය කිරීම කෙරෙහි අවධානය යොමු කර ඇත. Lonnmeter වැනි උපකරණ උසස් දියමන්ති වයර් කැපීමේ මෙහෙයුම් වලදී තත්ත්ව සහතික කිරීම සහ ක්රියාවලි ප්රශස්තිකරණය සඳහා අත්යවශ්ය වන විශ්වාසදායක, තත්ය කාලීන මිනුම් සපයයි. වයර් තාක්ෂණය අඛණ්ඩව ඉදිරියට යන විට, ශක්තිමත් ප්රවාහ මිනුම් තාක්ෂණයන් ඒකාබද්ධ කිරීම වේෆර් ප්රතිදානය පවත්වා ගැනීමට, කර්ෆ් පාඩුව අවම කිරීමට සහ සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදන අංශය සඳහා පහළ නිම කිරීමේ අවශ්යතා අඩු කිරීමට අත්යවශ්ය වේ.
නිරවද්ය දියමන්ති වයර් කැපීමේදී තරල බෙදා හැරීමේ අභියෝග
අතිශය තුනී සිලිකන් වේෆර්වල - විශේෂයෙන් 40 µm ට අඩු - දියමන්ති වයර් කැපීමේදී, පෙති කපන අතුරුමුහුණතට සිලිකන් වේෆර් කැපුම් තරලයේ නිවැරදි ප්රමාණය ලබා දීම බලවත් අභියෝගයක් බවට පත්වේ. වයර් ඝණකම අඩු වන විට, තරල ප්රවාහය සඳහා අවකාශය ද අඩු වේ. ස්පර්ශක ස්ථානයේ ලිහිසි කිරීම, උෂ්ණත්ව පාලනය සහ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම සහතික කිරීම සඳහා අඛණ්ඩ කැපුම් තරල සැපයුමක් පවත්වා ගැනීම ඉතා වැදගත් වේ.
නොගැලපෙන හෝ ප්රමාණවත් නොවන තරල ප්රවාහය වේෆර් අවශෝෂණයට සෘජුවම හේතු වන අතර, ප්රමාණවත් ලිහිසිකරණයක් නොමැතිකම හේතුවෙන් වේෆර් අනවශ්ය ලෙස උපකරණවලට ඇලී සිටී. මෙය කැපුම් ක්රියාවලියට බාධා කරනවා පමණක් නොව වේෆර් කැඩී යාමේ හෝ හානි වීමේ අවදානමද වැඩි කරයි. දියමන්ති වයර් කැපුම් තරලයෙන් වයර් සහ වේෆර් අඛණ්ඩ ලිහිසිකරණය සහ සිසිලනය නොලැබෙන විට මතුපිට රළුබව සැලකිය යුතු ලෙස ඉහළ යයි. හානියට පත් මතුපිට සහ ක්ෂුද්ර දෝෂ හේතුවෙන් වේෆර් ගුණාත්මකභාවය සහ අස්වැන්න අඩු වන අතර අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්ත සඳහා ප්රධාන බාධක ඇති කරයි.
ක්ෂුද්ර පරිමාණයේ කියත් පරතරයට තරල විනිවිද යාමට ප්රධාන සාධක තුනක් බලපායි: වයර් ජ්යාමිතිය, කැපුම් වේගය සහ කේශනාලිකා ක්රියාකාරිත්වය. වයර් ජ්යාමිතිය - විශේෂයෙන් වයර් විෂ්කම්භය සහ දියමන්ති ධාන්ය බෙදා හැරීම - සිලිකන් වේෆර් කැපුම් තරලය කෙතරම් පහසුවෙන් ගලා යනවාද සහ ස්පර්ශ කලාපයට අනුගත වේද යන්න සෘජුවම බලපායි. 40 µm ට අඩු වයර් භාවිතා කරන විට, කුඩා මතුපිට ප්රදේශය තරලයේ නිදහස් චලනය සීමා කරයි. වැඩි කැපුම් වේගයන් තරලය අතුරු මුහුණතට ළඟා වීමට සහ සිසිල් කිරීමට ඇති කාලය අඩු කරයි, එමඟින් දේශීයකරණය වූ අධික උනුසුම් වීම සහ දුර්වල ලිහිසිකරණය ඇති වේ. කේශනාලිකා ක්රියාකාරිත්වය, පටු අවකාශයන්ට ද්රවයේ ස්වාභාවික හැකියාව, තරල රඳවා තබා ගැනීම දැඩි ලෙස තීරණය කරයි. කෙසේ වෙතත්, තරල ප්රවාහනය වැඩි දියුණු කරන එම ද්රව පාලම් යාබද වයර් අතර කේශනාලිකා ඇලවීම හඳුන්වා දිය හැකි අතර, ඒකාකාර නොවන ආතතිය සහ වේෆර් ඝණකම විචලනය වැඩි කරයි.
නැනෝ අංශු-වැඩිදියුණු කළ විසඳුම් ඇතුළුව - දියුණු වේෆර් කැපුම් තරල වර්ග හඳුන්වාදීම මැනිය හැකි වැඩිදියුණු කිරීම් සපයයි. SiO₂ හෝ SiC නැනෝ අංශු සමඟ නිර්මාණය කරන ලද තරල ප්රශස්ත දුස්ස්රාවීතාවය සහ මතුපිට අන්තර්ක්රියා හේතුවෙන් පටු හිඩැස් වඩාත් ඵලදායී ලෙස විනිවිද යයි. මෙම තරල ලිහිසිකරණය වැඩි දියුණු කරන අතර තාපය වඩාත් කාර්යක්ෂමව රැගෙන යන අතර එමඟින් මතුපිට රළුබව අඩු වන අතර වේෆර් පැතලි බව වැඩි දියුණු වේ. නැනෝ අංශු-පිරවූ තරල භාවිතා කිරීම පෙති කැපීමේදී උෂ්ණත්ව ක්ෂේත්රය වෙනස් කරන බවත්, වේෆර් අඛණ්ඩතාවයට තර්ජනයක් වන ආතතීන් තවදුරටත් අඩු කරන බවත් පර්යේෂණවලින් පෙනී යයි. මෙය, කේශනාලිකා ප්රවාහනය විස්තාරණය කිරීම සඳහා අතිධ්වනික කම්පනය වැනි ශිල්පීය ක්රම සමඟ ඒකාබද්ධව, වඩාත් ඒකාකාර දියමන්ති වයර් කැපුම් තරල බෙදා හැරීමට ඉඩ සලසයි.
අඛණ්ඩ තරල බෙදා හැරීම සඳහා නිවැරදි, තත්ය කාලීන අධීක්ෂණය සහ ගැලපීම අවශ්ය වේ. විශේෂයෙන් තදින් පාලනය කරන ලද ක්රියාවලීන්හිදී, ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් කාර්මික කැපුම් තරල ප්රවාහ මැනීම අත්යවශ්ය වේ. ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මිනුම් සංවේදකයක් වැනි කැපුම් තරල ප්රවාහ මීටරයක් ක්රියාත්මක කිරීම මඟින් බෙදා හැරීමේ අනුපාතය නිවැරදිව නියාමනය කිරීමට හැකියාව ලැබේ. ලෝන්මීටරයේ ඉන්ලයින් ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවිතතා මීටර, නිරවද්ය ප්රවාහ අනුපාත මිනුම් මෙවලම් සමඟ යුගල කළ විට, සිහින්ම වේෆර් පවා සුමටව කපා හැරීමට දායක වන අතර එමඟින් අවම දෝෂ අවදානමක් ඇත.
වේෆර් කැපීමේ මෙහෙයුම් වලදී තරල ප්රවාහ මැනීම
සිලිකන් වේෆර්වල දියමන්ති වයර් කැපීමේදී කැපුම් තරල බෙදා හැරීම ප්රශස්ත කිරීම සඳහා නිවැරදි ප්රවාහ අනුපාත මැනීම මූලික වේ. සිලිකන් වේෆර් කැපුම් තරලයේ කාර්යක්ෂමතාවය ස්පර්ශ අතුරුමුහුණතෙහි සිසිලනය, ලිහිසි කිරීම සහ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම සෘජුවම හැඩගස්වන අතර, වේෆර් මතුපිට ගුණාත්මකභාවය, කර්ෆ් අලාභය සහ සමස්ත නිෂ්පාදන අස්වැන්න කෙරෙහි බලපායි. ප්රමාණවත් නොවන හෝ අධික ප්රවාහය උල්ෙල්ඛ කාර්යක්ෂමතාව වෙනස් කරයි, මෙවලම් ඇඳීම වැඩි කරයි, සහ නොගැලපෙන වේෆර් ගුණාත්මකභාවය හෝ ඉහළ සම්පත් පිරිවැයක් ඇති කළ හැකිය. ප්රායෝගික පර්යේෂණවලින් පෙනී යන්නේ සාමාන්ය තනි-වයර් යන්ත්ර සඳහා කැපුම් තරල ප්රවාහ අනුපාතය ප්රශස්ත 0.15–0.25 L/min පරාසය තුළ පවත්වා ගැනීමෙන් මතුපිට රළුබව (Ra) සහ භූගත හානිය අවම කළ හැකි බවයි, මන්ද ප්රමාණවත් නොවන ප්රවාහය ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් සහ සුන්බුන් සමුච්චය වීමට හේතු වන අතර අතිරික්ත ප්රවාහය කැළඹීම් සහ අනවශ්ය පරිභෝජනය ඇති කරයි.
තරල ප්රවාහ අනුපාතය මැනීම සඳහා තාක්ෂණයන් කැපීම
කැපුම් තරල ප්රවාහ මීටර, තරල සැපයුම් මාර්ගවලට ඒකාබද්ධ වී, තත්ය කාලීනව දියමන්ති වයර් කැපුම් තරලයේ බෙදා හරින ලද පරිමාව මනිනු ලැබේ. පොදු ප්රවාහ මීටර තාක්ෂණයන්ට යාන්ත්රික, ඉලෙක්ට්රොනික සහ අතිධ්වනික වර්ග ඇතුළත් වේ:
- ටර්බයින සහ පැඩල් රෝද සැලසුම් වැනි යාන්ත්රික ප්රවාහ මීටර, තරල ප්රවාහයෙන් විස්ථාපනය කරන ලද භ්රමණය වන සංරචක භාවිතා කරයි. ඒවා සරල හා ශක්තිමත් නමුත් උල්ෙල්ඛ-පිරවූ තරල වලින් ඇඳීමට ගොදුරු වේ.
- ඉලෙක්ට්රොනික ප්රවාහ මීටර, විශේෂයෙන් විද්යුත් චුම්භක සැලසුම්, විද්යුත් චුම්භක ප්රේරණයේ මූලධර්ම භාවිතා කරමින් තරල ප්රවේගය මනිනු ලබන අතර, සන්නායක තරල සඳහා විශ්වාසදායක, නඩත්තු-ආලෝක ක්රියාකාරිත්වයක් ලබා දෙයි.
- අතිධ්වනික ප්රවාහ මීටර නළය හරහා සම්ප්රේෂණය වන සහ ලබා ගන්නා අධි-සංඛ්යාත ශබ්ද තරංග භාවිතා කරයි. ප්රවාහය සමඟ සහ එරෙහිව ශබ්ද සංක්රාන්තියේ කාල වෙනස මැනීමෙන්, මෙම උපාංග විවිධ වේෆර් කැපුම් තරල වර්ග සඳහා සුදුසු ආක්රමණශීලී නොවන, නිවැරදි මිනුම් සපයයි.
දුස්ස්රාවිතතාවය හෝ උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් නොසලකා තරල ස්කන්ධයේ නිරවද්ය පාලනය අවශ්ය වන යෙදුම්වල කොරියොලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මැනීම කැපී පෙනේ. කොරියොලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ සංවේදක කොරියොලිස් ආචරණය මත පදනම්ව ස්කන්ධ ප්රවාහ අනුපාතය සෘජුවම මනිනු ලබන අතර, ජලය මත පදනම් වූ සහ තෙල් මත පදනම් වූ දියමන්ති වයර් කැපුම් තරල සඳහා ඉහළ නිරවද්යතාවයක් සහ යෝග්යතාවයක් ලබා දෙයි. සිලිකන් වේෆර් කැපීමේදී අනුකූලතාව සහ ප්රශස්ත ක්රියාවලි පාලනය සඳහා තරල ගුණාංග නිරීක්ෂණය කිරීමට ලෝන්මීටරය පේළිගත ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවිතතා මීටර නිෂ්පාදනය කරයි.
තීරණාත්මක මිනුම් පරාමිතීන් සහ සංවේදක ස්ථානගත කිරීම
වේෆර් කැපීමේදී කැපුම් තරල ප්රවාහය නිවැරදිව මැනීම සඳහා ප්රධාන පරාමිතීන් කිහිපයක් කෙරෙහි අවධානය යොමු කිරීම අවශ්ය වේ:
- ප්රවාහ අනුපාතය (L/min): ක්රියාවලි ප්රශස්තිකරණය සහ තත්ත්ව සහතිකය සඳහා වන ප්රාථමික මිනුම.
- ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවීතාවය: දෙකම සිසිලන ක්රියාකාරිත්වය, උල්ෙල්ඛ ප්රවාහනය සහ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම කෙරෙහි සැලකිය යුතු ලෙස බලපායි.
- උෂ්ණත්වය: කැපුම් ස්ථානයේ දුස්ස්රාවිතතාවය සහ තරල හැසිරීමට බලපෑම් කරයි.
සංවේදක ස්ථානගත කිරීම ඉතා වැදගත් වේ. කැපුම් අතුරුමුහුණතට පෙර නල ප්රතිරෝධය, කාන්දු වීම හෝ වාෂ්පීකරණය හේතුවෙන් ඇතිවන විෂමතා අවම කිරීම සඳහා, ප්රවාහ මිනුම් සංවේදක, කැපුම් කලාපයට හැකි තරම් ආසන්නව, තරල බෙදා හැරීමේ මාර්ගයේ සෘජුවම ස්ථානගත කළ යුතුය. තත්ය කාලීන පේළිගත මිනුම් මඟින් වාර්තා කරන ලද ප්රවාහ අගය දියමන්ති වයර් කැපුම් ප්රදේශයට සත්ය සැපයුමට ගැලපෙන බව සහතික කරයි.
ප්රශස්ත කැපුම් පරිසරයන් පවත්වා ගැනීමේදී ප්රවාහ මැනීමේ කාර්යය
කාර්මික සිලිකන් වේෆර් කැපීමේදී තරල බෙදා හැරීමේ තත්ය කාලීන අධීක්ෂණය සහ අනුවර්තන පාලනය සඳහා ප්රවාහ මිනුම් සංවේදක අත්යවශ්ය වේ. ප්රශස්ත ප්රවාහ අනුපාතයක් පවත්වා ගැනීම ප්රමාණවත් තාප විසර්ජනය, අඛණ්ඩ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම සහ දියමන්ති වයරය දිගේ ඒකාකාර ලිහිසි කිරීම සහතික කරයි. මෙය නොමැතිව, ක්රියාවලි ස්ථායිතාව අඩු වේ, වයර් ආයු කාලය කෙටි වන අතර මතුපිට දෝෂ හෝ අධික කර්ෆ් අලාභය වැඩි වීමේ අවදානම හේතුවෙන් අස්වැන්න දුක් විඳියි.
ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් ප්රවාහ අනුපාත මිනුම් අනෙකුත් ප්රතිපෝෂණ පරාමිතීන් (උදා: වයර් වේගය, පෝෂණ අනුපාතය) සමඟ ඒකාබද්ධ කිරීමෙන්, නිෂ්පාදකයින්ට ක්රියාවලි සීමාවේ අනුවර්තන පාලනය බලාත්මක කළ හැකි අතර, ප්රවාහ අනුපාත ගැලපීම් නිරීක්ෂණය කරන ලද කැපුම් කාර්ය සාධනය සමඟ සෘජුවම සම්බන්ධ කරයි. එහි ප්රතිඵලයක් වශයෙන්, වැඩසටහන්ගත ප්රවාහ ලියුම් කවරයෙන් සිදුවන ඕනෑම අපගමනයක් ක්ෂණික නිවැරදි කිරීමේ ක්රියාමාර්ගයක් අවුලුවන අතර, ක්රියාවලි ගුණාත්මකභාවය සහ සම්පත් කාර්යක්ෂමතාව යන දෙකම ආරක්ෂා කරයි.
සාරාංශයක් ලෙස, දියමන්ති වයර් කැපීමේ යුගයේ ඉහළ අස්වැන්නක් සහිත, ලාභදායී සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනය සඳහා ශක්තිමත් ප්රවාහ මිනුම් සංවේදක සහ තත්ය කාලීන දත්ත මත රඳා පවතින කාර්මික කැපුම් තරල ප්රවාහ මැනීම මූලික ගලක් ලෙස සේවය කරයි.
කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මැනීම: මූලධර්ම සහ යෙදුම
කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මැනීම පදනම් වී ඇත්තේ කම්පන නල හරහා ද්රව චලනය වීමෙන් ඇතිවන බලය හඳුනා ගැනීම මත ය. දියමන්ති වයර් කැපුම් තරලය හෝ විශේෂිත සිලිකන් වේෆර් කැපුම් තරලය වැනි තරලය ගලා යන විට නල කුඩා, මැනිය හැකි අවධි මාරුවක් අත්විඳියි. මෙම මාරුව ස්කන්ධ ප්රවාහ අනුපාතයට සමානුපාතික වන අතර, ලබා දෙන කැපුම් තරලයේ ස්කන්ධයේ සෘජු, තත්ය කාලීන ප්රමාණකරණය සපයයි. එම මූලධර්මයම තරල ඝනත්වය එකවර මැනීමට ඉඩ සලසයි, වෙනස්වන තරල වර්ග, සංයුති සහ උෂ්ණත්වයන් හරහා ඉහළ නිරවද්යතාවයකට සහාය වේ - සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනය සහ දියමන්ති වයර් කැපීමේ යෙදුම්වල තීරණාත්මක අවශ්යතාවයකි.
වේෆර් කැපුම් තරල වර්ග සඳහා මෙම ප්රවේශයේ වාසි, විශේෂයෙන් ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත දියමන්ති වයර් කැපුම් තරල භාවිතා කරන විට, සැලකිය යුතු ය. කොරියොලිස් ප්රවාහ මැනීම තරල දුස්ස්රාවිතතාවයෙන් සහ සංයුතියේ වෙනස්කම් වලින් ස්වාධීන වන අතර, සිලිකන් වේෆර් සඳහා කැපුම් තරලවල බොහෝ විට දක්නට ලැබෙන උල්ෙල්ඛ අංශු, නැනෝ-ආකලන හෝ විෂමජාතීය මිශ්රණ මධ්යයේ ඉතා නිවැරදිව පවතී. මෙම ශක්තිමත් බව නිසා එය සාම්ප්රදායික පරිමාමිතික ප්රවාහ ක්රමවලට වඩා උසස් වන අතර, ඒවා බුබුලු, අත්හිටුවන ලද අංශු සහ දියුණු කැපුම් තරලවල භෞතික ගුණාංග වෙනස් කිරීම මගින් බලපෑම් කළ හැකිය.
සිලිකන් වේෆර් සඳහා කැපුම් තරලය විශ්වාසදායක ලෙස නිරීක්ෂණය කිරීම සහතික කිරීම සඳහා අර්ධ සන්නායක වේෆර් කැපීම වැඩි වැඩියෙන් දියුණු තරල ප්රවාහ සංවේදක තාක්ෂණය මත රඳා පවතී. කොරියෝලිස් ආචරණය භාවිතා කරන ලෝන්මීටර් ඉන්ලයින් ස්කන්ධ ප්රවාහ සංවේදක, ක්රියාවලි රේඛා තුළ සෘජුවම ක්රියාත්මක වේ. මෙය වේෆර් පෙති කැපීමේදී නැනෝ-තරල සහ දියමන්ති වයර් කැපුම් තරලය නිවැරදිව බෙදා හැරීම සහ නිරීක්ෂණය කිරීම සක්රීය කරයි. තරල පිරිහීම, මිශ්රණ නොගැලපීම් හෝ ඝනත්ව මාරුවීම් පිළිබඳ සලකුණු ක්ෂණිකව අනාවරණය වන අතර, ක්රියාවලි අස්වැන්න සහ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා ක්ෂණික පාලන මැදිහත්වීම් සඳහා ඉඩ සලසයි.
කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ සංවේදක තාප, විද්යුත් චුම්භක හෝ අතිධ්වනික ප්රවාහ පද්ධති වැනි අනෙකුත් කැපුම් තරල අධීක්ෂණ සංවේදක සමඟ සංසන්දනය කිරීමෙන් ශක්තීන් කිහිපයක් හෙළි වේ. කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ සංවේදක ඉහළ නිරවද්යතා ප්රවාහ මිනුම්වල විශිෂ්ටත්වය පෙන්වන අතර දුස්ස්රාවීතා උච්චාවචනයන් හෝ චුම්භක ගුණාංගවලින් බලපෑමට ලක් නොවන ස්කන්ධ පාදක කියවීම් ලබා දෙයි. විද්යුත් චුම්භක සහ අතිධ්වනික මීටර නැනෝ අංශු, වායු සාක්කු හෝ මිනිත්තු ඝනත්ව විචලනයන් අඩංගු කැපුම් තරල මිශ්රණ සමඟ අරගල කරන අතර, බොහෝ විට විශ්වාස කළ නොහැකි ප්රවාහ අනුපාත මිනුම් සහ වැඩි නඩත්තු සංඛ්යාතයකට මග පාදයි.
සංඥා සැකසුම් සහ උෂ්ණත්ව වන්දි යෝජනා ක්රම මඟින් ශබ්දය සහ පාරිසරික විචලනය කාර්යක්ෂමව පෙරහන් කරන බැවින්, වෙනස්වන තරල සංයුතිය යටතේ කොරියෝලිස් ප්රවාහ මීටරයේ නිරවද්යතාවය පවත්වා ගනී. ක්රියාකරුවන්ට සිසිලනය, ලිහිසි කිරීම සහ අංශු ඉවත් කිරීම ප්රශස්ත කිරීම සඳහා තත්ය කාලීන දත්ත උපයෝගී කර ගත හැකි අතර, විවිධ වේෆර් කැපුම් තරල වර්ග සහ නැනෝ තරල මිශ්රණවල විවිධ ගුණාංගවලට ප්රතිචාර දක්වයි.
කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මිනුම්, නැනෝ අංශු සමඟ අතිශය තුනී වයර් කියත් සහ කැපුම් තරල වලට අනුවර්තනය වීම කාර්මික අධීක්ෂණයේ වෙනසක් සනිටුහන් කරයි. සංවේදක මගින් අංශු අන්තර්ගතය හෝ තරල විෂමතාවය නොසලකා සත්ය ස්කන්ධ ප්රවාහය සහ ඝනත්වය විශ්වාසදායක ලෙස මනිනු ලබන අතර, වේෆර් කැපීම සඳහා සකස් කරන ලද සංවෘත-ලූප් පාලනය සහ ස්වයංක්රීය තරල කළමනාකරණය සක්රීය කරයි. සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනය සහ දියමන්ති වයර් කැපීමේ ක්රියාවලීන්හිදී ක්රියාවලි ස්ථායිතාව පවත්වා ගැනීම, ද්රව්යමය අලාභය අඩු කිරීම සහ මතුපිට අඛණ්ඩතාව සුරක්ෂිත කිරීම සඳහා මෙම ඉහළ නිරවද්යතා ප්රවාහ මිනුම් මට්ටම කේන්ද්රීය වේ.
ක්රියාවලි පාලනයට ප්රවාහ මිනුම් දත්ත ඒකාබද්ධ කිරීම
කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ සංවේදක භාවිතයෙන් තත්ය කාලීන ප්රවාහ මැනීම සිලිකන් වේෆර්වල දියමන්ති වයර් කැපීමේදී කැපුම් තරල කළමනාකරණය පරිවර්තනය කර ඇත. ලෝන්මීටරය මඟින් නිපදවන ලද ඒවා මෙන්, පේළිගත ඝනත්වය සහ දුස්ස්රාවීතා මීටර, තරල ගුණාංග සහ ප්රවාහ අනුපාතය ක්ෂණිකව නිරීක්ෂණය කිරීමට ඉඩ සලසයි, නිරවද්ය ක්රියාවලි පාලනයට සෘජුවම සහාය වේ.
දියමන්ති වයර් සහ සිලිකන් වේෆර් ඵලදායී ලෙස සිසිල් කිරීම, පිරිසිදු කිරීම සහ ලිහිසි කිරීම සඳහා ප්රශස්ත ප්රවාහ අනුපාත පවත්වා ගැනීම අත්යවශ්ය වේ. ස්කන්ධ ප්රවාහ සහ තරල ලක්ෂණ පිළිබඳ ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත්, තත්ය කාලීන ප්රතිපෝෂණ ලබා දීමෙන් කොරියොලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මීටර මෙම පරිසරය තුළ විශිෂ්ටයි. මෙම දත්ත සමඟ, ස්වයංක්රීය පද්ධතිවලට වේෆර් කැපුම් තරලයේ අවශ්ය පරිමාව සහ සංයුතිය නිශ්චිතව ලබා දීම සඳහා පොම්ප වේගය, කපාට ස්ථාන හෝ ප්රතිචක්රීකරණ අනුපාත සකස් කළ හැකිය. උදාහරණයක් ලෙස, වේගවත් කැපුම් චක්ර අතරතුර, සංවේදක දත්ත වැඩිදියුණු කළ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම සහ සිසිලනය සඳහා වැඩි තරල බෙදා හැරීමක් අවුලුවන අතර, මන්දගාමී චක්රවලට අපද්රව්ය වළක්වා ගැනීම සඳහා අඩු ප්රවාහයක් අවශ්ය විය හැකිය.
වෙනස් වන තරල තත්ත්වයන්ට ප්රතිචාර දැක්වීම සඳහා ප්රවාහ මිනුම් සංවේදක වලින් ලැබෙන ප්රතිපෝෂණ ද ඉතා වැදගත් වේ. උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් හෝ දූෂණය හේතුවෙන් තරල දුස්ස්රාවිතතාවය හෝ ඝනත්වය වෙනස් වන විට - ලෝන්මීටරයේ ඉන්ලයින් මීටර මෙම වෙනස්කම් ක්ෂණිකව හඳුනා ගන්නා අතර, පාලන පද්ධතිවලට ප්රවාහ අනුපාත සකස් කිරීමෙන් හෝ තරල පෙරීම ආරම්භ කිරීමෙන් වන්දි ගෙවීමට ඉඩ සලසයි. මෙම කැටිති, දත්ත මත පදනම් වූ ප්රවේශය මඟින් තරලය ප්රශස්ත කැපුම් කාර්ය සාධනය සඳහා දැඩි පිරිවිතරයන් තුළ පවතින බව සහතික කරයි.
ඉහළ පරිමාවක් ඇති පරිසරවල, කැපුම් තරල ප්රවාහය තත්ය කාලීනව නිරීක්ෂණය කිරීමේ සහ පාලනය කිරීමේ හැකියාව මඟින් ආසියාවේ සහ යුරෝපයේ ප්රමුඛ පෙළේ නිෂ්පාදන මාර්ගවල පෙන්වා ඇති පරිදි, ස්ථාවර ඝනකමට සහාය වන අතර මිල අධික දෝෂ ඇතිවීම අඩු කරයි. උසස් තරල කළමනාකරණය පුරෝකථන නඩත්තුව සඳහා ද සහාය වන අතර, දියමන්ති වයර් ආයු කාලය දීර්ඝ කරයි.
කාර්මික මෙහෙයුම් ප්රවාහ-පාලිත කැපුම් තරල පද්ධති වලින් සැලකිය යුතු ලෙස ප්රතිලාභ ලබයි. කාර්යක්ෂම තරල කළමනාකරණය මඟින් පරිභෝජනය සහ බැහැර කිරීමේ පිරිවැය අඩු කරයි, එක් එක් වේෆරය සඳහා ප්රමාණවත් තරලයක් භාවිතා කිරීම සහතික කිරීම, තිරසාරභාවය සහ නියාමන අනුකූලතාවයට සහාය වීම. තරල අපද්රව්ය අඩු කිරීම - සංවේදක දත්ත මත පදනම් වූ අඛණ්ඩ ප්රතිපෝෂණ සහ ගැලපීම් මගින් සක්රීය කර ඇත - අඩු මෙහෙයුම් වියදම් සහ අඩු පාරිසරික පියසටහනකට පරිවර්තනය කරයි.
සාරාංශයක් ලෙස, Lonnmeter හි පේළිගත විසඳුම් මගින් සක්රීය කරන ලද තත්ය කාලීන ප්රවාහ මිනුම් දත්ත ඒකාබද්ධ කිරීම, වේෆර් තත්ත්ව සහතිකය සඳහා මූලික ගලක් පමණක් නොව, දියමන්ති වයර් කැපීමේ ක්රියාවලිය සඳහා මෙහෙයුම් වාසියක් ද වේ. එය මතුපිට නිමාව, යාන්ත්රික විශ්වසනීයත්වය, නිෂ්පාදන අස්වැන්න සහ පිරිවැය ඵලදායීතාවයේ මැනිය හැකි වැඩිදියුණු කිරීම් ලබා දෙයි.
පර්යේෂණාත්මක අවබෝධය සහ කාර්මික මාර්ගෝපදේශය
මෑත කාලීන පර්යේෂණාත්මක අධ්යයනයන් සිලිකන් වේෆර්වල දියමන්ති වයර් කැපීම සඳහා තරල බෙදා හැරීමේ හොඳම භාවිතයන් නැවත සකස් කර ඇත. පර්යේෂණවලින් පෙනී යන්නේ නිශ්චිතව කළමනාකරණය කරන ලද කැපුම් තරල සැපයුම, විශේෂයෙන් උසස් ශිල්පීය ක්රම භාවිතා කරමින්, අඩු වේෆර් අවශෝෂණය සහ වඩා හොඳ මතුපිට ගුණාත්මකභාවය සමඟ සෘජුවම සහසම්බන්ධ වන බවයි.
තරල බෙදා හැරීමේදී අතිධ්වනික කේශනාලිකා ආචරණය යෙදීම ක්රීඩාව වෙනස් කරන්නෙකු ලෙස මතු වී ඇත. අතිධ්වනික තරංග මගින් අතිශය තුනී කර්ෆ් වලට ගැඹුරට කැපුම් තරලය ධාවනය කරයි - විශේෂයෙන් 50 μm ට වඩා පටු ප්රදේශවල - සාම්ප්රදායික සැපයුම් ක්රම බොහෝ විට අසාර්ථක වේ. මෙම වැඩිදියුණු කළ ආක්රමණය වේෆර් මතුපිටට උල්ෙල්ඛ අංශු සහ සුන්බුන් අවශෝෂණය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි. ආනුභවික පරීක්ෂණ මගින් අතිධ්වනික ආධාරක තරල සැපයුමට භාජනය වන වේෆර් මැනිය හැකි තරම් අඩු මතුපිට දෝෂ පෙන්නුම් කරන අතර එමඟින් පහළ ක්රියාවලීන්හි ඉහළ අස්වැන්නක් සහ විශ්වසනීයත්වයක් පෙන්නුම් කරයි.
තරල බෙදා හැරීම කැපීමේදී අතිධ්වනික වැඩිදියුණු කිරීමේ සහ නැනෝ තරල තාක්ෂණයන්හි ප්රතිලාභ උපරිම කිරීම සඳහා පරාමිති ප්රශස්තිකරණය ඉතා වැදගත් වේ. ප්රධාන පරාමිතීන්ට ඇතුළත් වන්නේ:
- තහඩු දුර: ප්රශස්ත තරල නැගීම සඳහා තරල සංචිතය සහ කැපුම් කලාපය අතර පරතරය අවම කළ යුතුය.
- අතිධ්වනික පරිවර්තක පිහිටීම සහ සැකසුම් සමාන්තරකරණය: පැහැදිලිව නිර්වචනය කරන ලද ජ්යාමිතිය ඒකාකාර තරංග සම්ප්රේෂණය සහ කේශනාලිකා ක්රියාකාරිත්වය සහතික කරයි.
- තරල උෂ්ණත්වය: පාලිත උණුසුම තරල සංචලනය සහ කේශනාලිකා කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කරයි.
- අතිධ්වනික යෙදීමේ කාලසීමාව සහ වාර ගණන: නිසි වේලාවට යෙදීම අධික උනුසුම් වීම වළක්වන අතරම විනිවිද යාම උපරිම කරයි.
- තරල වර්ගය තේරීම: විවිධ පාදක තරල සහ ආකලන අතිධ්වනික උත්තේජනයට අනන්ය ලෙස ප්රතිචාර දක්වයි.
නැනෝ තරල තාක්ෂණය තවත් ප්රධාන දියුණුවක් හඳුන්වා දෙයි. SiO2 සහ SiC වැනි නැනෝ අංශු වලින් පුරවා ඇති කැපුම් තරල තාප සන්නායකතාවය සහ ලිහිසිකරණය වැඩි දියුණු කරයි. මෙම වෙනස් කිරීම වඩාත් ඵලදායී සිසිලනය, වැඩිදියුණු කළ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම සහ වේෆර් මතුපිට රළු බව අඩු කිරීමට හේතු වේ. මිශ්ර නැනෝ අංශු සූත්ර මඟින් සහජීවන වැඩිදියුණු කිරීම් ලබා දෙන බවත්, යුධ පිටුව තවදුරටත් අඩු කරන බවත් සහ තනි වර්ගයේ හෝ සාම්ප්රදායික කැපුම් තරලවලට වඩා උසස් වේෆර් රූප විද්යාව නිපදවන බවත් දත්ත පෙන්වා දෙයි.
කැපුම් තරල කාර්යක්ෂමතාව ප්රශස්ත කිරීමට උත්සාහ කරන නිෂ්පාදකයින්ට පහත මෙහෙයුම් මාර්ගෝපදේශ ක්රියාත්මක කළ හැකිය:
- අතිධ්වනික සහ නැනෝ-සහාය සඳහා ප්රවාහ ගුණාංග වඩාත් සුදුසු බව සහතික කරමින්, කැපුම් තරල අනුකූලතාව නිරීක්ෂණය කිරීමට සහ පාලනය කිරීමට පේළිගත ඝනත්ව මීටර සහ දුස්ස්රාවීතා මීටර (ලෝන්මීටරයේ ඒවා වැනි) භාවිතා කරන්න.
- ඉහළ නිරවද්යතා ප්රවාහ මිනුම් සංවේදකයක් භාවිතයෙන් කැපුම් තරල ප්රවාහ අනුපාත නිරීක්ෂණය කර සකස් කරන්න. කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මැනීම කාර්මික කැපුම් තරල ප්රවාහ මිනුම් සඳහා විශේෂයෙන් ප්රයෝජනවත් වන අතර, ඝනත්වය සහ පරිමාව යන දෙකටම තත්ය කාලීන නිරවද්යතාවයක් ලබා දෙයි.
- විශ්වාසදායක කියවීම් පවත්වා ගැනීම සඳහා ප්රවාහ මිනුම් සංවේදක නිතිපතා ක්රමාංකනය කරන්න, ස්ථාවර වේෆර් සැකසුම් සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
- නිශ්චිත වේෆර් ප්රමාණය, දියමන්ති වයර් ලක්ෂණ සහ මෙහෙයුම් පරිසරයට ගැලපෙන වේෆර් කැපුම් තරල වර්ග සහ නැනෝ අංශු සාන්ද්රණයන් තෝරන්න.
වයර් ප්රවේගය වැඩි කිරීම හෝ පෝෂණ අනුපාතය සකස් කිරීම වැනි තනි-සාධක පරාමිති වෙනස්කම් වයර් ඇඳීම, මතුපිට රළුබව සහ සම්පූර්ණ ඝණකම විචලනය (TTV) හි මාරුවීම් සමඟ සහසම්බන්ධ වන බව සංසන්දනාත්මක අධ්යයනවලින් සනාථ වේ. ප්රවාහ නිරවද්යතාවය සහ වේගවත්, ප්රතිචාරාත්මක තරල සැපයුම පවත්වා ගැනීම දෝෂ අවම කිරීම සහ වයර් ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම යන දෙකටම අත්යවශ්ය වේ.
නිතර අසන ප්රශ්න
සිලිකන් වේෆර් කැපුම් තරලය දියමන්ති වයර් කැපීමේ කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරන්නේ කෙසේද?
සිලිකන් වේෆර් කැපුම් තරලය දියමන්ති වයර් කැපීමේදී ලිහිසි තෙල් සහ සිසිලනකාරකය ලෙස ක්රියා කරයි. එහි ප්රධාන කාර්යය වන්නේ ඝර්ෂණය අඩු කිරීම සහ වයර්-වේෆර් අතුරුමුහුණතෙහි ජනනය වන තාපය විසුරුවා හැරීමයි. අඩු ඝර්ෂණය සහ උෂ්ණත්වයන් ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් සහ මතුපිට සීරීම් අවම කරයි, එමඟින් වේෆර් හානි වීමට සහ සමස්ත අස්වැන්න අඩු කිරීමට හේතු විය හැක. තරලය කැපුම් ප්රදේශයෙන් සුන්බුන් ද රැගෙන යන අතර, දියමන්ති වයර් සහ වේෆර් මතුපිට පිරිසිදුව තබා ගනී. මෙම අංශු අඛණ්ඩව ඉවත් කිරීම සුමට වේෆර් මතුපිටට හේතු වන අතර ස්ථාවර, උසස් තත්ත්වයේ නිෂ්පාදනයට සහාය වේ. නිදසුනක් ලෙස, SiO₂ සහ SiC නැනෝ අංශු සමඟ වැඩි දියුණු කරන ලද නැනෝ කැපුම් තරල කර්ෆ් එකට ගැඹුරට විනිවිද යා හැකි අතර, මතුපිට රළුබව සහ වේෆර් විකෘති කිරීම අඩු කරයි, අර්ධ සන්නායක භාවිතය සඳහා වේෆර් ප්රතිදානය තවදුරටත් වැඩි දියුණු කරයි.
කැපුම් තරල ප්රවාහ මීටරයක් යනු කුමක්ද සහ වේෆර් කියත් කිරීමේදී එය වැදගත් වන්නේ ඇයි?
කැපුම් තරල ප්රවාහ මීටරයක් කියත් කලාපයට ලබා දෙන තරල ප්රමාණය හරියටම මනිනු ලබයි. ප්රමාණවත් ලිහිසි කිරීම, තාපය විසුරුවා හැරීම සහ සුන්බුන් නිෂ්කාශනය සඳහා නිවැරදි ප්රවාහය පවත්වා ගැනීම අත්යවශ්ය වේ. ප්රවාහය ඉතා අඩු නම්, වයරය අධික ලෙස රත් වී හෝ සුන්බුන් එකතු වී සීරීම් සහ අස්ථි බිඳීම් ඇති කරයි. අධික ප්රවාහය තරලය නාස්ති කළ හැකි අතර පීඩන අසමතුලිතතාවයක් ඇති කළ හැකි අතර එය වේෆර් පැතලි බව සහ මෙවලම් ආයු කාලය කෙරෙහි බලපායි. ලෝන්මීටරය විසින් නිෂ්පාදනය කරන ලද පේළිගත ඝනත්ව මීටර සහ දුස්ස්රාවීතා මීටර වැනි තරල ප්රවාහ මීටර කැපීම, ක්රියාකරුවන්ට තත්ය කාලීනව සැපයුම නිරීක්ෂණය කිරීමට සහ සකස් කිරීමට උපකාරී වේ. මෙමඟින් ක්රියාවලිය ප්රශස්ත පරාමිතීන් තුළ පවතින බව සහතික කරයි, වේෆර් අස්වැන්න උපරිම කිරීම සහ මෙවලම් ඇඳීම අවම කිරීම.
කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මැනීම සිලිකන් වේෆර් කැපුම් තරල පාලනයට ප්රයෝජනවත් වන්නේ කෙසේද?
සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනයේ ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් ප්රවාහ මැනීම සඳහා කොරියොලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ මැනීම ඉතා වැදගත් වේ. සාම්ප්රදායික ප්රවාහ මීටර මෙන් නොව, කොරියොලිස් සංවේදක තරල දුස්ස්රාවිතතාවය, ඝනත්වය හෝ උෂ්ණත්ව විචලනයන් නොසලකා ස්කන්ධ ප්රවාහය සෘජුවම මනිනු ලබයි. මෙම විශේෂාංගය නැනෝ අංශු සහිත ඒවා ඇතුළුව විවිධ වේෆර් කැපුම් තරල වර්ග නිවැරදිව නිරීක්ෂණය කිරීමට හැකියාව ලබා දෙයි. ප්රතිඵලය වන්නේ ක්රියාවලි උච්චාවචනයන් නොතකා නිවැරදි අනුපාතයකින් කැපුම් තරලය අඛණ්ඩව බෙදා හැරීම, ස්ථාවර ලිහිසිකරණය සහ සිසිලනය පවත්වා ගැනීමයි. මෙම ප්රතිලාභ ඉල්ලුමක් ඇති දියමන්ති වයර් කැපීමේ යෙදුම්වල උසස් වේෆර් ගුණාත්මක භාවයට සෘජුවම දායක වන අතර, එහිදී නිරවද්ය පාලනය දෝෂ අඩු කරන අතර ඵලදායිතාව ප්රශස්ත කරයි.
දියමන්ති වයර් කියත් යෙදීම්වල ප්රවාහ අනුපාතය මැනීමට බලපාන සාධක මොනවාද?
නිවැරදි ප්රවාහ අනුපාතය මැනීම අන්තර් සම්බන්ධිත විචල්යයන් කිහිපයක් මත රඳා පවතී. සංවේදක තේරීම ප්රධාන වේ; උදාහරණයක් ලෙස, කොරියෝලිස් ස්කන්ධ ප්රවාහ සංවේදක දුස්ස්රාවී හෝ අංශු සහිත තරල සඳහා පවා විශ්වාසදායක දත්ත සපයයි. නැනෝ අංශු පැවතීම වැනි තරල සංයුතිය දුස්ස්රාවීතාවය සහ ඝනත්වය වෙනස් කළ හැකි අතර සංවේදක ක්රමාංකන අවශ්යතාවලට බලපෑම් කළ හැකිය. වයර් විෂ්කම්භය සහ කැපුම් වේගය ඵලදායී සිසිලනය සහ සුන්බුන් ඉවත් කිරීම සඳහා කොපමණ තරලයක් අවශ්ය දැයි ද බලපායි. සංවේදකය සත්ය අගයන් කියවීම සහතික කිරීම සඳහා එක් එක් නිශ්චිත ක්රියාවලිය සඳහා ක්රමාංකනය අත්යවශ්ය වන අතර, එක් එක් කණ්ඩායම සඳහා කැපුම් තරලයේ නිවැරදි ප්රමාණය භාවිතා කරන බව සහතික කරයි.
සිලිකන් වේෆර් කැපීමේදී නැනෝ තරල සහ අතිධ්වනික ශිල්පීය ක්රම මගින් තරල විනිවිද යාම වැඩි දියුණු කළ හැකිද?
පර්යේෂණවලින් පෙන්නුම් කරන්නේ නැනෝ තරල, විශේෂයෙන් SiO₂ සහ SiC නැනෝ අංශු සහිත ඒවා, තීරණාත්මක වයර්-වේෆර් අතුරුමුහුණතට තරල බෙදා හැරීමේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කරන බවයි. මෙම අංශු තරලයට අන්වීක්ෂීය හිඩැස් කරා ළඟා වීමට උපකාරී වන අතර, වඩා හොඳ සිසිලනය සහ ලිහිසි කිරීම සහතික කරයි. අතිරේකව, අතිධ්වනික කේශනාලිකා ආචරණ ශිල්පීය ක්රම මගින් තරල චලනය සහ විනිවිද යාම තවදුරටත් වැඩි දියුණු කරයි, විශේෂයෙන් අතිශය තුනී වයර් කැපීමේදී. මෙයින් අදහස් කරන්නේ ප්රශස්ත කාර්ය සාධනයක් ලබා ගැනීම සඳහා අඩු කැපුම් තරලයක් අවශ්ය වන අතර, ප්රතිඵලවලට තරල අවශෝෂණය අඩු වීම, මතුපිට රූප විද්යාව වැඩිදියුණු කිරීම සහ දෝෂ අනුපාත අඩු වීම ඇතුළත් වේ. මෙම දියුණුව අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්ත දෙකෙහිම තුනී, විශාල විෂ්කම්භයකින් යුත් වේෆර් දෙසට ගමන් කිරීමට සහාය වන අතර, තරල අධීක්ෂණ සංවේදක කැපීම මඟින් ක්රියාවලිය සෑම නිෂ්පාදන චක්රය පුරාම පාලනය කර ස්ථාවරව පවතින බව සහතික කරයි.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-25-2025
