Chemical Mechanical Polishing

ການຂັດເງົາທາງເຄມີ-ກົນຈັກ (CMP) ມັກກ່ຽວຂ້ອງກັບການຜະລິດພື້ນຜິວລຽບໂດຍປະຕິກິລິຍາເຄມີ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນວຽກງານໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ.ລອນມິເຕີ, ຜູ້ປະດິດສ້າງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ດ້ວຍຄວາມຊ່ຽວຊານຫຼາຍກວ່າ 20 ປີໃນການວັດແທກຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນໃນເສັ້ນ, ສະເໜີຜະລິດຕະພັນທີ່ທັນສະໄໝເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນທີ່ບໍ່ແມ່ນນິວເຄຼຍແລະເຊັນເຊີຄວາມໜືດເພື່ອແກ້ໄຂສິ່ງທ້າທາຍຂອງການຄຸ້ມຄອງນໍ້າເປື້ອນ.

ຄວາມສຳຄັນຂອງຄຸນນະພາບຂອງ Slurry ແລະ ຄວາມຊ່ຽວຊານຂອງ Lonnmeter

ນ້ຳຢາຂັດເງົາກົນຈັກເຄມີແມ່ນກະດູກສັນຫຼັງຂອງຂະບວນການ CMP, ເຊິ່ງກຳນົດຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງພື້ນຜິວ. ຄວາມໜາແໜ້ນ ຫຼື ຄວາມໜືດຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີສາມາດນຳໄປສູ່ຂໍ້ບົກຜ່ອງເຊັ່ນ: ຮອຍຂີດຂ່ວນຂະໜາດນ້ອຍ, ການກຳຈັດວັດສະດຸທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ຫຼື ການອຸດຕັນຂອງແຜ່ນ, ເຮັດໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນເວເຟີຫຼຸດລົງ ແລະ ເພີ່ມຕົ້ນທຶນການຜະລິດ. Lonnmeter, ຜູ້ນຳລະດັບໂລກໃນວິທີແກ້ໄຂການວັດແທກອຸດສາຫະກຳ, ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການວັດແທກນ້ຳຢາຂັດເງົາແບບອິນໄລນ໌ເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາທີ່ດີທີ່ສຸດ. ດ້ວຍປະຫວັດທີ່ພິສູດແລ້ວໃນການສະໜອງເຊັນເຊີທີ່ມີຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, Lonnmeter ໄດ້ຮ່ວມມືກັບຜູ້ຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການຄວບຄຸມຂະບວນການ ແລະ ປະສິດທິພາບ. ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາທີ່ບໍ່ແມ່ນນິວເຄຼຍ ແລະ ເຊັນເຊີຄວາມໜືດຂອງພວກເຂົາໃຫ້ຂໍ້ມູນແບບເວລາຈິງ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດປັບໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນເພື່ອຮັກສາຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງນ້ຳຢາຂັດເງົາ ແລະ ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທັນສະໄໝ.

ມີປະສົບການຫຼາຍກວ່າສອງທົດສະວັດໃນການວັດແທກຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນໃນເສັ້ນ, ໄດ້ຮັບຄວາມໄວ້ວາງໃຈຈາກບໍລິສັດເຄິ່ງຕົວນຳຊັ້ນນຳ. ເຊັນເຊີຂອງ Lonnmeter ຖືກອອກແບບມາເພື່ອການເຊື່ອມໂຍງທີ່ລຽບງ່າຍ ແລະ ບໍ່ມີການບຳລຸງຮັກສາ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດຳເນີນງານ. ວິທີແກ້ໄຂທີ່ເໝາະສົມເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂະບວນການສະເພາະ, ຮັບປະກັນຜົນຜະລິດຂອງເວເຟີທີ່ສູງ ແລະ ການປະຕິບັດຕາມ.

ບົດບາດຂອງການຂັດເງົາກົນຈັກທາງເຄມີໃນການຜະລິດເຄື່ອງເຄິ່ງຕົວນຳ

ການຂັດເງົາກົນຈັກເຄມີ (CMP), ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າ ການຈັດລຽງແບບລະນາບເຄມີ-ກົນຈັກ, ເປັນພື້ນຖານຂອງການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດສ້າງພື້ນຜິວທີ່ຮາບພຽງ ແລະ ບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ ສຳລັບການຜະລິດຊິບຂັ້ນສູງ. ໂດຍການລວມການແກະສະຫຼັກທາງເຄມີເຂົ້າກັບການຂັດເງົາກົນຈັກ, ຂະບວນການ CMP ຮັບປະກັນຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ຕ້ອງການສຳລັບວົງຈອນປະສົມປະສານຫຼາຍຊັ້ນຢູ່ທີ່ໂຫນດຕ່ຳກວ່າ 10nm. ນ້ຳຂັດເງົາກົນຈັກເຄມີ, ປະກອບດ້ວຍນ້ຳ, ສານປະຕິກິລິຍາເຄມີ, ແລະ ອະນຸພາກຂັດ, ຈະພົວພັນກັບແຜ່ນຂັດ ແລະ ແຜ່ນຂັດເພື່ອກຳຈັດວັດສະດຸຢ່າງເປັນເອກະພາບ. ໃນຂະນະທີ່ການອອກແບບເຄິ່ງຕົວນຳພັດທະນາ, ຂະບວນການ CMP ປະເຊີນກັບຄວາມສັບສົນທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ຄຸນສົມບັດຂອງນ້ຳຂັດເພື່ອປ້ອງກັນຂໍ້ບົກຜ່ອງ ແລະ ບັນລຸແຜ່ນຂັດເງົາທີ່ລຽບນຽນຕາມທີ່ໂຮງງານຫລໍ່ເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ຜູ້ສະໜອງວັດສະດຸຕ້ອງການ.

ຂະບວນການດັ່ງກ່າວແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຜະລິດຊິບ 5nm ແລະ 3nm ທີ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງຮັບປະກັນພື້ນຜິວຮາບພຽງສຳລັບການວາງຊັ້ນຕໍ່ໆໄປຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງນໍ້າຢາລະລາຍເລັກນ້ອຍກໍ່ສາມາດນຳໄປສູ່ການເຮັດວຽກຄືນໃໝ່ທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງ ຫຼື ການສູນເສຍຜົນຜະລິດ.

ສິ່ງທ້າທາຍໃນການຕິດຕາມກວດກາຊັບສິນຂອງຂີ້ຕົມ

ການຮັກສາຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດຂອງນໍ້າຢາທີ່ສະໝ່ຳສະເໝີໃນຂະບວນການຂັດເຄມີກົນຈັກແມ່ນເຕັມໄປດ້ວຍສິ່ງທ້າທາຍ. ຄຸນສົມບັດຂອງນໍ້າຢາສາມາດແຕກຕ່າງກັນໄປຍ້ອນປັດໃຈຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການຂົນສົ່ງ, ການເຈືອຈາງດ້ວຍນໍ້າ ຫຼື ໄຮໂດຣເຈນເປີອອກໄຊ, ການປະສົມທີ່ບໍ່ພຽງພໍ, ຫຼື ການເສື່ອມສະພາບທາງເຄມີ. ຕົວຢ່າງ, ການຕົກຕະກອນຂອງອະນຸພາກໃນຖົງນໍ້າຢາສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມໜາແໜ້ນສູງຂຶ້ນຢູ່ດ້ານລຸ່ມ, ເຊິ່ງນໍາໄປສູ່ການຂັດທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ. ວິທີການຕິດຕາມກວດກາແບບດັ້ງເດີມເຊັ່ນ: pH, ທ່າແຮງການຫຼຸດຜ່ອນການຜຸພັງ (ORP), ຫຼື ຄວາມນຳໄຟຟ້າມັກຈະບໍ່ພຽງພໍ, ຍ້ອນວ່າພວກມັນບໍ່ສາມາດກວດພົບການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍໃນສ່ວນປະກອບຂອງນໍ້າຢາ. ຂໍ້ຈຳກັດເຫຼົ່ານີ້ສາມາດສົ່ງຜົນໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ອັດຕາການກຳຈັດຫຼຸດລົງ, ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຜູ້ບໍລິໂພກ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດຄວາມສ່ຽງທີ່ສຳຄັນຕໍ່ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ CMP. ການປ່ຽນແປງສ່ວນປະກອບໃນລະຫວ່າງການຈັດການ ແລະ ການແຈກຢາຍມີຜົນກະທົບຕໍ່ປະສິດທິພາບ. ໂຫນດທີ່ຕ່ຳກວ່າ 10nm ຕ້ອງການການຄວບຄຸມທີ່ເຂັ້ມງວດກວ່າກ່ຽວກັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງນໍ້າຢາ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປະສົມ. pH ແລະ ORP ສະແດງໃຫ້ເຫັນການປ່ຽນແປງໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ໃນຂະນະທີ່ຄວາມນຳໄຟຟ້າແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມການແກ່ຂອງນໍ້າຢາ. ຄຸນສົມບັດຂອງນໍ້າຢາທີ່ບໍ່ສະໝ່ຳສະເໝີສາມາດເພີ່ມອັດຕາການເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງໄດ້ເຖິງ 20%, ຕາມການສຶກສາຂອງອຸດສາຫະກຳ.

ເຊັນເຊີ Inline ຂອງ Lonnmeter ສຳລັບການຕິດຕາມກວດກາແບບເວລາຈິງ

Lonnmeter ແກ້ໄຂບັນຫາເຫຼົ່ານີ້ດ້ວຍເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າເປື້ອນທີ່ບໍ່ແມ່ນນິວເຄຼຍທີ່ທັນສະໄໝ ແລະເຊັນເຊີຄວາມໜືດ, ລວມທັງເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜືດໃນເສັ້ນສຳລັບການວັດແທກຄວາມໜືດໃນເສັ້ນ ແລະ ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນແບບ ultrasonic ສຳລັບການຕິດຕາມຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດຂອງນໍ້າຢາພ້ອມໆກັນ. ເຊັນເຊີເຫຼົ່ານີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອການເຊື່ອມໂຍງທີ່ລຽບງ່າຍເຂົ້າໃນຂະບວນການ CMP, ໂດຍມີການເຊື່ອມຕໍ່ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ. ວິທີແກ້ໄຂຂອງ Lonnmeter ສະເໜີຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວ ແລະ ການບຳລຸງຮັກສາຕ່ຳສຳລັບການກໍ່ສ້າງທີ່ແຂງແຮງ. ຂໍ້ມູນແບບເວລາຈິງຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ປະຕິບັດງານສາມາດປັບແຕ່ງການປະສົມນໍ້າຢາ, ປ້ອງກັນຂໍ້ບົກຜ່ອງ ແລະ ເພີ່ມປະສິດທິພາບການຂັດເງົາ, ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງມືເຫຼົ່ານີ້ຂາດບໍ່ໄດ້ສຳລັບຜູ້ສະໜອງອຸປະກອນການວິເຄາະ ແລະ ການທົດສອບ ແລະ ຜູ້ສະໜອງອຸປະກອນບໍລິໂພກ CMP.

ຜົນປະໂຫຍດຂອງການຕິດຕາມກວດກາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສຳລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບ CMP

ການຕິດຕາມກວດກາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງດ້ວຍເຊັນເຊີໃນສາຍຂອງ Lonnmeter ປ່ຽນຂະບວນການຂັດເຄມີກົນຈັກໂດຍການສະໜອງຂໍ້ມູນເຊີງລຶກທີ່ສາມາດນຳໃຊ້ໄດ້ ແລະ ການປະຫຍັດຕົ້ນທຶນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາໃນເວລາຈິງ ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜືດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງເຊັ່ນ: ຮອຍຂີດຂ່ວນ ຫຼື ການຂັດຫຼາຍເກີນໄປໄດ້ເຖິງ 20%, ອີງຕາມມາດຕະຖານຂອງອຸດສາຫະກຳ. ການເຊື່ອມໂຍງກັບລະບົບ PLC ຊ່ວຍໃຫ້ການຕັກຢາ ແລະ ການຄວບຄຸມຂະບວນການອັດຕະໂນມັດ, ຮັບປະກັນວ່າຄຸນສົມບັດຂອງນໍ້າຢາຍັງຄົງຢູ່ໃນລະດັບທີ່ດີທີ່ສຸດ. ສິ່ງນີ້ນຳໄປສູ່ການຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການບໍລິໂພກ 15-25%, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ, ແລະ ປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງແຜ່ນເວເຟີ. ສຳລັບໂຮງງານຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ CMP, ຜົນປະໂຫຍດເຫຼົ່ານີ້ແປເປັນຜົນຜະລິດທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ອັດຕາກຳໄລທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະ ການປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານເຊັ່ນ ISO 6976.

ຄຳຖາມທົ່ວໄປກ່ຽວກັບການຕິດຕາມກວດກາການລະລາຍໃນ CMP

ເປັນຫຍັງການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາລະລາຍຈຶ່ງເປັນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບ CMP?

ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຂີ້ຕົມຮັບປະກັນການແຈກຢາຍອະນຸພາກ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງສ່ວນປະສົມຢ່າງເປັນເອກະພາບ, ປ້ອງກັນຂໍ້ບົກຜ່ອງ ແລະ ເພີ່ມປະສິດທິພາບອັດຕາການກຳຈັດໃນຂະບວນການຂັດເງົາທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກ. ມັນສະໜັບສະໜູນການຜະລິດແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ການປະຕິບັດຕາມມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ.

ການຕິດຕາມຄວາມໜືດຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງ CMP ໄດ້ແນວໃດ?

ການຕິດຕາມຄວາມໜືດຮັກສາການໄຫຼຂອງນໍ້າຢາງທີ່ສະໝ່ຳສະເໝີ, ປ້ອງກັນບັນຫາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການອຸດຕັນຂອງແຜ່ນ ຫຼື ການຂັດເງົາທີ່ບໍ່ສະເໝີກັນ. ເຊັນເຊີໃນເສັ້ນຂອງ Lonnmeter ໃຫ້ຂໍ້ມູນແບບເວລາຈິງເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການ CMP ແລະ ປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງແຜ່ນເວເຟີ.

ສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ບໍ່ແມ່ນນິວເຄຼຍຂອງ Lonnmeter ມີຄວາມໂດດເດັ່ນແມ່ນຫຍັງ?

ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ບໍ່ແມ່ນນິວເຄຼຍຂອງ Lonnmeter ໃຫ້ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໜືດພ້ອມໆກັນດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ບໍ່ຕ້ອງບຳລຸງຮັກສາ. ການອອກແບບທີ່ແຂງແຮງຂອງພວກມັນຮັບປະກັນຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການ CMP ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການສູງ.

ການວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາໃນເວລາຈິງ ແລະ ການຕິດຕາມຄວາມໜືດແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການປັບປຸງຂະບວນການຂັດເງົາທາງເຄມີ ແລະ ກົນຈັກໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງນໍ້າຢາທີ່ບໍ່ແມ່ນນິວເຄຼຍ ແລະ ເຊັນເຊີຄວາມໜືດຂອງ Lonnmeter ໃຫ້ເຄື່ອງມືແກ່ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ຜູ້ສະໜອງອຸປະກອນບໍລິໂພກ CMP, ແລະ ໂຮງງານຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳເພື່ອເອົາຊະນະສິ່ງທ້າທາຍໃນການຄຸ້ມຄອງນໍ້າຢາ, ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນ. ໂດຍການສະໜອງຂໍ້ມູນທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ເວລາຈິງ, ວິທີແກ້ໄຂເຫຼົ່ານີ້ຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດຕາມ, ແລະ ຂັບເຄື່ອນຜົນກຳໄລໃນຕະຫຼາດ CMP ທີ່ມີການແຂ່ງຂັນສູງ. ເຂົ້າເບິ່ງເວັບໄຊທ໌ຂອງ Lonnmeterຫຼື ຕິດຕໍ່ທີມງານຂອງເຂົາເຈົ້າໃນມື້ນີ້ເພື່ອຄົ້ນພົບວິທີທີ່ Lonnmeter ສາມາດປ່ຽນແປງການດຳເນີນງານຂັດເງົາທາງເຄມີກົນຈັກຂອງທ່ານ.

ປະຕິບັດດຽວນີ້

ເວລາໂພສ: ກໍລະກົດ-22-2025