د سیلیکون ویفر الماس تار پرې کولو کې د جریان اندازه کول اړین دي، ځکه چې دا د تار-ویفر انٹرفیس ته د پرې کولو مایعاتو دقیق تحویلي تضمینوي - د غوره یخولو، غوړولو او کثافاتو لرې کولو ساتلو لپاره خورا مهم دي.Rد وخت په تیریدو سره د جریان معلومات د ناکافي یا ډیر مایع رسولو مخه نیسي، کوم چې په بل ډول به د ډیر تودوخې، د تار ماتیدو، د سطحې نیمګړتیاو، یا ضایع کیدو لامل شي. دقیق اندازه کول د پروسې تغیر کموي، د ویفر فلیټنس او د سطحې بشپړتیا ساتي، د تار عمر اوږدوي، او د سرچینو موثریت غوره کوي.
د سیلیکون ویفر پرې کولو عمومي کتنه او د پرې کولو مایعاتو رول
د الماس تار پرې کول د سیمیکمډکټر او فوتوولټیک غوښتنلیکونو لپاره د مونوکریسټالین او څو کریسټالین سیلیکون انګوټونو ټوټې کولو لپاره غالب تخنیک دی. پدې پروسه کې، د فولادو تار - معمولا 40-70 μm قطر - د الماس کثافاتو دانې سره پوښل کیږي. تار په لوړ سرعت حرکت کوي، او ځای پرځای شوي الماس سیلیکون د کثافاتو له لارې له مینځه وړي، د سطحې نیمګړتیاوې کموي او د ویفر یووالي ته وده ورکوي. په وروستیو کلونو کې معرفي شوي کم شوي قطر تارونه د کثافاتو ضایع کموي، کوم چې د ټوټې کولو عملیاتو په جریان کې د ښه سیلیکون ذراتو په توګه ضایع شوي موادو ته اشاره کوي. د کثافاتو ضایع د تار قطر او د کثافاتو دانې لوړوالي لخوا ټاکل کیږي چې د تار سطح څخه راوتلي دي.
د الماس تار پرې کول
*
د پرې کولو مایعات د الماس د تارونو په اره کولو کې ډیری مهم رول لوبوي. د دوی اصلي دنده د انګوټ او تار دواړو یخ کول دي، د ډیر تودوخې مخه نیسي چې کولی شي سیلیکون ته زیان ورسوي یا د تار ژوند کم کړي. دوی د پرې کولو پرمهال رامینځته شوي ښه سیلیکون ذرات هم مینځي، کوم چې د پاک انٹرفیس ساتلو کې مرسته کوي، د کثافاتو بیا ځای پرځای کیدو مخه نیسي، او په ویفر کې د سطحې مایکرو درزونه کموي. سربیره پردې، د پرې کولو مایعات پروسه غوړوي، د تار او سیلیکون ترمنځ رګ کموي، پدې توګه د تار عمر اوږدوي او د کټ کیفیت ښه کوي. د سیلیکون ویفر د پرې کولو مایعاتو جوړښت او فزیکي ملکیتونه - لکه واسکاسیټي او کثافت - باید په احتیاط سره اداره شي ترڅو یخولو، چپ لرې کولو، او د تار محافظت غوره کړي.
د ویفر پرې کولو مایعاتو ډیری ډولونه شتون لري، پشمول د اوبو پر بنسټ مایعات چې د غوړولو او ذراتو تعلیق لپاره اضافه کونکي لري. انتخاب د تجهیزاتو ډیزاین، ویفر مشخصاتو، او چاپیریالي محدودیتونو پورې اړه لري. مثالونه د سرفیکټینټ یا ګلایکول سره ډیونیز شوي اوبه شامل دي، چې د ټیټ پاتې شونو جوړښت سره د یخولو موثریت متوازن کولو لپاره جوړ شوي.
په عصري ویفر بوټو کې د الټرا پتلي الماس تارونو په لور پرمختګ د مایع رسولو او پروسې کنټرول کې ننګونې زیاتوي. لکه څنګه چې د تار قطرونه د 40 μm څخه ښکته کیږي، د تار ماتیدو خطر ډیریږي او د پروسې بدلون لپاره زغم سختیږي. د جریان دقیق اندازه کول - د ټیکنالوژیو لخوا ملاتړ کیږي لکه د مایع جریان میټرونو پرې کول، د لوړ دقیق جریان اندازه کولو سینسرونه، او د کوریولیس ډله ایز جریان سینسرونه - د مؤثره یخولو او کثافاتو لرې کولو ساتلو لپاره اړین دي. د مایع د څارنې سینسرونه او د صنعتي پرې کولو مایع جریان اندازه کولو حلونه آپریټرانو ته وړتیا ورکوي چې په ریښتیني وخت کې د جریان نرخونه تعقیب او تنظیم کړي، غوره غوړ او د سطحې کیفیت ترلاسه کړي. د کوریولیس جریان میټرونو دقت په ځانګړي ډول د مختلف کثافتونو او واسکوسیټیو سره د مایعاتو اداره کولو لپاره خورا مهم دی، د ثابت شرایطو ډاډ ترلاسه کول حتی د پرې کولو سرعت او د تار فشار زیاتیدو سره.
د دقت لپاره دې مخ په زیاتیدونکې غوښتنې تمرکز د متحرک مایع پیرامیټرونو لکه د جریان کچه، کثافت، او واسکاسیټي څارنې ته اړولی دی. د لون میټر په څیر وسایل د باور وړ، ریښتیني وخت اندازه کول چمتو کوي چې د پرمختللي الماس تار پرې کولو عملیاتو کې د کیفیت تضمین او پروسې اصلاح لپاره اړین دي. لکه څنګه چې د تار ټیکنالوژي پرمختګ ته دوام ورکوي، د قوي جریان اندازه کولو ټیکنالوژیو ادغام د ویفر تروپټ ساتلو، د کیرف ضایع کمولو، او د سیلیکون ویفر تولید سکتور لپاره د ښکته جریان پای ته رسولو اړتیاو کمولو لپاره لازمي دی.
د دقیق الماس تار پرې کولو کې د مایع رسولو ننګونې
د الټرا-نری سیلیکون ویفرونو د الماس تار پرې کولو کې - په ځانګړي توګه هغه چې د 40 µm څخه کم وي - د سلیس کولو انٹرفیس ته د سیلیکون ویفر پرې کولو مایع سم مقدار رسول یوه لویه ننګونه کیږي. لکه څنګه چې د تار ضخامت کمیږي، نو د مایع جریان لپاره ځای هم کمیږي. د غوړولو، د تودوخې کنټرول، او د تماس په نقطه کې د کثافاتو لرې کولو ډاډ ترلاسه کولو لپاره د دوامداره پرې کولو مایع رسولو ساتل خورا مهم دي.
د مایعاتو نامناسب یا ناکافي جریان په مستقیم ډول د ویفر جذب ته لار هواروي، چیرې چې ویفر د ناکافي غوړولو له امله په ناغوښتل شوي ډول تجهیزاتو سره تړل کیږي. دا نه یوازې د پرې کولو پروسه ګډوډوي بلکه د ویفر ماتیدو یا زیان خطر هم زیاتوي. د سطحې ناهموارۍ د پام وړ لوړیږي کله چې تار او ویفر د الماس تار پرې کولو مایع څخه دوامداره غوړ او یخ نه ترلاسه کوي. د زیانمنو شویو سطحو او مایکرو نیمګړتیاو په پایله کې د ویفر کیفیت او حاصل کمیږي، چې د سیمیکمډکټر او فوتوولټیک صنعتونو لپاره لوی خنډونه رامینځته کوي.
درې اصلي عوامل د مایکرو پیمانه د اره کولو تشې ته د مایع ننوتلو باندې تاثیر کوي: د تار جیومیټري، د پرې کولو سرعت، او د کیپلیري عمل. د تار جیومیټري - په ځانګړي توګه د تار قطر او د الماس دانو ویش - په مستقیم ډول اغیزه کوي چې د سیلیکون ویفر پرې کولو مایع څومره په اسانۍ سره جریان لري او د تماس زون ته غاړه ایږدي. کله چې د 40 µm څخه کم تارونه وکاروئ، د سطحې کوچنۍ ساحه د مایع آزاد حرکت محدودوي. د لوړ پرې کولو سرعت د مایع لپاره د لاسرسي او یخولو لپاره موجود وخت کموي، چې د ځایی تودوخې او ضعیف غوړیدو لامل کیږي. د کیپلیري عمل، د مایع طبیعي وړتیا چې تنګو ځایونو ته راښکته شي، د مایع ساتل په کلکه ټاکي. په هرصورت، ورته مایع پلونه چې د مایع لیږد ته وده ورکوي کولی شي د نږدې تارونو ترمنځ د کیپلیري چپکولو معرفي کړي، د غیر یونیفورم فشار او د ویفر ضخامت توپیر زیات کړي.
د پرمختللي ویفر پرې کولو مایع ډولونو معرفي کول - په شمول د نانو پارټیکل-پرمختللي حلونه - د اندازه کولو وړ پرمختګونه وړاندې کوي. هغه مایعات چې د SiO₂ یا SiC نانو پارټیکلونو سره انجینر شوي دي د مطلوب واسکوسیټي او سطحې تعامل له امله تنګ تشو ته په ډیر مؤثره توګه ننوځي. دا مایعات غوړول زیاتوي او تودوخه په ډیر مؤثره توګه لیږدوي، چې پایله یې د سطحې ټیټ ناهموارۍ او د ویفر فلیټنس ښه کول دي. څیړنې ښیې چې د نانو پارټیکل ډک مایعاتو کارول د ټوټې کولو پرمهال د تودوخې ساحه بدلوي، هغه فشارونه نور هم کموي چې د ویفر بشپړتیا ګواښوي. دا، د کیپلیري ټرانسپورټ پراخولو لپاره د الټراسونیک وایبریشن په څیر تخنیکونو سره یوځای، د الماس تار پرې کولو مایع تحویلي ته اجازه ورکوي.
د مایعاتو دوامداره تحویل دقیق، ریښتیني وخت څارنې او تنظیم ته اړتیا لري. د صنعتي قطع کولو د مایعاتو د جریان لوړ دقت اړین کیږي، په ځانګړي توګه په کلک کنټرول شوي پروسو کې. د قطع کولو د مایع جریان میټر پلي کول - لکه د لوړ دقت کوریولیس ډله ایز جریان اندازه کولو سینسر - د تحویل نرخ دقیق تنظیم کول فعالوي. د لون میټر انلاین کثافت او واسکاسیټي میټرونه، کله چې د دقیق جریان نرخ اندازه کولو وسیلو سره جوړه شي، د مایع رسولو غوره کولو کې مرسته کوي نو حتی تر ټولو پتلی ویفرونه په اسانۍ سره پرې کیږي، د لږترلږه عیب خطر سره.
د ویفر پرې کولو عملیاتو کې د مایع جریان اندازه کول
د سیلیکون ویفرونو د الماس تار پرې کولو کې د قطع کولو مایع رسولو د غوره کولو لپاره د جریان دقیق اندازه کول بنسټیز دي. د سیلیکون ویفر پرې کولو مایع اغیزمنتوب په مستقیم ډول د تماس انٹرفیس کې یخولو، غوړولو او کثافاتو لرې کولو ته شکل ورکوي، د ویفر سطحې کیفیت، د کیرف ضایع کیدو، او ټولیز تولید حاصل اغیزه کوي. ناکافي یا ډیر جریان د کثافاتو اغیزمنتوب بدلوي، د وسیلو اغوستل زیاتوي، او کولی شي د ویفر غیر متناسب کیفیت یا د سرچینو لوړ لګښتونه رامینځته کړي. تجربوي څیړنې ښیي چې د سطحې ناهموارۍ (Ra) او د سطحې لاندې زیان د عادي واحد تار ماشینونو لپاره د مطلوب 0.15-0.25 L/min حد کې د قطع کولو مایع جریان کچه ساتلو سره کم کیدی شي، ځکه چې ناکافي جریان د مایکرو کریکونو او کثافاتو راټولیدو لامل کیږي، پداسې حال کې چې ډیر جریان ګډوډي او غیر ضروري مصرف معرفي کوي.
د مایع جریان اندازه کولو لپاره ټیکنالوژي
د مایع جریان میټرونه د مایع رسولو لینونو کې مدغم کیږي، په ریښتیني وخت کې د الماس تار پرې کولو مایع تحویل شوي حجم اندازه کوي. د عام جریان میټر ټیکنالوژیو کې میخانیکي، بریښنایی او الټراسونیک ډولونه شامل دي:
- میخانیکي جریان میټرونه، لکه د توربین او پیډل ویل ډیزاینونه، د مایع جریان لخوا ځای په ځای شوي څرخیدونکي اجزا کاروي. دوی ساده او قوي دي مګر د کثافاتو ډک مایعاتو څخه د اغوستلو لپاره حساس دي.
- د برېښنايي جریان میټرونه، په ځانګړې توګه الکترومقناطیسي ډیزاینونه، د الکترومقناطیسي انډکشن اصولو په کارولو سره د مایع سرعت اندازه کوي، چې د لېږدونکي مایعاتو لپاره د باور وړ، ساتنې-رڼا عملیات وړاندې کوي.
- د الټراسونک جریان میټرونه د لوړ فریکونسۍ غږ څپې کاروي چې د پایپ له لارې لیږدول شوي او ترلاسه شوي. د جریان سره او په مقابل کې د غږ لیږد د وخت توپیر اندازه کولو سره، دا وسایل غیر مداخله کونکي، دقیق اندازه چمتو کوي چې د ویفر پرې کولو مایع ډولونو لپاره مناسب دي.
د کوریولیس ډله ایز جریان اندازه کول په هغو غوښتنلیکونو کې څرګندیږي چیرې چې د مایع ډله ایز دقیق کنټرول اړین وي، پرته له دې چې د واسکاسیټي یا تودوخې بدلونونه په پام کې ونیول شي. د کوریولیس ډله ایز جریان سینسرونه په مستقیم ډول د کوریولیس اغیزې پراساس د ډله ایز جریان کچه اندازه کوي، د اوبو پر بنسټ او د تیلو پر بنسټ د الماس تار پرې کولو مایعاتو لپاره لوړ دقت او مناسبیت چمتو کوي. لون میټر انلاین کثافت او واسکاسیټي میټرونه تولیدوي، کوم چې د سیلیکون ویفر پرې کولو کې د ثبات او غوره پروسې کنټرول لپاره د مایع ملکیتونو څارنه نوره هم فعالوي.
د جدي اندازه کولو پیرامیټرې او د سینسر ځای پرځای کول
د ویفر پرې کولو کې د مایع جریان د قطع کولو دقیق اندازه کول څو مهمو پیرامیټرو ته پاملرنې ته اړتیا لري:
- د جریان کچه (لیتر/منټه): د پروسې د اصلاح او کیفیت تضمین لپاره لومړنی اندازه.
- کثافت او واسکاسیټي: دواړه د یخولو فعالیت، د کثافاتو لیږد، او د کثافاتو پاکولو باندې د پام وړ اغیزه کوي.
- تودوخه: د پرې کولو په ځای کې د واسکاسیټي او مایع چلند اغیزه کوي.
د سینسر ځای پر ځای کول خورا مهم دي. د جریان اندازه کولو سینسرونه باید د مایع رسولو په لیکه کې د امکان تر حده د قطع کولو زون ته نږدې ځای پر ځای شي ترڅو د قطع کولو انٹرفیس دمخه د پایپ مقاومت، لیک یا تبخیر له امله توپیرونه کم کړي. د ریښتیني وخت انلاین اندازه کول ډاډ ورکوي چې د راپور شوي جریان ارزښت د الماس تار پرې کولو ساحې ته د حقیقي عرضې سره سمون لري.
د جریان اندازه کولو دنده د غوره پرې کولو چاپیریال ساتلو کې
د جریان اندازه کولو سینسرونه د صنعتي سیلیکون ویفر پرې کولو کې د مایع رسولو د ریښتیني وخت څارنې او تطبیقي کنټرول لپاره اړین دي. د جریان د مطلوبې کچې ساتل د الماس تار په اوږدو کې د تودوخې کافي ضایع کول، د کثافاتو دوامداره ایستل، او یونیفورم غوړ کول تضمینوي. پرته له دې، د پروسې ثبات کمیږي، د تار ژوند لنډیږي، او حاصلات د سطحې نیمګړتیاو یا د ډیر کیرف ضایع کیدو خطر له امله زیانمن کیږي.
د لوړ دقت د جریان کچه اندازه کول د نورو فیډبیک پیرامیټرو سره یوځای کولو سره (د بیلګې په توګه، د تار سرعت، د فیډ کچه)، تولیدونکي کولی شي د پروسې حد تطبیقي کنټرول پلي کړي، په مستقیم ډول د جریان کچه تنظیمات د مشاهده شوي قطع کولو فعالیت سره وصل کړي. په پایله کې، د پروګرام شوي جریان لفافې څخه هر ډول انحراف سمدستي اصلاحي عمل رامینځته کوي، د پروسې کیفیت او د سرچینو موثریت دواړه خوندي کوي.
په لنډه توګه، د صنعتي قطع کولو مایع جریان اندازه کول - د قوي جریان اندازه کولو سینسرونو او ریښتیني وخت معلوماتو پورې اړه لري - د الماس تار پرې کولو دور کې د لوړ حاصل لرونکي، ارزانه سیلیکون ویفر تولید لپاره د بنسټ ډبرې په توګه کار کوي.
د کوریولیس ډله ییز جریان اندازه کول: اصول او تطبیق
د کوریولیس ډله ایز جریان اندازه کول د هغه ځواک کشف کولو پر بنسټ والړ دي چې د مایع لخوا د حرکت کونکي ټیوبونو له لارې کارول کیږي. لکه څنګه چې مایع جریان کوي - لکه د الماس تار پرې کولو مایع یا ځانګړي سیلیکون ویفر پرې کولو مایع - ټیوبونه د کوچني، اندازه کولو وړ پړاو بدلون تجربه کوي. دا بدلون د ډله ایز جریان نرخ سره متناسب دی، د سپارل شوي پرې کولو مایع د ډله ایز مستقیم، ریښتیني وخت اندازه کول چمتو کوي. ورته اصل د مایع کثافت په ورته وخت کې اندازه کولو ته اجازه ورکوي، د بدلیدونکي مایع ډولونو، ترکیبونو او تودوخې کې د لوړ دقت ملاتړ کوي - د سیلیکون ویفر تولید او د الماس تار پرې کولو غوښتنلیکونو کې یوه مهمه اړتیا.
د ویفر پرې کولو مایع ډولونو لپاره د دې طریقې ګټې، په ځانګړې توګه کله چې د لوړ فعالیت الماس تار پرې کولو مایعاتو کارول کیږي، د پام وړ دي. د کوریولیس جریان اندازه کول د مایع واسکوسیټي او ترکیب بدلونونو څخه خپلواک دي، د سیلیکون ویفرونو لپاره د پرې کولو مایعاتو کې موندل شوي د کثافاتو ذراتو، نانو اضافه کونکو، یا متفاوت مخلوطونو شتون په مینځ کې خورا دقیق پاتې کیږي. دا قوي والی دا د دودیز حجمي جریان میتودونو څخه غوره کوي، کوم چې د بلبلونو، معطل شوي ذراتو، او د پرمختللي پرې کولو مایعاتو بدلیدونکي فزیکي ملکیتونو لخوا اغیزمن کیدی شي.
د سیمیکمډکټر ویفر پرې کول په زیاتیدونکي توګه د سیلیکون ویفرونو لپاره د پرې کولو مایع د باور وړ څارنې ډاډ ترلاسه کولو لپاره د پرمختللي مایع جریان سینسر ټیکنالوژۍ باندې تکیه کوي. د لون میټر انلاین ډله ایز جریان سینسرونه، چې د کوریولیس اغیز کاروي، په مستقیم ډول د پروسې لینونو کې پلي کیږي. دا د ویفر ټوټې کولو پرمهال د نانو مایع او الماس تار پرې کولو مایع دقیق تحویلي او نظارت ته اجازه ورکوي. د مایع تخریب، د مخلوط ناانډولۍ، یا د کثافت بدلون نښې په چټکۍ سره کشف کیږي، چې د پروسې حاصلات او د سطحې کیفیت ساتلو لپاره د سمدستي کنټرول مداخلو ته اجازه ورکوي.
د کوریولیس ډله ایز جریان سینسرونه د نورو قطع کولو مایع څارنې سینسرونو سره پرتله کول - لکه حرارتي، الکترومقناطیسي، یا الټراسونیک جریان سیسټمونه - ډیری قوتونه څرګندوي. د کوریولیس ډله ایز جریان سینسرونه د لوړ دقت جریان اندازه کولو کې غوره دي او د وزن پر بنسټ لوستل وړاندې کوي پرته له دې چې د واسکوسیټي بدلونونو یا مقناطیسي ملکیتونو څخه اغیزمن شي. الکترومقناطیسي او الټراسونیک میټرونه د قطع کولو مایع مخلوط سره مبارزه کوي چې نانو پارټیکلونه، د هوا جیبونه، یا دقیق کثافت توپیرونه لري، ډیری وختونه د غیر باوري جریان کچه اندازه کولو او د ساتنې فریکونسۍ زیاتوالي لامل کیږي.
د کوریولیس فلو میټر دقت د مایعاتو د بدلیدونکي ترکیبونو لاندې ساتل کیږي، ځکه چې د سیګنال پروسس کولو او د تودوخې د جبران سکیمونه په مؤثره توګه شور او چاپیریالي توپیرونه فلټر کوي. آپریټران کولی شي د ریښتیني وخت ډیټا څخه ګټه پورته کړي ترڅو د یخولو، غوړولو، او ذراتو لرې کولو غوره کړي، د مختلف ویفر پرې کولو مایع ډولونو او نانو فلوید مخلوطونو متنوع ملکیتونو ته ځواب ووایی.
د نانو ذراتو سره د تارونو د پرې کولو او پرې کولو مایعاتو سره د کوریولیس ډله ایز جریان اندازه کولو تطابق د صنعتي څارنې کې بدلون په ګوته کوي. سینسرونه په باوري ډول د ذراتو مینځپانګې یا د مایعاتو د توپیر پرته، د بند لوپ کنټرول او د ویفر پرې کولو لپاره د اتوماتیک مایع مدیریت فعالوي. د لوړ دقیق جریان اندازه کولو دا کچه د پروسې ثبات ساتلو، د موادو ضایع کمولو، او د سیلیکون ویفر جوړولو او د الماس تار پرې کولو پروسو په جریان کې د سطحې بشپړتیا خوندي کولو لپاره مرکزي ده.
د پروسې کنټرول کې د جریان اندازه کولو معلوماتو یوځای کول
د کوریولیس ډله ایز جریان سینسرونو په کارولو سره د ریښتیني وخت جریان اندازه کول د سیلیکون ویفرونو د الماس تار پرې کولو پرمهال د قطع کولو مایع مدیریت بدل کړی دی. انلاین کثافت او واسکاسیټي میټرونه، لکه د لون میټر لخوا تولید شوي، د مایع ملکیتونو او جریان نرخ سمدستي څارنه فعالوي، په مستقیم ډول د دقیق پروسې کنټرول ملاتړ کوي.
د الماس تار او سیلیکون ویفرونو د مؤثره یخولو، پاکولو او غوړولو لپاره د غوره جریان نرخ ساتل اړین دي. د کوریولیس ډله ایز جریان میټرونه پدې چاپیریال کې د ډله ایز جریان او مایع ځانګړتیاو په اړه د لوړ دقت، ریښتیني وخت فیډبیک چمتو کولو سره غوره دي. د دې معلوماتو سره، اتومات سیسټمونه کولی شي د پمپ سرعت، د والو موقعیتونه، یا د ریسایکل نرخونه تنظیم کړي ترڅو د ویفر پرې کولو مایع اړین حجم او جوړښت په سمه توګه وړاندې کړي. د مثال په توګه، د چټک پرې کولو دورې په جریان کې، د سینسر معلومات ممکن د کثافاتو لرې کولو او یخولو ښه کولو لپاره د مایع تحویلي زیات کړي، پداسې حال کې چې ورو دورې ممکن د ضایع کیدو څخه مخنیوي لپاره کم جریان ته اړتیا ولري.
د جریان اندازه کولو سینسرونو څخه فیډبیک د مایع بدلیدونکي شرایطو ته د ځواب ویلو لپاره هم خورا مهم دی. لکه څنګه چې د مایع واسکاسیټي یا کثافت بدلون مومي - د تودوخې بدلونونو یا ککړتیا له امله - د لون میټر انلاین میټرونه دا بدلونونه سمدلاسه کشف کوي، د کنټرول سیسټمونو ته اجازه ورکوي چې د جریان نرخونو تنظیم کولو یا د مایع فلټریشن پیل کولو سره جبران کړي. دا ګرانولر، د معلوماتو پرمخ وړل شوی چلند ډاډ ورکوي چې مایع د غوره پرې کولو فعالیت لپاره په سختو مشخصاتو کې پاتې کیږي.
په لوړ حجم چاپیریال کې، په ریښتیني وخت کې د قطع کولو مایع جریان نظارت او کنټرول کولو وړتیا د دوامداره ضخامت ملاتړ کوي او د قیمتي نیمګړتیاو پیښې کموي، لکه څنګه چې په آسیا او اروپا کې د مخکښو تولیدي لینونو کې ښودل شوي. د مایع پرمختللي مدیریت د وړاندوینې ساتنې ملاتړ هم کوي، د الماس تار عمر اوږدوي.
صنعتي عملیات د جریان کنټرول شوي پرې کولو مایع سیسټمونو څخه د پام وړ ګټه پورته کوي. د مایعاتو اغیزمن مدیریت د مصرف او ضایع کیدو لګښتونه کموي د دې ډاډ ترلاسه کولو سره چې د هر ویفر لپاره کافي مایع کارول کیږي، د پایښت او تنظیمي اطاعت ملاتړ کوي. د مایعاتو ضایعاتو کې کمښت - د سینسر معلوماتو پراساس د دوامداره فیډبیک او تنظیم لخوا فعال شوی - د عملیاتي لګښتونو کمولو او د چاپیریال ساتنې کمولو ته ژباړل کیږي.
په لنډه توګه، د ریښتیني وخت جریان اندازه کولو معلوماتو ادغام، چې د لون میټر انلاین حلونو لخوا فعال شوی، نه یوازې د ویفر کیفیت تضمین لپاره یو بنسټ دی بلکه د الماس تار پرې کولو پروسې لپاره عملیاتي ګټه هم ده. دا د سطحې پای، میخانیکي اعتبار، د تولید حاصل، او د لګښت اغیزمنتوب کې د اندازه کولو وړ پرمختګونه وړاندې کوي.
تجربوي بصیرتونه او صنعتي لارښوونې
وروستیو تجربوي مطالعاتو د سیلیکون ویفرونو د الماس تار پرې کولو لپاره د مایع رسولو غوره طریقې بیا تنظیم کړې دي. څیړنې ښیي چې په دقیق ډول اداره شوي د پرې کولو مایع رسولو، په ځانګړې توګه د پرمختللي تخنیکونو په کارولو سره، په مستقیم ډول د ټیټ ویفر جذب او د سطحې غوره کیفیت سره تړاو لري.
د مایعاتو په رسولو کې د الټراسونیک کیپلیري اغیزې کارول د لوبې بدلونکي په توګه راڅرګند شوي دي. الټراسونیک څپې د مایع پرې کول د الټرا پتلي کرفونو ته ژور لیږدوي - په ځانګړي توګه په هغو سیمو کې چې د 50 μm څخه کم وي - چیرې چې د عرضې دودیز میتودونه ډیری وختونه ناکام کیږي. دا ښه شوی نفوذ د ویفر سطحې ته د کثافاتو ذراتو او کثافاتو جذب په پام وړ ډول کموي. تجربوي ازموینې ښیې چې د الټراسونیک په مرسته د مایعاتو رسولو سره مخ شوي ویفرونه د سطحې نیمګړتیاوې په اندازه کولو سره لږ ښیې، پدې توګه د ښکته جریان پروسو کې لوړ حاصل او اعتبار.
د مایع رسولو په کمولو کې د الټراسونیک لوړولو او نانو مایع ټیکنالوژیو دواړو ګټو اعظمي کولو لپاره د پیرامیټر اصلاح کول خورا مهم دي. کلیدي پیرامیټرونه پدې کې شامل دي:
- د پلیټ واټن: د مایع زیرمې او د پرې کولو زون ترمنځ واټن باید د مایع د غوره زیاتوالي لپاره کم شي.
- د الټراسونک ټرانسډوسر موقعیت او تنظیم موازيتوب: په واضح ډول تعریف شوی جیومیټري د څپو یونیفورم لیږد او د کیپیلري عمل ډاډمن کوي.
- د مایع تودوخه: کنټرول شوی تودوخه د مایع حرکت او د کیپیلري موثریت زیاتوي.
- د الټراسونک د استعمال موده او فریکونسي: مناسب وخت د ډیر تودوخې مخه نیسي پداسې حال کې چې نفوذ اعظمي کوي.
- د مایع ډول انتخاب: مختلف اساس مایعات او اضافه کونکي د الټراسونیک محرک ته په ځانګړي ډول ځواب ورکوي.
د نانو فلوید ټیکنالوژي یو بل لوی پرمختګ معرفي کوي. د SiO2 او SiC په څیر د نانو پارټیکلونو سره ګډ شوي د پرې کولو مایعات د تودوخې چالکتیا او غوړولو ښه والی ښیې. دا تعدیل د ډیر اغیزمن یخولو، د کثافاتو لرې کولو او د ویفر سطحې ناهموارۍ کمولو لامل کیږي. معلومات ښیې چې مخلوط نانو-پارټیکل فورمولونه همغږي پرمختګونه وړاندې کوي، د جنګ پاڼه نوره هم کموي او د واحد ډول یا دودیزو پرې کولو مایعاتو په پرتله غوره ویفر مورفولوژي تولیدوي.
هغه تولیدونکي چې غواړي د خپل پرې کولو مایع موثریت غوره کړي کولی شي لاندې عملیاتي لارښوونې پلي کړي:
- د قطع کولو مایع ثبات څارلو او کنټرولولو لپاره د انلاین کثافت میټرونو او ویسکوسیټي میټرونو (لکه د لون میټرونو څخه) وکاروئ، ډاډ ترلاسه کړئ چې د جریان ملکیتونه د الټراسونک او نانو مرستې لپاره مثالي پاتې کیږي.
- د لوړ دقت د جریان اندازه کولو سینسر په کارولو سره د قطع کولو مایع جریان کچه وڅارئ او تنظیم یې کړئ. د کوریولیس ډله ایز جریان اندازه کول په ځانګړي ډول د صنعتي قطع کولو مایع جریان اندازه کولو لپاره ګټور دي، چې د کثافت او حجم دواړو لپاره ریښتیني وخت دقت وړاندې کوي.
- د جریان اندازه کولو سینسرونه په منظم ډول کیلیبریټ کړئ ترڅو د باور وړ لوستلو ساتنه وشي، چې د دوامداره ویفر پروسس لپاره خورا مهم دي.
- د ویفر پرې کولو مایع ډولونه او د نانو ذراتو غلظت غوره کړئ چې د ځانګړي ویفر اندازې، د الماس تار ځانګړتیاو، او عملیاتي چاپیریال سره سمون لري.
پرتلیزې مطالعې تاییدوي چې د واحد فکتور پیرامیټر بدلونونه - لکه د تار سرعت زیاتول یا د فیډ نرخ تنظیم کول - د تار اغوستلو، د سطحې ناهموارۍ، او د ټول ضخامت توپیر (TTV) کې بدلونونو سره تړاو لري. د جریان دقت ساتل او د چټک، ځواب ویونکي مایع رسولو دواړه د نیمګړتیاوو کمولو او د تار ژوند اوږدولو لپاره حیاتي دي.
پوښتل شوې پوښتنې
د سیلیکون ویفر پرې کولو مایع څنګه د الماس تار پرې کولو فعالیت ښه کوي؟
د سیلیکون ویفر پرې کولو مایع د الماس تار پرې کولو کې د غوړ او سړونکي په توګه کار کوي. د دې اصلي دنده د رګونو کمول او د تار-ویفر انٹرفیس کې رامینځته شوي تودوخې له مینځه وړل دي. ټیټ رګونه او تودوخه مایکرو کریکونه او د سطحې سکریچونه کموي، کوم چې کولی شي د ویفر زیان او د ټول حاصل کمولو لامل شي. مایع د پرې کولو ساحې څخه کثافات هم لیږدوي، د الماس تار او ویفر سطح پاک ساتي. د ذراتو دا دوامداره لرې کول د نرم ویفر سطحو پایله لري او د دوامداره، لوړ کیفیت تولید ملاتړ کوي. د مثال په توګه، د SiO₂ او SiC نانو پارټیکلونو سره پرمختللي نانو پرې کولو مایعات کولی شي د کیرف ژور ته ننوځي، د سطحې ناهموارۍ او د ویفر وارپاج کم کړي، د سیمیکمډکټر کارولو لپاره د ویفر محصول نور هم ښه کړي.
د پرې کولو مایع جریان میټر څه شی دی، او ولې دا د ویفر ارې کولو کې مهم دی؟
د پرې کولو مایع جریان میټر د اره کولو زون ته د ورکړل شوي مایع دقیق مقدار اندازه کوي. د دقیق جریان ساتل د کافي غوړولو، تودوخې ضایع کیدو، او د کثافاتو پاکولو لپاره خورا مهم دي. که جریان ډیر ټیټ وي، تار ډیر ګرم کیږي یا کثافات راټولوي، چې د سکریچونو او ماتیدو لامل کیږي. ډیر جریان کولی شي مایع ضایع کړي او د فشار عدم توازن رامینځته کړي، د ویفر فلیټنس او د وسیلې ژوند اغیزمن کوي. د پرې کولو مایع جریان میټرونه، لکه د انلاین کثافت میټرونه او د لون میټر لخوا تولید شوي واسکاسیټي میټرونه، چلونکو سره مرسته کوي چې په ریښتیني وخت کې عرضه وڅاري او تنظیم کړي. دا ډاډ ورکوي چې پروسه په غوره پیرامیټرو کې پاتې کیږي، د ویفر حاصل اعظمي کوي او د وسیلې اغوستل کموي.
د کوریولیس ډله ایز جریان اندازه کول د سیلیکون ویفر پرې کولو مایع کنټرول ته څنګه ګټه رسوي؟
د سیلیکون ویفر تولید کې د لوړ دقت جریان اندازه کولو لپاره د کوریولیس ډله ایز جریان اندازه کول ارزښتناک دي. د دودیزو جریان میټرونو برعکس، د کوریولیس سینسرونه په مستقیم ډول د مایع واسکاسیټي، کثافت، یا د تودوخې توپیرونو په پام کې نیولو پرته د ډله ایز جریان اندازه کوي. دا ځانګړتیا د مختلفو ویفر پرې کولو مایع ډولونو دقیق څارنه فعالوي، په شمول د نانو پارټیکلونو سره. پایله د پرې کولو مایع په سمه کچه دوامداره تحویلي، د پروسې بدلونونو سره سره د مستحکم غوړ او یخ ساتل دي. دا ګټې په مستقیم ډول د الماس تار پرې کولو غوښتنلیکونو کې د غوره ویفر کیفیت سره مرسته کوي، چیرې چې دقیق کنټرول نیمګړتیاوې کموي او تولید غوره کوي.
کوم عوامل د الماس تار آری غوښتنلیکونو کې د جریان کچه اندازه کولو اغیزه کوي؟
د جریان دقیق اندازه کول په څو متقابل متغیرونو پورې اړه لري. د سینسر انتخاب کلیدي دی؛ د مثال په توګه، د کوریولیس ډله ایز جریان سینسرونه حتی د ویسکوس یا ذراتو ډک مایعاتو لپاره د اعتبار وړ معلومات چمتو کوي. د مایع ترکیب - لکه د نانو پارټیکلونو شتون - ممکن د ویسکوسیت او کثافت بدل کړي او د سینسر کیلیبریشن اړتیاوې اغیزمنې کړي. د تار قطر او د پرې کولو سرعت هم اغیزه کوي چې د مؤثره یخولو او کثافاتو لرې کولو لپاره څومره مایع ته اړتیا ده. د هرې ځانګړې پروسې لپاره کیلیبریشن اړین دی ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې سینسر ریښتیني ارزښتونه لوستل کیږي، ډاډ ترلاسه کوي چې د هرې بیچ لپاره د پرې کولو مایع سمه اندازه کارول کیږي.
آیا د سیلیکون ویفر پرې کولو پرمهال د نانو مایعاتو او الټراسونیک تخنیکونو د مایع نفوذ زیاتولی شي؟
څیړنې ښیي چې نانو مایعات، په ځانګړې توګه هغه چې د SiO₂ او SiC نانو ذرات لري، د تار-ویفر مهم انٹرفیس ته د مایع رسولو موثریت زیاتوي. دا ذرات د مایع مایکروسکوپي تشو ته رسیدو کې مرسته کوي، چې غوره یخولو او غوړولو ډاډ ورکوي. سربیره پردې، د الټراسونک کیپلیري اغیزې تخنیکونه د مایع حرکت او نفوذ نور هم زیاتوي، په ځانګړي توګه د الټرا پتلي تار پرې کولو کې. دا پدې مانا ده چې د غوره فعالیت ترلاسه کولو لپاره لږ پرې کولو مایع ته اړتیا ده، او پایلو کې د مایع جذب کمول، د سطحې مورفولوژي ښه کول، او د نیمګړتیا ټیټ نرخونه شامل دي. دا پرمختګونه په سیمیکمډکټر او فوتوولټیک صنعتونو کې د پتلو، لوی قطر ویفرونو په لور د حرکت ملاتړ کوي، د قطع کولو مایع څارنې سینسرونو سره ډاډ ترلاسه کوي چې پروسه د هر تولید دورې په اوږدو کې کنټرول او ثابت پاتې کیږي.
د پوسټ وخت: دسمبر-۲۵-۲۰۲۵
