Мерењето на протокот е неопходно при сечење на дијамантска жица од силиконски плочки, бидејќи обезбедува прецизно снабдување со течности за сечење до интерфејсот жица-плочка - клучно за одржување на оптимално ладење, подмачкување и отстранување на остатоци.RПодатоците за проток во реално време спречуваат несоодветно или прекумерно снабдување со течност, што инаку би предизвикало прегревање, кинење на жицата, површински дефекти или отпад. Точното мерење ја ублажува варијабилноста на процесот, ја штити рамноста на плочките и интегритетот на површината, го продолжува животниот век на жицата и ја оптимизира ефикасноста на ресурсите.
Преглед на сечење на силиконски плочки и улогата на течностите за сечење
Сечењето со дијамантска жица е доминантна техника за сечење монокристални и мултикристални силициумски инготи во плочки за полупроводнички и фотоволтаични апликации. Во овој процес, челична жица - обично со дијаметар од 40-70 μm - е обложена со дијамантски абразивни зрна. Жицата се движи со голема брзина, а вградените дијаманти го мелат силициумот со абразија, минимизирајќи ги површинските дефекти и промовирајќи униформност на плочките. Жиците со намален дијаметар воведени во последниве години го намалуваат губитокот на сечење, што се однесува на материјалот што се губи како фини силициумски честички за време на операцијата на сечење. Губитокот на сечење се определува според дијаметарот на жицата и висината на абразивните зрна што штрчат од површината на жицата.
Сечење на дијамантска жица
*
Течностите за сечење играат неколку клучни улоги во сечењето со дијамантска жица. Нивната примарна функција е да ги ладат и инготот и жицата, спречувајќи прегревање што може да го оштети силиконот или да го намали животниот век на жицата. Тие исто така ги мијат фините силиконски честички генерирани за време на сечењето, што помага да се одржи чиста меѓусебна површина, да се спречи повторно таложење на остатоци и да се намалат површинските микропукнатини на плочката. Покрај тоа, течностите за сечење го подмачкуваат процесот, намалувајќи го триењето помеѓу жицата и силиконот, со што се продолжува животниот век на жицата и се подобрува квалитетот на сечењето. Составот и физичките својства на течностите за сечење на силиконски плочки - како што се вискозитетот и густината - мора внимателно да се управуваат за да се оптимизира ладењето, отстранувањето на струготини и заштитата на жицата.
Постојат неколку видови течности за сечење плочки, вклучувајќи течности на база на вода со адитиви за подобрено подмачкување и суспензија на честички. Изборот зависи од дизајнот на опремата, спецификациите на плочките и еколошките ограничувања. Примерите вклучуваат дејонизирана вода со сурфактанти или гликоли, формулирани за да се балансира ефикасноста на ладењето со ниско формирање на остатоци.
Еволуцијата кон ултратенки дијамантски жици во современите фабрики за вафли ги засилува предизвиците во испораката на флуиди и контролата на процесот. Како што дијаметарот на жицата се намалува под 40 μm, ризикот од кинење на жицата се зголемува и толеранцијата за флуктуација на процесот се стеснува. Прецизното мерење на брзината на проток - поддржано од технологии како што се мерачи на проток на флуиди за сечење, сензори за мерење на проток со висока прецизност и сензори за проток на маса Кориолис - е од суштинско значење за одржување на ефикасно ладење и отстранување на остатоци. Сензорите за следење на флуидите за сечење и индустриските решенија за мерење на протокот на флуидите за сечење им овозможуваат на операторите да ги следат и прилагодуваат стапките на проток во реално време, постигнувајќи оптимално подмачкување и квалитет на површината. Точноста на мерачите на проток Кориолис е особено критична за управување со флуиди со различна густина и вискозитет, обезбедувајќи конзистентни услови дури и кога брзините на сечење и напнатоста на жиците се зголемуваат.
Оваа зголемена побарувачка за прецизност го помести фокусот кон следење на динамичките параметри на течностите, како што се брзината на проток, густината и вискозитетот. Инструментите како оние од Lonnmeter обезбедуваат сигурни мерења во реално време кои се неопходни за обезбедување на квалитет и оптимизација на процесите во напредните операции за сечење дијамантска жица. Како што технологијата на жици продолжува да напредува, интеграцијата на робусни технологии за мерење на проток е составен дел од одржувањето на пропусноста на плочките, минимизирање на загубата на засек и намалување на барањата за завршна обработка низводно за секторот за производство на силиконски плочки.
Предизвици при испорака на течности при прецизно сечење на дијамантска жица
При сечењето со дијамантска жица на ултратенки силиконски плочки - особено оние под 40 µm - испораката на вистинската количина течност за сечење на силиконски плочки до површината за сечење станува огромен предизвик. Како што се намалува дебелината на жицата, така се намалува и просторот за проток на течност. Одржувањето на конзистентно снабдување со течност за сечење е клучно за да се обезбеди подмачкување, контрола на температурата и отстранување на остатоци на контактната точка.
Неконзистентниот или несоодветен проток на течност директно води до адсорпција на плочки, каде што плочките непожелно се лепат за опремата поради недоволно подмачкување. Ова не само што го нарушува процесот на сечење, туку го зголемува и ризикот од кршење или оштетување на плочките. Рапавоста на површината значително се зголемува кога жицата и плочките не добиваат континуирано подмачкување и ладење од течноста за сечење на дијамантска жица. Добиените оштетени површини и микродефекти го намалуваат квалитетот и приносот на плочките, претставувајќи големи пречки за индустриите за полупроводници и фотоволтаици.
Три главни фактори влијаат врз пенетрацијата на течноста во микро-размерниот јаз за пила: геометријата на жицата, брзината на сечење и капиларното дејство. Геометријата на жицата - поточно дијаметарот на жицата и распределбата на дијамантските зрна - директно влијаат на тоа колку лесно течноста за сечење силиконски плочки тече и се лепи на контактната зона. Кога се користат жици под 40 µm, помалата површина го ограничува слободното движење на течноста. Повисоките брзини на сечење го намалуваат достапното време за течноста да ја достигне и излади интерфејсот, што доведува до локализирано прегревање и лошо подмачкување. Капиларното дејство, природната способност на течноста да се влече во тесни простори, силно го одредува задржувањето на течностите. Сепак, истите течни мостови што го подобруваат транспортот на течности можат да воведат капиларна адхезија помеѓу соседните жици, предизвикувајќи нерамномерна напнатост и зголемување на варијацијата на дебелината на плочките.
Воведувањето на напредни видови течности за сечење плочки - вклучувајќи решенија подобрени со наночестички - овозможува мерливи подобрувања. Течностите конструирани со SiO₂ или SiC наночестички поефикасно продираат во тесни празнини поради оптимизирана вискозност и површинска интеракција. Овие течности го подобруваат подмачкувањето и поефикасно ја одведуваат топлината, што резултира со помала грубост на површината и подобрена рамност на плочките. Истражувањата покажуваат дека употребата на течности натоварени со наночестички го модифицира температурното поле за време на сечењето, дополнително намалувајќи ги напрегањата што го загрозуваат интегритетот на плочките. Ова, во комбинација со техники како што се ултразвучни вибрации за засилување на капиларниот транспорт, овозможува порамномерна испорака на течност за сечење дијамантска жица.
Доследното доставување на течност бара прецизно следење и прилагодување во реално време. Мерењето на протокот на индустриско сечење на течности со висока прецизност станува неопходно, особено во строго контролирани процеси. Имплементирањето на мерач на проток на течности за сечење - како што е сензорот за мерење на масен проток Кориолис со висока точност - овозможува прецизно регулирање на брзината на испорака. Линиските мерачи на густина и вискозитет на Lonnmeter, кога се спарени со алатки за прецизно мерење на брзината на проток, придонесуваат за оптимизирање на снабдувањето со течности, така што дури и најтенките плочки се сечат непречено, со минимален ризик од дефекти.
Мерење на протокот на флуиди во операциите на сечење на плочки
Прецизното мерење на брзината на проток е фундаментално за оптимизирање на испораката на течноста за сечење при сечење со дијамантска жица на силиконски плочки. Ефективноста на течноста за сечење на силиконски плочки директно го обликува ладењето, подмачкувањето и отстранувањето на остатоците на контактната површина, влијаејќи на квалитетот на површината на плочките, губењето на засекот и целокупниот принос на производството. Несоодветниот или прекумерниот проток ја менува ефикасноста на абразијата, го зголемува абењето на алатот и може да предизвика неконзистентен квалитет на плочките или повисоки трошоци за ресурси. Емпириските истражувања покажуваат дека грубоста на површината (Ra) и оштетувањето на подповршината може да се минимизираат со одржување на брзината на проток на течноста за сечење во оптималниот опсег од 0,15–0,25 L/min за типични машини со единечна жица, бидејќи несоодветниот проток доведува до микропукнатини и акумулација на остатоци, додека вишокот проток воведува турбуленција и непотребна потрошувачка.
Технологии за мерење на протокот на течности за сечење
Мерачите на проток на течност за сечење се интегрираат во цевките за снабдување со течност, мерејќи го испорачаниот волумен на течност за сечење дијамантска жица во реално време. Вообичаените технологии за мерење на проток вклучуваат механички, електронски и ултразвучни типови:
- Механичките мерачи на проток, како што се турбинските и лопатките, користат ротирачки компоненти поместени од протокот на флуид. Тие се едноставни и робусни, но подложни на абење од течности полни со абразивни материи.
- Електронските мерачи на проток, особено електромагнетните дизајни, ја мерат брзината на течноста користејќи ги принципите на електромагнетна индукција, нудејќи сигурна работа со мала потреба од одржување за спроводливи течности.
- Ултразвучните мерачи на проток користат високофреквентни звучни бранови што се пренесуваат и примаат низ цевката. Со мерење на временската разлика на транзитот на звукот со и спроти протокот, овие уреди обезбедуваат неинтрузивно, точно мерење погодно за различни типови течности за сечење плочки.
Мерењето на масен проток Кориолис се издвојува во апликации каде што е потребна прецизна контрола на масата на флуидот, без оглед на промените на вискозитетот или температурата. Сензорите за масен проток Кориолис директно ја мерат брзината на масен проток врз основа на Кориолисовиот ефект, обезбедувајќи висока прецизност и соодветност и за течности за сечење дијамантска жица на база на вода и на база на масло. Lonnmeter произведува вградени мерачи на густина и вискозитет, кои дополнително овозможуваат следење на својствата на флуидот за конзистентност и оптимална контрола на процесот при сечење силиконски плочки.
Критични параметри за мерење и поставување на сензорот
Точното мерење на протокот на течност за сечење при сечење на плочки бара внимание на неколку клучни параметри:
- Брзина на проток (L/min): Примарно мерење за оптимизација на процесот и обезбедување квалитет.
- Густина и вискозитет: И двете значително влијаат на перформансите на ладење, транспортот на абразивни материи и чистењето на остатоци.
- Температура: Влијае на вискозитетот и однесувањето на течноста на местото на сечење.
Поставувањето на сензорот е клучно. Сензорите за мерење на проток мора да бидат поставени директно во линијата за испорака на течност што е можно поблиску до зоната на сечење за да се минимизираат несовпаѓањата поради отпорност на цевките, протекување или испарување пред површината за сечење. Мерењето во реално време во линијата гарантира дека пријавената вредност на протокот се совпаѓа со вистинското снабдување со дијамантската жица во областа за сечење.
Функција на мерењето на протокот во одржувањето на оптимални средини за сечење
Сензорите за мерење на проток се неопходни за следење во реално време и адаптивна контрола на испораката на течност при индустриско сечење силиконски плочки. Одржувањето на оптимална брзина на проток обезбедува соодветна дисипација на топлина, континуирано отстранување на остатоци и рамномерно подмачкување по должината на дијамантската жица. Без ова, стабилноста на процесот се намалува, животниот век на жицата се скратува, а приносите страдаат поради зголемен ризик од површински дефекти или прекумерно губење на засекот.
Со интегрирање на мерењето на брзината на проток со висока прецизност со други параметри за повратна информација (на пр., брзина на жица, брзина на напојување), производителите можат да спроведат адаптивна контрола на прагот на процесот, директно поврзувајќи ги прилагодувањата на брзината на проток со набљудуваните перформанси на сечење. Како резултат на тоа, секое отстапување од програмираната рамка на проток предизвикува итна корективна акција, заштитувајќи го и квалитетот на процесот и ефикасноста на ресурсите.
Накратко, мерењето на протокот на индустриско сечење на течности - потпирајќи се на робусни сензори за мерење на проток и податоци во реално време - служи како камен-темелник за производство на силиконски плочки со висок принос и економичност во ерата на сечење дијамантска жица.
Мерење на протокот на маса од Кориолис: Принципи и примена
Мерењето на масовниот проток на Кориолис се базира на откривање на силата што ја врши течноста што се движи низ вибрирачки цевки. Како што тече течноста - како што е течноста за сечење дијамантска жица или специјализираната течност за сечење силиконски плочки - цевките доживуваат мало, мерливо фазно поместување. Ова поместување е пропорционално на брзината на масовниот проток, обезбедувајќи директна квантификација во реално време на масата на испорачаната течност за сечење. Истиот принцип овозможува истовремено мерење на густината на течноста, поддржувајќи висока прецизност низ променливите типови на течности, состави и температури - клучен услов во производството на силиконски плочки и апликациите за сечење дијамантска жица.
Предностите на овој пристап за типовите течности за сечење плочки, особено кога се користат високо-ефикасни течности за сечење дијамантска жица, се значителни. Мерењето на протокот со Кориолис е независно од промените во вискозитетот и составот на течноста, останувајќи многу прецизно во услови на присуство на абразивни честички, наноадитиви или хетерогени мешавини што често се наоѓаат во течностите за сечење на силиконски плочки. Оваа робусност го прави супериорен во однос на традиционалните методи на волуметриски проток, на кои можат да влијаат меурчиња, суспендирани честички и променливи физички својства на напредните течности за сечење.
Сечењето на полупроводнички плочки сè повеќе се потпира на напредна технологија на сензор за проток на флуиди за да се обезбеди сигурно следење на течноста за сечење на силиконските плочки. Сензорите за масен проток во линијата Lonnmeter, кои го користат Кориолисовиот ефект, се имплементираат директно во производните линии. Ова овозможува прецизна испорака и следење на нано-течноста и течноста за сечење со дијамантска жица за време на сечењето на плочките. Знаците на деградација на течноста, недоследностите на смесата или промените на густината се откриваат веднаш, овозможувајќи итни контролни интервенции за одржување на приносот на процесот и квалитетот на површината.
Споредувањето на сензорите за масен проток Кориолис со други сензори за следење на течности за сечење - како што се термички, електромагнетни или ултразвучни системи за проток - открива неколку предности. Сензорите за масен проток Кориолис се одлични во мерењето на протокот со голема прецизност и испорачуваат отчитувања базирани на маса кои не се засегнати од флуктуациите на вискозитетот или магнетните својства. Електромагнетните и ултразвучните мерачи се борат со мешавини од течности за сечење што содржат наночестички, воздушни џебови или минутни варијации на густината, што често доведува до несигурно мерење на брзината на проток и зголемена фреквенција на одржување.
Точноста на Кориолисовиот мерач на проток се одржува при промена на составот на течностите, бидејќи шемите за обработка на сигнали и компензација на температурата ефикасно го филтрираат бучавата и варијациите во животната средина. Операторите можат да ги искористат податоците во реално време за да го оптимизираат ладењето, подмачкувањето и отстранувањето на честичките, реагирајќи на различните својства на различните типови течности за сечење плочки и мешавините на нанофлуиди.
Адаптацијата на мерењето на масовниот проток Кориолис на ултратенки течности за сечење и сечење на жица со наночестички означува пресврт во индустриското следење. Сензорите сигурно го мерат вистинскиот масен проток и густина, без оглед на содржината на честички или хетерогеноста на течноста, овозможувајќи контрола со затворена јамка и автоматизирано управување со течности прилагодено за сечење плочки. Ова ниво на мерење на протокот со голема прецизност е клучно за одржување на стабилноста на процесот, намалување на загубата на материјал и обезбедување на интегритетот на површината за време на изработката на силиконски плочки и процесите на сечење на дијамантска жица.
Интегрирање на податоци од мерење на проток во контрола на процесот
Мерењето на протокот во реално време со помош на сензори за масен проток Кориолис го трансформираше управувањето со течностите за сечење за време на сечењето со дијамантска жица на силиконските плочки. Линиските мерачи на густина и вискозитет, како оние што ги произведува Lonnmeter, овозможуваат моментално следење на својствата на течностите и брзината на проток, директно поддржувајќи ја прецизната контрола на процесот.
Одржувањето на оптимални стапки на проток е од суштинско значење за ефикасно ладење, чистење и подмачкување на дијамантската жица и силиконските плочки. Масовните протокомери Кориолис се одлични во оваа средина со обезбедување високопрецизни повратни информации во реално време за масовниот проток и карактеристиките на течноста. Со овие податоци, автоматизираните системи можат да ги прилагодат брзините на пумпите, позициите на вентилите или стапките на рециклирање за прецизно да го испорачаат потребниот волумен и состав на течноста за сечење плочки. На пример, за време на брзите циклуси на сечење, податоците од сензорите може да предизвикаат зголемена испорака на течност за подобро отстранување и ладење на остатоци, додека побавните циклуси може да бараат намален проток за да се избегне отпад.
Повратните информации од сензорите за мерење на протокот се исто така клучни за реагирање на променливите услови на течноста. Како што вискозитетот или густината на течноста се менуваат - поради промени во температурата или контаминација - вградените мерачи на Lonnmeter веднаш ги детектираат овие варијации, дозволувајќи им на контролните системи да компензираат со прилагодување на стапките на проток или иницирање на филтрација на течноста. Овој грануларен, пристап базиран на податоци гарантира дека течноста останува во рамките на строгите спецификации за оптимални перформанси на сечење.
Во средини со голем обем, можноста за следење и контрола на протокот на течност за сечење во реално време поддржува конзистентна дебелина и ја намалува појавата на скапи дефекти, како што е прикажано во водечките производствени линии во Азија и Европа. Напредното управување со течности, исто така, поддржува предвидливо одржување, продолжувајќи го животниот век на дијамантската жица.
Индустриските операции значително имаат корист од системите за течности за сечење со контролиран проток. Ефикасното управување со течности ги намалува трошоците за потрошувачка и отстранување со тоа што обезбедува доволно течност за секоја плочка, поддржувајќи ја одржливоста и усогласеноста со регулативите. Намалувањето на отпадот од течности - овозможено со континуирани повратни информации и прилагодување врз основа на податоците од сензорите - се преведува во пониски оперативни трошоци и намален еколошки отпечаток.
Накратко, интеграцијата на податоци за мерење на проток во реално време, овозможена од вградените решенија на Lonnmeter, не е само камен-темелник за обезбедување на квалитет на плочки, туку и оперативна предност за процесот на сечење дијамантска жица. Таа обезбедува мерливи подобрувања во завршната обработка на површината, механичката сигурност, приносот на производството и исплатливоста.
Експериментални сознанија и индустриско водство
Неодамнешните експериментални студии ги преобликуваа најдобрите практики во испораката на течности за сечење на силиконски плочки со дијамантска жица. Истражувањата покажуваат дека прецизно управуваното снабдување со течности за сечење, особено со користење на напредни техники, директно корелира со помала адсорпција на плочки и подобар квалитет на површината.
Примената на ултразвучен капиларен ефект во испораката на течности се појави како пресвртница во играта. Ултразвучните бранови ја движат течноста за сечење подлабоко во ултратенки резови - особено во региони потесни од 50 μm - каде што традиционалните методи на снабдување често не успеваат. Оваа подобрена инфилтрација значително ја намалува адсорпцијата на абразивни честички и остатоци на површината на плочката. Емпириските тестови покажуваат дека плочките подложени на ултразвучно потпомогнато снабдување со течност покажуваат мерливо помалку површински дефекти, а со тоа и поголем принос и сигурност во процесите низводно.
Оптимизацијата на параметрите е клучна за максимизирање на придобивките и од ултразвучното подобрување и од нано-флуидните технологии при намалување на испораката на течности. Клучните параметри вклучуваат:
- Растојание на плочата: Јазот помеѓу резервоарот за течност и зоната на сечење мора да се минимизира за оптимално зголемување на нивото на течност.
- Паралелизам на положбата и поставувањето на ултразвучниот трансдуцер: Јасно дефинираната геометрија обезбедува рамномерен пренос на бранови и капиларно дејство.
- Температура на флуидот: Контролираното загревање ја зголемува подвижноста на флуидот и капиларната ефикасност.
- Времетраење и фреквенција на ултразвучна апликација: Соодветното време спречува прегревање, а воедно ја максимизира инфилтрацијата.
- Избор на тип на течност: Различни основни течности и адитиви реагираат единствено на ултразвучна стимулација.
Нанофлуидната технологија воведува уште еден голем напредок. Течностите за сечење збогатени со наночестички како што се SiO2 и SiC покажуваат подобрена топлинска спроводливост и подмачкување. Оваа модификација води до поефикасно ладење, подобрено отстранување на остатоци и намалена грубост на површината на плочките. Податоците покажуваат дека мешаните формулации на наночестички нудат синергистички подобрувања, дополнително намалувајќи ја искривувањето и создавајќи супериорна морфологија на плочките од еден тип или конвенционалните течности за сечење.
Производителите кои сакаат да ја оптимизираат ефикасноста на течноста за сечење можат да ги спроведат следните оперативни упатства:
- Користете вградени мерачи на густина и мерачи на вискозитет (како оние од Lonnmeter) за следење и контрола на конзистентноста на течноста за сечење, осигурувајќи дека својствата на проток остануваат идеални за ултразвучна и нано-асистенција.
- Следете ги и прилагодете ги стапките на проток на течност за сечење со помош на сензор за мерење на проток со висока прецизност. Мерењето на протокот на маса со Кориолис е особено корисно за мерење на протокот на течност за индустриско сечење, нудејќи точност во реално време и за густината и за волуменот.
- Редовно калибрирајте ги сензорите за мерење на проток за да одржувате сигурни отчитувања, што е клучно за конзистентна обработка на плочки.
- Изберете типови на течности за сечење плочки и концентрации на наночестички што одговараат на специфичната големина на плочката, карактеристиките на дијамантската жица и оперативната средина.
Компаративните студии потврдуваат дека промените на параметрите со еден фактор - како што се зголемување на брзината на жицата или прилагодување на брзината на напојување - се во корелација со промените во абењето на жицата, грубоста на површината и варијацијата на вкупната дебелина (TTV). Одржувањето на прецизноста на протокот и брзото, одзивно снабдување со течност се од витално значење и за минимизирање на дефектите и за продолжување на животниот век на жицата.
Често поставувани прашања
Како силиконската течност за сечење плочки ги подобрува перформансите на сечење дијамантска жица?
Течноста за сечење силициумски плочки служи и како лубрикант и како средство за ладење при сечење дијамантска жица. Нејзината примарна функција е да го намали триењето и да ја распрсне топлината генерирана на интерфејсот жица-плоча. Пониското триење и температурите ги минимизираат микропукнатините и гребнатинките на површината, што може да доведе до оштетување на плочките и помал вкупен принос. Течноста, исто така, ги отстранува остатоците од површината на сечење, одржувајќи ја дијамантската жица и површината на плочките чисти. Ова континуирано отстранување на честичките резултира со помазни површини на плочките и поддржува доследно, висококвалитетно производство. На пример, подобрените течности за нано-сечење со SiO₂ и SiC наночестички можат да навлезат подлабоко во засекот, намалувајќи ја грубоста на површината и искривувањето на плочките, дополнително подобрувајќи го излезот на плочките за употреба кај полупроводниците.
Што е мерач на проток на течност за сечење и зошто е важен при сечење на плочи?
Мерачот на проток на течност за сечење ја мери точната количина на течност што се доставува до зоната на сечење. Одржувањето на прецизен проток е од витално значење за соодветно подмачкување, дисипација на топлина и чистење на остатоци. Ако протокот е премногу низок, жицата се прегрева или акумулира остатоци, предизвикувајќи гребнатини и фрактури. Прекумерниот проток може да троши течност и да создаде нерамнотежа на притисокот, влијаејќи на рамноста на плочките и животниот век на алатот. Мерачите на проток на течност за сечење, како што се мерачите на густина на вметната линија и мерачите на вискозитет произведени од Lonnmeter, им помагаат на операторите да го следат и прилагодуваат снабдувањето во реално време. Ова осигурува дека процесот останува во рамките на оптималните параметри, максимизирајќи го приносот на плочките и минимизирајќи го абењето на алатот.
Како мерењето на масовниот проток од Кориолис придонесува за контрола на течноста за сечење на силиконски плочки?
Мерењето на масовниот проток со Кориолис е непроценливо за мерење на протокот со голема прецизност во производството на силиконски плочки. За разлика од традиционалните мерачи на проток, сензорите Кориолис директно го мерат масовниот проток без оглед на вискозитетот на течноста, густината или варијациите на температурата. Оваа функција овозможува прецизно следење на различните типови течности за сечење плочки, вклучувајќи ги и оние со наночестички. Резултатот е конзистентна испорака на течност за сечење со точна брзина, одржувајќи стабилно подмачкување и ладење и покрај флуктуациите на процесот. Овие придобивки директно придонесуваат за супериорен квалитет на плочките во бараните апликации за сечење дијамантска жица, каде што прецизната контрола ги намалува дефектите и ја оптимизира продуктивноста.
Кои фактори влијаат врз мерењето на брзината на проток кај апликациите со дијамантска жичена пила?
Точното мерење на брзината на проток зависи од неколку меѓусебно поврзани варијабли. Изборот на сензор е клучен; на пример, сензорите за масен проток Кориолис обезбедуваат сигурни податоци дури и за вискозни или течности полни со честички. Составот на течноста - како што е присуството на наночестички - може да ја промени вискозноста и густината и да влијае на барањата за калибрација на сензорот. Дијаметарот на жицата и брзината на сечење, исто така, влијаат на тоа колку течност е потребна за ефикасно ладење и отстранување на остатоци. Калибрацијата за секој специфичен процес е од суштинско значење за да се гарантира дека сензорот ги чита вистинските вредности, осигурувајќи се дека се користи вистинската количина на течност за сечење за секоја серија.
Дали нанофлуидите и ултразвучните техники можат да го подобрат пенетрацијата на течностите за време на сечењето на силиконски плочки?
Истражувањата покажуваат дека нанофлуидите, особено оние со SiO₂ и SiC наночестички, ја зголемуваат ефикасноста на испорака на течности до критичниот интерфејс жица-плоча. Овие честички ѝ помагаат на течноста да достигне микроскопски празнини, обезбедувајќи подобро ладење и подмачкување. Дополнително, техниките со ултразвучен капиларен ефект дополнително го подобруваат движењето и пенетрацијата на течностите, особено при сечење на ултратенки жици. Ова значи дека е потребна помалку течност за сечење за да се постигнат оптимални перформанси, а резултатите вклучуваат намалена адсорпција на течности, подобрена површинска морфологија и пониски стапки на дефекти. Овие напредоци го поддржуваат движењето кон потенки плочки со поголем дијаметар и во полупроводничката и во фотоволтаичната индустрија, со сензори за следење на течностите за сечење кои обезбедуваат процесот да остане контролиран и конзистентен во текот на секој производствен циклус.
Време на објавување: 25 декември 2025 година



