Kuyeza kayendedwe ka madzi ndikofunikira kwambiri pakudula waya wa diamondi wa silicon wafer, chifukwa kumaonetsetsa kuti madzi odulirawo afika molondola ku waya ndi waya—kofunikira kwambiri kuti kuziziritsa bwino, mafuta, komanso kuchotsa zinyalala.RDeta yoyendera nthawi ya eal imaletsa kupezeka kwa madzi okwanira kapena ochulukirapo, zomwe zingayambitse kutentha kwambiri, kusweka kwa waya, zolakwika pamwamba, kapena zinyalala. Kuyeza kolondola kumachepetsa kusinthasintha kwa njira, kuteteza kusalala kwa wafer ndi kulimba kwa pamwamba, kumawonjezera nthawi ya waya, ndikukonza magwiridwe antchito abwino.
Chidule cha Kudula kwa Silicon Wafer ndi Ntchito ya Kudula Madzi
Kudula waya wa diamondi ndi njira yodziwika bwino yodulira ma ingot a monocrystalline ndi multicrystalline silicon mu ma wafer kuti agwiritsidwe ntchito ndi semiconductor ndi photovoltaic. Munjira iyi, waya wachitsulo—nthawi zambiri 40–70 μm m'mimba mwake—umakutidwa ndi tinthu ta diamondi tomwe timayabwa. Wayawo umayenda mofulumira kwambiri, ndipo ma diamondi ophatikizidwa amapukuta silicon mwa kuphwanya, kuchepetsa zolakwika pamwamba ndikulimbikitsa kufanana kwa wafer. Ma waya ochepetsedwa omwe adayambitsidwa m'zaka zaposachedwa amachepetsa kutayika kwa kerf, komwe kumatanthauza kuti zinthu zomwe zimawonongeka ngati tinthu tating'onoting'ono ta silicon panthawi yodula. Kutayika kwa kerf kumatsimikiziridwa ndi kukula kwa waya ndi kutalika kwa tinthu ta abrasive tomwe timatuluka pamwamba pa waya.
Kudula Waya wa Daimondi
*
Kudula madzi kumagwira ntchito zingapo zofunika kwambiri pakudula waya wa diamondi. Ntchito yawo yayikulu ndikuziziritsa ingot ndi waya, kupewa kutentha kwambiri komwe kungawononge silicon kapena kuchepetsa moyo wa waya. Amatsukanso tinthu tating'onoting'ono ta silicon tomwe timapangidwa panthawi yodula, zomwe zimathandiza kusunga mawonekedwe oyera, kupewa kuyikanso zinyalala, komanso kuchepetsa ming'alu yaying'ono pamwamba pa wafer. Kuphatikiza apo, madzi odula amapaka mafuta, kuchepetsa kukangana pakati pa waya ndi silicon, motero kutalikitsa nthawi ya waya ndikuwonjezera ubwino wodula. Kapangidwe ndi mawonekedwe a madzi odula wafer a silicon—monga kukhuthala ndi kuchulukana—ayenera kusamalidwa mosamala kuti aziziziritsa bwino, kuchotsa chip, ndi kuteteza waya.
Pali mitundu ingapo yamadzi odulira ma wafer, kuphatikizapo madzi ochokera m'madzi okhala ndi zowonjezera zowonjezera mafuta ndi tinthu tomwe timayimitsidwa. Kusankha kumadalira kapangidwe ka zida, mawonekedwe a ma wafer, ndi zoletsa zachilengedwe. Zitsanzo zikuphatikizapo madzi oyeretsedwa okhala ndi ma surfactants kapena ma glycols, opangidwa kuti aziziritsa bwino komanso kuti pakhale zotsalira zochepa.
Kusintha kwa mawaya a diamondi opyapyala kwambiri m'mafakitale amakono a wafer kumawonjezera zovuta pakutumiza madzi ndi kuwongolera njira. Pamene mainchesi a waya akuchepa pansi pa 40 μm, chiopsezo cha kusweka kwa waya chimawonjezeka ndipo kulekerera kusintha kwa njira kumachepa. Kuyeza molondola kuchuluka kwa madzi—kothandizidwa ndi ukadaulo monga kudula mita yoyezera madzi, masensa oyezera madzi molondola kwambiri, ndi masensa oyezera madzi ambiri a Coriolis—ndikofunikira kuti kuziziritsa bwino komanso kuchotsa zinyalala. Masensa oyezera madzi odula ndi njira zoyezera madzi odula mafakitale zimathandiza ogwiritsa ntchito kutsatira ndikusintha kuchuluka kwa madzi munthawi yeniyeni, kukwaniritsa kudzola bwino komanso mtundu wabwino wa pamwamba. Kulondola kwa masensa oyezera madzi a Coriolis ndikofunikira kwambiri poyang'anira madzi okhala ndi makulidwe osiyanasiyana ndi kukhuthala, kuonetsetsa kuti zinthu zikuyenda bwino ngakhale liwiro lodulira ndi kupsinjika kwa waya zikuwonjezeka.
Kufunika kowonjezereka kwa kulondola kumeneku kwasintha chidwi cha anthu kuti ayang'anire magawo amadzimadzi monga kuchuluka kwa madzi, kuchuluka kwa madzi, ndi kukhuthala. Zipangizo monga za ku Lonnmeter zimapereka miyeso yodalirika komanso yeniyeni yomwe ndi yofunika kwambiri pakutsimikizira khalidwe ndi kukonza njira zodulira waya wa diamondi. Pamene ukadaulo wa waya ukupitilira kupita patsogolo, kuphatikiza ukadaulo wamphamvu woyezera madzi ndikofunikira kwambiri pakupititsa patsogolo kufalikira kwa wafer, kuchepetsa kutayika kwa kerf, komanso kuchepetsa zofunikira zomaliza za gawo lopanga wafer wa silicon.
Mavuto Okhudza Kutumiza Madzi Pakudula Waya wa Diamondi Mwanzeru
Podula waya wa diamondi wa mawaya a silicon owonda kwambiri—makamaka omwe ali pansi pa 40 µm—kupereka kuchuluka koyenera kwa madzi odulira a silicon wafer pamalo odulira kumakhala kovuta kwambiri. Pamene makulidwe a waya akuchepa, malo oti madzi aziyenda amachepa. Kusunga madzi odulira nthawi zonse ndikofunikira kuti mafuta azilowetsedwa, kutentha kuyende bwino, komanso kuchotsa zinyalala pamalo olumikizirana.
Kusayenda bwino kwa madzi m'thupi kumabweretsa kulowetsedwa kwa wafer, komwe wafer imamatira kwambiri ku zida chifukwa cha mafuta osakwanira. Izi sizimangosokoneza njira yodulira komanso zimawonjezera chiopsezo cha kusweka kapena kuwonongeka kwa wafer. Kukhwima kwa pamwamba kumawonjezeka kwambiri pamene waya ndi wafer sizilandira mafuta ochulukirapo komanso kuzizira kuchokera ku madzi odulira waya wa diamondi. Malo owonongeka ndi zolakwika zazing'ono zomwe zimachitika chifukwa cha izi zimachepetsa ubwino ndi kukolola kwa wafer, zomwe zimapangitsa kuti mafakitale a semiconductor ndi photovoltaic avutike.
Zinthu zitatu zazikulu zimakhudza kulowa kwa madzi mu mpata wodula wa skeli: mawonekedwe a waya, liwiro lodula, ndi ntchito ya capillary. Mawonekedwe a waya—makamaka kukula kwa waya ndi kufalikira kwa tinthu ta diamondi—zimakhudza mwachindunji momwe madzi odulira a silicon wafer amayendera mosavuta ndikumamatira kudera lolumikizana. Mukagwiritsa ntchito mawaya osakwana 40 µm, malo ang'onoang'ono pamwamba amaletsa kuyenda kwa madzi. Kuthamanga kwakukulu kodulira kumachepetsa nthawi yomwe madziwo akufika ndikuziziritsa mawonekedwe, zomwe zimapangitsa kuti kutentha kwambiri komanso mafuta ochulukirapo asagwire bwino ntchito. Kuchita kwa capillary, mphamvu yachilengedwe ya madziwo kukokedwa m'malo opapatiza, kumatsimikiza kwambiri kusunga madzi. Komabe, mipata yomweyi yamadzimadzi yomwe imathandizira kuyenda kwa madzi imatha kuyambitsa kulumikizidwa kwa capillary pakati pa mawaya oyandikana nawo, zomwe zimapangitsa kuti kusagwirizana kusakhale kofanana komanso kusinthasintha kwa makulidwe a wafer.
Kuyambitsidwa kwa mitundu yapamwamba yamadzimadzi odulira ma wafer—kuphatikizapo njira zowonjezeredwa ndi tinthu tating'onoting'ono—kumapereka kusintha koyezeka. Madzimadzi opangidwa ndi tinthu tating'onoting'ono ta SiO₂ kapena SiC amalowa m'mipata yopapatiza bwino chifukwa cha kukhuthala bwino komanso kuyanjana bwino kwa pamwamba. Madzimadziwa amawonjezera mafuta ndipo amanyamula kutentha bwino, zomwe zimapangitsa kuti pamwamba pakhale povuta komanso kuti ma wafer akhale osalala bwino. Kafukufuku akuwonetsa kuti kugwiritsa ntchito madzi okhala ndi tinthu tating'onoting'ono kumasintha malo otentha panthawi yodula, zomwe zimachepetsanso kupsinjika komwe kumawopseza umphumphu wa wafer. Izi, kuphatikiza ndi njira monga kugwedezeka kwa ultrasonic kuti ziwonjezere kayendedwe ka capillary, zimathandiza kuti madzi odulira ma waya a diamondi aziperekedwa mofanana.
Kutumiza madzi nthawi zonse kumafuna kuyang'anira ndi kusintha kolondola komanso nthawi yeniyeni. Kuyeza bwino kwambiri kayendedwe ka madzi odulira m'mafakitale kumakhala kofunikira, makamaka m'njira zoyendetsedwa bwino. Kugwiritsa ntchito choyezera kuchuluka kwa madzi odulira m'mafakitale—monga choyezera kuchuluka kwa madzi odulira m'mafakitale cha Coriolis—kumathandizira kulamulira bwino kuchuluka kwa madzi odulira. Miyezo ya Lonnmeter yozungulira komanso yokhuthala, ikaphatikizidwa ndi zida zoyezera kuchuluka kwa madzi odulira m'mafakitale, zimathandiza kukonza bwino kuchuluka kwa madzi kotero kuti ngakhale ma wafers owonda kwambiri amadulidwa bwino, popanda chiopsezo chachikulu cha chilema.
Kuyeza Kuyenda kwa Madzi mu Ntchito Zodulira Ma Wafer
Kuyeza molondola kuchuluka kwa madzi odulira ndikofunikira kwambiri pakukonza bwino kutumizidwa kwa madzi odulira mu kudula waya wa diamondi wa mawafa a silicon. Kugwira ntchito bwino kwa madzi odulira wa silicon wafer kumapanga mwachindunji kuziziritsa, mafuta, ndi kuchotsa zinyalala pamalo olumikizirana, zomwe zimakhudza ubwino wa pamwamba pa wafer, kutayika kwa kerf, ndi phindu lonse la kupanga. Kuyenda kosakwanira kapena kochulukirapo kumasintha mphamvu yogwira ntchito, kumawonjezera kuwonongeka kwa zida, ndipo kungayambitse kusagwirizana kwa mtundu wa wafer kapena ndalama zambiri. Kafukufuku wofufuza akuwonetsa kuti kuwonongeka kwa pamwamba (Ra) ndi kuwonongeka kwa pansi pa nthaka kungachepe mwa kusunga kuchuluka kwa madzi odulira mkati mwa 0.15–0.25 L/min yabwino kwambiri ya makina wamba a waya umodzi, chifukwa kuyenda kosakwanira kumabweretsa ming'alu yaying'ono ndi kusonkhanitsa zinyalala, pomwe kuyenda kochulukirapo kumayambitsa kugwedezeka ndi kugwiritsidwa ntchito kosafunikira.
Ukadaulo Wodulira Kuyeza kwa Kuthamanga kwa Madzi
Ma flow meter odulira madzi amaphatikizidwa mu mizere yoperekera madzi, poyesa kuchuluka kwa madzi odulira waya wa diamondi omwe amaperekedwa nthawi yeniyeni. Ukadaulo wodziwika bwino wa flow meter umaphatikizapo mitundu ya makina, zamagetsi, ndi ma ultrasound:
- Makina oyezera kuyenda kwa madzi, monga mapangidwe a turbine ndi paddlewheel, amagwiritsa ntchito zinthu zozungulira zomwe zimasinthidwa ndi kuyenda kwa madzi. Ndi zosavuta komanso zolimba koma zimawonongeka mosavuta ndi madzi odzaza ndi zinthu zokwawa.
- Zoyezera kuyenda kwa magetsi zamagetsi, makamaka mapangidwe amagetsi, zimayesa liwiro la madzi pogwiritsa ntchito mfundo za kulowetsa magetsi mumagetsi, zomwe zimapereka ntchito yodalirika komanso yosamalira magetsi amadzimadzi oyendetsera magetsi.
- Ma ultrasound flow meter amagwiritsa ntchito mafunde amphamvu omwe amatumizidwa ndikulandiridwa kudzera mu chitoliro. Poyesa kusiyana kwa nthawi pakati pa mawu ndi kuyenda kwake, zipangizozi zimapereka muyeso wolondola komanso wosasokoneza womwe umayenera mitundu yosiyanasiyana ya madzi odulidwa ndi wafer.
Kuyeza kuchuluka kwa madzi mu Coriolis kumaonekera bwino kwambiri pamene pakufunika kuwongolera molondola kuchuluka kwa madzi, mosasamala kanthu za kukhuthala kapena kusintha kwa kutentha. Masensa oyendera madzi mu Coriolis amayesa mwachindunji kuchuluka kwa madzi mu Coriolis kutengera mphamvu ya Coriolis, zomwe zimapangitsa kuti zikhale zolondola kwambiri komanso zoyenera kugwiritsa ntchito madzi odulira waya wa diamondi pogwiritsa ntchito madzi komanso mafuta. Lonnmeter imapanga mita yoyezera kuchuluka kwa madzi mu mzere ndi kukhuthala, zomwe zimathandizanso kuyang'anira mawonekedwe a madzi kuti agwirizane bwino komanso azilamulira bwino njira yodulira mu silicon wafer.
Magawo Oyesera Ofunikira ndi Kuyika kwa Sensor
Kuyeza molondola kwa kayendedwe ka madzi odulira mu kudula kwa wafer kumafuna chisamaliro ku magawo angapo ofunikira:
- Kuchuluka kwa madzi (L/min): Muyeso waukulu wokonzera bwino njira ndi kutsimikizira khalidwe.
- Kuchulukana ndi kukhuthala: Zonsezi zimakhudza kwambiri momwe zinthu zimaziziritsira, kunyamula zinthu movutikira, komanso kuchotsa zinyalala.
- Kutentha: Kumakhudza kukhuthala ndi kachitidwe ka madzi pamalo odulidwa.
Kuyika kwa sensa ndikofunikira kwambiri. Masensa oyezera kuyenda kwa madzi ayenera kuyikidwa mwachindunji pamzere wotumizira madzi pafupi ndi malo odulira momwe zingathere kuti achepetse kusiyana chifukwa cha kukana kwa mapaipi, kutuluka kwa madzi, kapena kuuma kwa madzi musanayambe mawonekedwe odulira. Kuyeza kwa nthawi yeniyeni kumawonetsetsa kuti mtengo wa kuyenda kwa madzi womwe wanenedwa ukugwirizana ndi kuperekedwa kwenikweni kwa malo odulira waya wa diamondi.
Ntchito ya Kuyeza Kuyenda Posunga Malo Oyenera Kudula
Masensa oyezera kuyenda kwa madzi ndi ofunikira pakuwunika nthawi yeniyeni komanso kuwongolera momwe madzi amaperekedwera m'mafakitale odulira ma silicon wafer. Kusunga kuchuluka kwa madzi komwe kumayenda bwino kumatsimikizira kuti kutentha kumatayika bwino, kuchotsa zinyalala mosalekeza, komanso mafuta ofanana pa waya wa diamondi. Popanda izi, kukhazikika kwa njira kumachepa, nthawi ya waya imafupikitsidwa, ndipo zokolola zimachepa chifukwa cha chiopsezo chowonjezeka cha zolakwika pamwamba kapena kutayika kwakukulu kwa kerf.
Mwa kuphatikiza muyeso wolondola kwambiri wa kuchuluka kwa madzi ndi magawo ena a mayankho (monga liwiro la waya, kuchuluka kwa chakudya), opanga amatha kukakamiza kuwongolera kosinthika kwa malire a njira, kulumikiza mwachindunji kusintha kwa kuchuluka kwa madzi ndi magwiridwe antchito odulira omwe awonedwa. Zotsatira zake, kupatuka kulikonse kuchokera ku envelopu yoyendetsedwa bwino kumayambitsa kukonza mwachangu, kuteteza ubwino wa njira komanso kugwiritsa ntchito bwino zinthu.
Mwachidule, kuyeza kayendedwe ka madzi odulira m'mafakitale—kutengera masensa olimba oyezera kayendedwe ka madzi ndi deta yeniyeni—kumagwira ntchito ngati mwala wapangodya wopanga ma silicon wafer opindulitsa kwambiri komanso otsika mtengo munthawi yodulira waya wa diamondi.
Kuyeza kwa Kuyenda kwa Misa ya Coriolis: Mfundo ndi Kugwiritsa Ntchito
Kuyeza kuchuluka kwa madzi mu Coriolis kumadalira kuzindikira mphamvu yomwe madzi akuyenda m'machubu ogwedezeka. Pamene madzi akuyenda—monga madzi odulira waya wa diamondi kapena madzi apadera odulira waya wa silicon—machubuwo amakumana ndi kusintha pang'ono, koyezeka. Kusinthaku kumayenderana ndi kuchuluka kwa madzi omwe amatuluka, zomwe zimapangitsa kuti nthawi yomweyo kuchuluka kwa madzi odulirawo kuwerengedwe. Mfundo yomweyi imalola kuyeza kuchuluka kwa madzi nthawi imodzi, kuthandizira kulondola kwakukulu pamitundu yosiyanasiyana ya madzi, kapangidwe kake, ndi kutentha—chofunikira kwambiri popanga machubu a silicon ndi ntchito zodulira waya wa diamondi.
Ubwino wa njira iyi yopangira mitundu yamadzimadzi odulira ma wafer, makamaka pogwiritsa ntchito madzimadzi odulira ma waya a diamondi opambana kwambiri, ndi waukulu. Kuyeza kwa kayendedwe ka Coriolis sikudalira kukhuthala kwa madzi ndi kusintha kwa kapangidwe kake, kumakhala kolondola kwambiri pakati pa kukhalapo kwa tinthu tating'onoting'ono tomwe timapezeka nthawi zambiri m'madzimadzi odulira ma wafer a silicon. Kulimba kumeneku kumapangitsa kuti ikhale yabwino kuposa njira zachikhalidwe zodulira ma volumetric, zomwe zimatha kukhudzidwa ndi thovu, tinthu tomwe timayimitsidwa, komanso kusintha kwa mawonekedwe amadzimadzi odulira apamwamba.
Kudula kwa semiconductor wafer kumadalira kwambiri ukadaulo wapamwamba wa sensa yamadzimadzi kuti zitsimikizire kuyang'anira kodalirika kwa madzimadzi odulira a silicon wafers. Masensa oyenda a Lonnmeter inline mass flow, pogwiritsa ntchito Coriolis effect, amayikidwa mwachindunji mu mizere ya process. Izi zimathandiza kutumiza ndi kuyang'anira molondola madzi odulira a nano-fluid ndi diamondi panthawi yodula wafer. Zizindikiro za kuwonongeka kwa madzimadzi, kusagwirizana kwa kusakaniza, kapena kusintha kwa kachulukidwe ka madzi zimapezeka mwachangu, zomwe zimapangitsa kuti pakhale njira zowongolera mwachangu kuti pakhale phindu la njira ndi mtundu wa pamwamba.
Kuyerekeza masensa oyendera madzi a Coriolis ndi masensa ena owunikira madzi odulira—monga makina otenthetsera, maginito, kapena ma ultrasound—kumavumbula mphamvu zingapo. Masensa oyendera madzi a Coriolis amachita bwino kwambiri poyesa madzi molondola kwambiri ndipo amapereka kuwerenga kochokera ku misa popanda kukhudzidwa ndi kusinthasintha kwa kukhuthala kapena mphamvu zamaginito. Ma electromagnetic ndi ma ultrasound mita amavutika ndi zosakaniza zodula madzi zomwe zili ndi tinthu tating'onoting'ono, matumba a mpweya, kapena kusinthasintha kwa kachulukidwe ka mphindi, zomwe nthawi zambiri zimapangitsa kuti muyeso wa madzi odulira ukhale wosadalirika komanso kuchuluka kwa nthawi yosamalira.
Kulondola kwa mita yoyezera kuyenda kwa Coriolis kumasungidwa pansi pa kusintha kwa kapangidwe ka madzi, chifukwa njira zoyendetsera zizindikiro ndi njira zochepetsera kutentha zimasefa bwino phokoso ndi kusintha kwa chilengedwe. Ogwiritsa ntchito amatha kugwiritsa ntchito deta yeniyeni kuti aziziziritsa bwino, mafuta, ndi kuchotsa tinthu tating'onoting'ono, poyankha mitundu yosiyanasiyana ya madzi odulidwa a wafer ndi zosakaniza za nanofluid.
Kusintha kwa kuyeza kwa kuchuluka kwa madzi a Coriolis kuti agwiritsidwe ntchito pocheka waya ndi madzi odulira pogwiritsa ntchito tinthu tating'onoting'ono kumasonyeza kusintha kwa kuyang'anira mafakitale. Masensa amayesa kuchuluka kwa madzi ndi kuchuluka kwa madzi, mosasamala kanthu za kuchuluka kwa tinthu kapena kusiyana kwa madzi, zomwe zimathandiza kuti kuwongolera kotsekedwa komanso kuyang'anira madzi opangidwa ndi makina odulira wafer. Mlingo uwu wa kuyeza kwa madzi molondola kwambiri ndi wofunikira kwambiri pakusunga kukhazikika kwa njira, kuchepetsa kutayika kwa zinthu, ndikusunga umphumphu wa pamwamba panthawi yopanga wafer wa silicon ndi njira zodulira waya wa diamondi.
Kuphatikiza Deta Yoyezera Kuyenda mu Kuwongolera Njira
Kuyeza kayendedwe ka madzi nthawi yeniyeni pogwiritsa ntchito masensa oyendera madzi a Coriolis kwasintha kasamalidwe ka madzi odulira panthawi yodula waya wa diamondi wa ma silicon wafers. Mita yozungulira ndi yokhuthala, monga yomwe imapangidwa ndi Lonnmeter, imathandizira kuyang'anira mwachangu mawonekedwe a madzi ndi kuchuluka kwa madzi, kuthandizira mwachindunji kuwongolera kolondola kwa njira.
Kusunga kuchuluka kwa madzi okwanira ndikofunikira kwambiri kuti waya wa diamondi ndi ma wafer a silicon aziziziritsidwe bwino, kutsukidwa, komanso kudzola mafuta. Ma Coriolis mass flow meter amagwira ntchito bwino kwambiri popereka ndemanga yolondola komanso yeniyeni pa kuchuluka kwa madzi ndi mawonekedwe a madzi. Ndi deta iyi, makina odziyimira pawokha amatha kusintha liwiro la pampu, malo a ma valvu, kapena kubwezeretsanso kuchuluka kuti apereke molondola kuchuluka ndi kapangidwe kofunikira ka madzi odulira ma wafer. Mwachitsanzo, panthawi yodulira mwachangu, deta ya sensa ingayambitse kuchuluka kwa madzi kuti achotse zinyalala ndi kuziziritsa bwino, pomwe kuyenda pang'onopang'ono kungafunike kuchepa kwa madzi kuti apewe kutaya.
Mayankho ochokera ku masensa oyezera kuyenda kwa madzi ndi ofunikiranso poyankha kusintha kwa madzi. Pamene kukhuthala kwa madzi kapena kuchuluka kwa madzi kumasintha—chifukwa cha kusintha kwa kutentha kapena kuipitsidwa—mamita a Lonnmeter omwe ali pamzere amazindikira kusinthaku nthawi yomweyo, zomwe zimathandiza makina owongolera kuti agwirizane ndi kusintha kwa madzi kapena kuyambitsa kusefa madzi. Njira iyi yozungulira, yoyendetsedwa ndi deta imatsimikizira kuti madziwo amakhalabe mkati mwa zofunikira kuti adule bwino.
M'malo okhala ndi voliyumu yambiri, kuthekera koyang'anira ndikuwongolera kuchepa kwa madzi nthawi yeniyeni kumathandiza kuti makulidwe azikhala okhazikika komanso kuchepetsa kuwonongeka kwamitengo, monga momwe zasonyezedwera m'makampani opanga zinthu ku Asia ndi Europe. Kuyang'anira madzi m'njira yapamwamba kumathandizanso kukonza zinthu zomwe zikuyembekezeka, zomwe zimawonjezera nthawi ya moyo wa waya wa diamondi.
Ntchito zamafakitale zimapindula kwambiri ndi makina odulira madzi oyendetsedwa ndi kayendedwe ka madzi. Kusamalira bwino madzi amadzi ...
Mwachidule, kuphatikiza deta yoyezera kuyenda kwa madzi nthawi yeniyeni, yothandizidwa ndi mayankho a Lonnmeter, sikuti ndi maziko okha otsimikizira khalidwe la wafer komanso ndi mwayi wogwirira ntchito pa njira yodulira waya wa diamondi. Kumapereka kusintha koyezeka pakutha kwa pamwamba, kudalirika kwa makina, phindu lopanga, komanso kugwiritsa ntchito bwino ndalama.
Kuzindikira Koyesera ndi Malangizo a Zamalonda
Kafukufuku waposachedwapa wasintha njira zabwino zoperekera madzi podula waya wa diamondi wa mawafa a silikoni. Kafukufuku akusonyeza kuti madzi odulira bwino, makamaka pogwiritsa ntchito njira zamakono, amagwirizana mwachindunji ndi kuchepa kwa madzi odulira komanso ubwino wabwino pamwamba pake.
Kugwiritsa ntchito mphamvu ya ultrasonic capillary popereka madzi kwakhala njira yosinthira zinthu. Mafunde a ultrasonic amayendetsa madzi odulidwa mozama kwambiri m'ma kerf owonda kwambiri—makamaka m'madera ochepera 50 μm—kumene njira zachikhalidwe zoperekera madzi nthawi zambiri zimalephera. Kulowa kwamphamvu kumeneku kumachepetsa kwambiri kuyamwa kwa tinthu tating'onoting'ono ndi zinyalala pamwamba pa wafer. Mayeso oyeserera akuwonetsa kuti ma wafer omwe amathandizidwa ndi ultrasound akuwonetsa zolakwika zochepa pamwamba, motero amakhala ndi zipatso zambiri komanso kudalirika kwakukulu m'njira zoyambira.
Kukonza bwino magawo ndikofunikira kwambiri kuti pakhale ubwino waukulu wa ukadaulo wa ultrasound komanso nano-fluid pochepetsa kuperekedwa kwa madzi. Magawo ofunikira ndi awa:
- Mtunda wa mbale: Mpata pakati pa malo osungira madzi ndi malo odulira uyenera kuchepetsedwa kuti madzi akwere bwino.
- Malo a transducer ya ultrasonic ndi kufanana kwa makonzedwe: Geometry yomveka bwino imatsimikizira kutumiza kwa mafunde kofanana ndi ntchito ya capillary.
- Kutentha kwa madzi: Kutentha kolamulidwa kumawonjezera kuyenda kwa madzi ndi kugwira ntchito bwino kwa mitsempha yamagazi.
- Kutalika ndi kuchuluka kwa kugwiritsa ntchito ultrasound: Nthawi yoyenera imaletsa kutentha kwambiri komanso kukulitsa kulowerera kwa madzi.
- Kusankha mtundu wa madzimadzi: Madzi oyambira osiyanasiyana ndi zowonjezera zimayankha mwapadera ku kusonkhezeredwa ndi ultrasound.
Ukadaulo wa nanofluid umabweretsa kupita patsogolo kwina kwakukulu. Madzi odulira omwe amaphatikizidwa ndi tinthu tating'onoting'ono monga SiO2 ndi SiC akuwonetsa kusintha kwa kutentha ndi mafuta. Kusinthaku kumabweretsa kuziziritsa bwino, kuchotsa zinyalala bwino, komanso kuchepetsa kuuma kwa pamwamba pa wafer. Deta ikuwonetsa kuti mapangidwe osakanikirana a nano-tinthu amapereka kusintha kogwirizana, kuchepetsa kupotoka kwa warp ndikupanga mawonekedwe abwino a wafer kuposa madzi odulira amtundu umodzi kapena wamba.
Opanga omwe akufuna kukonza bwino momwe amadulira madzi amatha kugwiritsa ntchito malangizo otsatirawa:
- Gwiritsani ntchito mita yoyezera kuchuluka kwa madzi ndi mita yoyezera kukhuthala (monga ya ku Lonnmeter) kuti muwone ndikuwongolera kusinthasintha kwa madzi, kuonetsetsa kuti mphamvu ya madzi ikuyenda bwino kwambiri pakugwiritsa ntchito ultrasound ndi nano-assist.
- Yang'anirani ndikusintha kuchuluka kwa madzi odulira pogwiritsa ntchito sensa yoyezera bwino kwambiri. Kuyeza kuchuluka kwa madzi odulira a Coriolis ndikothandiza makamaka poyezera kuchuluka kwa madzi odulira a mafakitale, zomwe zimapereka kulondola nthawi yeniyeni pa kuchuluka ndi kuchuluka.
- Yesani nthawi zonse masensa oyezera kuchuluka kwa madzi kuti musunge kuwerenga kodalirika, kofunikira kwambiri kuti mugwiritse ntchito bwino ma wafer.
- Sankhani mitundu yamadzimadzi odulira wafer ndi kuchuluka kwa nanoparticle komwe kumagwirizana ndi kukula kwa wafer, mawonekedwe a waya wa diamondi, ndi malo ogwirira ntchito.
Kafukufuku woyerekeza akutsimikizira kuti kusintha kwa magawo a single-factor—monga kukweza liwiro la waya kapena kusintha kuchuluka kwa chakudya—kumagwirizana ndi kusintha kwa kuwonongeka kwa waya, kuuma kwa pamwamba, ndi kusiyana kwa makulidwe onse (TTV). Kusunga kulondola kwa kayendedwe ka madzi ndi kupezeka kwa madzi mwachangu komanso koyankha ndikofunikira kwambiri pochepetsa zolakwika komanso kutalikitsa moyo wa waya.
Mafunso Ofunsidwa Kawirikawiri
Kodi madzi odulira a silicone wafer amathandiza bwanji kuti waya wa diamondi ugwire bwino ntchito?
Madzi odulira a silicon wafer amagwira ntchito ngati mafuta komanso choziziritsira pakudula waya wa diamondi. Ntchito yake yayikulu ndikuchepetsa kukangana ndikuchotsa kutentha komwe kumapangidwa pamalo olumikizirana ndi waya ndi wafer. Kukangana kotsika ndi kutentha kumachepetsa ming'alu yaying'ono ndi kukanda pamwamba, zomwe zingayambitse kuwonongeka kwa wafer ndikuchepetsa phindu lonse. Madzi amachotsanso zinyalala kuchokera pamalo odulira, kusunga waya wa diamondi ndi wafer kukhala oyera. Kuchotsa tinthu tating'onoting'ono kumeneku kumapangitsa kuti malo odulira azikhala osalala komanso othandizira kupanga zinthu zapamwamba komanso zokhazikika. Mwachitsanzo, madzi odulira a nano-cutting okhala ndi SiO₂ ndi SiC nanoparticles amatha kulowa mkati mwa kerf, kuchepetsa kuuma kwa pamwamba ndi wafer warpage, ndikupititsa patsogolo kutulutsa kwa wafer kuti igwiritsidwe ntchito ndi semiconductor.
Kodi choyezera madzi odulira ndi chiyani, ndipo n’chifukwa chiyani chili chofunikira podula wafer?
Choyezera madzi odulira chimayesa kuchuluka kwenikweni kwa madzi omwe amaperekedwa kudera lodulira. Kusunga kayendedwe kolondola ndikofunikira kwambiri kuti mafuta azitha, kutentha kutayike, komanso kuchotsa zinyalala. Ngati kayendedwe ka madzi kali kochepa kwambiri, wayawo umatentha kwambiri kapena kusonkhanitsa zinyalala, zomwe zimapangitsa kuti zikwapuke ndi kusweka. Kuyenda kwambiri kumatha kuwononga madzi ndikupanga kusalingana kwa kuthamanga kwa madzi, zomwe zimakhudza kusalala kwa wafer ndi moyo wa chida. Kudula mita yoyezera madzi, monga mita yozungulira ndi mita yokhuthala yopangidwa ndi Lonnmeter, kumathandiza ogwira ntchito kuyang'anira ndikusintha kupezeka kwake nthawi yeniyeni. Izi zimatsimikizira kuti njirayi imakhala mkati mwa magawo abwino kwambiri, kukulitsa kuchuluka kwa wafer ndikuchepetsa kuwonongeka kwa zida.
Kodi kuyeza kuchuluka kwa madzi a Coriolis kumathandiza bwanji kuwongolera madzi odulidwa ndi silicon wafer?
Kuyeza kuchuluka kwa madzi a Coriolis n'kofunika kwambiri poyesa kuchuluka kwa madzi omwe amagwiritsidwa ntchito popanga mawaya a silicon. Mosiyana ndi zoyezera madzi zachikhalidwe, masensa a Coriolis amayesa mwachindunji kuchuluka kwa madzi omwe amagwiritsidwa ntchito mosasamala kanthu za kukhuthala kwa madzi, kuchuluka kwa madzi, kapena kusintha kwa kutentha. Izi zimathandiza kuyang'anira molondola mitundu yosiyanasiyana ya madzi odulidwa a wafer, kuphatikizapo omwe ali ndi tinthu tating'onoting'ono. Zotsatira zake ndi kutumiza madzi odulidwa nthawi zonse pamlingo woyenera, kusunga mafuta okhazikika komanso kuzizira ngakhale kusintha kwa njira. Ubwino uwu umathandizira mwachindunji ku khalidwe labwino kwambiri la wafer pakudula waya wa diamondi, komwe kuwongolera molondola kumachepetsa zolakwika ndikukonza zokolola.
Ndi zinthu ziti zomwe zimakhudza kuyeza kwa kuchuluka kwa madzi omwe amagwiritsidwa ntchito pocheka waya wa diamondi?
Kuyeza molondola kuchuluka kwa madzi kumadalira zinthu zingapo zolumikizana. Kusankha sensa ndikofunikira; mwachitsanzo, masensa oyendera madzi a Coriolis amapereka deta yodalirika ngakhale yamadzimadzi okhuthala kapena odzaza ndi tinthu tating'onoting'ono. Kapangidwe ka madzimadzi—monga kukhalapo kwa tinthu tating'onoting'ono—kungasinthe kukhuthala ndi kuchulukana ndipo kumakhudza zofunikira pakuwunika kwa sensa. Kukula kwa waya ndi liwiro lodula zimakhudzanso kuchuluka kwa madzi omwe amafunikira kuti kuziziritsa bwino komanso kuchotsa zinyalala. Kuwongolera njira iliyonse ndikofunikira kuti sensa iwerengere zenizeni, kuonetsetsa kuti madzi odulidwawo akugwiritsidwa ntchito pa gulu lililonse.
Kodi nano-fluids ndi njira zopangira ma ultrasonic zingathandize kulowetsa madzi mkati mwa kudula kwa silicon wafer?
Kafukufuku akuwonetsa kuti madzi a nano-fluids, makamaka omwe ali ndi SiO₂ ndi SiC nanoparticles, amawonjezera mphamvu yotumizira madzi ku mawonekedwe ofunikira a waya-wafer. Tinthu timeneti timathandiza madzi kufika pa mipata yaying'ono kwambiri, kuonetsetsa kuti kuziziritsa ndi kudzola bwino. Kuphatikiza apo, njira zopangira ma capillary effect zimathandiziranso kuyenda kwa madzi ndi kulowa kwawo, makamaka pakudula waya woonda kwambiri. Izi zikutanthauza kuti madzi ochepa odulira amafunika kuti agwire bwino ntchito, ndipo zotsatira zake zimaphatikizapo kuchepa kwa madzi, mawonekedwe abwino a pamwamba, komanso kuchepa kwa chilema. Kupita patsogolo kumeneku kumathandizira kusunthira ku ma wafer owonda, akuluakulu m'mafakitale a semiconductor ndi photovoltaic, ndi masensa odulira madzi owonetsetsa kuti njirayi ikuyendetsedwa bwino komanso yogwirizana nthawi yonse yopanga.
Nthawi yotumizira: Disembala-25-2025
