1. ترقي يافته حوالي سانPختم ڪرڻ وارو
سيمي ڪنڊڪٽر ۾ سي ايم پي ڇا آهي؟
ڪيميڪل ميڪينڪل پالشنگ (سي ايم پي)، جنهن کي متبادل طور تي ڪيميڪل ميڪينڪل پلانرائيزيشن جي نالي سان سڃاتو وڃي ٿو، جديد سيمي ڪنڊڪٽر فيبريڪيشن ۾ سڀ کان وڌيڪ ٽيڪنالاجي طور تي چئلينجنگ ۽ مالي طور تي نازڪ يونٽ آپريشنز مان هڪ جي نمائندگي ڪري ٿو. هي خاص طريقو هڪ لازمي هائبرڊ عمل جي طور تي ڪم ڪري ٿو، ڪيميڪل ايچنگ ۽ انتهائي ڪنٽرول ٿيل جسماني ابريشن جي هم آهنگي واري ايپليڪيشن ذريعي ويفر سطحن کي احتياط سان هموار ڪري ٿو. فيبريڪيشن چڪر ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيل، سي ايم پي ايندڙ پرتن لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر ويفر تيار ڪرڻ لاءِ ضروري آهي، سڌو سنئون ترقي يافته ڊوائيس آرڪيٽيڪچر پاران گهربل اعليٰ کثافت انضمام کي فعال بڻائي ٿو.
سيمي ڪنڊڪٽر عمل ۾ سي ايم پي
*
جي گهري ضرورتڪيميائي مشيني پالش ڪرڻجديد لٿوگرافي جي جسماني گهرجن ۾ جڙيل آهي. جيئن ته انٽيگريٽڊ سرڪٽ جون خاصيتون سُڪي وينديون آهن ۽ ڪيترائي پرت عمودي طور تي گڏ ٿي ويندا آهن، مواد کي هڪجهڙائي سان هٽائڻ ۽ عالمي سطح تي هڪ پلانر مٿاڇري قائم ڪرڻ جي عمل جي صلاحيت بلڪل نازڪ ٿي ويندي آهي. متحرڪ پالشنگ هيڊ کي مختلف محورن سان گھمڻ لاءِ انجنيئر ڪيو ويو آهي، احتياط سان ويفر ۾ غير منظم ٽوپوگرافي کي برابر ڪري ٿو. ڪامياب نموني جي منتقلي لاءِ، خاص طور تي انتهائي الٽراوائليٽ (EUV) لٿوگرافي جهڙين جديد ٽيڪنالاجي سان، پوري پروسيس ٿيل مٿاڇري کي فيلڊ جي هڪ غير معمولي تنگ کوٽائي ۾ اچڻ گهرجي - هڪ جاميٽري رڪاوٽ جنهن کي جديد ذيلي 22 nm ٽيڪنالاجي لاءِ اينگسٽروم-سطح جي فليٽ جي ضرورت آهي. پلانرائيزنگ پاور کان سواءِسي ايم پي سيمي ڪنڊڪٽر عمل، بعد ۾ فوٽو ليٿوگرافي جا مرحلا ترتيب جي ناڪامي، نمونن جي بگاڙ، ۽ تباهي واري پيداوار جي سفر جو سبب بڻجندا.
سي ايم پي جي وسيع اپنائڻ جو سبب صنعت جي روايتي ايلومينيم ڪنڊڪٽرن کان اعليٰ ڪارڪردگي واري ڪاپر انٽر ڪنيڪٽس ڏانهن منتقلي هئي. ڪاپر ميٽيلائيزيشن هڪ اضافي نموني جي عمل کي استعمال ڪري ٿي، ڊيماسسين ٽيڪنڪ، جيڪا بنيادي طور تي سي ايم پي جي منفرد صلاحيت تي ڀاڙي ٿي ته جيئن چونڊيل ۽ هڪجهڙائي سان اضافي ڪاپر کي هٽايو وڃي ۽ مسلسل هٽائڻ واري عمل کي صحيح طور تي ڌاتو ۽ آڪسائيڊ انسوليٽنگ پرت جي وچ ۾ انٽرفيس تي روڪيو وڃي. هي انتهائي چونڊيل مواد هٽائڻ نازڪ ڪيميائي ۽ ميڪيڪل توازن کي اجاگر ڪري ٿو جيڪو عمل کي بيان ڪري ٿو، هڪ توازن جيڪو فوري طور تي پالش ڪرڻ واري وچولي ۾ معمولي اتار چڙهاؤ سان به خراب ٿي ويندو آهي.
سيمي ڪنڊڪٽر عمل ۾ سي ايم پي جا ڪم
الٽرا-لو ٽوپوگرافڪ تبديلي لاءِ لازمي گهرج هڪ پردي جو مقصد نه آهي پر قابل اعتماد ڊوائيس آپريشن لاءِ هڪ سڌي فنڪشنل شرط آهي، مناسب موجوده وهڪري، حرارتي ضايع ڪرڻ، ۽ گھڻ-پرت واري جوڙجڪ ۾ فنڪشنل ترتيب کي يقيني بڻائي ٿي. سي ايم پي جو بنيادي مينڊيٽ ٽوپوگرافي انتظام آهي، سڀني بعد ۾ نازڪ پروسيسنگ مرحلن لاءِ لازمي فليٽنس قائم ڪرڻ.
مخصوص ايپليڪيشن مواد جي چونڊ ۽ لاڳاپيل کي طئي ڪري ٿيسلري فارموليشن. سي ايم پي عمل مختلف مواد کي سنڀالڻ لاءِ تيار ڪيا ويا آهن، جن ۾ ٽنگسٽن، ڪاپر، سلڪون ڊاءِ آڪسائيڊ (SiO2) شامل آهن.2)، ۽ سلڪون نائٽرائڊ (SiN). سلري کي احتياط سان اعليٰ پلانرائيزيشن ڪارڪردگي ۽ غير معمولي مواد جي چونڊ لاءِ ايپليڪيشنن جي هڪ اسپيڪٽرم ۾ بهتر بڻايو ويو آهي، جنهن ۾ شيلو ٽرينچ آئسوليشن (STI) ۽ انٽرليئر ڊائي اليڪٽرڪس (ILD) شامل آهن. مثال طور، هاءِ-فنڪشن سيريا سلري خاص طور تي ILD ايپليڪيشنن لاءِ استعمال ڪئي ويندي آهي ڇاڪاڻ ته ان جي اسٽيپ فليٽننگ، يونيفارمي، ۽ ڊيفيڪٽ فريڪوئنسي گهٽائڻ ۾ اعليٰ ڪارڪردگي آهي. انهن سلري جي انتهائي خاص نوعيت تصديق ڪري ٿي ته پالش ڪرڻ واري وچولي جي فلوئڊ ڊائنامڪس ۾ تبديلين مان پيدا ٿيندڙ عمل جي عدم استحڪام فوري طور تي چونڊيل مواد کي هٽائڻ لاءِ بنيادي گهرجن جي خلاف ورزي ڪندو.
2. سي ايم پي سلري هيلٿ جو نازڪ ڪردار
سيمي ڪنڊڪٽر عمل ۾ سي ايم پي
جي مسلسل اثرائتيڪيميائي ميڪيڪل پالش ڪرڻ سي ايم پي عملمڪمل طور تي سلري جي مسلسل پهچائڻ ۽ ڪارڪردگي تي منحصر آهي، جيڪو ضروري ڪيميائي رد عمل ۽ ميڪيڪل رگڙ ٻنهي کي آسان بڻائڻ لاءِ اهم وچولي طور ڪم ڪري ٿو. هي پيچيده سيال، جيڪو ڪولائيڊل سسپنشن جي طور تي نمايان آهي، ان کي مسلسل ۽ هڪجهڙائي سان پنهنجي ضروري حصن کي پهچائڻ گهرجي، جنهن ۾ ڪيميائي ايجنٽ (آڪسائيڊائزر، ايڪسيليٽر، ۽ سنکنرن کي روڪڻ وارا) ۽ نانو سائيز جي رگڙندڙ ذرات شامل آهن، متحرڪ ويفر مٿاڇري تي.
سلري جي جوڙجڪ کي هڪ مخصوص ڪيميائي رد عمل کي جنم ڏيڻ لاءِ انجنيئر ڪيو ويو آهي: بهترين عمل ٽارگيٽ مواد تي هڪ غير فعال، غير حل ٿيندڙ آڪسائيڊ پرت ٺاهڻ تي ڀاڙي ٿو، جيڪو پوءِ مشيني طور تي رگڙيندڙ ذرڙن ذريعي هٽايو ويندو آهي. هي ميڪانيزم ضروري اعليٰ سطحي ٽوپوگرافڪ چونڊ کي مؤثر پلانرائيزيشن لاءِ ضروري بڻائي ٿو، هٽائڻ واري عمل کي اعليٰ پوائنٽن يا پروٽروشنز تي مرڪوز ڪري ٿو. ان جي ابتڙ، جيڪڏهن ڪيميائي رد عمل هڪ حل ٿيندڙ آڪسائيڊ حالت پيدا ڪري ٿو، ته مواد کي هٽائڻ آئسوٽروپڪ آهي، ان ڪري گهربل ٽوپوگرافڪ چونڊ کي ختم ڪري ٿو. سلري جا جسماني جزا عام طور تي رگڙيندڙ ذرڙن (مثال طور، سليڪا، سيريا) تي مشتمل هوندا آهن جيڪي 30 کان 200 اين ايم جي سائيز ۾ هوندا آهن، 0.3 ۽ 12 وزن سيڪڙو جي وچ ۾ ڪنسنٽريشن تي معطل هوندا آهن.
سي ايم پي سلري سيمڪنڊڪٽر
صحت کي برقرار رکڻسي ايم پي سلوري سيمي ڪنڊڪٽران جي سڄي زندگي ۾ بيحد خاصيت ۽ ڪنٽرول جي ضرورت آهي، ڇاڪاڻ ته هٿ ڪرڻ يا گردش دوران ڪا به خرابي وڏي مالي نقصان جو سبب بڻجي سگهي ٿي. آخري پالش ٿيل ويفر جو معيار، ان جي نانو اسڪيل همواريت ۽ خرابي جي سطحن جي ذريعي بيان ڪيو ويو آهي، سڌو سنئون سلري جي پارٽيڪل سائيز ورڇ (PSD) جي سالميت ۽ مجموعي استحڪام سان لاڳاپيل آهي.
مختلف قسمن جي خاص نوعيتسي ايم پي سلري جا قسممطلب ته نانو سائيز جا ذرڙا معطلي اندر نازڪ ريپيلنٽ اليڪٽرو اسٽيٽڪ قوتن ذريعي مستحڪم ٿين ٿا. سلريون اڪثر مرڪوز شڪل ۾ فراهم ڪيون وينديون آهن ۽ ٺاھڻ واري جاءِ تي پاڻي ۽ آڪسائيڊائزرز سان صحيح گھٽتائي ۽ ملاوٽ جي ضرورت هوندي آهي. نازڪ طور تي، جامد ملاوٽ جي تناسب تي ڀروسو ڪرڻ بنيادي طور تي غلط آهي ڇاڪاڻ ته ايندڙ مرڪوز مواد موروثي بيچ کان بيچ کثافت جي تبديلين کي ظاهر ڪري ٿو.
پروسيس ڪنٽرول لاءِ، جڏهن ته پي ايس ڊي ۽ زيٽا پوٽينشل (ڪولائيڊل استحڪام) جو سڌو تجزيو اهم آهي، اهي ٽيڪنڪ عام طور تي وقفي وقفي سان، آف لائن تجزيي ڏانهن منتقل ڪيون وينديون آهن. ايڇ وي ايم ماحول جي آپريشنل حقيقت حقيقي وقت، فوري موٽ ڏيڻ جو حڪم ڏئي ٿي. نتيجي طور، کثافت ۽ ويسڪوسيٽي سلري جي صحت لاءِ سڀ کان وڌيڪ اثرائتي ۽ قابل عمل ان لائن پراڪسي طور ڪم ڪن ٿا. کثافت وچولي ۾ ڪل رگڙيندڙ سولڊز جي ڪنسنٽريشن جو هڪ تيز، مسلسل ماپ فراهم ڪري ٿي. ويسڪوسيٽي به ساڳئي طرح اهم آهي، جيڪا سيال جي ڪولائيڊل حالت ۽ حرارتي سالميت جي انتهائي حساس اشاري طور ڪم ڪري ٿي. غير مستحڪم ويسڪوسيٽي اڪثر رگڙيندڙ ذري جي نشاندهي ڪري ٿي.جمعيا ٻيهر ميلاپ، خاص طور تي متحرڪ ڪَشِير حالتن هيٺ. تنهن ڪري، انهن ٻن ريولوجيڪل پيرا ميٽرز جي مسلسل نگراني ۽ ڪنٽرول فوري، عمل لائق موٽ ڏيڻ وارو لوپ فراهم ڪري ٿو جيڪو تصديق ڪرڻ لاءِ گهربل آهي ته سلوري استعمال جي نقطي تي پنهنجي مخصوص ڪيميائي ۽ جسماني حالت کي برقرار رکي ٿي.
3. مشيني ناڪامي جو تجزيو: نقص جا ڊرائيور
سي ايم پي کثافت ۽ ويسڪوسيٽي جي اتار چڙهاؤ سبب پيدا ٿيندڙ منفي اثر
عمل جي تبديلي کي اعليٰ-ذريعن ۾ پيداوار جي خطري ۾ واحد سڀ کان وڏو حصو وٺندڙ طور سڃاتو وڃي ٿو.سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ سي ايم پي. سلري خاصيتون، جن کي مجموعي طور تي "سلري صحت" سڏيو ويندو آهي، پمپنگ شيئر، گرمي پد جي اتار چڙهاؤ، ۽ ملاوٽ جي عدم مطابقت جي ڪري ٿيندڙ تبديلين لاءِ تمام گهڻو حساس آهن. سلري وهڪري جي نظام مان پيدا ٿيندڙ ناڪاميون خالص ميڪيڪل مسئلن کان الڳ آهن، پر ٻنهي جي نتيجي ۾ نازڪ ويفر اسڪريپ ٿئي ٿي ۽ اڪثر ڪري پوسٽ-پروسيس اينڊ پوائنٽ سسٽم پاران تمام دير سان معلوم ٿين ٿيون.
۾ تمام وڏا ذرڙا يا مجموعا جي موجودگيسي ايم پي سيمي ڪنڊڪٽرمواد واضح طور تي پالش ٿيل ويفر جي مٿاڇري تي مائڪرو اسڪريچز ۽ ٻين موتمار خرابين جي تخليق سان ڳنڍيل آهي. اهم ريولوجيڪل پيرا ميٽرز ۾ اتار چڙهاؤ - ويسڪوسيٽي ۽ کثافت - مسلسل، اڳواڻي اشارا آهن ته سلري جي سالميت سان سمجهوتو ڪيو ويو آهي، خرابي جي ٺهڻ جي ميڪانيزم کي شروع ڪري ٿو.
سلري ويسڪوسيٽي ۾ اتار چڙهاؤ (مثال طور، جمع ٿيڻ، تبديل ٿيل قينچي)
ويسڪوسٽي هڪ ٿرموڊائنامڪ ملڪيت آهي جيڪا پالش ڪرڻ واري انٽرفيس تي وهڪري جي رويي ۽ رگڙ جي حرڪت کي منظم ڪري ٿي، جيڪا ان کي ماحولياتي ۽ ميڪيڪل دٻاءُ لاءِ غير معمولي طور تي حساس بڻائي ٿي.
جي ڪيميائي ۽ جسماني ڪارڪردگيسلري ويسڪوسيٽي سيمي ڪنڊڪٽرسسٽم گرمي پد جي ڪنٽرول تي تمام گهڻو منحصر آهي. تحقيق تصديق ڪري ٿي ته پروسيس جي گرمي پد ۾ معمولي 5 ° C تبديلي به سلري ويسڪوسيٽي ۾ تقريبن 10٪ گهٽتائي جو سبب بڻجي سگهي ٿي. ريولوجي ۾ هي تبديلي سڌو سنئون هائيڊروڊائنامڪ فلم جي ٿولهه تي اثر انداز ٿئي ٿي جيڪا ويفر کي پالشنگ پيڊ کان الڳ ڪري ٿي. گهٽ ويسڪوسيٽي ناکافي لوبريڪيشن جو سبب بڻجي ٿي، جنهن جي نتيجي ۾ ميڪيڪل رگڙ وڌي ٿي، مائڪرو اسڪريچز ۽ تيز پيڊ جي استعمال جو هڪ بنيادي سبب.
هڪ نازڪ تباهي واري رستي ۾ شيئر-انڊيوسڊ پارٽيڪل ڪلسٽرنگ شامل آهي. سليڪا تي ٻڌل سلوري نازڪ اليڪٽرو اسٽيٽڪ ريپلشن فورسز ذريعي پارٽيڪل جي علحدگي کي برقرار رکن ٿيون. جڏهن سلوري کي اعلي شيئر دٻاءُ جو سامنا ٿئي ٿو - عام طور تي غلط روايتي سينٽرفيوگل پمپن يا ورڇ لوپ ۾ وسيع ري سرڪيوليشن ذريعي پيدا ٿئي ٿو - انهن قوتن تي قابو پائي سگهجي ٿو، جنهن جي ڪري تيز ۽ ناقابل واپسيجمعرگڙيندڙ ذرڙن جو. نتيجي ۾ وڏا مجموعا مائڪرو-گوئنگ ٽولز طور ڪم ڪن ٿا، سڌو سنئون ويفر جي مٿاڇري تي تباهي ڪندڙ مائڪرو-اسڪريچ پيدا ڪن ٿا. ريئل ٽائيم ويسڪوميٽري انهن واقعن کي ڳولڻ لاءِ ضروري موٽ ڏيڻ جو طريقو آهي، جيڪو وڏي پيماني تي خرابي پيدا ٿيڻ کان اڳ پمپنگ ۽ ورڇ واري نظام جي "نرم" جي اهم تصديق فراهم ڪري ٿو.
نتيجي ۾ ويسڪوسيٽي ۾ تبديلي پڻ پلانرائيزيشن جي اثرائتي کي سختي سان متاثر ڪري ٿي. جيئن ته ويسڪوسيٽي پالش ڪرڻ دوران رگڙ جي کوٽائي کي متاثر ڪندڙ هڪ اهم عنصر آهي، هڪ غير يونيفارم ويسڪوسيٽي پروفائل غير مطابقت واري مواد کي هٽائڻ جي شرحن جو سبب بڻجندو. ويسڪوسيٽي ۾ مقامي اضافو، خاص طور تي ويفر ٽوپوگرافي جي اڀريل خاصيتن تي ٿيندڙ اعلي شيئر ريٽ تي، رگڙ جي حرڪت کي تبديل ڪري ٿو ۽ پلانرائيزيشن جي مقصد کي ڪمزور ڪري ٿو، آخرڪار ڊشنگ ۽ ايروشن جهڙن ٽاپوگرافيڪل خرابين جي طرف وٺي ٿو.
سلري جي کثافت ۾ اتار چڙهاؤ
سلري ڊينسٽي، سيال اندر معطل ٿيل گھڙڻ واري ٺوس جي مجموعي ڪنسنٽريشن جو تيز ۽ قابل اعتماد اشارو آهي. کثافت ۾ اتار چڙهاؤ غير يونيفارم سلري پهچائڻ جو اشارو ڏئي ٿو، جيڪو فطري طور تي مواد کي هٽائڻ جي شرح (MRR) ۽ خرابي جي ٺهڻ ۾ تبديلين سان ڳنڍيل آهي.
آپريشنل ماحول ۾ سلري جي جوڙجڪ جي متحرڪ تصديق جي ضرورت آهي. ايندڙ مرڪوز بيچز ۾ صرف پاڻي ۽ آڪسائيڊائزر جي مخصوص مقدار شامل ڪرڻ تي ڀروسو ڪرڻ ڪافي ناهي، ڇاڪاڻ ته خام مال جي کثافت اڪثر مختلف هوندي آهي، جنهن جي ڪري ٽول هيڊ تي عمل جا نتيجا غير مطابقت رکن ٿا. ان کان علاوه، رگڙيندڙ ذرڙا، خاص طور تي وڌيڪ ڪنسنٽريشن سيريا ذرڙا، جيڪڏهن وهڪري جي رفتار يا ڪولائيڊل استحڪام ناکافي آهي ته تلخي جو شڪار ٿين ٿا. هي آبادڪاري وهڪري جي لائينن اندر مقامي کثافت گريڊينٽ ۽ مواد جي مجموعي کي پيدا ڪري ٿي، هڪجهڙائي رگڙيندڙ لوڊ پهچائڻ جي صلاحيت کي تمام گهڻو نقصان پهچائي ٿي.
How Dهم آهنگيDمعافيAffوغيره Manيو ايف اي سيترآئي اين جيProcess?.
غير مستحڪم سلري کثافت جا سڌي طرح نتيجا پالش ٿيل مٿاڇري تي نازڪ جسماني خرابين جي طور تي ظاهر ٿين ٿا:
غير يونيفارم هٽائڻ جي شرح (WIWNU):کثافت ۾ تبديليون سڌو سنئون پالش ڪرڻ واري انٽرفيس تي پيش ڪيل فعال رگڙيندڙ ذرڙن جي ڪنسنٽريشن ۾ تبديلين ۾ ترجمو ڪن ٿيون. بيان ڪيل کان گهٽ کثافت گهٽ رگڙيندڙ ڪنسنٽريشن کي ظاهر ڪري ٿي، جنهن جي نتيجي ۾ گهٽجي ويلر غير يونفارمٽي (WIWNU) پيدا ٿئي ٿي. WIWNU بنيادي پلانرائيزيشن جي ضرورت کي گهٽائي ٿو. ان جي برعڪس، مقامي طور تي اعلي کثافت اثرائتي ذرڙن جي لوڊ کي وڌائي ٿي، جنهن جي ڪري مواد کي تمام گهڻو هٽايو وڃي ٿو. کثافت تي سخت ڪنٽرول مسلسل رگڙيندڙ پهچائڻ کي يقيني بڻائي ٿو، جيڪو مستحڪم رگڙيندڙ قوتن ۽ پيش گوئي ڪندڙ MRR سان مضبوطي سان لاڳاپيل آهي.
مقامي طور تي رگڙندڙ تبديلين جي ڪري پٽنگ:گھڙڻ واري ٺوس شين جي مقامي ڪنسنٽريشن، اڪثر ڪري آباد ٿيڻ يا نا مناسب ملاوٽ جي ڪري، ويفر جي مٿاڇري تي هر ذري جي مقامي طور تي وڌيڪ لوڊ جو سبب بڻجندي آهي. جڏهن گھڙڻ وارا ذرات، خاص طور تي سيريا، آڪسائيڊ شيشي جي پرت سان مضبوطيءَ سان لڳندا آهن، ۽ مٿاڇري تي دٻاءُ موجود هوندو آهي، ته ميڪيڪل لوڊ شيشي جي پرت کي ڀڃڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ گہرا، تيز ڪنڊو هوندو آهي.کڏڻخرابيون. اهي رگڙيندڙ تبديليون خراب فلٽريشن جي ڪري ٿي سگهن ٿيون، وڏي سائيز جي مجموعن ($0.5\ \mu m$ کان وڌيڪ ذرات) کي گذرڻ جي اجازت ڏين ٿيون، خراب پارٽيڪل سسپنشن جي نتيجي ۾. مانيٽرنگ ڊينسٽي پارٽيڪل ڪائونٽرن کي هڪ اهم، مڪمل وارننگ سسٽم فراهم ڪري ٿي، پروسيس انجنيئرن کي رگڙيندڙ ڪلسٽرنگ جي شروعات کي ڳولڻ ۽ رگڙيندڙ لوڊ کي مستحڪم ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿي.
خراب پارٽيڪل سسپنشن مان باقيات جي ٺهڻ:جڏهن معطلي غير مستحڪم هوندي آهي، جنهن جي نتيجي ۾ اعليٰ کثافت گريڊيئنٽ پيدا ٿيندا آهن، ته پوءِ مضبوط مواد وهڪري جي جوڙجڪ ۾ جمع ٿيڻ جو رجحان رکندو آهي، جنهن جي نتيجي ۾ کثافت واري لهرون ۽ ورڇ واري نظام ۾ مواد جي مجموعي پيدا ٿيندي آهي.17وڌيڪ، پالش ڪرڻ دوران، سلوري کي ڪيميائي رد عمل جي شين ۽ ميڪيڪل لباس جي ملبي کي مؤثر طريقي سان کڻڻ گهرجي. جيڪڏهن عدم استحڪام جي ڪري ذرڙن جي معطلي يا فلوئڊ ڊائنامڪس خراب آهن، ته اهي باقيات ويفر جي مٿاڇري تان موثر طريقي سان نه هٽايا ويندا آهن، جنهن جي نتيجي ۾ پوسٽ-سي ايم پي ذرڙا ۽ ڪيميائيباقياتخرابيون. مسلسل ريولوجيڪل نگراني ذريعي يقيني بڻايل مستحڪم پارٽيڪل سسپنشن، صاف، مسلسل مواد جي نيڪال لاءِ لازمي آهي.
وڌيڪ کثافت ميٽرن بابت سکو
وڌيڪ آن لائن پروسيس ميٽر
4. ان لائن ميٽرولوجي جي ٽيڪنيڪل برتري
لون ميٽر ان لائن ڊينسيٽوميٽر ۽ ويسڪوميٽر
غير مستحڪم سي ايم پي عمل کي ڪاميابي سان مستحڪم ڪرڻ لاءِ، سلري هيلٿ پيرا ميٽرز جي مسلسل، غير ناگوار ماپ ضروري آهي.لون ميٽر ان لائن ڊينسيٽوميٽر ۽ ويسڪوميٽرروايتي، ليٽيسي-پروون ميٽرولوجي ڊوائيسز جي مقابلي ۾ اعليٰ ڪارڪردگي فراهم ڪندي، انتهائي ترقي يافته گونج سينسر ٽيڪنالاجي کي استعمال ڪريو. هي صلاحيت سڌي طرح وهڪري جي رستي ۾ ضم ٿيل بيحد ۽ مسلسل کثافت جي نگراني کي قابل بڻائي ٿي، جيڪا جديد ذيلي 28nm پروسيس نوڊس جي سخت پاڪائي ۽ مرکب جي درستگي جي معيارن کي پورو ڪرڻ لاءِ اهم آهي.
انهن جي بنيادي ٽيڪنالاجي اصولن، ماپ جي درستگي، جوابي رفتار، استحڪام، سخت سي ايم پي ماحول ۾ اعتبار جي تفصيل سان بيان ڪريو، ۽ انهن کي روايتي آف لائن طريقن کان الڳ ڪريو.
اثرائتي عمل جي خودڪاري لاءِ انجنيئر ٿيل سينسرز جي ضرورت هوندي آهي جيڪي تيز وهڪري، تيز دٻاءُ، ۽ رگڙيندڙ ڪيميائي نمائش جي متحرڪ حالتن ۾ قابل اعتماد طريقي سان ڪم ڪن، ڪنٽرول سسٽم لاءِ فوري موٽ فراهم ڪن.
بنيادي ٽيڪنالاجي اصول: گونج ڪندڙ فائدو
لون ميٽر جا اوزار مضبوط گونج ڪندڙ ٽيڪنالاجيون استعمال ڪن ٿا جيڪي خاص طور تي روايتي، تنگ بور يو-ٽيوب ڊينسيٽوميٽر جي موروثي ڪمزورين کي گهٽائڻ لاءِ ٺهيل آهن، جيڪي ابريسيو ڪولائيڊل سسپنشن سان ان لائن استعمال لاءِ بدنام طور تي مسئلا آهن.
کثافت جي ماپ:جيگندگي جي کثافت ميٽرهڪ مڪمل طور تي ويلڊ ٿيل وائبريٽنگ عنصر، عام طور تي هڪ فورڪ اسيمبلي يا هڪ ڪو-ايڪسيل ريزونيٽر استعمال ڪري ٿو. هي عنصر پائيزو-اليڪٽرڪ طور تي متحرڪ ٿئي ٿو ته جيئن ان جي خاصيت واري قدرتي فريڪوئنسي تي oscillate ٿئي. چوڌاري سيال جي کثافت ۾ تبديليون هن قدرتي فريڪوئنسي ۾ هڪ صحيح تبديلي جو سبب بڻجن ٿيون، جنهن جي ڪري سڌي ۽ انتهائي قابل اعتماد کثافت جو تعين ممڪن ٿئي ٿو.
ويسڪوسيٽي ماپ:جيعمل ۾ سلري ويسڪوميٽرهڪ پائيدار سينسر استعمال ڪري ٿو جيڪو سيال اندر ڦرندو آهي. ڊيزائن يقيني بڻائي ٿي ته ويسڪوسيٽي جي ماپ کي بلڪ سيال جي وهڪري جي اثرن کان الڳ ڪيو ويو آهي، مواد جي ريولوجي جو هڪ اندروني ماپ فراهم ڪري ٿو.
آپريشنل ڪارڪردگي ۽ لچڪ
ان لائن گونج ميٽرولوجي سخت HVM ڪنٽرول لاءِ ضروري نازڪ ڪارڪردگي ميٽرڪس فراهم ڪري ٿي:
درستگي ۽ جوابي رفتار:ان لائن سسٽم اعليٰ ورجائي جي صلاحيت فراهم ڪن ٿا، اڪثر ڪري 0.001 g/cc تائين ويسڪوسيٽي ۽ کثافت جي درستگي لاءِ 0.1٪ کان بهتر حاصل ڪن ٿا. مضبوط عمل جي ڪنٽرول لاءِ، هي اعليٰدرستگي- ساڳئي قدر کي مسلسل ماپڻ ۽ قابل اعتماد طور تي ننڍڙن انحرافن کي ڳولڻ جي صلاحيت - اڪثر ڪري حد جي مطلق درستگي کان وڌيڪ قيمتي آهي. اهم طور تي، سگنلجوابي وقتانهن سينسرز لاءِ غير معمولي تيز آهي، عام طور تي تقريباً 5 سيڪنڊ. هي تقريبن فوري موٽ فوري طور تي غلطي جي ڳولا ۽ خودڪار بند لوپ ترتيبن جي اجازت ڏئي ٿي، سفر جي روڪٿام لاءِ هڪ بنيادي ضرورت.
سخت ماحول ۾ استحڪام ۽ اعتبار:سي ايم پي سلري فطري طور تي جارحاڻي آهن. جديد ان لائن اوزار لچڪ لاءِ ٺهيل آهن، پائپ لائنن ۾ سڌو سنئون چڙهڻ لاءِ مخصوص مواد ۽ ترتيبن کي استعمال ڪندي. اهي سينسر دٻاءُ جي وسيع رينج (مثال طور، 6.4 ايم پي اي تائين) ۽ گرمي پد (350 ℃ تائين) تي ڪم ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهن. غير يو-ٽيوب ڊيزائن ڊيڊ زونز ۽ رگڙندڙ ميڊيا سان لاڳاپيل بندش جي خطرن کي گھٽائي ٿو، سينسر اپ ٽائم ۽ آپريشنل اعتبار کي وڌ کان وڌ ڪري ٿو.
روايتي آف لائن طريقن کان فرق
خودڪار ان لائن سسٽم ۽ دستي آف لائن طريقن جي وچ ۾ فنڪشنل فرق رد عمل واري خرابي ڪنٽرول ۽ فعال عمل جي اصلاح جي وچ ۾ فرق کي بيان ڪن ٿا.
| نگراني جو معيار | آف لائن (ليب سيمپلنگ/يو-ٽيوب ڊينسيٽوميٽر) | ان لائن (لون ميٽر ڊينسٽوميٽر/ويسڪوميٽر) | عمل جو اثر |
| ماپ جي رفتار | دير سان (ڪلاڪ) | اصل وقت، مسلسل (جواب جو وقت اڪثر 5 سيڪنڊ) | بچاءُ واري، بند لوپ عمل ڪنٽرول کي فعال ڪري ٿو. |
| ڊيٽا جي مطابقت/درستگي | گھٽ (دستي غلطي لاءِ حساس، نموني جي گهٽتائي) | هاءِ (خودڪار، اعليٰ ورجائي قابليت/ درستگي) | سخت عمل ڪنٽرول حدون ۽ گھٽ غلط مثبت. |
| ڇڪڻ واري مطابقت | وڌيڪ بند ٿيڻ جو خطرو (تنگ يو-ٽيوب بور ڊيزائن) | گھٽ بند ٿيڻ جو خطرو (مضبوط، غير يو-ٽيوب گونج ڪندڙ ڊيزائن) | گھڙڻ واري ميڊيا ۾ سينسر جي اپ ٽائم ۽ اعتبار کي وڌايو ويو. |
| نقص جي ڳولا جي صلاحيت | رد عمل (ڪلاڪ اڳ ٿيل گهمڻ جو پتو لڳائي ٿو) | فعال (متحرڪ تبديلين جي نگراني ڪري ٿو، گهمڻ جي شروعات ۾ ڳولي ٿو) | تباهي ڪندڙ ويفر اسڪريپ ۽ پيداوار جي سفر کي روڪي ٿو. |
ٽيبل 3: تقابلي تجزيو: ان لائن بمقابله روايتي سلري ميٽرولوجي
روايتي آف لائن تجزيي لاءِ نموني ڪڍڻ ۽ نقل و حمل جي عمل جي ضرورت هوندي آهي، جيڪا فطري طور تي ميٽرولوجي لوپ ۾ اهم وقت جي دير کي متعارف ڪرائيندي آهي. هي دير، جيڪا ڪلاڪن تائين رهي سگهي ٿي، يقيني بڻائي ٿي ته جڏهن هڪ سفر آخرڪار معلوم ٿئي ٿو، ته ويفرز جو هڪ وڏو مقدار اڳ ۾ ئي خراب ٿي چڪو آهي. ان کان علاوه، دستي هينڊلنگ متغير کي متعارف ڪرائيندي آهي ۽ نموني جي خرابي کي خطرو ڪري ٿي، خاص طور تي نموني وٺڻ کان پوءِ گرمي پد جي تبديلين جي ڪري، جيڪا ويسڪوسيٽي ريڊنگ کي خراب ڪري سگهي ٿي.
ان لائن ميٽرولوجي هن ڪمزور ڪندڙ دير کي ختم ڪري ٿي، ورهائڻ واري لائن مان سڌو سنئون ڊيٽا جو هڪ مسلسل وهڪرو فراهم ڪري ٿي. هي رفتار غلطي جي ڳولا لاءِ بنيادي آهي؛ جڏهن رگڙيندڙ مواد لاءِ ضروري مضبوط، غير بند ٿيل ڊيزائن سان گڏ ڪيو ويندو آهي، ته اهو پوري ورهائڻ واري نظام کي مستحڪم ڪرڻ لاءِ هڪ قابل اعتماد ڊيٽا فيڊ فراهم ڪري ٿو. جڏهن ته CMP جي پيچيدگي ڪيترن ئي پيرا ميٽرز (جهڙوڪ ريفريڪٽو انڊيڪس يا پي ايڇ) جي نگراني ڪرڻ جو حڪم ڏئي ٿي، کثافت ۽ ويسڪوسيٽي رگڙيندڙ معطلي جي بنيادي جسماني استحڪام تي سڀ کان سڌو، حقيقي وقت جي موٽ فراهم ڪن ٿا، جيڪو اڪثر ڪري ڪيميائي بفرنگ جي ڪري پي ايڇ يا آڪسائيڊيشن-ريڊڪشن پوٽينشل (ORP) جهڙن پيرا ميٽرز ۾ تبديلين لاءِ غير حساس هوندو آهي.
5. اقتصادي ۽ عملي ضرورتون
حقيقي وقت جي کثافت ۽ ويسڪوسيٽي مانيٽرنگ جا فائدا
ڪنهن به ترقي يافته فيبريڪيشن لائن لاءِ جتيسيمي ڪنڊڪٽر عمل ۾ سي ايم پياستعمال ڪيو ويندو آهي، ڪاميابي مسلسل پيداوار جي بهتري، وڌ ۾ وڌ عمل جي استحڪام، ۽ سخت قيمت جي انتظام سان ماپي ويندي آهي. ريئل ٽائيم ريولوجيڪل مانيٽرنگ انهن تجارتي ضرورتن کي حاصل ڪرڻ لاءِ گهربل ضروري ڊيٽا انفراسٽرڪچر فراهم ڪري ٿي.
عمل جي استحڪام کي وڌائي ٿو
مسلسل، اعليٰ درستگي واري سلري مانيٽرنگ ضمانت ڏئي ٿي ته استعمال جي نقطي (POU) تائين پهچائيندڙ نازڪ سلري پيرا ميٽرز غير معمولي طور تي سخت ڪنٽرول جي حدن اندر رهن ٿا، اپ اسٽريم پروسيس شور جي پرواهه ڪرڻ کان سواءِ. مثال طور، ايندڙ خام سلري بيچز ۾ موجود کثافت ۾ تبديلي کي ڏنو ويو آهي، صرف هڪ ترڪيب تي عمل ڪرڻ ڪافي ناهي. حقيقي وقت ۾ بلينڊر ٽينڪ ۾ کثافت جي نگراني ڪندي، ڪنٽرول سسٽم متحرڪ طور تي ڊائليشن تناسب کي ترتيب ڏئي سگهي ٿو، يقيني بڻائي ٿو ته سڄي ملاوٽ جي عمل دوران صحيح ٽارگيٽ ڪنسنٽريشن برقرار رکيو وڃي. اهو غير مطابقت واري خام مال مان پيدا ٿيندڙ عمل جي تبديلي کي خاص طور تي گهٽائي ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ انتهائي متوقع پالش ڪارڪردگي ۽ مهانگي عمل جي سفر جي تعدد ۽ شدت کي ڊرامائي طور تي گهٽائي ٿو.
پيداوار وڌائي ٿو
غير مستحڪم سلري حالتن جي ڪري ٿيندڙ مشيني ۽ ڪيميائي ناڪامين کي سڌو سنئون حل ڪرڻ، فروغ ڏيڻ جو سڀ کان وڌيڪ اثرائتو طريقو آهيسي ايم پي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوارپيداوار جي شرح. اڳڪٿي ڪندڙ، حقيقي وقت جي نگراني نظام فعال طور تي اعليٰ قدر واري پيداوار جي حفاظت ڪن ٿا. اهڙن نظامن کي لاڳو ڪندڙ فيبرڪس اهم ڪاميابي کي دستاويز ڪيو آهي، جنهن ۾ خرابين جي فرار ۾ 25 سيڪڙو تائين گهٽتائي جون رپورٽون شامل آهن. هي بچاءُ واري صلاحيت آپريشنل پيراڊائم کي ناگزير خرابين تي رد عمل ڪرڻ کان انهن جي ٺهڻ کي فعال طور تي روڪڻ جي طرف منتقل ڪري ٿي، انهي ڪري لکين ڊالر جي ويفرز کي مائڪرو اسڪريچز ۽ غير مستحڪم ذرات جي آبادي جي ڪري ٿيندڙ ٻين نقصان کان بچائي ٿي. متحرڪ تبديلين جي نگراني ڪرڻ جي صلاحيت، جهڙوڪ اوچتو ويسڪوسيٽي ڊراپس سگنلنگ تھرمل يا شيئر اسٽريس، مداخلت کي قابل بڻائي ٿي ان کان اڳ جو اهي عنصر ڪيترن ئي ويفرز ۾ خرابين کي پکيڙي سگهن.
ٻيهر ڪم گھٽائي ٿو
پيداوارٻيهر ڪم ڪرڻشرح، جيڪا تيار ڪيل پيداوار جي فيصد جي طور تي بيان ڪئي وئي آهي جنهن کي غلطين يا خرابين جي ڪري ٻيهر پروسيسنگ جي ضرورت آهي، هڪ اهم KPI آهي جيڪو مجموعي پيداوار جي غير موثريت کي ماپيندو آهي. ٻيهر ڪم جي اعلي شرح قيمتي محنت، فضول مواد استعمال ڪري ٿي، ۽ ڪافي دير متعارف ڪرائي ٿي. ڇاڪاڻ ته ڊشنگ، غير يونيفارم هٽائڻ، ۽ ڇڪڻ جهڙا خرابيون ريولوجيڪل عدم استحڪام جا سڌي طرح نتيجا آهن، مسلسل کثافت ۽ ويسڪوسيٽي ڪنٽرول ذريعي سلري وهڪري کي مستحڪم ڪرڻ انهن نازڪ غلطين جي شروعات کي گهٽ ۾ گهٽ ڪري ٿو. عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ سان، مرمت يا ٻيهر پالش ڪرڻ جي ضرورت واري خرابين جي واقعن کي گهٽ ۾ گهٽ ڪيو ويندو آهي، جنهن جي نتيجي ۾ آپريشنل ٿرو پُٽ ۽ مجموعي طور تي ٽيم جي ڪارڪردگي ۾ اضافو ٿيندو آهي.
آپريشنل خرچن کي بهتر بڻائي ٿو
سي ايم پي سلري ٺاهڻ واري ماحول ۾ هڪ وڏي استعمال لائق قيمت جي نمائندگي ڪن ٿا. جڏهن عمل جي غير يقيني صورتحال ملاوٽ ۽ استعمال ۾ وسيع، قدامت پسند حفاظتي مارجن جي استعمال کي طئي ڪري ٿي، ته نتيجو غير موثر استعمال ۽ اعليٰ آپريشنل خرچ آهي. حقيقي وقت جي نگراني ٿلهي، صحيح سلري انتظام کي قابل بڻائي ٿي. مثال طور، مسلسل ڪنٽرول صحيح ملاوٽ جي تناسب جي اجازت ڏئي ٿو، پاڻي جي استعمال کي گھٽائڻ ۽ يقيني بڻائي ٿو ته مهانگوسي ايم پي سلري جي جوڙجڪبهتر طور تي استعمال ڪيو وڃي ٿو، مواد جي ضايع ٿيڻ ۽ آپريشنل خرچن کي گهٽائي ٿو. ان کان علاوه، حقيقي وقت جي ريولوجيڪل تشخيص سامان جي مسئلن جي شروعاتي خبرداري نشانيون مهيا ڪري سگھن ٿيون - جهڙوڪ پيڊ وير يا پمپ جي ناڪامي - جيڪا خرابي جي ڪري نازڪ سلري ايڪسڪروشن ۽ بعد ۾ آپريشنل ڊائون ٽائيم جو سبب بڻجڻ کان اڳ حالت تي ٻڌل سار سنڀال جي اجازت ڏئي ٿي.
مسلسل اعليٰ پيداوار واري پيداوار لاءِ سڀني نازڪ يونٽ جي عملن ۾ تبديلي کي ختم ڪرڻ جي ضرورت آهي. لون ميٽر گونج ٽيڪنالاجي ضروري مضبوطي، رفتار، ۽ درستگي فراهم ڪري ٿي ته جيئن سلري پهچائڻ واري انفراسٽرڪچر کي خطري کان بچائي سگهجي. حقيقي وقت جي کثافت ۽ ويسڪوسيٽي ڊيٽا کي ضم ڪرڻ سان، پروسيس انجنيئر مسلسل، قابل عمل ذهانت سان ليس آهن، پيش گوئي لائق پالشنگ ڪارڪردگي کي يقيني بڻائين ٿا ۽ ڪولائيڊل عدم استحڪام جي خلاف ويفر پيداوار جي حفاظت ڪن ٿا.
رد عمل واري پيداوار جي انتظام کان فعال عمل ڪنٽرول ڏانهن منتقلي شروع ڪرڻ لاءِ:
وڌ کان وڌ ڪريواپ ٽائيم ۽گھٽ ڪريوٻيهر ڪم:ڊائون لوڊ ڪريواسان جون ٽيڪنيڪل وضاحتون ۽شروعات ڪريواڄ جو هڪ آر ايف ڪيو.
اسين سينئر پروسيس ۽ يئلڊ انجنيئرن کي دعوت ڏيون ٿا تهجمع ڪرايوهڪ تفصيلي آر ايف ڪيو. اسان جا ٽيڪنيڪل ماهر هڪ صحيح عملدرآمد روڊ ميپ تيار ڪندا، توهان جي سلري ورهائڻ واري انفراسٽرڪچر ۾ اعليٰ درستگي واري لون ميٽر ٽيڪنالاجي کي ضم ڪندي خرابي جي کثافت ۽ سلري جي استعمال ۾ متوقع گهٽتائي جو اندازو لڳائي سگهندا.رابطواسان جي پروسيس آٽوميشن ٽيم هاڻيمحفوظتوهان جي پيداوار جو فائدو.دريافت ڪريوتوهان جي سڀ کان اهم پلانرائيزيشن مرحلي کي مستحڪم ڪرڻ لاءِ گهربل ضروري درستگي.
