Fanosotra simika mekanika

Ireo fanamby amin'ny fanaraha-maso ny fananana slurry

Ny fitazonana ny hakitroky sy ny viskozité tsy miovaova amin'ny slurry amin'ny dingana fanosorana simika sy mekanika dia feno fanamby. Mety miovaova ny toetran'ny slurry noho ny anton-javatra toy ny fitaterana, ny fanalefahana amin'ny rano na peroxyde hydrogène, ny fifangaroana tsy ampy, na ny fahasimbana simika. Ohatra, ny fipetrahan'ny poti-javatra ao anaty slurry bags dia mety hiteraka hakitroky ambony kokoa eo ambany, ka miteraka fanosorana tsy mitovy. Ny fomba fanaraha-maso nentim-paharazana toy ny pH, ny oxidation-reduction potential (ORP), na ny conductivity dia matetika tsy ampy, satria tsy mahita fiovana kely amin'ny firafitry ny slurry. Ireo fetra ireo dia mety hiteraka lesoka, fihenan'ny tahan'ny fanesorana, ary fitomboan'ny fandaniana lany, izay miteraka risika lehibe ho an'ny mpanamboatra fitaovana semiconductor sy mpamatsy serivisy CMP. Ny fiovan'ny firafitra mandritra ny fikirakirana sy ny fizarana dia misy fiantraikany amin'ny fahombiazana. Ny nodes sub-10nm dia mitaky fanaraha-maso henjana kokoa ny fahadiovan'ny slurry sy ny fahamarinan'ny fangaro. Ny pH sy ny ORP dia mampiseho fiovaovana kely indrindra, raha miovaova kosa ny conductivity miaraka amin'ny fahanterana amin'ny slurry. Ny toetran'ny slurry tsy mitovy dia mety hampitombo ny tahan'ny lesoka hatramin'ny 20%, araka ny fanadihadiana indostrialy.

Ireo "capteur" an'ny Lonnmeter ho an'ny fanaraha-maso amin'ny fotoana tena izy

Mamaha ireo olana ireo ny Lonnmeter miaraka amin'ireo metatra hakitroky ny slurry tsy nokleary mandroso arysensoran'ny viscosity, anisan'izany ny metatra viscosity an-tserasera ho an'ny fandrefesana viscosity an-tserasera sy ny metatra hakitroky ultrasonic ho an'ny fanaraha-maso ny hakitroky ny slurry sy ny viscosity miaraka. Ireo sensor ireo dia natao hampidirana tsy misy tomika amin'ny fizotran'ny CMP, miaraka amin'ny fifandraisana manara-penitra indostrialy. Ny vahaolana an'ny Lonnmeter dia manolotra fahatokisana maharitra sy fikojakojana ambany noho ny fanamboarana matanjaka azy. Ny angon-drakitra amin'ny fotoana tena izy dia ahafahan'ny mpandraharaha manatsara ny fifangaroan'ny slurry, misoroka ny lesoka, ary manatsara ny fahombiazan'ny polishing, ka mahatonga ireo fitaovana ireo ho tena ilaina ho an'ny mpamatsy fitaovana famakafakana sy fitsapana ary mpamatsy CMP Consumables.

Tombontsoa azo avy amin'ny fanaraha-maso mitohy ho an'ny fanatsarana ny CMP

Ny fanaraha-maso tsy tapaka miaraka amin'ny sensor an-tserasera an'ny Lonnmeter dia manova ny fizotran'ny fanadiovana simika sy mekanika amin'ny alàlan'ny fanomezana fahatakarana azo ampiharina sy fitsitsiana vola be. Ny fandrefesana ny hakitroky ny slurry amin'ny fotoana tena izy sy ny fanaraha-maso ny viscosity dia mampihena ny lesoka toy ny fikikisana na ny fanadiovana tafahoatra hatramin'ny 20%, araka ny fenitra indostrialy. Ny fampidirana amin'ny rafitra PLC dia ahafahana mifehy ny fatra sy ny dingana, izay miantoka fa ny toetran'ny slurry dia mijanona ao anatin'ny fetra tsara indrindra. Izany dia mitarika amin'ny fihenan'ny fandaniana amin'ny fanjifana 15-25%, ny fampihenana ny fotoana tsy fiasana, ary ny fanatsarana ny fitoviana amin'ny wafer. Ho an'ny Semiconductor Foundries sy CMP Services Providers, ireo tombontsoa ireo dia midika ho vokatra nohatsaraina, tombom-barotra ambony kokoa, ary fanarahana ny fenitra toy ny ISO 6976.