Chemical Mechanical Polishing

Химийн-механик өнгөлгөө (ХМӨ) нь ихэвчлэн химийн урвалаар гөлгөр гадаргуу үүсгэхэд оролцдог бөгөөд ялангуяа хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт үр дүнтэй байдаг.Лоннметр, шугаман концентрацийн хэмжилтийн чиглэлээр 20 гаруй жилийн туршлагатай, итгэмжлэгдсэн шинийг санаачлагч бөгөөд хамгийн сүүлийн үеийн технологийг санал болгодогцөмийн бус нягтралын хэмжүүрболон зуурамтгай чанарын мэдрэгчүүд нь лагийг удирдахтай холбоотой бэрхшээлүүдийг шийдвэрлэхэд чиглэгддэг.

Зуурмагийн чанар болон Лоннметрийн мэргэжлийн ур чадварын ач холбогдол

Химийн механик өнгөлгөөний зутан нь CMP процессын гол тулгуур бөгөөд гадаргуугийн жигд байдал, чанарыг тодорхойлдог. Зутангийн нягтрал эсвэл зуурамтгай чанар нь бичил зураас, жигд бус материалын зайлуулалт, эсвэл дэвсгэр бөглөрөх зэрэг согог үүсгэж, вафлийн чанарыг бууруулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг нэмэгдүүлдэг. Аж үйлдвэрийн хэмжилтийн шийдлүүдийн дэлхийн тэргүүлэгч Lonnmeter нь зутангийн оновчтой гүйцэтгэлийг хангахын тулд шугаман зутангийн хэмжилт хийх чиглэлээр мэргэшсэн. Найдвартай, өндөр нарийвчлалтай мэдрэгч нийлүүлдэг батлагдсан туршлагатай Lonnmeter нь үйл явцын хяналт, үр ашгийг сайжруулахын тулд тэргүүлэгч хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчидтэй хамтран ажилладаг. Тэдний цөмийн бус зутангийн нягтрал хэмжигч болон зуурамтгай чанарын мэдрэгч нь бодит цагийн өгөгдлийг өгдөг бөгөөд зутангийн тогтвортой байдлыг хадгалах, орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангахын тулд нарийн тохируулга хийх боломжийг олгодог.

Шугаман концентрацийн хэмжилтийн чиглэлээр хорин гаруй жилийн туршлагатай, шилдэг хагас дамжуулагч компаниудын итгэлийг хүлээсэн. Lonnmeter-ийн мэдрэгчүүд нь үйл ажиллагааны зардлыг бууруулж, жигд интеграцчилал, засвар үйлчилгээ хийхгүйгээр бүтээгдсэн. Тодорхой процессын хэрэгцээг хангахын тулд тохируулсан шийдлүүд нь өндөр вафлийн гарц, нийцлийг баталгаажуулдаг.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд химийн механик өнгөлгөөний үүрэг

Химийн механик өнгөлгөө (ХМӨ) буюу химийн-механик хавтгайжуулалт нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тулгын чулуу бөгөөд дэвшилтэт чип үйлдвэрлэхэд зориулж хавтгай, согоггүй гадаргууг бий болгох боломжийг олгодог. Химийн сийлбэрийг механик үрэлттэй хослуулснаар ХМӨ процесс нь 10 нм-ээс доош зангилаануудад олон давхаргат интеграл хэлхээнд шаардлагатай нарийвчлалыг хангадаг. Ус, химийн урвалж, зүлгүүрийн хэсгүүдээс бүрдсэн химийн механик өнгөлгөөний зутан нь өнгөлгөөний дэвсгэр болон вафлитай харилцан үйлчилж материалыг жигд арилгадаг. Хагас дамжуулагчийн загвар хөгжихийн хэрээр ХМӨ процесс нь улам бүр нарийн төвөгтэй болж, согогоос урьдчилан сэргийлэх, Хагас дамжуулагч цутгамал болон материалын нийлүүлэгчдийн шаарддаг гөлгөр, өнгөлсөн вафлид хүрэхийн тулд зутангийн шинж чанарыг хатуу хянах шаардлагатай болдог.

Энэ процесс нь хамгийн бага согогтой 5нм ба 3нм чипс үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд энэ нь дараагийн давхаргыг нарийвчлалтай наалдуулах тэгш гадаргууг баталгаажуулдаг. Зуурмагийн бага зэргийн жигд бус байдал ч гэсэн дахин боловсруулалт хийхэд өртөг өндөртэй эсвэл ургацын алдагдалд хүргэж болзошгүй.

Сларригийн шинж чанарыг хянахтай холбоотой бэрхшээлүүд

Химийн механик өнгөлгөөний процесст зуурмагийн нягтрал болон зуурамтгай чанарыг тогтвортой байлгах нь олон бэрхшээлтэй байдаг. Зуурмагийн шинж чанар нь тээвэрлэлт, ус эсвэл устөрөгчийн хэт исэлээр шингэлэх, хангалтгүй холих, эсвэл химийн задрал зэрэг хүчин зүйлээс шалтгаалан харилцан адилгүй байж болно. Жишээлбэл, зуурмагийн уутанд бөөмс тунах нь ёроолд өндөр нягтрал үүсгэж, жигд бус өнгөлгөө хийхэд хүргэдэг. рН, исэлдэлт-буурах потенциал (ORP), эсвэл дамжуулах чадвар зэрэг уламжлалт хяналтын аргууд нь зуурмагийн найрлага дахь нарийн өөрчлөлтийг илрүүлж чаддаггүй тул ихэвчлэн хангалтгүй байдаг. Эдгээр хязгаарлалтууд нь согог, зайлуулах хурд буурах, хэрэглээний зардлыг нэмэгдүүлэхэд хүргэж, хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид болон CMP үйлчилгээ үзүүлэгчдэд ихээхэн эрсдэл учруулдаг. Ашиглалт болон хуваарилалтын явцад найрлагын өөрчлөлт нь гүйцэтгэлд нөлөөлдөг. 10 нм-ээс доош зангилаа нь зуурмагийн цэвэршилт болон хольцын нарийвчлалыг илүү хатуу хянах шаардлагатай. рН болон ORP нь хамгийн бага хэлбэлзэлтэй байдаг бол дамжуулах чанар нь зуурмагийн хөгшрөлтөөс хамааран өөрчлөгддөг. Салбарын судалгаагаар зуурмагийн шинж чанар нь тогтворгүй байх нь согогийн түвшинг 20% хүртэл нэмэгдүүлдэг.

Бодит цагийн хяналтад зориулсан Лоннметрийн шугаман мэдрэгчүүд

Лоннметр нь дэвшилтэт цөмийн бус зутан нягтрал хэмжигчээрээ эдгээр бэрхшээлийг шийдвэрлэдэг.зуурамтгай чанар мэдрэгч, зуурамтгай чанарыг шугаман хэмжих зориулалттай зуурамтгай чанар хэмжигч болон зуурамтгай чанарыг нэгэн зэрэг хянах хэт авианы нягтрал хэмжигчийг багтаасан болно. Эдгээр мэдрэгчүүд нь салбарын стандарт холболттой CMP процесст жигд нэгтгэх зориулалттай. Lonnmeter-ийн шийдлүүд нь бат бөх хийцтэй тул урт хугацааны найдвартай байдал, бага засвар үйлчилгээ шаарддаг. Бодит цагийн өгөгдөл нь операторуудад зуурамтгай хольцыг нарийн тохируулах, согог үүсэхээс урьдчилан сэргийлэх, өнгөлгөөний гүйцэтгэлийг оновчтой болгох боломжийг олгодог бөгөөд эдгээр хэрэгслийг Шинжилгээ, Туршилтын Тоног Төхөөрөмж Нийлүүлэгчид болон CMP Хэрэглээний Материал Нийлүүлэгчдэд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.

CMP-ийн оновчлолд тасралтгүй хяналт тавихын ашиг тус

Lonnmeter-ийн шугаман мэдрэгчтэй тасралтгүй хяналт нь химийн механик өнгөлгөөний процессыг өөрчилж, үйл ажиллагааны боломжтой ойлголт, зардлыг ихээхэн хэмнэдэг. Бодит цагийн зуурамтгай чанарын хэмжилт болон зуурамтгай чанарын хяналт нь салбарын жишиг үзүүлэлтүүдийн дагуу зураас эсвэл хэт өнгөлөх зэрэг согогийг 20% хүртэл бууруулдаг. PLC системтэй нэгтгэх нь автомат тунг тохируулах, процессын хяналтыг идэвхжүүлж, зуурамтгай чанарын шинж чанарыг оновчтой хязгаарт байлгах боломжийг олгодог. Энэ нь хэрэглээний зардлыг 15-25% бууруулж, зогсолтын хугацааг багасгаж, вафлийн жигд байдлыг сайжруулдаг. Хагас дамжуулагч цутгамал болон CMP үйлчилгээ үзүүлэгчдийн хувьд эдгээр ашиг тус нь бүтээмжийг нэмэгдүүлэх, ашгийн хэмжээг нэмэгдүүлэх, ISO 6976 зэрэг стандартыг дагаж мөрдөхөд хүргэдэг.

CMP-д зутангийн хяналт шинжилгээний талаарх түгээмэл асуултууд

CMP-ийн хувьд зутангийн нягтралыг хэмжих нь яагаад чухал вэ?

Зуурмагийн нягтралыг хэмжих нь бөөмсийн жигд тархалт болон хольцын тогтвортой байдлыг хангаж, химийн механик өнгөлгөөний процесст согог үүсэхээс сэргийлж, арилгах хурдыг оновчтой болгодог. Энэ нь өндөр чанартай вафли үйлдвэрлэх, салбарын стандартыг дагаж мөрдөхийг дэмждэг.

Зуурамтгай чанарын хяналт нь CMP-ийн үр ашгийг хэрхэн нэмэгдүүлдэг вэ?

Зуурамтгай чанарын хяналт нь зутангийн урсгалыг тогтвортой байлгаж, дэвсгэр бөглөрөх эсвэл жигд бус өнгөлөх зэрэг асуудлаас урьдчилан сэргийлдэг. Lonnmeter-ийн шугаман мэдрэгч нь CMP процессыг оновчтой болгож, вафлийн гарцыг сайжруулахын тулд бодит цагийн өгөгдлийг өгдөг.

Лоннметрийн цөмийн бус зутан нягтрал хэмжигчийг юугаараа өвөрмөц болгодог вэ?

Лоннметрийн цөмийн бус зутан нягтралын хэмжигч нь нягтрал болон зуурамтгай чанарын хэмжилтийг өндөр нарийвчлалтай, засвар үйлчилгээ шаарддаггүй нэгэн зэрэг санал болгодог. Тэдний бат бөх загвар нь CMP-ийн хүнд нөхцөлд найдвартай байдлыг баталгаажуулдаг.

Бодит цагийн зутангийн нягтралын хэмжилт болон зуурамтгай чанарын хяналт нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд химийн механик өнгөлгөөний процессыг оновчтой болгоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Lonnmeter-ийн цөмийн бус зутангийн нягтралын хэмжигч болон зуурамтгай чанарын мэдрэгч нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид, CMP хэрэглээний материалын нийлүүлэгчид болон хагас дамжуулагч цутгах үйлдвэрүүдэд зутангийн менежментийн бэрхшээлийг даван туулах, согогийг бууруулах, зардлыг бууруулах хэрэгслүүдийг олгодог. Нарийвчлалтай, бодит цагийн өгөгдлийг хүргэх замаар эдгээр шийдлүүд нь үйл явцын үр ашгийг дээшлүүлж, нийцлийг хангаж, өрсөлдөөнт CMP зах зээл дээр ашигт ажиллагааг нэмэгдүүлдэг. Зочилно уу.Лоннметерийн вэбсайтэсвэл Лоннметер таны химийн механик өнгөлгөөний үйл ажиллагааг хэрхэн өөрчилж болохыг мэдэхийн тулд өнөөдөр тэдний багтай холбогдоно уу.

Одоо арга хэмжээ ав

Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 7-р сарын 22