MPengukuran paras cecair dalam tangki yang digunakan oleh kemudahan pembuatan semikonduktor memerlukan penyelesaian yang bertolak ansur dengan tekanan kriogenik, operasi dinamik dan kawalan pencemaran yang ketat. Pilihan pengukuran mesti mengutamakan ketidakselesaan, tindak balas dalam talian yang pantas dan penyelenggaraan minimum untuk melindungi hasil dan masa operasi.
Output Dalam Talian Berterusan Sesuai Untuk Kawalan Proses Dan Interlock Keselamatan
Output masa nyata yang berterusan adalah wajib untuk kawalan proses dan saling kunci keselamatan dalam kemudahan pembuatan semikonduktor. Output pilihan termasuk 4–20 mA dengan varian HART, Modbus atau Ethernet untuk sambungan PLC/DCS langsung. Pastikan peranti menyokong mod selamat dan penggera yang boleh dikonfigurasikan untuk keadaan tinggi/rendah, kadar perubahan dan kehilangan isyarat. Contoh: output 4–20 mA berterusan yang diikat pada solenoid pengisian tangki menghalang lebihan pengisian apabila paras melepasi ambang yang boleh diprogramkan.
Kekebalan Terhadap Wap, Buih, Pergolakan, Dan Sifat Media Yang Berubah
Tangki simpanan kriogenik menghasilkan selimut wap, stratifikasi dan pergolakan sekali-sekala semasa pemindahan. Pilih teknologi dengan imuniti yang kuat terhadap gema palsu dan pergolakan permukaan.Pemancar aras radarTeknologi dan sistem pemancar aras radar gelombang berpandu boleh menolak pulangan palsu jika dikonfigurasikan dengan betul. Kekalkan pemprosesan isyarat boleh laras, tontonan lengkung gema dan penapisan terbina dalam untuk mengelakkan ralat aras yang disebabkan oleh wap, buih atau percikan. Contoh: pemancar radar yang menggunakan tetapan pemprosesan isyarat lanjutan mengabaikan lapisan wap sementara semasa pendidihan.
Pengukuran Tahap Nitrogen Cecair
*
Penembusan Mekanikal Minimum Dan Tiada Bahagian Bergerak
Minimumkan risiko kebocoran dan penyelenggaraan dengan memilih sensor tanpa bahagian yang bergerak dan penembusan minimum melalui tangki simpanan kriogenik bertebat vakum. Radar tanpa sentuhan yang dipasang pada muncung atas sedia ada mengelakkan prob yang panjang dan mengurangkan penyambungan haba. Pilihan radar gelombang berpandu prob pendek boleh memuatkan bebibir kecil sedia ada tanpa lubang yang dalam. Tentukan bahan dan saiz bebibir yang serasi dengan jaket vakum dan pengedap kriogenik untuk memelihara integriti tangki. Contoh: pilih radar tanpa sentuhan yang dipasang di atas untuk menghapuskan prob yang panjang yang akan menembusi penebat.
Diagnostik, Penyelenggaraan Ramalan dan Penyelesaian Masalah Mudah
Pemancar peringkat lanjutan mesti merangkumi diagnostik dan bantuan penyelesaian masalah yang mudah untuk memaksimumkan ketersediaan loji. Memerlukan diagnostik terbina dalam seperti paparan lengkung gema, metrik kekuatan isyarat, pemeriksaan integriti prob dan sensor suhu. Sokongan untuk diagnostik jarak jauh dan log ralat mempercepat analisis punca utama. Amaran ramalan—seperti penurunan kekuatan isyarat atau penunjuk pengotoran prob—membantu menjadualkan intervensi sebelum penutupan. Contoh: pemancar yang merekod pelemahan gema secara beransur-ansur boleh mendorong pembersihan pengumpulan sebelum kegagalan berlaku.
Keupayaan untuk Mengukur Tahap Antara Muka dalam Senario Multivariabel
Mengukur antara muka dalam senario cecair/wap atau lapisan berstrata memerlukan teknik yang mampu menyelesaikan kontras dielektrik kecil. Teknologi pemancar aras GWR dan instrumen pemancar aras radar gelombang berpandu mengesan antara muka di mana kontras dielektrik wujud antara lapisan. Khususnya untuk nitrogen cecair, kontras dielektrik rendah antara cecair dan wap mengehadkan resolusi antara muka; kurangkan ini dengan ukuran pelengkap. Gabungkan radar/GWR dengan pemprofilan suhu, tekanan pembezaan atau berbilang sensor bebas untuk mengesahkan kedudukan antara muka. Contoh: gunakan prob GWR untuk mengesan antara muka minyak/LN2 sementara radar yang dipasang di atas memantau aras pukal.
Keserasian Dengan Geometri Tangki, Pemasangan Sebaris Dan Integrasi Dengan Sistem Kawalan Fasiliti
Padankan faktor bentuk sensor dengan tangki simpanan kriogenik bertebat vakum dan muncung yang tersedia. Sahkan pilihan pemasangan untuk kelengkapan sebaris atas, sisi atau pendek. Pemasangan sebaris merujuk kepada sensor padat yang sesuai dengan paip sedia ada atau bebibir kecil tanpa prob panjang; sahkan lukisan mekanikal dan diameter muncung minimum sebelum pemilihan. Pastikan antara muka elektrik dan komunikasi sepadan dengan piawaian loji untuk sistem pengisian dan pelepasan tangki berterusan. Memerlukan pendawaian yang didokumenkan, pengkondisian isyarat dan amalan pembumian yang disyorkan untuk persekitaran kriogenik. Contoh: pilih prob radar gelombang berpandu padat yang sesuai dengan muncung 1.5 inci dan membekalkan 4–20 mA/HART ke DCS pusat.
Teknologi Radar Gelombang Berpandu (GWR) — prinsip operasi dan kekuatan
Prinsip pengukuran
GWR menghantar kuasa rendah, gelombang mikro nanosaat berdenyut ke bawah prob. Apabila denyut bertemu sempadan dengan pemalar dielektrik yang berbeza, sebahagian daripada tenaga akan dipantulkan kembali. Pemancar mengukur kelewatan masa antara denyut yang dihantar dan dikembalikan untuk mengira jarak ke permukaan cecair. Dari jarak itu ia mengira aras keseluruhan atau aras antara muka. Keamatan pantulan meningkat apabila pemalar dielektrik hasil darab meningkat.
Kekuatan untuk tangki simpanan kriogenik bertebat vakum dan LN2
GWR memberikan bacaan aras langsung dengan sedikit keperluan untuk pampasan bagi perubahan ketumpatan, kekonduksian, kelikatan, pH, suhu atau tekanan. Kestabilan ini sesuai dengan larutan nitrogen cecair dalam tangki simpanan kriogenik bertebat vakum, di mana sifat bendalir dan keadaan wap sering berbeza-beza. GWR mengesan antara muka cecair-wap dan cecair-cecair secara langsung, jadi ia berfungsi untuk pengukuran aras nitrogen cecair dan pemantauan antara muka dalam sistem pengisian dan pelepasan tangki berterusan.
Panduan prob mengehadkan tenaga gelombang mikro di sepanjang prob. Pengurangan ini menjadikan pengukuran sebahagian besarnya tidak sensitif terhadap bentuk tangki, kelengkapan dalaman dan geometri tangki kecil. Pendekatan berpandukan prob tersebut mengurangkan kepekaan terhadap reka bentuk ruang dan memudahkan pemasangan dalam bekas yang ketat atau kompleks yang biasa terdapat di kilang fabrikasi wafer dan kemudahan pembuatan semikonduktor.
GWR juga berfungsi dalam keadaan proses yang mencabar. Ia mengekalkan ketepatan dalam wap, habuk, pergolakan dan buih. Ciri-ciri tersebut menjadikan GWR alat pengukuran aras dalam talian yang praktikal di mana teknik pengukuran yang tidak mengganggu diutamakan. Oleh itu, teknologi pemancar aras GWR sesuai dengan banyak aplikasi pemancar aras cecair di mana teknik visual atau apungan gagal.
Pengesahan industri
Sumber industri bebas mengiktiraf pengukuran aras berasaskan radar sebagai kukuh dalam keadaan yang sukar. Instrumen radar menawarkan ketepatan dan kebolehpercayaan pengukuran yang menjadikannya alternatif yang berdaya maju kepada banyak sensor intrusif dalam aplikasi proses dan penyimpanan.
Relevan dengan automasi proses dan operasi loji
GWR disepadukan dengan sistem pengisian dan pelepasan tangki berterusan sebagai alat pengukuran aras dalam talian. Ia menyokong pengukuran aras nitrogen cecair dalam gelung proses tanpa penentukuran semula yang kerap untuk perubahan ketumpatan atau suhu. Ini mengurangkan penyelenggaraan sambil mengekalkan kawalan aras yang tepat untuk operasi sensitif di loji fabrikasi wafer dan kemudahan semikonduktor lain.
Mengapa memilih pemancar aras sebaris GWR untuk nitrogen cecair dalam loji fabrikasi wafer
Teknologi pemancar aras radar gelombang berpandu (GWR) mengekalkan ketepatan yang stabil dalam keadaan kriogenik. Kontras dielektrik yang kuat antara nitrogen cecair dan wap menghasilkan pantulan radar yang jelas. Pengukuran berasaskan prob kekal boleh diulang walaupun suhu rendah dan pembolehubah proses yang berubah-ubah.
Prob GWR kekurangan bahagian yang bergerak. Ketiadaan mekanisme mekanikal mengurangkan frekuensi penentukuran semula dan mengurangkan risiko penjanaan zarah. Ini mengurangkan risiko pencemaran di kemudahan pembuatan semikonduktor di mana tuntutan ketulenan adalah ketat.
Pilihan pemasangan prob atas ke bawah atau sebaris meminimumkan penembusan proses dan potensi kebocoran. Prob yang dipasang pada bebibir atas ke bawah menggunakan penembusan berkadar tekanan tunggal pada bumbung vesel. Prob sebaris dimuatkan ke dalam port proses kecil atau bahagian gelendong, membolehkan penyingkiran mudah tanpa pengubahsuaian vesel yang besar. Contoh: memasang pemancar aras radar gelombang berpandu pada tangki simpanan kriogenik bertebat vakum melalui tangki 1.5
Pemancar Aras Sebaris Radar Gelombang Berpandu Lonnmeter
Keupayaan Pengukuran dan Kebolehpercayaan Untuk Cecair Kriogenik
Pemancar aras radar gelombang berpandu lonnmeter menggunakan denyut gelombang mikro berpandu probe untuk menjejaki permukaan cecair dengan kebolehulangan sub-milimeter. Reka bentuk probe dan pemprosesan gema mengendalikan pemalar dielektrik rendah dan selimut wap yang biasa terdapat dalam larutan nitrogen cecair. Dalam loji fabrikasi wafer dan kemudahan pembuatan semikonduktor, ini menghasilkan bacaan yang konsisten dalam tangki simpanan kriogenik bertebat vakum dan sistem pengisian dan penyahcasan tangki berterusan.
Diperakui keselamatan untuk aplikasi tahap SIL2 sambil mengelakkan penembusan tambahan
Pemancar ini diperakui keselamatannya untuk SIL2, membolehkan penggunaan dalam gelung instrumen keselamatan tanpa menambah peranti keselamatan aras yang berasingan. Reka bentuk penembusan satu taliannya mengekalkan integriti sampul tangki, mengurangkan laluan kebocoran dalam tangki simpanan kriogenik bertebat vakum. Ini mengurangkan risiko untuk proses kritikal dalam kemudahan pembuatan semikonduktor di mana penyelenggaraan vakum dan penebat adalah penting.
Pemancar berbilang pembolehubah mengurangkan kiraan instrumen dan penembusan proses
Radar gelombang berpandu berbilang pembolehubah Lonnmeter menyediakan pembolehubah aras dan pembolehubah proses tambahan daripada satu peranti. Menggabungkan aras, petunjuk antara muka/ketumpatan dan diagnostik terbitan suhu atau ketumpatan menghapuskan instrumen berasingan. Penembusan yang lebih sedikit meningkatkan integriti vakum, mengurangkan buruh pemasangan dan jumlah kos pemilikan yang lebih rendah untuk aplikasi pemancar aras cecair.
Diagnostik terbina dalam, penyelenggaraan ramalan dan penyelesaian masalah mudah
Diagnostik terbina dalam memantau kualiti isyarat, keadaan prob dan kestabilan gema dalam masa nyata. Amaran ramalan menandakan prestasi yang merosot sebelum kegagalan, mengurangkan masa henti yang tidak dirancang dan min masa untuk pembaikan. Juruteknik boleh menggunakan jejak gema yang disimpan untuk menyelesaikan masalah anomali dalam sistem pengisian dan pelepasan tangki berterusan tanpa pemeriksaan invasif.
Direka untuk tangki kecil dan geometri kompleks; berfungsi dalam wap, pergolakan dan buih
Probe berpandu dan pemprosesan isyarat canggih sesuai untuk kapal jarak dekat dan terkurung. Pemancar ini mengesan paras dalam tangki kecil, leher sempit dan geometri tidak sekata yang terdapat dalam kapal bekalan alat kluster LN2 dengan andal. Ia juga mengasingkan gema cecair sebenar daripada wap, pergolakan dan buih, menjadikannya praktikal untuk pengukuran paras nitrogen cecair dalam susun atur loji yang mencabar.
Denyutan gelombang mikro berkuasa rendah meminimumkan pemindahan haba dan gangguan dalam media kriogenik
Denyut gelombang mikro bertenaga rendah mengurangkan pemanasan setempat dan mengehadkan pendidihan apabila mengukur cecair kriogenik. Ini meminimumkan gangguan kepada nitrogen cecair dan mengekalkan kestabilan terma dalam tangki simpanan kriogenik bertebat vakum. Pendekatan ini memelihara inventori kriogenik dan menyokong operasi yang stabil dalam kemudahan pembuatan semikonduktor sensitif.
Contoh yang dibenamkan di atas: dalam kilang fabrikasi wafer, satu unit radar gelombang berpandu Lonnmeter boleh menggantikan sensor aras dan prob ketumpatan dalam dewar LN2 kecil, mengekalkan satu penembusan dalam dinding tangki dan menyediakan penggera ramalan yang menghalang gangguan pengeluaran. Dalam sistem pengisian dan pelepasan tangki berterusan, peranti yang sama mengekalkan kawalan aras yang tepat melalui selimut wap dan busa sekejap-sekejap tanpa menambah beban haba pada kriogen.
Amalan terbaik pemasangan dan penyepaduan untuk tangki simpanan kriogenik bertebat vakum
Strategi pemasangan: kuar sebaris vs. atas ke bawah
Pemasangan atas ke bawah meminimumkan penembusan melalui jaket vakum dan mengurangkan laluan kebocoran. Ia meletakkan sensor di garis tengah tangki dan mengurangkan pendedahan kepada jet masuk. Gunakan atas ke bawah apabila geometri tangki dan akses perkhidmatan membenarkan.
Probe sebaris (sisi) membolehkan akses yang lebih mudah untuk penyelenggaraan dan boleh diletakkan berhampiran paip proses untuk kawalan bersepadu. Pemasangan sebaris meningkatkan bilangan penembusan dan memerlukan pengedap dan penjajaran yang teliti untuk mengekalkan integriti vakum. Pilih pemasangan sebaris apabila kebolehgunaan atau penyepaduan dengan talian pengisian dan pelepasan berterusan adalah penting.
Seimbangkan keputusan berdasarkan faktor-faktor ini: bilangan kebocoran vakum, kemudahan penyelenggaraan, kelengkapan tangki dalaman dan bagaimana lokasi pengukuran mempengaruhi kestabilan bacaan di bawah keadaan aliran yang terdapat di kilang fabrikasi wafer dan kemudahan pembuatan semikonduktor.
Pertimbangan pengedap dan bebibir untuk mengekalkan integriti vakum
Setiap penembusan mesti dinilai vakum dan dikurangkan tekanan untuk suhu kriogenik. Lebih suka pengedap bebibir logam-ke-logam atau sistem gasket berkemampuan kriogenik yang direka bentuk untuk kitaran haba berulang. Elakkan pengedap polimer melainkan dinilai secara eksplisit untuk -196 °C.
Gunakan suapan kimpalan jika boleh untuk pemasangan kekal. Jika sensor boleh tanggal diperlukan, pasangkan bebibir berbilang port berkadar vakum atau pemasangan belos dengan port pam keluar vakum khusus. Sediakan port ujian vakum bersebelahan dengan bebibir sensor untuk mengesahkan integriti jaket selepas pemasangan.
Reka bentuk bebibir dan pengedap untuk menampung pengecutan haba. Sertakan elemen fleksibel atau sarung gelongsor untuk mengelakkan tekanan pada titik penembusan semasa penyejukan. Pastikan perkakasan pengapit bebibir boleh diakses tanpa memecahkan jaket vakum jika praktikal.
Panjang prob dan pemilihan bahan untuk keserasian kriogenik
Pilih bahan yang mengekalkan kemuluran dan menahan kerapuhan pada suhu nitrogen cecair. Keluli tahan karat yang serasi dengan kriogenik (contohnya, metalurgi kelas 316L) adalah standard untuk prob. Pertimbangkan aloi pengembangan haba rendah untuk prob yang sangat panjang untuk mengurangkan gerakan relatif antara prob dan tangki.
Panjang prob hendaklah sampai ke dalam bekas dalam di bawah paras cecair maksimum yang dijangkakan dan di atas zon sedimen bawah. Elakkan prob yang menyentuh dasar tangki atau sekat dalaman. Untuk tangki bertebat vakum yang tinggi, berikan elaun pengecutan haba beberapa milimeter setiap meter panjang prob.
Untuk pemasangan pemancar aras radar gelombang berpandu, gunakan prob rod tegar atau prob sepaksi yang dinilai untuk perkhidmatan kriogenik. Prob jenis kabel mungkin mengumpul kondensat atau ais dan kurang digemari dalam tangki dengan pendidihan atau percikan air yang banyak. Nyatakan kemasan permukaan dan kualiti kimpalan untuk mengelakkan tapak nukleasi bagi pembentukan ais.
Contoh: bekas dalam 3.5 m mungkin memerlukan prob 3.55–3.60 m untuk mengambil kira pengecutan dan ketebalan bebibir pelekap. Sahkan dimensi akhir pada suhu operasi yang dijangkakan.
Integrasi dengan keadaan pengisian dan pelepasan berterusan
Letakkan sensor aras jauh daripada jet masuk dan keluar untuk mengelakkan bacaan palsu daripada pergolakan. Sebagai peraturan praktikal, letakkan prob sekurang-kurangnya satu diameter tangki daripada port masuk atau keluar utama, atau di belakang sesekat dalaman. Jika kekangan ruang menghalangnya, gunakan berbilang sensor atau gunakan pemprosesan isyarat untuk menolak gema sementara.
Elakkan memasang prob terus dalam aliran isian. Dalam sistem pengisian dan penyahcasan berterusan, lapisan stratifikasi dan haba mungkin terbentuk; letakkan sensor di tempat ia mengambil sampel cecair pukal yang bercampur dengan baik, biasanya berhampiran garis tengah bekas atau di dalam telaga penyaring yang direkayasa. Telaga penyaring atau tiub tengah boleh mengasingkan sensor daripada aliran dan meningkatkan ketepatan semasa pemindahan pantas.
Bagi loji fabrikasi wafer yang mana penghantaran nitrogen cecair berterusan berlaku semasa pembersihan alat, tetapkan lokasi pengukuran dan penapis untuk mengabaikan lonjakan jangka pendek. Gunakan logik purata, pelicinan tetingkap bergerak atau penjejakan gema dalam output pemancar untuk menyekat penggera palsu daripada slug ringkas.
Pendawaian, pembumian dan amalan EMC untuk prestasi radar yang andal
Halakan kabel isyarat melalui suapan berkadar vakum dengan pelepasan terikan dan entri peralihan terma. Gunakan kabel berpelindung, pasangan berpintal atau sepaksi seperti yang diperlukan oleh teknologi radar yang dipilih. Pastikan kabel berjalan pendek dan elakkan daripada diikat dengan kabel kuasa.
Tetapkan rujukan pembumian titik tunggal untuk perumah sensor dan elektronik instrumen bagi mengelakkan gelung pembumian. Ikat perisai ke bumi pada satu hujung sahaja melainkan panduan pengilang menetapkan sebaliknya. Pasang perlindungan lonjakan dan penekan sementara pada kabel panjang yang merentasi kawasan halaman atau utiliti.
Minimumkan gangguan elektromagnet dengan memisahkan kabel sensor daripada pemacu frekuensi boleh ubah, pengumpan motor dan kerja bas voltan tinggi. Gunakan teras dan saluran ferit jika perlu. Untuk pemasangan pemancar aras radar gelombang berpandu, kekalkan kesinambungan impedans ciri pada antara muka suapan dan penyambung untuk memelihara integriti isyarat.
Pelan tindakan pelaksanaan (pendekatan berfasa yang disyorkan)
Fasa penilaian: tinjauan tangki, keadaan proses dan keperluan sistem kawalan
Mulakan dengan tinjauan tangki fizikal. Rekodkan geometri tangki, lokasi muncung, jarak penebat dan port instrumen yang tersedia. Catatkan akses ruang vakum dan sebarang jambatan terma yang mempengaruhi penempatan sensor.
Keadaan proses penangkapan termasuk tekanan operasi normal dan puncak, suhu ruang wap, kadar pengisian dan jangkaan lonjakan atau lonjakan semasa sistem pengisian dan pelepasan tangki berterusan. Dokumentasikan corak kitaran yang digunakan dalam loji fabrikasi wafer dan kemudahan pembuatan semikonduktor.
Tentukan keperluan sistem kawalan lebih awal. Tentukan jenis isyarat (4 20 mA, HART, Modbus), penggera diskret dan kadar kemas kini yang dijangkakan untuk alat pengukuran tahap dalam talian. Kenal pasti jalur ketepatan yang diperlukan dan tahap integriti keselamatan.
Hasil daripada penilaian hendaklah merangkumi helaian skop, lukisan pemasangan, senarai teknik pengukuran tidak mengganggu pilihan dan matriks I/O untuk sistem kawalan.
Pemasangan perintis: pengesahan tangki tunggal dan ujian integrasi di bawah keadaan pengisian/pelepasan berterusan
Pandu pada satu tangki simpanan kriogenik bertebat vakum yang mewakili. Pasang pemancar aras yang dipilih dan jalankan kitaran operasi penuh. Sahkan paras cecair yang diukur dalam tangki semasa sistem pengisian dan penyahcasan tangki berterusan, termasuk pengisian pantas dan titisan perlahan.
Gunakan alat pandu untuk membandingkan teknologi pemancar aras radar, prestasi pemancar aras radar gelombang berpandu dan pemancar aras lanjutan lain dalam persekitaran tangki yang sama apabila boleh. Rekodkan masa tindak balas, kestabilan dan kerentanan terhadap wap, buih atau pemeluwapan. Untuk radar gelombang berpandu, sahkan bahan prob bertolak ansur dengan pengecutan kriogenik dan pengedap suapan melaluinya dengan andal.
Lakukan ujian integrasi dengan PLC atau DCS. Sahkan ambang penggera, saling kunci, tag sejarawan dan diagnostik jarak jauh. Jalankan sekurang-kurangnya dua minggu kitaran tugas campuran untuk menangkap kes pinggir. Kumpul ketepatan garis dasar, hanyutan dan peristiwa penyelenggaraan.
Contoh: dalam kemudahan pembuatan semikonduktor, jalankan percubaan melalui kitaran suapan fabrikasi 24 jam biasa. Log output pemancar aras terhadap isipadu isian yang diketahui dan pemeriksaan tolok sekunder. Jejaki ralat semasa lambakan aliran tinggi.
Pelancaran: penggunaan penuh merentasi rangkaian storan kriogenik dengan konfigurasi dan diagnostik piawai
Piawaikan konfigurasi peranti yang dipilih selepas pengesahan juruterbang. Kunci panjang prob, bebibir pemasangan, entri kabel dan tetapan pemancar. Cipta pakej penggunaan dengan tetapan model, siri dan penentukuran untuk setiap saiz tangki.
Gunakan diagnostik dan logik penggera yang konsisten merentasi semua tangki. Pastikan setiap alat pengukuran tahap dalam talian mendedahkan profil gema, bendera ujian kendiri dan status kesihatan kepada sistem kawalan. Diagnostik piawai mempercepatkan penyelesaian masalah merentasi berbilang tangki simpanan kriogenik bertebat vakum.
Rancang pelancaran secara berperingkat untuk meminimumkan gangguan proses. Jadualkan pemasangan semasa tempoh penyelenggaraan yang dirancang. Sertakan alat ganti, pelantar penentukuran dan perkakasan berkadar kriogenik. Kemas kini peta rangkaian dan dokumentasi I/O untuk setiap sensor yang digunakan.
Contoh irama pelancaran: lengkapkan tangki proses kritikal dahulu, kemudian tangki simpanan sekunder. Sahkan setiap gelombang dengan pemeriksaan fungsi pasca pemasangan selama dua hari di bawah corak pengisian/pelepasan biasa.
Serah terima dan latihan: latihan pengendali dan penyelenggaraan dengan SOP yang jelas untuk pemantauan dan penyelesaian masalah
Berikan latihan pengendali berstruktur yang berkaitan dengan SOP. Liputi pemeriksaan harian untuk pengukuran tahap nitrogen cecair, tindak balas penggera dan tafsiran gema asas. Latih pengendali untuk mengenali mod kegagalan biasa seperti kehilangan gema, bacaan yang tidak stabil semasa slosh dan kerosakan pendawaian.
Menyediakan latihan penyelenggaraan yang tertumpu pada keselamatan kriogenik, pemeriksaan prob, prosedur penentukuran dan langkah penggantian. Sertakan latihan amali untuk menanggalkan dan memasang semula prob atau pengapit sensor yang tidak mengganggu sambil mengekalkan integriti vakum.
Bekalkan dokumen SOP yang jelas. SOP hendaklah menyenaraikan prosedur langkah demi langkah untuk: mengesahkan ketepatan pemancar aras, melaksanakan penentukuran medan, mengasingkan dan menggantikan pemancar dan meningkatkan kerosakan berterusan. Sertakan contoh aliran penyelesaian masalah: mulakan dengan kuasa dan isyarat, kemudian kualiti gema, kemudian pemeriksaan mekanikal.
Kekalkan log latihan dan pengesahan kecekapan. Jadualkan sesi ulangkaji berkala yang selaras dengan selang penentukuran.
Minta sebut harga / Seruan bertindak
Minta sebut harga untuk pemancar aras sebaris Radar Gelombang Berpandu Lonnmeter apabila anda memerlukan pengukuran aras nitrogen cecair yang tepat di loji fabrikasi wafer atau tangki simpanan kriogenik bertebat vakum. Nyatakan bahawa aplikasi tersebut melibatkan sistem pengisian dan pelepasan tangki berterusan supaya cadangan tersebut sepadan dengan kitaran operasi sebenar.
Semasa menyediakan permintaan sebut harga, sertakan butiran proses dan mekanikal yang penting. Sediakan:
jenis dan isipadu tangki (contoh: tangki simpanan kriogenik bertebat vakum, 5,000 L), media (nitrogen cecair), dan suhu dan tekanan operasi;
kadar pengisian dan pelepasan berterusan, kitaran tugas biasa dan keadaan lonjakan atau kelonggaran yang dijangkakan;
lokasi pemasangan, port yang tersedia dan geometri ruang kepala;
julat pengukuran yang diperlukan, ketepatan dan kebolehulangan yang diingini, dan ambang penggera/titik set;
pilihan keserasian bahan dan sebarang kekangan bilik bersih atau pencemaran untuk loji fabrikasi wafer;
pengelasan kawasan berbahaya dan sebarang sekatan pemasangan.
Untuk meminta sebut harga atau mengatur percubaan, kumpulkan item yang disenaraikan di atas dan serahkannya melalui saluran perolehan atau hubungan kejuruteraan kemudahan anda. Data aplikasi yang jelas mempercepatkan pensaizan dan memastikan cadangan pemancar aras radar gelombang berpandu sepadan dengan aplikasi pemancar aras cecair dalam loji fabrikasi wafer dan sistem storan kriogenik.
Soalan Lazim
Apakah cara terbaik untuk mengukur tahap nitrogen cecair dalam tangki di kilang fabrikasi wafer?
Pemancar aras sebaris radar gelombang berpandu (GWR) memberikan pengukuran berterusan, tepat dan bukan mekanikal untuk LN2 kriogenik dalam loji fabrikasi wafer. Ia menggunakan denyutan gelombang mikro berpandu prob yang teguh terhadap wap, pergolakan dan geometri tangki kecil. Untuk tangki simpanan kriogenik bertebat vakum, pasang pemancar dengan penembusan minimum dan tertutup rapat untuk mengekalkan integriti vakum.
Bolehkah pemancar aras radar gelombang berpandu berfungsi semasa keadaan pengisian dan penyahcasan berterusan?
Ya. GWR direka bentuk untuk pengukuran dalam talian berterusan dan mengekalkan bacaan aras yang boleh dipercayai semasa operasi dinamik. Penempatan prob yang betul, penalaan tetapan kosong dan zon mati instrumen, dan pengesahan gema mencegah gema palsu yang disebabkan oleh aliran. Contoh: tala pemancar selepas pentauliahan semasa mengisi pada kadar aliran maksimum loji untuk mengesahkan gema yang stabil.
Bagaimanakah pemancar aras GWR dibandingkan dengan sensor bukan sentuh untuk nitrogen cecair?
GWR menghantar denyutan gelombang mikro di sepanjang prob, menghasilkan gema yang kuat dan konsisten dalam keadaan wap dan bergelora. Radar tanpa sentuhan boleh berfungsi tetapi mungkin bergelut dalam tangki yang sempit atau di mana struktur dalaman memantulkan isyarat. Dalam tangki dengan halangan dalaman atau geometri yang sempit, GWR biasanya menghasilkan pulangan gema yang lebih baik dan bacaan yang lebih stabil untuk LN2.
Adakah pemancar radar gelombang berpandu akan menjejaskan integriti vakum dalam tangki kriogenik bertebat vakum?
Apabila dipasang sebagai pemancar sebaris dengan penembusan yang diminimumkan dan pengedap yang betul, GWR mengurangkan jumlah kiraan penembusan berbanding dengan berbilang sensor diskret. Penembusan yang lebih sedikit mengurangkan laluan kebocoran dan membantu memelihara vakum. Gunakan bebibir yang dikimpal atau kelengkapan vakum berintegriti tinggi dan pengedap kriogenik yang berkelayakan untuk mengelakkan penguraian vakum tangki.
Adakah pemancar radar gelombang berpandu memerlukan penentukuran semula atau penyelenggaraan yang kerap dalam perkhidmatan kriogenik?
Tidak. Unit GWR tidak mempunyai bahagian yang bergerak dan biasanya memerlukan penentukuran semula yang minimum. Diagnostik terbina dalam dan pemantauan gema membolehkan pemeriksaan berasaskan keadaan. Lakukan pengesahan spektrum gema berkala dan pemeriksaan visual kedap dan keadaan prob semasa penutupan berjadual.
Adakah pemancar aras radar selamat digunakan dalam persekitaran semikonduktor sensitif?
Ya. Pemancar aras radar beroperasi pada kuasa gelombang mikro yang rendah dan tidak menunjukkan risiko zarahan. Penembusan minimum dan pengesanan tidak mengganggu membantu mengekalkan ruang yang dikawal pencemaran. Nyatakan bahan yang bersih, prob yang boleh dibersihkan dan perlindungan kemasukan yang sesuai semasa memasang berhampiran kawasan proses yang bersih.
Bagaimanakah saya boleh memilih antara pemancar aras GWR dan jenis pemancar aras cecair lain untuk LN2?
Gunakan senarai semak pemilihan yang mengutamakan keserasian kriogenik, output dalam talian berterusan, ketahanan terhadap wap dan pergolakan, penembusan minimum, diagnostik dan keupayaan integrasi. Bagi kebanyakan tangki kriogenik fabrik wafer, GWR memenuhi kriteria ini. Pertimbangkan geometri tangki, halangan dalaman dan sama ada pengukuran berbilang pembolehubah diperlukan.
Di manakah saya boleh mendapatkan bantuan untuk mengintegrasikan pemancar aras radar gelombang berpandu ke dalam sistem kawalan loji saya?
Hubungi kumpulan kejuruteraan aplikasi pembekal pemancar untuk sokongan integrasi, panduan konfigurasi dan senarai semak pentauliahan. Mereka boleh membantu dengan pengesahan gema, pembumian dan pemetaan DCS/PLC. Untuk meter ketumpatan atau kelikatan sebaris yang digunakan bersama pengukuran aras, hubungi Lonnmeter untuk butiran produk dan sokongan aplikasi khusus untuk meter sebaris.
Apakah diagnostik penyelenggaraan utama yang perlu dipantau pada meter aras nitrogen cecair?
Pantau kekuatan gema dan profil gema untuk pulangan yang stabil dan boleh diulang. Jejaki nisbah isyarat-ke-hingar (SNR), penunjuk integriti atau kesinambungan prob dan sebarang kod kerosakan atau amaran pemancar. Gunakan trend diagnostik ini untuk menjadualkan pemeriksaan sebelum kegagalan berlaku.
Bagaimanakah pengurangan kiraan instrumen dengan pemancar berbilang pembolehubah mempengaruhi kos keseluruhan?
GWR berbilang pembolehubah boleh mengukur pembolehubah aras dan antara muka secara serentak, menghapuskan pemancar berasingan. Ini mengurangkan bahan pemasangan, penembusan, pendawaian dan penyelenggaraan jangka panjang. Kiraan instrumen yang lebih rendah juga mengurangkan penembusan vakum dan risiko kebocoran, yang penting dalam tangki simpanan kriogenik bertebat vakum. Hasil bersihnya ialah jumlah kos pemilikan yang lebih rendah berbanding pelbagai instrumen fungsi tunggal.
Masa siaran: 30 Dis-2025
