Chemical Mechanical Polishing

Химиялык-механикалык жылтыратуу (ХМЖ) көбүнчө химиялык реакция аркылуу жылмакай беттерди алуу менен байланыштуу, айрыкча жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү тармагында колдонулат.Лоннметр, 20 жылдан ашык убакыттан бери сызык ичиндеги концентрацияны өлчөө боюнча тажрыйбасы бар ишенимдүү новатор, эң заманбап технологияларды сунуштайтядролук эмес тыгыздык өлчөгүчтөржана шламды башкаруудагы кыйынчылыктарды чечүү үчүн илешкектик сенсорлору.

Шламдын сапатынын жана лоннметрдин тажрыйбасынын мааниси

Химиялык механикалык жылтыратуу суспензиясы CMP процессинин негизи болуп саналат, ал беттердин бирдейлигин жана сапатын аныктайт. Шустушунун тыгыздыгынын же илешкектүүлүгүнүн туруксуздугу микро-тырыктар, материалдын бирдей эмес алынып салынышы же төшөктүн бүтөлүп калышы сыяктуу кемчиликтерге алып келиши мүмкүн, бул пластинанын сапатын начарлатат жана өндүрүш чыгымдарын жогорулатат. Өнөр жайлык өлчөө чечимдеринин дүйнөлүк лидери болгон Lonnmeter суспензиянын оптималдуу иштешин камсыз кылуу үчүн сызыктуу суспензиянын өлчөөсүнө адистешкен. Ишенимдүү, жогорку тактыктагы сенсорлорду жеткирүү боюнча далилденген тажрыйбасы менен Lonnmeter процессти башкарууну жана натыйжалуулукту жогорулатуу үчүн алдыңкы жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр менен өнөктөштүк түзгөн. Алардын ядролук эмес суспензиянын тыгыздык өлчөгүчтөрү жана илешкектүүлүк сенсорлору реалдуу убакыттагы маалыматтарды берет, бул суспензиянын консистенциясын сактоо жана заманбап жарым өткөргүч өндүрүшүнүн катуу талаптарын канааттандыруу үчүн так жөндөөлөрдү киргизүүгө мүмкүндүк берет.

Сызыктуу концентрацияны өлчөө жаатында жыйырма жылдан ашык тажрыйбага ээ, алдыңкы жарым өткөргүч фирмалар тарабынан ишеничке ээ. Lonnmeter сенсорлору үзгүлтүксүз интеграциялоо жана нөлдүк техникалык тейлөө үчүн иштелип чыккан, бул эксплуатациялык чыгымдарды азайтат. Белгилүү бир процесстик муктаждыктарды канааттандыруу үчүн ылайыкташтырылган чечимдер, жогорку пластиналардын чыгышын жана шайкештигин камсыз кылат.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө химиялык механикалык жылтыратуунун ролу

Химиялык механикалык жылтыратуу (ХМЖ), ошондой эле химиялык-механикалык тегиздөө деп аталат, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн негизги ташы болуп саналат жана чиптерди өнүктүрүү үчүн жалпак, кемчиликсиз беттерди түзүүгө мүмкүндүк берет. Химиялык оюу менен механикалык абразицияны айкалыштыруу менен, ХМЖ процесси 10 нмден төмөн түйүндөрдө көп катмарлуу интегралдык микросхемалар үчүн талап кылынган тактыкты камсыз кылат. Суудан, химиялык реагенттерден жана абразивдик бөлүкчөлөрдөн турган химиялык механикалык жылтыратуу аралашмасы материалды бирдей алып салуу үчүн жылтыратуу аянтчасы жана пластина менен өз ара аракеттенет. Жарым өткөргүчтөрдүн конструкциялары өнүккөн сайын, ХМЖ процесси барган сайын татаалдашып баратат, бул кемчиликтердин алдын алуу жана жарым өткөргүч куюучу заводдор жана материалдар жеткирүүчүлөр тарабынан талап кылынган жылмакай, жылтыратылган пластиналарга жетүү үчүн аралашманын касиеттерин катуу көзөмөлдөөнү талап кылат.

Бул процесс минималдуу кемчиликтери бар 5 нм жана 3 нм чиптерди өндүрүү үчүн абдан маанилүү, бул кийинки катмарларды так жайгаштыруу үчүн тегиз беттерди камсыз кылат. Ал тургай, шламдын анча чоң эмес шайкеш келбестиги дагы кымбат баалуу кайра иштетүүгө же түшүмдүн жоголушуна алып келиши мүмкүн.

Шламдын касиеттерин мониторингдөөдөгү кыйынчылыктар

Химиялык механикалык жылтыратуу процессинде суспензиянын тыгыздыгын жана илешкектүүлүгүн туруктуу сактоо көптөгөн кыйынчылыктарга дуушар кылат. Шламдын касиеттери ташуу, суу же суутек перекиси менен суюлтуу, жетишсиз аралаштыруу же химиялык бузулуу сыяктуу факторлорго байланыштуу өзгөрүшү мүмкүн. Мисалы, суспензиялык баштыкчаларда бөлүкчөлөрдүн чөгүшү түбүндө жогорку тыгыздыкка алып келип, бирдей эмес жылтыратууга алып келиши мүмкүн. рН, кычкылдануу-калыбына келтирүү потенциалы (ORP) же өткөрүмдүүлүк сыяктуу салттуу мониторинг ыкмалары көп учурда жетишсиз, анткени алар суспензиянын курамындагы тымызын өзгөрүүлөрдү аныктай албайт. Бул чектөөлөр кемчиликтерге, алып салуу ылдамдыгынын төмөндөшүнө жана керектелүүчү чыгымдардын көбөйүшүнө алып келиши мүмкүн, бул жарым өткөргүч жабдууларды өндүрүүчүлөр жана CMP кызмат көрсөтүүчүлөр үчүн олуттуу тобокелдиктерди жаратат. Иштетүү жана берүү учурундагы курамдык өзгөрүүлөр иштин натыйжалуулугуна таасир этет. 10 нмден төмөн түйүндөр суспензиянын тазалыгына жана аралашманын тактыгына катуу көзөмөлдү талап кылат. рН жана ORP минималдуу өзгөрүүлөрдү көрсөтөт, ал эми өткөрүмдүүлүк суспензиянын эскириши менен өзгөрөт. Тармактык изилдөөлөргө ылайык, суспензиянын касиеттеринин туруксуздугу кемчиликтердин деңгээлин 20% га чейин жогорулатышы мүмкүн.

Лоннметрдин реалдуу убакыт режиминде мониторинг жүргүзүү үчүн линия ичиндеги сенсорлору

Lonnmeter бул көйгөйлөрдү өзүнүн өнүккөн ядролук эмес шлам тыгыздыгын өлчөгүчтөрү менен чечет жанаилешкектик сенсорлоруанын ичинде илешкектикти өлчөө үчүн сызыктуу илешкектик өлчөгүч жана бир эле учурда шламдын тыгыздыгын жана илешкектикти көзөмөлдөө үчүн ультраүндүү тыгыздык өлчөгүч бар. Бул сенсорлор тармактык стандарттагы туташууларды камтыган CMP процесстерине үзгүлтүксүз интеграциялоо үчүн иштелип чыккан. Lonnmeterдин чечимдери анын бекем конструкциясы үчүн узак мөөнөттүү ишенимдүүлүктү жана аз тейлөөнү сунуштайт. Реалдуу убакыттагы маалыматтар операторлорго шлам аралашмаларын так жөндөөгө, кемчиликтердин алдын алууга жана жылтыратуу ишин оптималдаштырууга мүмкүндүк берет, бул куралдарды анализ жана сыноо жабдууларын жеткирүүчүлөр жана CMP керектелүүчү материалдарын жеткирүүчүлөр үчүн алмаштыргыс кылат.

CMP оптималдаштыруу үчүн үзгүлтүксүз мониторингдин пайдасы

Lonnmeterдин инлайн сенсорлору менен үзгүлтүксүз мониторинг жүргүзүү химиялык механикалык жылтыратуу процессин өзгөртүп, иш жүзүндө колдонууга мүмкүн болгон түшүнүктөрдү жана чыгымдарды бир топ үнөмдөйт. Тармактык эталондорго ылайык, реалдуу убакыт режиминдеги шламдын тыгыздыгын өлчөө жана илешкектикти көзөмөлдөө чийилип калуу же ашыкча жылтыратуу сыяктуу кемчиликтерди 20% га чейин азайтат. PLC системасы менен интеграциялоо шламдын касиеттеринин оптималдуу диапазондо калышын камсыз кылып, автоматташтырылган дозалоону жана процессти башкарууну камсыз кылат. Бул керектелүүчү чыгымдарды 15-25% га кыскартууга, токтоп калуу убактысын минималдаштырууга жана пластинанын бирдейлигин жакшыртууга алып келет. Жарым өткөргүч куюу заводдору жана CMP кызмат көрсөтүүчүлөрү үчүн бул артыкчылыктар өндүрүмдүүлүктүн жогорулашына, кирешенин жогорку чеги жана ISO 6976 сыяктуу стандарттарга шайкеш келүүгө алып келет.

CMPдеги шламды мониторингдөө боюнча көп берилүүчү суроолор

Эмне үчүн CMP үчүн шламдын тыгыздыгын өлчөө маанилүү?

Шламдын тыгыздыгын өлчөө бөлүкчөлөрдүн бирдей бөлүштүрүлүшүн жана аралашманын консистенциясын камсыз кылат, кемчиликтердин алдын алат жана химиялык механикалык жылтыратуу процессинде кетирүү ылдамдыгын оптималдаштырат. Ал жогорку сапаттагы пластина өндүрүшүн жана өнөр жай стандарттарына шайкеш келүүнү колдойт.

Илешкектикти көзөмөлдөө CMP натыйжалуулугун кантип жогорулатат?

Илешкектикти көзөмөлдөө шламдын туруктуу агымын камсыз кылат, төшөмөлөрдүн бүтөлүп калышы же бирдей эмес жылтыратуу сыяктуу көйгөйлөрдүн алдын алат. Lonnmeterдин сызыктагы сенсорлору CMP процессин оптималдаштыруу жана пластинанын чыгышын жакшыртуу үчүн реалдуу убакыттагы маалыматтарды берет.

Лоннметрдин ядролук эмес шлам тыгыздыгын өлчөгүчтөрүн эмне өзгөчө кылат?

Lonnmeter компаниясынын ядролук эмес шлам тыгыздыгын өлчөгүчтөрү жогорку тактыкта жана нөлдүк тейлөө менен бир эле учурда тыгыздыкты жана илешкектикти өлчөө мүмкүнчүлүгүн берет. Алардын бекем дизайны талап кылынган CMP процесстик чөйрөлөрүндө ишенимдүүлүктү камсыз кылат.

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө химиялык механикалык жылтыратуу процессин оптималдаштыруу үчүн реалдуу убакыт режиминдеги шламдын тыгыздыгын өлчөө жана илешкектикти көзөмөлдөө абдан маанилүү. Lonnmeter компаниясынын ядролук эмес шламдын тыгыздыгын өлчөгүчтөрү жана илешкектик сенсорлору жарым өткөргүч жабдууларын өндүрүүчүлөргө, CMP керектелүүчү материалдарын жеткирүүчүлөргө жана жарым өткөргүч куюучу заводдорго шламды башкаруудагы кыйынчылыктарды жеңүү, кемчиликтерди азайтуу жана чыгымдарды азайтуу үчүн куралдарды берет. Так, реалдуу убакыт режиминдеги маалыматтарды берүү менен, бул чечимдер атаандаштыкка жөндөмдүү CMP рыногунда процесстин натыйжалуулугун жогорулатат, шайкештикти камсыздайт жана кирешелүүлүктү жогорулатат. Кириңиз.Лоннметрдин веб-сайтыже Lonnmeter сиздин химиялык-механикалык жылтыратуу операцияларыңызды кантип өзгөртө аларын билүү үчүн бүгүн алардын командасына кайрылыңыз.

Азыр чара көрүңүз

Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 22-июлу