ମାପ ବୁଦ୍ଧିମତାକୁ ଅଧିକ ସଠିକ କରନ୍ତୁ!

ସଠିକ୍ ଏବଂ ବୁଦ୍ଧିମାନ ମାପ ପାଇଁ ଲନ୍ମିଟର ବାଛନ୍ତୁ!

1. ଉନ୍ନତ ପ୍ରସଙ୍ଗୀକରଣPଲୋପ କରିବା

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରରେ CMP କ'ଣ?

ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ (CMP), ଯାହାକୁ ବିକଳ୍ପ ଭାବରେ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପ୍ଲାନରାଇଜେସନ୍ ଭାବରେ ଜଣାଯାଏ, ଆଧୁନିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ନିର୍ମାଣରେ ସବୁଠାରୁ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଦୃଷ୍ଟିରୁ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜିଂ ଏବଂ ଆର୍ଥିକ ଦୃଷ୍ଟିରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ୟୁନିଟ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ। ଏହି ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ହାଇବ୍ରିଡ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ, ରାସାୟନିକ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ଏବଂ ଅତ୍ୟନ୍ତ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଭୌତିକ ଘର୍ଷଣର ସହକାର୍ଯ୍ୟଶୀଳ ପ୍ରୟୋଗ ମାଧ୍ୟମରେ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠଗୁଡ଼ିକୁ ସତର୍କତାର ସହିତ ମସୃଣ କରିଥାଏ। ନିର୍ମାଣ ଚକ୍ରରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ନିୟୋଜିତ, CMP ପରବର୍ତ୍ତୀ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱାଫର ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ଉନ୍ନତ ଡିଭାଇସ୍ ସ୍ଥାପତ୍ୟ ଦ୍ୱାରା ଆବଶ୍ୟକ ଉଚ୍ଚ-ଘନତା ସମନ୍ୱୟକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସିଏମ୍ପି

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ CMP

*

ର ଗଭୀର ଆବଶ୍ୟକତାରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂଏହା ସମସାମୟିକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫିର ଭୌତିକ ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ମୂଳ। ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ସଙ୍କୁଚିତ ହେବା ଏବଂ ବହୁ ସ୍ତର ଭୂଲମ୍ବ ଭାବରେ ସ୍ଥିର ହେବା ଯୋଗୁଁ, ସମାନ ଭାବରେ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ କରିବା ଏବଂ ଏକ ବିଶ୍ୱସ୍ତରୀୟ ପ୍ଲାନର ପୃଷ୍ଠ ସ୍ଥାପନ କରିବାର ପ୍ରକ୍ରିୟାର କ୍ଷମତା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ହୋଇଯାଏ। ଗତିଶୀଳ ପଲିସିଂ ହେଡ୍ ବିଭିନ୍ନ ଅକ୍ଷ ସହିତ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନିୟର କରାଯାଇଛି, ଯାହା ୱେଫରରେ ଅନିୟମିତ ଟୋପୋଗ୍ରାଫିକୁ ସତର୍କତାର ସହିତ ସମତଳ କରିଥାଏ। ସଫଳ ପ୍ୟାଟର୍ନ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ପାଇଁ, ବିଶେଷକରି ଏକ୍ସଟ୍ରିମ୍ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ (EUV) ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପରି ଅତ୍ୟାଧୁନିକ କୌଶଳ ସହିତ, ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୃତ ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷେତ୍ରର ଏକ ଅସାଧାରଣ ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ ଗଭୀରତା ମଧ୍ୟରେ ଆସିବା ଉଚିତ - ଏକ ଜ୍ୟାମିତିକ ସୀମା ଯାହା ଆଧୁନିକ ଉପ-22 nm ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପାଇଁ ଆଙ୍ଗଷ୍ଟ୍ରୋମ୍-ସ୍ତରୀୟ ସମତଳତା ଆବଶ୍ୟକ କରେ। ପ୍ଲାନରାଇଜିଂ ଶକ୍ତି ବିନାcmp ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା, ପରବର୍ତ୍ତୀ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକ ଆଲାଇନ୍ମେଣ୍ଟ ବିଫଳତା, ପ୍ୟାଟର୍ନ ବିକୃତି ଏବଂ ବିପର୍ଯ୍ୟୟଜନକ ଅମଳ ପରିଭ୍ରମଣର କାରଣ ହେବ।

ପାରମ୍ପରିକ ଆଲୁମିନିୟମ କଣ୍ଡକ୍ଟରରୁ ଉଚ୍ଚ-କାର୍ୟ୍ୟକ୍ଷମ ତମ୍ବା ଇଣ୍ଟରକନେକ୍ଟକୁ ଶିଳ୍ପର ପରିବର୍ତ୍ତନ ଦ୍ୱାରା CMPର ବ୍ୟାପକ ଗ୍ରହଣ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ପ୍ରେରଣା ପାଇଥିଲା। ତମ୍ବା ଧାତୁକରଣ ଏକ ଯୋଗାତ୍ମକ ପ୍ୟାଟର୍ନିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଡାମାସିନ୍ କୌଶଳ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯାହା ମୌଳିକ ଭାବରେ CMPର ଅନନ୍ୟ କ୍ଷମତା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ ଯାହା ଚୟନିତ ଏବଂ ସମାନ ଭାବରେ ଅତିରିକ୍ତ ତମ୍ବା ଅପସାରଣ କରିଥାଏ ଏବଂ ଧାତୁ ଏବଂ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଇନସୁଲେଟିଂ ସ୍ତର ମଧ୍ୟରେ ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ଅପସାରଣ କାର୍ଯ୍ୟକୁ ସ୍ଥିର ଭାବରେ ବନ୍ଦ କରିଥାଏ। ଏହି ଅତ୍ୟନ୍ତ ଚୟନିତ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ପରିଭାଷିତ କରୁଥିବା ସୂକ୍ଷ୍ମ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସନ୍ତୁଳନକୁ ଅଙ୍କାଏ, ଏକ ସନ୍ତୁଳନ ଯାହା ପଲିସିଂ ମାଧ୍ୟମରେ ମଧ୍ୟ ସାମାନ୍ୟ ହ୍ରାସ ଦ୍ୱାରା ତୁରନ୍ତ ଆଘାତପ୍ରାପ୍ତ ହୋଇଥାଏ।

ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ CMP ର କାର୍ଯ୍ୟ

ଅଲ୍ଟ୍ରା-ନିମ୍ନ ଟୋପୋଗ୍ରାଫିକ୍ ପରିବର୍ତ୍ତନ ପାଇଁ ବାଧ୍ୟତାମୂଳକ ଆବଶ୍ୟକତା ଏକ ପରିଧିୟ ଲକ୍ଷ୍ୟ ନୁହେଁ ବରଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଡିଭାଇସ୍ କାର୍ଯ୍ୟ ପାଇଁ ଏକ ସିଧାସଳଖ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପୂର୍ବାବଶ୍ୟକତା, ସଠିକ୍ କରେଣ୍ଟ ପ୍ରବାହ, ତାପଜ ଅପଚୟ ଏବଂ ବହୁ-ସ୍ତରୀୟ ଗଠନରେ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସଂରଚନା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା। CMPର ପ୍ରାଥମିକ ନିର୍ଦ୍ଦେଶ ହେଉଛି ଟୋପୋଗ୍ରାଫି ପରିଚାଳନା, ସମସ୍ତ ପରବର୍ତ୍ତୀ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦକ୍ଷେପ ପାଇଁ ପୂର୍ବାବଶ୍ୟକ ସମତଳତା ସ୍ଥାପନ କରିବା।

ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରୟୋଗ ସାମଗ୍ରୀର ପସନ୍ଦ ଏବଂ ଅନୁରୂପ ନିର୍ଦ୍ଦେଶ ଦିଏସ୍ଲରି ଫର୍ମୁଲେସନ୍। ଟଙ୍ଗଷ୍ଟନ୍, ତମ୍ବା, ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ (SiO) ସମେତ ବିଭିନ୍ନ ସାମଗ୍ରୀ ପରିଚାଳନା ପାଇଁ CMP ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ବିକଶିତ ହୋଇଛି।2) ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ (SiN)। ସ୍ଲରିଗୁଡ଼ିକୁ ଉଚ୍ଚ ପ୍ଲାନରାଇଜେସନ୍ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଅସାଧାରଣ ସାମଗ୍ରୀ ଚୟନ ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ପ୍ରୟୋଗରେ ସତର୍କତାର ସହିତ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରାଯାଇଛି, ଯେଉଁଥିରେ ଶ୍ୟାଲୋ ଟ୍ରେଞ୍ଚ ଆଇସୋଲେସନ୍ (STI) ଏବଂ ଇଣ୍ଟରଲେୟାର ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ସ (ILD) ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଷ୍ଟେପ୍ ଫ୍ଲାଟେନିଂ, ସମାନତା ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ହ୍ରାସରେ ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ହେତୁ ILD ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ ସେରିଆ ସ୍ଲରି ବିଶେଷ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହି ସ୍ଲରିଗୁଡ଼ିକର ଅତ୍ୟନ୍ତ ବିଶେଷଜ୍ଞ ପ୍ରକୃତି ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ପଲିସିଂ ମାଧ୍ୟମର ତରଳ ଗତିଶୀଳତାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନରୁ ଉତ୍ପନ୍ନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅସ୍ଥିରତା ତୁରନ୍ତ ଚୟନମୂଳକ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ପାଇଁ ମୌଳିକ ଆବଶ୍ୟକତାକୁ ଉଲ୍ଲଂଘନ କରିବ।

୨. CMP ସ୍ଲରି ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟର ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ CMP

ର ନିରନ୍ତର ପ୍ରଭାବଶାଳୀତାରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ cmp ପ୍ରକ୍ରିୟାଏହା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ସ୍ଲରିର ସ୍ଥିର ବିତରଣ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ନିର୍ଭରଶୀଳ, ଯାହା ଆବଶ୍ୟକୀୟ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଘର୍ଷଣକୁ ସହଜ କରିବା ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ମାଧ୍ୟମ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ଏହି ଜଟିଳ ତରଳ, ଏକ କୋଲଏଡାଲ୍ ସସପେନସନ୍ ଭାବରେ ବର୍ଣ୍ଣିତ, ନିରନ୍ତର ଏବଂ ସମାନ ଭାବରେ ଏହାର ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ, ରାସାୟନିକ ଏଜେଣ୍ଟଗୁଡ଼ିକ (ଅକ୍ସିଡାଇଜର୍, ତ୍ୱରାନ୍ୱିତକାରୀ ଏବଂ କ୍ଷୟ ନିରୋଧକ) ଏବଂ ନାନୋ-ଆକାରର ଘୃଣ୍ୟ କଣିକାଗୁଡ଼ିକୁ ଗତିଶୀଳ ୱେଫର ପୃଷ୍ଠକୁ ପହଞ୍ଚାଇବା ଆବଶ୍ୟକ।

ସ୍ଲରି ରଚନା ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରେରଣା ଦେବା ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନିୟର କରାଯାଇଛି: ସର୍ବୋତ୍ତମ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ, ଅଦ୍ରବଣୀୟ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ଗଠନ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ, ଯାହାକୁ ତା’ପରେ ଘଷି କଣିକା ଦ୍ୱାରା ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଭାବରେ ଅପସାରିତ କରାଯାଏ। ଏହି ଯନ୍ତ୍ର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ପ୍ଲାନରାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଉଚ୍ଚ ପୃଷ୍ଠ ସ୍ଥଳଗ୍ରାଫିକ୍ ଚୟନ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଉଚ୍ଚ ବିନ୍ଦୁ କିମ୍ବା ପ୍ରୋଟ୍ରୁସନ୍ ଉପରେ ଅପସାରଣ କାର୍ଯ୍ୟକୁ କେନ୍ଦ୍ରିତ କରେ। ବିପରୀତରେ, ଯଦି ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏକ ଦ୍ରବଣୀୟ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଅବସ୍ଥା ସୃଷ୍ଟି କରେ, ତେବେ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ଆଇସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଆବଶ୍ୟକ ସ୍ଥଳଗ୍ରାଫିକ୍ ଚୟନକୁ ଦୂର କରିଥାଏ। ସ୍ଲରିର ଭୌତିକ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତଃ 30 ରୁ 200 nm ଆକାରର ଘଷି କଣିକା (ଯଥା, ସିଲିକା, ସେରିଆ) ଧାରଣ କରିଥାଏ, ଯାହା 0.3 ଏବଂ 12 ଓଜନ ପ୍ରତିଶତ କଠିନ ମଧ୍ୟରେ ନିଲମ୍ବିତ ହୋଇଥାଏ।

CMP ସ୍ଲରୀ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର

ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ ବଜାୟ ରଖିବାCMP ସ୍ଲରି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରଏହାର ଜୀବନଚକ୍ରରେ ନିରନ୍ତର ଚରିତ୍ରନିରୂପଣ ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଆବଶ୍ୟକ, କାରଣ ପରିଚାଳନା କିମ୍ବା ପରିଚଳନ ସମୟରେ ଯେକୌଣସି ଅବନତି ଯଥେଷ୍ଟ ଆର୍ଥିକ କ୍ଷତି ଘଟାଇପାରେ। ଏହାର ନାନୋସ୍କେଲ ସ୍ମୁଥନେସ୍ ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ସ୍ତର ଦ୍ୱାରା ପରିଭାଷିତ ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ପଲିସ୍ ହୋଇଥିବା ୱାଫରର ଗୁଣବତ୍ତା, ସ୍ଲରିର କଣିକା ଆକାର ବଣ୍ଟନ (PSD) ର ଅଖଣ୍ଡତା ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ସ୍ଥିରତା ସହିତ ସିଧାସଳଖ ସମ୍ପର୍କିତ।

ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ବିଶେଷ ପ୍ରକୃତିcmp ସ୍ଲରି ପ୍ରକାରଗୁଡିକଅର୍ଥାତ୍ ନାନୋ-ଆକାରର କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ସସପେନସନ ମଧ୍ୟରେ ସୂକ୍ଷ୍ମ ପ୍ରତିରୋଧକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ବଳ ଦ୍ୱାରା ସ୍ଥିର ହୋଇଥାଏ। ସ୍ଲରିଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରାୟତଃ ଘନୀଭୂତ ରୂପରେ ଯୋଗାଣ କରାଯାଏ ଏବଂ ନିର୍ମାଣ ସ୍ଥାନରେ ପାଣି ଏବଂ ଅକ୍ସିଡାଇଜର ସହିତ ସଠିକ୍ ଡିଲୁସନ ଏବଂ ମିଶ୍ରଣ ଆବଶ୍ୟକ କରେ। ଗୁରୁତର ଭାବରେ, ସ୍ଥିର ମିଶ୍ରଣ ଅନୁପାତ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରିବା ମୌଳିକ ଭାବରେ ତ୍ରୁଟିପୂର୍ଣ୍ଣ କାରଣ ଆସୁଥିବା ଘନୀଭୂତ ସାମଗ୍ରୀ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ବ୍ୟାଚ୍-ଟୁ-ବ୍ୟାଚ୍ ଘନତା ପରିବର୍ତ୍ତନ ପ୍ରଦର୍ଶନ କରେ।

ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ, ଯଦିଓ PSD ଏବଂ zeta potencial (colloidal stability) ର ପ୍ରତ୍ୟକ୍ଷ ବିଶ୍ଳେଷଣ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, ଏହି କୌଶଳଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତଃ ଅନ୍ତରାୟ, ଅଫଲାଇନ୍ ବିଶ୍ଳେଷଣକୁ ପ୍ରତ୍ୟାବର୍ତ୍ତିତ ହୋଇଥାଏ। HVM ପରିବେଶର କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ବାସ୍ତବତା ପ୍ରକୃତ-ସମୟ, ତୁରନ୍ତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକୁ ନିର୍ଦ୍ଦେଶ ଦିଏ। ଫଳସ୍ୱରୂପ, ଘନତା ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ସ୍ଲରି ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ ପାଇଁ ସବୁଠାରୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଇନଲାଇନ୍ ପ୍ରକ୍ସି ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ଘନତା ମାଧ୍ୟମରେ ମୋଟ ଘୃଣ୍ୟ କଠିନ ସାନ୍ଦ୍ରତାର ଏକ ଦ୍ରୁତ, ନିରନ୍ତର ମାପ ପ୍ରଦାନ କରେ। ସାନ୍ଦ୍ରତା ସମାନ ଭାବରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, ତରଳ ପଦାର୍ଥର କୋଲଏଡାଲ୍ ଅବସ୍ଥା ଏବଂ ତାପଜ ଅଖଣ୍ଡତାର ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସୂଚକ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ଅସ୍ଥିର ସାନ୍ଦ୍ରତା ପ୍ରାୟତଃ ଘୃଣ୍ୟ କଣିକାକୁ ସଙ୍କେତ ଦିଏ।ସମଷ୍ଟିକିମ୍ବା ପୁନଃସଂଯୋଗ, ବିଶେଷକରି ଗତିଶୀଳ ସିଅର ପରିସ୍ଥିତିରେ। ତେଣୁ, ଏହି ଦୁଇଟି ରିଓଲୋଜିକାଲ୍ ପାରାମିଟରର ନିରନ୍ତର ତଦାରଖ ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ତୁରନ୍ତ, କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଲୁପ୍ ପ୍ରଦାନ କରେ ଯାହା ଯାଞ୍ଚ କରିବା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ଯେ ସ୍ଲରି ବ୍ୟବହାର ସ୍ଥାନରେ ଏହାର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ଭୌତିକ ଅବସ୍ଥା ବଜାୟ ରଖେ।

ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ

3. ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବିଫଳତା ବିଶ୍ଳେଷଣ: ତ୍ରୁଟିପୂର୍ଣ୍ଣ ଡ୍ରାଇଭରଗୁଡ଼ିକ

CMP ଘନତା ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ହ୍ରାସ ଯୋଗୁଁ ସୃଷ୍ଟି ହେଉଥିବା ନକାରାତ୍ମକ ପ୍ରଭାବ

ଉଚ୍ଚ-ଥ୍ରୁପୁଟରେ ଉତ୍ପାଦନ ବିପଦ ପାଇଁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରିବର୍ତ୍ତନଶୀଳତାକୁ ଏକମାତ୍ର ବୃହତ୍ତମ ଅବଦାନକାରୀ ଭାବରେ ସ୍ୱୀକୃତି ଦିଆଯାଇଛିସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣରେ cmp। ସ୍ଲରି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକୁ ସାମୂହିକ ଭାବରେ "ସ୍ଲରି ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ" କୁହାଯାଏ, ଏହା ପମ୍ପିଂ ସିଅର୍, ତାପମାତ୍ରା ହ୍ରାସ ଏବଂ ମିଶ୍ରଣ ଅସଙ୍ଗତି ଦ୍ୱାରା ପ୍ରେରିତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ପ୍ରତି ଅତ୍ୟନ୍ତ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ। ସ୍ଲରି ପ୍ରବାହ ସିଷ୍ଟମରୁ ଉତ୍ପନ୍ନ ବିଫଳତା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସମସ୍ୟାରୁ ଭିନ୍ନ, କିନ୍ତୁ ଉଭୟ ଗୁରୁତର ୱାଫର ସ୍କ୍ରାପ୍ ସୃଷ୍ଟି କରେ ଏବଂ ପ୍ରାୟତଃ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଶେଷ-ବିନ୍ଦୁ ସିଷ୍ଟମ ଦ୍ୱାରା ବହୁତ ବିଳମ୍ବରେ ଚିହ୍ନଟ ହୁଏ।

ଅତ୍ୟଧିକ ବଡ଼ କଣିକା କିମ୍ବା ସମଷ୍ଟିର ଉପସ୍ଥିତିcmp ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରପଲିସ୍ ହୋଇଥିବା ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ମାଇକ୍ରୋ-ସ୍କ୍ରାଚ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ମାରାତ୍ମକ ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି ସହିତ ସାମଗ୍ରୀ ସ୍ପଷ୍ଟ ଭାବରେ ଜଡିତ। ପ୍ରମୁଖ ରିଓଲୋଜିକାଲ୍ ପାରାମିଟରଗୁଡିକରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ - ସ୍ନିଗ୍ଧତା ଏବଂ ଘନତ୍ୱ - ହେଉଛି ନିରନ୍ତର, ପ୍ରମୁଖ ସୂଚକ ଯେ ସ୍ଲରିର ଅଖଣ୍ଡତା ବିପଦରେ ପଡ଼ିଛି, ଯାହା ତ୍ରୁଟି ଗଠନର କ୍ରିୟା ଆରମ୍ଭ କରେ।

ସ୍ଲରି ଭିସ୍କୋସିଟିରେ ଉତ୍ଥାନ-ପତନ (ଯଥା, ଏକତ୍ରୀକରଣ, ପରିବର୍ତ୍ତିତ ସିୟର)

ଭିଜୋସିଟି ଏକ ଥର୍ମୋଡାଇନାମିକ୍ ଗୁଣ ଯାହା ପଲିସିଂ ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ପ୍ରବାହ ଆଚରଣ ଏବଂ ଘର୍ଷଣ ଗତିଶୀଳତାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରେ, ଏହାକୁ ପରିବେଶଗତ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଚାପ ପ୍ରତି ଅସାଧାରଣ ଭାବରେ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ କରିଥାଏ।

ର ରାସାୟନିକ ଏବଂ ଭୌତିକ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାସ୍ଲରି ସାନ୍ସିସିଟି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟରସିଷ୍ଟମ ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଉପରେ ଅତ୍ୟନ୍ତ ନିର୍ଭରଶୀଳ। ଗବେଷଣା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ତାପମାତ୍ରାରେ ଏକ ସାମାନ୍ୟ 5°C ପରିବର୍ତ୍ତନ ମଧ୍ୟ ସ୍ଲରି ସାନ୍ସିଷ୍ଟିରେ ପ୍ରାୟ 10% ହ୍ରାସ ଆଣିପାରେ। ରିଓଲୋଜିରେ ଏହି ପରିବର୍ତ୍ତନ ସିଧାସଳଖ ପଲିସିଂ ପ୍ୟାଡ୍ ରୁ ୱାଫରକୁ ପୃଥକ କରୁଥିବା ହାଇଡ୍ରୋଡାଇନାମିକ୍ ଫିଲ୍ମ ଘନତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ହ୍ରାସ ପାଇଥିବା ସାନ୍ସିଷ୍ଟି ଅପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ଲୁବ୍ରିକେସନ୍ ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଉଚ୍ଚ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଘର୍ଷଣ ହୁଏ, ଯାହା ମାଇକ୍ରୋ-ସ୍କ୍ରାଚ୍ ଏବଂ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ପ୍ୟାଡ୍ ବ୍ୟବହାରର ଏକ ମୁଖ୍ୟ କାରଣ।

ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଅବନତି ପଥ କିଆରି-ପ୍ରବର୍ତ୍ତିତ କଣିକା କ୍ଲଷ୍ଟରିଂ ସହିତ ଜଡିତ। ସିଲିକା-ଆଧାରିତ ସ୍ଲରିଗୁଡ଼ିକ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ବିକର୍ଷଣ ବଳ ମାଧ୍ୟମରେ କଣିକା ପୃଥକୀକରଣ ବଜାୟ ରଖେ। ଯେତେବେଳେ ସ୍ଲରି ଉଚ୍ଚ କିଆରି ଚାପର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ - ସାଧାରଣତଃ ଅନୁପଯୁକ୍ତ ପାରମ୍ପରିକ କେନ୍ଦ୍ରୀଭୂତ ପମ୍ପ କିମ୍ବା ବଣ୍ଟନ ଲୁପରେ ବ୍ୟାପକ ପୁନଃପରିଚାଳନ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ - ଏହି ଶକ୍ତିଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଦ୍ରୁତ ଏବଂ ଅପରିବର୍ତ୍ତନୀୟ କରିଥାଏ।ସମଷ୍ଟିଘୃଣ୍ୟ କଣିକା। ଫଳସ୍ୱରୂପ ବଡ଼ ସମଷ୍ଟିଗୁଡ଼ିକ ମାଇକ୍ରୋ-ଗୌଜିଂ ଉପକରଣ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରନ୍ତି, ସିଧାସଳଖ ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ବିପର୍ଯ୍ୟୟକାରୀ ମାଇକ୍ରୋ-ସ୍କ୍ରାଚ୍ ସୃଷ୍ଟି କରନ୍ତି। ଏହି ଘଟଣାଗୁଡ଼ିକୁ ଚିହ୍ନଟ କରିବା ପାଇଁ ବାସ୍ତବ-ସମୟ ଭିସ୍କୋମେଟ୍ରି ହେଉଛି ଆବଶ୍ୟକୀୟ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପଦ୍ଧତି, ଯାହା ବଡ଼ ଧରଣର ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି ହେବା ପୂର୍ବରୁ ପମ୍ପିଂ ଏବଂ ବଣ୍ଟନ ବ୍ୟବସ୍ଥାର "କୋମଳତା"ର ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ବୈଧତା ପ୍ରଦାନ କରେ।

ସାନ୍ଦ୍ରତାରେ ପରିଣାମ ସ୍ୱରୂପ ପରିବର୍ତ୍ତନ ପ୍ଲାନରାଇଜେସନ୍ ପ୍ରଭାବକୁ ଗୁରୁତର ଭାବରେ କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଏ। ଯେହେତୁ ସାନ୍ଦ୍ରତା ପଲିସିଂ ସମୟରେ ଘର୍ଷଣ ଗୁଣାଙ୍କକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରୁଥିବା ଏକ ପ୍ରମୁଖ କାରଣ, ଏକ ଅସମାନ ସାନ୍ଦ୍ରତା ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ ଅସଙ୍ଗତ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ହାରକୁ ନେଇଯିବ। ସାନ୍ଦ୍ରତାରେ ଏକ ସ୍ଥାନୀୟ ବୃଦ୍ଧି, ବିଶେଷକରି ୱେଫର ଟୋପୋଗ୍ରାଫିର ଉଠାଯାଇଥିବା ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ଉପରେ ଘଟୁଥିବା ଉଚ୍ଚ ସିଅର୍ ହାରରେ, ଘର୍ଷଣ ଗତିଶୀଳତାକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରେ ଏବଂ ପ୍ଲାନରାଇଜେସନ୍ ଲକ୍ଷ୍ୟକୁ ଦୁର୍ବଳ କରେ, ଶେଷରେ ଡିଶିଂ ଏବଂ କ୍ଷୟ ଭଳି ଟୋପୋଗ୍ରାଫିକାଲ୍ ତ୍ରୁଟି ଆଡ଼କୁ ନେଇଯାଏ।

ସ୍ଲରି ଘନତ୍ୱରେ ଉତ୍ଥାନ-ପତନ

ସ୍ଲରି ଘନତା ହେଉଛି ତରଳ ପଦାର୍ଥ ମଧ୍ୟରେ ନିଲମ୍ବିତ ଘୃଣ୍ୟ କଠିନର ସାମଗ୍ରିକ ସାନ୍ଦ୍ରତାର ଦ୍ରୁତ ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ସୂଚକ। ଘନତା ହ୍ରାସ ଅସମାନ ସ୍ଲରି ବିତରଣକୁ ସୂଚିତ କରେ, ଯାହା ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ହାର (MRR) ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ଗଠନରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ସହିତ ସ୍ୱାଭାବିକ ଭାବରେ ଜଡିତ।

କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପରିବେଶ ପାଇଁ ସ୍ଲରି ରଚନାର ଗତିଶୀଳ ଯାଞ୍ଚ ଆବଶ୍ୟକ। ଆସୁଥିବା ଘନତା ବ୍ୟାଚଗୁଡ଼ିକରେ କେବଳ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପରିମାଣର ପାଣି ଏବଂ ଅକ୍ସିଡାଇଜର ଯୋଗ କରିବା ପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ନୁହେଁ, କାରଣ କଞ୍ଚାମାଲ ଘନତା ପ୍ରାୟତଃ ଭିନ୍ନ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଉପକରଣ ମୁଣ୍ଡରେ ଅସଙ୍ଗତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଫଳାଫଳ ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ଘୃଣ୍ୟ କଣିକା, ବିଶେଷକରି ଅଧିକ ଘୃଣ୍ୟ ସେରିଆ କଣିକା, ଯଦି ପ୍ରବାହ ବେଗ କିମ୍ବା କୋଲଏଡାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ଅପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ହୁଏ ତେବେ ଅବଶେଷଣର ଶିକାର ହୁଅନ୍ତି। ଏହି ସ୍ଥିରୀକରଣ ପ୍ରବାହ ରେଖା ମଧ୍ୟରେ ସ୍ଥାନୀୟ ଘନତା ଗ୍ରାଡିଏଣ୍ଟ ଏବଂ ସାମଗ୍ରୀ ଏକତ୍ରୀକରଣ ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ଏକ ସ୍ଥିର ଘୃଣ୍ୟ ଭାର ପ୍ରଦାନ କରିବାର କ୍ଷମତାକୁ ଗଭୀର ଭାବରେ କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଏ।

How DସହଜତାDଉଚ୍ଛେଦAffଇତ୍ୟାଦି Manୟୁଏଫଏସିତୁରଇନଙ୍ଗProcess?.

ଅସ୍ଥିର ସ୍ଲରି ଘନତ୍ୱର ସିଧାସଳଖ ପରିଣାମ ପଲିସ୍ ହୋଇଥିବା ପୃଷ୍ଠରେ ଗୁରୁତର ଭୌତିକ ତ୍ରୁଟି ଭାବରେ ପ୍ରକାଶିତ ହୁଏ:

ଅସମାନ ଅପସାରଣ ହାର (WIWNU):ଘନତାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ସିଧାସଳଖ ପଲିସିଂ ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ଉପସ୍ଥାପିତ ସକ୍ରିୟ ଘୃଣାକାରୀ କଣିକାର ଘୃଣାକାରୀ

ସ୍ଥାନୀୟ ଆବ୍ରାସିଭ୍ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଯୋଗୁଁ ପିଟିଂ:ଘୃଣ୍ୟ କଠିନର ଉଚ୍ଚ ସ୍ଥାନୀୟ ସାନ୍ଦ୍ରତା, ପ୍ରାୟତଃ ସ୍ଥିରତା କିମ୍ବା ଅନୁପଯୁକ୍ତ ମିଶ୍ରଣ ଯୋଗୁଁ, ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ପ୍ରତି କଣିକାରେ ସ୍ଥାନୀୟ ଉଚ୍ଚ ଭାର ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଯେତେବେଳେ ଘୃଣ୍ୟ କଣିକାଗୁଡ଼ିକ, ବିଶେଷକରି ସେରିଆ, ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଗ୍ଲାସ୍ ସ୍ତର ସହିତ ଦୃଢ଼ ଭାବରେ ଲାଗି ରୁହନ୍ତି, ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ଚାପ ଉପସ୍ଥିତ ଥାଏ, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଭାର ଗ୍ଲାସ୍ ସ୍ତରକୁ ଭାଙ୍ଗିବାକୁ ପ୍ରେରଣା ଦେଇପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଗଭୀର, ତୀକ୍ଷ୍ଣ ଧାର ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ।ଗାତତ୍ରୁଟି। ଏହି ଘୃଣ୍ୟ ପରିବର୍ତ୍ତନଗୁଡ଼ିକ ଅପମିଶ୍ରିତ ଫିଲ୍ଟେରେସନ ଯୋଗୁଁ ହୋଇପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଅଧିକ ଆକାରର ସମଷ୍ଟି ($0.5\ ​​\mu m$ ରୁ ଅଧିକ କଣିକା) ଅତିକ୍ରମ କରିପାରେ, ଯାହା ଖରାପ କଣିକା ସସପେନ୍ସନରୁ ପରିଣାମସ୍ୱରୂପ। ନିରୀକ୍ଷଣ ଘନତା କଣିକା କାଉଣ୍ଟରଗୁଡ଼ିକୁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, ପରିପୂରକ ଚେତାବନୀ ବ୍ୟବସ୍ଥା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଇଞ୍ଜିନିୟରମାନଙ୍କୁ ଘୃଣ୍ୟ କ୍ଲଷ୍ଟରିଂର ଆରମ୍ଭ ଚିହ୍ନଟ କରିବାକୁ ଏବଂ ଘୃଣ୍ୟ ଭାରକୁ ସ୍ଥିର କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।

ଦୁର୍ବଳ କଣିକା ସସପେନସନରୁ ଅବଶିଷ୍ଟ ଗଠନ:ଯେତେବେଳେ ସସପେନସନ୍ ଅସ୍ଥିର ଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଉଚ୍ଚ ଘନତା ଗ୍ରାଡିଏଣ୍ଟ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, କଠିନ ପଦାର୍ଥ ପ୍ରବାହ ସ୍ଥାପତ୍ୟରେ ଜମା ହେବାକୁ ପ୍ରବୃତ୍ତ ହୁଏ, ଯାହା ଫଳରେ ବଣ୍ଟନ ପ୍ରଣାଳୀରେ ଘନତା ତରଙ୍ଗ ଏବଂ ସାମଗ୍ରୀ ଏକତ୍ରୀକରଣ ହୁଏ।17ଅଧିକନ୍ତୁ, ପଲିସ୍ କରିବା ସମୟରେ, ସ୍ଲରିକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଉତ୍ପାଦ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପରିଧାନ ଅବଶେଷ ଉଭୟକୁ ବହନ କରିବାକୁ ପଡିବ। ଯଦି ଅସ୍ଥିରତା ଯୋଗୁଁ କଣିକା ସସପେନସନ୍ କିମ୍ବା ତରଳ ଗତିଶୀଳତା ଖରାପ ଥାଏ, ତେବେ ଏହି ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶଗୁଡ଼ିକୁ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରୁ ଦକ୍ଷତାର ସହିତ ଅପସାରିତ କରାଯାଏ ନାହିଁ, ଯାହା ଫଳରେ CMP ପରବର୍ତ୍ତୀ କଣିକା ଏବଂ ରାସାୟନିକଅବଶିଷ୍ଟାଂଶତ୍ରୁଟି। ନିରନ୍ତର ରିଓଲୋଜିକାଲ୍ ମନିଟରିଂ ଦ୍ୱାରା ସୁନିଶ୍ଚିତ ସ୍ଥିର କଣିକା ସସପେନସନ୍, ପରିଷ୍କାର, ନିରନ୍ତର ସାମଗ୍ରୀ ଖାଲି କରିବା ପାଇଁ ବାଧ୍ୟତାମୂଳକ।

୪. ଇନଲାଇନ୍ ମାପ ବିଜ୍ଞାନର ବୈଷୟିକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟତା

ଲନ୍ମିଟର ଇନଲାଇନ୍ ଡେନସିଟୋମିଟର ଏବଂ ଭିଜକୋମେଟର

ଅସ୍ଥିର CMP ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସଫଳତାର ସହିତ ସ୍ଥିର କରିବା ପାଇଁ, ସ୍ଲରି ସ୍ୱାସ୍ଥ୍ୟ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକର ନିରନ୍ତର, ଅଣ-ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ମାପ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜରୁରୀ।ଲନ୍ମିଟର ଇନଲାଇନ୍ ଡେନସିଟୋମିଟର ଏବଂ ଭିଜକୋମେଟରପାରମ୍ପରିକ, ବିଳମ୍ବତା-ପ୍ରବଣ ମେଟ୍ରୋଲୋଜି ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକ ତୁଳନାରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରି, ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉନ୍ନତ ରେଜୋନାଣ୍ଟ ସେନ୍ସର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାର ଉପଯୋଗ କରେ। ଏହି କ୍ଷମତା ପ୍ରବାହ ପଥରେ ସିଧାସଳଖ ସଂଯୁକ୍ତ ହୋଇଥିବା ସିମଲେସ୍ ଏବଂ ନିରନ୍ତର ଘନତା ନିରୀକ୍ଷଣକୁ ସକ୍ଷମ କରେ, ଯାହା ଆଧୁନିକ ଉପ-28nm ପ୍ରକ୍ରିୟା ନୋଡର କଠୋର ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ମିଶ୍ରଣ ସଠିକତା ମାନଦଣ୍ଡ ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।

ସେମାନଙ୍କର ମୂଳ ପ୍ରଯୁକ୍ତି ନୀତି, ମାପ ସଠିକତା, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗତି, ସ୍ଥିରତା, କଠୋର CMP ପରିବେଶରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ବିସ୍ତୃତ ଭାବରେ ବର୍ଣ୍ଣନା କରନ୍ତୁ ଏବଂ ପାରମ୍ପରିକ ଅଫଲାଇନ୍ ପଦ୍ଧତିଠାରୁ ସେମାନଙ୍କୁ ପୃଥକ କରନ୍ତୁ।

ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ୱୟଂଚାଳିତତା ପାଇଁ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକୁ ଉଚ୍ଚ ପ୍ରବାହ, ଉଚ୍ଚ ଚାପ ଏବଂ ଘୃଣ୍ୟ ରାସାୟନିକ ଏକ୍ସପୋଜର ଗତିଶୀଳ ପରିସ୍ଥିତିରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଯାହା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ତୁରନ୍ତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରଦାନ କରେ।

ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ନୀତି: ରେଜୋନେଟର ସୁବିଧା

ଲନ୍ମିଟର ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ପାରମ୍ପରିକ, ନର୍କ-ବୋର ୟୁ-ଟ୍ୟୁବ୍ ଡେନସିଟୋମିଟରଗୁଡ଼ିକର ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଦୁର୍ବଳତାକୁ ହ୍ରାସ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଥିବା ଦୃଢ଼ ପ୍ରତିଧ୍ୱନିତ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଯାହା ଆବ୍ରାସିଭ୍ କୋଲଏଡାଲ୍ ସସପେନସନ୍ ସହିତ ଇନଲାଇନ୍ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ କୁଖ୍ୟାତ ସମସ୍ୟାଜନକ।

ଘନତ୍ୱ ମାପ:ଦିସ୍ଲରି ଘନତ୍ୱ ମାପକଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ୱେଲ୍ଡିଂ କମ୍ପନକାରୀ ଉପାଦାନ ବ୍ୟବହାର କରେ, ସାଧାରଣତଃ ଏକ ଫର୍କ ଆସେମ୍ବଲି କିମ୍ବା ଏକ ସହ-ଅକ୍ଷୀୟ ପ୍ରତିଧ୍ୱନକ। ଏହି ଉପାଦାନଟି ଏହାର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରାକୃତିକ ଆବୃତ୍ତିରେ ଦୋଳନ କରିବା ପାଇଁ ପିଜୋ-ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଭାବରେ ଉତ୍ତେଜିତ ହୁଏ। ପାରିପାର୍ଶ୍ୱିକ ତରଳ ପଦାର୍ଥର ଘନତାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଏହି ପ୍ରାକୃତିକ ଆବୃତ୍ତିରେ ଏକ ସଠିକ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଘଟାଇଥାଏ, ଯାହା ସିଧାସଳଖ ଏବଂ ଅତ୍ୟନ୍ତ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଘନତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦିଏ।

ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାପ:ଦିପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣରେ ଥିବା ସ୍ଲରି ଭିସକୋମିଟରଏକ ସ୍ଥାୟୀ ସେନ୍ସର ବ୍ୟବହାର କରେ ଯାହା ତରଳ ପଦାର୍ଥ ମଧ୍ୟରେ ଦୋଳନଶୀଳ ହୁଏ। ଡିଜାଇନ୍ ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାପକୁ ବଲ୍କ ତରଳ ପ୍ରବାହର ପ୍ରଭାବରୁ ପୃଥକ କରାଯାଇଛି, ଯାହା ସାମଗ୍ରୀର ରିଓଲୋଜିର ଏକ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ମାପ ପ୍ରଦାନ କରେ।

କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା

ଇନଲାଇନ୍ ରେସୋନାଣ୍ଟ ମାପ ବିଜ୍ଞାନ କଠୋର HVM ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ଜରୁରୀ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ମାପକ ପ୍ରଦାନ କରେ:

ସଠିକତା ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗତି:ଇନଲାଇନ୍ ସିଷ୍ଟମଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ପୁନରାବୃତ୍ତି କ୍ଷମତା ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି, ପ୍ରାୟତଃ 0.001 g/cc ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସାନ୍ଦ୍ରତା ଏବଂ ଘନତା ସଠିକତା ପାଇଁ 0.1% ରୁ ଭଲ ହାସଲ କରନ୍ତି। ଦୃଢ଼ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ, ଏହି ଉଚ୍ଚସଠିକତା—ସମାନ ମୂଲ୍ୟକୁ ସ୍ଥିର ଭାବରେ ମାପିବା ଏବଂ ଛୋଟ ବିଚ୍ୟୁତିକୁ ବିଶ୍ୱସନୀୟ ଭାବରେ ଚିହ୍ନଟ କରିବାର କ୍ଷମତା — ପ୍ରାୟତଃ ସୀମାନ୍ତ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସଠିକତା ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ ମୂଲ୍ୟବାନ। ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ, ସଙ୍କେତପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସମୟଏହି ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ ଏହା ଅସାଧାରଣ ଭାବରେ ଦ୍ରୁତ, ସାଧାରଣତଃ ପ୍ରାୟ 5 ସେକେଣ୍ଡ। ଏହି ପ୍ରାୟ-ତାତ୍କାଳିକ ମତାମତ ତୁରନ୍ତ ତ୍ରୁଟି ଚିହ୍ନଟ ଏବଂ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ବନ୍ଦ-ଲୁପ୍ ସମାୟୋଜନ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଯାହା ପର୍ଯ୍ୟଟନ ନିବାରଣ ପାଇଁ ଏକ ମୁଖ୍ୟ ଆବଶ୍ୟକତା।

କଠୋର ପରିବେଶରେ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା:CMP ସ୍ଲରିଗୁଡ଼ିକ ସ୍ୱାଭାବିକ ଭାବରେ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ। ପାଇପଲାଇନରେ ସିଧାସଳଖ ସ୍ଥାପନ ପାଇଁ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ବିନ୍ୟାସ ବ୍ୟବହାର କରି, ସ୍ଥିରତା ପାଇଁ ଆଧୁନିକ ଇନଲାଇନ୍ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ନିର୍ମିତ। ଏହି ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ବିଭିନ୍ନ ଚାପ (ଯଥା, 6.4 MPa ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ) ଏବଂ ତାପମାତ୍ରା (350 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ) ମଧ୍ୟରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। ଅଣ-U-ଟ୍ୟୁବ୍ ଡିଜାଇନ୍ ଆବ୍ରାସିଭ୍ ମିଡିଆ ସହିତ ଜଡିତ ମୃତ କ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ କ୍ଲଗ୍ିଙ୍ଗ୍ ବିପଦକୁ କମ କରିଥାଏ, ସେନ୍ସର ଅପଟାଇମ୍ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତାକୁ ସର୍ବାଧିକ କରିଥାଏ।

ପାରମ୍ପରିକ ଅଫ୍‌ଲାଇନ୍ ପଦ୍ଧତିଠାରୁ ପୃଥକୀକରଣ

ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଇନଲାଇନ୍ ସିଷ୍ଟମ ଏବଂ ମାନୁଆଲ୍ ଅଫଲାଇନ୍ ପଦ୍ଧତି ମଧ୍ୟରେ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପାର୍ଥକ୍ୟ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ତ୍ରୁଟି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ସକ୍ରିୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ମଧ୍ୟରେ ବ୍ୟବଧାନକୁ ପରିଭାଷିତ କରେ।

ନିରୀକ୍ଷଣ ମାନଦଣ୍ଡ

ଅଫଲାଇନ୍ (ଲ୍ୟାବ୍ ସାମ୍ପଲିଂ/ୟୁ-ଟ୍ୟୁବ୍ ଡେନ୍ସିଟୋମିଟର୍)

ଇନଲାଇନ୍ (ଲନ୍ମିଟର ଘନତାମିଟର/ଭିସ୍କୋମିଟର)

ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରଭାବ

ମାପ ବେଗ

ବିଳମ୍ବିତ (ଘଣ୍ଟା)

ପ୍ରକୃତ-ସମୟ, ନିରନ୍ତର (ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସମୟ ପ୍ରାୟତଃ 5 ସେକେଣ୍ଡ)

ପ୍ରତିରୋଧକ, ବନ୍ଦ-ଲୁପ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରେ।

ଡାଟା ସ୍ଥିରତା/ସଠିକତା

କମ୍ (ମାନୁଆଲ୍ ତ୍ରୁଟି ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳ, ନମୁନା ହ୍ରାସ)

ଉଚ୍ଚ (ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ, ଉଚ୍ଚ ପୁନରାବୃତ୍ତି/ନିରାପଦତା)

ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସୀମାକୁ କଠୋର ଏବଂ ମିଥ୍ୟା ସକାରାତ୍ମକତାକୁ ହ୍ରାସ କରାଯାଇଛି।

ଆବ୍ରାସିଭ୍ ସୁସଙ୍ଗତତା

ଉଚ୍ଚ କ୍ଲଗ୍ ବିପଦ (ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ U-ଟ୍ୟୁବ୍ ବୋର୍ ଡିଜାଇନ୍)

କମ୍ କ୍ଲଗ୍ ବିପଦ (ଦୃଢ଼, ଅଣ-ୟୁ-ଟ୍ୟୁବ୍ ରେସୋନେଟର ଡିଜାଇନ୍)

ଘୃଣ୍ୟ ଗଣମାଧ୍ୟମରେ ସର୍ବାଧିକ ସେନ୍ସର ଅପଟାଇମ୍ ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା।

ତ୍ରୁଟି ଚିହ୍ନଟ କ୍ଷମତା

ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ (ଘଣ୍ଟା ପୂର୍ବରୁ ହୋଇଥିବା ଭ୍ରମଣ ଚିହ୍ନଟ କରେ)

ସକ୍ରିୟ (ଗତିଶୀଳ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଉପରେ ନଜର ରଖେ, ଶୀଘ୍ର ଭ୍ରମଣ ଚିହ୍ନଟ କରେ)

ବିପର୍ଯ୍ୟୟକାରୀ ୱାଫର ସ୍କ୍ରାପ୍ ଏବଂ ଅମଳ ଭ୍ରମଣକୁ ରୋକେ।

ସାରଣୀ 3: ତୁଳନାତ୍ମକ ବିଶ୍ଳେଷଣ: ଇନଲାଇନ୍ ବନାମ ପାରମ୍ପରିକ ସ୍ଲରି ମାପ ବିଜ୍ଞାନ

ପାରମ୍ପରିକ ଅଫଲାଇନ୍ ବିଶ୍ଳେଷଣ ପାଇଁ ଏକ ନମୁନା ନିଷ୍କାସନ ଏବଂ ପରିବହନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକ, ଯାହା ସ୍ୱାଭାବିକ ଭାବରେ ମେଟ୍ରୋଲୋଜି ଲୁପ୍‌ରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସମୟ ବିଲମ୍ବତା ପ୍ରଚଳନ କରେ। ଏହି ବିଳମ୍ବ, ଯାହା ଘଣ୍ଟା ଘଣ୍ଟା ଧରି ରହିପାରେ, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରେ ଯେ ଯେତେବେଳେ ଏକ ପରିଭ୍ରମଣ ଶେଷରେ ଚିହ୍ନଟ ହୁଏ, ସେତେବେଳେ ଏକ ବଡ଼ ପରିମାଣର ୱେଫର ପୂର୍ବରୁ ଆପତ୍ତିଜନକ ହୋଇସାରିଛି। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ମାନୁଆଲ୍ ପରିଚାଳନା ପରିବର୍ତ୍ତନଶୀଳତା ପ୍ରଦାନ କରେ ଏବଂ ନମୁନା ଅବନତିର ଆଶଙ୍କା ସୃଷ୍ଟି କରେ, ବିଶେଷକରି ନମୁନା ପରେ ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ଯୋଗୁଁ, ଯାହା ସାନ୍ସିସିଟି ରିଡିଂକୁ ବିକୃତ କରିପାରେ।

ଇନଲାଇନ୍ ମେଟ୍ରୋଲୋଜି ଏହି ଦୁର୍ବଳ କରୁଥିବା ବିଳମ୍ବତାକୁ ଦୂର କରେ, ସିଧାସଳଖ ବଣ୍ଟନ ରେଖାରୁ ତଥ୍ୟର ଏକ ନିରନ୍ତର ପ୍ରବାହ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଏହି ଗତି ତ୍ରୁଟି ଚିହ୍ନଟ ପାଇଁ ମୌଳିକ; ଘଷିବା ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ଜରୁରୀ ଦୃଢ଼, ଅଣ-କ୍ଲଗିଂ ଡିଜାଇନ୍ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ହେଲେ, ଏହା ସମଗ୍ର ବଣ୍ଟନ ବ୍ୟବସ୍ଥାକୁ ସ୍ଥିର କରିବା ପାଇଁ ଏକ ବିଶ୍ୱସ୍ତ ଡାଟା ଫିଡ୍ ପ୍ରଦାନ କରେ। CMP ର ଜଟିଳତା ଅନେକ ପାରାମିଟର (ଯେପରିକି ପ୍ରତିସରଣ ସୂଚକାଙ୍କ କିମ୍ବା pH) ନିରୀକ୍ଷଣ କରିବାକୁ ବାଧ୍ୟ କରେ, ଘନତା ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ଘଷିବା ସସପେନସନର ମୌଳିକ ଭୌତିକ ସ୍ଥିରତା ଉପରେ ସବୁଠାରୁ ସିଧାସଳଖ, ବାସ୍ତବ-ସମୟ ମତାମତ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ପ୍ରାୟତଃ ରାସାୟନିକ ବଫରିଂ ଯୋଗୁଁ pH କିମ୍ବା ଅକ୍ସିଡେସନ୍-ରିଡକ୍ସନ୍ ପୋଟେନସିଆଲ୍ (ORP) ପରି ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ପ୍ରତି ଅସମ୍ବେଦନଶୀଳ।

୫. ଅର୍ଥନୈତିକ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଆବଶ୍ୟକତା

ବାସ୍ତବ-ସମୟ ଘନତା ଏବଂ ଭିଜୋସିଟି ମନିଟରିଂର ଲାଭ

ଯେକୌଣସି ଉନ୍ନତ ନିର୍ମାଣ ଲାଇନ ପାଇଁ ଯେଉଁଠାରେଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ CMPନିୟୋଜିତ ହୋଇଛି, ସଫଳତା ନିରନ୍ତର ଅମଳ ଉନ୍ନତି, ସର୍ବାଧିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ କଠୋର ଖର୍ଚ୍ଚ ପରିଚାଳନା ଦ୍ୱାରା ମାପ କରାଯାଏ। ବାସ୍ତବ-ସମୟ ରିଓଲୋଜିକାଲ୍ ମନିଟରିଂ ଏହି ବାଣିଜ୍ୟିକ ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକୁ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ତଥ୍ୟ ଭିତ୍ତିଭୂମି ପ୍ରଦାନ କରେ।

ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ବୃଦ୍ଧି କରେ

ନିରନ୍ତର, ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ସ୍ଲରି ମନିଟରିଂ ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ଦିଏ ଯେ ବ୍ୟବହାର ପଏଣ୍ଟ (POU) କୁ ପ୍ରଦାନ କରାଯାଇଥିବା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ଲରି ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ ଅପଷ୍ଟ୍ରିମ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଶବ୍ଦକୁ ଖାତିର ନକରି, ଅସାଧାରଣ ଭାବରେ କଡ଼ା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସୀମା ମଧ୍ୟରେ ରହିବ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଆସୁଥିବା କଞ୍ଚା ସ୍ଲରି ବ୍ୟାଚଗୁଡ଼ିକରେ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଘନତାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନଶୀଳତାକୁ ଦୃଷ୍ଟିରେ ରଖି, କେବଳ ଏକ ରେସିପି ଅନୁସରଣ କରିବା ଯଥେଷ୍ଟ ନୁହେଁ। ପ୍ରକୃତ ସମୟରେ ବ୍ଲେଣ୍ଡର ଟାଙ୍କିରେ ଘନତା ନିରୀକ୍ଷଣ କରି, ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା ଗତିଶୀଳ ଭାବରେ ଡାଇଲ୍ୟୁସନ୍ ଅନୁପାତକୁ ସମାୟୋଜିତ କରିପାରିବ, ଏହା ନିଶ୍ଚିତ କରି ଯେ ମିଶ୍ରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସଠିକ୍ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାନ୍ଦ୍ରତା ବଜାୟ ରହିଛି। ଏହା ଅସଙ୍ଗତ କଞ୍ଚାମାଲରୁ ସୃଷ୍ଟି ହେଉଥିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରିବର୍ତ୍ତନଶୀଳତାକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରେ, ଯାହା ଅତ୍ୟନ୍ତ ପୂର୍ବାନୁମାନଯୋଗ୍ୟ ପଲିସିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଆଡ଼କୁ ନେଇଥାଏ ଏବଂ ମହଙ୍ଗା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭ୍ରମଣର ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଏବଂ ପରିମାଣକୁ ନାଟକୀୟ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।

ଅମଳ ବୃଦ୍ଧି କରେ

ଅସ୍ଥିର ସ୍ଲରି ପରିସ୍ଥିତି ଯୋଗୁଁ ହେଉଥିବା ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ବିଫଳତାକୁ ସିଧାସଳଖ ସମାଧାନ କରିବା ହେଉଛି ବୃଦ୍ଧି କରିବାର ସବୁଠାରୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଉପାୟcmp ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନଉତ୍ପାଦନ ହାର। ପୂର୍ବାନୁମାନିକ, ବାସ୍ତବ-ସମୟ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା ସକ୍ରିୟ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ମୂଲ୍ୟ ଉତ୍ପାଦକୁ ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଯେଉଁ ଫ୍ୟାବ୍ ଏପରି ବ୍ୟବସ୍ଥା କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ କରିଛନ୍ତି ସେମାନେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସଫଳତା ଦସ୍ତାବିଜ କରିଛନ୍ତି, ଯେଉଁଥିରେ ତ୍ରୁଟି ପତନରେ 25% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହ୍ରାସ ରିପୋର୍ଟ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଏହି ପ୍ରତିରୋଧକ କ୍ଷମତା ଅନିବାର୍ଯ୍ୟ ତ୍ରୁଟି ପ୍ରତି ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବାରୁ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପାରଦର୍ଶିତାକୁ ସେମାନଙ୍କ ଗଠନକୁ ସକ୍ରିୟ ଭାବରେ ରୋକିବା ଦିଗରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିଥାଏ, ଏହାଦ୍ୱାରା ଲକ୍ଷ ଲକ୍ଷ ଡଲାର ମୂଲ୍ୟର ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ମାଇକ୍ରୋ-ସ୍କ୍ରାଚ୍ ଏବଂ ଅସ୍ଥିର କଣିକା ଜନସଂଖ୍ୟା ଦ୍ୱାରା ହେଉଥିବା ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷତିରୁ ରକ୍ଷା କରିଥାଏ। ଗତିଶୀଳ ପରିବର୍ତ୍ତନଗୁଡ଼ିକୁ ନିରୀକ୍ଷଣ କରିବାର କ୍ଷମତା, ଯେପରିକି ହଠାତ୍ ସାନ୍ସିସିଟି ଡ୍ରପ୍ ସଙ୍କେତ ଦେଉଥିବା ଥର୍ମାଲ୍ କିମ୍ବା ସିଅର୍ ଚାପ, ଏହି କାରକଗୁଡ଼ିକ ଏକାଧିକ ୱେଫର ମଧ୍ୟରେ ତ୍ରୁଟି ପ୍ରସାର କରିବା ପୂର୍ବରୁ ହସ୍ତକ୍ଷେପକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।

ପୁନଃକାର୍ଯ୍ୟ ହ୍ରାସ କରେ

ଉତ୍ପାଦଟିପୁନଃକାର୍ଯ୍ୟତ୍ରୁଟି କିମ୍ବା ତ୍ରୁଟି ଯୋଗୁଁ ପୁନଃ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ଉତ୍ପାଦର ଶତକଡ଼ା ଭାବରେ ପରିଭାଷିତ ହାର, ସାମଗ୍ରିକ ଉତ୍ପାଦନ ଅଦକ୍ଷତାକୁ ମାପିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ KPI। ଉଚ୍ଚ ପୁନଃ କାର୍ଯ୍ୟ ହାର ମୂଲ୍ୟବାନ ଶ୍ରମ, ଅପଚୟ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରେ ଏବଂ ଯଥେଷ୍ଟ ବିଳମ୍ବ ଆଣିଥାଏ। କାରଣ ଡିସିଂ, ଅସମାନ ଅପସାରଣ ଏବଂ ସ୍କ୍ରାଚିଂ ପରି ତ୍ରୁଟିଗୁଡ଼ିକ ରିଓଲୋଜିକାଲ୍ ଅସ୍ଥିରତାର ସିଧାସଳଖ ପରିଣାମ, ନିରନ୍ତର ଘନତା ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ମାଧ୍ୟମରେ ସ୍ଲରି ପ୍ରବାହକୁ ସ୍ଥିର କରିବା ଏହି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ତ୍ରୁଟିଗୁଡ଼ିକର ଆରମ୍ଭକୁ ବହୁଳ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ। ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରି, ମରାମତି କିମ୍ବା ପୁନଃ ପଲିସିଂ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ତ୍ରୁଟିଗୁଡ଼ିକର ଘଟଣା ହ୍ରାସ ପାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ବର୍ଦ୍ଧିତ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ଦଳ ଦକ୍ଷତା ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ।

କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରେ

CMP ସ୍ଲରିଗୁଡ଼ିକ ନିର୍ମାଣ ପରିବେଶ ମଧ୍ୟରେ ଏକ ଯଥେଷ୍ଟ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ ମୂଲ୍ୟ ପ୍ରତିନିଧିତ୍ୱ କରେ। ଯେତେବେଳେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅନିଶ୍ଚିତତା ମିଶ୍ରଣ ଏବଂ ବ୍ୟବହାରରେ ବିସ୍ତୃତ, ରକ୍ଷଣଶୀଳ ସୁରକ୍ଷା ମାର୍ଜିନର ବ୍ୟବହାରକୁ ନିର୍ଦ୍ଦେଶ ଦିଏ, ଫଳାଫଳ ହେଉଛି ଅଦକ୍ଷ ବ୍ୟବହାର ଏବଂ ଉଚ୍ଚ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଖର୍ଚ୍ଚ। ବାସ୍ତବ-ସମୟ ମନିଟରିଂ ଦୁର୍ବଳ, ସଠିକ ସ୍ଲରି ପରିଚାଳନାକୁ ସକ୍ଷମ କରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ନିରନ୍ତର ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସଠିକ ମିଶ୍ରଣ ଅନୁପାତ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦିଏ, ଡାଇଲ୍ୟୁସନ୍ ଜଳ ବ୍ୟବହାରକୁ କମ କରିଥାଏ ଏବଂ ନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ ଯେ ମହଙ୍ଗାcmp ସ୍ଲରି ରଚନାସର୍ବୋତ୍ତମ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯାହା ସାମଗ୍ରୀ ଅପଚୟ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ହ୍ରାସ କରେ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ବାସ୍ତବ-ସମୟ ରିଓଲୋଜିକାଲ୍ ଡାଇଗ୍ନୋଷ୍ଟିକ୍ସ ଉପକରଣ ସମସ୍ୟାର ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ଚେତାବନୀ ସଙ୍କେତ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ - ଯେପରିକି ପ୍ୟାଡ୍ ପିନ୍ଧିବା କିମ୍ବା ପମ୍ପ ବିଫଳତା - ଯାହା ତ୍ରୁଟିପୂର୍ଣ୍ଣ ସ୍ଲରି ଏକ୍ସକ୍ୟୁରସନ୍ ଏବଂ ପରବର୍ତ୍ତୀ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଡାଉନଟାଇମ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପୂର୍ବରୁ ଅବସ୍ଥା-ଆଧାରିତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ପାଇଁ ଅନୁମତି ଦିଏ।

ନିରନ୍ତର ଉଚ୍ଚ-ଉପଜ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ସମସ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ୟୁନିଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପରିବର୍ତ୍ତନଶୀଳତା ଦୂର କରିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଲନ୍ମିଟର ରେଜୋନାଣ୍ଟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସ୍ଲରି ବିତରଣ ଭିତ୍ତିଭୂମିକୁ ବିପଦମୁକ୍ତ କରିବା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଦୃଢ଼ତା, ଗତି ଏବଂ ସଠିକତା ପ୍ରଦାନ କରେ। ବାସ୍ତବ-ସମୟ ଘନତା ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ତଥ୍ୟକୁ ଏକୀକୃତ କରି, ପ୍ରକ୍ରିୟା ଇଞ୍ଜିନିୟରମାନେ ନିରନ୍ତର, କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ବୁଦ୍ଧିମତ୍ତା ସହିତ ସଜ୍ଜିତ, ପୂର୍ବାନୁମାନଯୋଗ୍ୟ ପଲିସିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତି ଏବଂ କୋଲଏଡାଲ୍ ଅସ୍ଥିରତା ବିରୁଦ୍ଧରେ ୱେଫର ଅମଳକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦିଅନ୍ତି।

ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଉପଜ ପରିଚାଳନାରୁ ସକ୍ରିୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆରମ୍ଭ କରିବା ପାଇଁ:

ବଡ଼ କରନ୍ତୁଅପଟାଇମ୍ ଏବଂସର୍ବନିମ୍ନ କରନ୍ତୁପୁନଃକାର୍ଯ୍ୟ:ଡାଉନଲୋଡ୍ କରନ୍ତୁଆମର ବୈଷୟିକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ଏବଂଆରମ୍ଭ କରନ୍ତୁଆଜିର ଏକ RFQ।

ଆମେ ବରିଷ୍ଠ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ଦାୟାଦ ଇଞ୍ଜିନିୟରମାନଙ୍କୁ ନିମନ୍ତ୍ରଣ କରୁଛୁଦାଖଲ କରନ୍ତୁଏକ ବିସ୍ତୃତ RFQ। ଆମର ବୈଷୟିକ ବିଶେଷଜ୍ଞମାନେ ଏକ ସଠିକ୍ କାର୍ଯ୍ୟାନ୍ୱୟନ ରୋଡମ୍ୟାପ୍ ବିକଶିତ କରିବେ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ତ୍ରୁଟି ଘନତା ଏବଂ ସ୍ଲରି ବ୍ୟବହାରରେ ଆକଳନ କରାଯାଇଥିବା ହ୍ରାସ ପରିମାଣକୁ ପରିମାଣିତ କରିବା ପାଇଁ ଆପଣଙ୍କର ସ୍ଲରି ବଣ୍ଟନ ଭିତ୍ତିଭୂମିରେ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଲନ୍ମିଟର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାକୁ ଏକୀକୃତ କରିବ।ଯୋଗାଯୋଗଆମର ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଦଳ ଏବେସୁରକ୍ଷିତତୁମର ଅମଳ ଲାଭ।ଆବିଷ୍କାର କରନ୍ତୁଆପଣଙ୍କର ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ଲାନରାଇଜେସନ୍ ପଦକ୍ଷେପକୁ ସ୍ଥିର କରିବା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ସଠିକତା।

ଅଧିକ ଅନୁପ୍ରୟୋଗଗୁଡିକ


ଆପଣଙ୍କ ବାର୍ତ୍ତା ଏଠାରେ ଲେଖନ୍ତୁ ଏବଂ ଆମକୁ ପଠାନ୍ତୁ।