സിലിക്കൺ വേഫർ ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗിൽ ഫ്ലോ അളക്കൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതാണ്, കാരണം ഇത് വയർ-വേഫർ ഇന്റർഫേസിലേക്ക് കട്ടിംഗ് ദ്രാവകങ്ങളുടെ കൃത്യമായ വിതരണം ഉറപ്പാക്കുന്നു - ഒപ്റ്റിമൽ കൂളിംഗ്, ലൂബ്രിക്കേഷൻ, അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യൽ എന്നിവ നിലനിർത്തുന്നതിന് ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.Rഇ-ടൈം ഫ്ലോ ഡാറ്റ അപര്യാപ്തമായതോ അമിതമായതോ ആയ ദ്രാവക വിതരണത്തെ തടയുന്നു, അല്ലാത്തപക്ഷം ഇത് അമിത ചൂടാക്കൽ, വയർ പൊട്ടൽ, ഉപരിതല വൈകല്യങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ മാലിന്യങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് കാരണമാകും. കൃത്യമായ അളവ് പ്രക്രിയയുടെ വ്യതിയാനം ലഘൂകരിക്കുന്നു, വേഫറിന്റെ പരന്നതയും ഉപരിതല സമഗ്രതയും സംരക്ഷിക്കുന്നു, വയർ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, വിഭവ കാര്യക്ഷമത ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നു.
സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗിന്റെ അവലോകനവും കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകളുടെ പങ്കും
അർദ്ധചാലക, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി മോണോക്രിസ്റ്റലിൻ, മൾട്ടിക്രിസ്റ്റലിൻ സിലിക്കൺ ഇൻഗോട്ടുകളെ വേഫറുകളാക്കി മുറിക്കുന്നതിനുള്ള പ്രധാന സാങ്കേതികതയാണ് ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ്. ഈ പ്രക്രിയയിൽ, സാധാരണയായി 40–70 μm വ്യാസമുള്ള ഒരു സ്റ്റീൽ വയർ വജ്ര അബ്രാസീവ് ഗ്രെയിനുകൾ കൊണ്ട് പൂശുന്നു. വയർ ഉയർന്ന വേഗതയിൽ നീങ്ങുന്നു, ഉൾച്ചേർത്ത വജ്രങ്ങൾ അബ്രസിഷൻ വഴി സിലിക്കണിനെ പൊടിക്കുന്നു, ഇത് ഉപരിതല വൈകല്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കുകയും വേഫർ ഏകത പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. സമീപ വർഷങ്ങളിൽ അവതരിപ്പിച്ച കുറഞ്ഞ വ്യാസമുള്ള വയറുകൾ കെർഫ് നഷ്ടം കുറയ്ക്കുന്നു, ഇത് സ്ലൈസിംഗ് പ്രവർത്തന സമയത്ത് സൂക്ഷ്മ സിലിക്കൺ കണികകളായി പാഴാകുന്ന വസ്തുക്കളെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു. വയർ വ്യാസവും വയർ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് നീണ്ടുനിൽക്കുന്ന അബ്രസീവ് ഗ്രെയിനുകളുടെ ഉയരവും അനുസരിച്ചാണ് കെർഫ് നഷ്ടം നിർണ്ണയിക്കുന്നത്.
ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ്
*
ഡയമണ്ട് വയർ സോവിംഗിൽ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകൾ നിരവധി നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഇൻഗോട്ടും വയറും തണുപ്പിക്കുക എന്നതാണ് ഇവയുടെ പ്രാഥമിക ധർമ്മം, സിലിക്കണിന് കേടുപാടുകൾ വരുത്തുന്നതോ വയറിന്റെ ആയുസ്സ് കുറയ്ക്കുന്നതോ ആയ അമിത ചൂടാക്കൽ തടയുക എന്നതാണ്. മുറിക്കുമ്പോൾ ഉണ്ടാകുന്ന നേർത്ത സിലിക്കൺ കണികകളെയും അവ കഴുകി കളയുന്നു, ഇത് വൃത്തിയുള്ള ഒരു ഇന്റർഫേസ് നിലനിർത്താനും, അവശിഷ്ടങ്ങൾ വീണ്ടും നിക്ഷേപിക്കുന്നത് തടയാനും, വേഫറിലെ ഉപരിതല മൈക്രോ-വിള്ളലുകൾ കുറയ്ക്കാനും സഹായിക്കുന്നു. മാത്രമല്ല, കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകൾ പ്രക്രിയയെ ലൂബ്രിക്കേറ്റ് ചെയ്യുന്നു, വയറും സിലിക്കണും തമ്മിലുള്ള ഘർഷണം കുറയ്ക്കുന്നു, അങ്ങനെ വയറിന്റെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും കട്ടിന്റെ ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. തണുപ്പിക്കൽ, ചിപ്പ് നീക്കംചെയ്യൽ, വയർ സംരക്ഷണം എന്നിവ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിന് സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകളുടെ ഘടനയും ഭൗതിക ഗുണങ്ങളും - വിസ്കോസിറ്റി, സാന്ദ്രത എന്നിവ - ശ്രദ്ധാപൂർവ്വം കൈകാര്യം ചെയ്യണം.
മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ലൂബ്രിക്കേഷനും കണികാ സസ്പെൻഷനുമുള്ള അഡിറ്റീവുകളുള്ള ജലത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ദ്രാവകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടെ നിരവധി വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക തരങ്ങളുണ്ട്. ഉപകരണ രൂപകൽപ്പന, വേഫർ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ, പാരിസ്ഥിതിക പരിമിതികൾ എന്നിവയെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കും തിരഞ്ഞെടുപ്പ്. കുറഞ്ഞ അവശിഷ്ട രൂപീകരണത്തോടെ തണുപ്പിക്കൽ കാര്യക്ഷമത സന്തുലിതമാക്കുന്നതിനായി രൂപപ്പെടുത്തിയ സർഫാക്റ്റന്റുകളോ ഗ്ലൈക്കോളുകളോ ഉള്ള ഡീയോണൈസ്ഡ് വെള്ളം ഉദാഹരണങ്ങളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു.
ആധുനിക വേഫർ പ്ലാന്റുകളിൽ വളരെ നേർത്ത വജ്ര വയറുകളിലേക്കുള്ള പരിണാമം ദ്രാവക വിതരണത്തിലും പ്രക്രിയ നിയന്ത്രണത്തിലും വെല്ലുവിളികൾ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. വയർ വ്യാസം 40 μm ൽ താഴെയായി ചുരുങ്ങുമ്പോൾ, വയർ പൊട്ടാനുള്ള സാധ്യത വർദ്ധിക്കുകയും പ്രക്രിയയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾക്കുള്ള സഹിഷ്ണുത മുറുകുകയും ചെയ്യുന്നു. ദ്രാവക പ്രവാഹ മീറ്ററുകൾ മുറിക്കൽ, ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഒഴുക്ക് അളക്കൽ സെൻസറുകൾ, കോറിയോളിസ് മാസ് ഫ്ലോ സെൻസറുകൾ തുടങ്ങിയ സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെ പിന്തുണയോടെ കൃത്യമായ ഒഴുക്ക് നിരക്ക് അളക്കൽ ഫലപ്രദമായ തണുപ്പിക്കൽ, അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യൽ എന്നിവ നിലനിർത്തുന്നതിന് അത്യാവശ്യമാണ്. ദ്രാവക നിരീക്ഷണ സെൻസറുകളും വ്യാവസായിക കട്ടിംഗ് ദ്രാവക പ്രവാഹ അളക്കൽ പരിഹാരങ്ങളും ഓപ്പറേറ്റർമാരെ തത്സമയം ഒഴുക്ക് നിരക്കുകൾ ട്രാക്ക് ചെയ്യാനും ക്രമീകരിക്കാനും പ്രാപ്തരാക്കുന്നു, ഒപ്റ്റിമൽ ലൂബ്രിക്കേഷനും ഉപരിതല ഗുണനിലവാരവും കൈവരിക്കുന്നു. വ്യത്യസ്ത സാന്ദ്രതയും വിസ്കോസിറ്റിയും ഉള്ള ദ്രാവകങ്ങൾ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിന്, മുറിക്കൽ വേഗതയും വയർ പിരിമുറുക്കവും വർദ്ധിക്കുമ്പോഴും സ്ഥിരമായ അവസ്ഥകൾ ഉറപ്പാക്കുന്നതിന്, കോറിയോളിസ് ഫ്ലോ മീറ്ററുകളുടെ കൃത്യത പ്രത്യേകിച്ചും നിർണായകമാണ്.
കൃത്യതയ്ക്കായുള്ള ഈ വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന ആവശ്യം, ഫ്ലോ റേറ്റ്, സാന്ദ്രത, വിസ്കോസിറ്റി തുടങ്ങിയ ഡൈനാമിക് ഫ്ലൂയിഡ് പാരാമീറ്ററുകൾ നിരീക്ഷിക്കുന്നതിലേക്ക് ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിച്ചിരിക്കുന്നു. ലോൺമീറ്ററിൽ നിന്നുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ നൂതന ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് പ്രവർത്തനങ്ങളിൽ ഗുണനിലവാര ഉറപ്പിനും പ്രക്രിയ ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത വിശ്വസനീയവും തത്സമയവുമായ അളവുകൾ നൽകുന്നു. വയർ സാങ്കേതികവിദ്യ പുരോഗമിക്കുമ്പോൾ, ശക്തമായ ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെ സംയോജനം വേഫർ ത്രൂപുട്ട് നിലനിർത്തുന്നതിനും, കെർഫ് നഷ്ടം കുറയ്ക്കുന്നതിനും, സിലിക്കൺ വേഫർ നിർമ്മാണ മേഖലയ്ക്ക് ഡൗൺസ്ട്രീം ഫിനിഷിംഗ് ആവശ്യകതകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും അവിഭാജ്യമാണ്.
പ്രിസിഷൻ ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗിലെ ഫ്ലൂയിഡ് ഡെലിവറി വെല്ലുവിളികൾ
അൾട്രാ-നേർത്ത സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ - പ്രത്യേകിച്ച് 40 µm യിൽ താഴെയുള്ളവ - ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗിൽ, സ്ലൈസിംഗ് ഇന്റർഫേസിലേക്ക് ശരിയായ അളവിൽ സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകം എത്തിക്കുന്നത് ഒരു വലിയ വെല്ലുവിളിയായി മാറുന്നു. വയർ കനം കുറയുന്നതിനനുസരിച്ച്, ദ്രാവക പ്രവാഹത്തിനുള്ള ഇടവും കുറയുന്നു. കോൺടാക്റ്റ് പോയിന്റിൽ ലൂബ്രിക്കേഷൻ, താപനില നിയന്ത്രണം, അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യൽ എന്നിവ ഉറപ്പാക്കാൻ സ്ഥിരമായ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക വിതരണം നിലനിർത്തേണ്ടത് നിർണായകമാണ്.
പൊരുത്തമില്ലാത്തതോ അപര്യാപ്തമായതോ ആയ ദ്രാവക പ്രവാഹം നേരിട്ട് വേഫർ അഡ്സോർപ്ഷനിലേക്ക് നയിക്കുന്നു, അവിടെ ലൂബ്രിക്കേഷന്റെ അഭാവത്താൽ വേഫർ ഉപകരണങ്ങളിൽ അഭികാമ്യമല്ലാത്ത രീതിയിൽ പറ്റിനിൽക്കുന്നു. ഇത് കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയെ തടസ്സപ്പെടുത്തുക മാത്രമല്ല, വേഫർ പൊട്ടാനുള്ള സാധ്യതയോ കേടുപാടുകളോ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. വജ്ര വയർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകത്തിൽ നിന്ന് വയറിനും വേഫറിനും തുടർച്ചയായ ലൂബ്രിക്കേഷനും തണുപ്പും ലഭിക്കാത്തപ്പോൾ ഉപരിതല പരുക്കൻത ഗണ്യമായി വർദ്ധിക്കുന്നു. തത്ഫലമായുണ്ടാകുന്ന കേടായ പ്രതലങ്ങളും സൂക്ഷ്മ വൈകല്യങ്ങളും വേഫറിന്റെ ഗുണനിലവാരവും വിളവും കുറയ്ക്കുന്നു, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് വ്യവസായങ്ങൾക്ക് വലിയ തടസ്സങ്ങൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നു.
മൈക്രോ-സ്കെയിൽ സോവിംഗ് വിടവിലേക്ക് ദ്രാവകം തുളച്ചുകയറുന്നതിനെ മൂന്ന് പ്രധാന ഘടകങ്ങൾ ബാധിക്കുന്നു: വയർ ജ്യാമിതി, കട്ടിംഗ് വേഗത, കാപ്പിലറി പ്രവർത്തനം. വയർ ജ്യാമിതി - പ്രത്യേകിച്ച് വയർ വ്യാസം, വജ്ര ധാന്യങ്ങളുടെ വിതരണം - സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകം എത്ര എളുപ്പത്തിൽ ഒഴുകുകയും കോൺടാക്റ്റ് സോണിലേക്ക് പറ്റിനിൽക്കുകയും ചെയ്യുന്നു എന്നതിനെ നേരിട്ട് സ്വാധീനിക്കുന്നു. 40 µm-ൽ താഴെയുള്ള വയറുകൾ ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, ചെറിയ ഉപരിതല വിസ്തീർണ്ണം ദ്രാവകത്തിന്റെ സ്വതന്ത്ര ചലനത്തെ നിയന്ത്രിക്കുന്നു. ഉയർന്ന കട്ടിംഗ് വേഗത ദ്രാവകം ഇന്റർഫേസിൽ എത്തുന്നതിനും തണുപ്പിക്കുന്നതിനുമുള്ള ലഭ്യമായ സമയം കുറയ്ക്കുന്നു, ഇത് പ്രാദേശികവൽക്കരിച്ച അമിത ചൂടാക്കലിനും മോശം ലൂബ്രിക്കേഷനും കാരണമാകുന്നു. ഇടുങ്ങിയ ഇടങ്ങളിലേക്ക് ദ്രാവകം വലിച്ചെടുക്കാനുള്ള സ്വാഭാവിക കഴിവായ കാപ്പിലറി പ്രവർത്തനം, ദ്രാവക നിലനിർത്തലിനെ ശക്തമായി നിർണ്ണയിക്കുന്നു. എന്നിരുന്നാലും, ദ്രാവക ഗതാഗതം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്ന അതേ ദ്രാവക പാലങ്ങൾക്ക് അടുത്തുള്ള വയറുകൾക്കിടയിൽ കാപ്പിലറി അഡീഷൻ അവതരിപ്പിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ഏകീകൃതമല്ലാത്ത പിരിമുറുക്കത്തിനും വേഫർ കനം വ്യതിയാനത്തിനും കാരണമാകുന്നു.
നാനോപാർട്ടിക്കിൾ-എൻഹാൻസ്ഡ് സൊല്യൂഷനുകൾ ഉൾപ്പെടെ നൂതനമായ വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക തരങ്ങളുടെ ആമുഖം അളക്കാവുന്ന മെച്ചപ്പെടുത്തലുകൾ നൽകുന്നു. ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത വിസ്കോസിറ്റിയും ഉപരിതല ഇടപെടലും കാരണം SiO₂ അല്ലെങ്കിൽ SiC നാനോപാർട്ടിക്കിളുകൾ ഉപയോഗിച്ച് രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ദ്രാവകങ്ങൾ ഇടുങ്ങിയ വിടവുകളിലേക്ക് കൂടുതൽ ഫലപ്രദമായി തുളച്ചുകയറുന്നു. ഈ ദ്രാവകങ്ങൾ ലൂബ്രിക്കേഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും താപം കൂടുതൽ കാര്യക്ഷമമായി കൊണ്ടുപോകുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് താഴ്ന്ന ഉപരിതല പരുക്കനും മെച്ചപ്പെട്ട വേഫർ പരന്നതയ്ക്കും കാരണമാകുന്നു. നാനോപാർട്ടിക്കിൾ-ലഡൻ ദ്രാവകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നത് സ്ലൈസിംഗ് സമയത്ത് താപനില ഫീൽഡ് പരിഷ്കരിക്കുകയും വേഫർ സമഗ്രതയെ ഭീഷണിപ്പെടുത്തുന്ന സമ്മർദ്ദങ്ങൾ കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നുവെന്ന് ഗവേഷണങ്ങൾ കാണിക്കുന്നു. കാപ്പിലറി ഗതാഗതം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള അൾട്രാസോണിക് വൈബ്രേഷൻ പോലുള്ള സാങ്കേതിക വിദ്യകളുമായി ഇത് സംയോജിപ്പിച്ച്, കൂടുതൽ യൂണിഫോം ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക വിതരണം അനുവദിക്കുന്നു.
സ്ഥിരമായ ദ്രാവക വിതരണത്തിന് കൃത്യവും തത്സമയവുമായ നിരീക്ഷണവും ക്രമീകരണവും ആവശ്യമാണ്. പ്രത്യേകിച്ച് കർശനമായി നിയന്ത്രിത പ്രക്രിയകളിൽ, ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള വ്യാവസായിക കട്ടിംഗ് ദ്രാവക പ്രവാഹ അളവ് അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് സെൻസർ പോലുള്ള ഒരു കട്ടിംഗ് ദ്രാവക പ്രവാഹ മീറ്റർ നടപ്പിലാക്കുന്നത് ഡെലിവറി നിരക്കിന്റെ കൃത്യമായ നിയന്ത്രണം പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. ലോൺമീറ്ററിന്റെ ഇൻലൈൻ സാന്ദ്രതയും വിസ്കോസിറ്റി മീറ്ററുകളും, കൃത്യമായ ഫ്ലോ റേറ്റ് അളക്കൽ ഉപകരണങ്ങളുമായി ജോടിയാക്കുമ്പോൾ, ദ്രാവക വിതരണം ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിന് സംഭാവന ചെയ്യുന്നു, അങ്ങനെ ഏറ്റവും കനം കുറഞ്ഞ വേഫറുകൾ പോലും സുഗമമായി മുറിക്കപ്പെടുന്നു, കുറഞ്ഞ തകരാറുള്ള അപകടസാധ്യതയുണ്ട്.
വേഫർ കട്ടിംഗ് പ്രവർത്തനങ്ങളിൽ ദ്രാവക പ്രവാഹ അളവ്
സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗിൽ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് ഡെലിവറി ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിന് കൃത്യമായ ഫ്ലോ റേറ്റ് അളക്കൽ അടിസ്ഥാനപരമാണ്. സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡിന്റെ ഫലപ്രാപ്തി കോൺടാക്റ്റ് ഇന്റർഫേസിലെ തണുപ്പിക്കൽ, ലൂബ്രിക്കേഷൻ, അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യൽ എന്നിവയെ നേരിട്ട് രൂപപ്പെടുത്തുന്നു, ഇത് വേഫർ ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം, കെർഫ് നഷ്ടം, മൊത്തത്തിലുള്ള ഉൽപാദന വിളവ് എന്നിവയെ ബാധിക്കുന്നു. അപര്യാപ്തമായതോ അമിതമായതോ ആയ ഒഴുക്ക് അബ്രേഷ്യവ് ഫലപ്രാപ്തിയെ മാറ്റുന്നു, ഉപകരണ തേയ്മാനം വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ പൊരുത്തമില്ലാത്ത വേഫർ ഗുണനിലവാരത്തിനോ ഉയർന്ന റിസോഴ്സ് ചെലവുകൾക്കോ കാരണമാകും. സാധാരണ സിംഗിൾ-വയർ മെഷീനുകൾക്ക് ഒപ്റ്റിമൽ 0.15–0.25 L/min പരിധിക്കുള്ളിൽ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് ഫ്ലോ റേറ്റ് നിലനിർത്തുന്നതിലൂടെ ഉപരിതല പരുക്കനും (Ra) ഉപരിതല നാശനഷ്ടങ്ങളും കുറയ്ക്കാൻ കഴിയുമെന്ന് അനുഭവപരമായ ഗവേഷണം സൂചിപ്പിക്കുന്നു, കാരണം അപര്യാപ്തമായ ഒഴുക്ക് മൈക്രോക്രാക്കുകൾക്കും അവശിഷ്ട ശേഖരണത്തിനും കാരണമാകുന്നു, അതേസമയം അധിക ഒഴുക്ക് പ്രക്ഷുബ്ധതയും അനാവശ്യ ഉപഭോഗവും സൃഷ്ടിക്കുന്നു.
ദ്രാവക പ്രവാഹ നിരക്ക് അളക്കുന്നതിനുള്ള സാങ്കേതികവിദ്യകൾ
കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് ഫ്ലോ മീറ്ററുകൾ ഫ്ലൂയിഡ് സപ്ലൈ ലൈനുകളുമായി സംയോജിപ്പിച്ച്, ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡിന്റെ വിതരണം ചെയ്ത അളവ് തത്സമയം അളക്കുന്നു. സാധാരണ ഫ്ലോ മീറ്റർ സാങ്കേതികവിദ്യകളിൽ മെക്കാനിക്കൽ, ഇലക്ട്രോണിക്, അൾട്രാസോണിക് തരങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നു:
- ടർബൈൻ, പാഡിൽവീൽ ഡിസൈനുകൾ പോലുള്ള മെക്കാനിക്കൽ ഫ്ലോ മീറ്ററുകൾ, ദ്രാവക പ്രവാഹത്താൽ സ്ഥാനഭ്രംശം സംഭവിച്ച ഭ്രമണം ചെയ്യുന്ന ഘടകങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. അവ ലളിതവും കരുത്തുറ്റതുമാണ്, പക്ഷേ അബ്രാസീവ്-ലഹരിത ദ്രാവകങ്ങളിൽ നിന്ന് തേയ്മാനത്തിന് സാധ്യതയുണ്ട്.
- ഇലക്ട്രോണിക് ഫ്ലോ മീറ്ററുകൾ, പ്രത്യേകിച്ച് വൈദ്യുതകാന്തിക ഡിസൈനുകൾ, വൈദ്യുതകാന്തിക ഇൻഡക്ഷൻ തത്വങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് ദ്രാവക പ്രവേഗം അളക്കുന്നു, ഇത് ചാലക ദ്രാവകങ്ങൾക്ക് വിശ്വസനീയവും പരിപാലന-വെളിച്ചമുള്ളതുമായ പ്രവർത്തനം വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
- അൾട്രാസോണിക് ഫ്ലോ മീറ്ററുകൾ പൈപ്പിലൂടെ കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുകയും സ്വീകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്ന ഉയർന്ന ആവൃത്തിയിലുള്ള ശബ്ദ തരംഗങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഒഴുക്കിനൊപ്പം ഒഴുകുന്ന ശബ്ദ സംക്രമണത്തിന്റെ സമയ വ്യത്യാസം അളക്കുന്നതിലൂടെ, ഈ ഉപകരണങ്ങൾ വിവിധ വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക തരങ്ങൾക്ക് അനുയോജ്യമായ നോൺ-ഇൻട്രൂസീവ്, കൃത്യമായ അളവ് നൽകുന്നു.
വിസ്കോസിറ്റി അല്ലെങ്കിൽ താപനില മാറ്റങ്ങൾ പരിഗണിക്കാതെ, ദ്രാവക പിണ്ഡത്തിന്റെ കൃത്യമായ നിയന്ത്രണം ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ അളക്കൽ വേറിട്ടുനിൽക്കുന്നു. കോറിയോലിസ് ഇഫക്റ്റിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കി കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ സെൻസറുകൾ നേരിട്ട് മാസ് ഫ്ലോ റേറ്റ് അളക്കുന്നു, ഇത് ജലത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതും എണ്ണയെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതുമായ ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകങ്ങൾക്ക് ഉയർന്ന കൃത്യതയും അനുയോജ്യതയും നൽകുന്നു. ലോൺമീറ്റർ ഇൻലൈൻ ഡെൻസിറ്റി, വിസ്കോസിറ്റി മീറ്ററുകൾ നിർമ്മിക്കുന്നു, ഇത് സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗിൽ സ്ഥിരതയ്ക്കും ഒപ്റ്റിമൽ പ്രോസസ് നിയന്ത്രണത്തിനുമായി ദ്രാവക ഗുണങ്ങളെ നിരീക്ഷിക്കാൻ കൂടുതൽ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.
ക്രിട്ടിക്കൽ മെഷർമെന്റ് പാരാമീറ്ററുകളും സെൻസർ പ്ലേസ്മെന്റും
വേഫർ കട്ടിംഗിൽ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക പ്രവാഹത്തിന്റെ കൃത്യമായ അളക്കലിന് നിരവധി പ്രധാന പാരാമീറ്ററുകളിൽ ശ്രദ്ധ ആവശ്യമാണ്:
- ഫ്ലോ റേറ്റ് (L/min): പ്രോസസ് ഒപ്റ്റിമൈസേഷനും ഗുണനിലവാര ഉറപ്പിനുമുള്ള പ്രാഥമിക അളവ്.
- സാന്ദ്രതയും വിസ്കോസിറ്റിയും: രണ്ടും തണുപ്പിക്കൽ പ്രകടനം, അബ്രസീവ് ഗതാഗതം, അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യൽ എന്നിവയെ സാരമായി ബാധിക്കുന്നു.
- താപനില: മുറിച്ച സ്ഥലത്തെ വിസ്കോസിറ്റി, ദ്രാവക സ്വഭാവം എന്നിവയെ ബാധിക്കുന്നു.
സെൻസർ സ്ഥാനം നിർണായകമാണ്. പൈപ്പിംഗ് പ്രതിരോധം, ചോർച്ച അല്ലെങ്കിൽ കട്ട് ഇന്റർഫേസിന് മുമ്പുള്ള ബാഷ്പീകരണം എന്നിവ മൂലമുണ്ടാകുന്ന വ്യത്യാസങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിന്, കട്ടിംഗ് സോണിന് കഴിയുന്നത്ര അടുത്തായി ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് സെൻസറുകൾ നേരിട്ട് ഫ്ലൂയിഡ് ഡെലിവറി ലൈനിൽ സ്ഥാപിക്കണം. ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ഏരിയയിലേക്കുള്ള യഥാർത്ഥ വിതരണവുമായി റിപ്പോർട്ട് ചെയ്ത ഫ്ലോ മൂല്യം പൊരുത്തപ്പെടുന്നുണ്ടെന്ന് തത്സമയ ഇൻലൈൻ അളവ് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഒപ്റ്റിമൽ കട്ടിംഗ് പരിതസ്ഥിതികൾ നിലനിർത്തുന്നതിൽ ഫ്ലോ മെഷർമെന്റിന്റെ പ്രവർത്തനം
വ്യാവസായിക സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗിൽ ദ്രാവക വിതരണത്തിന്റെ തത്സമയ നിരീക്ഷണത്തിനും അഡാപ്റ്റീവ് നിയന്ത്രണത്തിനും ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് സെൻസറുകൾ അത്യാവശ്യമാണ്. ഒപ്റ്റിമൽ ഫ്ലോ റേറ്റ് നിലനിർത്തുന്നത് മതിയായ താപ വിസർജ്ജനം, തുടർച്ചയായ അവശിഷ്ടങ്ങൾ ഒഴിപ്പിക്കൽ, ഡയമണ്ട് വയറിലൂടെ ഏകീകൃത ലൂബ്രിക്കേഷൻ എന്നിവ ഉറപ്പാക്കുന്നു. ഇത് കൂടാതെ, പ്രക്രിയ സ്ഥിരത കുറയുന്നു, വയറിന്റെ ആയുസ്സ് കുറയുന്നു, കൂടാതെ ഉപരിതല വൈകല്യങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ അമിതമായ കെർഫ് നഷ്ടം എന്നിവ കാരണം വിളവ് കുറയുന്നു.
ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഫ്ലോ റേറ്റ് അളക്കൽ മറ്റ് ഫീഡ്ബാക്ക് പാരാമീറ്ററുകളുമായി (ഉദാ: വയർ വേഗത, ഫീഡ് നിരക്ക്) സംയോജിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെ, നിർമ്മാതാക്കൾക്ക് പ്രോസസ്സ് പരിധിയുടെ അഡാപ്റ്റീവ് നിയന്ത്രണം നടപ്പിലാക്കാൻ കഴിയും, ഇത് ഫ്ലോ റേറ്റ് ക്രമീകരണങ്ങളെ നിരീക്ഷിച്ച കട്ടിംഗ് പ്രകടനവുമായി നേരിട്ട് ബന്ധിപ്പിക്കുന്നു. തൽഫലമായി, പ്രോഗ്രാം ചെയ്ത ഫ്ലോ എൻവലപ്പിൽ നിന്നുള്ള ഏതെങ്കിലും വ്യതിയാനം ഉടനടി തിരുത്തൽ നടപടിക്ക് കാരണമാകുന്നു, ഇത് പ്രോസസ്സ് ഗുണനിലവാരവും വിഭവ കാര്യക്ഷമതയും സംരക്ഷിക്കുന്നു.
ചുരുക്കത്തിൽ, ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് യുഗത്തിൽ ഉയർന്ന വിളവ് നൽകുന്നതും ചെലവ് കുറഞ്ഞതുമായ സിലിക്കൺ വേഫർ ഉൽപ്പാദനത്തിന്, ശക്തമായ ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് സെൻസറുകളെയും തത്സമയ ഡാറ്റയെയും ആശ്രയിക്കുന്ന വ്യാവസായിക കട്ടിംഗ് ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് ഒരു മൂലക്കല്ലായി വർത്തിക്കുന്നു.
കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ അളക്കൽ: തത്വങ്ങളും പ്രയോഗവും
വൈബ്രേറ്റിംഗ് ട്യൂബുകളിലൂടെ ദ്രാവകം ചലിക്കുന്നതിലൂടെ ഉണ്ടാകുന്ന ബലം കണ്ടെത്തുന്നതിനെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയാണ് കോറിയോളിസ് മാസ് ഫ്ലോ അളക്കൽ. ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് അല്ലെങ്കിൽ പ്രത്യേക സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് പോലുള്ള ദ്രാവകം ഒഴുകുമ്പോൾ ട്യൂബുകൾക്ക് ഒരു ചെറിയ, അളക്കാവുന്ന ഘട്ടം മാറ്റം അനുഭവപ്പെടുന്നു. ഈ മാറ്റം മാസ് ഫ്ലോ റേറ്റിന് ആനുപാതികമാണ്, ഇത് വിതരണം ചെയ്യുന്ന കട്ടിംഗ് ദ്രാവകത്തിന്റെ പിണ്ഡത്തിന്റെ നേരിട്ടുള്ള, തത്സമയ അളവ് നൽകുന്നു. മാറിക്കൊണ്ടിരിക്കുന്ന ദ്രാവക തരങ്ങൾ, കോമ്പോസിഷനുകൾ, താപനിലകൾ എന്നിവയിലുടനീളം ഉയർന്ന കൃത്യതയെ പിന്തുണയ്ക്കുന്ന ദ്രാവക സാന്ദ്രതയുടെ ഒരേസമയം അളക്കാൻ ഇതേ തത്വം അനുവദിക്കുന്നു - സിലിക്കൺ വേഫർ നിർമ്മാണത്തിലും ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകളിലും ഇത് ഒരു നിർണായക ആവശ്യകതയാണ്.
വേഫർ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് തരങ്ങൾക്ക്, പ്രത്യേകിച്ച് ഉയർന്ന പ്രകടനമുള്ള ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകൾ ഉപയോഗിക്കുമ്പോൾ, ഈ സമീപനത്തിന്റെ ഗുണങ്ങൾ ഗണ്യമായതാണ്. കോറിയോലിസ് ഫ്ലോ അളക്കൽ ദ്രാവക വിസ്കോസിറ്റി, ഘടനാ മാറ്റങ്ങൾ എന്നിവയിൽ നിന്ന് സ്വതന്ത്രമാണ്, സിലിക്കൺ വേഫറുകൾക്കുള്ള കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകളിൽ പലപ്പോഴും കാണപ്പെടുന്ന അബ്രാസീവ് കണികകൾ, നാനോ-അഡിറ്റീവുകൾ അല്ലെങ്കിൽ വൈവിധ്യമാർന്ന മിശ്രിതങ്ങൾ എന്നിവയുടെ സാന്നിധ്യത്തിനിടയിലും ഇത് വളരെ കൃത്യതയോടെ തുടരുന്നു. കുമിളകൾ, സസ്പെൻഡ് ചെയ്ത കണികകൾ, നൂതന കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകളുടെ മാറുന്ന ഭൗതിക ഗുണങ്ങൾ എന്നിവയാൽ സ്വാധീനിക്കപ്പെടുന്ന പരമ്പരാഗത വോള്യൂമെട്രിക് ഫ്ലോ രീതികളേക്കാൾ ഈ കരുത്ത് ഇതിനെ മികച്ചതാക്കുന്നു.
സിലിക്കൺ വേഫറുകൾക്കുള്ള കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡിന്റെ വിശ്വസനീയമായ നിരീക്ഷണം ഉറപ്പാക്കാൻ സെമികണ്ടക്ടർ വേഫർ കട്ടിംഗ് കൂടുതൽ കൂടുതൽ നൂതന ഫ്ലൂയിഡ് ഫ്ലോ സെൻസർ സാങ്കേതികവിദ്യയെ ആശ്രയിക്കുന്നു. കോറിയോലിസ് ഇഫക്റ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്ന ലോൺമീറ്റർ ഇൻലൈൻ മാസ് ഫ്ലോ സെൻസറുകൾ നേരിട്ട് പ്രോസസ്സ് ലൈനുകളിൽ നടപ്പിലാക്കുന്നു. വേഫർ സ്ലൈസിംഗ് സമയത്ത് നാനോ-ഫ്ലൂയിഡ്, ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകത്തിന്റെ കൃത്യമായ ഡെലിവറിയും നിരീക്ഷണവും ഇത് പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. ദ്രാവക നശീകരണത്തിന്റെ ലക്ഷണങ്ങൾ, മിശ്രിത പൊരുത്തക്കേടുകൾ അല്ലെങ്കിൽ സാന്ദ്രത ഷിഫ്റ്റുകൾ എന്നിവ ഉടനടി കണ്ടെത്തുന്നു, ഇത് പ്രക്രിയ വിളവും ഉപരിതല ഗുണനിലവാരവും നിലനിർത്തുന്നതിന് ഉടനടി നിയന്ത്രണ ഇടപെടലുകൾ അനുവദിക്കുന്നു.
കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ സെൻസറുകളെ മറ്റ് കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് മോണിറ്ററിംഗ് സെൻസറുകളുമായി - തെർമൽ, ഇലക്ട്രോമാഗ്നറ്റിക്, അല്ലെങ്കിൽ അൾട്രാസോണിക് ഫ്ലോ സിസ്റ്റങ്ങൾ പോലുള്ളവ - താരതമ്യം ചെയ്യുന്നത് നിരവധി ശക്തികൾ വെളിപ്പെടുത്തുന്നു. കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ സെൻസറുകൾ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഫ്ലോ അളക്കലിൽ മികവ് പുലർത്തുകയും വിസ്കോസിറ്റി ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളോ കാന്തിക ഗുണങ്ങളോ ബാധിക്കാത്ത പിണ്ഡാധിഷ്ഠിത റീഡിംഗുകൾ നൽകുകയും ചെയ്യുന്നു. നാനോപാർട്ടിക്കിളുകൾ, എയർ പോക്കറ്റുകൾ അല്ലെങ്കിൽ മിനിറ്റ് സാന്ദ്രത വ്യതിയാനങ്ങൾ എന്നിവ അടങ്ങിയ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക മിശ്രിതങ്ങളുമായി വൈദ്യുതകാന്തിക, അൾട്രാസോണിക് മീറ്ററുകൾ പോരാടുന്നു, ഇത് പലപ്പോഴും വിശ്വസനീയമല്ലാത്ത ഫ്ലോ റേറ്റ് അളക്കലിനും വർദ്ധിച്ച പരിപാലന ആവൃത്തിക്കും കാരണമാകുന്നു.
സിഗ്നൽ പ്രോസസ്സിംഗും താപനില നഷ്ടപരിഹാര പദ്ധതികളും ശബ്ദവും പാരിസ്ഥിതിക വ്യതിയാനവും കാര്യക്ഷമമായി ഫിൽട്ടർ ചെയ്യുന്നതിനാൽ, മാറുന്ന ദ്രാവക ഘടനകളിൽ കോറിയോലിസ് ഫ്ലോ മീറ്ററിന്റെ കൃത്യത നിലനിർത്തുന്നു. വ്യത്യസ്ത വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക തരങ്ങളുടെയും നാനോഫ്ലൂയിഡ് മിശ്രിതങ്ങളുടെയും വൈവിധ്യമാർന്ന ഗുണങ്ങളോട് പ്രതികരിക്കുന്നതിലൂടെ, തണുപ്പിക്കൽ, ലൂബ്രിക്കേഷൻ, കണിക നീക്കം ചെയ്യൽ എന്നിവ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുന്നതിന് ഓപ്പറേറ്റർമാർക്ക് തത്സമയ ഡാറ്റ പ്രയോജനപ്പെടുത്താൻ കഴിയും.
നാനോപാർട്ടിക്കിളുകൾ ഉപയോഗിച്ച് അൾട്രാ-നേർത്ത വയർ സോവിംഗ്, കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകൾ എന്നിവയുമായി കോറിയോളിസ് മാസ് ഫ്ലോ അളക്കൽ പൊരുത്തപ്പെടുത്തൽ വ്യാവസായിക നിരീക്ഷണത്തിൽ ഒരു മാറ്റത്തെ അടയാളപ്പെടുത്തുന്നു. കണികകളുടെ ഉള്ളടക്കമോ ദ്രാവക വൈവിധ്യമോ പരിഗണിക്കാതെ സെൻസറുകൾ യഥാർത്ഥ മാസ് ഫ്ലോയും സാന്ദ്രതയും വിശ്വസനീയമായി അളക്കുന്നു, ഇത് വേഫർ കട്ടിംഗിനായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് നിയന്ത്രണവും ഓട്ടോമേറ്റഡ് ഫ്ലൂയിഡ് മാനേജ്മെന്റും പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. സിലിക്കൺ വേഫർ നിർമ്മാണത്തിലും ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളിലും പ്രക്രിയ സ്ഥിരത നിലനിർത്തുന്നതിനും മെറ്റീരിയൽ നഷ്ടം കുറയ്ക്കുന്നതിനും ഉപരിതല സമഗ്രത ഉറപ്പാക്കുന്നതിനും ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഫ്ലോ അളക്കലിന്റെ ഈ ലെവൽ കേന്ദ്രീകൃതമാണ്.
പ്രക്രിയ നിയന്ത്രണത്തിലേക്ക് ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് ഡാറ്റ സംയോജിപ്പിക്കൽ
സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ ഡയമണ്ട് വയർ മുറിക്കുമ്പോൾ, കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ സെൻസറുകൾ ഉപയോഗിച്ചുള്ള തത്സമയ ഫ്ലോ അളക്കൽ, കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് മാനേജ്മെന്റിനെ മാറ്റിമറിച്ചു. ലോൺമീറ്റർ നിർമ്മിക്കുന്നതുപോലെ, ഇൻലൈൻ ഡെൻസിറ്റി, വിസ്കോസിറ്റി മീറ്ററുകൾ, ദ്രാവക ഗുണങ്ങളുടെയും ഫ്ലോ റേറ്റിന്റെയും ഉടനടി നിരീക്ഷണം സാധ്യമാക്കുന്നു, കൃത്യമായ പ്രക്രിയ നിയന്ത്രണത്തെ നേരിട്ട് പിന്തുണയ്ക്കുന്നു.
ഡയമണ്ട് വയർ, സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ എന്നിവയുടെ ഫലപ്രദമായ തണുപ്പിക്കൽ, വൃത്തിയാക്കൽ, ലൂബ്രിക്കേഷൻ എന്നിവയ്ക്ക് ഒപ്റ്റിമൽ ഫ്ലോ റേറ്റ് നിലനിർത്തേണ്ടത് അത്യാവശ്യമാണ്. മാസ് ഫ്ലോ, ഫ്ലൂയിഡ് സവിശേഷതകൾ എന്നിവയെക്കുറിച്ച് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള, തത്സമയ ഫീഡ്ബാക്ക് നൽകിക്കൊണ്ട് കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ മീറ്ററുകൾ ഈ പരിതസ്ഥിതിയിൽ മികവ് പുലർത്തുന്നു. ഈ ഡാറ്റ ഉപയോഗിച്ച്, വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകത്തിന്റെ ആവശ്യമായ അളവും ഘടനയും കൃത്യമായി നൽകുന്നതിന് ഓട്ടോമേറ്റഡ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് പമ്പ് വേഗത, വാൽവ് സ്ഥാനങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ റീസൈക്കിൾ നിരക്കുകൾ ക്രമീകരിക്കാൻ കഴിയും. ഉദാഹരണത്തിന്, ദ്രുത കട്ടിംഗ് സൈക്കിളുകളിൽ, മെച്ചപ്പെട്ട അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനും തണുപ്പിക്കുന്നതിനും സെൻസർ ഡാറ്റ വർദ്ധിച്ച ദ്രാവക വിതരണം ട്രിഗർ ചെയ്തേക്കാം, അതേസമയം വേഗത കുറഞ്ഞ സൈക്കിളുകൾക്ക് മാലിന്യങ്ങൾ ഒഴിവാക്കാൻ കുറഞ്ഞ ഒഴുക്ക് ആവശ്യമായി വന്നേക്കാം.
മാറുന്ന ദ്രാവക അവസ്ഥകളോട് പ്രതികരിക്കുന്നതിന് ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് സെൻസറുകളിൽ നിന്നുള്ള ഫീഡ്ബാക്കും നിർണായകമാണ്. താപനില വ്യതിയാനങ്ങൾ അല്ലെങ്കിൽ മലിനീകരണം കാരണം ദ്രാവക വിസ്കോസിറ്റി അല്ലെങ്കിൽ സാന്ദ്രത മാറുമ്പോൾ, ലോൺമീറ്ററിന്റെ ഇൻലൈൻ മീറ്ററുകൾ ഈ വ്യതിയാനങ്ങൾ തൽക്ഷണം കണ്ടെത്തുന്നു, ഇത് ഫ്ലോ റേറ്റുകൾ ക്രമീകരിക്കുന്നതിലൂടെയോ ദ്രാവക ഫിൽട്ടറേഷൻ ആരംഭിക്കുന്നതിലൂടെയോ നിയന്ത്രണ സംവിധാനങ്ങൾക്ക് നഷ്ടപരിഹാരം നൽകാൻ അനുവദിക്കുന്നു. ഒപ്റ്റിമൽ കട്ടിംഗ് പ്രകടനത്തിനായി ദ്രാവകം കർശനമായ സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾക്കുള്ളിൽ തുടരുന്നുവെന്ന് ഈ ഗ്രാനുലാർ, ഡാറ്റാധിഷ്ഠിത സമീപനം ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഉയർന്ന അളവിലുള്ള പരിതസ്ഥിതികളിൽ, കട്ടിംഗ് ദ്രാവക പ്രവാഹം തത്സമയം നിരീക്ഷിക്കാനും നിയന്ത്രിക്കാനുമുള്ള കഴിവ് സ്ഥിരമായ കനം പിന്തുണയ്ക്കുകയും ചെലവേറിയ വൈകല്യങ്ങൾ ഉണ്ടാകുന്നത് കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഏഷ്യയിലെയും യൂറോപ്പിലെയും മുൻനിര നിർമ്മാണ ലൈനുകളിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ. നൂതന ദ്രാവക മാനേജ്മെന്റ് പ്രവചന പരിപാലനത്തെയും പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, ഇത് ഡയമണ്ട് വയറിന്റെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
വ്യാവസായിക പ്രവർത്തനങ്ങൾക്ക് ഒഴുക്ക് നിയന്ത്രിത കട്ടിംഗ് ദ്രാവക സംവിധാനങ്ങളിൽ നിന്ന് ഗണ്യമായി പ്രയോജനം ലഭിക്കുന്നു. കാര്യക്ഷമമായ ദ്രാവക മാനേജ്മെന്റ്, ഓരോ വേഫറിനും ആവശ്യത്തിന് ദ്രാവകം ഉപയോഗിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നതിലൂടെ ഉപഭോഗ, നിർമാർജന ചെലവുകൾ കുറയ്ക്കുന്നു, ഇത് സുസ്ഥിരതയെയും നിയന്ത്രണ അനുസരണത്തെയും പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. സെൻസർ ഡാറ്റയെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള തുടർച്ചയായ ഫീഡ്ബാക്കും ക്രമീകരണവും വഴി ദ്രാവക മാലിന്യത്തിലെ കുറവ് പ്രവർത്തന ചെലവുകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും പാരിസ്ഥിതിക കാൽപ്പാടുകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും കാരണമാകുന്നു.
ചുരുക്കത്തിൽ, ലോൺമീറ്ററിന്റെ ഇൻലൈൻ സൊല്യൂഷനുകൾ പ്രാപ്തമാക്കിയ തത്സമയ ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് ഡാറ്റയുടെ സംയോജനം, വേഫർ ഗുണനിലവാര ഉറപ്പിനുള്ള ഒരു മൂലക്കല്ല് മാത്രമല്ല, ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയ്ക്കുള്ള ഒരു പ്രവർത്തന നേട്ടവുമാണ്. ഉപരിതല ഫിനിഷ്, മെക്കാനിക്കൽ വിശ്വാസ്യത, ഉൽപ്പാദന യീൽഡ്, ചെലവ് ഫലപ്രാപ്തി എന്നിവയിൽ ഇത് അളക്കാവുന്ന മെച്ചപ്പെടുത്തലുകൾ നൽകുന്നു.
പരീക്ഷണാത്മക ഉൾക്കാഴ്ചകളും വ്യാവസായിക മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശവും
സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗിനായി ദ്രാവക വിതരണത്തിലെ മികച്ച രീതികൾ സമീപകാല പരീക്ഷണ പഠനങ്ങൾ പുനർനിർമ്മിച്ചിട്ടുണ്ട്. പ്രത്യേകിച്ച് നൂതന സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ച്, കൃത്യമായി കൈകാര്യം ചെയ്ത കട്ടിംഗ് ദ്രാവക വിതരണം, കുറഞ്ഞ വേഫർ ആഗിരണം, മികച്ച ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം എന്നിവയുമായി നേരിട്ട് ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നുവെന്ന് ഗവേഷണങ്ങൾ കാണിക്കുന്നു.
ദ്രാവക വിതരണത്തിൽ അൾട്രാസോണിക് കാപ്പിലറി ഇഫക്റ്റിന്റെ പ്രയോഗം ഒരു ഗെയിം ചേഞ്ചറായി ഉയർന്നുവന്നിട്ടുണ്ട്. അൾട്രാസോണിക് തരംഗങ്ങൾ അൾട്രാനേർത്ത കെർഫുകളിലേക്ക് - പ്രത്യേകിച്ച് 50 μm-ൽ താഴെ ഇടുങ്ങിയ പ്രദേശങ്ങളിൽ - ആഴത്തിൽ ദ്രാവകം മുറിക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു, പരമ്പരാഗത വിതരണ രീതികൾ പലപ്പോഴും പരാജയപ്പെടുന്നു. ഈ മെച്ചപ്പെടുത്തിയ നുഴഞ്ഞുകയറ്റം വേഫർ ഉപരിതലത്തിലേക്ക് അബ്രാസീവ് കണങ്ങളുടെയും അവശിഷ്ടങ്ങളുടെയും ആഗിരണം ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കുന്നു. അൾട്രാസോണിക് സഹായത്തോടെയുള്ള ദ്രാവക വിതരണത്തിന് വിധേയമാകുന്ന വേഫറുകൾ അളക്കാവുന്നത്ര കുറഞ്ഞ ഉപരിതല വൈകല്യങ്ങൾ കാണിക്കുന്നുവെന്ന് അനുഭവപരമായ പരിശോധനകൾ വ്യക്തമാക്കുന്നു, അങ്ങനെ താഴ്ന്ന പ്രക്രിയകളിൽ ഉയർന്ന വിളവും വിശ്വാസ്യതയും കാണിക്കുന്നു.
ദ്രാവക വിതരണം കുറയ്ക്കുന്നതിൽ അൾട്രാസോണിക് എൻഹാൻസ്മെന്റിന്റെയും നാനോ-ഫ്ലൂയിഡ് സാങ്കേതികവിദ്യകളുടെയും പ്രയോജനങ്ങൾ പരമാവധിയാക്കുന്നതിന് പാരാമീറ്റർ ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ നിർണായകമാണ്. പ്രധാന പാരാമീറ്ററുകളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:
- പ്ലേറ്റ് ദൂരം: ഒപ്റ്റിമൽ ദ്രാവക ഉയർച്ചയ്ക്കായി ദ്രാവക സംഭരണിയും കട്ടിംഗ് സോണിനും ഇടയിലുള്ള വിടവ് കുറയ്ക്കണം.
- അൾട്രാസോണിക് ട്രാൻസ്ഡ്യൂസർ സ്ഥാനവും സജ്ജീകരണ സമാന്തരത്വവും: വ്യക്തമായി നിർവചിക്കപ്പെട്ട ജ്യാമിതി ഏകീകൃത തരംഗ പ്രക്ഷേപണവും കാപ്പിലറി പ്രവർത്തനവും ഉറപ്പാക്കുന്നു.
- ദ്രാവക താപനില: നിയന്ത്രിത ചൂടാക്കൽ ദ്രാവക ചലനശേഷിയും കാപ്പിലറി കാര്യക്ഷമതയും വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.
- അൾട്രാസോണിക് പ്രയോഗത്തിന്റെ ദൈർഘ്യവും ആവൃത്തിയും: ശരിയായ സമയം അമിതമായി ചൂടാകുന്നത് തടയുകയും നുഴഞ്ഞുകയറ്റം പരമാവധിയാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
- ദ്രാവക തരം തിരഞ്ഞെടുപ്പ്: വ്യത്യസ്ത അടിസ്ഥാന ദ്രാവകങ്ങളും അഡിറ്റീവുകളും അൾട്രാസോണിക് ഉത്തേജനത്തോട് അദ്വിതീയമായി പ്രതികരിക്കുന്നു.
നാനോഫ്ലൂയിഡ് സാങ്കേതികവിദ്യ മറ്റൊരു പ്രധാന മുന്നേറ്റം അവതരിപ്പിക്കുന്നു. SiO2, SiC പോലുള്ള നാനോപാർട്ടിക്കിളുകൾ ചേർത്ത കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകൾ മെച്ചപ്പെട്ട താപ ചാലകതയും ലൂബ്രിക്കേഷനും കാണിക്കുന്നു. ഈ പരിഷ്ക്കരണം കൂടുതൽ ഫലപ്രദമായ തണുപ്പിക്കൽ, മെച്ചപ്പെട്ട അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യൽ, വേഫർ ഉപരിതല പരുക്കൻത കുറയ്ക്കൽ എന്നിവയിലേക്ക് നയിക്കുന്നു. മിക്സഡ് നാനോ-പാർട്ടിക്കിൾ ഫോർമുലേഷനുകൾ സിനർജിസ്റ്റിക് മെച്ചപ്പെടുത്തലുകൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നുവെന്നും, വാർപേജ് കൂടുതൽ കുറയ്ക്കുന്നുവെന്നും, സിംഗിൾ-ടൈപ്പ് അല്ലെങ്കിൽ പരമ്പരാഗത കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡുകളേക്കാൾ മികച്ച വേഫർ രൂപഘടന സൃഷ്ടിക്കുന്നുവെന്നും ഡാറ്റ സൂചിപ്പിക്കുന്നു.
കട്ടിംഗ് ദ്രാവകത്തിന്റെ കാര്യക്ഷമത ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യാൻ ആഗ്രഹിക്കുന്ന നിർമ്മാതാക്കൾക്ക് ഇനിപ്പറയുന്ന പ്രവർത്തന മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശങ്ങൾ നടപ്പിലാക്കാൻ കഴിയും:
- കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് സ്ഥിരത നിരീക്ഷിക്കുന്നതിനും നിയന്ത്രിക്കുന്നതിനും ഇൻലൈൻ ഡെൻസിറ്റി മീറ്ററുകളും വിസ്കോസിറ്റി മീറ്ററുകളും (ലോൺമീറ്ററിൽ നിന്നുള്ളവ പോലുള്ളവ) ഉപയോഗിക്കുക, അൾട്രാസോണിക്, നാനോ-അസിസ്റ്റൻസിന് ഫ്ലോ പ്രോപ്പർട്ടികൾ അനുയോജ്യമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുക.
- ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് സെൻസർ ഉപയോഗിച്ച് കട്ടിംഗ് ഫ്ലോ റേറ്റ് നിരീക്ഷിക്കുകയും ക്രമീകരിക്കുകയും ചെയ്യുക. കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് വ്യാവസായിക കട്ടിംഗ് ഫ്ലോ അളക്കലിന് പ്രത്യേകിച്ചും ഉപയോഗപ്രദമാണ്, സാന്ദ്രതയ്ക്കും വ്യാപ്തത്തിനും തത്സമയ കൃത്യത വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു.
- വിശ്വസനീയമായ റീഡിംഗുകൾ നിലനിർത്തുന്നതിന് ഫ്ലോ മെഷർമെന്റ് സെൻസറുകൾ പതിവായി കാലിബ്രേറ്റ് ചെയ്യുക, സ്ഥിരമായ വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിന് ഇത് വളരെ പ്രധാനമാണ്.
- നിർദ്ദിഷ്ട വേഫർ വലുപ്പം, ഡയമണ്ട് വയർ സവിശേഷതകൾ, പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷം എന്നിവയുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക തരങ്ങളും നാനോപാർട്ടിക്കിൾ സാന്ദ്രതയും തിരഞ്ഞെടുക്കുക.
വയർ പ്രവേഗം വർദ്ധിപ്പിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ ഫീഡ് നിരക്ക് ക്രമീകരിക്കൽ പോലുള്ള സിംഗിൾ-ഫാക്ടർ പാരാമീറ്റർ മാറ്റങ്ങൾ വയർ തേയ്മാനം, ഉപരിതല പരുക്കൻത, മൊത്തം കനം വ്യതിയാനം (TTV) എന്നിവയിലെ മാറ്റങ്ങളുമായി പരസ്പരബന്ധിതമാണെന്ന് താരതമ്യ പഠനങ്ങൾ സ്ഥിരീകരിക്കുന്നു. വൈകല്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും വയർ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനും ഒഴുക്കിന്റെ കൃത്യതയും വേഗത്തിലുള്ളതും പ്രതികരിക്കുന്നതുമായ ദ്രാവക വിതരണവും അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്.
പതിവ് ചോദ്യങ്ങൾ
സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് പ്രകടനം എങ്ങനെ മെച്ചപ്പെടുത്തും?
സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകം ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗിൽ ഒരു ലൂബ്രിക്കന്റായും കൂളന്റായും പ്രവർത്തിക്കുന്നു. വയർ-വേഫർ ഇന്റർഫേസിൽ ഉണ്ടാകുന്ന താപം ഇല്ലാതാക്കുകയും ഘർഷണം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുക എന്നതാണ് ഇതിന്റെ പ്രാഥമിക ധർമ്മം. കുറഞ്ഞ ഘർഷണവും താപനിലയും മൈക്രോക്രാക്കുകളും ഉപരിതല പോറലുകളും കുറയ്ക്കുന്നു, ഇത് വേഫർ കേടുപാടുകൾക്കും മൊത്തത്തിലുള്ള വിളവ് കുറയ്ക്കുന്നതിനും കാരണമാകും. ഡയമണ്ട് വയറും വേഫർ ഉപരിതലവും വൃത്തിയായി സൂക്ഷിക്കുന്നതിലൂടെ ദ്രാവകം കട്ടിംഗ് ഏരിയയിൽ നിന്ന് അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നു. കണികകളുടെ ഈ തുടർച്ചയായ നീക്കം സുഗമമായ വേഫർ പ്രതലങ്ങൾക്ക് കാരണമാവുകയും സ്ഥിരതയുള്ളതും ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതുമായ നിർമ്മാണത്തെ പിന്തുണയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, SiO₂, SiC നാനോകണങ്ങൾ എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് മെച്ചപ്പെടുത്തിയ നാനോ-കട്ടിംഗ് ദ്രാവകങ്ങൾക്ക് കെർഫിലേക്ക് ആഴത്തിൽ തുളച്ചുകയറാൻ കഴിയും, ഇത് ഉപരിതല പരുക്കനും വേഫർ വാർപേജും കുറയ്ക്കുകയും സെമികണ്ടക്ടർ ഉപയോഗത്തിനുള്ള വേഫർ ഔട്ട്പുട്ട് കൂടുതൽ മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യും.
കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് ഫ്ലോ മീറ്റർ എന്താണ്, വേഫർ സോവിംഗിൽ ഇത് പ്രധാനമായിരിക്കുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?
കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് ഫ്ലോ മീറ്റർ സോവിംഗ് സോണിലേക്ക് എത്തിക്കുന്ന ദ്രാവകത്തിന്റെ കൃത്യമായ അളവ് അളക്കുന്നു. മതിയായ ലൂബ്രിക്കേഷൻ, താപ വിസർജ്ജനം, അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യൽ എന്നിവയ്ക്ക് കൃത്യമായ ഒഴുക്ക് നിലനിർത്തേണ്ടത് അത്യാവശ്യമാണ്. ഒഴുക്ക് വളരെ കുറവാണെങ്കിൽ, വയർ അമിതമായി ചൂടാകുകയോ അവശിഷ്ടങ്ങൾ അടിഞ്ഞുകൂടുകയോ ചെയ്യുന്നു, ഇത് പോറലുകൾക്കും ഒടിവുകൾക്കും കാരണമാകുന്നു. അമിതമായ ഒഴുക്ക് ദ്രാവകം പാഴാക്കുകയും മർദ്ദ അസന്തുലിതാവസ്ഥ സൃഷ്ടിക്കുകയും ചെയ്യും, ഇത് വേഫറിന്റെ പരന്നതയെയും ഉപകരണത്തിന്റെ ആയുസ്സിനെയും ബാധിക്കുന്നു. ലോൺമീറ്റർ നിർമ്മിക്കുന്ന ഇൻലൈൻ ഡെൻസിറ്റി മീറ്ററുകളും വിസ്കോസിറ്റി മീറ്ററുകളും പോലുള്ള ദ്രാവക ഫ്ലോ മീറ്ററുകൾ മുറിക്കുന്നത് ഓപ്പറേറ്റർമാരെ തത്സമയം വിതരണം നിരീക്ഷിക്കാനും ക്രമീകരിക്കാനും സഹായിക്കുന്നു. ഇത് പ്രക്രിയ ഒപ്റ്റിമൽ പാരാമീറ്ററുകൾക്കുള്ളിൽ തുടരുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു, വേഫർ യീൽഡ് പരമാവധിയാക്കുകയും ഉപകരണത്തിന്റെ തേയ്മാനം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ അളക്കൽ സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക നിയന്ത്രണത്തിന് എങ്ങനെ പ്രയോജനം ചെയ്യുന്നു?
സിലിക്കൺ വേഫർ ഉൽപാദനത്തിൽ ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഫ്ലോ അളക്കലിന് കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ അളക്കൽ വിലമതിക്കാനാവാത്തതാണ്. പരമ്പരാഗത ഫ്ലോ മീറ്ററുകളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി, ദ്രാവക വിസ്കോസിറ്റി, സാന്ദ്രത അല്ലെങ്കിൽ താപനില വ്യതിയാനങ്ങൾ കണക്കിലെടുക്കാതെ കോറിയോലിസ് സെൻസറുകൾ നേരിട്ട് മാസ് ഫ്ലോ അളക്കുന്നു. നാനോപാർട്ടിക്കിളുകൾ ഉൾപ്പെടെ വിവിധ വേഫർ കട്ടിംഗ് ദ്രാവക തരങ്ങളുടെ കൃത്യമായ നിരീക്ഷണം ഈ സവിശേഷത പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. ശരിയായ നിരക്കിൽ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകത്തിന്റെ സ്ഥിരമായ വിതരണം, പ്രക്രിയയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾക്കിടയിലും സ്ഥിരതയുള്ള ലൂബ്രിക്കേഷനും തണുപ്പും നിലനിർത്തുക എന്നിവയാണ് ഫലം. കൃത്യമായ നിയന്ത്രണം വൈകല്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കുകയും ഉൽപാദനക്ഷമത ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്ന ഡയമണ്ട് വയർ കട്ടിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ ഉയർന്ന വേഫർ ഗുണനിലവാരത്തിന് ഈ ഗുണങ്ങൾ നേരിട്ട് സംഭാവന നൽകുന്നു.
ഡയമണ്ട് വയർ സോ പ്രയോഗങ്ങളിൽ ഫ്ലോ റേറ്റ് അളക്കലിനെ ബാധിക്കുന്ന ഘടകങ്ങൾ ഏതാണ്?
കൃത്യമായ ഫ്ലോ റേറ്റ് അളക്കൽ നിരവധി പരസ്പരബന്ധിതമായ വേരിയബിളുകളെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു. സെൻസർ തിരഞ്ഞെടുക്കൽ പ്രധാനമാണ്; ഉദാഹരണത്തിന്, വിസ്കോസ് അല്ലെങ്കിൽ കണികകൾ നിറഞ്ഞ ദ്രാവകങ്ങൾക്ക് പോലും കോറിയോലിസ് മാസ് ഫ്ലോ സെൻസറുകൾ വിശ്വസനീയമായ ഡാറ്റ നൽകുന്നു. ദ്രാവക ഘടന - നാനോകണങ്ങളുടെ സാന്നിധ്യം പോലുള്ളവ - വിസ്കോസിറ്റിയിലും സാന്ദ്രതയിലും മാറ്റം വരുത്തുകയും സെൻസർ കാലിബ്രേഷൻ ആവശ്യകതകളെ സ്വാധീനിക്കുകയും ചെയ്യും. ഫലപ്രദമായ തണുപ്പിക്കലിനും അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനും എത്ര ദ്രാവകം ആവശ്യമാണെന്ന് വയർ വ്യാസവും കട്ടിംഗ് വേഗതയും സ്വാധീനിക്കുന്നു. സെൻസർ യഥാർത്ഥ മൂല്യങ്ങൾ വായിക്കുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് ഓരോ നിർദ്ദിഷ്ട പ്രക്രിയയ്ക്കും കാലിബ്രേഷൻ അത്യാവശ്യമാണ്, ഓരോ ബാച്ചിനും ശരിയായ അളവിൽ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകം ഉപയോഗിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
സിലിക്കൺ വേഫർ കട്ടിംഗ് സമയത്ത് നാനോ-ഫ്ലൂയിഡുകളും അൾട്രാസോണിക് ടെക്നിക്കുകളും ദ്രാവക നുഴഞ്ഞുകയറ്റം വർദ്ധിപ്പിക്കുമോ?
ഗവേഷണങ്ങൾ തെളിയിക്കുന്നത് നാനോ-ഫ്ലൂയിഡുകൾ, പ്രത്യേകിച്ച് SiO₂, SiC നാനോപാർട്ടിക്കിളുകൾ എന്നിവ നിർണായകമായ വയർ-വേഫർ ഇന്റർഫേസിലേക്കുള്ള ദ്രാവക വിതരണത്തിന്റെ കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു എന്നാണ്. ഈ കണികകൾ ദ്രാവകത്തെ സൂക്ഷ്മ വിടവുകളിൽ എത്താൻ സഹായിക്കുന്നു, ഇത് മികച്ച തണുപ്പും ലൂബ്രിക്കേഷനും ഉറപ്പാക്കുന്നു. കൂടാതെ, അൾട്രാസോണിക് കാപ്പിലറി ഇഫക്റ്റ് ടെക്നിക്കുകൾ ദ്രാവക ചലനവും നുഴഞ്ഞുകയറ്റവും കൂടുതൽ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് അൾട്രാ-നേർത്ത വയർ കട്ടിംഗിൽ. ഇതിനർത്ഥം ഒപ്റ്റിമൽ പ്രകടനം കൈവരിക്കുന്നതിന് കുറഞ്ഞ കട്ടിംഗ് ദ്രാവകം ആവശ്യമാണ്, കൂടാതെ ഫലങ്ങളിൽ ദ്രാവക ആഗിരണം കുറയൽ, മെച്ചപ്പെട്ട ഉപരിതല രൂപഘടന, കുറഞ്ഞ വൈകല്യ നിരക്കുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് വ്യവസായങ്ങളിൽ കനം കുറഞ്ഞതും വലിയ വ്യാസമുള്ളതുമായ വേഫറുകളിലേക്കുള്ള നീക്കത്തെ ഈ മുന്നേറ്റങ്ങൾ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, ഓരോ ഉൽപാദന ചക്രത്തിലും പ്രക്രിയ നിയന്ത്രിതവും സ്ഥിരതയുള്ളതുമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്ന കട്ടിംഗ് ഫ്ലൂയിഡ് മോണിറ്ററിംഗ് സെൻസറുകൾ ഉപയോഗിച്ച്.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഡിസംബർ-25-2025
