1. ਐਡਵਾਂਸਡ ਨੂੰ ਸੰਦਰਭਿਤ ਕਰਨਾPਅਲੋਪ ਹੋ ਰਿਹਾ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵਿੱਚ CMP ਕੀ ਹੈ?
ਕੈਮੀਕਲ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ (CMP), ਜਿਸਨੂੰ ਵਿਕਲਪਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੈਮੀਕਲ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਲੈਨਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਆਧੁਨਿਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਤਕਨੀਕੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਚੁਣੌਤੀਪੂਰਨ ਅਤੇ ਵਿੱਤੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਯੂਨਿਟ ਓਪਰੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੱਕ ਲਾਜ਼ਮੀ ਹਾਈਬ੍ਰਿਡ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਕੈਮੀਕਲ ਐਚਿੰਗ ਅਤੇ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਭੌਤਿਕ ਘਬਰਾਹਟ ਦੇ ਸਹਿਯੋਗੀ ਉਪਯੋਗ ਦੁਆਰਾ ਵੇਫਰ ਸਤਹਾਂ ਨੂੰ ਸਾਵਧਾਨੀ ਨਾਲ ਸਮੂਥ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਚੱਕਰ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਗਿਆ, CMP ਅਗਲੀਆਂ ਪਰਤਾਂ ਲਈ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਤਿਆਰ ਕਰਨ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਉੱਨਤ ਡਿਵਾਈਸ ਆਰਕੀਟੈਕਚਰ ਦੁਆਰਾ ਲੋੜੀਂਦੇ ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਏਕੀਕਰਨ ਨੂੰ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ CMP
*
ਦੀ ਡੂੰਘੀ ਜ਼ਰੂਰਤਰਸਾਇਣਕ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗਇਹ ਸਮਕਾਲੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਦੀਆਂ ਭੌਤਿਕ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਵਿੱਚ ਜੜ੍ਹਿਆ ਹੋਇਆ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਸੁੰਗੜਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਕਈ ਪਰਤਾਂ ਲੰਬਕਾਰੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਟੈਕ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਇਕਸਾਰ ਹਟਾਉਣ ਅਤੇ ਇੱਕ ਗਲੋਬਲ ਪਲੇਨਰ ਸਤਹ ਸਥਾਪਤ ਕਰਨ ਦੀ ਸਮਰੱਥਾ ਬਿਲਕੁਲ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਹੈੱਡ ਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਧੁਰਿਆਂ ਦੇ ਨਾਲ ਘੁੰਮਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਵਿੱਚ ਅਨਿਯਮਿਤ ਟੌਪੋਗ੍ਰਾਫੀ ਨੂੰ ਧਿਆਨ ਨਾਲ ਪੱਧਰਾ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਸਫਲ ਪੈਟਰਨ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਲਈ, ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਕਸਟ੍ਰੀਮ ਅਲਟਰਾਵਾਇਲਟ (EUV) ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਵਰਗੀਆਂ ਅਤਿ-ਆਧੁਨਿਕ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਪੂਰੀ ਪ੍ਰੋਸੈਸਡ ਸਤਹ ਨੂੰ ਫੀਲਡ ਦੀ ਇੱਕ ਅਸਧਾਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਤੰਗ ਡੂੰਘਾਈ ਦੇ ਅੰਦਰ ਆਉਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ - ਇੱਕ ਜਿਓਮੈਟ੍ਰਿਕ ਪਾਬੰਦੀ ਜਿਸ ਲਈ ਆਧੁਨਿਕ ਉਪ-22 nm ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਲਈ ਐਂਗਸਟ੍ਰੋਮ-ਪੱਧਰ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਦੀ ਪਲੇਨਰਾਈਜ਼ਿੰਗ ਸ਼ਕਤੀ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂਸੀਐਮਪੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, ਬਾਅਦ ਦੇ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਕਦਮਾਂ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਅਸਫਲਤਾਵਾਂ, ਪੈਟਰਨ ਵਿਗਾੜ, ਅਤੇ ਵਿਨਾਸ਼ਕਾਰੀ ਉਪਜ ਯਾਤਰਾਵਾਂ ਹੋਣਗੀਆਂ।
ਸੀਐਮਪੀ ਨੂੰ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਪਣਾਉਣ ਦਾ ਕਾਰਨ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਰਵਾਇਤੀ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਕੰਡਕਟਰਾਂ ਤੋਂ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਤਾਂਬੇ ਦੇ ਇੰਟਰਕਨੈਕਟਾਂ ਵੱਲ ਤਬਦੀਲੀ ਸੀ। ਤਾਂਬੇ ਦੀ ਧਾਤੂਕਰਨ ਇੱਕ ਐਡਿਟਿਵ ਪੈਟਰਨਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, ਡੈਮਾਸੀਨ ਤਕਨੀਕ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਬੁਨਿਆਦੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੀਐਮਪੀ ਦੀ ਵਿਲੱਖਣ ਸਮਰੱਥਾ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ ਕਿ ਉਹ ਵਾਧੂ ਤਾਂਬੇ ਨੂੰ ਚੋਣਵੇਂ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਢੰਗ ਨਾਲ ਹਟਾ ਸਕੇ ਅਤੇ ਧਾਤ ਅਤੇ ਆਕਸਾਈਡ ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ ਪਰਤ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਹਟਾਉਣ ਦੀ ਕਾਰਵਾਈ ਨੂੰ ਲਗਾਤਾਰ ਰੋਕ ਸਕੇ। ਇਹ ਬਹੁਤ ਹੀ ਚੋਣਵੇਂ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣਾ ਨਾਜ਼ੁਕ ਰਸਾਇਣਕ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਸੰਤੁਲਨ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਜੋ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਇੱਕ ਸੰਤੁਲਨ ਜੋ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਮਾਧਿਅਮ ਵਿੱਚ ਮਾਮੂਲੀ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਦੁਆਰਾ ਤੁਰੰਤ ਸਮਝੌਤਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ CMP ਦੇ ਕਾਰਜ
ਅਤਿ-ਘੱਟ ਟੌਪੋਗ੍ਰਾਫਿਕ ਪਰਿਵਰਤਨ ਲਈ ਲਾਜ਼ਮੀ ਲੋੜ ਇੱਕ ਪੈਰੀਫਿਰਲ ਟੀਚਾ ਨਹੀਂ ਹੈ ਬਲਕਿ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਡਿਵਾਈਸ ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਲਈ ਇੱਕ ਸਿੱਧੀ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਪੂਰਵ-ਸ਼ਰਤ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਬਹੁ-ਪੱਧਰੀ ਢਾਂਚਿਆਂ ਵਿੱਚ ਸਹੀ ਮੌਜੂਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਥਰਮਲ ਡਿਸਸੀਪੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। CMP ਦਾ ਮੁੱਖ ਆਦੇਸ਼ ਟੌਪੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਬਾਅਦ ਦੇ ਸਾਰੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਕਦਮਾਂ ਲਈ ਪੂਰਵ-ਸ਼ਰਤ ਸਮਤਲਤਾ ਸਥਾਪਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਖਾਸ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਚੋਣ ਅਤੇ ਅਨੁਸਾਰੀ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈਸਲਰੀ ਫਾਰਮੂਲੇਸ਼ਨ. ਟੰਗਸਟਨ, ਤਾਂਬਾ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਡਾਈਆਕਸਾਈਡ (SiO2) ਸਮੇਤ ਵਿਭਿੰਨ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣ ਲਈ CMP ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿਕਸਤ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਹਨ।2), ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ (SiN)। ਸਲਰੀਆਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਪਲੈਨਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਅਤੇ ਸ਼ੈਲੋ ਟ੍ਰੈਂਚ ਆਈਸੋਲੇਸ਼ਨ (STI) ਅਤੇ ਇੰਟਰਲੇਅਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕਸ (ILD) ਸਮੇਤ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਦੇ ਇੱਕ ਸਪੈਕਟ੍ਰਮ ਵਿੱਚ ਅਸਧਾਰਨ ਸਮੱਗਰੀ ਚੋਣ ਲਈ ਸਾਵਧਾਨੀ ਨਾਲ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਉੱਚ-ਫੰਕਸ਼ਨ ਸੀਰੀਆ ਸਲਰੀ ਨੂੰ ਸਟੈਪ ਫਲੈਟਨਿੰਗ, ਇਕਸਾਰਤਾ, ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ ਘਟਾਉਣ ਵਿੱਚ ਇਸਦੇ ਉੱਤਮ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੇ ਕਾਰਨ ILD ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਹਨਾਂ ਸਲਰੀਆਂ ਦੀ ਉੱਚ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਪ੍ਰਕਿਰਤੀ ਇਸ ਗੱਲ ਦੀ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਦੀ ਹੈ ਕਿ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਮਾਧਿਅਮ ਦੇ ਤਰਲ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਵਿੱਚ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਤੋਂ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਸਥਿਰਤਾ ਤੁਰੰਤ ਚੋਣਵੇਂ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਬੁਨਿਆਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੀ ਉਲੰਘਣਾ ਕਰੇਗੀ।
2. ਸੀਐਮਪੀ ਸਲਰੀ ਸਿਹਤ ਦੀ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ CMP
ਦੀ ਨਿਰੰਤਰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ੀਲਤਾਕੈਮੀਕਲ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਸੀਐਮਪੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਇਹ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਲਰੀ ਦੀ ਇਕਸਾਰ ਡਿਲੀਵਰੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਜ਼ਰੂਰੀ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਘਬਰਾਹਟ ਦੋਵਾਂ ਨੂੰ ਸੁਯੋਗ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਾਧਿਅਮ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਤਰਲ, ਜਿਸਨੂੰ ਕੋਲੋਇਡਲ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨ ਵਜੋਂ ਦਰਸਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਨੂੰ ਆਪਣੇ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹਿੱਸਿਆਂ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਰਸਾਇਣਕ ਏਜੰਟ (ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਰ, ਐਕਸਲੇਟਰ, ਅਤੇ ਖੋਰ ਰੋਕਣ ਵਾਲੇ) ਅਤੇ ਨੈਨੋ-ਆਕਾਰ ਦੇ ਘਬਰਾਹਟ ਵਾਲੇ ਕਣ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ, ਨੂੰ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਨਿਰੰਤਰ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨਾਲ ਪਹੁੰਚਾਉਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
ਸਲਰੀ ਰਚਨਾ ਨੂੰ ਇੱਕ ਖਾਸ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਨੂੰ ਪ੍ਰੇਰਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ: ਅਨੁਕੂਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪੈਸੀਵੇਟਿੰਗ, ਅਘੁਲਣਸ਼ੀਲ ਆਕਸਾਈਡ ਪਰਤ ਬਣਾਉਣ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਨੂੰ ਫਿਰ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਣਾਂ ਦੁਆਰਾ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹਟਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਵਿਧੀ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਪਲੈਨਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਉੱਚ ਸਤਹ ਟੌਪੋਗ੍ਰਾਫਿਕ ਚੋਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਹਟਾਉਣ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਉੱਚ ਬਿੰਦੂਆਂ ਜਾਂ ਪ੍ਰੋਟ੍ਰੂਸ਼ਨਾਂ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਉਲਟ, ਜੇਕਰ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਇੱਕ ਘੁਲਣਸ਼ੀਲ ਆਕਸਾਈਡ ਅਵਸਥਾ ਪੈਦਾ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣਾ ਆਈਸੋਟ੍ਰੋਪਿਕ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਲੋੜੀਂਦੀ ਟੌਪੋਗ੍ਰਾਫਿਕ ਚੋਣ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਲਰੀ ਦੇ ਭੌਤਿਕ ਹਿੱਸਿਆਂ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਣ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, ਸਿਲਿਕਾ, ਸੇਰੀਆ) ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਜੋ 30 ਤੋਂ 200 nm ਦੇ ਆਕਾਰ ਦੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, 0.3 ਅਤੇ 12 ਭਾਰ ਪ੍ਰਤੀਸ਼ਤ ਠੋਸਾਂ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ 'ਤੇ ਮੁਅੱਤਲ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।
ਸੀਐਮਪੀ ਸਲਰੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ
ਦੀ ਸਿਹਤ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾਸੀਐਮਪੀ ਸਲਰੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਇਸਦੇ ਜੀਵਨ ਚੱਕਰ ਦੌਰਾਨ ਨਿਰੰਤਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਜਾਂ ਸਰਕੂਲੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਕਿਸੇ ਵੀ ਗਿਰਾਵਟ ਨਾਲ ਕਾਫ਼ੀ ਵਿੱਤੀ ਨੁਕਸਾਨ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਅੰਤਿਮ ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੇ ਵੇਫਰ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ, ਇਸਦੇ ਨੈਨੋਸਕੇਲ ਨਿਰਵਿਘਨਤਾ ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਦੇ ਪੱਧਰਾਂ ਦੁਆਰਾ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ, ਸਲਰੀ ਦੇ ਕਣ ਆਕਾਰ ਵੰਡ (PSD) ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਸਮੁੱਚੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨਾਲ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੰਬੰਧਿਤ ਹੈ।
ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕਿਸਮਾਂ ਦੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਪ੍ਰਕਿਰਤੀਸੀਐਮਪੀ ਸਲਰੀ ਕਿਸਮਾਂਇਸਦਾ ਮਤਲਬ ਹੈ ਕਿ ਨੈਨੋ-ਆਕਾਰ ਦੇ ਕਣ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨ ਦੇ ਅੰਦਰ ਨਾਜ਼ੁਕ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਸਟੈਟਿਕ ਬਲਾਂ ਦੁਆਰਾ ਸਥਿਰ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਸਲਰੀਆਂ ਅਕਸਰ ਸੰਘਣੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਨਿਰਮਾਣ ਸਥਾਨ 'ਤੇ ਪਾਣੀ ਅਤੇ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਰ ਨਾਲ ਸਹੀ ਪਤਲਾਕਰਨ ਅਤੇ ਮਿਸ਼ਰਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਨਾਜ਼ੁਕ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਸਥਿਰ ਮਿਸ਼ਰਣ ਅਨੁਪਾਤ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਨਾ ਬੁਨਿਆਦੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗਲਤ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਆਉਣ ਵਾਲੀ ਸੰਘਣੀ ਸਮੱਗਰੀ ਅੰਦਰੂਨੀ ਬੈਚ-ਤੋਂ-ਬੈਚ ਘਣਤਾ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਲਈ, ਜਦੋਂ ਕਿ PSD ਅਤੇ ਜ਼ੀਟਾ ਸੰਭਾਵੀ (ਕੋਲੋਇਡਲ ਸਥਿਰਤਾ) ਦਾ ਸਿੱਧਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ, ਇਹ ਤਕਨੀਕਾਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਰੁਕ-ਰੁਕ ਕੇ, ਔਫਲਾਈਨ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਲਈ ਭੇਜੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। HVM ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਹਕੀਕਤ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ, ਤੁਰੰਤ ਫੀਡਬੈਕ ਨੂੰ ਲਾਜ਼ਮੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਸਿੱਟੇ ਵਜੋਂ, ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਸਲਰੀ ਸਿਹਤ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਅਤੇ ਕਾਰਵਾਈਯੋਗ ਇਨਲਾਈਨ ਪ੍ਰੌਕਸੀ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਘਣਤਾ ਮਾਧਿਅਮ ਵਿੱਚ ਕੁੱਲ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਠੋਸਾਂ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਦਾ ਇੱਕ ਤੇਜ਼, ਨਿਰੰਤਰ ਮਾਪ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਵੀ ਬਰਾਬਰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ, ਜੋ ਤਰਲ ਦੀ ਕੋਲੋਇਡਲ ਸਥਿਤੀ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਅਖੰਡਤਾ ਦੇ ਇੱਕ ਬਹੁਤ ਹੀ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਸੂਚਕ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਅਸਥਿਰ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਅਕਸਰ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਣ ਨੂੰ ਸੰਕੇਤ ਕਰਦੀ ਹੈ।ਇਕੱਠਾ ਹੋਣਾਜਾਂ ਪੁਨਰ-ਸੰਯੋਜਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਸ਼ੀਅਰ ਹਾਲਤਾਂ ਦੇ ਅਧੀਨ। ਇਸ ਲਈ, ਇਹਨਾਂ ਦੋ ਰੀਓਲੋਜੀਕਲ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਨਿਰੰਤਰ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਣ ਤੁਰੰਤ, ਕਾਰਵਾਈਯੋਗ ਫੀਡਬੈਕ ਲੂਪ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ ਜੋ ਇਹ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਨ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਸਲਰੀ ਖਪਤ ਦੇ ਬਿੰਦੂ 'ਤੇ ਆਪਣੀ ਨਿਰਧਾਰਤ ਰਸਾਇਣਕ ਅਤੇ ਭੌਤਿਕ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦੀ ਹੈ।
3. ਮਕੈਨੀਕਲ ਅਸਫਲਤਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ: ਨੁਕਸ ਵਾਲੇ ਡਰਾਈਵਰ
CMP ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਪ੍ਰਭਾਵ
ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਥਰੂਪੁੱਟ ਵਿੱਚ ਉਪਜ ਜੋਖਮ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਡਾ ਯੋਗਦਾਨ ਪਾਉਣ ਵਾਲਾ ਮੰਨਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਸੀਐਮਪੀ. ਸਲਰੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ, ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਸਮੂਹਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ "ਸਲਰੀ ਸਿਹਤ" ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਪੰਪਿੰਗ ਸ਼ੀਅਰ, ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ, ਅਤੇ ਮਿਸ਼ਰਣ ਅਸੰਗਤੀਆਂ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰੇਰਿਤ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਲਈ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਸਲਰੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਤੋਂ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀਆਂ ਅਸਫਲਤਾਵਾਂ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਮੁੱਦਿਆਂ ਤੋਂ ਵੱਖਰੀਆਂ ਹਨ, ਪਰ ਦੋਵੇਂ ਗੰਭੀਰ ਵੇਫਰ ਸਕ੍ਰੈਪ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਅਕਸਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਦੇ ਅੰਤ-ਪੁਆਇੰਟ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਦੁਆਰਾ ਬਹੁਤ ਦੇਰ ਨਾਲ ਖੋਜੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ।
ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਵੱਡੇ ਕਣਾਂ ਜਾਂ ਸਮੂਹਾਂ ਦੀ ਮੌਜੂਦਗੀਸੀਐਮਪੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੀ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸੂਖਮ-ਖਰਿਚਾਂ ਅਤੇ ਹੋਰ ਘਾਤਕ ਨੁਕਸ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਨਾਲ ਸਪੱਸ਼ਟ ਤੌਰ 'ਤੇ ਜੋੜਿਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਮੁੱਖ ਰੀਓਲੋਜੀਕਲ ਮਾਪਦੰਡਾਂ - ਲੇਸ ਅਤੇ ਘਣਤਾ - ਵਿੱਚ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਨਿਰੰਤਰ, ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਸੂਚਕ ਹਨ ਜੋ ਦੱਸਦੇ ਹਨ ਕਿ ਸਲਰੀ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨਾਲ ਸਮਝੌਤਾ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਜੋ ਨੁਕਸ ਬਣਨ ਦੀ ਵਿਧੀ ਦੀ ਸ਼ੁਰੂਆਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਸਲਰੀ ਵਿਸਕੋਸਿਟੀ ਵਿੱਚ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, ਇਕੱਠਾ ਹੋਣਾ, ਬਦਲਿਆ ਹੋਇਆ ਸ਼ੀਅਰ)
ਵਿਸਕੋਸਿਟੀ ਇੱਕ ਥਰਮੋਡਾਇਨਾਮਿਕ ਗੁਣ ਹੈ ਜੋ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵਿਵਹਾਰ ਅਤੇ ਰਗੜਨ ਵਾਲੀ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਇਸਨੂੰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਣਾਅ ਪ੍ਰਤੀ ਬਹੁਤ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਦੀ ਰਸਾਇਣਕ ਅਤੇ ਭੌਤਿਕ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀਸਲਰੀ ਵਿਸਕੋਸਿਟੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਸਿਸਟਮ ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਖੋਜ ਇਸ ਗੱਲ ਦੀ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਦੀ ਹੈ ਕਿ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ 5°C ਦੀ ਮਾਮੂਲੀ ਤਬਦੀਲੀ ਵੀ ਸਲਰੀ ਲੇਸ ਵਿੱਚ ਲਗਭਗ 10% ਕਮੀ ਲਿਆ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਰੀਓਲੋਜੀ ਵਿੱਚ ਇਹ ਤਬਦੀਲੀ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਡਾਇਨਾਮਿਕ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ ਜੋ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਪੈਡ ਤੋਂ ਵੱਖ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਘੱਟ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਵੱਲ ਲੈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਉੱਚ ਮਕੈਨੀਕਲ ਰਗੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਸਕ੍ਰੈਚ ਅਤੇ ਤੇਜ਼ ਪੈਡ ਖਪਤ ਦਾ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਕਾਰਨ ਹੈ।
ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਡਿਗ੍ਰੇਡੇਸ਼ਨ ਮਾਰਗ ਵਿੱਚ ਸ਼ੀਅਰ-ਪ੍ਰੇਰਿਤ ਕਣ ਕਲੱਸਟਰਿੰਗ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ। ਸਿਲਿਕਾ-ਅਧਾਰਤ ਸਲਰੀਆਂ ਨਾਜ਼ੁਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਸਟੈਟਿਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਬਲਾਂ ਦੁਆਰਾ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਵੱਖ ਕਰਨ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦੀਆਂ ਹਨ। ਜਦੋਂ ਸਲਰੀ ਉੱਚ ਸ਼ੀਅਰ ਤਣਾਅ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਦੀ ਹੈ - ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗਲਤ ਰਵਾਇਤੀ ਸੈਂਟਰਿਫਿਊਗਲ ਪੰਪਾਂ ਜਾਂ ਵੰਡ ਲੂਪ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਰੀਸਰਕੁਲੇਸ਼ਨ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ - ਤਾਂ ਇਹਨਾਂ ਬਲਾਂ ਨੂੰ ਦੂਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਤੇਜ਼ ਅਤੇ ਅਟੱਲ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।ਇਕੱਠਾ ਹੋਣਾਘਸਾਉਣ ਵਾਲੇ ਕਣਾਂ ਦੇ। ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਵੱਡੇ ਸਮੂਹ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਗੌਗਿੰਗ ਟੂਲਸ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਵਿਨਾਸ਼ਕਾਰੀ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਸਕ੍ਰੈਚ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਵਿਸਕੋਮੈਟਰੀ ਇਹਨਾਂ ਘਟਨਾਵਾਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਫੀਡਬੈਕ ਵਿਧੀ ਹੈ, ਜੋ ਵੱਡੇ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਨੁਕਸ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਪੰਪਿੰਗ ਅਤੇ ਵੰਡ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਦੀ "ਕੋਮਲਤਾ" ਦੀ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਮਾਣਿਕਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਲੇਸ ਵਿੱਚ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਭਿੰਨਤਾ ਵੀ ਯੋਜਨਾਬੱਧਤਾ ਦੀ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਬੁਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਨਾਲ ਸਮਝੌਤਾ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਕਿਉਂਕਿ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਰਗੜ ਦੇ ਗੁਣਾਂਕ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰਨ ਵਾਲਾ ਇੱਕ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਕਾਰਕ ਹੈ, ਇੱਕ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਅਸੰਗਤ ਸਮੱਗਰੀ ਹਟਾਉਣ ਦੀਆਂ ਦਰਾਂ ਵੱਲ ਲੈ ਜਾਵੇਗਾ। ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਥਾਨਕ ਵਾਧਾ, ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੇਫਰ ਟੌਪੋਗ੍ਰਾਫੀ ਦੀਆਂ ਉੱਚੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਉੱਤੇ ਹੋਣ ਵਾਲੀਆਂ ਉੱਚ ਸ਼ੀਅਰ ਦਰਾਂ 'ਤੇ, ਰਗੜ ਦੀ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਬਦਲਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਯੋਜਨਾਬੱਧਤਾ ਦੇ ਟੀਚੇ ਨੂੰ ਕਮਜ਼ੋਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਡਿਸ਼ਿੰਗ ਅਤੇ ਕਟੌਤੀ ਵਰਗੇ ਭੂਗੋਲਿਕ ਨੁਕਸ ਵੱਲ ਲੈ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਸਲਰੀ ਘਣਤਾ ਵਿੱਚ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ
ਸਲਰੀ ਘਣਤਾ ਤਰਲ ਦੇ ਅੰਦਰ ਮੁਅੱਤਲ ਕੀਤੇ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਠੋਸ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਸਮੁੱਚੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਦਾ ਤੇਜ਼ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਮੰਦ ਸੂਚਕ ਹੈ। ਘਣਤਾ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰ ਸਲਰੀ ਡਿਲੀਵਰੀ ਦਾ ਸੰਕੇਤ ਦਿੰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਪਦਾਰਥਕ ਹਟਾਉਣ ਦੀ ਦਰ (MRR) ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਗਠਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਨਾਲ ਜੁੜਿਆ ਹੋਇਆ ਹੈ।
ਸੰਚਾਲਨ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਲਈ ਸਲਰੀ ਰਚਨਾ ਦੀ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਤਸਦੀਕ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਆਉਣ ਵਾਲੇ ਗਾੜ੍ਹੇ ਬੈਚਾਂ ਵਿੱਚ ਸਿਰਫ਼ ਪਾਣੀ ਅਤੇ ਆਕਸੀਡਾਈਜ਼ਰ ਦੀ ਨਿਰਧਾਰਤ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਜੋੜਨ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਨਾ ਕਾਫ਼ੀ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਦੀ ਘਣਤਾ ਅਕਸਰ ਬਦਲਦੀ ਰਹਿੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਟੂਲ ਹੈੱਡ 'ਤੇ ਅਸੰਗਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਨਿਕਲਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਣ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਉੱਚ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਵਾਲੇ ਸੀਰੀਆ ਕਣ, ਜੇਕਰ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵੇਗ ਜਾਂ ਕੋਲੋਇਡਲ ਸਥਿਰਤਾ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਹੈ ਤਾਂ ਤਲਛਟ ਦੇ ਅਧੀਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਸੈਟਲਮੈਂਟ ਪ੍ਰਵਾਹ ਲਾਈਨਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਸਥਾਨਕ ਘ੍ਰਿਣਾ ਗਰੇਡੀਐਂਟ ਅਤੇ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਇਕੱਠ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਇੱਕ ਇਕਸਾਰ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਲੋਡ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਦੀ ਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਡੂੰਘਾਈ ਨਾਲ ਸਮਝੌਤਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।
How DਸਹਿਜਤਾDਛੁਟਕਾਰਾAffਆਦਿ Manਯੂਐਫਏਸੀਤੁਰਆਈ.ਐਨ.ਜੀ.Process?.
ਅਸਥਿਰ ਸਲਰੀ ਘਣਤਾ ਦੇ ਸਿੱਧੇ ਨਤੀਜੇ ਪਾਲਿਸ਼ ਕੀਤੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਗੰਭੀਰ ਭੌਤਿਕ ਨੁਕਸ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਗਟ ਹੁੰਦੇ ਹਨ:
ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰ ਹਟਾਉਣ ਦੀਆਂ ਦਰਾਂ (WIWNU):ਘਣਤਾ ਵਿੱਚ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੇ ਗਏ ਸਰਗਰਮ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਵਿੱਚ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਅਨੁਵਾਦ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਨਿਰਧਾਰਤ ਤੋਂ ਘੱਟ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦਾ ਨਤੀਜਾ ਘੱਟ MRR ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਅਸਵੀਕਾਰਨਯੋਗ ਅੰਦਰ-ਵੇਫਰ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰਤਾ (WIWNU) ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ। WIWNU ਬੁਨਿਆਦੀ ਯੋਜਨਾਬੱਧਤਾ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਨੂੰ ਕਮਜ਼ੋਰ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਉਲਟ, ਸਥਾਨਿਕ ਉੱਚ ਘ੍ਰਿਣਾ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਕਣ ਲੋਡ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣਾ ਪੈਂਦਾ ਹੈ। ਘ੍ਰਿਣਾ ਉੱਤੇ ਸਖ਼ਤ ਨਿਯੰਤਰਣ ਇਕਸਾਰ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਡਿਲੀਵਰੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਸਥਿਰ ਰਗੜ ਬਲਾਂ ਅਤੇ ਅਨੁਮਾਨਯੋਗ MRR ਨਾਲ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਨਾਲ ਸੰਬੰਧਿਤ ਹੈ।
ਸਥਾਨਕ ਘਸਾਉਣ ਵਾਲੇ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਦੇ ਕਾਰਨ ਪਿੱਟਿੰਗ:ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਠੋਸ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਉੱਚ ਸਥਾਨਕ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ, ਅਕਸਰ ਸੈਟਲ ਹੋਣ ਜਾਂ ਅਢੁਕਵੇਂ ਮਿਸ਼ਰਣ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀ ਕਣ ਉੱਚ ਲੋਡ ਵੱਲ ਲੈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਣ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਸੀਰੀਆ, ਆਕਸਾਈਡ ਕੱਚ ਦੀ ਪਰਤ ਨਾਲ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਨਾਲ ਚਿਪਕ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਤਣਾਅ ਮੌਜੂਦ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਲੋਡ ਕੱਚ ਦੀ ਪਰਤ ਨੂੰ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਕਰਨ ਲਈ ਪ੍ਰੇਰਿਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਡੂੰਘੀ, ਤਿੱਖੀ ਧਾਰਪਿਟਿੰਗਨੁਕਸ। ਇਹ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਕਮਜ਼ੋਰ ਫਿਲਟਰੇਸ਼ਨ ਕਾਰਨ ਹੋ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੱਡੇ ਆਕਾਰ ਦੇ ਸਮੂਹ ($0.5\ \mu m$ ਤੋਂ ਵੱਧ ਕਣ) ਲੰਘ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਮਾੜੇ ਕਣ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਨਿਗਰਾਨੀ ਘਣਤਾ ਕਣ ਕਾਊਂਟਰਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ, ਪੂਰਕ ਚੇਤਾਵਨੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਲੱਸਟਰਿੰਗ ਦੀ ਸ਼ੁਰੂਆਤ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾ ਸਕਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਲੋਡ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।
ਮਾੜੇ ਕਣ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨ ਤੋਂ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਦਾ ਗਠਨ:ਜਦੋਂ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨ ਅਸਥਿਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਉੱਚ ਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ਗਰੇਡੀਐਂਟ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਠੋਸ ਪਦਾਰਥ ਪ੍ਰਵਾਹ ਆਰਕੀਟੈਕਚਰ ਵਿੱਚ ਇਕੱਠਾ ਹੋਣ ਦਾ ਰੁਝਾਨ ਰੱਖਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੰਡ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਵਿੱਚ ਘਣਤਾ ਤਰੰਗਾਂ ਅਤੇ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦਾ ਇਕੱਠ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।17ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਦੌਰਾਨ, ਸਲਰੀ ਨੂੰ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਉਤਪਾਦਾਂ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਹਿਨਣ ਵਾਲੇ ਮਲਬੇ ਦੋਵਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਲੈ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਅਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ ਕਣ ਮੁਅੱਤਲ ਜਾਂ ਤਰਲ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਮਾੜੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹਨਾਂ ਅਵਸ਼ੇਸ਼ਾਂ ਨੂੰ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ ਤੋਂ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨਾਲ ਨਹੀਂ ਹਟਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਪੋਸਟ-ਸੀਐਮਪੀ ਕਣ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦਨੁਕਸ। ਸਥਿਰ ਕਣ ਮੁਅੱਤਲ, ਨਿਰੰਤਰ ਰੀਓਲੋਜੀਕਲ ਨਿਗਰਾਨੀ ਦੁਆਰਾ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ, ਸਾਫ਼, ਨਿਰੰਤਰ ਸਮੱਗਰੀ ਨਿਕਾਸੀ ਲਈ ਲਾਜ਼ਮੀ ਹੈ।
ਹੋਰ ਘਣਤਾ ਮੀਟਰਾਂ ਬਾਰੇ ਜਾਣੋ
ਹੋਰ ਔਨਲਾਈਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਮੀਟਰ
4. ਇਨਲਾਈਨ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ ਦੀ ਤਕਨੀਕੀ ਉੱਤਮਤਾ
ਲੋਨਮੀਟਰ ਇਨਲਾਈਨ ਡੈਨਸੀਟੋਮੀਟਰ ਅਤੇ ਵਿਜ਼ਕੋਮੇਟਰ
ਅਸਥਿਰ CMP ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਸਫਲਤਾਪੂਰਵਕ ਸਥਿਰ ਕਰਨ ਲਈ, ਸਲਰੀ ਸਿਹਤ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦਾ ਨਿਰੰਤਰ, ਗੈਰ-ਹਮਲਾਵਰ ਮਾਪ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।ਲੋਨਮੀਟਰ ਇਨਲਾਈਨ ਡੈਨਸੀਟੋਮੀਟਰ ਅਤੇ ਵਿਜ਼ਕੋਮੇਟਰਰਵਾਇਤੀ, ਲੇਟੈਂਸੀ-ਪ੍ਰੋਨ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਵਧੀਆ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਬਹੁਤ ਹੀ ਉੱਨਤ ਰੈਜ਼ੋਨੈਂਟ ਸੈਂਸਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦਾ ਲਾਭ ਉਠਾਓ। ਇਹ ਸਮਰੱਥਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਰਗ ਵਿੱਚ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਹਿਜ ਅਤੇ ਨਿਰੰਤਰ ਘਣਤਾ ਨਿਗਰਾਨੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਆਧੁਨਿਕ ਉਪ-28nm ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੋਡਾਂ ਦੇ ਸਖ਼ਤ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਮਿਸ਼ਰਣ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।
ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਮੁੱਖ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਸਿਧਾਂਤਾਂ, ਮਾਪ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਗਤੀ, ਸਥਿਰਤਾ, ਕਠੋਰ CMP ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਦਾ ਵੇਰਵਾ ਦਿਓ, ਅਤੇ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਰਵਾਇਤੀ ਔਫਲਾਈਨ ਤਰੀਕਿਆਂ ਤੋਂ ਵੱਖਰਾ ਕਰੋ।
ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ ਲਈ ਸੈਂਸਰਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਉੱਚ ਦਬਾਅ, ਅਤੇ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਰਸਾਇਣਕ ਐਕਸਪੋਜਰ ਦੀਆਂ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਢੰਗ ਨਾਲ ਕੰਮ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਨਿਯੰਤਰਣ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਲਈ ਤੁਰੰਤ ਫੀਡਬੈਕ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਮੁੱਖ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਸਿਧਾਂਤ: ਰੈਜ਼ੋਨੇਟਰ ਫਾਇਦਾ
ਲੋਨਮੀਟਰ ਯੰਤਰ ਮਜ਼ਬੂਤ ਗੂੰਜਣ ਵਾਲੀਆਂ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ ਜੋ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਰਵਾਇਤੀ, ਤੰਗ-ਬੋਰ ਵਾਲੇ ਯੂ-ਟਿਊਬ ਡੈਨਸੀਟੋਮੀਟਰਾਂ ਦੀਆਂ ਅੰਦਰੂਨੀ ਕਮਜ਼ੋਰੀਆਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕੋਲੋਇਡਲ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨਾਂ ਨਾਲ ਇਨਲਾਈਨ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਬਦਨਾਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਮੱਸਿਆ ਵਾਲੇ ਹਨ।
ਘਣਤਾ ਮਾਪ:ਦਸਲਰੀ ਘਣਤਾ ਮੀਟਰਇੱਕ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਵੈਲਡ ਕੀਤੇ ਵਾਈਬ੍ਰੇਟਿੰਗ ਐਲੀਮੈਂਟ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇੱਕ ਫੋਰਕ ਅਸੈਂਬਲੀ ਜਾਂ ਇੱਕ ਕੋ-ਐਕਸੀਅਲ ਰੈਜ਼ੋਨੇਟਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਐਲੀਮੈਂਟ ਆਪਣੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਕੁਦਰਤੀ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ 'ਤੇ ਓਸੀਲੇਟ ਕਰਨ ਲਈ ਪਾਈਜ਼ੋ-ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉਤੇਜਿਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਆਲੇ ਦੁਆਲੇ ਦੇ ਤਰਲ ਦੀ ਘਣਤਾ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਇਸ ਕੁਦਰਤੀ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਟੀਕ ਤਬਦੀਲੀ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਿੱਧੇ ਅਤੇ ਬਹੁਤ ਭਰੋਸੇਮੰਦ ਘਣਤਾ ਨਿਰਧਾਰਨ ਦੀ ਆਗਿਆ ਮਿਲਦੀ ਹੈ।
ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਮਾਪ:ਦਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਧੀਨ ਸਲਰੀ ਵਿਸਕੋਮੀਟਰਇੱਕ ਟਿਕਾਊ ਸੈਂਸਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ ਜੋ ਤਰਲ ਦੇ ਅੰਦਰ ਘੁੰਮਦਾ ਹੈ। ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਮਾਪ ਨੂੰ ਬਲਕ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵਾਂ ਤੋਂ ਅਲੱਗ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਜੋ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਰੀਓਲੋਜੀ ਦਾ ਇੱਕ ਅੰਦਰੂਨੀ ਮਾਪ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਅਤੇ ਲਚਕੀਲਾਪਣ
ਇਨਲਾਈਨ ਰੈਜ਼ੋਨੈਂਟ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ ਸਖ਼ਤ HVM ਨਿਯੰਤਰਣ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਮੈਟ੍ਰਿਕਸ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ:
ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਜਵਾਬ ਗਤੀ:ਇਨਲਾਈਨ ਸਿਸਟਮ ਉੱਚ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਅਕਸਰ 0.001 g/cc ਤੱਕ ਲੇਸ ਅਤੇ ਘਣਤਾ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਲਈ 0.1% ਤੋਂ ਬਿਹਤਰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਮਜ਼ਬੂਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਲਈ, ਇਹ ਉੱਚਸ਼ੁੱਧਤਾ— ਇੱਕੋ ਮੁੱਲ ਨੂੰ ਲਗਾਤਾਰ ਮਾਪਣ ਅਤੇ ਛੋਟੇ ਭਟਕਣਾਂ ਦਾ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਢੰਗ ਨਾਲ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਦੀ ਯੋਗਤਾ — ਅਕਸਰ ਸੀਮਾਂਤ ਸੰਪੂਰਨ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਾਲੋਂ ਵਧੇਰੇ ਕੀਮਤੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਸਿਗਨਲਜਵਾਬ ਸਮਾਂਇਹਨਾਂ ਸੈਂਸਰਾਂ ਲਈ ਇਹ ਬਹੁਤ ਤੇਜ਼ ਹਨ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲਗਭਗ 5 ਸਕਿੰਟ। ਇਹ ਲਗਭਗ-ਤੁਰੰਤ ਫੀਡਬੈਕ ਤੁਰੰਤ ਨੁਕਸ ਖੋਜਣ ਅਤੇ ਆਟੋਮੇਟਿਡ ਬੰਦ-ਲੂਪ ਐਡਜਸਟਮੈਂਟ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸੈਰ-ਸਪਾਟੇ ਦੀ ਰੋਕਥਾਮ ਲਈ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਲੋੜ ਹੈ।
ਕਠੋਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ:ਸੀਐਮਪੀ ਸਲਰੀਆਂ ਸੁਭਾਵਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹਮਲਾਵਰ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਆਧੁਨਿਕ ਇਨਲਾਈਨ ਯੰਤਰ ਲਚਕੀਲੇਪਣ ਲਈ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਪਾਈਪਲਾਈਨਾਂ ਵਿੱਚ ਸਿੱਧੇ ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਲਈ ਖਾਸ ਸਮੱਗਰੀ ਅਤੇ ਸੰਰਚਨਾਵਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ। ਇਹ ਸੈਂਸਰ ਦਬਾਅ ਦੀ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਾਲ ਸ਼੍ਰੇਣੀ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, 6.4 MPa ਤੱਕ) ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ (350 ℃ ਤੱਕ) ਵਿੱਚ ਕੰਮ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਹਨ। ਗੈਰ-ਯੂ-ਟਿਊਬ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਮੀਡੀਆ ਨਾਲ ਜੁੜੇ ਡੈੱਡ ਜ਼ੋਨ ਅਤੇ ਕਲੌਗਿੰਗ ਜੋਖਮਾਂ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਸੈਂਸਰ ਅਪਟਾਈਮ ਅਤੇ ਸੰਚਾਲਨ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਰਵਾਇਤੀ ਔਫਲਾਈਨ ਤਰੀਕਿਆਂ ਤੋਂ ਭਿੰਨਤਾ
ਆਟੋਮੇਟਿਡ ਇਨਲਾਈਨ ਸਿਸਟਮਾਂ ਅਤੇ ਮੈਨੂਅਲ ਔਫਲਾਈਨ ਤਰੀਕਿਆਂ ਵਿਚਕਾਰ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਅੰਤਰ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਨੁਕਸ ਨਿਯੰਤਰਣ ਅਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਨੁਕੂਲਨ ਵਿਚਕਾਰ ਪਾੜੇ ਨੂੰ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ।
| ਨਿਗਰਾਨੀ ਮਾਪਦੰਡ | ਔਫਲਾਈਨ (ਲੈਬ ਸੈਂਪਲਿੰਗ/ਯੂ-ਟਿਊਬ ਡੈਨਸੀਟੋਮੀਟਰ) | ਇਨਲਾਈਨ (ਲੋਨਮੀਟਰ ਘਣਤਾਮੀਟਰ/ਵਿਸਕੋਮੀਟਰ) | ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਭਾਵ |
| ਮਾਪ ਦੀ ਗਤੀ | ਦੇਰੀ ਨਾਲ (ਘੰਟੇ) | ਅਸਲੀ ਸਮਾਂ, ਨਿਰੰਤਰ (ਜਵਾਬ ਸਮਾਂ ਅਕਸਰ 5 ਸਕਿੰਟ) | ਰੋਕਥਾਮ, ਬੰਦ-ਲੂਪ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। |
| ਡਾਟਾ ਇਕਸਾਰਤਾ/ਸ਼ੁੱਧਤਾ | ਘੱਟ (ਹੱਥੀਂ ਗਲਤੀ, ਨਮੂਨਾ ਡਿਗਰੇਡੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ) | ਉੱਚ (ਆਟੋਮੇਟਿਡ, ਉੱਚ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ/ਸ਼ੁੱਧਤਾ) | ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਨੂੰ ਸਖ਼ਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ ਅਤੇ ਗਲਤ ਸਕਾਰਾਤਮਕਤਾ ਘਟਾਈ ਗਈ ਹੈ। |
| ਘਸਾਉਣ ਵਾਲੀ ਅਨੁਕੂਲਤਾ | ਉੱਚ ਬੰਦ ਹੋਣ ਦਾ ਜੋਖਮ (ਤੰਗ ਯੂ-ਟਿਊਬ ਬੋਰ ਡਿਜ਼ਾਈਨ) | ਘੱਟ ਬੰਦ ਹੋਣ ਦਾ ਜੋਖਮ (ਮਜ਼ਬੂਤ, ਗੈਰ-ਯੂ-ਟਿਊਬ ਰੈਜ਼ੋਨੇਟਰ ਡਿਜ਼ਾਈਨ) | ਘਸਾਉਣ ਵਾਲੇ ਮੀਡੀਆ ਵਿੱਚ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਸੈਂਸਰ ਅਪਟਾਈਮ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ। |
| ਨੁਕਸ ਖੋਜਣ ਦੀ ਸਮਰੱਥਾ | ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ (ਘੰਟੇ ਪਹਿਲਾਂ ਹੋਈਆਂ ਸੈਰਾਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਂਦਾ ਹੈ) | ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ (ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਸੈਰ-ਸਪਾਟੇ ਦਾ ਜਲਦੀ ਪਤਾ ਲਗਾਉਂਦਾ ਹੈ) | ਵਿਨਾਸ਼ਕਾਰੀ ਵੇਫਰ ਸਕ੍ਰੈਪ ਅਤੇ ਉਪਜ ਯਾਤਰਾਵਾਂ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ। |
ਸਾਰਣੀ 3: ਤੁਲਨਾਤਮਕ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ: ਇਨਲਾਈਨ ਬਨਾਮ ਪਰੰਪਰਾਗਤ ਸਲਰੀ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ
ਰਵਾਇਤੀ ਔਫਲਾਈਨ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਲਈ ਇੱਕ ਨਮੂਨਾ ਕੱਢਣ ਅਤੇ ਆਵਾਜਾਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ ਲੂਪ ਵਿੱਚ ਸੁਭਾਵਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸਮਾਂ ਲੇਟੈਂਸੀ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਦੇਰੀ, ਜੋ ਘੰਟਿਆਂ ਤੱਕ ਰਹਿ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਜਦੋਂ ਇੱਕ ਯਾਤਰਾ ਦਾ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਪਤਾ ਲਗਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਪਹਿਲਾਂ ਹੀ ਸਮਝੌਤਾ ਕਰ ਚੁੱਕੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਹੱਥੀਂ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਨਮੂਨੇ ਦੇ ਪਤਨ ਦਾ ਜੋਖਮ ਲੈਂਦੀ ਹੈ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਨਮੂਨੇ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਜੋ ਕਿ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਰੀਡਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਵਿਗਾੜ ਸਕਦੀ ਹੈ।
ਇਨਲਾਈਨ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ ਇਸ ਕਮਜ਼ੋਰ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਲੇਟੈਂਸੀ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਲਾਈਨ ਤੋਂ ਸਿੱਧੇ ਡੇਟਾ ਦੀ ਇੱਕ ਨਿਰੰਤਰ ਧਾਰਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਗਤੀ ਨੁਕਸ ਖੋਜ ਲਈ ਬੁਨਿਆਦੀ ਹੈ; ਜਦੋਂ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਸਮੱਗਰੀ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਮਜ਼ਬੂਤ, ਗੈਰ-ਬੰਦ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਨਾਲ ਜੋੜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਪੂਰੇ ਵੰਡ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਡੇਟਾ ਫੀਡ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਕਿ CMP ਦੀ ਗੁੰਝਲਤਾ ਕਈ ਮਾਪਦੰਡਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ ਜਾਂ pH) ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਦਾ ਆਦੇਸ਼ ਦਿੰਦੀ ਹੈ, ਘ੍ਰਿਣਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨ ਦੀ ਬੁਨਿਆਦੀ ਭੌਤਿਕ ਸਥਿਰਤਾ 'ਤੇ ਸਭ ਤੋਂ ਸਿੱਧੀ, ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੀ ਫੀਡਬੈਕ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਅਕਸਰ ਰਸਾਇਣਕ ਬਫਰਿੰਗ ਕਾਰਨ pH ਜਾਂ ਆਕਸੀਕਰਨ-ਘਟਾਓ ਸੰਭਾਵੀ (ORP) ਵਰਗੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਪ੍ਰਤੀ ਅਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
5. ਆਰਥਿਕ ਅਤੇ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਜ਼ਰੂਰੀ ਗੱਲਾਂ
ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਨਿਗਰਾਨੀ ਦੇ ਲਾਭ
ਕਿਸੇ ਵੀ ਉੱਨਤ ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਲਾਈਨ ਲਈ ਜਿੱਥੇਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ CMPਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਸਫਲਤਾ ਨਿਰੰਤਰ ਉਪਜ ਸੁਧਾਰ, ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ, ਅਤੇ ਸਖ਼ਤ ਲਾਗਤ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਦੁਆਰਾ ਮਾਪੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਰੀਓਲੋਜੀਕਲ ਨਿਗਰਾਨੀ ਇਹਨਾਂ ਵਪਾਰਕ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਡੇਟਾ ਬੁਨਿਆਦੀ ਢਾਂਚਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ
ਨਿਰੰਤਰ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਸਲਰੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਇਸ ਗੱਲ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਦਿੰਦੀ ਹੈ ਕਿ ਵਰਤੋਂ ਦੇ ਬਿੰਦੂ (POU) ਨੂੰ ਦਿੱਤੇ ਗਏ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸਲਰੀ ਮਾਪਦੰਡ ਅਪਸਟ੍ਰੀਮ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸ਼ੋਰ ਦੀ ਪਰਵਾਹ ਕੀਤੇ ਬਿਨਾਂ, ਬਹੁਤ ਹੀ ਸਖ਼ਤ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸੀਮਾਵਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਰਹਿੰਦੇ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਆਉਣ ਵਾਲੇ ਕੱਚੇ ਸਲਰੀ ਬੈਚਾਂ ਵਿੱਚ ਮੌਜੂਦ ਘਣਤਾ ਵਿੱਚ ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਦੇਖਦੇ ਹੋਏ, ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਵਿਅੰਜਨ ਦੀ ਪਾਲਣਾ ਕਰਨਾ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਹੈ। ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਵਿੱਚ ਬਲੈਂਡਰ ਟੈਂਕ ਵਿੱਚ ਘਣਤਾ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਕੇ, ਨਿਯੰਤਰਣ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪਤਲਾਪਣ ਅਨੁਪਾਤ ਨੂੰ ਵਿਵਸਥਿਤ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਮਿਕਸਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਸਹੀ ਟੀਚਾ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਬਣਾਈ ਰੱਖਿਆ ਜਾਵੇ। ਇਹ ਅਸੰਗਤ ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਤੋਂ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਅਨੁਮਾਨਯੋਗ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਮਹਿੰਗੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸੈਰ-ਸਪਾਟੇ ਦੀ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ ਅਤੇ ਵਿਸ਼ਾਲਤਾ ਨੂੰ ਨਾਟਕੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਉਪਜ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ
ਅਸਥਿਰ ਸਲਰੀ ਹਾਲਤਾਂ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੀਆਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਅਸਫਲਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹੱਲ ਕਰਨਾ ਹੁਲਾਰਾ ਦੇਣ ਦਾ ਸਭ ਤੋਂ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਤਰੀਕਾ ਹੈਸੀਐਮਪੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣਉਪਜ ਦਰਾਂ। ਭਵਿੱਖਬਾਣੀ ਕਰਨ ਵਾਲੇ, ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਉੱਚ-ਮੁੱਲ ਵਾਲੇ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਸਰਗਰਮੀ ਨਾਲ ਰੱਖਿਆ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਅਜਿਹੇ ਸਿਸਟਮਾਂ ਨੂੰ ਲਾਗੂ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਫੈਬਰਾਂ ਨੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸਫਲਤਾ ਦਾ ਦਸਤਾਵੇਜ਼ੀਕਰਨ ਕੀਤਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਤੋਂ ਬਚਣ ਵਿੱਚ 25% ਤੱਕ ਦੀ ਕਮੀ ਦੀਆਂ ਰਿਪੋਰਟਾਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਇਹ ਰੋਕਥਾਮ ਸਮਰੱਥਾ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਪੈਰਾਡਾਈਮ ਨੂੰ ਅਟੱਲ ਨੁਕਸਾਂ ਪ੍ਰਤੀ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਨ ਤੋਂ ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਗਠਨ ਨੂੰ ਸਰਗਰਮੀ ਨਾਲ ਰੋਕਣ ਵੱਲ ਬਦਲਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਲੱਖਾਂ ਡਾਲਰ ਦੇ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਸਕ੍ਰੈਚਾਂ ਅਤੇ ਅਸਥਿਰ ਕਣ ਆਬਾਦੀ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਹੋਰ ਨੁਕਸਾਨ ਤੋਂ ਬਚਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਦੀ ਯੋਗਤਾ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਅਚਾਨਕ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਵਿੱਚ ਕਮੀ ਥਰਮਲ ਜਾਂ ਸ਼ੀਅਰ ਤਣਾਅ ਦਾ ਸੰਕੇਤ ਦਿੰਦੀ ਹੈ, ਇਹਨਾਂ ਕਾਰਕਾਂ ਦੁਆਰਾ ਕਈ ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਫੈਲਾਉਣ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਰੀਵਰਕ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ
ਉਤਪਾਦਦੁਬਾਰਾ ਕੰਮ ਕਰਨਾਦਰ, ਨਿਰਮਿਤ ਉਤਪਾਦ ਦੇ ਪ੍ਰਤੀਸ਼ਤ ਵਜੋਂ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ ਜਿਸਨੂੰ ਗਲਤੀਆਂ ਜਾਂ ਨੁਕਸਾਂ ਕਾਰਨ ਦੁਬਾਰਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ KPI ਹੈ ਜੋ ਸਮੁੱਚੀ ਨਿਰਮਾਣ ਅਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਮਾਪਦਾ ਹੈ। ਉੱਚ ਰੀਵਰਕ ਦਰਾਂ ਕੀਮਤੀ ਕਿਰਤ, ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਖਪਤ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਕਾਫ਼ੀ ਦੇਰੀ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਕਿਉਂਕਿ ਡਿਸ਼ਿੰਗ, ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰ ਹਟਾਉਣਾ, ਅਤੇ ਸਕ੍ਰੈਚਿੰਗ ਵਰਗੇ ਨੁਕਸ ਰੀਓਲੋਜੀਕਲ ਅਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਸਿੱਧੇ ਨਤੀਜੇ ਹਨ, ਨਿਰੰਤਰ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੁਆਰਾ ਸਲਰੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰਨਾ ਇਹਨਾਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਗਲਤੀਆਂ ਦੀ ਸ਼ੁਰੂਆਤ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਕੇ, ਮੁਰੰਮਤ ਜਾਂ ਦੁਬਾਰਾ ਪਾਲਿਸ਼ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਵਾਲੇ ਨੁਕਸ ਦੀ ਘਟਨਾ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਥਰੂਪੁੱਟ ਅਤੇ ਸਮੁੱਚੀ ਟੀਮ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ
ਸੀਐਮਪੀ ਸਲਰੀਆਂ ਨਿਰਮਾਣ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੇ ਅੰਦਰ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਖਪਤਯੋਗ ਲਾਗਤ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਜਦੋਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਅਨਿਸ਼ਚਿਤਤਾ ਮਿਸ਼ਰਣ ਅਤੇ ਖਪਤ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ, ਰੂੜੀਵਾਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ ਮਾਰਜਿਨਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਨਤੀਜਾ ਅਕੁਸ਼ਲ ਵਰਤੋਂ ਅਤੇ ਉੱਚ ਸੰਚਾਲਨ ਲਾਗਤਾਂ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਮਜ਼ੋਰ, ਸਟੀਕ ਸਲਰੀ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਨਿਰੰਤਰ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸਹੀ ਮਿਸ਼ਰਣ ਅਨੁਪਾਤ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ, ਪਤਲੇ ਪਾਣੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਮਹਿੰਗਾਸੀਐਮਪੀ ਸਲਰੀ ਰਚਨਾਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਵਧੀਆ ਢੰਗ ਨਾਲ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਅਤੇ ਸੰਚਾਲਨ ਖਰਚੇ ਘੱਟ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਰੀਓਲੋਜੀਕਲ ਡਾਇਗਨੌਸਟਿਕਸ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀਆਂ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਦੇ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਚੇਤਾਵਨੀ ਸੰਕੇਤ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ - ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪੈਡ ਪਹਿਨਣ ਜਾਂ ਪੰਪ ਫੇਲ੍ਹ ਹੋਣਾ - ਜੋ ਕਿ ਖਰਾਬੀ ਦੇ ਕਾਰਨ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸਲਰੀ ਸੈਰ ਅਤੇ ਬਾਅਦ ਵਿੱਚ ਸੰਚਾਲਨ ਡਾਊਨਟਾਈਮ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਨ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਸਥਿਤੀ-ਅਧਾਰਤ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ।
ਉੱਚ-ਉਪਜ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਸਾਰੀਆਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਯੂਨਿਟ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਲੋਨਮੀਟਰ ਰੈਜ਼ੋਨੈਂਟ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਸਲਰੀ ਡਿਲੀਵਰੀ ਬੁਨਿਆਦੀ ਢਾਂਚੇ ਨੂੰ ਜੋਖਮ ਤੋਂ ਬਚਾਉਣ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੀ ਮਜ਼ਬੂਤੀ, ਗਤੀ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਕਰਕੇ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਨਿਰੰਤਰ, ਕਾਰਵਾਈਯੋਗ ਬੁੱਧੀ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਅਨੁਮਾਨਯੋਗ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਕੋਲੋਇਡਲ ਅਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਵਿਰੁੱਧ ਵੇਫਰ ਉਪਜ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਉਪਜ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਤੋਂ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀ ਸ਼ੁਰੂ ਕਰਨ ਲਈ:
ਵੱਡਾ ਕਰੋਅੱਪਟਾਈਮ ਅਤੇਛੋਟਾ ਕਰੋਦੁਬਾਰਾ ਕੰਮ:ਡਾਊਨਲੋਡਸਾਡੀਆਂ ਤਕਨੀਕੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਅਤੇਸ਼ੁਰੂਆਤ ਕਰੋਅੱਜ ਦਾ ਇੱਕ RFQ।
ਅਸੀਂ ਸੀਨੀਅਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਉਪਜ ਇੰਜੀਨੀਅਰਾਂ ਨੂੰ ਸੱਦਾ ਦਿੰਦੇ ਹਾਂਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰੋਇੱਕ ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ RFQ। ਸਾਡੇ ਤਕਨੀਕੀ ਮਾਹਰ ਇੱਕ ਸਟੀਕ ਲਾਗੂਕਰਨ ਰੋਡਮੈਪ ਵਿਕਸਤ ਕਰਨਗੇ, ਜੋ ਤੁਹਾਡੇ ਸਲਰੀ ਵੰਡ ਬੁਨਿਆਦੀ ਢਾਂਚੇ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਲੋਨਮੀਟਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੂੰ ਜੋੜਦੇ ਹੋਏ ਨੁਕਸ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਸਲਰੀ ਦੀ ਖਪਤ ਵਿੱਚ ਅਨੁਮਾਨਿਤ ਕਮੀ ਨੂੰ ਮਾਪਣਗੇ।ਸੰਪਰਕਸਾਡੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ ਟੀਮ ਹੁਣਸੁਰੱਖਿਅਤਤੁਹਾਡਾ ਝਾੜ ਫਾਇਦਾ।ਖੋਜ ਕਰੋਤੁਹਾਡੇ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਯੋਜਨਾਬੰਦੀ ਪੜਾਅ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰਨ ਲਈ ਲੋੜੀਂਦੀ ਜ਼ਰੂਰੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ।
