ການປັບແບບກົນຈັກທາງເຄມີ(CMP) ແມ່ນຂະບວນການພື້ນຖານໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຂັ້ນສູງ. ມັນສະໜອງຄວາມຮາບພຽງລະດັບອະຕອມໃນທົ່ວໜ້າຜິວເວເຟີ, ເຮັດໃຫ້ສະຖາປັດຕະຍະກຳຫຼາຍຊັ້ນ, ການຫຸ້ມຫໍ່ອຸປະກອນທີ່ແໜ້ນໜາກວ່າ, ແລະ ຜົນຜະລິດທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ. CMP ປະສົມປະສານການກະທຳທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກພ້ອມໆກັນ - ໂດຍໃຊ້ແຜ່ນໝຸນ ແລະ ນ້ຳຢາຂັດພິເສດ - ເພື່ອກຳຈັດຟິມສ່ວນເກີນ ແລະ ຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຂອງໜ້າຜິວລຽບ, ເຊິ່ງສຳຄັນສຳລັບຮູບແບບຄຸນລັກສະນະ ແລະ ການຈັດລຽນໃນວົງຈອນປະສົມປະສານ.
ຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນເວເຟີຫຼັງຈາກ CMP ແມ່ນຂຶ້ນກັບການຄວບຄຸມສ່ວນປະກອບ ແລະ ລັກສະນະຂອງນ້ຳຂັດຢ່າງລະມັດລະວັງ. ນ້ຳຂັດປະກອບດ້ວຍອະນຸພາກຂັດ, ເຊັ່ນ: ເຊລຽມອອກໄຊ (CeO₂), ທີ່ລະລາຍຢູ່ໃນສານເຄມີທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບທັງການຂັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ອັດຕາການເກີດປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ. ຕົວຢ່າງ, ເຊລຽມອອກໄຊ ສະເໜີຄວາມແຂງ ແລະ ເຄມີພື້ນຜິວທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບຟິມທີ່ອີງໃສ່ຊິລິກອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ເລືອກໃນການນຳໃຊ້ CMP ຫຼາຍຢ່າງ. ປະສິດທິພາບຂອງ CMP ບໍ່ພຽງແຕ່ຖືກກຳນົດໂດຍຄຸນສົມບັດຂອງອະນຸພາກຂັດເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງຖືກກຳນົດໂດຍການຄຸ້ມຄອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນ້ຳຂັດ, pH, ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ຊັດເຈນອີກດ້ວຍ.
ການຈັດວາງແບບກົນຈັກທາງເຄມີ
*
ຫຼັກການພື້ນຖານຂອງການຂັດເງົາໃນການຜະລິດເຄື່ອງເອເລັກໂຕນິກ
ນ້ຳຢາຂັດເງົາແມ່ນສິ່ງສຳຄັນຂອງຂະບວນການປັບຮູບຮ່າງທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກ. ພວກມັນແມ່ນສ່ວນປະສົມທີ່ສັບສົນທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຫ້ໄດ້ທັງການຂັດເງົາທາງກົນຈັກ ແລະ ການດັດແປງພື້ນຜິວທາງເຄມີໃນໜ້າແຜ່ນເວເຟີ. ບົດບາດສຳຄັນຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາ CMP ລວມມີການກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດທິພາບ, ການຄວບຄຸມຄວາມລຽບ, ຄວາມສະເໝີພາບໃນພື້ນທີ່ແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດໃຫຍ່, ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງ.
ບົດບາດ ແລະ ສ່ວນປະກອບຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາ
ນ້ຳຢາ CMP ທົ່ວໄປປະກອບດ້ວຍອະນຸພາກຂັດທີ່ລະລາຍຢູ່ໃນເມທຣິກຂອງແຫຼວ, ເສີມດ້ວຍສານເຄມີເພີ່ມເຕີມ ແລະ ສານເສີມຄວາມໝັ້ນຄົງ. ແຕ່ລະສ່ວນປະກອບມີບົດບາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ:
- ສານຂັດ:ອະນຸພາກແຂງທີ່ລະອຽດເຫຼົ່ານີ້—ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຊິລິກາ (SiO₂) ຫຼື ເຊີລຽມອອກໄຊ (CeO₂) ໃນການນຳໃຊ້ເຄິ່ງຕົວນຳ—ປະຕິບັດພາກສ່ວນກົນຈັກຂອງການກຳຈັດວັດສະດຸ. ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ ແລະ ການແຈກຢາຍຂະໜາດຂອງອະນຸພາກຂອງມັນຄວບຄຸມທັງອັດຕາການກຳຈັດ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງພື້ນຜິວ. ປະລິມານການຂັດມັກຈະຢູ່ໃນລະຫວ່າງ 1% ຫາ 5% ໂດຍນ້ຳໜັກ, ໂດຍມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງອະນຸພາກລະຫວ່າງ 20 nm ແລະ 300 nm, ເຊິ່ງຖືກລະບຸໄວ້ຢ່າງແໜ້ນໜາເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການຂູດຂີດຂອງແຜ່ນເວເຟີຫຼາຍເກີນໄປ.
- ສານເຕີມແຕ່ງທາງເຄມີ:ຕົວແທນເຫຼົ່ານີ້ສ້າງສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີສຳລັບການສ້າງແບບພື້ນຜິວທີ່ມີປະສິດທິພາບ. ສານອົກຊິໄດເຊີ (ເຊັ່ນ: ໄຮໂດຣເຈນເປີອອກໄຊ) ອຳນວຍຄວາມສະດວກໃຫ້ແກ່ການສ້າງຊັ້ນໜ້າດິນທີ່ງ່າຍຕໍ່ການຂັດ. ຕົວແທນທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຊັບຊ້ອນ ຫຼື ຕົວແທນທີ່ມີທາດຄີເລດ (ເຊັ່ນ: ແອມໂມນຽມເປີຊັນເຟດ ຫຼື ກົດຊິຕຣິກ) ຈະຜູກມັດໄອອອນໂລຫະ, ເສີມຂະຫຍາຍການກຳຈັດ ແລະ ສະກັດກັ້ນການສ້າງຂໍ້ບົກພ່ອງ. ຕົວຍັບຍັ້ງຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອປ້ອງກັນການກັດທີ່ບໍ່ຕ້ອງການຂອງຊັ້ນເວເຟີທີ່ຢູ່ຕິດກັນ ຫຼື ຊັ້ນລຸ່ມ, ປັບປຸງການເລືອກເຟັ້ນ.
- ຕົວຄວບຄຸມຄວາມໝັ້ນຄົງ:ສານເຄມີທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມໜຽວ ແລະ ສານເຄມີທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເໜียวເຢັນຈະຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງນໍ້າຢາ ແລະ ການກະຈາຍຕົວທີ່ສະໝ່ຳສະເໝີ. ສານເຄມີທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມໜຽວຈະປ້ອງກັນການລວມຕົວກັນຂອງສານຂັດ, ຮັບປະກັນອັດຕາການກຳຈັດທີ່ເປັນເອກະພາບ. ສານເຄມີທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມໜຽວຂອງ pH ຊ່ວຍໃຫ້ອັດຕາການເກີດປະຕິກິລິຍາເຄມີທີ່ສະໝ່ຳສະເໝີ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການຈັບຕົວເປັນກ້ອນ ຫຼື ການກັດກ່ອນຂອງອະນຸພາກ.
ສູດ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງແຕ່ລະສ່ວນປະກອບແມ່ນຖືກອອກແບບມາໃຫ້ເໝາະສົມກັບວັດສະດຸແຜ່ນບາງໆ, ໂຄງສ້າງອຸປະກອນ ແລະ ຂັ້ນຕອນຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການສ້າງແບບແປນກົນຈັກເຄມີ.
ນ້ຳລະລາຍທົ່ວໄປ: ຊິລິກາ (SiO₂) ທຽບກັບ ເຊີລຽມອອກໄຊ (CeO₂)
ນ້ຳຢາຂັດເງົາຊິລິກາ (SiO₂)ຄອບງຳຂັ້ນຕອນການແບ່ງຊັ້ນອອກໄຊ, ເຊັ່ນ: ການຂັດເງົາລະຫວ່າງຊັ້ນໄດອີເລັກຕຣິກ (ILD) ແລະ ການແຍກຮ່ອງຕື້ນ (STI). ພວກມັນໃຊ້ຊິລິກາຄໍລອຍດອຍ ຫຼື ຊິລິກາທີ່ມີກິ່ນເໝັນເປັນສານຂັດ, ມັກຈະຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມພື້ນຖານ (pH ~10), ແລະ ບາງຄັ້ງກໍ່ຖືກເສີມດ້ວຍສານຊັກລ້າງເລັກນ້ອຍ ແລະ ຕົວຍັບຍັ້ງການກັດກ່ອນເພື່ອຈຳກັດຂໍ້ບົກຜ່ອງດ້ານຮອຍຂີດຂ່ວນ ແລະ ເພີ່ມປະສິດທິພາບອັດຕາການກຳຈັດ. ອະນຸພາກຊິລິກາມີຄຸນຄ່າສຳລັບຂະໜາດທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄວາມແຂງຕ່ຳ, ໃຫ້ການກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ອ່ອນໂຍນ ແລະ ເປັນເອກະພາບທີ່ເໝາະສົມສຳລັບຊັ້ນທີ່ລະອຽດອ່ອນ.
ນ້ຳຢາຂັດເງົາຊີຣຽມອອກໄຊ (CeO₂)ຖືກເລືອກສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ທ້າທາຍທີ່ຕ້ອງການຄວາມເລືອກເຟັ້ນ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ເຊັ່ນ: ການຂັດເງົາຊັ້ນໃຕ້ດິນແກ້ວສຸດທ້າຍ, ການປັບພື້ນຜິວຊັ້ນໃຕ້ດິນຂັ້ນສູງ, ແລະ ຊັ້ນອົກໄຊດ໌ບາງຊັ້ນໃນອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ. ນ້ຳຢາຂັດ CeO₂ ສະແດງໃຫ້ເຫັນປະຕິກິລິຍາທີ່ເປັນເອກະລັກ, ໂດຍສະເພາະກັບພື້ນຜິວຊິລິໂຄນໄດອອກໄຊ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ກົນໄກການກຳຈັດທັງທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກ. ພຶດຕິກຳການກະທຳສອງຢ່າງນີ້ໃຫ້ອັດຕາການປັບພື້ນຜິວທີ່ສູງຂຶ້ນໃນລະດັບຂໍ້ບົກພ່ອງຕ່ຳ, ເຮັດໃຫ້ນ້ຳຢາລະລາຍ CeO₂ ເປັນທີ່ນິຍົມສຳລັບແກ້ວ, ຊັ້ນໃຕ້ດິນຮາດດິດ, ຫຼື ໂຫນດອຸປະກອນຕາມເຫດຜົນຂັ້ນສູງ.
ຈຸດປະສົງທາງໜ້າທີ່ຂອງສານຂັດ, ສານເຕີມແຕ່ງ ແລະ ສານເສີມຄວາມໝັ້ນຄົງ
- ສານຂັດປະຕິບັດການຂັດຖູກົນຈັກ. ຂະໜາດ, ຮູບຮ່າງ, ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງມັນກຳນົດອັດຕາການກຳຈັດ ແລະ ຜິວໜ້າ. ຕົວຢ່າງ, ຂັດຖູຊິລິກາ 50 nm ທີ່ເປັນເອກະພາບຮັບປະກັນຄວາມອ່ອນໂຍນ ແລະ ຄວາມຮາບພຽງຂອງຊັ້ນອົກໄຊດ໌.
- ສານເຕີມແຕ່ງທາງເຄມີ: ເຮັດໃຫ້ສາມາດກຳຈັດແບບເລືອກເຟັ້ນໄດ້ໂດຍການອຳນວຍຄວາມສະດວກໃຫ້ແກ່ການຜຸພັງ ແລະ ການລະລາຍຂອງພື້ນຜິວ. ໃນ CMP ທອງແດງ, glycine (ເປັນຕົວແທນສ້າງສະລັບສັບຊ້ອນ) ແລະ hydrogen peroxide (ເປັນຕົວຜຸພັງ) ເຮັດວຽກຮ່ວມກັນ, ໃນຂະນະທີ່ BTA ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວຍັບຍັ້ງທີ່ປົກປ້ອງຄຸນລັກສະນະຂອງທອງແດງ.
- ຕົວກັນສະຖຽນລະພາບຮັກສາສ່ວນປະກອບຂອງນ້ຳລະລາຍໃຫ້ສະໝໍ່າສະເໝີຕາມການເວລາ. ສານເຄມີທີ່ເຮັດຈາກນ້ຳຢາຊ່ວຍປ້ອງກັນການຕົກຕະກອນ ແລະ ການລວມຕົວກັນ, ຮັບປະກັນວ່າອະນຸພາກທີ່ມີສີຂັດຈະກະຈາຍຕົວຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ພ້ອມທີ່ຈະໃຊ້ສຳລັບຂະບວນການ.
ຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກ ແລະ ສະຖານະການການນຳໃຊ້: ນ້ຳລະລາຍ CeO₂ ແລະ SiO₂
ນ້ຳຢາຂັດ CeO₂ສະເໜີການເລືອກເຟັ້ນທີ່ສູງຂຶ້ນລະຫວ່າງແກ້ວ ແລະ ຊິລິກອນອອກໄຊດ໌ ເນື່ອງຈາກປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີທີ່ມີຢູ່ໃນຕົວມັນເອງ. ມັນມີປະສິດທິພາບໂດຍສະເພາະສຳລັບການເຮັດໃຫ້ຊັ້ນຮອງພື້ນແຂງ, ແຕກຫັກງ່າຍ ຫຼື ຊັ້ນຮອງພື້ນອອກໄຊດ໌ປະສົມມີຄວາມຈຳເປັນໃນການເລືອກເຟັ້ນວັດສະດຸສູງ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ນ້ຳຢາລະລາຍ CeO₂ ເປັນມາດຕະຖານໃນການກະກຽມຊັ້ນຮອງພື້ນຂັ້ນສູງ, ການສຳເລັດຮູບແກ້ວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ແລະ ຂັ້ນຕອນການແຍກຮ່ອງຕື້ນ (STI) ສະເພາະໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ.
ນ້ຳຢາຂັດ SiO₂ໃຫ້ການລວມກັນທີ່ສົມດຸນຂອງການກຳຈັດກົນຈັກ ແລະ ສານເຄມີ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງສໍາລັບການຜຸພັງອອກໄຊດ໌ ແລະ ການຈັດລຽງແບບໄດອີເລັກຕຣິກລະຫວ່າງຊັ້ນ, ບ່ອນທີ່ຕ້ອງການຜົນຜະລິດສູງ ແລະ ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງໜ້ອຍທີ່ສຸດ. ຂະໜາດອະນຸພາກທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ຢ່າງເປັນເອກະພາບຂອງຊິລິກາຍັງຈໍາກັດການສ້າງຮອຍຂີດຂ່ວນ ແລະ ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບພື້ນຜິວສຸດທ້າຍທີ່ດີກວ່າ.
ຄວາມສຳຄັນຂອງຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ ແລະ ຄວາມສະເໝີພາບຂອງການກະຈາຍຕົວ
ຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການກະຈາຍຕົວແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງນ້ຳຢາລະລາຍ. ອະນຸພາກຂັດຂະໜາດນາໂນແມັດທີ່ເປັນເອກະພາບຮັບປະກັນອັດຕາການກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ໜ້າຜິວແຜ່ນເວເຟີທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ. ການລວມຕົວກັນນຳໄປສູ່ການຂູດຂີດ ຫຼື ການຂັດເງົາທີ່ບໍ່ສາມາດຄາດເດົາໄດ້, ໃນຂະນະທີ່ການແຈກຢາຍຂະໜາດກວ້າງເຮັດໃຫ້ການຮາບພຽງບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງເພີ່ມຂຶ້ນ.
ການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບ—ຕິດຕາມກວດກາໂດຍເຕັກໂນໂລຢີເຊັ່ນ: ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນ ຫຼື ອຸປະກອນວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນດ້ວຍຄື້ນສຽງ—ຮັບປະກັນການໂຫຼດແບບຂັດທີ່ຄົງທີ່ ແລະ ຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການທີ່ຄາດເດົາໄດ້, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຜົນຜະລິດ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ. ການບັນລຸການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ການກະຈາຍຕົວທີ່ເປັນເອກະພາບແມ່ນຄວາມຕ້ອງການທີ່ສຳຄັນສຳລັບການຕິດຕັ້ງອຸປະກອນການປັບລະດັບກົນຈັກເຄມີ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ການສ້າງສູດຂັດເງົາ — ໂດຍສະເພາະແມ່ນການເລືອກ ແລະ ການຄວບຄຸມປະເພດຂັດ, ຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ, ແລະ ກົນໄກການສະຖຽນລະພາບ — ເປັນພື້ນຖານໃຫ້ແກ່ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການປະດັບປະດາກົນຈັກເຄມີໃນການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ.
ຄວາມສຳຄັນຂອງການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນໃນ CMP
ໃນຂະບວນການປັບແບບກົນຈັກເຄມີ, ການວັດແທກ ແລະ ການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາທີ່ຊັດເຈນສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງການຂັດເງົາແຜ່ນເວເຟີ. ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາ - ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອະນຸພາກຂັດເງົາພາຍໃນນ້ຳຢາຂັດເງົາ - ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຕົວຄວບຄຸມຂະບວນການສູນກາງ, ສ້າງຮູບແບບອັດຕາການຂັດເງົາ, ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວສຸດທ້າຍ, ແລະ ຜົນຜະລິດແຜ່ນເວເຟີໂດຍລວມ.
ຄວາມສຳພັນລະຫວ່າງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂີ້ຕົມ, ອັດຕາການຂັດ, ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວ, ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນແພ
ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອະນຸພາກຂັດພາຍໃນນ້ຳຢາຂັດ CeO₂ ຫຼື ສູດນ້ຳຢາຂັດອື່ນໆກຳນົດຄວາມໄວໃນການກຳຈັດວັດສະດຸອອກຈາກໜ້າຜິວແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນທົ່ວໄປວ່າອັດຕາການກຳຈັດ ຫຼື ອັດຕາການກຳຈັດວັດສະດຸ (MRR). ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາຂັດທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະເພີ່ມຈຳນວນຈຸດຕິດຕໍ່ຂັດຕໍ່ໜ່ວຍພື້ນທີ່, ເລັ່ງອັດຕາການຂັດ. ຕົວຢ່າງ, ການສຶກສາທີ່ຄວບຄຸມໃນປີ 2024 ໄດ້ລາຍງານວ່າການເພີ່ມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອະນຸພາກຊິລິກາສູງເຖິງ 5 wt% ໃນນ້ຳຢາຂັດຄໍລອຍດ໌ເຮັດໃຫ້ອັດຕາການກຳຈັດສູງສຸດສຳລັບແຜ່ນເວເຟີຊິລິກອນ 200 ມມ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຄວາມສຳພັນນີ້ບໍ່ແມ່ນເສັ້ນຊື່ - ມີຈຸດທີ່ຜົນຕອບແທນຫຼຸດລົງ. ໃນຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາຂັດທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການລວມຕົວຂອງອະນຸພາກເຮັດໃຫ້ອັດຕາການກຳຈັດຢຸດສະງັກ ຫຼື ແມ່ນແຕ່ຫຼຸດລົງຍ້ອນການຂົນສົ່ງມວນສານທີ່ບົກຜ່ອງ ແລະ ຄວາມໜືດເພີ່ມຂຶ້ນ.
ຄຸນນະພາບຂອງໜ້າດິນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາງເທົ່າທຽມກັນ. ໃນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນສູງ, ຂໍ້ບົກຜ່ອງເຊັ່ນ: ຮອຍຂີດຂ່ວນ, ເສດເຫຼືອທີ່ຝັງຢູ່, ແລະ ຂຸມຕ່າງໆ ມັກຈະເກີດຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ການສຶກສາດຽວກັນນີ້ສັງເກດເຫັນການເພີ່ມຂຶ້ນເປັນເສັ້ນຊື່ຂອງຄວາມຫຍາບຂອງໜ້າດິນ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຮອຍຂີດຂ່ວນທີ່ສຳຄັນ ເມື່ອເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາງຫຼາຍກວ່າ 8–10 wt%. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ການຫຼຸດຄວາມໜາແໜ້ນລົງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງ ແຕ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ການກຳຈັດຊ້າລົງ ແລະ ເຮັດໃຫ້ຄວາມລຽບນຽນຫຼຸດລົງ.
ຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງເປັນສັດສ່ວນຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ຕອບສະໜອງຂໍ້ກຳນົດຂອງຂະບວນການຫຼັງຈາກການຂັດເງົາ, ແມ່ນຖືກຄວບຄຸມໂດຍຜົນກະທົບລວມເຫຼົ່ານີ້. ອັດຕາຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະ ການກຳຈັດທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ທັງສອງຢ່າງນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຜົນຜະລິດ, ເຊິ່ງເນັ້ນໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມສົມດຸນທີ່ລະອຽດອ່ອນລະຫວ່າງຜົນຜະລິດ ແລະ ຄຸນນະພາບໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ.
ຜົນກະທົບຂອງການປ່ຽນແປງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍເລັກນ້ອຍຕໍ່ຂະບວນການ CMP
ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມແຕກຕ່າງເລັກນ້ອຍຈາກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາທີ່ດີທີ່ສຸດ - ສ່ວນໜຶ່ງຂອງເປີເຊັນ - ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຜົນຜະລິດຂອງຂະບວນການ. ຖ້າຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງສານຂັດລື່ນເກີນເປົ້າໝາຍ, ການລວມຕົວຂອງອະນຸພາກອາດຈະເກີດຂຶ້ນ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການສວມໃສ່ຢ່າງໄວວາໃນແຜ່ນແລະແຜ່ນປັບສະພາບ, ອັດຕາການຂູດຂີດຂອງພື້ນຜິວທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະ ການອຸດຕັນຫຼືການກັດເຊາະຂອງອົງປະກອບຂອງນ້ຳໃນອຸປະກອນການປັບສະພາບກົນຈັກເຄມີ. ຄວາມໜາແໜ້ນຕໍ່າເກີນໄປສາມາດປະໄວ້ຟິມທີ່ເຫຼືອແລະພູມສັນຖານພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ເຊິ່ງທ້າທາຍຂັ້ນຕອນການພິມດ້ວຍແສງຕໍ່ມາແລະຫຼຸດຜ່ອນຜົນຜະລິດ.
ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຍັງມີອິດທິພົນຕໍ່ປະຕິກິລິຍາເຄມີ-ກົນຈັກໃນແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບຕໍ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ. ຕົວຢ່າງ, ອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ ຫຼື ອະນຸພາກທີ່ກະຈາຍບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີໃນນໍ້າຢາທີ່ລະລາຍແລ້ວມີຜົນກະທົບຕໍ່ອັດຕາການກຳຈັດໃນທ້ອງຖິ່ນ, ສ້າງຮູບແບບຈຸລະພາກທີ່ສາມາດແຜ່ລາມເປັນຄວາມຜິດພາດຂອງຂະບວນການໃນການຜະລິດໃນປະລິມານສູງ. ລາຍລະອຽດເຫຼົ່ານີ້ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ເຂັ້ມງວດ ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ໂດຍສະເພາະໃນໂຫນດທີ່ກ້າວໜ້າ.
ການວັດແທກ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນໃນເວລາຈິງ
ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາໃນເວລາຈິງ, ເຊິ່ງເປີດໃຊ້ງານໂດຍການນຳໃຊ້ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນແບບອິນໄລນ໌ - ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາແບບ ultrasonic ທີ່ຜະລິດໂດຍ Lonnmeter - ປະຈຸບັນແມ່ນມາດຕະຖານໃນການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ. ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ຊ່ວຍໃຫ້ມີການຕິດຕາມກວດກາຕົວກຳນົດການຂອງນໍ້າຢາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ໂດຍໃຫ້ຄຳຕິຊົມທັນທີກ່ຽວກັບການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນໃນຂະນະທີ່ນໍ້າຢາເຄື່ອນທີ່ຜ່ານຊຸດເຄື່ອງມື CMP ແລະລະບົບການແຈກຢາຍ.
ຜົນປະໂຫຍດຫຼັກຂອງການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາໃນເວລາຈິງປະກອບມີ:
- ການກວດພົບເງື່ອນໄຂທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງກັບຂໍ້ກຳນົດທັນທີ, ປ້ອງກັນການແຜ່ກະຈາຍຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງຜ່ານຂະບວນການລຸ່ມນ້ຳທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງ
- ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ—ຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນສາມາດຮັກສາຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ດີທີ່ສຸດ, ເພີ່ມອັດຕາການກຳຈັດສູງສຸດໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງໃຫ້ໜ້ອຍທີ່ສຸດ.
- ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງລະຫວ່າງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ລ໋ອດຕໍ່ລ໋ອດໃຫ້ດີຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດໂດຍລວມສູງຂຶ້ນ
- ສຸຂະພາບຂອງອຸປະກອນທີ່ຍາວນານ, ຍ້ອນວ່ານ້ຳຢາຂີ້ເຜີ້ງທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນເກີນໄປ ຫຼື ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຕໍ່າເກີນໄປສາມາດເລັ່ງການສວມໃສ່ຂອງແຜ່ນຂັດ, ເຄື່ອງປະສົມ ແລະ ທໍ່ລະບາຍນ້ຳ.
ຕຳແໜ່ງຕິດຕັ້ງສຳລັບອຸປະກອນ CMP ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະສົ່ງເສັ້ນທາງວົງຈອນຕົວຢ່າງ ຫຼື ສາຍໄຫຼວຽນຄືນຜ່ານເຂດວັດແທກ, ຮັບປະກັນວ່າການອ່ານຄວາມໜາແໜ້ນເປັນຕົວແທນຂອງກະແສຕົວຈິງທີ່ສົ່ງໄປຫາແຜ່ນເວເຟີ.
ຊັດເຈນ ແລະ ໃຊ້ເວລາຈິງການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍປະກອບເປັນກະດູກສັນຫຼັງຂອງວິທີການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາຂັດທີ່ແຂງແຮງ, ສະໜັບສະໜູນທັງສູດນ້ຳຢາຂັດທີ່ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບແລ້ວ ແລະ ແບບໃໝ່, ລວມທັງນ້ຳຢາຂັດ Cerium oxide (CeO₂) ທີ່ທ້າທາຍສຳລັບຊັ້ນກາງຂັ້ນສູງ ແລະ ອົກໄຊ CMP. ການຮັກສາຕົວກຳນົດທີ່ສຳຄັນນີ້ເຊື່ອມໂຍງໂດຍກົງກັບຜົນຜະລິດ, ການຄວບຄຸມຕົ້ນທຶນ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນຕະຫຼອດຂະບວນການປັບສະພາບກົນຈັກເຄມີ.
ຫຼັກການ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີສຳລັບການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນ
ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາອະທິບາຍເຖິງມວນສານຂອງແຂງຕໍ່ໜ່ວຍປະລິມານໃນນໍ້າຢາຂັດເງົາ, ເຊັ່ນ: ສູດ Cerium oxide (CeO₂) ທີ່ໃຊ້ໃນການປັບຮູບຮ່າງກົນຈັກເຄມີ (CMP). ຕົວແປນີ້ກຳນົດອັດຕາການກຳຈັດວັດສະດຸ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຜົນຜະລິດ, ແລະລະດັບຂໍ້ບົກພ່ອງໃນແຜ່ນເຄືອບເງົາ. ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາທີ່ມີປະສິດທິພາບແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາຂັ້ນສູງ, ເຊິ່ງມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ຜົນຜະລິດ ແລະ ຂໍ້ບົກພ່ອງໃນການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ.
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຫຼາຍຊະນິດໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ໃນການດຳເນີນງານ CMP, ໂດຍແຕ່ລະອັນໃຊ້ຫຼັກການວັດແທກທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ວິທີການວັດແທກນ້ຳໜັກແມ່ນອີງໃສ່ການເກັບກຳ ແລະ ຊັ່ງນໍ້າໜັກປະລິມານນໍ້າຢາທີ່ກຳນົດໄວ້, ເຊິ່ງສະເໜີຄວາມແມ່ນຍຳສູງແຕ່ຂາດຄວາມສາມາດໃນເວລາຈິງ ແລະ ເຮັດໃຫ້ພວກມັນບໍ່ສາມາດນຳໃຊ້ໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນສະຖານທີ່ຕິດຕັ້ງສຳລັບອຸປະກອນ CMP. ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າໃຊ້ສະໜາມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າເພື່ອອະນຸມານຄວາມໜາແໜ້ນໂດຍອີງໃສ່ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມນຳໄຟຟ້າ ແລະ ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນເນື່ອງຈາກອະນຸພາກຂັດທີ່ລະລາຍ. ເຄື່ອງວັດແທກການສັ່ນສະເທືອນ, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງທໍ່ສັ່ນສະເທືອນ, ວັດແທກການຕອບສະໜອງຄວາມຖີ່ຂອງທໍ່ທີ່ເຕັມໄປດ້ວຍນໍ້າຢາ; ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມໜາແໜ້ນມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຖີ່ຂອງການສັ່ນສະເທືອນ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດຕິດຕາມກວດກາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ເຕັກໂນໂລຊີເຫຼົ່ານີ້ຮອງຮັບການຕິດຕາມກວດກາແບບ inline ແຕ່ສາມາດມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການເປິະເປື້ອນ ຫຼື ການປ່ຽນແປງທາງເຄມີ.
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາງດ້ວຍຄື້ນຄວາມຖີ່ສູງ (ultrasonic slurry meters) ເປັນຄວາມກ້າວໜ້າທາງເທັກໂນໂລຢີທີ່ສຳຄັນສຳລັບການຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜາແໜ້ນແບບເວລາຈິງໃນການປັບໂຄງສ້າງທາງເຄມີ-ກົນຈັກ. ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ປ່ອຍຄື້ນຄວາມຖີ່ສູງຜ່ານນໍ້າຢາງ ແລະ ວັດແທກເວລາບິນ ຫຼື ຄວາມໄວຂອງການແຜ່ກະຈາຍສຽງ. ຄວາມໄວຂອງສຽງໃນຕົວກາງແມ່ນຂຶ້ນກັບຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຂອງແຂງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດກຳນົດຄຸນສົມບັດຂອງນໍ້າຢາງໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ. ກົນໄກ ultrasonic slurry ແມ່ນເໝາະສົມຫຼາຍສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການຂັດ ແລະ ຮຸນແຮງທາງເຄມີທີ່ເປັນແບບຢ່າງຂອງ CMP, ຍ້ອນວ່າມັນບໍ່ລົບກວນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການເປື້ອນຂອງເຊັນເຊີເມື່ອທຽບກັບເຄື່ອງວັດແທກການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງ. Lonnmeter ຜະລິດເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາງດ້ວຍຄື້ນຄວາມຖີ່ສູງທີ່ອອກແບບມາສຳລັບສາຍ CMP ຂອງອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ.
ຂໍ້ດີຂອງເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາ ultrasonic ປະກອບມີ:
- ການວັດແທກແບບບໍ່ແຊກແຊງ: ເຊັນເຊີມັກຈະຖືກຕິດຕັ້ງພາຍນອກ ຫຼື ພາຍໃນຈຸລັງໄຫຼ bypass, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການລົບກວນຕໍ່ນ້ຳເປື້ອນ ແລະ ຫຼີກລ່ຽງການຂັດຖູຂອງພື້ນຜິວຮັບຮູ້.
- ຄວາມສາມາດໃນເວລາຈິງ: ຜົນຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປັບຂະບວນການໄດ້ທັນທີ, ຮັບປະກັນວ່າຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຈະຢູ່ພາຍໃນພາລາມິເຕີທີ່ກໍານົດໄວ້ເພື່ອຄຸນນະພາບການຂັດເງົາແຜ່ນເວເຟີທີ່ດີທີ່ສຸດ.
- ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ຄວາມທົນທານ: ເຄື່ອງສະແກນອັລຕຣາຊາວໃຫ້ການອ່ານທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ເຮັດຊ້ຳໄດ້, ບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກສານເຄມີຂອງນໍ້າລາຍທີ່ປ່ຽນແປງ ຫຼື ການໂຫຼດຂອງອະນຸພາກໃນການຕິດຕັ້ງທີ່ຍາວນານ.
- ການເຊື່ອມໂຍງກັບອຸປະກອນ CMP: ການອອກແບບຂອງພວກມັນຮອງຮັບການຕິດຕັ້ງໃນສາຍນໍ້າຢາທີ່ໝູນວຽນ ຫຼື ທໍ່ສົ່ງນໍ້າຢາ, ເຮັດໃຫ້ການຄວບຄຸມຂະບວນການມີປະສິດທິພາບໂດຍບໍ່ຕ້ອງໃຊ້ເວລາຢຸດເຮັດວຽກຫຼາຍ.
ການສຶກສາກໍລະນີທີ່ຜ່ານມາໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳລາຍງານວ່າມີການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງໄດ້ເຖິງ 30% ເມື່ອການຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜາແໜ້ນດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງໃນສາຍການຜະລິດເສີມການຕິດຕັ້ງອຸປະກອນການປັບລະດັບກົນຈັກເຄມີສຳລັບຂະບວນການຂັດ Cerium oxide (CeO₂). ການຕອບສະໜອງອັດຕະໂນມັດຈາກເຊັນເຊີຄວາມຖີ່ສູງຊ່ວຍໃຫ້ມີການຄວບຄຸມທີ່ເຂັ້ມງວດກວ່າຕໍ່ສູດການຂັດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຄວາມໜາທີ່ດີຂຶ້ນ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍວັດສະດຸ. ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ, ເມື່ອລວມກັບໂປໂຕຄອນການປັບທຽບທີ່ແຂງແຮງ, ຮັກສາປະສິດທິພາບທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືໄດ້ໃນເວລາທີ່ປະເຊີນກັບການປ່ຽນແປງຂອງສ່ວນປະກອບຂອງຄື້ນສຽງ, ເຊິ່ງເປັນເລື່ອງປົກກະຕິໃນການດຳເນີນງານ CMP ຂັ້ນສູງ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາໃນເວລາຈິງ—ໂດຍສະເພາະການໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີ ultrasonic—ໄດ້ກາຍເປັນຈຸດໃຈກາງຂອງວິທີການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ຊັດເຈນໃນ CMP. ຄວາມກ້າວໜ້າເຫຼົ່ານີ້ປັບປຸງຜົນຜະລິດ, ປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ, ແລະຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນເວເຟີໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາໂດຍກົງ.
ການຈັດວາງການຕິດຕັ້ງ ແລະ ການເຊື່ອມໂຍງໃນລະບົບ CMP
ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນທີ່ເໝາະສົມແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນໃນຂະບວນການປະສານເຄມີ ແລະ ກົນຈັກ. ການເລືອກຈຸດຕິດຕັ້ງທີ່ມີປະສິດທິພາບສຳລັບເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມຖືກຕ້ອງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນແພ.
ປັດໄຈສຳຄັນສຳລັບການເລືອກຈຸດຕິດຕັ້ງ
ໃນການຕິດຕັ້ງ CMP, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຄວນຖືກວາງໄວ້ເພື່ອຕິດຕາມກວດການ້ຳຢາທີ່ໃຊ້ສຳລັບການຂັດເງົາແຜ່ນບາງໆ. ຕຳແໜ່ງຕິດຕັ້ງຫຼັກປະກອບມີ:
- ຖັງໝູນວຽນ:ການວາງມິເຕີໄວ້ທີ່ທາງອອກຈະຊ່ວຍໃຫ້ເຂົ້າໃຈສະພາບຂອງນ້ຳເປື້ອນພື້ນຖານກ່ອນການແຈກຢາຍ. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ສະຖານທີ່ນີ້ອາດຈະພາດການປ່ຽນແປງທີ່ເກີດຂຶ້ນຢູ່ທາງລຸ່ມຕໍ່ໄປ, ເຊັ່ນ: ການສ້າງຟອງ ຫຼື ຜົນກະທົບຄວາມຮ້ອນໃນທ້ອງຖິ່ນ.
- ສາຍການຈັດສົ່ງ:ການຕິດຕັ້ງຫຼັງຈາກໜ່ວຍປະສົມ ແລະ ກ່ອນເຂົ້າໄປໃນທໍ່ກະຈາຍນ້ຳ ຮັບປະກັນວ່າການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນເຖິງສູດສຸດທ້າຍຂອງນ້ຳຢາຂັດ, ລວມທັງນ້ຳຢາຂັດ Cerium oxide (CeO₂) ແລະ ສານເຕີມແຕ່ງອື່ນໆ. ຕຳແໜ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດກວດພົບການປ່ຽນແປງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນ້ຳຢາໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວກ່ອນທີ່ຈະປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີ.
- ການຕິດຕາມກວດກາຈຸດນຳໃຊ້:ສະຖານທີ່ທີ່ດີທີ່ສຸດແມ່ນຢູ່ທາງເທິງຂອງວາວ ຫຼື ເຄື່ອງມືໃນຈຸດໃຊ້ງານ. ສິ່ງນີ້ບັນທຶກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳເປື້ອນໃນເວລາຈິງ ແລະ ແຈ້ງເຕືອນຜູ້ປະຕິບັດງານກ່ຽວກັບຄວາມແຕກຕ່າງໃນສະພາບຂະບວນການທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນຈາກການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນສາຍ, ການແຍກສ່ວນ, ຫຼື ການສ້າງຟອງອາກາດຂະໜາດນ້ອຍ.
ເມື່ອເລືອກສະຖານທີ່ຕິດຕັ້ງ, ຕ້ອງໄດ້ພິຈາລະນາປັດໄຈເພີ່ມເຕີມເຊັ່ນ: ລະບົບການໄຫຼ, ທິດທາງທໍ່, ແລະ ຄວາມໃກ້ຄຽງກັບປໍ້າ ຫຼື ວາວ:
- ມັກການຕິດຕັ້ງແນວຕັ້ງດ້ວຍການໄຫຼຂຶ້ນເທິງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຟອງອາກາດ ແລະ ການສະສົມຂອງຕະກອນໃນອົງປະກອບຮັບຮູ້.
- ຮັກສາເສັ້ນຜ່າສູນກາງທໍ່ຫຼາຍໆອັນລະຫວ່າງມິເຕີ ແລະ ແຫຼ່ງທີ່ມາຂອງຄວາມປັ່ນປ່ວນຫຼັກ (ປໍ້າ, ວາວ) ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນຄວາມຜິດພາດໃນການອ່ານຍ້ອນການລົບກວນການໄຫຼ.
- ໃຊ້ການປັບສະພາບກະແສ(ເຄື່ອງຍືດຜົມ ຫຼື ພາກສ່ວນທີ່ເຮັດໃຫ້ສະຫງົບ) ສຳລັບການປະເມີນການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ລຽບນຽນ.
ສິ່ງທ້າທາຍທົ່ວໄປ ແລະ ວິທີປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບການເຊື່ອມໂຍງເຊັນເຊີທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື
ລະບົບການລະລາຍ CMP ກໍ່ໃຫ້ເກີດສິ່ງທ້າທາຍຫຼາຍຢ່າງໃນການເຊື່ອມໂຍງ:
- ການປ້ອນອາກາດ ແລະ ຟອງອາກາດ:ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນດ້ວຍຄື້ນຄວາມຖີ່ສູງສາມາດອ່ານຄວາມໜາແໜ້ນຜິດໄດ້ຖ້າມີຟອງອາກາດຂະໜາດນ້ອຍ. ຫຼີກລ່ຽງການວາງເຊັນເຊີໃກ້ຈຸດທີ່ອາກາດເຂົ້າ ຫຼື ການປ່ຽນແປງການໄຫຼຢ່າງກະທັນຫັນ ເຊິ່ງມັກເກີດຂຶ້ນໃກ້ກັບການປ່ອຍຂອງປໍ້າ ຫຼື ຖັງປະສົມ.
- ການຕົກຕະກອນ:ໃນແນວນອນ, ເຊັນເຊີອາດຈະພົບກັບຂອງແຂງທີ່ຕົກຕະກອນ, ໂດຍສະເພາະກັບນໍ້າຢາຂັດ CeO₂. ການຕິດຕັ້ງແນວຕັ້ງ ຫຼື ການວາງຕຳແໜ່ງໄວ້ຂ້າງເທິງເຂດຕົກຕະກອນທີ່ເປັນໄປໄດ້ແມ່ນແນະນຳໃຫ້ຮັກສາການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ຖືກຕ້ອງ.
- ການເປິະເປື້ອນຂອງເຊັນເຊີ:ນ້ຳເປື້ອນ CMP ປະກອບດ້ວຍສານຂັດ ແລະ ສານເຄມີທີ່ອາດຈະນໍາໄປສູ່ການເປື້ອນ ຫຼື ການເຄືອບຂອງເຊັນເຊີ. ເຄື່ອງມື Lonnmeter ໃນເສັ້ນໄດ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນບັນຫານີ້, ແຕ່ການກວດກາ ແລະ ການທໍາຄວາມສະອາດເປັນປະຈໍາຍັງຄົງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.
- ການສັ່ນສະເທືອນທາງກົນຈັກ:ການວາງໃກ້ກັບອຸປະກອນກົນຈັກທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດສຽງລົບກວນພາຍໃນເຊັນເຊີ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການວັດແທກຫຼຸດລົງ. ເລືອກຈຸດຕິດຕັ້ງທີ່ມີການສັ່ນສະເທືອນໜ້ອຍທີ່ສຸດ.
ສຳລັບຜົນໄດ້ຮັບການເຊື່ອມໂຍງທີ່ດີທີ່ສຸດ:
- ໃຊ້ພາກສ່ວນການໄຫຼແບບລາມິນາສຳລັບການຕິດຕັ້ງ.
- ຮັບປະກັນການຈັດລຽງແນວຕັ້ງບ່ອນໃດກໍ່ຕາມທີ່ເປັນໄປໄດ້.
- ໃຫ້ການເຂົ້າເຖິງໄດ້ງ່າຍສຳລັບການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ການປັບທຽບເປັນໄລຍະ.
- ແຍກເຊັນເຊີຈາກການສັ່ນສະເທືອນ ແລະ ການລົບກວນການໄຫຼ.
ຊິມພີ
*
ຍຸດທະສາດການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍ
ການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ມີປະສິດທິພາບໃນຂະບວນການແປນເຄມີກົນຈັກແມ່ນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຮັກສາອັດຕາການກໍາຈັດວັດສະດຸທີ່ສອດຄ່ອງ, ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງພື້ນຜິວແຜ່ນເວເຟີ, ແລະຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວແຜ່ນເວເຟີເຄິ່ງຕົວນໍາ. ມີຫຼາຍວິທີການແລະເຕັກໂນໂລຢີທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອບັນລຸຄວາມແມ່ນຍໍານີ້, ສະຫນັບສະຫນູນທັງການດໍາເນີນງານທີ່ລຽບງ່າຍແລະຜົນຜະລິດຂອງອຸປະກອນສູງ.
ເຕັກນິກ ແລະ ເຄື່ອງມືສຳລັບການຮັກສາຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍທີ່ດີທີ່ສຸດ
ການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍການຕິດຕາມກວດກາທັງອະນຸພາກຂັດ ແລະ ສານເຄມີຊະນິດຕ່າງໆໃນນໍ້າຢາຂັດເງົາໃນເວລາຈິງ. ສຳລັບນໍ້າຢາຂັດເງົາ Cerium oxide (CeO₂) ແລະ ສູດ CMP ອື່ນໆ, ວິທີການໂດຍກົງເຊັ່ນ: ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາແບບອິນໄລນ໌ແມ່ນພື້ນຖານ. ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາແບບຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງວັດແທກທີ່ຜະລິດໂດຍ Lonnmeter, ສົ່ງການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳພັນຢ່າງແຂງແຮງກັບປະລິມານຂອງແຂງທັງໝົດ ແລະ ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ.
ເຕັກນິກເສີມປະກອບມີການວິເຄາະຄວາມຂຸ່ນ - ບ່ອນທີ່ເຊັນເຊີທາງແສງກວດຈັບການກະແຈກກະຈາຍຈາກອະນຸພາກຂັດທີ່ລະລາຍ - ແລະ ວິທີການສະເປກໂຕຣສະໂຄປີ ເຊັ່ນ UV-Vis ຫຼື ສະເປກໂຕຣສະໂຄປີ ໃກ້ອິນຟາເຣດ (NIR) ເພື່ອວັດແທກປະລິມານສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ສຳຄັນໃນກະແສນ້ຳ. ການວັດແທກເຫຼົ່ານີ້ປະກອບເປັນກະດູກສັນຫຼັງຂອງລະບົບຄວບຄຸມຂະບວນການ CMP, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ການປັບຕົວສົດເພື່ອຮັກສາຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງເປົ້າໝາຍ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງແບບ batch ຫາ batch.
ເຊັນເຊີໄຟຟ້າເຄມີຖືກນຳໃຊ້ໃນສູດປະສົມທີ່ອຸດົມໄປດ້ວຍໄອອອນໂລຫະ, ເຊິ່ງໃຫ້ຂໍ້ມູນການຕອບສະໜອງຢ່າງວ່ອງໄວກ່ຽວກັບຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງໄອອອນສະເພາະ ແລະ ສະໜັບສະໜູນການປັບແຕ່ງຕື່ມອີກໃນການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ກ້າວໜ້າ.
ວົງວຽນຄຳຕິຊົມ ແລະ ອັດຕະໂນມັດສຳລັບການຄວບຄຸມວົງວຽນປິດ
ການຕິດຕັ້ງອຸປະກອນການປັບລະດັບທາງເຄມີ-ກົນຈັກທີ່ທັນສະໄໝໄດ້ນຳໃຊ້ລະບົບຄວບຄຸມວົງຈອນປິດທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ການວັດແທກແບບອິນໄລນ໌ກັບລະບົບການແຈກຈ່າຍອັດຕະໂນມັດຫຼາຍຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ຂໍ້ມູນຈາກເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາ ແລະ ເຊັນເຊີທີ່ກ່ຽວຂ້ອງຈະຖືກປ້ອນໂດຍກົງໄປຫາຕົວຄວບຄຸມຕາມເຫດຜົນທີ່ສາມາດຕັ້ງໂປຣແກຣມໄດ້ (PLCs) ຫຼື ລະບົບຄວບຄຸມແບບກະຈາຍ (DCS). ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ຈະກະຕຸ້ນວາວໂດຍອັດຕະໂນມັດສຳລັບການຕື່ມນ້ຳ, ການຕື່ມນ້ຳຢາທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ, ແລະ ແມ່ນແຕ່ການສີດຢາຄວບຄຸມຄວາມໝັ້ນຄົງ, ຮັບປະກັນວ່າຂະບວນການຍັງຄົງຢູ່ພາຍໃນຂອບເຂດການປະຕິບັດງານທີ່ຕ້ອງການຕະຫຼອດເວລາ.
ສະຖາປັດຕະຍະກຳການຕອບສະໜອງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດແກ້ໄຂຄວາມຜິດປົກກະຕິທີ່ກວດພົບໂດຍເຊັນເຊີໃນເວລາຈິງໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ຫຼີກລ່ຽງການເຈືອຈາງເກີນໄປ, ຮັກສາຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງການຂັດທີ່ດີທີ່ສຸດ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການໃຊ້ສານເຄມີຫຼາຍເກີນໄປ. ຕົວຢ່າງ, ໃນເຄື່ອງມື CMP ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງສຳລັບໂຫນດເວເຟີທີ່ກ້າວໜ້າ, ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດແບບອິນໄລນ໌ ultrasonic ຈະກວດຈັບການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງການຂັດ ແລະ ສັນຍານທັນທີໃຫ້ລະບົບການຕື່ມນໍ້າຢາເພີ່ມການໃສ່ນໍ້າຢາ, ຈົນກວ່າຄວາມໜາແໜ້ນຈະກັບຄືນສູ່ຈຸດທີ່ຕັ້ງໄວ້. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຖ້າຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ວັດແທກໄດ້ເກີນກວ່າທີ່ກຳນົດໄວ້, ເຫດຜົນການຄວບຄຸມຈະເລີ່ມຕົ້ນການຕື່ມນໍ້າປະສົມເພື່ອຟື້ນຟູຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນທີ່ຖືກຕ້ອງ.
ບົດບາດຂອງການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນໃນການປັບອັດຕາການເພີ່ມນ້ຳປະປາ ແລະ ນ້ຳເປື້ອນ
ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າລະລາຍແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນຂອງການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ. ຄ່າຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ສະໜອງໃຫ້ໂດຍເຄື່ອງມືຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນແບບອິນໄລນ໌ຂອງ Lonnmeter ບອກໂດຍກົງເຖິງສອງຕົວກໍານົດການດໍາເນີນງານທີ່ສໍາຄັນຄື: ປະລິມານນໍ້າທີ່ສະສົມ ແລະ ອັດຕາການປ້ອນນໍ້າລະລາຍທີ່ເຂັ້ມຂຸ້ນ.
ໂດຍການວາງເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຢູ່ຈຸດຍຸດທະສາດ - ເຊັ່ນກ່ອນການປ້ອນເຄື່ອງມື CMP ຫຼື ຫຼັງຈາກເຄື່ອງປະສົມຈຸດນຳໃຊ້ - ຂໍ້ມູນແບບເວລາຈິງຊ່ວຍໃຫ້ລະບົບອັດຕະໂນມັດສາມາດປັບອັດຕາການເພີ່ມນ້ຳປະສົມໄດ້, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ນ້ຳລະລາຍເຈືອຈາງຕາມຂໍ້ກຳນົດທີ່ຕ້ອງການ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ລະບົບສາມາດປັບອັດຕາການປ້ອນຂອງນ້ຳລະລາຍເຂັ້ມຂຸ້ນເພື່ອຮັກສາຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງສານຂັດ ແລະ ສານເຄມີໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ໂດຍຄຳນຶງເຖິງການນຳໃຊ້ເຄື່ອງມື, ຜົນກະທົບຂອງການເກົ່າ, ແລະ ການສູນເສຍທີ່ເກີດຈາກຂະບວນການ.
ຕົວຢ່າງ, ໃນລະຫວ່າງການດຳເນີນງານແບບ planarization ທີ່ຍາວນານສຳລັບໂຄງສ້າງ 3D NAND, ການຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜາແໜ້ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຈະກວດພົບການລວມຕົວຂອງ slurry ຫຼືແນວໂນ້ມການຕົກຕະກອນ, ເຊິ່ງກະຕຸ້ນໃຫ້ມີການເພີ່ມຂຶ້ນໂດຍອັດຕະໂນມັດຂອງນ້ຳທີ່ປະກອບເປັນນ້ຳ ຫຼື ການກວນ, ຕາມຄວາມຕ້ອງການເພື່ອຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ. ວົງວຽນຄວບຄຸມທີ່ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດນີ້ແມ່ນພື້ນຖານໃນການຮັກສາເປົ້າໝາຍຄວາມເປັນເອກະພາບລະຫວ່າງ wafer ແລະ ພາຍໃນ wafer ທີ່ເຂັ້ມງວດ, ໂດຍສະເພາະເມື່ອຂະໜາດອຸປະກອນ ແລະ ປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການແຄບລົງ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ຍຸດທະສາດການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາໃນ CMP ແມ່ນອີງໃສ່ການປະສົມປະສານຂອງການວັດແທກໃນສາຍທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ການຕອບສະໜອງແບບວົງຈອນປິດອັດຕະໂນມັດ. ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນຫົວໜ່ວຍ ultrasonic ເຊັ່ນດຽວກັບເຄື່ອງວັດແທກຈາກ Lonnmeter, ມີບົດບາດສຳຄັນໃນການສົ່ງຂໍ້ມູນທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ ແລະ ທັນເວລາ ເຊິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຄຸ້ມຄອງຂະບວນການທີ່ເຂັ້ມງວດໃນຂັ້ນຕອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ສຳຄັນ. ເຄື່ອງມື ແລະ ວິທີການເຫຼົ່ານີ້ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງ, ສະໜັບສະໜູນຄວາມຍືນຍົງໂດຍການເພີ່ມປະສິດທິພາບການໃຊ້ສານເຄມີ, ແລະ ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ຈຳເປັນສຳລັບເຕັກໂນໂລຊີໂຫນດທີ່ທັນສະໄໝ.
ຄູ່ມືການເລືອກເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງ Slurry ສຳລັບອຸດສາຫະກຳ Semiconductor
ການເລືອກເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາສຳລັບການວິເຄາະຄວາມແປນທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກ (CMP) ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງລະມັດລະວັງຕໍ່ຄວາມຕ້ອງການດ້ານເຕັກນິກຫຼາຍຢ່າງ. ເງື່ອນໄຂການປະຕິບັດ ແລະ ການນຳໃຊ້ຫຼັກລວມມີຄວາມອ່ອນໄຫວ, ຄວາມແມ່ນຍຳ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສານເຄມີຂອງນໍ້າຢາທີ່ຮຸນແຮງ, ແລະ ຄວາມສະດວກໃນການເຊື່ອມໂຍງພາຍໃນລະບົບການຈັດສົ່ງນໍ້າຢາ CMP ແລະ ການຕິດຕັ້ງອຸປະກອນ.
ຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມອ່ອນໄຫວ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງ
ການຄວບຄຸມຂະບວນການ CMP ແມ່ນຂຶ້ນກັບການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນສ່ວນປະກອບຂອງນໍ້າຢາຂັດ. ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຕ້ອງກວດພົບການປ່ຽນແປງຂັ້ນຕ່ຳ 0.001 g/cm³ ຫຼືດີກວ່ານັ້ນ. ລະດັບຄວາມອ່ອນໄຫວນີ້ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການລະບຸການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍຫຼາຍໃນເນື້ອໃນຂອງສານຂັດ - ເຊັ່ນວ່າການປ່ຽນແປງທີ່ພົບໃນນໍ້າຢາຂັດ CeO₂ ຫຼື ນໍ້າຢາຂັດທີ່ມີຊິລິກາເປັນສ່ວນປະກອບ - ເພາະວ່າສິ່ງເຫຼົ່ານີ້ມີຜົນກະທົບຕໍ່ອັດຕາການກຳຈັດວັດສະດຸ, ຄວາມຮາບພຽງຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ແລະ ຂໍ້ບົກຜ່ອງ. ລະດັບຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ຍອມຮັບໄດ້ໂດຍທົ່ວໄປສຳລັບເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາເຄືອບເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນ ±0.001–0.002 g/cm³.
ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບນໍ້າຢາລະລາຍທີ່ຮຸກຮານ
ນ້ຳຢາທີ່ໃຊ້ໃນ CMP ສາມາດບັນຈຸອະນຸພາກຂະໜາດນາໂນທີ່ມີສານຂັດເຊັ່ນ: ເຊີລຽມອອກໄຊ (CeO₂), ອະລູມິນາ, ຫຼື ຊິລິກາ, ທີ່ລະລາຍຢູ່ໃນຕົວກາງທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທາງເຄມີ. ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຕ້ອງທົນທານຕໍ່ການສຳຜັດກັບທັງສະພາບແວດລ້ອມການຂັດທາງກາຍະພາບ ແລະ ການກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນໂດຍບໍ່ຫຼຸດອອກຈາກມາດຕະຖານ ຫຼື ທົນຕໍ່ການເປິະເປື້ອນ. ວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໃນຊິ້ນສ່ວນທີ່ປຽກຄວນຈະບໍ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ສານເຄມີທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປທັງໝົດ.
ຄວາມສະດວກໃນການເຊື່ອມໂຍງ
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍໃນສາຍຕ້ອງພໍດີກັບການຕິດຕັ້ງອຸປະກອນ CMP ທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ. ການພິຈາລະນາລວມມີ:
- ປະລິມານຕາຍໜ້ອຍທີ່ສຸດ ແລະ ການຫຼຸດລົງຂອງຄວາມກົດດັນຕໍ່າເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການສົ່ງນ້ຳເປື້ອນ.
- ຮອງຮັບການເຊື່ອມຕໍ່ຂະບວນການອຸດສາຫະກໍາມາດຕະຖານສໍາລັບການຕິດຕັ້ງແລະບໍາລຸງຮັກສາຢ່າງວ່ອງໄວ.
- ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຜົນຜະລິດ (ເຊັ່ນ: ສັນຍານອະນາລັອກ/ດິຈິຕອນ) ສຳລັບການເຊື່ອມໂຍງແບບເວລາຈິງກັບລະບົບຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນ້ຳຢາລະລາຍ, ແຕ່ບໍ່ຕ້ອງສະໜອງລະບົບເຫຼົ່ານັ້ນເອງ.
ຄຸນສົມບັດປຽບທຽບຂອງເຕັກໂນໂລຊີເຊັນເຊີຊັ້ນນໍາ
ການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໄດ້ຮັບການຄຸ້ມຄອງຜ່ານສອງຊັ້ນເຊັນເຊີຄື: ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ເຄື່ອງວັດແທກການຫັກເຫຂອງແສງ. ແຕ່ລະອັນລ້ວນແຕ່ມີຈຸດແຂງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ.
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນໂດຍອີງໃສ່ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນ (ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ)
- ໃຊ້ຄວາມໄວໃນການແຜ່ກະຈາຍຂອງສຽງຜ່ານນໍ້າລາຍ, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງໂດຍກົງກັບຄວາມໜາແໜ້ນ.
- ໃຫ້ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ເປັນເສັ້ນຊື່ສູງໃນທົ່ວຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນ້ຳລະລາຍ ແລະ ປະເພດການຂັດທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.
- ເໝາະສົມກັບນ້ຳຢາຂັດເງົາທີ່ຮຸນແຮງ, ລວມທັງສູດ CeO₂ ແລະ ຊິລິກາ, ຍ້ອນວ່າອົງປະກອບຮັບຮູ້ສາມາດແຍກອອກຈາກສານເຄມີໄດ້.
- ຄວາມອ່ອນໄຫວ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳໂດຍສະເລ່ຍຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຕໍ່າກວ່າ 0.001 g/cm³.
- ການຕິດຕັ້ງໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວແມ່ນຕິດຕັ້ງໃນລະບົບ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດວັດແທກໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນເວລາຈິງໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນການປັບລະດັບກົນຈັກທາງເຄມີ.
ເຄື່ອງວັດແທກທີ່ອີງໃສ່ການຫັກເຫຂອງແສງ
- ວັດແທກດັດຊະນີການຫັກເຫເພື່ອອະນຸມານຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳລະລາຍ.
- ມີປະສິດທິພາບໃນການກວດຈັບການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນສ່ວນປະກອບຂອງນ້ຳລະລາຍເນື່ອງຈາກຄວາມອ່ອນໄຫວສູງຕໍ່ການປ່ຽນແປງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ; ສາມາດແກ້ໄຂການປ່ຽນແປງຂອງສ່ວນປະກອບມວນສານໄດ້ <0.1%.
- ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ດັດຊະນີການຫັກເຫແມ່ນມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບຕົວແປສິ່ງແວດລ້ອມເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມ, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການວັດແທກ ແລະ ການຊົດເຊີຍອຸນຫະພູມຢ່າງລະມັດລະວັງ.
- ອາດຈະມີຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງເຄມີທີ່ຈຳກັດ, ໂດຍສະເພາະໃນນ້ຳລະລາຍທີ່ມີຄວາມຮຸນແຮງສູງ ຫຼື ນ້ຳຂຸ່ນ.
ການວັດແທກຂະໜາດຂອງອະນຸພາກເປັນສ່ວນເສີມ
- ການອ່ານຄວາມໜາແໜ້ນສາມາດບິດເບືອນໄດ້ໂດຍການປ່ຽນແປງຂອງການແຈກຢາຍຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ ຫຼື ການລວມຕົວກັນ.
- ການປະສົມປະສານກັບການວິເຄາະຂະໜາດຂອງອະນຸພາກແບບເປັນໄລຍະ (ເຊັ່ນ: ການກະແຈກກະຈາຍແສງແບບໄດນາມິກ ຫຼື ກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນ) ແມ່ນແນະນຳໂດຍການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງອຸດສາຫະກຳ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນວ່າການປ່ຽນແປງຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ເຫັນໄດ້ຊັດເຈນບໍ່ໄດ້ເກີດຈາກການລວມຕົວຂອງອະນຸພາກເທົ່ານັ້ນ.
ຂໍ້ຄວນພິຈາລະນາສຳລັບເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນແບບ Inline ຂອງ Lonnmeter
- Lonnmeter ຊ່ຽວຊານໃນການຜະລິດເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດໃນເສັ້ນ, ໂດຍບໍ່ໄດ້ສະໜອງຊອບແວສະໜັບສະໜູນ ຫຼື ການເຊື່ອມໂຍງລະບົບ.
- ເຄື່ອງວັດ Lonnmeter ສາມາດລະບຸໄດ້ວ່າທົນທານຕໍ່ກັບນ້ຳເປື້ອນ CMP ທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທາງເຄມີ ແລະ ຖືກອອກແບບມາສຳລັບການຕິດຕັ້ງໂດຍກົງໃນອຸປະກອນຂະບວນການ semiconductor, ເຊິ່ງເໝາະສົມກັບຄວາມຕ້ອງການສຳລັບການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳເປື້ອນໃນເວລາຈິງ.
ເມື່ອທົບທວນຕົວເລືອກຕ່າງໆ, ໃຫ້ສຸມໃສ່ເງື່ອນໄຂການນຳໃຊ້ຫຼັກ: ຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນບັນລຸຄວາມອ່ອນໄຫວ ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳຕາມທີ່ຕ້ອງການ, ຖືກສ້າງຂຶ້ນຈາກວັດສະດຸທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບເຄມີຂອງນໍ້າຢາຂອງທ່ານ, ທົນທານຕໍ່ການດຳເນີນງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ແລະ ປະສົມປະສານເຂົ້າກັບການຂັດເສັ້ນສົ່ງນໍ້າຢາໃນຂະບວນການ CMP ໄດ້ຢ່າງລຽບງ່າຍ. ສຳລັບອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ, ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ຊັດເຈນແມ່ນເປັນພື້ນຖານໃຫ້ແກ່ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງແຜ່ນເວເຟີ, ຜົນຜະລິດ, ແລະ ປະລິມານການຜະລິດ.
ຜົນກະທົບຂອງການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບຕໍ່ຜົນໄດ້ຮັບຂອງ CMP
ການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າລາຍທີ່ຊັດເຈນແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍໃນຂະບວນການສ້າງຄວາມລຽບງ່າຍທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກ. ເມື່ອຄວາມໜາແໜ້ນຖືກຮັກສາໃຫ້ຄົງທີ່, ປະລິມານຂອງອະນຸພາກຂັດທີ່ມີຢູ່ໃນລະຫວ່າງການຂັດເງົາຍັງຄົງທີ່. ສິ່ງນີ້ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ອັດຕາການກຳຈັດວັດສະດຸ (MRR) ແລະ ຄຸນນະພາບພື້ນຜິວຂອງແຜ່ນເວເຟີ.
ການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງໜ້າແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ປັບປຸງ WIWNU
ການຮັກສາຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ດີທີ່ສຸດໄດ້ຮັບການພິສູດແລ້ວວ່າຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງໜ້າແຜ່ນເວເຟີເຊັ່ນ: ຮອຍຂີດຂ່ວນຂະໜາດນ້ອຍ, ການແຍກສ່ວນ, ການກັດເຊາະ, ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ. ການຄົ້ນຄວ້າຈາກປີ 2024 ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າລະດັບຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ຄວບຄຸມໄດ້, ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນລະຫວ່າງ 1 wt% ຫາ 5 wt% ສຳລັບສູດທີ່ອີງໃສ່ຊິລິກາຄໍລອຍດອຍ, ໃຫ້ຄວາມສົມດຸນທີ່ດີທີ່ສຸດລະຫວ່າງປະສິດທິພາບການກຳຈັດ ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງ. ຄວາມໜາແໜ້ນສູງເກີນໄປເພີ່ມການປະທະກັນຂອງສານຂັດ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ການເພີ່ມຂຶ້ນສອງຫາສາມເທົ່າຂອງຈຳນວນຂໍ້ບົກຜ່ອງຕໍ່ຕາລາງຊັງຕີແມັດ, ຕາມການຢືນຢັນໂດຍກ້ອງຈຸລະທັດແຮງປະລໍາມະນູ ແລະ ການວິເຄາະຮູບວົງລີ. ການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ແໜ້ນໜາຍັງຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີພາຍໃນແຜ່ນເວເຟີ (WIWNU), ຮັບປະກັນວ່າວັດສະດຸຖືກກຳຈັດອອກຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນທົ່ວແຜ່ນເວເຟີ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳຂອງໂຫນດທີ່ກ້າວໜ້າ. ຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີຊ່ວຍປ້ອງກັນການປ່ຽນແປງຂອງຂະບວນການທີ່ອາດຈະເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ເປົ້າໝາຍຄວາມໜາຂອງຟິມ ຫຼື ຄວາມຮາບພຽງ.
ການຂະຫຍາຍອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງນ້ຳຢາລະລາຍ ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍວັດສະດຸບໍລິໂພກ
ເຕັກນິກການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາ — ລວມທັງການຕິດຕາມກວດກາແບບເວລາຈິງດ້ວຍເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາດ້ວຍຄື້ນສຽງ — ຊ່ວຍຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງນໍ້າຢາຂັດເງົາ CMP. ໂດຍການປ້ອງກັນການໃຫ້ຢາເກີນຂະໜາດ ຫຼື ການເຈືອຈາງຫຼາຍເກີນໄປ, ອຸປະກອນການປັບລະດັບກົນຈັກເຄມີສາມາດບັນລຸການນຳໃຊ້ວັດສະດຸບໍລິໂພກໄດ້ດີທີ່ສຸດ. ວິທີການນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນນໍ້າຢາຂັດເງົາ ແລະ ຊ່ວຍໃຫ້ມີກົນລະຍຸດການຣີໄຊເຄີນ, ຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນທັງໝົດ. ຕົວຢ່າງ, ໃນການນຳໃຊ້ນໍ້າຢາຂັດເງົາ CeO₂, ການຮັກສາຄວາມໜາແໜ້ນຢ່າງລະມັດລະວັງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປັບສະພາບຂອງຊຸດນໍ້າຢາຂັດເງົາຄືນໃໝ່ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນປະລິມານສິ່ງເສດເຫຼືອໂດຍບໍ່ເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບຫຼຸດລົງ. ການຄວບຄຸມຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ມີປະສິດທິພາບຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນຂະບວນການສາມາດຟື້ນຟູ ແລະ ນຳໃຊ້ນໍ້າຢາຂັດເງົາຄືນໃໝ່ທີ່ຍັງຄົງຢູ່ພາຍໃນຂອບເຂດປະສິດທິພາບທີ່ຍອມຮັບໄດ້, ເຊິ່ງຊ່ວຍປະຫຍັດຕົ້ນທຶນຕື່ມອີກ.
ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຄືນ ແລະ ການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ດີຂຶ້ນສຳລັບການຜະລິດໂຫນດຂັ້ນສູງ
ການນຳໃຊ້ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້ສູງໃນຂັ້ນຕອນການປະສານທາງເຄມີ-ກົນຈັກ. ໃນການຜະລິດໂຫນດຂັ້ນສູງ, ເຖິງແມ່ນວ່າການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາສາມາດສົ່ງຜົນໃຫ້ມີການປ່ຽນແປງທີ່ບໍ່ສາມາດຍອມຮັບໄດ້ໃນຜົນໄດ້ຮັບຂອງແຜ່ນເວເຟີ. ອັດຕະໂນມັດ ແລະ ການເຊື່ອມໂຍງເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາແບບອິນໄລນ໌ ultrasonic — ເຊັ່ນເຄື່ອງທີ່ຜະລິດໂດຍ Lonnmeter — ອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນການຕອບສະໜອງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ເວລາຈິງສຳລັບການຄວບຄຸມຂະບວນການ. ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ສົ່ງການວັດແທກທີ່ຖືກຕ້ອງໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງແບບປົກກະຕິຂອງ CMP, ຮອງຮັບລະບົບວົງຈອນປິດທີ່ຕອບສະໜອງທັນທີຕໍ່ຄວາມຜິດປົກກະຕິ. ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໝາຍເຖິງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີທີ່ໃຫຍ່ກວ່າຈາກແຜ່ນເວເຟີໜຶ່ງໄປຫາອີກແຜ່ນເວເຟີໜຶ່ງ ແລະ ການຄວບຄຸມ MRR ທີ່ເຂັ້ມງວດກວ່າ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນສຳລັບການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຂະໜາດຕ່ຳກວ່າ 7nm. ການຕິດຕັ້ງອຸປະກອນທີ່ເໝາະສົມ — ການວາງຕຳແໜ່ງທີ່ຖືກຕ້ອງໃນສາຍການສົ່ງນ້ຳຢາ — ແລະ ການບຳລຸງຮັກສາເປັນປະຈຳແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າເຄື່ອງວັດແທກເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ໃຫ້ຂໍ້ມູນທີ່ສຳຄັນຕໍ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.
ການຮັກສາຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ພຽງພໍແມ່ນພື້ນຖານສຳລັບການເພີ່ມຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນໃຫ້ສູງສຸດ, ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ແລະຮັບປະກັນການຜະລິດທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນໃນຂະບວນການ CMP.
ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆ (FAQs)
ໜ້າທີ່ຂອງເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາໃນຂະບວນການແປນທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກແມ່ນຫຍັງ?
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດມີບົດບາດສຳຄັນໃນຂະບວນການປັບຮູບຮ່າງທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກໂດຍການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ. ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງມັນແມ່ນເພື່ອສະໜອງຂໍ້ມູນແບບເວລາຈິງກ່ຽວກັບຄວາມສົມດຸນຂອງສານຂັດ ແລະ ສານເຄມີໃນນໍ້າຢາຂັດ, ຮັບປະກັນວ່າທັງສອງຢູ່ໃນຂອບເຂດທີ່ແນ່ນອນສຳລັບການປັບຮູບຮ່າງຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ດີທີ່ສຸດ. ການຄວບຄຸມແບບເວລາຈິງນີ້ປ້ອງກັນຂໍ້ບົກຜ່ອງເຊັ່ນ: ການຂູດ ຫຼື ການກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ບໍ່ສະເໝີພາບ, ເຊິ່ງມັກພົບໃນສ່ວນປະສົມຂອງນໍ້າຢາຂັດທີ່ເຈືອຈາງເກີນໄປ ຫຼື ໜ້ອຍເກີນໄປ. ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາຂັດທີ່ສອດຄ່ອງກັນຊ່ວຍຮັກສາຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດຊ້ຳໄດ້ຕະຫຼອດການຜະລິດ, ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງລະຫວ່າງແຜ່ນເວເຟີ ແລະ ແຜ່ນເວເຟີ, ແລະ ສະໜັບສະໜູນການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການໂດຍການກະຕຸ້ນການແກ້ໄຂຖ້າກວດພົບຄວາມຜິດປົກກະຕິ. ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຂັ້ນສູງ ແລະ ການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືສູງ, ການຕິດຕາມກວດກາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຍັງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອ ແລະ ສະໜັບສະໜູນມາດຕະການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບທີ່ເຂັ້ມງວດ.
ເປັນຫຍັງນໍ້າຢາຂັດ CeO₂ ຈຶ່ງເປັນທີ່ນິຍົມສຳລັບຂັ້ນຕອນການປັບຮູບຮ່າງບາງຢ່າງໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ?
ນ້ຳຢາຂັດ Cerium oxide (CeO₂) ຖືກເລືອກໃຊ້ສຳລັບຂັ້ນຕອນການປັບແບບເຄິ່ງຕົວນຳສະເພາະ ເນື່ອງຈາກມີການເລືອກເຟັ້ນ ແລະ ຄວາມຜູກພັນທາງເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ, ໂດຍສະເພາະສຳລັບຟິມແກ້ວ ແລະ ອົກໄຊ. ອະນຸພາກຂັດທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງມັນເຮັດໃຫ້ມີການປັບແບບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງດ້ວຍອັດຕາການຜິດປົກກະຕິທີ່ຕ່ຳຫຼາຍ ແລະ ມີການຂູດພື້ນຜິວໜ້ອຍທີ່ສຸດ. ຄຸນສົມບັດທາງເຄມີຂອງ CeO₂ ຊ່ວຍໃຫ້ອັດຕາການກຳຈັດທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ເຮັດຊ້ຳໄດ້, ເຊິ່ງມີຄວາມຈຳເປັນສຳລັບການນຳໃຊ້ຂັ້ນສູງເຊັ່ນ: ໂຟໂຕນິກ ແລະ ວົງຈອນປະສົມປະສານທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ນ້ຳຢາຂັດ CeO₂ ຍັງຕ້ານທານການລວມຕົວກັນ, ຮັກສາການລະງັບທີ່ສະໝ່ຳສະເໝີເຖິງແມ່ນວ່າໃນລະຫວ່າງການດຳເນີນງານ CMP ທີ່ຍາວນານ.
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍແບບ ultrasonic ເຮັດວຽກແນວໃດເມື່ອທຽບກັບການວັດແທກປະເພດອື່ນໆ?
ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນແບບ ultrasonic ເຮັດວຽກໂດຍການສົ່ງຄື້ນສຽງຜ່ານນໍ້າເປື້ອນ ແລະ ວັດແທກຄວາມໄວ ແລະ ການອ່ອນເພຍຂອງຄື້ນເຫຼົ່ານີ້. ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໄວຂອງຄື້ນທີ່ເຄື່ອນທີ່ ແລະ ຂອບເຂດທີ່ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງມັນຫຼຸດລົງ. ວິທີການວັດແທກນີ້ແມ່ນບໍ່ແຊກແຊງ ແລະ ໃຫ້ຂໍ້ມູນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນໃນເວລາຈິງໂດຍບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງແຍກ ຫຼື ລົບກວນການໄຫຼຂອງຂະບວນການ. ວິທີການ ultrasonic ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມອ່ອນໄຫວໜ້ອຍລົງຕໍ່ກັບຕົວແປຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມໄວຂອງການໄຫຼ ຫຼື ຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ ເມື່ອປຽບທຽບກັບລະບົບການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນແບບກົນຈັກ (ອີງໃສ່ການລອຍຕົວ) ຫຼື ລະບົບການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າໜັກ. ໃນລະບົບການປັບລະດັບກົນຈັກທາງເຄມີ, ສິ່ງນີ້ແປເປັນການວັດແທກທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ແຂງແຮງ ເຖິງແມ່ນວ່າໃນນໍ້າເປື້ອນທີ່ມີການໄຫຼສູງ ແລະ ອຸດົມດ້ວຍອະນຸພາກ.
ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍຄວນຕິດຕັ້ງຢູ່ໃສໃນລະບົບ CMP?
ຕຳແໜ່ງຕິດຕັ້ງທີ່ດີທີ່ສຸດສຳລັບເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາໃນອຸປະກອນການປັບສະພາບກົນຈັກເຄມີປະກອບມີ:
- ຖັງໝູນວຽນຄືນ: ເພື່ອຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜາແໜ້ນໂດຍລວມຂອງນ້ຳລະລາຍຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງກ່ອນການແຈກຢາຍ.
- ກ່ອນການຈັດສົ່ງຈຸດນຳໃຊ້ໄປຍັງແຜ່ນຂັດ: ເພື່ອຮັບປະກັນວ່ານ້ຳຢາຂັດທີ່ສະໜອງໃຫ້ນັ້ນຕອບສະໜອງຕາມຂໍ້ກຳນົດຄວາມໜາແໜ້ນຂອງເປົ້າໝາຍ.
- ຫຼັງຈາກຈຸດປະສົມນ້ຳລະລາຍແລ້ວ: ຮັບປະກັນວ່າຜະລິດຕະພັນທີ່ກຽມໃໝ່ນັ້ນສອດຄ່ອງກັບສູດທີ່ຕ້ອງການກ່ອນທີ່ຈະເຂົ້າສູ່ວົງຈອນຂະບວນການ.
ຕຳແໜ່ງຍຸດທະສາດເຫຼົ່ານີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດກວດຈັບ ແລະ ແກ້ໄຂຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນ້ຳຢາໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວ, ປ້ອງກັນຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນເວເຟີທີ່ເສື່ອມໂຊມ ແລະ ການຂັດຂວາງຂອງຂະບວນການ. ການວາງຕຳແໜ່ງແມ່ນຂຶ້ນກັບການເຄື່ອນໄຫວຂອງການໄຫຼຂອງນ້ຳຢາ, ພຶດຕິກຳການປະສົມທົ່ວໄປ, ແລະ ຄວາມຈຳເປັນສຳລັບການຕອບສະໜອງທັນທີໃກ້ກັບແຜ່ນປັບຄວາມລຽບ.
ການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາລ້າງທີ່ຊັດເຈນປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ CMP ແນວໃດ?
ການຄວບຄຸມຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງນໍ້າຢາລ້າງທີ່ຊັດເຈນຊ່ວຍປັບປຸງຂະບວນການສ້າງຄວາມລຽບງ່າຍທາງເຄມີໂດຍການຮັບປະກັນອັດຕາການກຳຈັດທີ່ເປັນເອກະພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມຕ້ານທານຂອງແຜ່ນ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງພື້ນຜິວ. ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາລ້າງທີ່ໝັ້ນຄົງຊ່ວຍຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງແຜ່ນຂັດ ແລະ ແຜ່ນເວເຟີໂດຍການປ້ອງກັນການໃຊ້ສານຂັດຫຼາຍເກີນໄປ ຫຼື ການໃຊ້ໜ້ອຍເກີນໄປ. ມັນຍັງຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນຂອງຂະບວນການໂດຍການເພີ່ມປະສິດທິພາບການໃຊ້ນໍ້າຢາລ້າງ, ຫຼຸດຜ່ອນການເຮັດວຽກຄືນໃໝ່, ແລະ ສະໜັບສະໜູນຜົນຜະລິດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ສູງຂຶ້ນ. ໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດຂັ້ນສູງ ແລະ ການຜະລິດອຸປະກອນ quantum, ການຄວບຄຸມນໍ້າຢາລ້າງທີ່ເຂັ້ມງວດສະໜັບສະໜູນຄວາມລຽບງ່າຍທີ່ສາມາດຜະລິດຄືນໄດ້, ປະສິດທິພາບທາງໄຟຟ້າທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການຮົ່ວໄຫຼໃນທົ່ວສະຖາປັດຕະຍະກຳຂອງອຸປະກອນ.
ເວລາໂພສ: ທັນວາ-09-2025
