ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਡਾਇਮੰਡ ਵਾਇਰ ਕਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵਹਾਅ ਮਾਪ ਲਾਜ਼ਮੀ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਇਹ ਵਾਇਰ-ਵੇਫਰ ਇੰਟਰਫੇਸ ਨੂੰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਸਟੀਕ ਡਿਲੀਵਰੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ - ਜੋ ਕਿ ਅਨੁਕੂਲ ਕੂਲਿੰਗ, ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।Rਈ-ਟਾਈਮ ਫਲੋ ਡੇਟਾ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਜਾਂ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਤਰਲ ਸਪਲਾਈ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਓਵਰਹੀਟਿੰਗ, ਤਾਰ ਟੁੱਟਣ, ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਨੁਕਸ, ਜਾਂ ਬਰਬਾਦੀ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਸਹੀ ਮਾਪ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪਰਿਵਰਤਨਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਤਾਰ ਦੀ ਉਮਰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਰੋਤ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਦਾ ਸੰਖੇਪ ਜਾਣਕਾਰੀ ਅਤੇ ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਭੂਮਿਕਾ
ਹੀਰੇ ਦੀਆਂ ਤਾਰਾਂ ਕੱਟਣਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਅਤੇ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਅਤੇ ਮਲਟੀਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਇੰਗੌਟਸ ਨੂੰ ਵੇਫਰਾਂ ਵਿੱਚ ਕੱਟਣ ਲਈ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਤਕਨੀਕ ਹੈ। ਇਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਇੱਕ ਸਟੀਲ ਤਾਰ - ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 40-70 μm ਵਿਆਸ - ਨੂੰ ਹੀਰੇ ਦੇ ਘਸਾਉਣ ਵਾਲੇ ਦਾਣਿਆਂ ਨਾਲ ਲੇਪਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਤਾਰ ਤੇਜ਼ ਰਫ਼ਤਾਰ ਨਾਲ ਚਲਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਏਮਬੈਡਡ ਹੀਰੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨੂੰ ਘਸਾਉਣ ਦੁਆਰਾ ਪੀਸਦੇ ਹਨ, ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਉਤਸ਼ਾਹਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਹਾਲ ਹੀ ਦੇ ਸਾਲਾਂ ਵਿੱਚ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਘਟੀਆਂ ਵਿਆਸ ਵਾਲੀਆਂ ਤਾਰਾਂ ਕਰਫ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਕੱਟਣ ਦੇ ਕਾਰਜ ਦੌਰਾਨ ਬਰੀਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਣਾਂ ਵਜੋਂ ਬਰਬਾਦ ਹੋਈ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਕਰਫ ਨੁਕਸਾਨ ਤਾਰ ਦੇ ਵਿਆਸ ਅਤੇ ਤਾਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਤੋਂ ਬਾਹਰ ਨਿਕਲਣ ਵਾਲੇ ਘਸਾਉਣ ਵਾਲੇ ਦਾਣਿਆਂ ਦੀ ਉਚਾਈ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਡਾਇਮੰਡ ਵਾਇਰ ਕਟਿੰਗ
*
ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰਾਂ ਨੂੰ ਕੱਟਣ ਵਿੱਚ ਕਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾਵਾਂ ਨਿਭਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਉਨ੍ਹਾਂ ਦਾ ਮੁੱਖ ਕੰਮ ਪਿੰਜਰੇ ਅਤੇ ਤਾਰ ਦੋਵਾਂ ਨੂੰ ਠੰਡਾ ਕਰਨਾ ਹੈ, ਓਵਰਹੀਟਿੰਗ ਨੂੰ ਰੋਕਣਾ ਜੋ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ ਪਹੁੰਚਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਜਾਂ ਤਾਰ ਦੀ ਉਮਰ ਘਟਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਉਹ ਕੱਟਣ ਦੌਰਾਨ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਬਾਰੀਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਵੀ ਧੋ ਦਿੰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਇੱਕ ਸਾਫ਼ ਇੰਟਰਫੇਸ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ, ਮਲਬੇ ਦੇ ਮੁੜ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਨੂੰ ਰੋਕਣ ਅਤੇ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਸੂਖਮ-ਦਰਦ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਲੁਬਰੀਕੇਟ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਤਾਰ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿਚਕਾਰ ਰਗੜ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਤਾਰ ਦੀ ਉਮਰ ਵਧਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਕੱਟ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਰਚਨਾ ਅਤੇ ਭੌਤਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ - ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਲੇਸ ਅਤੇ ਘਣਤਾ - ਨੂੰ ਕੂਲਿੰਗ, ਚਿੱਪ ਹਟਾਉਣ ਅਤੇ ਤਾਰ ਸੁਰੱਖਿਆ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਧਿਆਨ ਨਾਲ ਪ੍ਰਬੰਧਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
ਕਈ ਤਰ੍ਹਾਂ ਦੇ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥ ਹਨ, ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਵਿੱਚ ਵਧੇ ਹੋਏ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਕਣ ਸਸਪੈਂਸ਼ਨ ਲਈ ਐਡਿਟਿਵ ਵਾਲੇ ਪਾਣੀ-ਅਧਾਰਤ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਚੋਣ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਡਿਜ਼ਾਈਨ, ਵੇਫਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਅਤੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀਆਂ ਪਾਬੰਦੀਆਂ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਸਰਫੈਕਟੈਂਟਸ ਜਾਂ ਗਲਾਈਕੋਲ ਦੇ ਨਾਲ ਡੀਓਨਾਈਜ਼ਡ ਪਾਣੀ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ, ਜੋ ਘੱਟ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਦੇ ਗਠਨ ਦੇ ਨਾਲ ਕੂਲਿੰਗ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਸੰਤੁਲਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ।
ਆਧੁਨਿਕ ਵੇਫਰ ਪਲਾਂਟਾਂ ਵਿੱਚ ਅਤਿ-ਪਤਲੇ ਹੀਰੇ ਦੀਆਂ ਤਾਰਾਂ ਵੱਲ ਵਿਕਾਸ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਚੁਣੌਤੀਆਂ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਤਾਰਾਂ ਦਾ ਵਿਆਸ 40 μm ਤੋਂ ਘੱਟ ਸੁੰਗੜਦਾ ਹੈ, ਤਾਰ ਟੁੱਟਣ ਦਾ ਜੋਖਮ ਵਧਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਲਈ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਸਖ਼ਤ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਟੀਕ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਮਾਪ—ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸੈਂਸਰ, ਅਤੇ ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸੈਂਸਰ ਵਰਗੀਆਂ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੁਆਰਾ ਸਮਰਥਤ—ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਕੂਲਿੰਗ ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਨਿਗਰਾਨੀ ਸੈਂਸਰ ਅਤੇ ਉਦਯੋਗਿਕ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਹੱਲ ਆਪਰੇਟਰਾਂ ਨੂੰ ਅਸਲ ਸਮੇਂ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰਾਂ ਨੂੰ ਟਰੈਕ ਅਤੇ ਵਿਵਸਥਿਤ ਕਰਨ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਅਨੁਕੂਲ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਲਈ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ, ਕੱਟਣ ਦੀ ਗਤੀ ਅਤੇ ਤਾਰ ਤਣਾਅ ਵਧਣ ਦੇ ਬਾਵਜੂਦ ਇਕਸਾਰ ਸਥਿਤੀਆਂ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਇਸ ਵਧਦੀ ਮੰਗ ਨੇ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਤਰਲ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ, ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਵੱਲ ਧਿਆਨ ਕੇਂਦਰਿਤ ਕਰ ਦਿੱਤਾ ਹੈ। ਲੋਨਮੀਟਰ ਵਰਗੇ ਯੰਤਰ ਭਰੋਸੇਯੋਗ, ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੇ ਮਾਪ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ ਜੋ ਉੱਨਤ ਡਾਇਮੰਡ ਵਾਇਰ ਕੱਟਣ ਦੇ ਕਾਰਜਾਂ ਵਿੱਚ ਗੁਣਵੱਤਾ ਭਰੋਸਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਲਈ ਲਾਜ਼ਮੀ ਹਨ। ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵਾਇਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਅੱਗੇ ਵਧਦੀ ਰਹਿੰਦੀ ਹੈ, ਮਜ਼ਬੂਤ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦਾ ਏਕੀਕਰਨ ਵੇਫਰ ਥਰੂਪੁੱਟ ਨੂੰ ਕਾਇਮ ਰੱਖਣ, ਕੇਰਫ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨਿਰਮਾਣ ਖੇਤਰ ਲਈ ਡਾਊਨਸਟ੍ਰੀਮ ਫਿਨਿਸ਼ਿੰਗ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਲਈ ਅਨਿੱਖੜਵਾਂ ਅੰਗ ਹੈ।
ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਡਾਇਮੰਡ ਵਾਇਰ ਕਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਚੁਣੌਤੀਆਂ
ਅਤਿ-ਪਤਲੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਹੀਰੇ ਦੀ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਿੱਚ - ਖਾਸ ਕਰਕੇ 40 µm ਤੋਂ ਘੱਟ ਵਾਲੇ - ਸਲਾਈਸਿੰਗ ਇੰਟਰਫੇਸ ਤੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਸਹੀ ਮਾਤਰਾ ਪਹੁੰਚਾਉਣਾ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਚੁਣੌਤੀ ਬਣ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਤਾਰ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਘਟਦੀ ਹੈ, ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਲਈ ਜਗ੍ਹਾ ਵੀ ਘੱਟਦੀ ਹੈ। ਸੰਪਰਕ ਬਿੰਦੂ 'ਤੇ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ, ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇਕਸਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਸਪਲਾਈ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਬਹੁਤ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।
ਅਸੰਗਤ ਜਾਂ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੇਫਰ ਸੋਸ਼ਣ ਵੱਲ ਲੈ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿੱਥੇ ਵੇਫਰ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਦੇ ਕਾਰਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਨਾਲ ਅਣਚਾਹੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਚਿਪਕ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਕੱਟਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਿਘਨ ਪਾਉਂਦਾ ਹੈ ਬਲਕਿ ਵੇਫਰ ਦੇ ਟੁੱਟਣ ਜਾਂ ਨੁਕਸਾਨ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਵੀ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਤਾਰ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਤੋਂ ਨਿਰੰਤਰ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਕੂਲਿੰਗ ਪ੍ਰਾਪਤ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਤਾਂ ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਕਾਫ਼ੀ ਵੱਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਖਰਾਬ ਸਤਹਾਂ ਅਤੇ ਸੂਖਮ-ਨੁਕਸ ਵੇਫਰ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਉਪਜ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਅਤੇ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਉਦਯੋਗਾਂ ਲਈ ਵੱਡੀਆਂ ਰੁਕਾਵਟਾਂ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।
ਤਿੰਨ ਮੁੱਖ ਕਾਰਕ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਸਕੇਲ ਸਾਵਿੰਗ ਗੈਪ ਵਿੱਚ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵੇਸ਼ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰਦੇ ਹਨ: ਤਾਰ ਜਿਓਮੈਟਰੀ, ਕੱਟਣ ਦੀ ਗਤੀ, ਅਤੇ ਕੇਸ਼ੀਲਾ ਕਿਰਿਆ। ਤਾਰ ਜਿਓਮੈਟਰੀ - ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਤਾਰ ਵਿਆਸ ਅਤੇ ਹੀਰੇ ਦੇ ਦਾਣਿਆਂ ਦੀ ਵੰਡ - ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲਾ ਤਰਲ ਕਿੰਨੀ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਵਹਿੰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸੰਪਰਕ ਜ਼ੋਨ ਨਾਲ ਜੁੜਦਾ ਹੈ। 40 µm ਤੋਂ ਘੱਟ ਤਾਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਛੋਟਾ ਸਤਹ ਖੇਤਰ ਤਰਲ ਦੀ ਮੁਕਤ ਗਤੀ ਨੂੰ ਸੀਮਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਉੱਚ ਕੱਟਣ ਦੀ ਗਤੀ ਤਰਲ ਦੇ ਇੰਟਰਫੇਸ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਅਤੇ ਠੰਢਾ ਹੋਣ ਲਈ ਉਪਲਬਧ ਸਮੇਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਥਾਨਕ ਓਵਰਹੀਟਿੰਗ ਅਤੇ ਮਾੜੀ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਕੇਸ਼ੀਲਾ ਕਿਰਿਆ, ਤਰਲ ਦੀ ਤੰਗ ਥਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਖਿੱਚਣ ਦੀ ਕੁਦਰਤੀ ਯੋਗਤਾ, ਤਰਲ ਧਾਰਨ ਨੂੰ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਨਾਲ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਉਹੀ ਤਰਲ ਪੁਲ ਜੋ ਤਰਲ ਆਵਾਜਾਈ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਨਾਲ ਲੱਗਦੀਆਂ ਤਾਰਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਕੇਸ਼ੀਲਾ ਅਡੈਸ਼ਨ ਪੇਸ਼ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰ ਤਣਾਅ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਮੋਟਾਈ ਭਿੰਨਤਾ ਵਧਦੀ ਹੈ।
ਉੱਨਤ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਕਿਸਮਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁਰੂਆਤ - ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਨੈਨੋਪਾਰਟੀਕਲ-ਵਧਾਇਆ ਗਿਆ ਹੱਲ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ - ਮਾਪਣਯੋਗ ਸੁਧਾਰ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। SiO₂ ਜਾਂ SiC ਨੈਨੋਪਾਰਟੀਕਲ ਨਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਲੇਸ ਅਤੇ ਸਤਹ ਪਰਸਪਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੇ ਕਾਰਨ ਤੰਗ ਪਾੜੇ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਪਾਰ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਤਰਲ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨਾਲ ਦੂਰ ਲੈ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਸਮਤਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਖੋਜ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਨੈਨੋਪਾਰਟੀਕਲ ਨਾਲ ਭਰੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੱਟਣ ਦੌਰਾਨ ਤਾਪਮਾਨ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਸੋਧਦੀ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਹੋਰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ ਜੋ ਵੇਫਰ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਖਤਰੇ ਵਿੱਚ ਪਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ, ਕੇਸ਼ਿਕਾ ਆਵਾਜਾਈ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਵਰਗੀਆਂ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਮਿਲ ਕੇ, ਵਧੇਰੇ ਇਕਸਾਰ ਹੀਰਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ।
ਇਕਸਾਰ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਲਈ ਸਹੀ, ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਸਮਾਯੋਜਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਉਦਯੋਗਿਕ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਸਖ਼ਤੀ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ। ਇੱਕ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰ ਨੂੰ ਲਾਗੂ ਕਰਨਾ—ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸੈਂਸਰ—ਡਿਲੀਵਰੀ ਦਰ ਦੇ ਸਟੀਕ ਨਿਯਮ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਲੋਨਮੀਟਰ ਦੇ ਇਨਲਾਈਨ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਮੀਟਰ, ਜਦੋਂ ਸਟੀਕ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਮਾਪਣ ਵਾਲੇ ਸਾਧਨਾਂ ਨਾਲ ਜੋੜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਤਰਲ ਸਪਲਾਈ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਵਿੱਚ ਯੋਗਦਾਨ ਪਾਉਂਦੇ ਹਨ ਤਾਂ ਜੋ ਸਭ ਤੋਂ ਪਤਲੇ ਵੇਫਰ ਵੀ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਨੁਕਸ ਜੋਖਮ ਦੇ ਨਾਲ, ਸੁਚਾਰੂ ਢੰਗ ਨਾਲ ਕੱਟੇ ਜਾ ਸਕਣ।
ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਓਪਰੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਡਾਇਮੰਡ ਵਾਇਰ ਕਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਹੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਮਾਪ ਬੁਨਿਆਦੀ ਹੈ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਦੀ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ੀਲਤਾ ਸੰਪਰਕ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਕੂਲਿੰਗ, ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਨੂੰ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਕਾਰ ਦਿੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ, ਕਰਫ ਨੁਕਸਾਨ ਅਤੇ ਸਮੁੱਚੀ ਉਤਪਾਦਨ ਉਪਜ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਜਾਂ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ੀਲਤਾ ਨੂੰ ਬਦਲਦਾ ਹੈ, ਟੂਲ ਵਿਅਰ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਅਸੰਗਤ ਵੇਫਰ ਗੁਣਵੱਤਾ ਜਾਂ ਉੱਚ ਸਰੋਤ ਲਾਗਤਾਂ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਅਨੁਭਵੀ ਖੋਜ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ (Ra) ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਆਮ ਸਿੰਗਲ-ਵਾਇਰ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ 0.15–0.25 L/ਮਿੰਟ ਸੀਮਾ ਦੇ ਅੰਦਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖ ਕੇ ਘੱਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਈਕ੍ਰੋਕ੍ਰੈਕ ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਦੇ ਇਕੱਠਾ ਹੋਣ ਵੱਲ ਲੈ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਜ਼ਿਆਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਗੜਬੜ ਅਤੇ ਬੇਲੋੜੀ ਖਪਤ ਨੂੰ ਪੇਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਮਾਪ ਨੂੰ ਕੱਟਣ ਲਈ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ
ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰ ਤਰਲ ਸਪਲਾਈ ਲਾਈਨਾਂ ਵਿੱਚ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਅਸਲ ਸਮੇਂ ਵਿੱਚ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਡਿਲੀਵਰ ਕੀਤੀ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਮਾਪਦੇ ਹਨ। ਆਮ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਵਿੱਚ ਮਕੈਨੀਕਲ, ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਅਤੇ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਕਿਸਮਾਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
- ਮਕੈਨੀਕਲ ਫਲੋ ਮੀਟਰ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਟਰਬਾਈਨ ਅਤੇ ਪੈਡਲਵ੍ਹੀਲ ਡਿਜ਼ਾਈਨ, ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੁਆਰਾ ਵਿਸਥਾਪਿਤ ਘੁੰਮਦੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਸਧਾਰਨ ਅਤੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਪਰ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ-ਭਰੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਤੋਂ ਪਹਿਨਣ ਲਈ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
- ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਫਲੋ ਮੀਟਰ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਡਿਜ਼ਾਈਨ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਦੇ ਸਿਧਾਂਤਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਤਰਲ ਵੇਗ ਨੂੰ ਮਾਪਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਸੰਚਾਲਕ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਲਈ ਭਰੋਸੇਯੋਗ, ਰੱਖ-ਰਖਾਅ-ਰੌਸ਼ਨੀ ਸੰਚਾਲਨ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ।
- ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਫਲੋ ਮੀਟਰ ਪਾਈਪ ਦੇ ਪਾਰ ਪ੍ਰਸਾਰਿਤ ਅਤੇ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀਆਂ ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ ਵਾਲੀਆਂ ਧੁਨੀ ਤਰੰਗਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਵਹਾਅ ਦੇ ਨਾਲ ਅਤੇ ਵਿਰੁੱਧ ਧੁਨੀ ਆਵਾਜਾਈ ਦੇ ਸਮੇਂ ਦੇ ਅੰਤਰ ਨੂੰ ਮਾਪ ਕੇ, ਇਹ ਯੰਤਰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਕਿਸਮਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵੇਂ ਗੈਰ-ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ, ਸਹੀ ਮਾਪ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਉਹਨਾਂ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵੱਖਰਾ ਦਿਖਾਈ ਦਿੰਦਾ ਹੈ ਜਿੱਥੇ ਤਰਲ ਪੁੰਜ ਦੇ ਸਹੀ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਲੇਸ ਜਾਂ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੀ ਪਰਵਾਹ ਕੀਤੇ ਬਿਨਾਂ। ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸੈਂਸਰ ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਨੂੰ ਮਾਪਦੇ ਹਨ, ਪਾਣੀ-ਅਧਾਰਤ ਅਤੇ ਤੇਲ-ਅਧਾਰਤ ਹੀਰਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੋਵਾਂ ਲਈ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਲੋਨਮੀਟਰ ਇਨਲਾਈਨ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਮੀਟਰ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਲਈ ਤਰਲ ਗੁਣਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਨੂੰ ਹੋਰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਨਾਜ਼ੁਕ ਮਾਪ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਅਤੇ ਸੈਂਸਰ ਪਲੇਸਮੈਂਟ
ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੇ ਸਹੀ ਮਾਪ ਲਈ ਕਈ ਮੁੱਖ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਵੱਲ ਧਿਆਨ ਦੇਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ:
- ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ (ਲੀਟਰ/ਮਿੰਟ): ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਨੁਕੂਲਨ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਭਰੋਸੇ ਲਈ ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਮਾਪ।
- ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸ: ਦੋਵੇਂ ਹੀ ਕੂਲਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ, ਘਸਾਉਣ ਵਾਲੀ ਆਵਾਜਾਈ, ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਦੀ ਸਫਾਈ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ।
- ਤਾਪਮਾਨ: ਕੱਟ ਵਾਲੀ ਥਾਂ 'ਤੇ ਲੇਸ ਅਤੇ ਤਰਲ ਵਿਵਹਾਰ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਸੈਂਸਰ ਪਲੇਸਮੈਂਟ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਕੱਟ ਇੰਟਰਫੇਸ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਪਾਈਪਿੰਗ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਲੀਕੇਜ, ਜਾਂ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਦੇ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਅੰਤਰ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਨ ਲਈ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸੈਂਸਰਾਂ ਨੂੰ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਲਾਈਨ ਵਿੱਚ ਸਿੱਧਾ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਜ਼ੋਨ ਦੇ ਨੇੜੇ ਰੱਖਿਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਇਨਲਾਈਨ ਮਾਪ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਰਿਪੋਰਟ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੁੱਲ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਅਸਲ ਸਪਲਾਈ ਨਾਲ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ ਹੈ।
ਅਨੁਕੂਲ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਦਾ ਕਾਰਜ
ਉਦਯੋਗਿਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਦੇ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਲਈ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸੈਂਸਰ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹਨ। ਇੱਕ ਅਨੁਕੂਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਦੇ ਨਾਲ-ਨਾਲ ਲੋੜੀਂਦੀ ਗਰਮੀ ਦੀ ਖਪਤ, ਨਿਰੰਤਰ ਮਲਬੇ ਦੀ ਨਿਕਾਸੀ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਵਿੱਚ ਗਿਰਾਵਟ ਆਉਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਰ ਦੀ ਉਮਰ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸ ਜਾਂ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਕਰਫ ਨੁਕਸਾਨ ਦੇ ਵਧੇ ਹੋਏ ਜੋਖਮ ਕਾਰਨ ਉਪਜ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਮਾਪ ਨੂੰ ਹੋਰ ਫੀਡਬੈਕ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵਾਇਰ ਸਪੀਡ, ਫੀਡ ਰੇਟ) ਨਾਲ ਜੋੜ ਕੇ, ਨਿਰਮਾਤਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਥ੍ਰੈਸ਼ਹੋਲਡ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਲਾਗੂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਸਮਾਯੋਜਨ ਨੂੰ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਦੇਖੇ ਗਏ ਕੱਟਣ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨਾਲ ਜੋੜਦੇ ਹਨ। ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ, ਪ੍ਰੋਗਰਾਮ ਕੀਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਲਿਫਾਫੇ ਤੋਂ ਕੋਈ ਵੀ ਭਟਕਣਾ ਤੁਰੰਤ ਸੁਧਾਰਾਤਮਕ ਕਾਰਵਾਈ ਨੂੰ ਚਾਲੂ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਸਰੋਤ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਦੋਵਾਂ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਸੰਖੇਪ ਵਿੱਚ, ਉਦਯੋਗਿਕ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ - ਮਜ਼ਬੂਤ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸੈਂਸਰਾਂ ਅਤੇ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੇ ਡੇਟਾ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਨਾ - ਹੀਰਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਦੇ ਯੁੱਗ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਉਪਜ, ਲਾਗਤ-ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਉਤਪਾਦਨ ਲਈ ਇੱਕ ਨੀਂਹ ਪੱਥਰ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ: ਸਿਧਾਂਤ ਅਤੇ ਉਪਯੋਗ
ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਵਾਈਬ੍ਰੇਟਿੰਗ ਟਿਊਬਾਂ ਰਾਹੀਂ ਤਰਲ ਦੁਆਰਾ ਚਲਾਈ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਸ਼ਕਤੀ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ 'ਤੇ ਅਧਾਰਤ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਤਰਲ ਵਹਿੰਦਾ ਹੈ - ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਹੀਰਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲਾ ਤਰਲ ਜਾਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲਾ ਤਰਲ - ਟਿਊਬਾਂ ਇੱਕ ਛੋਟੀ, ਮਾਪਣਯੋਗ ਪੜਾਅ ਤਬਦੀਲੀ ਦਾ ਅਨੁਭਵ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਇਹ ਤਬਦੀਲੀ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਦੇ ਅਨੁਪਾਤੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਡਿਲੀਵਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੇ ਪੁੰਜ ਦੀ ਸਿੱਧੀ, ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੀ ਮਾਤਰਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹੀ ਸਿਧਾਂਤ ਤਰਲ ਘਣਤਾ ਦੇ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਮਾਪ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦਾ ਹੈ, ਬਦਲਦੇ ਤਰਲ ਕਿਸਮਾਂ, ਰਚਨਾਵਾਂ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨਾਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ - ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨਿਰਮਾਣ ਅਤੇ ਹੀਰਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਲੋੜ।
ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਲਈ ਇਸ ਪਹੁੰਚ ਦੇ ਫਾਇਦੇ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਜਦੋਂ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਕਾਫ਼ੀ ਹਨ। ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਤਰਲ ਲੇਸ ਅਤੇ ਰਚਨਾ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਤੋਂ ਸੁਤੰਤਰ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਵਿੱਚ ਅਕਸਰ ਪਾਏ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਣਾਂ, ਨੈਨੋ-ਐਡਿਟਿਵ, ਜਾਂ ਵਿਭਿੰਨ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਦੀ ਮੌਜੂਦਗੀ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਬਹੁਤ ਸਹੀ ਰਹਿੰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਇਸਨੂੰ ਰਵਾਇਤੀ ਵੌਲਯੂਮੈਟ੍ਰਿਕ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵਿਧੀਆਂ ਤੋਂ ਉੱਤਮ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਬੁਲਬੁਲੇ, ਮੁਅੱਤਲ ਕੀਤੇ ਕਣਾਂ, ਅਤੇ ਉੱਨਤ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੇ ਬਦਲਦੇ ਭੌਤਿਕ ਗੁਣਾਂ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ।
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਦੀ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਨਿਗਰਾਨੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਉੱਨਤ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸੈਂਸਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਲੋਨਮੀਟਰ ਇਨਲਾਈਨ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸੈਂਸਰ ਸਿੱਧੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਾਈਨਾਂ ਵਿੱਚ ਲਾਗੂ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਵੇਫਰ ਸਲਾਈਸਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਨੈਨੋ-ਤਰਲ ਅਤੇ ਹੀਰਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਸਟੀਕ ਡਿਲੀਵਰੀ ਅਤੇ ਨਿਗਰਾਨੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਤਰਲ ਦੇ ਪਤਨ, ਮਿਸ਼ਰਣ ਅਸੰਗਤਤਾਵਾਂ, ਜਾਂ ਘਣਤਾ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੇ ਸੰਕੇਤਾਂ ਦਾ ਤੁਰੰਤ ਪਤਾ ਲਗਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਉਪਜ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਲਈ ਤੁਰੰਤ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ ਦੀ ਆਗਿਆ ਮਿਲਦੀ ਹੈ।
ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸੈਂਸਰਾਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਹੋਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਨਿਗਰਾਨੀ ਸੈਂਸਰਾਂ ਨਾਲ ਕਰਨ ਨਾਲ - ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਥਰਮਲ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ, ਜਾਂ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਪ੍ਰਵਾਹ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ - ਕਈ ਸ਼ਕਤੀਆਂ ਦਾ ਖੁਲਾਸਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸੈਂਸਰ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਵਿੱਚ ਉੱਤਮ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਜਾਂ ਚੁੰਬਕੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਤੋਂ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੋਏ ਪੁੰਜ-ਅਧਾਰਤ ਰੀਡਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਅਤੇ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਮੀਟਰ ਨੈਨੋਪਾਰਟਿਕਲ, ਏਅਰ ਪਾਕੇਟ, ਜਾਂ ਮਿੰਟ ਘਣਤਾ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਵਾਲੇ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਨਾਲ ਸੰਘਰਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਅਕਸਰ ਅਵਿਸ਼ਵਾਸਯੋਗ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਮਾਪ ਅਤੇ ਵਧੀ ਹੋਈ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਫਲੋ ਮੀਟਰ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਬਦਲਦੇ ਤਰਲ ਰਚਨਾਵਾਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਬਣਾਈ ਰੱਖੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਸਿਗਨਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਮੁਆਵਜ਼ਾ ਸਕੀਮਾਂ ਸ਼ੋਰ ਅਤੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਪਰਿਵਰਤਨ ਨੂੰ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨਾਲ ਫਿਲਟਰ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਆਪਰੇਟਰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਕਿਸਮਾਂ ਅਤੇ ਨੈਨੋਫਲੂਇਡ ਮਿਸ਼ਰਣਾਂ ਦੀਆਂ ਵਿਭਿੰਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦਾ ਜਵਾਬ ਦਿੰਦੇ ਹੋਏ, ਕੂਲਿੰਗ, ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਕਣ ਹਟਾਉਣ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਡੇਟਾ ਦਾ ਲਾਭ ਉਠਾ ਸਕਦੇ ਹਨ।
ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਦਾ ਅਤਿ-ਪਤਲੇ ਤਾਰਾਂ ਨੂੰ ਕੱਟਣ ਅਤੇ ਨੈਨੋਪਾਰਟਿਕਲਜ਼ ਨਾਲ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਨੂੰ ਕੱਟਣ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲਨ ਉਦਯੋਗਿਕ ਨਿਗਰਾਨੀ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਤਬਦੀਲੀ ਦੀ ਨਿਸ਼ਾਨਦੇਹੀ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਸੈਂਸਰ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨਾਲ ਸੱਚੇ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਘਣਤਾ ਨੂੰ ਮਾਪਦੇ ਹਨ, ਕਣਾਂ ਦੀ ਸਮੱਗਰੀ ਜਾਂ ਤਰਲ ਵਿਭਿੰਨਤਾ ਦੀ ਪਰਵਾਹ ਕੀਤੇ ਬਿਨਾਂ, ਬੰਦ-ਲੂਪ ਨਿਯੰਤਰਣ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਸਵੈਚਾਲਿਤ ਤਰਲ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਦਾ ਇਹ ਪੱਧਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਹੀਰਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੌਰਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ, ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਸੁਰੱਖਿਅਤ ਕਰਨ ਲਈ ਕੇਂਦਰੀ ਹੈ।
ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਡੇਟਾ ਨੂੰ ਜੋੜਨਾ
ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਮਾਸ ਫਲੋ ਸੈਂਸਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਫਲੋ ਮਾਪ ਨੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਡਾਇਮੰਡ ਵਾਇਰ ਕਟਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਨੂੰ ਬਦਲ ਦਿੱਤਾ ਹੈ। ਇਨਲਾਈਨ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਮੀਟਰ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਲੋਨਮੀਟਰ ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਹਨ, ਤਰਲ ਗੁਣਾਂ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਦੀ ਤੁਰੰਤ ਨਿਗਰਾਨੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਹੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਕੂਲਿੰਗ, ਸਫਾਈ ਅਤੇ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਲਈ ਅਨੁਕੂਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰਾਂ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਮਾਸ ਫਲੋ ਮੀਟਰ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਤਰਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੀ ਫੀਡਬੈਕ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਕੇ ਇਸ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਉੱਤਮਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਡੇਟਾ ਦੇ ਨਾਲ, ਆਟੋਮੇਟਿਡ ਸਿਸਟਮ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਲੋੜੀਂਦੀ ਮਾਤਰਾ ਅਤੇ ਰਚਨਾ ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਲਈ ਪੰਪ ਸਪੀਡ, ਵਾਲਵ ਸਥਿਤੀਆਂ, ਜਾਂ ਰੀਸਾਈਕਲ ਦਰਾਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਤੇਜ਼ ਕੱਟਣ ਦੇ ਚੱਕਰਾਂ ਦੌਰਾਨ, ਸੈਂਸਰ ਡੇਟਾ ਮਲਬੇ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਹਟਾਉਣ ਅਤੇ ਕੂਲਿੰਗ ਲਈ ਵਧੇ ਹੋਏ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਨੂੰ ਚਾਲੂ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਹੌਲੀ ਚੱਕਰਾਂ ਨੂੰ ਬਰਬਾਦੀ ਤੋਂ ਬਚਣ ਲਈ ਘੱਟ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੀ ਲੋੜ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ।
ਬਦਲਦੀਆਂ ਤਰਲ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦਾ ਜਵਾਬ ਦੇਣ ਲਈ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸੈਂਸਰਾਂ ਤੋਂ ਫੀਡਬੈਕ ਵੀ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ ਹੀ ਤਰਲ ਲੇਸ ਜਾਂ ਘਣਤਾ ਬਦਲਦੀ ਹੈ—ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਜਾਂ ਗੰਦਗੀ ਦੇ ਕਾਰਨ—ਲੌਨਮੀਟਰ ਦੇ ਇਨਲਾਈਨ ਮੀਟਰ ਇਹਨਾਂ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਦਾ ਤੁਰੰਤ ਪਤਾ ਲਗਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰਾਂ ਨੂੰ ਵਿਵਸਥਿਤ ਕਰਕੇ ਜਾਂ ਤਰਲ ਫਿਲਟਰੇਸ਼ਨ ਸ਼ੁਰੂ ਕਰਕੇ ਮੁਆਵਜ਼ਾ ਮਿਲਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਦਾਣੇਦਾਰ, ਡੇਟਾ-ਸੰਚਾਲਿਤ ਪਹੁੰਚ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਤਰਲ ਅਨੁਕੂਲ ਕੱਟਣ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਲਈ ਸਖ਼ਤ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਰਹਿੰਦਾ ਹੈ।
ਉੱਚ-ਆਵਾਜ਼ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਵਿੱਚ, ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਵਿੱਚ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਣ ਕਰਨ ਦੀ ਯੋਗਤਾ ਇਕਸਾਰ ਮੋਟਾਈ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਮਹਿੰਗੇ ਨੁਕਸ ਦੀ ਮੌਜੂਦਗੀ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਏਸ਼ੀਆ ਅਤੇ ਯੂਰਪ ਵਿੱਚ ਮੋਹਰੀ ਨਿਰਮਾਣ ਲਾਈਨਾਂ ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਉੱਨਤ ਤਰਲ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਭਵਿੱਖਬਾਣੀ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦਾ ਵੀ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਦੀ ਉਮਰ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਉਦਯੋਗਿਕ ਕਾਰਜਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਵਾਹ-ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਤੋਂ ਕਾਫ਼ੀ ਲਾਭ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਕੁਸ਼ਲ ਤਰਲ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਹਰੇਕ ਵੇਫਰ ਲਈ ਕਾਫ਼ੀ ਤਰਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਕੇ ਖਪਤ ਅਤੇ ਨਿਪਟਾਰੇ ਦੀਆਂ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਨਿਯਮਕ ਪਾਲਣਾ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਤਰਲ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ ਵਿੱਚ ਕਮੀ - ਸੈਂਸਰ ਡੇਟਾ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ ਨਿਰੰਤਰ ਫੀਡਬੈਕ ਅਤੇ ਸਮਾਯੋਜਨ ਦੁਆਰਾ ਸਮਰੱਥ - ਸੰਚਾਲਨ ਖਰਚਿਆਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਅਤੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਵਿੱਚ ਅਨੁਵਾਦ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਸੰਖੇਪ ਵਿੱਚ, ਲੋਨਮੀਟਰ ਦੇ ਇਨਲਾਈਨ ਹੱਲਾਂ ਦੁਆਰਾ ਸਮਰੱਥ ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਫਲੋ ਮਾਪ ਡੇਟਾ ਦਾ ਏਕੀਕਰਨ, ਨਾ ਸਿਰਫ ਵੇਫਰ ਗੁਣਵੱਤਾ ਭਰੋਸੇ ਲਈ ਇੱਕ ਨੀਂਹ ਪੱਥਰ ਹੈ ਬਲਕਿ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਇੱਕ ਸੰਚਾਲਨ ਲਾਭ ਵੀ ਹੈ। ਇਹ ਸਤਹ ਫਿਨਿਸ਼, ਮਕੈਨੀਕਲ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ, ਉਤਪਾਦਨ ਉਪਜ, ਅਤੇ ਲਾਗਤ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ੀਲਤਾ ਵਿੱਚ ਮਾਪਣਯੋਗ ਸੁਧਾਰ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਸੂਝ ਅਤੇ ਉਦਯੋਗਿਕ ਮਾਰਗਦਰਸ਼ਨ
ਹਾਲੀਆ ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਅਧਿਐਨਾਂ ਨੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਡਾਇਮੰਡ ਵਾਇਰ ਕਟਿੰਗ ਲਈ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਅਭਿਆਸਾਂ ਨੂੰ ਮੁੜ ਆਕਾਰ ਦਿੱਤਾ ਹੈ। ਖੋਜ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਸਟੀਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਬੰਧਿਤ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਸਪਲਾਈ, ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਨਤ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘੱਟ ਵੇਫਰ ਸੋਸ਼ਣ ਅਤੇ ਬਿਹਤਰ ਸਤਹ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨਾਲ ਸੰਬੰਧਿਤ ਹੈ।
ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਵਿੱਚ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਕੇਸ਼ੀਲਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਇੱਕ ਗੇਮ-ਚੇਂਜਰ ਵਜੋਂ ਉਭਰੀ ਹੈ। ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਤਰੰਗਾਂ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਨੂੰ ਅਲਟਰਾਥਿਨ ਕਰਫਾਂ ਵਿੱਚ ਡੂੰਘਾਈ ਨਾਲ ਚਲਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ - ਖਾਸ ਕਰਕੇ 50 μm ਤੋਂ ਘੱਟ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ - ਜਿੱਥੇ ਰਵਾਇਤੀ ਸਪਲਾਈ ਵਿਧੀਆਂ ਅਕਸਰ ਅਸਫਲ ਹੋ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਇਹ ਵਧੀ ਹੋਈ ਘੁਸਪੈਠ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਘ੍ਰਿਣਾਯੋਗ ਕਣਾਂ ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਦੇ ਸੋਸ਼ਣ ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਹੱਦ ਤੱਕ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਅਨੁਭਵੀ ਟੈਸਟ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ ਕਿ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ-ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਤਰਲ ਸਪਲਾਈ ਦੇ ਅਧੀਨ ਵੇਫਰ ਮਾਪਣਯੋਗ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘੱਟ ਸਤਹ ਨੁਕਸ ਦਿਖਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਡਾਊਨਸਟ੍ਰੀਮ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਉਪਜ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ।
ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਨੂੰ ਕੱਟਣ ਵਿੱਚ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਵਾਧਾ ਅਤੇ ਨੈਨੋ-ਤਰਲ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੋਵਾਂ ਦੇ ਲਾਭਾਂ ਨੂੰ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਕਰਨ ਲਈ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਬਹੁਤ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਮੁੱਖ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:
- ਪਲੇਟ ਦੀ ਦੂਰੀ: ਤਰਲ ਪਦਾਰਥ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ ਵਾਧੇ ਲਈ ਤਰਲ ਭੰਡਾਰ ਅਤੇ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰ ਵਿਚਕਾਰ ਪਾੜੇ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਨਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।
- ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਟ੍ਰਾਂਸਡਿਊਸਰ ਸਥਿਤੀ ਅਤੇ ਸੈੱਟਅੱਪ ਸਮਾਨਤਾ: ਸਪਸ਼ਟ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਜਿਓਮੈਟਰੀ ਇਕਸਾਰ ਤਰੰਗ ਸੰਚਾਰ ਅਤੇ ਕੇਸ਼ੀਲ ਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
- ਤਰਲ ਤਾਪਮਾਨ: ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਹੀਟਿੰਗ ਤਰਲ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਅਤੇ ਕੇਸ਼ਿਕਾ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੀ ਹੈ।
- ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਦੀ ਮਿਆਦ ਅਤੇ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ: ਸਹੀ ਸਮਾਂ ਘੁਸਪੈਠ ਨੂੰ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਓਵਰਹੀਟਿੰਗ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ।
- ਤਰਲ ਕਿਸਮ ਦੀ ਚੋਣ: ਵੱਖ-ਵੱਖ ਬੇਸ ਤਰਲ ਅਤੇ ਐਡਿਟਿਵ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਉਤੇਜਨਾ ਪ੍ਰਤੀ ਵਿਲੱਖਣ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਨੈਨੋਫਲੂਇਡ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਇੱਕ ਹੋਰ ਵੱਡੀ ਤਰੱਕੀ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੀ ਹੈ। SiO2 ਅਤੇ SiC ਵਰਗੇ ਨੈਨੋਪਾਰਟਿਕਲ ਨਾਲ ਭਰੇ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਅਤੇ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਸੋਧ ਵਧੇਰੇ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਕੂਲਿੰਗ, ਵਧੇ ਹੋਏ ਮਲਬੇ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ, ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਡੇਟਾ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਮਿਸ਼ਰਤ ਨੈਨੋ-ਕਣ ਫਾਰਮੂਲੇ ਸਹਿਯੋਗੀ ਸੁਧਾਰ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਵਾਰਪੇਜ ਨੂੰ ਹੋਰ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਿੰਗਲ-ਟਾਈਪ ਜਾਂ ਰਵਾਇਤੀ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਨਾਲੋਂ ਉੱਤਮ ਵੇਫਰ ਰੂਪ ਵਿਗਿਆਨ ਪੈਦਾ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਆਪਣੇ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਕੋਸ਼ਿਸ਼ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਨਿਰਮਾਤਾ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦਿਸ਼ਾ-ਨਿਰਦੇਸ਼ਾਂ ਨੂੰ ਲਾਗੂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ:
- ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਣ ਕਰਨ ਲਈ ਇਨਲਾਈਨ ਘਣਤਾ ਮੀਟਰ ਅਤੇ ਵਿਸਕੋਸਿਟੀ ਮੀਟਰ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਲੋਨਮੀਟਰ ਤੋਂ) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹੋਏ ਕਿ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਅਤੇ ਨੈਨੋ-ਸਹਾਇਤਾ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਰਹਿਣ।
- ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸੈਂਸਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰਾਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਵਿਵਸਥਿਤ ਕਰੋ। ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਉਦਯੋਗਿਕ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲਾਭਦਾਇਕ ਹੈ, ਜੋ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਆਇਤਨ ਦੋਵਾਂ ਲਈ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ।
- ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਰੀਡਿੰਗ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਲਈ ਨਿਯਮਿਤ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸੈਂਸਰਾਂ ਨੂੰ ਕੈਲੀਬਰੇਟ ਕਰੋ, ਜੋ ਕਿ ਇਕਸਾਰ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।
- ਖਾਸ ਵੇਫਰ ਆਕਾਰ, ਹੀਰੇ ਦੀਆਂ ਤਾਰਾਂ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ, ਅਤੇ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਵਾਤਾਵਰਣ ਨਾਲ ਮੇਲ ਖਾਂਦੀਆਂ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਕਿਸਮਾਂ ਅਤੇ ਨੈਨੋਪਾਰਟੀਕਲ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰੋ।
ਤੁਲਨਾਤਮਕ ਅਧਿਐਨ ਇਸ ਗੱਲ ਦੀ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਦੇ ਹਨ ਕਿ ਸਿੰਗਲ-ਫੈਕਟਰ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਬਦਲਾਅ - ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਤਾਰ ਦੀ ਗਤੀ ਵਧਾਉਣਾ ਜਾਂ ਫੀਡ ਰੇਟ ਨੂੰ ਐਡਜਸਟ ਕਰਨਾ - ਤਾਰ ਦੇ ਪਹਿਨਣ, ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ, ਅਤੇ ਕੁੱਲ ਮੋਟਾਈ ਪਰਿਵਰਤਨ (TTV) ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਨਾਲ ਸੰਬੰਧਿਤ ਹਨ। ਵਹਾਅ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਤੇਜ਼, ਜਵਾਬਦੇਹ ਤਰਲ ਸਪਲਾਈ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਨੁਕਸਾਂ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਨ ਅਤੇ ਤਾਰ ਦੇ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਦੋਵਾਂ ਲਈ ਬਹੁਤ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।
ਅਕਸਰ ਪੁੱਛੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਸਵਾਲ
ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਨੂੰ ਕਿਵੇਂ ਸੁਧਾਰਦਾ ਹੈ?
ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲਾ ਤਰਲ ਹੀਰਾ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਿੱਚ ਲੁਬਰੀਕੈਂਟ ਅਤੇ ਕੂਲੈਂਟ ਦੋਵਾਂ ਦਾ ਕੰਮ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਮੁੱਖ ਕੰਮ ਰਗੜ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣਾ ਅਤੇ ਵਾਇਰ-ਵੇਫਰ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਨਾ ਹੈ। ਘੱਟ ਰਗੜ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਮਾਈਕ੍ਰੋਕ੍ਰੈਕ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਖੁਰਚਿਆਂ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਨੁਕਸਾਨ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸਮੁੱਚੀ ਉਪਜ ਘੱਟ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਤਰਲ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰ ਤੋਂ ਮਲਬੇ ਨੂੰ ਵੀ ਦੂਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਸਾਫ਼ ਰਹਿੰਦੀ ਹੈ। ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਲਗਾਤਾਰ ਹਟਾਉਣ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਵੇਫਰ ਸਤਹਾਂ ਨਿਰਵਿਘਨ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ, ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੇ ਨਿਰਮਾਣ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, SiO₂ ਅਤੇ SiC ਨੈਨੋਪਾਰਟਿਕਲਜ਼ ਵਾਲੇ ਵਧੇ ਹੋਏ ਨੈਨੋ-ਕਟਿੰਗ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥ ਕੇਰਫ ਵਿੱਚ ਡੂੰਘਾਈ ਨਾਲ ਪ੍ਰਵੇਸ਼ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਵਾਰਪੇਜ ਨੂੰ ਘਟਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਵੇਫਰ ਆਉਟਪੁੱਟ ਨੂੰ ਹੋਰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾ ਸਕਦੇ ਹਨ।
ਕੱਟਣ ਵਾਲਾ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰ ਕੀ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਵੇਫਰ ਸਾਇੰਗ ਵਿੱਚ ਕਿਉਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ?
ਇੱਕ ਕੱਟਣ ਵਾਲਾ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰ ਆਰਾ ਜ਼ੋਨ ਵਿੱਚ ਪਹੁੰਚਾਏ ਗਏ ਤਰਲ ਦੀ ਸਹੀ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਮਾਪਦਾ ਹੈ। ਢੁਕਵੇਂ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ, ਗਰਮੀ ਦੇ ਨਿਕਾਸ ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਦੀ ਸਫਾਈ ਲਈ ਸਹੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਬਹੁਤ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਪ੍ਰਵਾਹ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੈ, ਤਾਂ ਤਾਰ ਜ਼ਿਆਦਾ ਗਰਮ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਜਾਂ ਮਲਬਾ ਇਕੱਠਾ ਕਰ ਦਿੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਖੁਰਚੀਆਂ ਅਤੇ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ। ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਤਰਲ ਨੂੰ ਬਰਬਾਦ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਦਬਾਅ ਅਸੰਤੁਲਨ ਪੈਦਾ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਟੂਲ ਜੀਵਨ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਇਨਲਾਈਨ ਘਣਤਾ ਮੀਟਰ ਅਤੇ ਲੋਨਮੀਟਰ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਮਿਤ ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਮੀਟਰ, ਆਪਰੇਟਰਾਂ ਨੂੰ ਅਸਲ ਸਮੇਂ ਵਿੱਚ ਸਪਲਾਈ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਅਤੇ ਵਿਵਸਥਿਤ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਨੁਕੂਲ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਰਹੇ, ਵੇਫਰ ਉਪਜ ਨੂੰ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਕਰੇ ਅਤੇ ਟੂਲ ਪਹਿਨਣ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰੇ।
ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਕਿਵੇਂ ਲਾਭ ਪਹੁੰਚਾਉਂਦਾ ਹੈ?
ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਲਈ ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਪ ਅਨਮੋਲ ਹੈ। ਰਵਾਇਤੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੀਟਰਾਂ ਦੇ ਉਲਟ, ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਸੈਂਸਰ ਤਰਲ ਲੇਸ, ਘਣਤਾ, ਜਾਂ ਤਾਪਮਾਨ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਦੀ ਪਰਵਾਹ ਕੀਤੇ ਬਿਨਾਂ ਸਿੱਧੇ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਮਾਪਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵੇਫਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਕਿਸਮਾਂ ਦੀ ਸਹੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਨੈਨੋਪਾਰਟਿਕਲ ਵੀ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਨਤੀਜਾ ਸਹੀ ਦਰ 'ਤੇ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਇਕਸਾਰ ਡਿਲੀਵਰੀ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਦੇ ਬਾਵਜੂਦ ਸਥਿਰ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਕੂਲਿੰਗ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਹੈ। ਇਹ ਲਾਭ ਮੰਗ ਵਾਲੇ ਹੀਰੇ ਦੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਵੇਫਰ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸਿੱਧੇ ਯੋਗਦਾਨ ਪਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਜਿੱਥੇ ਸਟੀਕ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਕਤਾ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਡਾਇਮੰਡ ਵਾਇਰ ਆਰਾ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਮਾਪ ਨੂੰ ਕਿਹੜੇ ਕਾਰਕ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ?
ਸਹੀ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਮਾਪ ਕਈ ਆਪਸ ਵਿੱਚ ਜੁੜੇ ਵੇਰੀਏਬਲਾਂ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਸੈਂਸਰ ਦੀ ਚੋਣ ਮੁੱਖ ਹੈ; ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਕੋਰੀਓਲਿਸ ਪੁੰਜ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸੈਂਸਰ ਲੇਸਦਾਰ ਜਾਂ ਕਣਾਂ ਨਾਲ ਭਰੇ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਲਈ ਵੀ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਡੇਟਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਤਰਲ ਰਚਨਾ - ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਨੈਨੋਪਾਰਟਿਕਲ ਦੀ ਮੌਜੂਦਗੀ - ਲੇਸਦਾਰਤਾ ਅਤੇ ਘਣਤਾ ਨੂੰ ਬਦਲ ਸਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸੈਂਸਰ ਕੈਲੀਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਤਾਰ ਵਿਆਸ ਅਤੇ ਕੱਟਣ ਦੀ ਗਤੀ ਇਹ ਵੀ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰਦੀ ਹੈ ਕਿ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਕੂਲਿੰਗ ਅਤੇ ਮਲਬੇ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਕਿੰਨੇ ਤਰਲ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ। ਹਰੇਕ ਖਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਕੈਲੀਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ ਕਿ ਸੈਂਸਰ ਸਹੀ ਮੁੱਲਾਂ ਨੂੰ ਪੜ੍ਹਦਾ ਹੈ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ ਕਿ ਹਰੇਕ ਬੈਚ ਲਈ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਸਹੀ ਮਾਤਰਾ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਕੀ ਨੈਨੋ-ਤਰਲ ਪਦਾਰਥ ਅਤੇ ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਤਕਨੀਕਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਕਟਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਤਰਲ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਵੇਸ਼ ਨੂੰ ਵਧਾ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ?
ਖੋਜ ਦਰਸਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਨੈਨੋ-ਤਰਲ ਪਦਾਰਥ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਉਹ ਜੋ SiO₂ ਅਤੇ SiC ਨੈਨੋਪਾਰਟਿਕਲ ਵਾਲੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਵਾਇਰ-ਵੇਫਰ ਇੰਟਰਫੇਸ ਤੱਕ ਤਰਲ ਡਿਲੀਵਰੀ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਕਣ ਤਰਲ ਨੂੰ ਸੂਖਮ ਪਾੜੇ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਬਿਹਤਰ ਕੂਲਿੰਗ ਅਤੇ ਲੁਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਕੇਸ਼ੀਲ ਪ੍ਰਭਾਵ ਤਕਨੀਕਾਂ ਤਰਲ ਗਤੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵੇਸ਼ ਨੂੰ ਹੋਰ ਵਧਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਅਤਿ-ਪਤਲੇ ਤਾਰ ਕੱਟਣ ਵਿੱਚ। ਇਸਦਾ ਮਤਲਬ ਹੈ ਕਿ ਅਨੁਕੂਲ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਘੱਟ ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਨਤੀਜਿਆਂ ਵਿੱਚ ਘੱਟ ਤਰਲ ਸੋਖਣ, ਬਿਹਤਰ ਸਤਹ ਰੂਪ ਵਿਗਿਆਨ, ਅਤੇ ਘੱਟ ਨੁਕਸ ਦਰਾਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਇਹ ਤਰੱਕੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਅਤੇ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਉਦਯੋਗਾਂ ਦੋਵਾਂ ਵਿੱਚ ਪਤਲੇ, ਵੱਡੇ-ਵਿਆਸ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰਾਂ ਵੱਲ ਵਧਣ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਕੱਟਣ ਵਾਲੇ ਤਰਲ ਨਿਗਰਾਨੀ ਸੈਂਸਰ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ ਕਿ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹਰੇਕ ਉਤਪਾਦਨ ਚੱਕਰ ਦੌਰਾਨ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਰਹੇ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਦਸੰਬਰ-25-2025
