سلڪون ويفر ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ ۾ ڪٽڻ وارو فلوئڊ فلو

ويفر ڪٽنگ آپريشنز ۾ سيال جي وهڪري جي ماپ

سلڪون ويفرز جي ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ ۾ ڪٽنگ فلوئڊ ڊليوري کي بهتر بڻائڻ لاءِ صحيح وهڪري جي شرح جي ماپ بنيادي آهي. سلڪون ويفر ڪٽنگ فلوئڊ جي اثرائتي سڌي طرح رابطي جي انٽرفيس تي ٿڌي، لوبريڪيشن، ۽ ملبي کي هٽائڻ کي شڪل ڏئي ٿي، ويفر جي مٿاڇري جي معيار، ڪرف نقصان، ۽ مجموعي پيداوار جي پيداوار تي اثر انداز ٿئي ٿي. ناکافي يا گهڻي وهڪري رگڙ جي افاديت کي تبديل ڪري ٿي، اوزار جي لباس کي وڌائي ٿي، ۽ غير مطابقت واري ويفر جي معيار يا وڌيڪ وسيلن جي قيمتن جو سبب بڻجي سگهي ٿي. تجرباتي تحقيق ظاهر ڪري ٿي ته عام سنگل وائر مشينن لاءِ ڪٽنگ فلوئڊ جي وهڪري جي شرح کي بهترين 0.15-0.25 L/min جي حد اندر برقرار رکڻ سان مٿاڇري جي خرابي (Ra) ۽ زير زمين نقصان کي گهٽائي سگهجي ٿو، ڇاڪاڻ ته ناکافي وهڪري مائڪرو ڪرڪس ۽ ملبي جي جمع ٿيڻ جو سبب بڻجي ٿي، جڏهن ته وڌيڪ وهڪري انتشار ۽ غير ضروري استعمال کي متعارف ڪرائي ٿي.

سيال جي وهڪري جي شرح جي ماپ کي ڪٽڻ لاءِ ٽيڪنالاجيون

ڪٽنگ فلوئڊ فلو ميٽر فلوئڊ سپلائي لائينن ۾ ضم ٿي ويندا آهن، حقيقي وقت ۾ هيرن جي تار ڪٽڻ واري فلوئڊ جي پهچندڙ مقدار کي ماپيندا آهن. عام فلو ميٽر ٽيڪنالاجي ۾ ميڪيڪل، اليڪٽرانڪ، ۽ الٽراسونڪ قسم شامل آهن:

• مشيني وهڪري جا ميٽر، جهڙوڪ ٽربائن ۽ پيڊل ويل ڊيزائن، گردش ڪندڙ حصن کي استعمال ڪن ٿا جيڪي سيال جي وهڪري کان هٽيل آهن. اهي سادا ۽ مضبوط آهن پر رگڙندڙ سيال کان پائڻ لاءِ حساس آهن.
• اليڪٽرانڪ فلو ميٽر، خاص طور تي برقي مقناطيسي ڊيزائن، برقي مقناطيسي انڊڪشن جي اصولن کي استعمال ڪندي سيال جي رفتار کي ماپيندا آهن، جيڪي ڪنڊڪٽو سيال لاءِ قابل اعتماد، سار سنڀال-روشني آپريشن پيش ڪن ٿا.
• الٽراسونڪ فلو ميٽر پائپ ۾ منتقل ۽ وصول ٿيندڙ اعليٰ فريڪوئنسي آواز جي لهرن کي استعمال ڪن ٿا. وهڪري سان ۽ ان جي خلاف آواز جي منتقلي جي وقت جي فرق کي ماپڻ سان، اهي ڊوائيس مختلف ويفر ڪٽڻ واري سيال جي قسمن لاءِ مناسب غير مداخلت ڪندڙ، صحيح ماپ فراهم ڪن ٿا.

ڪوريولس ماس فلو ماپ انهن ايپليڪيشنن ۾ نمايان آهي جتي فلوئڊ ماس جو صحيح ڪنٽرول گهربل آهي، ويسڪوسيٽي يا گرمي پد جي تبديلين کان سواءِ. ڪوريولس ماس فلو سينسرز ڪوريولس اثر جي بنياد تي ماس فلو ريٽ کي سڌو سنئون ماپيندا آهن، پاڻي تي ٻڌل ۽ تيل تي ٻڌل هيرن جي تار ڪٽڻ واري فلوئڊ ٻنهي لاءِ اعليٰ درستگي ۽ موزونيت فراهم ڪندا آهن. لون ميٽر ان لائن کثافت ۽ ويسڪوسيٽي ميٽر تيار ڪري ٿو، جيڪي سلڪون ويفر ڪٽڻ ۾ مستقل مزاجي ۽ بهترين عمل ڪنٽرول لاءِ فلوئڊ ملڪيتن جي نگراني کي وڌيڪ فعال ڪن ٿا.

نازڪ ماپ جا پيرا ميٽر ۽ سينسر جي جڳهه

ويفر ڪٽنگ ۾ ڪٽڻ واري سيال جي وهڪري جي صحيح ماپ لاءِ ڪيترن ئي اهم پيرا ميٽرز تي ڌيان ڏيڻ جي ضرورت آهي:

• وهڪري جي شرح (ليٽر/منٽ): عمل جي اصلاح ۽ معيار جي ضمانت لاءِ بنيادي ماپ.
• کثافت ۽ ويسڪوسيٽي: ٻئي خاص طور تي ٿڌي ڪارڪردگي، رگڙندڙ ٽرانسپورٽ، ۽ ملبي جي صفائي کي متاثر ڪن ٿا.
• گرمي پد: ڪٽ واري جاءِ تي ويسڪوسيٽي ۽ سيال رويي کي متاثر ڪري ٿو.

سينسر جي جاءِ اهم آهي. وهڪري جي ماپ جا سينسر سڌو سنئون فلوئڊ ڊليوري لائن ۾ ڪٽنگ زون جي ويجهو هجڻ گهرجن ته جيئن ڪٽ انٽرفيس کان اڳ پائپنگ مزاحمت، ليڪيج، يا بخارات جي ڪري پيدا ٿيندڙ تضادن کي گهٽائي سگهجي. ريئل ٽائيم ان لائن ماپ يقيني بڻائي ٿي ته رپورٽ ٿيل وهڪري جي قيمت هيرن جي تار ڪٽڻ واري علائقي کي اصل فراهمي سان ملي ٿي.

بهترين ڪٽڻ واري ماحول کي برقرار رکڻ ۾ وهڪري جي ماپ جو ڪم

صنعتي سلڪون ويفر ڪٽنگ ۾ فلوئڊ ڊليوري جي حقيقي وقت جي نگراني ۽ موافقت واري ڪنٽرول لاءِ وهڪري جي ماپ جا سينسر ضروري آهن. هڪ بهترين وهڪري جي شرح کي برقرار رکڻ سان مناسب گرمي جي ضايع ٿيڻ، مسلسل ملبي جي نيڪال، ۽ هيرن جي تار سان گڏ هڪجهڙائي واري لوبريڪيشن کي يقيني بڻائي ٿو. ان کان سواءِ، عمل جي استحڪام ۾ گهٽتائي اچي ٿي، تار جي زندگي گهٽجي ٿي، ۽ پيداوار کي سطح جي خرابين يا گهڻي ڪرف نقصان جي وڌندڙ خطري جي ڪري نقصان پهچندو آهي.

ٻين موٽ جي پيرا ميٽرز (مثال طور، تار جي رفتار، فيڊ جي شرح) سان اعليٰ درستگي واري وهڪري جي شرح جي ماپ کي ضم ڪرڻ سان، ٺاهيندڙ عمل جي حد جي موافقت واري ڪنٽرول کي لاڳو ڪري سگهن ٿا، وهڪري جي شرح جي ترتيب کي سڌو سنئون مشاهدو ڪيل ڪٽنگ ڪارڪردگي سان ڳنڍيندا آهن. نتيجي طور، پروگرام ٿيل وهڪري جي لفافي مان ڪو به انحراف فوري طور تي اصلاحي عمل کي شروع ڪري ٿو، عمل جي معيار ۽ وسيلن جي ڪارڪردگي ٻنهي کي محفوظ بڻائي ٿو.

خلاصو، صنعتي ڪٽنگ فلوئڊ فلو ماپ - مضبوط وهڪري جي ماپ سينسرز ۽ ريئل ٽائيم ڊيٽا تي ڀروسو ڪندي - هيرن جي تار ڪٽڻ واري دور ۾ اعليٰ پيداوار، قيمتي اثرائتي سلڪون ويفر جي پيداوار لاءِ بنياد جي طور تي ڪم ڪري ٿي.

ڪوريولس ماس فلو ماپ: اصول ۽ استعمال

ڪوريولس ماس فلو جي ماپ وائبريٽنگ ٽيوبن ذريعي مائع جي حرڪت ذريعي استعمال ٿيندڙ قوت کي ڳولڻ تي ٻڌل آهي. جيئن ته سيال وهندو آهي - جهڙوڪ ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ فلوئڊ يا خاص سلڪون ويفر ڪٽنگ فلوئڊ - ٽيوب هڪ ننڍڙي، ماپيبل فيز شفٽ جو تجربو ڪندا آهن. هي شفٽ ماس فلو جي شرح جي متناسب آهي، جيڪا ڪٽنگ فلوئڊ جي ماس جي سڌي، حقيقي وقت جي مقدار فراهم ڪري ٿي. ساڳيو اصول سيال جي کثافت جي هڪ ئي وقت ماپ جي اجازت ڏئي ٿو، تبديل ٿيندڙ سيال جي قسمن، ساختن، ۽ گرمي پد ۾ اعلي درستگي جي حمايت ڪري ٿو - سلڪون ويفر جي پيداوار ۽ ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ ايپليڪيشنن ۾ هڪ اهم ضرورت.

ويفر ڪٽڻ واري فلوئڊ جي قسمن لاءِ هن طريقي جا فائدا، خاص طور تي جڏهن اعليٰ ڪارڪردگي واري هيرن جي تار ڪٽڻ واري فلوئڊ استعمال ڪندي، اهم آهن. ڪوريولس وهڪري جي ماپ فلوئڊ ويسڪوسيٽي ۽ ساخت جي تبديلين کان آزاد آهي، سلڪون ويفرز لاءِ ڪٽڻ واري فلوئڊ ۾ اڪثر ملندڙ رگڙيندڙ ذرڙن، نانو-اضافي، يا غير متفاوت مرکبن جي موجودگي جي وچ ۾ انتهائي صحيح رهي ٿي. هي مضبوطي ان کي روايتي وولوميٽرڪ وهڪري جي طريقن کان بهتر بڻائي ٿي، جيڪي بلبلن، معطل ٿيل ذرات، ۽ ترقي يافته ڪٽڻ واري فلوئڊ جي تبديل ٿيندڙ جسماني ملڪيتن کان متاثر ٿي سگهن ٿا.

سيمي ڪنڊڪٽر ويفر ڪٽنگ سلڪون ويفرز لاءِ ڪٽنگ فلوئڊ جي قابل اعتماد نگراني کي يقيني بڻائڻ لاءِ جديد فلوئڊ فلو سينسر ٽيڪنالاجي تي وڌيڪ انحصار ڪري ٿي. ڪوريولس اثر کي استعمال ڪندي لون ميٽر ان لائن ماس فلو سينسر سڌو سنئون پروسيس لائنن ۾ لاڳو ڪيا ويندا آهن. هي ويفر سلائسنگ دوران نانو فلوئڊ ۽ ڊائمنڊ وائر ڪٽنگ فلوئڊ جي صحيح ترسيل ۽ نگراني کي قابل بڻائي ٿو. فلوئڊ جي خرابي، مرکب جي عدم مطابقت، يا کثافت جي شفٽ جا نشان فوري طور تي معلوم ڪيا ويندا آهن، پروسيس جي پيداوار ۽ سطح جي معيار کي برقرار رکڻ لاءِ فوري ڪنٽرول مداخلت جي اجازت ڏين ٿا.

ڪوريولس ماس فلو سينسرز جو مقابلو ٻين ڪٽنگ فلوئڊ مانيٽرنگ سينسرز سان ڪرڻ - جهڙوڪ ٿرمل، اليڪٽرو ميگنيٽڪ، يا الٽراسونڪ فلو سسٽم - ڪيتريون ئي خوبيون ظاهر ڪري ٿو. ڪوريولس ماس فلو سينسرز اعليٰ درستگي واري وهڪري جي ماپ ۾ شاندار آهن ۽ ويسڪوسيٽي جي اتار چڙهاؤ يا مقناطيسي خاصيتن کان متاثر نه ٿيندڙ ماس تي ٻڌل ريڊنگ پهچائين ٿا. برقي مقناطيسي ۽ الٽراسونڪ ميٽر نانو پارٽيڪلز، ايئر پاڪيٽ، يا منٽ ڊينسٽي تبديلين تي مشتمل ڪٽنگ فلوئڊ مرکبن سان جدوجهد ڪن ٿا، جيڪي اڪثر ڪري ناقابل اعتبار وهڪري جي شرح جي ماپ ۽ سار سنڀال جي فريڪوئنسي ۾ واڌ جو سبب بڻجن ٿا.

ڪوريولس فلو ميٽر جي درستگي کي تبديل ٿيندڙ فلوئڊ ڪمپوزيشن جي تحت برقرار رکيو ويندو آهي، ڇاڪاڻ ته سگنل پروسيسنگ ۽ گرمي پد جي معاوضي جون اسڪيمون شور ۽ ماحولياتي تبديلين کي موثر طريقي سان فلٽر ڪن ٿيون. آپريٽر مختلف ويفر ڪٽنگ فلوئڊ قسمن ۽ نانو فلوئڊ مرکبن جي متنوع خاصيتن جو جواب ڏيندي، کولنگ، لوبريڪيشن، ۽ پارٽيڪيوليٽ هٽائڻ کي بهتر بڻائڻ لاءِ ريئل ٽائيم ڊيٽا استعمال ڪري سگهن ٿا.

ڪوريولس ماس فلو ماپ جي الٽرا پتلي تار ساونگ ۽ نانو ذرات سان ڪٽڻ واري فلوئڊس سان موافقت صنعتي نگراني ۾ هڪ تبديلي جي نشاندهي ڪري ٿي. سينسر قابل اعتماد طور تي حقيقي ماس فلو ۽ کثافت کي ماپيندا آهن، ذرڙن جي مواد يا فلوئڊ هيٽروجينيٽي جي پرواهه ڪرڻ کان سواءِ، بند لوپ ڪنٽرول ۽ ويفر ڪٽنگ لاءِ تيار ڪيل خودڪار فلوئڊ مئنيجمينٽ کي فعال بڻائيندا آهن. اعليٰ درستگي واري وهڪري جي ماپ جي هي سطح عمل جي استحڪام کي برقرار رکڻ، مواد جي نقصان کي گهٽائڻ، ۽ سلڪون ويفر ٺاھڻ ۽ ڊائمنڊ وائر ڪٽڻ جي عملن دوران سطح جي سالميت کي محفوظ ڪرڻ لاءِ مرڪزي حيثيت رکي ٿي.