M반도체 제조 시설에서 사용되는 탱크의 액체 레벨을 측정하려면 극저온 환경, 동적 작동 및 엄격한 오염 제어를 견딜 수 있는 솔루션이 필요합니다. 측정 방식은 생산량과 가동 시간을 보호하기 위해 비침습성, 빠른 온라인 응답 및 최소한의 유지보수를 우선적으로 고려해야 합니다.
공정 제어 및 안전 연동 장치에 적합한 연속 온라인 출력
반도체 제조 시설의 공정 제어 및 안전 인터록에는 연속적인 실시간 출력이 필수적입니다. 권장 출력은 HART, Modbus 또는 이더넷을 지원하는 4~20mA 출력으로, PLC/DCS에 직접 연결할 수 있습니다. 또한, 해당 장치가 페일세이프 모드와 고/저, 변화율, 신호 손실 등의 조건에 대한 설정 가능한 경보 기능을 지원하는지 확인해야 합니다. 예를 들어, 탱크 충전 솔레노이드에 연결된 연속 4~20mA 출력은 수위가 프로그래밍 가능한 임계값을 초과할 때 과충전을 방지합니다.
증기, 거품, 난류 및 변화하는 매체 특성에 대한 내성
극저온 저장 탱크는 이송 중 증기층, 층화 현상, 그리고 간헐적인 난류를 발생시킵니다. 따라서 허위 에코 및 표면 난류에 대한 내성이 강한 기술을 선택해야 합니다.레이더 레벨 트랜스미터기술과 유도파 레이더 레벨 트랜스미터 시스템은 올바르게 구성하면 불필요한 반사 신호를 제거할 수 있습니다. 증기, 거품 또는 비산으로 인한 레벨 오류를 방지하려면 조정 가능한 신호 처리, 에코 곡선 보기 및 내장 필터링 기능을 갖춘 제품을 선택하십시오. 예를 들어, 고급 신호 처리 설정을 사용하는 레이더 트랜스미터는 증발 과정에서 발생하는 일시적인 증기층을 무시합니다.
액체 질소 레벨 측정
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기계적 관통이 최소화되고 움직이는 부품이 없습니다.
진공 단열 극저온 저장 탱크를 관통하는 부분이 최소화되고 움직이는 부품이 없는 센서를 선택하여 누출 및 유지보수 위험을 최소화하십시오. 기존 상단 노즐에 장착되는 비접촉식 레이더는 긴 프로브를 사용하지 않고 열교 현상을 줄여줍니다. 짧은 프로브를 사용하는 유도파 레이더는 깊은 구멍이 없는 기존의 작은 플랜지에 설치할 수 있습니다. 탱크의 무결성을 유지하기 위해 진공 재킷 및 극저온 밀봉재와 호환되는 재질과 플랜지 크기를 지정하십시오. 예를 들어, 단열재를 관통하는 긴 프로브를 사용하지 않으려면 상단 장착형 비접촉식 레이더를 선택하십시오.
진단, 예측 유지보수 및 간편한 문제 해결
고급형 트랜스미터는 설비 가동률을 극대화하기 위해 진단 기능과 손쉬운 문제 해결 지원 기능을 포함해야 합니다. 에코 곡선 표시, 신호 강도 측정, 프로브 무결성 검사, 온도 센서와 같은 내장 진단 기능이 필수적입니다. 원격 진단 및 오류 로그 지원은 근본 원인 분석 속도를 높여줍니다. 신호 강도 저하 또는 프로브 오염 표시와 같은 예측 경고는 설비 가동 중단 전에 필요한 조치를 계획하는 데 도움이 됩니다. 예를 들어, 에코 감쇠를 점진적으로 기록하는 트랜스미터는 고장 발생 전에 오염 물질 제거를 위한 사전 조치를 취할 수 있도록 해줍니다.
다변수 시나리오에서 인터페이스 수준을 측정하는 능력
액체/기체 또는 층상 구조에서 계면을 측정하려면 미세한 유전율 차이를 구분할 수 있는 기술이 필요합니다. GWR(유도파 레이더) 레벨 트랜스미터 기술과 유도파 레이더 레벨 트랜스미터는 층간 유전율 차이가 존재하는 계면을 감지합니다. 특히 액체 질소의 경우, 액체와 기체 사이의 유전율 차이가 낮아 계면 해상도가 제한적입니다. 이러한 한계를 보완하기 위해 보완적인 측정 방법을 사용할 수 있습니다. 레이더/GWR을 온도 프로파일링, 차압 또는 여러 개의 독립적인 센서와 결합하여 계면 위치를 확인할 수 있습니다. 예를 들어, GWR 프로브를 사용하여 오일/액체 질소 계면을 감지하는 동시에 상단에 장착된 레이더로 전체 레벨을 모니터링할 수 있습니다.
탱크 형상과의 호환성, 인라인 장착 및 설비 제어 시스템과의 통합
진공 단열 극저온 저장 탱크 및 사용 가능한 노즐에 맞는 센서 폼 팩터를 선택하십시오. 상단, 측면 또는 짧은 인라인 피팅 장착 옵션을 확인하십시오. 인라인 장착은 긴 프로브 없이 기존 배관이나 소형 플랜지에 맞는 소형 센서를 의미합니다. 선택 전에 기계 도면과 최소 노즐 직경을 확인하십시오. 연속 탱크 충전 및 배출 시스템에 대한 플랜트 표준에 맞는 전기 및 통신 인터페이스를 확보하십시오. 극저온 환경에 적합한 배선, 신호 조정 및 권장 접지 방식에 대한 문서화된 자료를 요구하십시오. 예: 1.5인치 노즐에 맞고 중앙 DCS에 4~20mA/HART를 공급하는 소형 유도파 레이더 프로브를 선택하십시오.
유도파 레이더(GWR) 기술 - 작동 원리 및 장점
측정 원리
GWR은 프로브를 통해 저전력 나노초 마이크로파 펄스를 전송합니다. 펄스가 유전 상수가 다른 경계면을 만나면 에너지의 일부가 반사됩니다. 송신기는 전송된 펄스와 반사된 펄스 사이의 시간 지연을 측정하여 액체 표면까지의 거리를 계산합니다. 이 거리를 이용하여 총 수위 또는 계면 수위를 계산합니다. 반사 강도는 유전 상수 곱이 증가함에 따라 증가합니다.
진공 단열 극저온 저장 탱크 및 액체 질소(LN2)의 장점
GWR은 밀도, 전도도, 점도, pH, 온도 또는 압력 변화에 대한 보정이 거의 필요 없이 액체 레벨을 직접 측정할 수 있습니다. 이러한 안정성은 유체 특성 및 증기 상태가 자주 변하는 진공 단열 극저온 저장 탱크의 액체 질소 용액에 적합합니다. GWR은 액체-증기 및 액체-액체 계면을 직접 감지하므로 연속 탱크 충전 및 배출 시스템에서 액체 질소 레벨 측정 및 계면 모니터링에 사용할 수 있습니다.
프로브 유도 방식은 마이크로파 에너지를 프로브를 따라 집중시킵니다. 이러한 집중 덕분에 측정값이 탱크 형상, 내부 부속품, 소형 탱크 구조에 크게 영향을 받지 않습니다. 따라서 프로브 유도 방식은 챔버 설계에 대한 민감도를 줄이고 웨이퍼 제조 공장이나 반도체 제조 시설에서 흔히 볼 수 있는 협소하거나 복잡한 용기에 설치를 간소화합니다.
GWR은 까다로운 공정 환경에서도 우수한 성능을 발휘합니다. 증기, 분진, 난류 및 거품 환경에서도 정확도를 유지합니다. 이러한 특성 덕분에 GWR은 비침습적 측정 기술이 요구되는 다양한 액체 레벨 측정 분야에서 실용적인 온라인 레벨 측정 도구로 활용될 수 있습니다. 따라서 GWR 레벨 트랜스미터 기술은 육안 또는 부유식 측정 방식이 적합하지 않은 많은 액체 레벨 트랜스미터 응용 분야에 적합합니다.
산업 검증
독립적인 업계 전문가들은 레이더 기반 레벨 측정 방식이 열악한 환경에서도 견고하다고 인정합니다. 레이더 계측기는 정확하고 신뢰할 수 있는 측정값을 제공하여 공정 및 저장 시설에서 사용되는 여러 침입형 센서를 대체할 수 있는 실용적인 대안이 됩니다.
공정 자동화 및 공장 운영과의 관련성
GWR은 연속 탱크 충전 및 배출 시스템과 통합되어 온라인 레벨 측정 도구로 사용됩니다. 밀도 또는 온도 변화에 대한 잦은 재보정 없이 공정 루프 내 액체 질소 레벨 측정을 지원합니다. 이를 통해 웨이퍼 제조 공장 및 기타 반도체 시설의 민감한 공정에서 정확한 레벨 제어를 유지하면서 유지보수 비용을 절감할 수 있습니다.
웨이퍼 제조 공장에서 액체 질소에 GWR 인라인 레벨 트랜스미터를 선택해야 하는 이유는 무엇일까요?
유도파 레이더(GWR) 레벨 트랜스미터 기술은 극저온 환경에서도 안정적인 정확도를 유지합니다. 액체 질소와 증기 사이의 강한 유전율 차이로 인해 선명한 레이더 반사가 발생합니다. 프로브 기반 측정은 저온 및 변화하는 공정 변수에도 불구하고 반복성을 유지합니다.
GWR 프로브는 움직이는 부품이 없습니다. 기계적 메커니즘이 없기 때문에 재보정 빈도가 줄어들고 입자 발생 위험이 낮아집니다. 이는 순도 요구 사항이 엄격한 반도체 제조 시설에서 오염 위험을 줄여줍니다.
탑다운 또는 인라인 프로브 설치 옵션은 공정 관통 및 누출 가능성을 최소화합니다. 탑다운 플랜지 장착 프로브는 용기 지붕에 내압 등급의 관통 구멍 하나만 사용합니다. 인라인 프로브는 작은 공정 포트 또는 스풀 피스에 장착되어 용기를 크게 개조하지 않고도 쉽게 제거할 수 있습니다. 예: 1.5인치 플랜지를 통해 진공 단열 극저온 저장 탱크에 유도파 레이더 레벨 트랜스미터를 장착하는 경우
롱미터 유도파 레이더 인라인 레벨 트랜스미터
극저온 액체의 측정 능력 및 신뢰성
롱미터 유도파 레이더 레벨 트랜스미터는 프로브 유도 마이크로파 펄스를 사용하여 액체 표면을 1mm 미만의 정밀도로 추적합니다. 프로브 설계 및 에코 처리 기술은 액체 질소 용액에서 흔히 나타나는 낮은 유전 상수와 증기층에도 대응할 수 있습니다. 웨이퍼 제조 공장 및 반도체 제조 시설에서 이 기술은 진공 단열 극저온 저장 탱크 및 연속 탱크 충전 및 배출 시스템에서 일관된 측정값을 제공합니다.
추가적인 관통부를 만들지 않고 SIL2 등급 애플리케이션에 대한 안전 인증을 획득했습니다.
이 트랜스미터는 SIL2 안전 인증을 획득하여 별도의 레벨 안전 장치 없이 안전 계측 루프에서 사용할 수 있습니다. 단일 라인 관통 설계로 탱크 외피의 무결성을 유지하고 진공 단열 극저온 저장 탱크의 누출 경로를 줄입니다. 이는 진공 및 단열 유지가 필수적인 반도체 제조 시설의 중요 공정에서 위험을 낮춥니다.
다변수 트랜스미터는 계측기 수를 줄이고 공정 침투율을 낮춥니다.
론미터의 다변수 유도파 레이더는 하나의 장치로 레벨뿐만 아니라 다양한 공정 변수를 측정할 수 있습니다. 레벨, 계면/밀도 표시, 온도 또는 밀도 기반 진단 기능을 결합하여 별도의 계측기가 필요 없습니다. 배관 관통 횟수를 줄여 진공 무결성을 향상시키고 설치 작업 시간을 단축하며 액체 레벨 트랜스미터 적용 분야의 총 소유 비용을 절감할 수 있습니다.
내장 진단 기능, 예측 유지보수 및 간편한 문제 해결
내장 진단 시스템은 신호 품질, 프로브 상태 및 에코 안정성을 실시간으로 모니터링합니다. 예측 경고 기능은 고장 발생 전에 성능 저하를 알려주어 계획되지 않은 가동 중단 시간과 평균 수리 시간을 줄여줍니다. 기술자는 저장된 에코 트레이스를 사용하여 침습적인 검사 없이 연속 탱크 충전 및 배출 시스템의 이상 현상을 진단할 수 있습니다.
소형 탱크 및 복잡한 형상에 맞게 설계되었으며, 증기, 난류 및 거품 환경에서 우수한 성능을 발휘합니다.
유도 프로브와 고급 신호 처리 기술은 단거리 및 협소한 용기에 적합합니다. 이 송신기는 소형 탱크, 좁은 입구, 클러스터 툴 LN2 공급 용기에서 흔히 볼 수 있는 불규칙한 형상에서도 안정적으로 레벨을 감지합니다. 또한 증기, 난류 및 거품으로부터 실제 액체 에코를 분리하여 까다로운 플랜트 환경에서도 액체 질소 레벨 측정을 실용적으로 수행할 수 있도록 합니다.
저전력 마이크로파 펄스는 극저온 매체에서 열 전달 및 교란을 최소화합니다.
저에너지 마이크로파 펄스는 극저온 유체를 측정할 때 국부적인 가열을 줄이고 증발을 최소화합니다. 이는 액체 질소에 대한 교란을 최소화하고 진공 단열 극저온 저장 탱크의 열 안정성을 유지하는 데 도움이 됩니다. 이러한 접근 방식은 극저온 물질 재고를 보존하고 민감한 반도체 제조 시설의 안정적인 운영을 지원합니다.
위에 제시된 예시를 살펴보면, 웨이퍼 제조 공장에서 론미터(Lonnmeter) 유도파 레이더 장치 하나로 소형 액체질소(LN2) 듀어 용기의 레벨 센서와 밀도 프로브를 대체할 수 있으며, 용기 벽에 구멍을 하나만 뚫어도 생산 중단을 방지하는 예측 경보를 제공할 수 있습니다. 연속 탱크 충전 및 배출 시스템에서는 동일한 장치가 증기 블랭킷과 간헐적 발포를 통해 정확한 레벨 제어를 유지하면서도 극저온 유체에 추가적인 열 부하를 가하지 않습니다.
진공 단열 극저온 저장 탱크의 설치 및 통합 모범 사례
설치 전략: 인라인 프로브 vs. 탑다운 방식
탑다운 마운트는 진공 재킷을 관통하는 부분을 최소화하고 누출 경로를 줄입니다. 또한 센서를 탱크 중심선에 배치하여 흡입 제트에 노출되는 것을 최소화합니다. 탱크 형상 및 서비스 접근성이 허용하는 경우 탑다운 마운트를 사용하십시오.
인라인(측면) 프로브는 유지보수를 위한 접근성을 용이하게 하며, 통합 제어를 위해 공정 배관 근처에 설치할 수 있습니다. 인라인 장착 방식은 배관 관통 횟수가 증가하고 진공 무결성을 유지하기 위해 정밀한 밀봉 및 정렬이 필요합니다. 서비스 용이성 또는 연속 충전 및 배출 라인과의 통합이 중요한 경우 인라인 장착 방식을 선택하십시오.
진공 파손 횟수, 유지보수 용이성, 탱크 내부 부속품, 그리고 웨이퍼 제조 공장 및 반도체 제조 시설에서 발생하는 유동 조건에서 측정 위치가 판독 안정성에 미치는 영향과 같은 요소들을 고려하여 결정을 내리십시오.
진공 무결성 유지를 위한 밀봉 및 플랜지 고려 사항
모든 관통부는 진공 등급을 충족하고 극저온 환경에 대한 응력 완화 처리를 거쳐야 합니다. 금속 대 금속 플랜지 씰 또는 반복적인 열 순환을 견딜 수 있도록 설계된 극저온용 개스킷 시스템을 사용하는 것이 좋습니다. -196°C 등급을 명시적으로 받지 않은 폴리머 씰은 사용하지 마십시오.
영구 설치 시에는 가능한 한 용접된 피드스루를 사용하십시오. 탈착식 센서가 필요한 경우, 전용 진공 배출 포트가 있는 진공 등급의 멀티포트 플랜지 또는 벨로우즈 어셈블리를 설치하십시오. 설치 후 재킷 무결성을 확인하기 위해 센서 플랜지 옆에 진공 테스트 포트를 제공하십시오.
플랜지와 씰은 열 수축을 고려하여 설계해야 합니다. 냉각 시 관통 지점의 응력 발생을 방지하기 위해 유연한 요소 또는 슬라이딩 슬리브를 포함해야 합니다. 가능하면 진공 재킷을 파손하지 않고 플랜지 클램핑 하드웨어에 접근할 수 있도록 해야 합니다.
극저온 호환성을 위한 프로브 길이 및 재질 선택
액체 질소 온도에서 연성을 유지하고 취성에 강한 재료를 선택하십시오. 프로브에는 극저온 환경에 적합한 스테인리스강(예: 316L급 금속)이 표준으로 사용됩니다. 프로브와 탱크 사이의 상대적인 움직임을 줄이기 위해 매우 긴 프로브에는 열팽창률이 낮은 합금을 고려하십시오.
측정 프로브는 예상되는 최대 액체 수위 아래, 그리고 바닥 침전층 위까지 용기 내부 깊숙이 닿아야 합니다. 프로브가 탱크 바닥이나 내부 칸막이에 닿지 않도록 하십시오. 높이가 있는 진공 단열 탱크의 경우, 프로브 길이 1미터당 수 밀리미터의 열 수축 여유를 두어야 합니다.
유도파 레이더 레벨 트랜스미터 설치 시에는 극저온 환경에 적합한 강성 막대형 프로브 또는 동축 프로브를 사용하십시오. 케이블형 프로브는 응축수나 얼음이 맺힐 수 있으며, 증발량이 많거나 출렁이는 탱크에는 적합하지 않습니다. 결빙 핵 생성 지점을 방지하기 위해 표면 마감 및 용접 품질을 명시하십시오.
예: 내부 용기 직경이 3.5m인 경우, 수축 및 장착 플랜지 두께를 고려하여 3.55~3.60m 크기의 측정 프로브가 필요할 수 있습니다. 예상 작동 온도에서 최종 치수를 검증하십시오.
연속적인 충전 및 배출 조건과의 통합
난류로 인한 오측정을 방지하기 위해 레벨 센서를 유입구와 유출구에서 멀리 떨어진 곳에 설치하십시오. 일반적으로 센서 프로브는 주요 유입구 또는 유출구에서 최소 탱크 직경만큼 떨어진 곳에 설치하거나 내부 칸막이 뒤에 설치하십시오. 공간 제약으로 인해 이것이 불가능한 경우, 여러 개의 센서를 사용하거나 신호 처리를 통해 일시적인 에코를 제거하십시오.
프로브를 주입 흐름에 직접 설치하지 마십시오. 연속 주입 및 배출 시스템에서는 층화 및 열층이 형성될 수 있으므로, 센서를 잘 혼합된 액체 시료를 채취할 수 있는 위치, 일반적으로 용기 중심선 근처 또는 설계된 스틸링 웰 내부에 설치하십시오. 스틸링 웰 또는 중앙 튜브는 센서를 유체 흐름으로부터 격리하여 빠른 이송 중 정확도를 향상시킬 수 있습니다.
웨이퍼 제조 공장에서 장비 퍼징 중 액체 질소가 지속적으로 공급되는 경우, 측정 위치와 필터를 설정하여 단시간 스파이크를 무시하도록 하십시오. 송신기 출력에서 평균화, 이동 창 평활화 또는 에코 추적 로직을 사용하여 짧은 슬러그로 인한 오경보를 억제하십시오.
레이더의 안정적인 성능을 위한 배선, 접지 및 EMC 관련 지침
신호 케이블은 장력 완화 장치와 열 전환 입구가 있는 진공 등급 피드스루를 통해 배선하십시오. 선택한 레이더 기술에 따라 차폐 케이블, 트위스트 페어 케이블 또는 동축 케이블을 사용하십시오. 케이블 길이는 짧게 유지하고 전원 케이블과 묶지 마십시오.
접지 루프를 방지하기 위해 센서 하우징과 계측기 전자 장치에 단일 접지 기준을 설정하십시오. 제조업체 지침에 달리 명시되지 않는 한, 차폐선은 한쪽 끝만 접지에 연결하십시오. 마당이나 설비 구역을 가로지르는 긴 케이블에는 서지 보호 장치와 과도 전류 억제기를 설치하십시오.
전자기 간섭을 최소화하려면 센서 케이블을 가변 주파수 드라이브, 모터 피더 및 고전압 버스워크에서 분리하십시오. 필요한 경우 페라이트 코어와 전선관을 사용하십시오. 유도파 레이더 레벨 트랜스미터 설치 시 신호 무결성을 유지하려면 피드스루 및 커넥터 인터페이스에서 특성 임피던스 연속성을 유지해야 합니다.
배포 로드맵(권장 단계별 접근 방식)
평가 단계: 탱크 조사, 공정 조건 및 제어 시스템 요구 사항
먼저 탱크에 대한 물리적 조사를 실시하십시오. 탱크 형상, 노즐 위치, 단열재 간격 및 사용 가능한 계측기 포트를 기록하십시오. 진공 공간 접근성과 센서 배치에 영향을 미치는 열교 현상을 기록해 두십시오.
연속 탱크 충전 및 배출 시스템 작동 중 정상 및 최대 작동 압력, 증기 공간 온도, 충전 속도, 예상되는 슬로싱 또는 서지 등 공정 조건을 기록합니다. 웨이퍼 제조 공장 및 반도체 제조 시설에서 사용되는 주기적인 패턴을 문서화합니다.
제어 시스템 요구사항을 조기에 정의하십시오. 신호 유형(4-20mA, HART, Modbus), 개별 경보, 온라인 레벨 측정 도구의 예상 업데이트 속도를 명시하십시오. 필요한 정확도 범위와 안전 무결성 수준을 파악하십시오.
평가 결과물에는 범위 명세서, 설치 도면, 선호하는 비침습적 측정 기술 목록 및 제어 시스템의 I/O 매트릭스가 포함되어야 합니다.
시범 설치: 연속 충전/배출 조건 하에서의 단일 탱크 검증 및 통합 테스트
대표적인 진공 단열 극저온 저장 탱크 하나를 대상으로 시범 운영을 실시합니다. 선정된 레벨 트랜스미터를 설치하고 전체 작동 사이클을 실행합니다. 급속 충전 및 완속 배출을 포함한 연속적인 탱크 충전 및 배출 시스템 동안 탱크 내 액체 레벨 측정의 정확성을 검증합니다.
가능하면 동일한 탱크 환경에서 파일럿 설비를 사용하여 레이더 레벨 트랜스미터 기술, 유도파 레이더 레벨 트랜스미터 성능 및 기타 고급 레벨 트랜스미터를 비교하십시오. 응답 시간, 안정성 및 증기, 거품 또는 결로에 대한 민감도를 기록하십시오. 유도파 레이더의 경우 프로브 재질이 극저온 수축을 견디는지, 그리고 피드스루가 안정적으로 밀봉되는지 확인하십시오.
PLC 또는 DCS와의 통합 테스트를 수행합니다. 경보 임계값, 인터록, 히스토리안 태그 및 원격 진단을 검증합니다. 최소 2주간 혼합 부하 사이클링을 실행하여 예외 상황을 파악합니다. 기준 정확도, 드리프트 및 유지보수 이벤트를 수집합니다.
예시: 반도체 제조 시설에서 일반적인 24시간 공정 공급 주기 동안 파일럿 테스트를 진행합니다. 레벨 트랜스미터 출력값을 알려진 충전량 및 보조 게이지 검사 결과와 비교하여 기록합니다. 고유량 배출 시 발생하는 오류를 추적합니다.
배포: 표준화된 구성 및 진단 기능을 갖춘 극저온 저장 네트워크 전반에 걸친 전체 배포
파일럿 검증 후 선택한 장치 구성을 표준화합니다. 프로브 길이, 장착 플랜지, 케이블 입구 및 송신기 설정을 확정합니다. 각 탱크 크기에 맞는 모델, 일련 번호 및 교정 설정이 포함된 배포 패키지를 생성합니다.
모든 탱크에 일관된 진단 및 경보 로직을 적용하십시오. 각 온라인 레벨 측정 도구가 에코 프로파일, 자체 테스트 플래그 및 상태 정보를 제어 시스템에 제공하도록 하십시오. 표준화된 진단은 여러 진공 단열 극저온 저장 탱크에서 문제 해결 속도를 높여줍니다.
공정 중단을 최소화하기 위해 단계적으로 배포 계획을 수립하십시오. 계획된 유지보수 기간 동안 설치를 진행하십시오. 예비 부품, 교정 장비 및 극저온용 공구를 포함하십시오. 배포된 각 센서에 대한 네트워크 맵 및 I/O 문서를 업데이트하십시오.
배포 순서 예시: 주요 공정 탱크를 먼저 설치하고, 그 다음 보조 저장 탱크를 설치합니다. 각 단계에 대해 정상적인 충전/배출 패턴 하에서 설치 후 이틀 동안 기능 점검을 실시하여 유효성을 검증합니다.
인수인계 및 교육: 운전자 및 유지보수 교육과 함께 모니터링 및 문제 해결을 위한 명확한 표준 운영 절차(SOP) 제공
표준운영절차(SOP)에 연계된 체계적인 작업자 교육을 제공합니다. 액체 질소 레벨 측정, 경보 대응 및 기본 에코 해석에 대한 일일 점검 사항을 다룹니다. 에코 소실, 슬로싱 중 불안정한 판독값, 배선 오류와 같은 일반적인 고장 유형을 인식하도록 작업자를 교육합니다.
극저온 안전, 프로브 검사, 교정 절차 및 교체 단계를 중심으로 한 유지보수 교육을 제공합니다. 진공 상태를 유지하면서 프로브 또는 비침습형 센서 클램프를 제거하고 재설치하는 실습을 포함합니다.
명확한 표준운영절차(SOP) 문서를 제공하십시오. SOP에는 레벨 트랜스미터 정확도 검증, 현장 교정 수행, 트랜스미터 분리 및 교체, 지속적인 오류 보고 절차에 대한 단계별 지침이 포함되어야 합니다. 문제 해결 흐름의 예시도 포함하십시오. 예를 들어 전원 및 신호 확인, 에코 품질 점검, 기계적 점검 순으로 진행하십시오.
교육 기록 및 역량 확인 서명을 유지하십시오. 교정 주기에 맞춰 정기적인 보수 교육 일정을 계획하십시오.
견적 요청 / 행동 촉구
웨이퍼 제조 공장이나 진공 단열 극저온 저장 탱크에서 정밀한 액체 질소 레벨 측정이 필요한 경우, 론미터(Lonnmeter) 유도파 레이더 인라인 레벨 트랜스미터 견적을 요청하십시오. 연속적인 탱크 충전 및 배출 시스템이 적용되는 경우, 실제 작동 주기에 맞춘 견적을 제공해 드릴 수 있도록 해당 적용 분야를 명시해 주십시오.
견적 요청서를 작성할 때는 중요한 공정 및 기계적 세부 정보를 포함하십시오. 다음 정보를 제공해 주십시오.
탱크 유형 및 용량(예: 진공 단열 극저온 저장 탱크, 5,000L), 매체(액체 질소), 작동 온도 및 압력;
연속적인 충전 및 배출 속도, 일반적인 작동 주기, 예상되는 급증 또는 출렁임 현상;
장착 위치, 사용 가능한 포트 및 헤드스페이스 형상;
필요한 측정 범위, 원하는 정확도 및 반복성, 그리고 경보/설정값 임계값;
웨이퍼 제조 공장의 재료 호환성 선호도 및 클린룸 또는 오염 관련 제약 조건;
위험 지역 분류 및 설치 제한 사항.
견적을 요청하거나 시범 운영을 신청하려면 위에 나열된 항목을 준비하여 구매 채널 또는 시설 엔지니어링 담당자를 통해 제출하십시오. 명확한 적용 데이터는 규모 산정을 신속하게 진행하고, 유도파 레이더 레벨 트랜스미터 제안이 웨이퍼 제조 공장 및 극저온 저장 시스템의 액체 레벨 트랜스미터 적용 분야에 적합하도록 보장합니다.
자주 묻는 질문
웨이퍼 제조 공장의 탱크 내 액체 질소 수위를 측정하는 가장 좋은 방법은 무엇일까요?
유도파 레이더(GWR) 인라인 레벨 트랜스미터는 웨이퍼 제조 공장에서 극저온 액체질소(LN2)의 레벨을 연속적이고 정확하며 비기계적으로 측정합니다. 이 트랜스미터는 프로브 유도 마이크로파 펄스를 사용하므로 증기, 난류 및 작은 탱크 형상에 강건합니다. 진공 단열 극저온 저장 탱크의 경우, 진공 상태를 유지하기 위해 최소한의 관통부를 적절히 밀봉하여 트랜스미터를 설치해야 합니다.
유도파 레이더 레벨 트랜스미터는 연속적인 주입 및 배출 조건에서 작동할 수 있습니까?
예. GWR은 연속 온라인 측정을 위해 설계되었으며 동적 작동 중에도 안정적인 레벨 판독값을 유지합니다. 프로브의 적절한 배치, 기기의 블랭킹 및 데드존 설정 조정, 그리고 에코 검증을 통해 유량으로 인한 허위 에코를 방지할 수 있습니다. 예를 들어, 시운전 후 플랜트의 최대 유량으로 채우면서 트랜스미터를 조정하여 안정적인 에코를 확인하십시오.
GWR 레벨 트랜스미터는 액체 질소용 비접촉식 센서와 비교했을 때 어떤 차이점이 있습니까?
GWR은 프로브를 따라 마이크로파 펄스를 전송하여 증기 및 난류 조건에서 강력하고 일관된 반사 신호를 생성합니다. 비접촉식 레이더도 사용할 수 있지만, 좁은 탱크나 내부 구조물이 신호를 반사하는 경우에는 어려움을 겪을 수 있습니다. 내부 장애물이 있거나 구조가 좁은 탱크에서는 GWR이 일반적으로 액체 질소(LN2)에 대해 더 나은 반사 신호와 안정적인 측정값을 제공합니다.
유도파 레이더 송신기가 진공 단열 극저온 탱크의 진공 무결성에 영향을 미칠까요?
GWR은 관통부를 최소화하고 밀봉을 정확하게 하여 인라인 트랜스미터로 설치할 경우, 여러 개의 개별 센서를 사용하는 경우에 비해 전체 관통부 수를 줄여줍니다. 관통부 수가 적으면 누출 경로가 줄어들어 진공 유지에 도움이 됩니다. 탱크 진공도 저하를 방지하기 위해 용접 플랜지 또는 고강도 진공 피팅과 인증된 극저온 밀봉재를 사용하십시오.
유도파 레이더 송신기는 극저온 환경에서 빈번한 재보정이나 유지보수가 필요한가요?
아니요. GWR 장치는 움직이는 부품이 없으며 일반적으로 재보정이 거의 필요하지 않습니다. 내장 진단 및 에코 모니터링 기능을 통해 상태 기반 점검이 가능합니다. 정기적인 가동 중단 시 에코 스펙트럼 검증과 씰 및 프로브 상태에 대한 육안 검사를 수행하십시오.
레이더 레벨 트랜스미터는 민감한 반도체 환경에서 사용하기에 안전한가요?
예. 레이더 레벨 트랜스미터는 낮은 마이크로파 출력으로 작동하며 미립자 발생 위험이 없습니다. 최소한의 침투와 비침습적 감지 방식으로 오염 제어 공간 유지에 도움이 됩니다. 청정 공정 구역 근처에 설치할 경우 위생적인 재질, 세척 가능한 프로브 및 적절한 방수/방진 등급을 지정하십시오.
액체질소(LN2)에 사용할 액체 레벨 트랜스미터를 GWR과 다른 유형 중에서 어떻게 선택해야 할까요?
극저온 호환성, 연속 온라인 출력, 증기 및 난류에 대한 내구성, 최소한의 관통부, 진단 기능 및 통합 기능을 우선시하는 선택 체크리스트를 사용하십시오. 많은 웨이퍼 제조 공정의 극저온 탱크에서 GWR은 이러한 기준을 충족합니다. 탱크 형상, 내부 장애물 및 다변수 측정 필요 여부를 고려하십시오.
유도파 레이더 레벨 트랜스미터를 플랜트 제어 시스템에 통합하는 데 도움을 받을 수 있는 곳은 어디인가요?
통합 지원, 구성 지침 및 시운전 체크리스트는 송신기 공급업체의 애플리케이션 엔지니어링 그룹에 문의하십시오. 에코 검증, 접지 및 DCS/PLC 매핑에 대한 지원도 받을 수 있습니다. 레벨 측정과 함께 사용되는 인라인 밀도계 또는 점도계의 경우, 제품 세부 정보 및 인라인계 관련 애플리케이션 지원은 Lonnmeter에 문의하십시오.
액체 질소 레벨 측정기에서 모니터링해야 할 주요 유지 보수 진단 항목은 무엇입니까?
안정적이고 반복 가능한 응답을 위해 에코 강도와 에코 프로파일을 모니터링하십시오. 신호 대 잡음비(SNR), 프로브 무결성 또는 연속성 표시기, 그리고 송신기 오류 또는 경고 코드를 추적하십시오. 이러한 진단 추세를 활용하여 고장 발생 전에 점검 일정을 계획하십시오.
다변수 트랜스미터를 사용하여 계측기 수를 줄이면 전체 비용에 어떤 영향을 미칩니까?
다변수 GWR은 레벨 및 인터페이스 변수를 동시에 측정할 수 있어 별도의 트랜스미터가 필요 없습니다. 따라서 설치 자재, 관통부, 배선 및 장기 유지보수 비용이 절감됩니다. 계측기 개수가 줄어들면 진공 관통부 및 누출 위험도 감소하는데, 이는 진공 단열 극저온 저장 탱크에서 특히 중요합니다. 결과적으로 여러 개의 단일 기능 계측기를 사용하는 것보다 총 소유 비용이 절감됩니다.
게시 시간: 2025년 12월 30일
