1. ການຈັດบริบทຂັ້ນສູງPການຂັດເງົາ
CMP ໃນ Semiconductor ແມ່ນຫຍັງ?
ການຂັດເງົາກົນຈັກເຄມີ (CMP), ຫຼືທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນນາມການຂັດເງົາກົນຈັກເຄມີ, ເປັນຕົວແທນໜຶ່ງໃນການດຳເນີນງານຂອງໜ່ວຍງານທີ່ທ້າທາຍທາງດ້ານເຕັກໂນໂລຢີ ແລະ ມີຄວາມສຳຄັນທາງດ້ານການເງິນຫຼາຍທີ່ສຸດໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ. ຂັ້ນຕອນພິເສດນີ້ເຮັດວຽກເປັນຂະບວນການປະສົມທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້, ເຮັດໃຫ້ໜ້າຜິວເວເຟີລຽບຢ່າງລະອຽດໂດຍຜ່ານການນຳໃຊ້ການແກະສະຫຼັກທາງເຄມີ ແລະ ການຂັດທາງກາຍະພາບທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ສູງ. CMP ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນວົງຈອນການຜະລິດ, ແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນສຳລັບການກະກຽມເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳສຳລັບຊັ້ນຕໍ່ໆໄປ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການເຊື່ອມໂຍງຄວາມໜາແໜ້ນສູງທີ່ຕ້ອງການໂດຍສະຖາປັດຕະຍະກຳອຸປະກອນທີ່ກ້າວໜ້າ.
CMP ໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳ
*
ຄວາມຈຳເປັນຢ່າງເລິກເຊິ່ງຂອງການຂັດເງົາທາງເຄມີແມ່ນມີຮາກຖານມາຈາກຄວາມຕ້ອງການທາງດ້ານຮ່າງກາຍຂອງການພິມດ້ວຍມືທີ່ທັນສະໄໝ. ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານຫົດຕົວ ແລະ ຫຼາຍຊັ້ນວາງຊ້ອນກັນໃນແນວຕັ້ງ, ຄວາມສາມາດຂອງຂະບວນການໃນການເອົາວັດສະດຸອອກຢ່າງເປັນເອກະພາບ ແລະ ສ້າງພື້ນຜິວທີ່ຮາບພຽງທົ່ວໂລກຈຶ່ງກາຍເປັນສິ່ງສຳຄັນຢ່າງແທ້ຈິງ. ຫົວຂັດແບບໄດນາມິກຖືກອອກແບບມາໃຫ້ໝຸນໄປຕາມແກນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ເຮັດໃຫ້ພູມສັນຖານທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຢູ່ໃນລະດັບທີ່ລະອຽດອ່ອນໃນທົ່ວແຜ່ນ wafer. ສຳລັບການໂອນຮູບແບບທີ່ປະສົບຜົນສຳເລັດ, ໂດຍສະເພາະກັບເຕັກນິກທີ່ທັນສະໄໝເຊັ່ນ: ການພິມດ້ວຍມືທີ່ຮຸນແຮງ Ultraviolet (EUV), ພື້ນຜິວທີ່ປຸງແຕ່ງທັງໝົດຕ້ອງຕົກຢູ່ໃນຄວາມເລິກຂອງພາກສະໜາມທີ່ແຄບຫຼາຍ - ຂໍ້ຈຳກັດທາງເລຂາຄະນິດທີ່ຕ້ອງການຄວາມຮາບພຽງລະດັບ Angstrom ສຳລັບເຕັກໂນໂລຊີທີ່ທັນສະໄໝພາຍໃຕ້ 22 nm. ຖ້າບໍ່ມີພະລັງການຮາບພຽງຂອງຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳ cmp, ຂັ້ນຕອນການພິມດ້ວຍແສງຕໍ່ໆມາຈະສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດຄວາມລົ້ມເຫຼວໃນການຈັດລຽນ, ການບິດເບືອນຮູບແບບ, ແລະ ການປ່ຽນແປງຂອງຜົນຜະລິດຢ່າງຮ້າຍແຮງ.
ການນຳໃຊ້ CMP ຢ່າງແຜ່ຫຼາຍແມ່ນໄດ້ຮັບແຮງຂັບເຄື່ອນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຈາກການປ່ຽນແປງຂອງອຸດສາຫະກຳຈາກຕົວນຳອາລູມີນຽມແບບດັ້ງເດີມໄປສູ່ການເຊື່ອມຕໍ່ທອງແດງທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ການເຄືອບທອງແດງໃຊ້ຂະບວນການສ້າງຮູບແບບເພີ່ມເຕີມ, ເຕັກນິກ Damascene, ເຊິ່ງອີງໃສ່ຄວາມສາມາດທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງ CMP ໃນການກຳຈັດທອງແດງສ່ວນເກີນຢ່າງເລືອກເຟັ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບ ແລະ ຢຸດການກຳຈັດຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີຢູ່ຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ລະຫວ່າງໂລຫະ ແລະ ຊັ້ນສນວນອົກໄຊ. ການກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ມີການຄັດເລືອກສູງນີ້ເນັ້ນໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມສົມດຸນທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກທີ່ລະອຽດອ່ອນທີ່ກຳນົດຂະບວນການ, ຄວາມສົມດຸນທີ່ຖືກທຳລາຍທັນທີໂດຍການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນສື່ການຂັດ.
ໜ້າທີ່ຂອງ CMP ໃນຂະບວນການ Semiconductor
ຂໍ້ກຳນົດບັງຄັບສຳລັບການປ່ຽນແປງທາງພູມສັນຖານທີ່ຕໍ່າຫຼາຍບໍ່ແມ່ນເປົ້າໝາຍພາຍນອກ ແຕ່ເປັນເງື່ອນໄຂການເຮັດວຽກໂດຍກົງສຳລັບການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ຮັບປະກັນການໄຫຼຂອງກະແສໄຟຟ້າທີ່ເໝາະສົມ, ການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ການຈັດລຽງໜ້າທີ່ໃນໂຄງສ້າງຫຼາຍຊັ້ນ. ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງ CMP ແມ່ນການຄຸ້ມຄອງທາງພູມສັນຖານ, ສ້າງຕັ້ງຄວາມຮາບພຽງທີ່ຈຳເປັນສຳລັບຂັ້ນຕອນການປະມວນຜົນທີ່ສຳຄັນທັງໝົດຕໍ່ມາ.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກສະເພາະກໍານົດການເລືອກວັດສະດຸແລະທີ່ສອດຄ້ອງກັນສູດນ້ຳຢາລະລາຍຂະບວນການ CMP ໄດ້ຖືກພັດທະນາຂຶ້ນເພື່ອຈັດການກັບວັດສະດຸທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ລວມທັງທັງທັງສະເຕນ, ທອງແດງ, ຊິລິກອນໄດອອກໄຊ (SiO2), ແລະ ຊິລິກອນໄນໄຕຣດ (SiN). ນ້ຳຢາລະລາຍໄດ້ຖືກປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດຢ່າງລະອຽດເພື່ອປະສິດທິພາບການປັບລະດັບຄວາມລຽບສູງ ແລະ ການເລືອກວັດສະດຸທີ່ໂດດເດັ່ນໃນທົ່ວການນຳໃຊ້ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ລວມທັງການແຍກຮ່ອງຕື້ນ (STI) ແລະ ໄດອີເລັກຕຣິກລະຫວ່າງຊັ້ນ (ILD). ຕົວຢ່າງ, ນ້ຳຢາລະລາຍເຊເຣຍທີ່ມີໜ້າທີ່ສູງຖືກນຳໃຊ້ໂດຍສະເພາະສຳລັບການນຳໃຊ້ ILD ເນື່ອງຈາກປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າໃນການເຮັດໃຫ້ລຽບເປັນຂັ້ນຕອນ, ຄວາມສະເໝີພາບ, ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ. ລັກສະນະທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານສູງຂອງນ້ຳຢາລະລາຍເຫຼົ່ານີ້ຢືນຢັນວ່າຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການທີ່ເກີດຂຶ້ນຈາກການປ່ຽນແປງຂອງການເຄື່ອນໄຫວຂອງນ້ຳຂອງຕົວກາງການຂັດຈະລະເມີດຄວາມຕ້ອງການພື້ນຖານສຳລັບການກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ເລືອກໄວ້ໃນທັນທີ.
2. ບົດບາດສຳຄັນຂອງສຸຂະພາບຂອງ CMP Slurry
CMP ໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳ
ປະສິດທິຜົນທີ່ຍືນຍົງຂອງຂະບວນການ cmp ຂັດເງົາກົນຈັກທາງເຄມີແມ່ນຂຶ້ນກັບການສົ່ງ ແລະ ປະສິດທິພາບທີ່ສະໝ່ຳສະເໝີຂອງນ້ຳຢາ, ເຊິ່ງເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວກາງທີ່ສຳຄັນທີ່ອຳນວຍຄວາມສະດວກທັງປະຕິກິລິຍາເຄມີທີ່ຈຳເປັນ ແລະ ການຂັດຖູທາງກົນຈັກ. ນ້ຳຢາທີ່ສັບສົນນີ້, ມີລັກສະນະເປັນນ້ຳຢາລະງັບຄໍລອຍດ໌, ຕ້ອງສົ່ງສ່ວນປະກອບທີ່ສຳຄັນຂອງມັນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ເປັນເອກະພາບ, ລວມທັງສານເຄມີ (ຕົວຜຸພັງ, ຕົວເລັ່ງ, ແລະ ຕົວຍັບຍັ້ງການກັດກ່ອນ) ແລະ ອະນຸພາກຂັດຂະໜາດນາໂນ, ໄປຫາໜ້າດິນແຜ່ນເວເຟີແບບໄດນາມິກ.
ສ່ວນປະກອບຂອງນໍ້າຢາລະລາຍຖືກອອກແບບມາເພື່ອກະຕຸ້ນປະຕິກິລິຍາເຄມີສະເພາະ: ຂະບວນການທີ່ດີທີ່ສຸດແມ່ນອີງໃສ່ການສ້າງຊັ້ນອົກໄຊທີ່ບໍ່ລະລາຍໃນວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ, ເຊິ່ງຫຼັງຈາກນັ້ນຈະຖືກກຳຈັດອອກດ້ວຍກົນຈັກໂດຍອະນຸພາກຂັດ. ກົນໄກນີ້ໃຫ້ຄວາມສາມາດໃນການເລືອກເຟັ້ນພູມສັນຖານທີ່ສູງທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການສ້າງແບບຮາບພຽງທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ໂດຍສຸມໃສ່ການກຳຈັດໃສ່ຈຸດສູງ ຫຼື ຈຸດທີ່ຍື່ນອອກມາ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຖ້າປະຕິກິລິຍາເຄມີຜະລິດສະຖານະອົກໄຊທີ່ລະລາຍ, ການກຳຈັດວັດສະດຸຈະເປັນແບບໄອໂຊໂທຣປິກ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງລົບລ້າງຄວາມສາມາດໃນການເລືອກເຟັ້ນພູມສັນຖານທີ່ຕ້ອງການ. ສ່ວນປະກອບທາງກາຍະພາບຂອງນໍ້າຢາລະລາຍມັກຈະປະກອບດ້ວຍອະນຸພາກຂັດ (ເຊັ່ນ: ຊິລິກາ, ເຊເຣຍ) ທີ່ມີຂະໜາດຕັ້ງແຕ່ 30 ຫາ 200 nm, ລະລາຍຢູ່ໃນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນລະຫວ່າງຂອງແຂງ 0.3 ຫາ 12 ເປີເຊັນນ້ຳໜັກ.
ບໍລິສັດ CMP Slurry Semiconductor
ການຮັກສາສຸຂະພາບຂອງເຄິ່ງຕົວນຳ CMP slurryຕ້ອງການການກຳນົດລັກສະນະ ແລະ ການຄວບຄຸມທີ່ບໍ່ຢຸດຢັ້ງຕະຫຼອດວົງຈອນຊີວິດຂອງມັນ, ຍ້ອນວ່າການເສື່ອມສະພາບໃດໆໃນລະຫວ່າງການຈັດການ ຫຼື ການໄຫຼວຽນສາມາດນຳໄປສູ່ການສູນເສຍທາງດ້ານການເງິນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ຂັດເງົາສຸດທ້າຍ, ເຊິ່ງຖືກກຳນົດໂດຍຄວາມລຽບຂອງລະດັບນາໂນ ແລະ ລະດັບຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງມັນ, ແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງໂດຍກົງກັບຄວາມສົມບູນຂອງການແຈກຢາຍຂະໜາດອະນຸພາກ (PSD) ຂອງນ້ຳຢາລະລາຍ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງໂດຍລວມ.
ລັກສະນະພິເສດຂອງສິ່ງຕ່າງໆປະເພດນໍ້າຢາ cmpໝາຍຄວາມວ່າອະນຸພາກຂະໜາດນາໂນຈະຖືກສະຖຽນລະພາບໂດຍແຮງໄຟຟ້າສະຖິດທີ່ອ່ອນໂຍນພາຍໃນສານລະລາຍ. ສ່ວນປະກອບທີ່ລະລາຍມັກຈະຖືກສະໜອງໃຫ້ໃນຮູບແບບເຂັ້ມຂຸ້ນ ແລະ ຕ້ອງການການລະລາຍ ແລະ ການປະສົມກັບນ້ຳ ແລະ ສານຜຸພັງຢ່າງແນ່ນອນຢູ່ໃນສະຖານທີ່ຜະລິດ. ສິ່ງສຳຄັນ, ການອີງໃສ່ອັດຕາສ່ວນການປະສົມແບບຄົງທີ່ແມ່ນມີຂໍ້ບົກຜ່ອງຢ່າງພື້ນຖານເພາະວ່າວັດສະດຸເຂັ້ມຂຸ້ນທີ່ເຂົ້າມາສະແດງໃຫ້ເຫັນການປ່ຽນແປງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຊຸດຕໍ່ຊຸດໂດຍທຳມະຊາດ.
ສຳລັບການຄວບຄຸມຂະບວນການ, ໃນຂະນະທີ່ການວິເຄາະໂດຍກົງຂອງ PSD ແລະ ທ່າແຮງ zeta (ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຄໍລອຍດອຍ) ແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ, ເຕັກນິກເຫຼົ່ານີ້ມັກຈະຖືກນຳໄປໃຊ້ການວິເຄາະແບບບໍ່ຕໍ່ເນື່ອງ. ຄວາມເປັນຈິງໃນການດຳເນີນງານຂອງສະພາບແວດລ້ອມ HVM ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຕອບສະໜອງທັນທີທັນໃດໃນເວລາຈິງ. ດັ່ງນັ້ນ, ຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດຈຶ່ງເປັນຕົວແທນທີ່ມີປະສິດທິພາບ ແລະ ສາມາດປະຕິບັດໄດ້ຫຼາຍທີ່ສຸດສຳລັບສຸຂະພາບຂອງນ້ຳເປື້ອນ. ຄວາມໜາແໜ້ນໃຫ້ການວັດແທກຢ່າງວ່ອງໄວ ແລະ ຕໍ່ເນື່ອງຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຂອງແຂງທີ່ມີສານຂັດທັງໝົດໃນຕົວກາງ. ຄວາມໜືດກໍ່ມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າທຽມກັນ, ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວຊີ້ບອກທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງຂອງສະຖານະຄໍລອຍດອຍ ແລະ ຄວາມສົມບູນທາງຄວາມຮ້ອນຂອງນ້ຳ. ຄວາມໜືດທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງມັກຈະເປັນສັນຍານຂອງອະນຸພາກທີ່ມີສານຂັດ.ການລວມຕົວກັນຫຼື ການລວມຕົວກັນຄືນໃໝ່, ໂດຍສະເພາະພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການຕັດແບບໄດນາມິກ. ດັ່ງນັ້ນ, ການຕິດຕາມກວດກາ ແລະ ການຄວບຄຸມຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງສອງພາລາມິເຕີ rheological ເຫຼົ່ານີ້ສະໜອງວົງຈອນການຕອບສະໜອງທີ່ທັນທີ ແລະ ສາມາດປະຕິບັດໄດ້ທີ່ຕ້ອງການເພື່ອກວດສອບວ່ານ້ຳຢາລະລາຍຮັກສາສະຖານະພາບທາງເຄມີ ແລະ ທາງກາຍະພາບທີ່ລະບຸໄວ້ໃນຈຸດບໍລິໂພກ.
3. ການວິເຄາະຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງກົນໄກ: ຕົວກະຕຸ້ນຂໍ້ບົກຜ່ອງ
ຜົນກະທົບທາງລົບທີ່ເກີດຈາກຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດຂອງ CMP
ການປ່ຽນແປງຂອງຂະບວນການຖືກຮັບຮູ້ວ່າເປັນຜູ້ປະກອບສ່ວນທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດອັນດຽວທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມສ່ຽງດ້ານຜົນຜະລິດໃນການຜະລິດທີ່ມີປະລິມານສູງcmp ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຄຸນລັກສະນະຂອງນໍ້າຢາລະລາຍ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າ "ສຸຂະພາບຂອງນໍ້າຢາລະລາຍ," ແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງຕໍ່ການປ່ຽນແປງທີ່ເກີດຈາກແຮງຕັດຂອງປໍ້າ, ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ, ແລະ ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງການປະສົມ. ຄວາມລົ້ມເຫຼວທີ່ເກີດຈາກລະບົບການໄຫຼຂອງນໍ້າຢາລະລາຍແມ່ນແຕກຕ່າງຈາກບັນຫາກົນຈັກຢ່າງດຽວ, ແຕ່ທັງສອງຢ່າງເຮັດໃຫ້ເກີດເສດແຜ່ນເວເຟີທີ່ສຳຄັນ ແລະ ມັກຈະຖືກກວດພົບຊ້າເກີນໄປໂດຍລະບົບຈຸດສິ້ນສຸດຫຼັງຂະບວນການ.
ການມີອະນຸພາກ ຫຼື ການລວມຕົວກັນຂອງອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່ເກີນໄປໃນເຄິ່ງຕົວນຳ cmpວັດສະດຸດັ່ງກ່າວມີການເຊື່ອມໂຍງກັບການສ້າງຮອຍຂີດຂ່ວນຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ຮ້າຍແຮງອື່ນໆຢູ່ເທິງໜ້າດິນແຜ່ນເວເຟີທີ່ຂັດເງົາ. ຄວາມຜັນຜວນຂອງຕົວກໍານົດການ rheological ທີ່ສຳຄັນ - ຄວາມໜືດ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນ - ແມ່ນຕົວຊີ້ບອກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງທີ່ຊີ້ບອກເຖິງຄວາມສົມບູນຂອງນ້ຳເຊື່ອມ, ເຊິ່ງເປັນການເລີ່ມຕົ້ນກົນໄກການສ້າງຂໍ້ບົກຜ່ອງ.
ການຜັນຜວນຂອງຄວາມໜືດຂອງນໍ້າຢາລະລາຍ (ເຊັ່ນ: ນຳໄປສູ່ການລວມຕົວກັນ, ການປ່ຽນແປງຂອງແຮງຕັດ)
ຄວາມໜືດແມ່ນຄຸນສົມບັດທາງເທີໂມໄດນາມິກທີ່ຄວບຄຸມພຶດຕິກຳການໄຫຼ ແລະ ການເຄື່ອນໄຫວຂອງແຮງສຽດທານຢູ່ທີ່ໜ້າຂັດ, ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ຄວາມກົດດັນດ້ານສິ່ງແວດລ້ອມ ແລະ ກົນຈັກເປັນພິເສດ.
ການປະຕິບັດທາງເຄມີ ແລະ ທາງກາຍະພາບຂອງເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຄວາມໜືດຂອງນໍ້າຢາລະລາຍລະບົບແມ່ນຂຶ້ນກັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ການຄົ້ນຄວ້າຢືນຢັນວ່າ ເຖິງແມ່ນວ່າການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມຂອງຂະບວນການພຽງແຕ່ 5°C ເລັກນ້ອຍກໍ່ສາມາດນໍາໄປສູ່ການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມໜືດຂອງນໍ້າຢາປະມານ 10%. ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜືດນີ້ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໜາຂອງຟິມໄຮໂດຣໄດນາມິກທີ່ແຍກແຜ່ນເວເຟີອອກຈາກແຜ່ນຂັດ. ຄວາມໜືດທີ່ຫຼຸດລົງນໍາໄປສູ່ການຫຼໍ່ລື່ນບໍ່ພຽງພໍ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດແຮງສຽດທານທາງກົນຈັກເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເປັນສາເຫດຕົ້ນຕໍຂອງຮອຍຂີດຂ່ວນຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ການສິ້ນເປືອງຂອງແຜ່ນຂັດໄວຂຶ້ນ.
ເສັ້ນທາງການເຊື່ອມໂຊມທີ່ສຳຄັນກ່ຽວຂ້ອງກັບການຈັດກຸ່ມອະນຸພາກທີ່ເກີດຈາກແຮງຕັດ. ນ້ຳເປື້ອນທີ່ມີຊິລິກາຮັກສາການແຍກອະນຸພາກຜ່ານແຮງຕ້ານໄຟຟ້າສະຖິດທີ່ລະອຽດອ່ອນ. ເມື່ອນ້ຳເປື້ອນພົບກັບຄວາມກົດດັນແຮງຕັດສູງ - ເຊິ່ງມັກເກີດຂຶ້ນໂດຍປໍ້າແຮງໜີສູນກາງແບບທຳມະດາທີ່ບໍ່ເໝາະສົມ ຫຼື ການໄຫຼວຽນຂອງນ້ຳຄືນຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນວົງຈອນການແຈກຢາຍ - ແຮງເຫຼົ່ານີ້ສາມາດເອົາຊະນະໄດ້, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການເກີດການແຕກຫັກຢ່າງໄວວາ ແລະ ບໍ່ສາມາດປ່ຽນແປງໄດ້.ການລວມຕົວກັນຂອງອະນຸພາກຂັດ. ມວນສານຂະໜາດໃຫຍ່ທີ່ເກີດຂຶ້ນເຮັດໜ້າທີ່ເປັນເຄື່ອງມືເຈາະຂະໜາດນ້ອຍ, ເຮັດໃຫ້ເກີດຮອຍຂີດຂ່ວນຂະໜາດນ້ອຍທີ່ຮ້າຍແຮງໂດຍກົງເທິງໜ້າດິນແຜ່ນເວເຟີ. ຄວາມໜືດໃນເວລາຈິງແມ່ນກົນໄກການຕອບສະໜອງທີ່ຈຳເປັນເພື່ອກວດຫາເຫດການເຫຼົ່ານີ້, ເຊິ່ງສະໜອງການກວດສອບທີ່ສຳຄັນຂອງ "ຄວາມອ່ອນໂຍນ" ຂອງລະບົບສູບນ້ຳ ແລະ ລະບົບແຈກຈ່າຍກ່ອນທີ່ຈະເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງຂະໜາດໃຫຍ່.
ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜືດທີ່ເກີດຂຶ້ນຍັງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງການສ້າງຄວາມລຽບງ່າຍຢ່າງຮ້າຍແຮງ. ເນື່ອງຈາກຄວາມໜືດເປັນປັດໄຈຫຼັກທີ່ມີອິດທິພົນຕໍ່ຄ່າສຳປະສິດຂອງແຮງສຽດທານໃນລະຫວ່າງການຂັດເງົາ, ໂປຣໄຟລ໌ຄວາມໜືດທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຈະນໍາໄປສູ່ອັດຕາການກໍາຈັດວັດສະດຸທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງກັນ. ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຄວາມໜືດໃນທ້ອງຖິ່ນ, ໂດຍສະເພາະໃນອັດຕາການຕັດສູງທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນລັກສະນະທີ່ຍົກຂຶ້ນມາຂອງພູມສັນຖານແຜ່ນເວເຟີ, ປ່ຽນແປງການເຄື່ອນໄຫວຂອງແຮງສຽດທານ ແລະ ທໍາລາຍເປົ້າໝາຍການສ້າງຄວາມລຽບງ່າຍ, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ນໍາໄປສູ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງທາງພູມສັນຖານເຊັ່ນ: ການແຍກສ່ວນ ແລະ ການກັດເຊາະ.
ການເຫນັງຕີງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນ
ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນແມ່ນຕົວຊີ້ວັດທີ່ວ່ອງໄວ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນໂດຍລວມຂອງຂອງແຂງທີ່ມີສານຂັດທີ່ລະລາຍຢູ່ພາຍໃນນໍ້າ. ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນສົ່ງສັນຍານເຖິງການສົ່ງນໍ້າເປື້ອນທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການປ່ຽນແປງຂອງອັດຕາການກຳຈັດວັດສະດຸ (MRR) ແລະ ການສ້າງຂໍ້ບົກພ່ອງ.
ສະພາບແວດລ້ອມການດຳເນີນງານຈຳເປັນຕ້ອງມີການກວດສອບສ່ວນປະກອບຂອງນ້ຳລົ້ນແບບເຄື່ອນໄຫວ. ການອີງໃສ່ການເພີ່ມປະລິມານນ້ຳ ແລະ ສານອົກຊີເຈນທີ່ກຳນົດໄວ້ໃນກຸ່ມທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນທີ່ເຂົ້າມາຢ່າງດຽວແມ່ນບໍ່ພຽງພໍ, ເພາະວ່າຄວາມໜາແໜ້ນຂອງວັດຖຸດິບມັກຈະແຕກຕ່າງກັນ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງກັນຢູ່ທີ່ຫົວເຄື່ອງມື. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ອະນຸພາກຂັດ, ໂດຍສະເພາະອະນຸພາກເຊເຣຍທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງ, ຈະຖືກຕົກຕະກອນຖ້າຄວາມໄວຂອງການໄຫຼ ຫຼື ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຄໍລອຍດ໌ບໍ່ພຽງພໍ. ການຕົກຕະກອນນີ້ສ້າງຄວາມໜາແໜ້ນໃນທ້ອງຖິ່ນ ແລະ ການລວມຕົວຂອງວັດສະດຸພາຍໃນສາຍການໄຫຼ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມສາມາດໃນການສົ່ງນ້ຳໜັກຂັດທີ່ສອດຄ່ອງຫຼຸດລົງຢ່າງຮ້າຍແຮງ.
How Dຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນDການບິນAffອື່ນໆ Manຢູແຟກທົ່ງຫຍ້າອິງProcess?.
ຜົນສະທ້ອນໂດຍກົງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງສະແດງອອກເປັນຂໍ້ບົກຜ່ອງທາງກາຍະພາບທີ່ສຳຄັນຢູ່ເທິງໜ້າດິນທີ່ຂັດເງົາ:
ອັດຕາການກຳຈັດທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ (WIWNU):ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນແປໂດຍກົງໄປສູ່ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອະນຸພາກຂັດທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທີ່ນຳສະເໜີຢູ່ທີ່ໜ້າຂັດ. ຄວາມໜາແໜ້ນຕ່ຳກວ່າທີ່ກຳນົດໄວ້ຊີ້ບອກເຖິງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງການຂັດທີ່ຫຼຸດລົງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ MRR ຫຼຸດລົງ ແລະ ສ້າງຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີພາຍໃນແຜ່ນເຫຼັກທີ່ບໍ່ສາມາດຍອມຮັບໄດ້ (WIWNU). WIWNU ທຳລາຍຄວາມຕ້ອງການພື້ນຖານໃນການປັບຮູບຮ່າງ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຄວາມໜາແໜ້ນສູງທີ່ຕັ້ງຢູ່ບໍລິເວນນັ້ນເພີ່ມພາລະຂອງອະນຸພາກທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການກຳຈັດວັດສະດຸຫຼາຍເກີນໄປ. ການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຢ່າງເຂັ້ມງວດຮັບປະກັນການສົ່ງສານຂັດທີ່ສອດຄ່ອງ, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງຢ່າງແຂງແຮງກັບແຮງສຽດທານທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ MRR ທີ່ຄາດເດົາໄດ້.
ການເປັນຮູເນື່ອງຈາກການປ່ຽນແປງຂອງການຂັດທີ່ທ້ອງຖິ່ນ:ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງຂອງຂອງແຂງຂັດໃນທ້ອງຖິ່ນ, ເຊິ່ງມັກຈະເກີດຈາກການຕົກຕະກອນ ຫຼື ການປະສົມທີ່ບໍ່ພຽງພໍ, ນຳໄປສູ່ການໂຫຼດສູງຕໍ່ອະນຸພາກໃນໜ້າເວເຟີ. ເມື່ອອະນຸພາກຂັດ, ໂດຍສະເພາະເຊເຣຍ, ຍຶດຕິດກັບຊັ້ນແກ້ວອອກໄຊຢ່າງແຂງແຮງ, ແລະ ມີຄວາມກົດດັນຂອງໜ້າຜິວ, ການໂຫຼດທາງກົນຈັກສາມາດເຮັດໃຫ້ຊັ້ນແກ້ວແຕກ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດຮອຍແຕກເລິກ ແລະ ມີຂອບແຫຼມ.ການເຈາະຂຸມຂໍ້ບົກຜ່ອງ. ການປ່ຽນແປງຂອງສານຂັດເຫຼົ່ານີ້ສາມາດເກີດຈາກການກັ່ນຕອງທີ່ຖືກທຳລາຍ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມວນສານຂະໜາດໃຫຍ່ເກີນໄປ (ອະນຸພາກທີ່ໃຫຍ່ກວ່າ $0.5 \mu m$) ຜ່ານໄປ, ເຊິ່ງເປັນຜົນມາຈາກການລະລາຍຂອງອະນຸພາກທີ່ບໍ່ດີ. ການຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜາແໜ້ນໃຫ້ລະບົບເຕືອນໄພທີ່ສຳຄັນ ແລະ ສົມບູນກັບຕົວນັບອະນຸພາກ, ຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນຂະບວນການສາມາດກວດພົບການເລີ່ມຕົ້ນຂອງການລວມກຸ່ມຂອງສານຂັດ ແລະ ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງພາລະຂັດ.
ການສ້າງສິ່ງເສດເຫຼືອຈາກການລະງັບອະນຸພາກທີ່ບໍ່ດີ:ເມື່ອລະບົບລະງັບບໍ່ໝັ້ນຄົງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ວັດສະດຸແຂງຈະມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະສະສົມຢູ່ໃນສະຖາປັດຕະຍະກຳການໄຫຼ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຄື້ນຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ການລວມຕົວຂອງວັດສະດຸໃນລະບົບການແຈກຢາຍ.17ນອກຈາກນັ້ນ, ໃນລະຫວ່າງການຂັດເງົາ, ນ້ຳຢາຕ້ອງດູດຊຶມທັງຜະລິດຕະພັນປະຕິກິລິຍາເຄມີ ແລະ ສິ່ງເສດເຫຼືອທາງກົນຈັກອອກໄປຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ຖ້າການລະງັບອະນຸພາກ ຫຼື ການເຄື່ອນໄຫວຂອງນ້ຳບໍ່ດີຍ້ອນຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງ, ສິ່ງເສດເຫຼືອເຫຼົ່ານີ້ຈະບໍ່ຖືກກຳຈັດອອກຈາກໜ້າດິນແຜ່ນເວເຟີຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ອະນຸພາກຫຼັງ CMP ແລະ ສານເຄມີເສດເຫຼືອຂໍ້ບົກຜ່ອງ. ການລະງັບອະນຸພາກທີ່ໝັ້ນຄົງ, ຮັບປະກັນໂດຍການຕິດຕາມກວດກາການໄຫຼວຽນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ສະອາດ ແລະ ຕໍ່ເນື່ອງ.
ຮຽນຮູ້ກ່ຽວກັບເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນເພີ່ມເຕີມ
ເຄື່ອງວັດແທກຂະບວນການອອນໄລນ໌ເພີ່ມເຕີມ
4. ຄວາມເໜືອກວ່າທາງດ້ານເຕັກນິກຂອງການວັດແທກແບບອິນໄລນ໌
ເຄື່ອງວັດຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດໃນເສັ້ນ Lonnmeter
ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຂະບວນການ CMP ທີ່ມີຄວາມຜັນຜວນມີຄວາມໝັ້ນຄົງ, ການວັດແທກຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ບໍ່ມີການຜ່າຕັດຂອງຕົວກໍານົດການສຸຂະພາບຂອງນໍ້າລາຍແມ່ນສິ່ງຈໍາເປັນ.ເຄື່ອງວັດຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດໃນເສັ້ນ Lonnmeterນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີເຊັນເຊີສະທ້ອນທີ່ກ້າວໜ້າສູງ, ໃຫ້ປະສິດທິພາບທີ່ດີກວ່າເມື່ອທຽບກັບອຸປະກອນວັດແທກແບບດັ້ງເດີມທີ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະມີຄວາມຊັກຊ້າ. ຄວາມສາມາດນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ການຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ລຽບງ່າຍ ແລະ ຕໍ່ເນື່ອງທີ່ປະສົມປະສານໂດຍກົງກັບເສັ້ນທາງການໄຫຼ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການຕອບສະໜອງມາດຕະຖານຄວາມບໍລິສຸດທີ່ເຂັ້ມງວດ ແລະ ມາດຕະຖານຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປະສົມຂອງໂຫນດຂະບວນການພາຍໃຕ້ຂະໜາດ 28nm ທີ່ທັນສະໄໝ.
ລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບຫຼັກການເຕັກໂນໂລຊີຫຼັກ, ຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງການວັດແທກ, ຄວາມໄວໃນການຕອບສະໜອງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງ, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມ CMP ທີ່ຮຸນແຮງ, ແລະ ແຍກຄວາມແຕກຕ່າງຈາກວິທີການອອບໄລນ໌ແບບດັ້ງເດີມ.
ການອັດຕະໂນມັດຂອງຂະບວນການທີ່ມີປະສິດທິພາບຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີເຊັນເຊີທີ່ຖືກອອກແບບມາໃຫ້ເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖືພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການເຄື່ອນໄຫວຂອງການໄຫຼສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງ, ແລະ ການສຳຜັດກັບສານເຄມີທີ່ຂັດ, ເຊິ່ງສະໜອງການຕອບສະໜອງທັນທີສຳລັບລະບົບຄວບຄຸມ.
ຫຼັກການເຕັກໂນໂລຊີຫຼັກ: ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງເຄື່ອງສະທ້ອນແສງ
ເຄື່ອງມື Lonnmeter ນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການສະທ້ອນທີ່ແຂງແຮງທີ່ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງທີ່ມີຢູ່ໃນເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ U ແບບດັ້ງເດີມ, ເຊິ່ງເປັນບັນຫາຫຼາຍສຳລັບການໃຊ້ແບບ inline ກັບນ້ຳຢາລະງັບຄໍລອຍດອຍທີ່ຂັດ.
ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນ:ເທເຄື່ອງວັດຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍໃຊ້ອົງປະກອບສັ່ນສະເທືອນທີ່ເຊື່ອມເຕັມທີ່, ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນຊຸດສ້ອມ ຫຼື ຕົວສະທ້ອນສຽງຮ່ວມແກນ. ອົງປະກອບນີ້ຖືກກະຕຸ້ນດ້ວຍ piezo-electrical ໃຫ້ສັ່ນສະເທືອນທີ່ຄວາມຖີ່ທຳມະຊາດຂອງມັນ. ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳອ້ອມຂ້າງເຮັດໃຫ້ເກີດການປ່ຽນແປງທີ່ຊັດເຈນໃນຄວາມຖີ່ທຳມະຊາດນີ້, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດກຳນົດຄວາມໜາແໜ້ນໂດຍກົງ ແລະ ໜ້າເຊື່ອຖືໄດ້ສູງ.
ການວັດແທກຄວາມໜືດ:ເທເຄື່ອງວັດຄວາມໜືດຂອງນໍ້າຢາໃນຂະບວນການໃຊ້ເຊັນເຊີທີ່ທົນທານເຊິ່ງສັ່ນສະເທືອນພາຍໃນຂອງແຫຼວ. ການອອກແບບຮັບປະກັນວ່າການວັດແທກຄວາມໜືດຖືກແຍກອອກຈາກຜົນກະທົບຂອງການໄຫຼຂອງນ້ຳປະລິມານຫຼາຍ, ເຊິ່ງສະໜອງການວັດແທກພາຍໃນຂອງຄວາມຄ່ອງຕົວຂອງວັດສະດຸ.
ປະສິດທິພາບການດຳເນີນງານ ແລະ ຄວາມຢືດຢຸ່ນ
ການວັດແທກແບບສະທ້ອນໃນເສັ້ນສະແດງຂໍ້ມູນການປະຕິບັດທີ່ສຳຄັນທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການຄວບຄຸມ HVM ທີ່ເຂັ້ມງວດ:
ຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຄວາມໄວໃນການຕອບສະໜອງ:ລະບົບແບບອິນໄລນ໌ໃຫ້ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ສູງ, ມັກຈະບັນລຸໄດ້ດີກວ່າ 0.1% ສຳລັບຄວາມໜືດ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຄວາມແມ່ນຍຳລົງເຖິງ 0.001 g/cc. ສຳລັບການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ແຂງແຮງ, ມາດຕະຖານສູງນີ້ຄວາມແມ່ນຍຳ—ຄວາມສາມາດໃນການວັດແທກຄ່າດຽວກັນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ກວດຈັບຄວາມຜິດປົກກະຕິເລັກນ້ອຍໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖື—ມັກຈະມີຄຸນຄ່າຫຼາຍກວ່າຄວາມຖືກຕ້ອງຢ່າງແທ້ຈິງ. ສິ່ງສຳຄັນ, ສັນຍານເວລາຕອບສະໜອງສຳລັບເຊັນເຊີເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນໄວເປັນພິເສດ, ໂດຍປົກກະຕິປະມານ 5 ວິນາທີ. ການຕອບສະໜອງທີ່ເກືອບທັນທີນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດກວດຫາຂໍ້ບົກພ່ອງໄດ້ທັນທີ ແລະ ການປັບວົງຈອນປິດໂດຍອັດຕະໂນມັດ, ເຊິ່ງເປັນຄວາມຕ້ອງການຫຼັກສຳລັບການປ້ອງກັນການເຄື່ອນທີ່.
ຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ:ນ້ຳຢາ CMP ແມ່ນມີຄວາມຮຸນແຮງໂດຍທຳມະຊາດ. ເຄື່ອງມືໃນລະບົບທີ່ທັນສະໄໝຖືກສ້າງຂຶ້ນເພື່ອຄວາມທົນທານ, ໂດຍໃຊ້ວັດສະດຸ ແລະ ການຕັ້ງຄ່າສະເພາະສຳລັບການຕິດຕັ້ງໂດຍກົງໃນທໍ່ສົ່ງ. ເຊັນເຊີເຫຼົ່ານີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອເຮັດວຽກໃນຄວາມດັນທີ່ຫຼາກຫຼາຍ (ເຊັ່ນ: ສູງເຖິງ 6.4 MPa) ແລະ ອຸນຫະພູມ (ສູງເຖິງ 350 ℃). ການອອກແບບທີ່ບໍ່ແມ່ນທໍ່ຮູບຕົວ U ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນເຂດທີ່ບໍ່ມີຊີວິດ ແລະ ຄວາມສ່ຽງໃນການອຸດຕັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບສື່ທີ່ມີສານຂັດ, ເພີ່ມເວລາການເຮັດວຽກຂອງເຊັນເຊີ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນການດຳເນີນງານໃຫ້ສູງສຸດ.
ຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງວິທີການອອບໄລນ໌ແບບດັ້ງເດີມ
ຄວາມແຕກຕ່າງທາງດ້ານໜ້າທີ່ລະຫວ່າງລະບົບອັດຕະໂນມັດໃນລະບົບ ແລະ ວິທີການອອບລາຍດ້ວຍຕົນເອງ ກຳນົດຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງການຄວບຄຸມຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການຢ່າງຕັ້ງໜ້າ.
| ເກນການຕິດຕາມກວດກາ | ອອບໄລນ໌ (ການເກັບຕົວຢ່າງໃນຫ້ອງທົດລອງ/ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ U) | ເຄື່ອງວັດຄວາມໜາແໜ້ນ/ເຄື່ອງວັດຄວາມໜືດແບບອິນໄລນ໌ (Lonnmeter) | ຜົນກະທົບຂອງຂະບວນການ |
| ຄວາມໄວໃນການວັດແທກ | ຊັກຊ້າ (ຊົ່ວໂມງ) | ເວລາຈິງ, ຕໍ່ເນື່ອງ (ເວລາຕອບສະໜອງມັກຈະ 5 ວິນາທີ) | ເຮັດໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມຂະບວນການແບບວົງຈອນປິດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ ແລະ ປ້ອງກັນໄດ້. |
| ຄວາມສອດຄ່ອງ/ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງຂໍ້ມູນ | ຕໍ່າ (ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ຄວາມຜິດພາດດ້ວຍຕົນເອງ, ການເສື່ອມສະພາບຂອງຕົວຢ່າງ) | ສູງ (ອັດຕະໂນມັດ, ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳ/ຄວາມແມ່ນຍຳສູງ) | ຂໍ້ຈຳກັດການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ເຂັ້ມງວດຂຶ້ນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຜົນບວກທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງ. |
| ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງການຂັດ | ມີຄວາມສ່ຽງສູງຕໍ່ການອຸດຕັນ (ການອອກແບບຮູທໍ່ຮູບຕົວ U ທີ່ແຄບ) | ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການອຸດຕັນຕໍ່າ (ການອອກແບບເຄື່ອງສະທ້ອນສຽງທີ່ແຂງແຮງ, ບໍ່ແມ່ນທໍ່ຮູບຕົວ U) | ເພີ່ມເວລາເຮັດວຽກຂອງເຊັນເຊີ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນສື່ທີ່ມີສີຂັດສູງສຸດ. |
| ຄວາມສາມາດໃນການກວດຈັບຂໍ້ບົກຜ່ອງ | ມີປະຕິກິລິຍາ (ກວດພົບການເຄື່ອນທີ່ທີ່ເກີດຂຶ້ນກ່ອນໜ້ານີ້ຫຼາຍຊົ່ວໂມງ) | ເຄື່ອນໄຫວ (ຕິດຕາມກວດກາການປ່ຽນແປງແບບໄດນາມິກ, ກວດພົບການເຫນັງຕີງແຕ່ຫົວທີ) | ປ້ອງກັນການເສດເຫຼືອຂອງເວເຟີທີ່ຮ້າຍແຮງ ແລະ ການປ່ຽນແປງຂອງຜົນຜະລິດ. |
ຕາຕະລາງທີ 3: ການວິເຄາະປຽບທຽບ: ການວັດແທກແບບ Inline ທຽບກັບ Slurry ແບບດັ້ງເດີມ
ການວິເຄາະແບບອອບໄລນ໌ແບບດັ້ງເດີມຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຂະບວນການສະກັດຕົວຢ່າງ ແລະ ການຂົນສົ່ງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຊັກຊ້າຂອງເວລາຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນວົງຈອນການວັດແທກ. ຄວາມຊັກຊ້ານີ້, ເຊິ່ງສາມາດແກ່ຍາວເຖິງຫຼາຍຊົ່ວໂມງ, ຮັບປະກັນວ່າເມື່ອກວດພົບການປ່ຽນແປງໃນທີ່ສຸດ, ເວເຟີປະລິມານຫຼາຍກໍ່ຖືກທຳລາຍແລ້ວ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ການຈັດການດ້ວຍມືເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມແຕກຕ່າງກັນ ແລະ ມີຄວາມສ່ຽງທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ຕົວຢ່າງເສື່ອມສະພາບ, ໂດຍສະເພາະຍ້ອນການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຫຼັງການເກັບຕົວຢ່າງ, ເຊິ່ງສາມາດບິດເບືອນການອ່ານຄວາມໜືດ.
ການວັດແທກແບບອິນໄລນ໌ຊ່ວຍກຳຈັດຄວາມຊັກຊ້າທີ່ເຮັດໃຫ້ຮ່າງກາຍອ່ອນແອນີ້, ສະໜອງກະແສຂໍ້ມູນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໂດຍກົງຈາກສາຍການແຈກຢາຍ. ຄວາມໄວນີ້ແມ່ນພື້ນຖານສຳລັບການກວດຫາຂໍ້ບົກພ່ອງ; ເມື່ອລວມກັບການອອກແບບທີ່ແຂງແຮງ ແລະ ບໍ່ອຸດຕັນ ເຊິ່ງຈຳເປັນສຳລັບວັດສະດຸຂັດ, ມັນຈະສະໜອງຂໍ້ມູນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສຳລັບການເຮັດໃຫ້ລະບົບການແຈກຢາຍທັງໝົດມີຄວາມໝັ້ນຄົງ. ໃນຂະນະທີ່ຄວາມສັບສົນຂອງ CMP ກຳນົດໃຫ້ຕິດຕາມກວດກາຫຼາຍພາລາມິເຕີ (ເຊັ່ນ: ດັດຊະນີການຫັກເຫ ຫຼື pH), ຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດໃຫ້ຄຳຕິຊົມໂດຍກົງ ແລະ ທັນເວລາທີ່ສຸດກ່ຽວກັບຄວາມໝັ້ນຄົງທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງນ້ຳຢາຂັດ, ເຊິ່ງມັກຈະບໍ່ອ່ອນໄຫວຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງພາລາມິເຕີເຊັ່ນ: pH ຫຼື ທ່າແຮງການຫຼຸດຜ່ອນການຜຸພັງ (ORP) ເນື່ອງຈາກການບັຟເຟີທາງເຄມີ.
5. ຂໍ້ກຳນົດດ້ານເສດຖະກິດ ແລະ ການດຳເນີນງານ
ຜົນປະໂຫຍດຂອງການຕິດຕາມຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດແບບເວລາຈິງ
ສຳລັບສາຍການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າໃດໆບ່ອນທີ່CMP ໃນຂະບວນການເຄິ່ງຕົວນຳຖືກນຳໃຊ້, ຄວາມສຳເລັດແມ່ນວັດແທກໂດຍການປັບປຸງຜົນຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການສູງສຸດ, ແລະ ການຄຸ້ມຄອງຕົ້ນທຶນທີ່ເຂັ້ມງວດ. ການຕິດຕາມກວດກາສະພາບນ້ຳໃນເວລາຈິງໃຫ້ພື້ນຖານໂຄງລ່າງຂໍ້ມູນທີ່ຈຳເປັນເພື່ອບັນລຸຄວາມຈຳເປັນທາງການຄ້າເຫຼົ່ານີ້.
ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ
ການຕິດຕາມກວດການ້ຳຢາລະລາຍຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳສູງຮັບປະກັນວ່າຕົວກຳນົດນ້ຳຢາລະລາຍທີ່ສຳຄັນທີ່ສົ່ງໄປຍັງຈຸດນຳໃຊ້ (POU) ຍັງຄົງຢູ່ໃນຂອບເຂດການຄວບຄຸມທີ່ເຂັ້ມງວດເປັນພິເສດ, ໂດຍບໍ່ຄຳນຶງເຖິງສຽງລົບກວນຂອງຂະບວນການຕົ້ນນ້ຳ. ຕົວຢ່າງ, ເນື່ອງຈາກຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ມີຢູ່ໃນກຸ່ມນ້ຳຢາລະລາຍດິບທີ່ເຂົ້າມາ, ການປະຕິບັດຕາມສູດແມ່ນບໍ່ພຽງພໍ. ໂດຍການຕິດຕາມຄວາມໜາແໜ້ນໃນຖັງເຄື່ອງປັ່ນໃນເວລາຈິງ, ລະບົບຄວບຄຸມສາມາດປັບອັດຕາສ່ວນການລະລາຍໄດ້ແບບເຄື່ອນໄຫວ, ຮັບປະກັນວ່າຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງເປົ້າໝາຍທີ່ແນ່ນອນຈະຖືກຮັກສາໄວ້ຕະຫຼອດຂະບວນການປະສົມ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຂະບວນການທີ່ເກີດຂຶ້ນຈາກວັດຖຸດິບທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງກັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ປະສິດທິພາບການຂັດເງົາທີ່ຄາດເດົາໄດ້ສູງ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ ແລະ ຂະໜາດຂອງການປ່ຽນແປງຂອງຂະບວນການທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ເພີ່ມຜົນຜະລິດ
ການແກ້ໄຂໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມລົ້ມເຫຼວທາງກົນຈັກ ແລະ ສານເຄມີທີ່ເກີດຈາກສະພາບຂອງນໍ້າເປື້ອນທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງແມ່ນວິທີທີ່ມີຜົນກະທົບຫຼາຍທີ່ສຸດໃນການຊຸກຍູ້ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ cmpອັດຕາຜົນຜະລິດ. ລະບົບການຕິດຕາມກວດກາແບບຄາດເດົາ ແລະ ເວລາຈິງປົກປ້ອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີມູນຄ່າສູງຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ໂຮງງານຜະລິດທີ່ໄດ້ຈັດຕັ້ງປະຕິບັດລະບົບດັ່ງກ່າວໄດ້ບັນທຶກຄວາມສຳເລັດທີ່ສຳຄັນ, ລວມທັງບົດລາຍງານການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງເຖິງ 25%. ຄວາມສາມາດໃນການປ້ອງກັນນີ້ໄດ້ປ່ຽນຮູບແບບການດຳເນີນງານຈາກການຕອບສະໜອງຕໍ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້ໄປສູ່ການປ້ອງກັນການສ້າງຕັ້ງຂອງພວກມັນຢ່າງຫ້າວຫັນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປົກປ້ອງເວເຟີມູນຄ່າຫຼາຍລ້ານໂດລາຈາກຮອຍຂີດຂ່ວນຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍອື່ນໆທີ່ເກີດຈາກກຸ່ມອະນຸພາກທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງ. ຄວາມສາມາດໃນການຕິດຕາມກວດກາການປ່ຽນແປງແບບເຄື່ອນໄຫວ, ເຊັ່ນ: ການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມໜືດຢ່າງກະທັນຫັນທີ່ເປັນສັນຍານເຖິງຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ຄວາມກົດດັນຕໍ່ແຮງຕັດ, ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດແຊກແຊງໄດ້ກ່ອນທີ່ປັດໄຈເຫຼົ່ານີ້ຈະແຜ່ລາມຂໍ້ບົກຜ່ອງໄປທົ່ວເວເຟີຫຼາຍອັນ.
ຫຼຸດຜ່ອນການເຮັດວຽກຊ້ຳ
ຜະລິດຕະພັນແກ້ໄຂໃໝ່ອັດຕາ, ເຊິ່ງຖືກກຳນົດເປັນອັດຕາສ່ວນຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ຜະລິດທີ່ຕ້ອງການການປຸງແຕ່ງຄືນໃໝ່ຍ້ອນຄວາມຜິດພາດ ຫຼື ຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ແມ່ນ KPI ທີ່ສຳຄັນທີ່ວັດແທກຄວາມບໍ່ມີປະສິດທິພາບໃນການຜະລິດໂດຍລວມ. ອັດຕາການເຮັດຄືນໃໝ່ສູງໃຊ້ແຮງງານທີ່ມີຄ່າ, ວັດສະດຸເສດເຫຼືອ, ແລະ ນຳມາເຊິ່ງຄວາມລ່າຊ້າຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ເນື່ອງຈາກຂໍ້ບົກຜ່ອງເຊັ່ນ: ການລ້າງ, ການກຳຈັດທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ແລະ ການຂູດແມ່ນຜົນສະທ້ອນໂດຍກົງຂອງຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງທາງດ້ານການໄຫຼ, ການຮັກສາສະຖຽນລະພາບຂອງການໄຫຼຂອງນ້ຳຢາຜ່ານການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຈະຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການເລີ່ມຕົ້ນຂອງຄວາມຜິດພາດທີ່ສຳຄັນເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ໂດຍການຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ອັດຕາການເກີດຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ຕ້ອງການການສ້ອມແປງ ຫຼື ການຂັດເງົາຄືນໃໝ່ຈະຖືກຫຼຸດຜ່ອນລົງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດໃນການດຳເນີນງານທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງທີມງານໂດຍລວມ.
ເພີ່ມປະສິດທິພາບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດຳເນີນງານ
ນ້ຳຢາ CMP ເປັນຕົວແທນຂອງຕົ້ນທຶນການບໍລິໂພກທີ່ສຳຄັນພາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ. ເມື່ອຄວາມບໍ່ແນ່ນອນຂອງຂະບວນການກຳນົດໃຫ້ໃຊ້ຂອບເຂດຄວາມປອດໄພທີ່ກວ້າງຂວາງ ແລະ ລະມັດລະວັງໃນການປະສົມ ແລະ ການບໍລິໂພກ, ຜົນໄດ້ຮັບແມ່ນການນຳໃຊ້ທີ່ບໍ່ມີປະສິດທິພາບ ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດຳເນີນງານສູງ. ການຕິດຕາມກວດກາແບບເວລາຈິງຊ່ວຍໃຫ້ການຄຸ້ມຄອງນ້ຳຢາທີ່ບໍ່ລະອຽດ ແລະ ຊັດເຈນ. ຕົວຢ່າງ, ການຄວບຄຸມຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຊ່ວຍໃຫ້ມີອັດຕາສ່ວນການປະສົມທີ່ແນ່ນອນ, ຫຼຸດຜ່ອນການໃຊ້ນ້ຳທີ່ລະລາຍ ແລະ ຮັບປະກັນວ່າມີລາຄາແພງ.ສ່ວນປະກອບຂອງນ້ຳຢາ cmpຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບສູງສຸດ, ຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອວັດສະດຸ ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດຳເນີນງານ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການວິນິດໄສທາງດ້ານ rheological ແບບທັນທີທັນໃດສາມາດສະໜອງສັນຍານເຕືອນໄພລ່ວງໜ້າຂອງບັນຫາອຸປະກອນ - ເຊັ່ນ: ການສວມໃສ່ຂອງຜ້າຢາງ ຫຼື ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງປໍ້າ - ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດບຳລຸງຮັກສາຕາມເງື່ອນໄຂກ່ອນທີ່ການເຮັດວຽກຜິດປົກກະຕິຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການໄຫຼອອກຂອງນໍ້າຢາງທີ່ສຳຄັນ ແລະ ເວລາປະຕິບັດງານທີ່ຢຸດເຮັດວຽກຕໍ່ມາ.
ການຜະລິດທີ່ມີຜົນຜະລິດສູງແບບຍືນຍົງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການກຳຈັດຄວາມແຕກຕ່າງໃນຂະບວນການຂອງໜ່ວຍງານທີ່ສຳຄັນທັງໝົດ. ເທັກໂນໂລຢີສະທ້ອນຂອງ Lonnmeter ໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງ, ຄວາມໄວ, ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ຈຳເປັນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງໂຄງສ້າງພື້ນຖານການສົ່ງນ້ຳເສຍ. ໂດຍການລວມເອົາຂໍ້ມູນຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດແບບເວລາຈິງ, ວິສະວະກອນຂະບວນການມີຄວາມສະຫຼາດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ສາມາດປະຕິບັດໄດ້, ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບການຂັດເງົາທີ່ຄາດເດົາໄດ້ ແລະ ປົກປ້ອງຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນເວເຟີຈາກຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຂອງຄໍລອຍດອຍ.
ເພື່ອເລີ່ມຕົ້ນການຫັນປ່ຽນຈາກການຄຸ້ມຄອງຜົນຜະລິດແບບປະຕິກິລິຍາໄປສູ່ການຄວບຄຸມຂະບວນການແບບກະຕຸ້ນ:
ຂະຫຍາຍໃຫຍ່ສຸດເວລາເຮັດວຽກ ແລະຫຍໍ້ເຮັດວຽກຄືນໃໝ່:ດາວໂຫຼດລາຍລະອຽດດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາ ແລະເລີ່ມຕົ້ນRFQ ໃນມື້ນີ້.
ພວກເຮົາຂໍເຊີນວິສະວະກອນຂະບວນການ ແລະ ຜົນຜະລິດອາວຸໂສມາຮ່ວມສົ່ງRFQ ລະອຽດ. ຜູ້ຊ່ຽວຊານດ້ານເຕັກນິກຂອງພວກເຮົາຈະພັດທະນາແຜນທີ່ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດທີ່ຊັດເຈນ, ໂດຍລວມເອົາເຕັກໂນໂລຊີ Lonnmeter ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເຂົ້າໃນໂຄງສ້າງພື້ນຖານການແຈກຢາຍນໍ້າເປື້ອນຂອງທ່ານເພື່ອວັດແທກການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງ ແລະ ການບໍລິໂພກນໍ້າເປື້ອນທີ່ຄາດຄະເນໄວ້.ຕິດຕໍ່ທີມງານອັດຕະໂນມັດຂະບວນການຂອງພວກເຮົາດຽວນີ້ປອດໄພຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານຜົນຜະລິດຂອງທ່ານ.ຄົ້ນພົບຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ຈຳເປັນເພື່ອສະຖຽນລະພາບຂັ້ນຕອນການປັບຮູບຮ່າງທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດຂອງທ່ານ.
