1. ಸುಧಾರಿತ ಸಂದರ್ಭೋಚಿತಗೊಳಿಸುವಿಕೆPಎಣ್ಣೆಯುಕ್ತ
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ನಲ್ಲಿ CMP ಎಂದರೇನು?
ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು (CMP), ಪರ್ಯಾಯವಾಗಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ಲಾನರೈಸೇಶನ್ ಎಂದು ಕರೆಯಲ್ಪಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ತಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಸವಾಲಿನ ಮತ್ತು ಆರ್ಥಿಕವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಘಟಕ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಈ ವಿಶೇಷ ವಿಧಾನವು ಅನಿವಾರ್ಯ ಹೈಬ್ರಿಡ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ನಿಯಂತ್ರಿತ ಭೌತಿಕ ಸವೆತದ ಸಿನರ್ಜಿಸ್ಟಿಕ್ ಅನ್ವಯದ ಮೂಲಕ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿ ಸುಗಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಚಕ್ರದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ CMP, ನಂತರದ ಪದರಗಳಿಗೆ ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಅತ್ಯಗತ್ಯವಾಗಿದೆ, ಇದು ಮುಂದುವರಿದ ಸಾಧನ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ CMP
*
ಆಳವಾದ ಅವಶ್ಯಕತೆರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪುಸಮಕಾಲೀನ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯ ಭೌತಿಕ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಲ್ಲಿ ಇದು ಬೇರೂರಿದೆ. ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಕುಗ್ಗುವುದರಿಂದ ಮತ್ತು ಬಹು ಪದರಗಳು ಲಂಬವಾಗಿ ಜೋಡಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿರುವುದರಿಂದ, ವಸ್ತುವನ್ನು ಏಕರೂಪವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಮತ್ತು ಜಾಗತಿಕವಾಗಿ ಸಮತಲ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗುತ್ತದೆ. ಡೈನಾಮಿಕ್ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಹೆಡ್ ಅನ್ನು ವಿಭಿನ್ನ ಅಕ್ಷಗಳ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ತಿರುಗಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ವೇಫರ್ನಾದ್ಯಂತ ಅನಿಯಮಿತ ಸ್ಥಳಾಕೃತಿಯನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನೆಲಸಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಯಶಸ್ವಿ ಮಾದರಿ ವರ್ಗಾವಣೆಗಾಗಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಎಕ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಅಲ್ಟ್ರಾವೈಲೆಟ್ (EUV) ಲಿಥೋಗ್ರಫಿಯಂತಹ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ತಂತ್ರಗಳೊಂದಿಗೆ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ಮೇಲ್ಮೈ ಅಸಾಧಾರಣವಾದ ಕಿರಿದಾದ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಆಳದೊಳಗೆ ಬರಬೇಕು - ಆಧುನಿಕ ಸಬ್-22 nm ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಿಗೆ ಆಂಗ್ಸ್ಟ್ರೋಮ್-ಮಟ್ಟದ ಚಪ್ಪಟೆತನದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಜ್ಯಾಮಿತೀಯ ನಿರ್ಬಂಧ. ನ ಸಮತಲೀಕರಣ ಶಕ್ತಿ ಇಲ್ಲದೆಸಿಎಂಪಿ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ನಂತರದ ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಹಂತಗಳು ಜೋಡಣೆ ವೈಫಲ್ಯಗಳು, ಮಾದರಿ ವಿರೂಪಗಳು ಮತ್ತು ದುರಂತ ಇಳುವರಿ ವಿಪತ್ತುಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತವೆ.
ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ವಾಹಕಗಳಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ತಾಮ್ರ ಅಂತರ್ಸಂಪರ್ಕಗಳಿಗೆ ಉದ್ಯಮದ ಬದಲಾವಣೆಯಿಂದ CMP ಯ ವ್ಯಾಪಕ ಅಳವಡಿಕೆ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಪ್ರೇರಿತವಾಗಿದೆ. ತಾಮ್ರ ಲೋಹೀಕರಣವು ಡಮಾಸ್ಸೀನ್ ತಂತ್ರ ಎಂಬ ಸಂಯೋಜಕ ಮಾದರಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ತಾಮ್ರವನ್ನು ಆಯ್ದವಾಗಿ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಲೋಹ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸೈಡ್ ನಿರೋಧಕ ಪದರದ ನಡುವಿನ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ನಲ್ಲಿ ನಿಖರವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ನಿಲ್ಲಿಸಲು CMP ಯ ವಿಶಿಷ್ಟ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದೆ. ಈ ಹೆಚ್ಚು ಆಯ್ದ ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸುವ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸಮತೋಲನವನ್ನು ಒತ್ತಿಹೇಳುತ್ತದೆ, ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಮಾಧ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಸಣ್ಣ ಏರಿಳಿತಗಳಿಂದ ಕೂಡ ತಕ್ಷಣವೇ ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳುವ ಸಮತೋಲನ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ CMP ಯ ಕಾರ್ಯಗಳು
ಅತಿ ಕಡಿಮೆ ಸ್ಥಳಾಕೃತಿ ವ್ಯತ್ಯಾಸಕ್ಕೆ ಕಡ್ಡಾಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಯು ಬಾಹ್ಯ ಗುರಿಯಾಗಿಲ್ಲ, ಬದಲಾಗಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಸಾಧನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗೆ ನೇರ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪೂರ್ವಾಪೇಕ್ಷಿತವಾಗಿದೆ, ಇದು ಬಹು-ಪದರದ ರಚನೆಗಳಲ್ಲಿ ಸರಿಯಾದ ಪ್ರವಾಹ ಹರಿವು, ಉಷ್ಣ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಜೋಡಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. CMP ಯ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಆದೇಶವೆಂದರೆ ಸ್ಥಳಾಕೃತಿ ನಿರ್ವಹಣೆ, ಇದು ನಂತರದ ಎಲ್ಲಾ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಹಂತಗಳಿಗೆ ಪೂರ್ವಾಪೇಕ್ಷಿತ ಸಮತಟ್ಟನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯವು ವಸ್ತುಗಳ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾದದ್ದನ್ನು ನಿರ್ದೇಶಿಸುತ್ತದೆಸ್ಲರಿ ಸೂತ್ರೀಕರಣಟಂಗ್ಸ್ಟನ್, ತಾಮ್ರ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಡೈಆಕ್ಸೈಡ್ (SiO) ಸೇರಿದಂತೆ ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು CMP ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ.2), ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (SiN). ಶಾಲೋ ಟ್ರೆಂಚ್ ಐಸೋಲೇಷನ್ (STI) ಮತ್ತು ಇಂಟರ್ಲೇಯರ್ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ಸ್ (ILD) ಸೇರಿದಂತೆ ವಿವಿಧ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ಲಾನರೈಸೇಶನ್ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಅಸಾಧಾರಣ ವಸ್ತು ಆಯ್ಕೆಗಾಗಿ ಸ್ಲರಿಗಳನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿ ಹೊಂದುವಂತೆ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಹಂತ ಚಪ್ಪಟೆಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ದೋಷ ಆವರ್ತನ ಕಡಿತದಲ್ಲಿ ಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಿಂದಾಗಿ ಹೈ-ಫಂಕ್ಷನ್ ಸೀರಿಯಾ ಸ್ಲರಿಯನ್ನು ILD ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಮಾಧ್ಯಮದ ದ್ರವ ಚಲನಶಾಸ್ತ್ರದಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಸ್ಥಿರತೆಯು ಆಯ್ದ ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆಗೆ ಮೂಲಭೂತ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ತಕ್ಷಣವೇ ಉಲ್ಲಂಘಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಈ ಸ್ಲರಿಗಳ ಹೆಚ್ಚು ವಿಶೇಷ ಸ್ವಭಾವವು ದೃಢಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
2. CMP ಸ್ಲರಿ ಆರೋಗ್ಯದ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರ
ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ CMP
ನಿರಂತರ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊಳಪು ಸಿಎಮ್ಪಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಸ್ಲರಿಯ ಸ್ಥಿರ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿದೆ, ಇದು ಅಗತ್ಯವಾದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳು ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸವೆತ ಎರಡನ್ನೂ ಸುಗಮಗೊಳಿಸುವ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಮಾಧ್ಯಮವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಕೊಲೊಯ್ಡಲ್ ಅಮಾನತು ಎಂದು ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಈ ಸಂಕೀರ್ಣ ದ್ರವವು ರಾಸಾಯನಿಕ ಏಜೆಂಟ್ಗಳು (ಆಕ್ಸಿಡೈಸರ್ಗಳು, ವೇಗವರ್ಧಕಗಳು ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕಗಳು) ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊ-ಗಾತ್ರದ ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಅದರ ಅಗತ್ಯ ಘಟಕಗಳನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪವಾಗಿ ಡೈನಾಮಿಕ್ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ತಲುಪಿಸಬೇಕು.
ಸ್ಲರಿ ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಪ್ರೇರೇಪಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ: ಸೂಕ್ತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಗುರಿ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲೆ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ, ಕರಗದ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುವುದರ ಮೇಲೆ ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿದೆ, ನಂತರ ಅದನ್ನು ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳಿಂದ ಯಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸಮತಲೀಕರಣಕ್ಕೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಸ್ಥಳಾಕೃತಿಯ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಎತ್ತರದ ಬಿಂದುಗಳು ಅಥವಾ ಮುಂಚಾಚಿರುವಿಕೆಗಳ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ. ಇದಕ್ಕೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯು ಕರಗುವ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಿದರೆ, ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಐಸೊಟ್ರೊಪಿಕ್ ಆಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಸ್ಥಳಾಕೃತಿಯ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. ಸ್ಲರಿಯ ಭೌತಿಕ ಘಟಕಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 30 ರಿಂದ 200 nm ವರೆಗಿನ ಗಾತ್ರದ ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳನ್ನು (ಉದಾ, ಸಿಲಿಕಾ, ಸಿರಿಯಾ) ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ, ಇದು 0.3 ಮತ್ತು 12 ತೂಕದ ಶೇಕಡಾ ಘನವಸ್ತುಗಳ ನಡುವಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಮಾನತುಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.
CMP ಸ್ಲರಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್
ಆರೋಗ್ಯವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದುCMP ಸ್ಲರಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ಅದರ ಜೀವನಚಕ್ರದ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ನಿರಂತರ ಗುಣಲಕ್ಷಣ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ನಿರ್ವಹಣೆ ಅಥವಾ ಚಲಾವಣೆಯಲ್ಲಿರುವ ಯಾವುದೇ ಅವನತಿಯು ಗಣನೀಯ ಆರ್ಥಿಕ ನಷ್ಟಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಅಂತಿಮ ಹೊಳಪು ಮಾಡಿದ ವೇಫರ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟವು, ಅದರ ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ಮೃದುತ್ವ ಮತ್ತು ದೋಷದ ಮಟ್ಟಗಳಿಂದ ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದು ಸ್ಲರಿಯ ಕಣ ಗಾತ್ರದ ವಿತರಣೆಯ (PSD) ಸಮಗ್ರತೆ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ಸ್ಥಿರತೆಯೊಂದಿಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿದೆ.
ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳ ವಿಶೇಷ ಸ್ವಭಾವಸಿಎಂಪಿ ಸ್ಲರಿ ವಿಧಗಳುಅಂದರೆ ನ್ಯಾನೊ-ಗಾತ್ರದ ಕಣಗಳನ್ನು ಅಮಾನತುಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯೊಳಗಿನ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ನಿವಾರಕ ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ಶಕ್ತಿಗಳಿಂದ ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಲರಿಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಯಾರಿಕೆಯ ಸ್ಥಳದಲ್ಲಿ ನೀರು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೈಸರ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಖರವಾದ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಮಿಶ್ರಣದ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿ, ಸ್ಥಿರ ಮಿಶ್ರಣ ಅನುಪಾತಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸುವುದು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ದೋಷಪೂರಿತವಾಗಿದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಒಳಬರುವ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ವಸ್ತುವು ಅಂತರ್ಗತ ಬ್ಯಾಚ್-ಟು-ಬ್ಯಾಚ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ, PSD ಮತ್ತು ಜೀಟಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದ (ಕೊಲೊಯ್ಡಲ್ ಸ್ಥಿರತೆ) ನೇರ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯವಾದರೂ, ಈ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮಧ್ಯಂತರ, ಆಫ್ಲೈನ್ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗೆ ಇಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. HVM ಪರಿಸರದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವಾಸ್ತವತೆಯು ನೈಜ-ಸಮಯದ, ತತ್ಕ್ಷಣದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಕಡ್ಡಾಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ, ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯು ಸ್ಲರಿ ಆರೋಗ್ಯಕ್ಕೆ ಅತ್ಯಂತ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಇನ್ಲೈನ್ ಪ್ರಾಕ್ಸಿಗಳಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಮಾಧ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಒಟ್ಟು ಅಪಘರ್ಷಕ ಘನವಸ್ತುಗಳ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ತ್ವರಿತ, ನಿರಂತರ ಅಳತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯು ಅಷ್ಟೇ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ದ್ರವದ ಕೊಲೊಯ್ಡಲ್ ಸ್ಥಿತಿ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸಮಗ್ರತೆಯ ಹೆಚ್ಚು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸೂಚಕವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಅಸ್ಥಿರ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣವನ್ನು ಸಂಕೇತಿಸುತ್ತದೆ.ಒಟ್ಟುಗೂಡುವಿಕೆಅಥವಾ ಮರುಸಂಯೋಜನೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಶಿಯರ್ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಈ ಎರಡು ಭೂವೈಜ್ಞಾನಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ನಿರಂತರ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣವು ಸ್ಲರಿ ಬಳಕೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಅದರ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಭೌತಿಕ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆಯೇ ಎಂದು ಪರಿಶೀಲಿಸಲು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ತಕ್ಷಣದ, ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಲೂಪ್ ಅನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
3. ಯಾಂತ್ರಿಕ ವೈಫಲ್ಯ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ: ದೋಷ ಚಾಲಕಗಳು
CMP ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಏರಿಳಿತಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಋಣಾತ್ಮಕ ಪರಿಣಾಮಗಳು
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಹೆಚ್ಚಿನ-ಥ್ರೂಪುಟ್ನಲ್ಲಿ ಇಳುವರಿ ಅಪಾಯಕ್ಕೆ ಏಕೈಕ ಅತಿದೊಡ್ಡ ಕೊಡುಗೆದಾರ ಎಂದು ಗುರುತಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ.ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸಿಎಮ್ಪಿ. ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ "ಸ್ಲರಿ ಹೆಲ್ತ್" ಎಂದು ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ಸ್ಲರಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಪಂಪಿಂಗ್ ಶಿಯರ್, ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳು ಮತ್ತು ಮಿಶ್ರಣದ ಅಸಂಗತತೆಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ಒಳಗಾಗುತ್ತವೆ. ಸ್ಲರಿ ಹರಿವಿನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಿಂದ ಹುಟ್ಟುವ ವೈಫಲ್ಯಗಳು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಸಮಸ್ಯೆಗಳಿಂದ ಭಿನ್ನವಾಗಿವೆ, ಆದರೆ ಎರಡೂ ನಿರ್ಣಾಯಕ ವೇಫರ್ ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಂತರದ ಅಂತಿಮ-ಬಿಂದು ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ತಡವಾಗಿ ಪತ್ತೆಯಾಗುತ್ತವೆ.
ಅತಿಯಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳು ಅಥವಾ ಒಟ್ಟುಗೂಡಿಸುವಿಕೆಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಸಿಎಮ್ಪಿ ಅರೆವಾಹಕನಯಗೊಳಿಸಿದ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಗೀರುಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಮಾರಕ ದೋಷಗಳ ಸೃಷ್ಟಿಗೆ ವಸ್ತುವು ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗಿ ಸಂಬಂಧಿಸಿದೆ. ಪ್ರಮುಖ ಭೂವೈಜ್ಞಾನಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳಾದ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆಯಲ್ಲಿನ ಏರಿಳಿತಗಳು ಸ್ಲರಿಯ ಸಮಗ್ರತೆಯು ರಾಜಿಯಾಗಿದೆ ಎಂಬುದರ ನಿರಂತರ, ಪ್ರಮುಖ ಸೂಚಕಗಳಾಗಿವೆ, ಇದು ದೋಷ ರಚನೆಯ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವನ್ನು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುತ್ತದೆ.
ಸ್ಲರಿ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯಲ್ಲಿನ ಏರಿಳಿತಗಳು (ಉದಾ., ಒಟ್ಟುಗೂಡಿಸುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಬದಲಾದ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆ)
ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯು ಥರ್ಮೋಡೈನಮಿಕ್ ಆಸ್ತಿಯಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ನಲ್ಲಿ ಹರಿವಿನ ನಡವಳಿಕೆ ಮತ್ತು ಘರ್ಷಣೆಯ ಚಲನಶೀಲತೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಪರಿಸರ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ಅಸಾಧಾರಣವಾಗಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಭೌತಿಕ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಸ್ಲರಿ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಅರೆವಾಹಕಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚು ಅವಲಂಬಿತವಾಗಿದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸ್ವಲ್ಪ 5°C ಬದಲಾವಣೆಯಾದರೂ ಸ್ಲರಿ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯಲ್ಲಿ ಸರಿಸುಮಾರು 10% ಕಡಿತಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಎಂದು ಸಂಶೋಧನೆ ದೃಢಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಭೂವಿಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿನ ಈ ಬದಲಾವಣೆಯು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಪ್ಯಾಡ್ನಿಂದ ಬೇರ್ಪಡಿಸುವ ಹೈಡ್ರೊಡೈನಾಮಿಕ್ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಕಡಿಮೆಯಾದ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯು ಸಾಕಷ್ಟು ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಘರ್ಷಣೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಗೀರುಗಳು ಮತ್ತು ವೇಗವರ್ಧಿತ ಪ್ಯಾಡ್ ಬಳಕೆಗೆ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಕಾರಣವಾಗಿದೆ.
ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅವನತಿ ಮಾರ್ಗವು ಶಿಯರ್-ಪ್ರೇರಿತ ಕಣ ಕ್ಲಸ್ಟರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾ-ಆಧಾರಿತ ಸ್ಲರಿಗಳು ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾದ ಸ್ಥಾಯೀವಿದ್ಯುತ್ತಿನ ವಿಕರ್ಷಣ ಶಕ್ತಿಗಳ ಮೂಲಕ ಕಣಗಳ ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಸ್ಲರಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಿಯರ್ ಒತ್ತಡಗಳನ್ನು ಎದುರಿಸಿದಾಗ - ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅನುಚಿತ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಕೇಂದ್ರಾಪಗಾಮಿ ಪಂಪ್ಗಳಿಂದ ಅಥವಾ ವಿತರಣಾ ಲೂಪ್ನಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾದ ಮರುಬಳಕೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ - ಈ ಬಲಗಳನ್ನು ನಿವಾರಿಸಬಹುದು, ಇದು ತ್ವರಿತ ಮತ್ತು ಬದಲಾಯಿಸಲಾಗದ ಪರಿಣಾಮಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.ಒಟ್ಟುಗೂಡುವಿಕೆಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳು. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಬರುವ ದೊಡ್ಡ ಸಮುಚ್ಚಯಗಳು ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಗೌಜಿಂಗ್ ಸಾಧನಗಳಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ, ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ದುರಂತ ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಗೀರುಗಳನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಘಟನೆಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ನೈಜ-ಸಮಯದ ವಿಸ್ಕೋಮೆಟ್ರಿ ಅಗತ್ಯವಾದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನವಾಗಿದ್ದು, ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ದೋಷ ಉತ್ಪಾದನೆ ಸಂಭವಿಸುವ ಮೊದಲು ಪಂಪಿಂಗ್ ಮತ್ತು ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ "ಸೌಮ್ಯತೆ"ಯ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಮೌಲ್ಯೀಕರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಉಂಟಾಗುವ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಪ್ಲಾನರೈಸೇಶನ್ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವವನ್ನು ತೀವ್ರವಾಗಿ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಹೊಳಪು ಮಾಡುವಾಗ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯು ಘರ್ಷಣೆಯ ಗುಣಾಂಕದ ಮೇಲೆ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುವ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿರುವುದರಿಂದ, ಏಕರೂಪವಲ್ಲದ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಪ್ರೊಫೈಲ್ ಅಸಮಂಜಸ ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವ ದರಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಸ್ಥಳೀಯ ಹೆಚ್ಚಳ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವೇಫರ್ ಸ್ಥಳಾಕೃತಿಯ ಹೆಚ್ಚಿದ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳ ಮೇಲೆ ಸಂಭವಿಸುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಿಯರ್ ದರಗಳಲ್ಲಿ, ಘರ್ಷಣೆಯ ಚಲನಶೀಲತೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾನರೈಸೇಶನ್ ಗುರಿಯನ್ನು ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಡಿಶಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸವೆತದಂತಹ ಸ್ಥಳಾಕೃತಿ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.
ಸ್ಲರಿ ಸಾಂದ್ರತೆಯಲ್ಲಿನ ಏರಿಳಿತಗಳು
ಸ್ಲರಿ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ದ್ರವದೊಳಗೆ ಅಮಾನತುಗೊಂಡಿರುವ ಅಪಘರ್ಷಕ ಘನವಸ್ತುಗಳ ಒಟ್ಟಾರೆ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ತ್ವರಿತ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಸೂಚಕವಾಗಿದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಏರಿಳಿತಗಳು ಏಕರೂಪವಲ್ಲದ ಸ್ಲರಿ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವ ದರ (MRR) ಮತ್ತು ದೋಷ ರಚನೆಯಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಅಂತರ್ಗತವಾಗಿ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿದೆ.
ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಪರಿಸರಗಳು ಸ್ಲರಿ ಸಂಯೋಜನೆಯ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪರಿಶೀಲನೆಯನ್ನು ಅಗತ್ಯಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ. ಒಳಬರುವ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತ ಬ್ಯಾಚ್ಗಳಿಗೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣದ ನೀರು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೈಸರ್ ಅನ್ನು ಸೇರಿಸುವುದನ್ನು ಮಾತ್ರ ಅವಲಂಬಿಸಿರುವುದು ಸಾಕಾಗುವುದಿಲ್ಲ, ಏಕೆಂದರೆ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಉಪಕರಣದ ತಲೆಯಲ್ಲಿ ಅಸಮಂಜಸ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಫಲಿತಾಂಶಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಹರಿವಿನ ವೇಗ ಅಥವಾ ಕೊಲೊಯ್ಡಲ್ ಸ್ಥಿರತೆಯು ಅಸಮರ್ಪಕವಾಗಿದ್ದರೆ ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸೀರಿಯಾ ಕಣಗಳು ಸೆಡಿಮೆಂಟೇಶನ್ಗೆ ಒಳಪಟ್ಟಿರುತ್ತವೆ. ಈ ನೆಲೆಗೊಳ್ಳುವಿಕೆಯು ಹರಿವಿನ ರೇಖೆಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಳೀಯ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಇಳಿಜಾರುಗಳು ಮತ್ತು ವಸ್ತು ಒಟ್ಟುಗೂಡಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ, ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಪಘರ್ಷಕ ಹೊರೆಯನ್ನು ತಲುಪಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಆಳವಾಗಿ ರಾಜಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
How DದೃಢತೆDಹೊರಸೂಸುವಿಕೆಗಳುAffಇತ್ಯಾದಿ Manಯುಎಫ್ಎಸಿಟರ್ing ಕನ್ನಡ in ನಲ್ಲಿProcess?.
ಅಸ್ಥಿರವಾದ ಸ್ಲರಿ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ನೇರ ಪರಿಣಾಮಗಳು ಹೊಳಪು ಮಾಡಿದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಭೌತಿಕ ದೋಷಗಳಾಗಿ ಪ್ರಕಟವಾಗುತ್ತವೆ:
ಏಕರೂಪವಲ್ಲದ ತೆಗೆಯುವ ದರಗಳು (WIWNU):ಸಾಂದ್ರತೆಯಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು ನೇರವಾಗಿ ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ನಲ್ಲಿ ಪ್ರಸ್ತುತಪಡಿಸಲಾದ ಸಕ್ರಿಯ ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳ ಸಾಂದ್ರತೆಯಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿಗೆ ಅನುವಾದಿಸುತ್ತವೆ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟಪಡಿಸಿದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಕಡಿಮೆ ಅಪಘರ್ಷಕ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಕಡಿಮೆಯಾದ MRR ಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ವೀಕಾರಾರ್ಹವಲ್ಲದ ವೇಫರ್-ಒಳಗಿನ ಏಕರೂಪತೆಯಿಲ್ಲದಿರುವಿಕೆ (WIWNU) ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. WIWNU ಮೂಲಭೂತ ಪ್ಲಾನರೈಸೇಶನ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಯನ್ನು ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಇದಕ್ಕೆ ವಿರುದ್ಧವಾಗಿ, ಸ್ಥಳೀಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಕಣಗಳ ಹೊರೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಅತಿಯಾದ ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಮೇಲೆ ಬಿಗಿಯಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಸ್ಥಿರವಾದ ಅಪಘರ್ಷಕ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸ್ಥಿರ ಘರ್ಷಣೆ ಶಕ್ತಿಗಳು ಮತ್ತು ಊಹಿಸಬಹುದಾದ MRR ನೊಂದಿಗೆ ಬಲವಾಗಿ ಪರಸ್ಪರ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿದೆ.
ಸ್ಥಳೀಯ ಸವೆತ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿಂದಾಗಿ ಹೊಂಡ ಉಂಟಾಗುವುದು:ಅಪಘರ್ಷಕ ಘನವಸ್ತುಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಳೀಯ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳು, ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ನೆಲೆಗೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಅಸಮರ್ಪಕ ಮಿಶ್ರಣದಿಂದಾಗಿ, ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿ ಕಣಕ್ಕೆ ಸ್ಥಳೀಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊರೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಿರಿಯಾ, ಆಕ್ಸೈಡ್ ಗಾಜಿನ ಪದರಕ್ಕೆ ಬಲವಾಗಿ ಅಂಟಿಕೊಂಡಾಗ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಒತ್ತಡಗಳು ಇದ್ದಾಗ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹೊರೆ ಗಾಜಿನ ಪದರವನ್ನು ಮುರಿತಕ್ಕೆ ಪ್ರೇರೇಪಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಆಳವಾದ, ಚೂಪಾದ ಅಂಚುಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ.ಹೊಂಡ ತೆಗೆಯುವುದುದೋಷಗಳು. ಈ ಅಪಘರ್ಷಕ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಂಡ ಶೋಧನೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗಬಹುದು, ಇದು ಕಳಪೆ ಕಣ ಅಮಾನತು ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಬೃಹತ್ ಸಮುಚ್ಚಯಗಳು ($0.5\ \mu m$ ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಣಗಳು) ಹಾದುಹೋಗಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಮಾನಿಟರಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಕಣ ಕೌಂಟರ್ಗಳಿಗೆ ಪ್ರಮುಖ, ಪೂರಕ ಎಚ್ಚರಿಕೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಎಂಜಿನಿಯರ್ಗಳು ಅಪಘರ್ಷಕ ಕ್ಲಸ್ಟರಿಂಗ್ನ ಆಕ್ರಮಣವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲು ಮತ್ತು ಅಪಘರ್ಷಕ ಹೊರೆಯನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
ಕಳಪೆ ಕಣಗಳ ತೂಗುವಿಕೆಯಿಂದ ಶೇಷ ರಚನೆ:ಅಮಾನತು ಅಸ್ಥಿರವಾಗಿದ್ದಾಗ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಇಳಿಜಾರುಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾದಾಗ, ಘನ ವಸ್ತುವು ಹರಿವಿನ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪದಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಇದು ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಅಲೆಗಳು ಮತ್ತು ವಸ್ತು ಒಟ್ಟುಗೂಡಿಸುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.17ಇದಲ್ಲದೆ, ಹೊಳಪು ಮಾಡುವಾಗ, ಸ್ಲರಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಡುಗೆ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸಾಗಿಸಬೇಕು. ಅಸ್ಥಿರತೆಯಿಂದಾಗಿ ಕಣಗಳ ಅಮಾನತು ಅಥವಾ ದ್ರವ ಚಲನಶಾಸ್ತ್ರವು ಕಳಪೆಯಾಗಿದ್ದರೆ, ಈ ಅವಶೇಷಗಳನ್ನು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ CMP ನಂತರದ ಕಣ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕಶೇಷದೋಷಗಳು. ನಿರಂತರ ಭೂವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯಿಂದ ಸ್ಥಿರವಾದ ಕಣಗಳ ಅಮಾನತು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು, ಶುದ್ಧ, ನಿರಂತರ ವಸ್ತುಗಳ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವಿಕೆಗೆ ಕಡ್ಡಾಯವಾಗಿದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮೀಟರ್ಗಳ ಬಗ್ಗೆ ತಿಳಿಯಿರಿ
ಇನ್ನಷ್ಟು ಆನ್ಲೈನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮೀಟರ್ಗಳು
4. ಇನ್ಲೈನ್ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಶ್ರೇಷ್ಠತೆ
ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ಇನ್ಲೈನ್ ಡೆನ್ಸಿಟೋಮೀಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ವಿಸ್ಕೋಮೀಟರ್ಗಳು
ಬಾಷ್ಪಶೀಲ CMP ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಯಶಸ್ವಿಯಾಗಿ ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲು, ಸ್ಲರಿ ಆರೋಗ್ಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ನಿರಂತರ, ಆಕ್ರಮಣಶೀಲವಲ್ಲದ ಮಾಪನ ಅತ್ಯಗತ್ಯ.ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ಇನ್ಲೈನ್ ಡೆನ್ಸಿಟೋಮೀಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ವಿಸ್ಕೋಮೀಟರ್ಗಳುಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ, ಲೇಟೆನ್ಸಿ-ಪೀಡಿತ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಉತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ನೀಡುವ, ಹೆಚ್ಚು ಮುಂದುವರಿದ ಅನುರಣನ ಸಂವೇದಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಈ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ಹರಿವಿನ ಮಾರ್ಗಕ್ಕೆ ನೇರವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ತಡೆರಹಿತ ಮತ್ತು ನಿರಂತರ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಆಧುನಿಕ ಉಪ-28nm ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನೋಡ್ಗಳ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಮಿಶ್ರಣ ನಿಖರತೆಯ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಕಠಿಣ CMP ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳ ಮೂಲ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ತತ್ವಗಳು, ಮಾಪನ ನಿಖರತೆ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ವೇಗ, ಸ್ಥಿರತೆ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ವಿವರಿಸಿ ಮತ್ತು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಆಫ್ಲೈನ್ ವಿಧಾನಗಳಿಂದ ಅವುಗಳನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಿ.
ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಯಾಂತ್ರೀಕರಣಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಹರಿವು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡ ಮತ್ತು ಅಪಘರ್ಷಕ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮಾನ್ಯತೆಯ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಸಂವೇದಕಗಳ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಇದು ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ತಕ್ಷಣದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಮೂಲ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ತತ್ವಗಳು: ಅನುರಣಕದ ಅನುಕೂಲ
ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ, ಕಿರಿದಾದ-ಬೋರ್ ಯು-ಟ್ಯೂಬ್ ಡೆನ್ಸಿಟೋಮೀಟರ್ಗಳ ಅಂತರ್ಗತ ದುರ್ಬಲತೆಗಳನ್ನು ತಗ್ಗಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಬಲವಾದ ಅನುರಣನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ, ಇವು ಅಪಘರ್ಷಕ ಕೊಲೊಯ್ಡಲ್ ಸಸ್ಪೆನ್ಷನ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಇನ್ಲೈನ್ ಬಳಕೆಗೆ ಕುಖ್ಯಾತವಾಗಿ ಸಮಸ್ಯಾತ್ಮಕವಾಗಿವೆ.
ಸಾಂದ್ರತೆ ಮಾಪನ:ದಿಸ್ಲರಿ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮಾಪಕಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಿದ ಕಂಪಿಸುವ ಅಂಶವನ್ನು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಫೋರ್ಕ್ ಅಸೆಂಬ್ಲಿ ಅಥವಾ ಕೋ-ಆಕ್ಸಿಯಲ್ ರೆಸೋನೇಟರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಈ ಅಂಶವು ಅದರ ವಿಶಿಷ್ಟ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಆವರ್ತನದಲ್ಲಿ ಆಂದೋಲನಗೊಳ್ಳಲು ಪೀಜೋ-ವಿದ್ಯುತ್ ಮೂಲಕ ಪ್ರಚೋದಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ. ಸುತ್ತಮುತ್ತಲಿನ ದ್ರವದ ಸಾಂದ್ರತೆಯಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಈ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಆವರ್ತನದಲ್ಲಿ ನಿಖರವಾದ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತವೆ, ಇದು ನೇರ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ನಿರ್ಣಯಕ್ಕೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮಾಪನ:ದಿಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಲರಿ ವಿಸ್ಕೋಮೀಟರ್ದ್ರವದೊಳಗೆ ಆಂದೋಲನಗೊಳ್ಳುವ ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವ ಸಂವೇದಕವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ವಿನ್ಯಾಸವು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಮಾಪನವನ್ನು ಬೃಹತ್ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಪರಿಣಾಮಗಳಿಂದ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸಲಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ವಸ್ತುವಿನ ಭೂವಿಜ್ಞಾನದ ಆಂತರಿಕ ಅಳತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕತ್ವ
ಬಿಗಿಯಾದ HVM ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೆಟ್ರಿಕ್ಗಳನ್ನು ಇನ್ಲೈನ್ ರೆಸೋನೆಂಟ್ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರವು ನೀಡುತ್ತದೆ:
ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ವೇಗ:ಇನ್ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 0.001 g/cc ವರೆಗೆ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆಯ ನಿಖರತೆಯಲ್ಲಿ 0.1% ಕ್ಕಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ. ದೃಢವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ, ಈ ಹೆಚ್ಚಿನನಿಖರತೆ— ಒಂದೇ ಮೌಲ್ಯವನ್ನು ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಅಳೆಯುವ ಮತ್ತು ಸಣ್ಣ ವಿಚಲನಗಳನ್ನು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು — ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕನಿಷ್ಠ ಸಂಪೂರ್ಣ ನಿಖರತೆಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಮೌಲ್ಯಯುತವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿ, ಸಂಕೇತಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯಈ ಸಂವೇದಕಗಳು ಅಸಾಧಾರಣವಾಗಿ ವೇಗವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸುಮಾರು 5 ಸೆಕೆಂಡುಗಳು. ಈ ಬಹುತೇಕ ತತ್ಕ್ಷಣದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯು ತಕ್ಷಣದ ದೋಷ ಪತ್ತೆ ಮತ್ತು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಕ್ಲೋಸ್ಡ್-ಲೂಪ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಗಳನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ವಿಹಾರ ತಡೆಗಟ್ಟುವಿಕೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಾಗಿದೆ.
ಕಠಿಣ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ:CMP ಸ್ಲರಿಗಳು ಅಂತರ್ಗತವಾಗಿ ಆಕ್ರಮಣಕಾರಿ. ಆಧುನಿಕ ಇನ್ಲೈನ್ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸ್ಥಿತಿಸ್ಥಾಪಕತ್ವಕ್ಕಾಗಿ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ, ಪೈಪ್ಲೈನ್ಗಳಿಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಜೋಡಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಸಂರಚನೆಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಈ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಒತ್ತಡಗಳಲ್ಲಿ (ಉದಾ, 6.4 MPa ವರೆಗೆ) ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನಗಳಲ್ಲಿ (350 ℃ ವರೆಗೆ) ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. U-ಟ್ಯೂಬ್ ಅಲ್ಲದ ವಿನ್ಯಾಸವು ಅಪಘರ್ಷಕ ಮಾಧ್ಯಮಕ್ಕೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ಸತ್ತ ವಲಯಗಳು ಮತ್ತು ಅಡಚಣೆಯ ಅಪಾಯಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಸಂವೇದಕ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಸಮಯ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಆಫ್ಲೈನ್ ವಿಧಾನಗಳಿಂದ ವ್ಯತ್ಯಾಸ
ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಇನ್ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಆಫ್ಲೈನ್ ವಿಧಾನಗಳ ನಡುವಿನ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ದೋಷ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಪೂರ್ವಭಾವಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅತ್ಯುತ್ತಮೀಕರಣದ ನಡುವಿನ ಅಂತರವನ್ನು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸುತ್ತವೆ.
| ಮಾನಿಟರಿಂಗ್ ಮಾನದಂಡ | ಆಫ್ಲೈನ್ (ಲ್ಯಾಬ್ ಸ್ಯಾಂಪ್ಲಿಂಗ್/ಯು-ಟ್ಯೂಬ್ ಡೆನ್ಸಿಟೋಮೀಟರ್) | ಇನ್ಲೈನ್ (ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ಡೆನ್ಸಿಟೋಮೀಟರ್/ವಿಸ್ಕೋಮೀಟರ್) | ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಣಾಮ |
| ಅಳತೆ ವೇಗ | ವಿಳಂಬವಾಗಿದೆ (ಗಂಟೆಗಳು) | ನೈಜ-ಸಮಯ, ನಿರಂತರ (ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯ ಹೆಚ್ಚಾಗಿ 5 ಸೆಕೆಂಡುಗಳು) | ತಡೆಗಟ್ಟುವ, ಮುಚ್ಚಿದ-ಲೂಪ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. |
| ಡೇಟಾ ಸ್ಥಿರತೆ/ನಿಖರತೆ | ಕಡಿಮೆ (ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ದೋಷ, ಮಾದರಿ ಅವನತಿಗೆ ಒಳಗಾಗುವ ಸಾಧ್ಯತೆ) | ಹೆಚ್ಚು (ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆ/ನಿಖರತೆ) | ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಬಿಗಿಗೊಳಿಸುವುದು ಮತ್ತು ತಪ್ಪು ಧನಾತ್ಮಕತೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು. |
| ಅಪಘರ್ಷಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ | ಹೆಚ್ಚಿನ ಅಡಚಣೆ ಅಪಾಯ (ಕಿರಿದಾದ ಯು-ಟ್ಯೂಬ್ ಬೋರ್ ವಿನ್ಯಾಸ) | ಕಡಿಮೆ ಅಡಚಣೆ ಅಪಾಯ (ಬಲವಾದ, ಯು-ಟ್ಯೂಬ್ ರೆಸೋನೇಟರ್ ಅಲ್ಲದ ವಿನ್ಯಾಸ) | ಅಪಘರ್ಷಕ ಮಾಧ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಗರಿಷ್ಠ ಸಂವೇದಕ ಕಾರ್ಯಾವಧಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ. |
| ದೋಷ ಪತ್ತೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ | ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ (ಗಂಟೆಗಳ ಹಿಂದೆ ನಡೆದ ವಿಹಾರಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ) | ಪೂರ್ವಭಾವಿಯಾಗಿ (ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ವಿಹಾರಗಳನ್ನು ಮೊದಲೇ ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ) | ದುರಂತದ ವೇಫರ್ ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿ ಏರಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. |
ಕೋಷ್ಟಕ 3: ತುಲನಾತ್ಮಕ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ: ಇನ್ಲೈನ್ vs. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಸ್ಲರಿ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರ
ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಆಫ್ಲೈನ್ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಗೆ ಮಾದರಿ ಹೊರತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸಾಗಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರದ ಲೂಪ್ಗೆ ಅಂತರ್ಗತವಾಗಿ ಗಮನಾರ್ಹ ಸಮಯದ ವಿಳಂಬವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುತ್ತದೆ. ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ ಉಳಿಯುವ ಈ ವಿಳಂಬವು, ಅಂತಿಮವಾಗಿ ವಿಹಾರ ಪತ್ತೆಯಾದಾಗ, ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ವೇಫರ್ಗಳು ಈಗಾಗಲೇ ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಂಡಿವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾದರಿ ಅವನತಿಗೆ ಅಪಾಯವನ್ನುಂಟು ಮಾಡುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಮಾದರಿಯ ನಂತರದ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಂದಾಗಿ, ಇದು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ವಾಚನಗಳನ್ನು ವಿರೂಪಗೊಳಿಸಬಹುದು.
ಇನ್ಲೈನ್ ಮಾಪನಶಾಸ್ತ್ರವು ಈ ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುವ ಸುಪ್ತತೆಯನ್ನು ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ, ವಿತರಣಾ ಮಾರ್ಗದಿಂದ ನೇರವಾಗಿ ದತ್ತಾಂಶದ ನಿರಂತರ ಹರಿವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ದೋಷ ಪತ್ತೆಗೆ ಈ ವೇಗವು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿದೆ; ಅಪಘರ್ಷಕ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ದೃಢವಾದ, ಅಡಚಣೆಯಿಲ್ಲದ ವಿನ್ಯಾಸದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಿದಾಗ, ಇದು ಸಂಪೂರ್ಣ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ದತ್ತಾಂಶ ಫೀಡ್ ಅನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. CMP ಯ ಸಂಕೀರ್ಣತೆಯು ಬಹು ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು (ವಕ್ರೀಭವನ ಸೂಚ್ಯಂಕ ಅಥವಾ pH ನಂತಹ) ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವುದನ್ನು ಕಡ್ಡಾಯಗೊಳಿಸಿದರೆ, ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯು ಅಪಘರ್ಷಕ ಅಮಾನತುಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯ ಮೂಲಭೂತ ಭೌತಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಬಗ್ಗೆ ಅತ್ಯಂತ ನೇರವಾದ, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ರಾಸಾಯನಿಕ ಬಫರಿಂಗ್ನಿಂದಾಗಿ pH ಅಥವಾ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ-ಕಡಿತ ಸಂಭಾವ್ಯತೆ (ORP) ನಂತಹ ನಿಯತಾಂಕಗಳಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಲ್ಲ.
5. ಆರ್ಥಿಕ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಕಡ್ಡಾಯಗಳು
ನೈಜ-ಸಮಯದ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು
ಯಾವುದೇ ಮುಂದುವರಿದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಕ್ಕಾಗಿ, ಅಲ್ಲಿಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ CMPಬಳಸಲಾಗುತ್ತಿದೆ, ಯಶಸ್ಸನ್ನು ನಿರಂತರ ಇಳುವರಿ ಸುಧಾರಣೆ, ಗರಿಷ್ಠ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಕಠಿಣ ವೆಚ್ಚ ನಿರ್ವಹಣೆಯಿಂದ ಅಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ನೈಜ-ಸಮಯದ ಭೂವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯು ಈ ವಾಣಿಜ್ಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ದತ್ತಾಂಶ ಮೂಲಸೌಕರ್ಯವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ
ನಿರಂತರ, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಸ್ಲರಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯು ಅಪ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಶಬ್ದವನ್ನು ಲೆಕ್ಕಿಸದೆ, ಪಾಯಿಂಟ್-ಆಫ್-ಯೂಸ್ (POU) ಗೆ ತಲುಪಿಸಲಾದ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸ್ಲರಿ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಅಸಾಧಾರಣವಾಗಿ ಬಿಗಿಯಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಉಳಿಯುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಾತರಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಒಳಬರುವ ಕಚ್ಚಾ ಸ್ಲರಿ ಬ್ಯಾಚ್ಗಳಲ್ಲಿ ಅಂತರ್ಗತವಾಗಿರುವ ಸಾಂದ್ರತೆಯಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ನೀಡಿದರೆ, ಪಾಕವಿಧಾನವನ್ನು ಅನುಸರಿಸುವುದು ಸಾಕಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಬ್ಲೆಂಡರ್ ಟ್ಯಾಂಕ್ನಲ್ಲಿ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುವ ಅನುಪಾತಗಳನ್ನು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು, ಮಿಶ್ರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ನಿಖರವಾದ ಗುರಿ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲಾಗಿದೆಯೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ಅಸಮಂಜಸ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ತಗ್ಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚು ಊಹಿಸಬಹುದಾದ ಹೊಳಪು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದುಬಾರಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಹಾರಗಳ ಆವರ್ತನ ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಾಟಕೀಯವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ
ಅಸ್ಥಿರವಾದ ಸ್ಲರಿ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ವೈಫಲ್ಯಗಳನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಹರಿಸುವುದು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಅತ್ಯಂತ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮಾರ್ಗವಾಗಿದೆcmp ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಇಳುವರಿ ದರಗಳು. ಮುನ್ಸೂಚಕ, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೌಲ್ಯದ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಪೂರ್ವಭಾವಿಯಾಗಿ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತವೆ. ಅಂತಹ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿದ ಫ್ಯಾಬ್ಗಳು ಗಮನಾರ್ಹ ಯಶಸ್ಸನ್ನು ದಾಖಲಿಸಿವೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ದೋಷ ತಪ್ಪಿಸಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ 25% ವರೆಗಿನ ಕಡಿತದ ವರದಿಗಳು ಸೇರಿವೆ. ಈ ತಡೆಗಟ್ಟುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ಅನಿವಾರ್ಯ ದೋಷಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುವುದರಿಂದ ಅವುಗಳ ರಚನೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿ ತಡೆಗಟ್ಟುವ ಕಡೆಗೆ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಲಕ್ಷಾಂತರ ಡಾಲರ್ ಮೌಲ್ಯದ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಗೀರುಗಳು ಮತ್ತು ಅಸ್ಥಿರ ಕಣ ಜನಸಂಖ್ಯೆಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಇತರ ಹಾನಿಗಳಿಂದ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ಹಠಾತ್ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಹನಿಗಳು ಉಷ್ಣ ಅಥವಾ ಶಿಯರ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಸೂಚಿಸುವಂತಹ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು, ಈ ಅಂಶಗಳು ಬಹು ವೇಫರ್ಗಳಲ್ಲಿ ದೋಷಗಳನ್ನು ಹರಡುವ ಮೊದಲು ಹಸ್ತಕ್ಷೇಪವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಪುನಃ ಕೆಲಸವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ
ಉತ್ಪನ್ನಪುನಃ ಕೆಲಸ ಮಾಡಿದೋಷಗಳು ಅಥವಾ ದೋಷಗಳಿಂದಾಗಿ ಮರು-ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ತಯಾರಿಸಿದ ಉತ್ಪನ್ನದ ಶೇಕಡಾವಾರು ಎಂದು ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲಾದ ದರವು ಒಟ್ಟಾರೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅಸಮರ್ಥತೆಯನ್ನು ಅಳೆಯುವ ನಿರ್ಣಾಯಕ KPI ಆಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಮರು ಕೆಲಸದ ದರಗಳು ಅಮೂಲ್ಯವಾದ ಶ್ರಮ, ತ್ಯಾಜ್ಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಗಣನೀಯ ವಿಳಂಬಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುತ್ತವೆ. ಪಾತ್ರೆ ತೊಳೆಯುವುದು, ಏಕರೂಪವಲ್ಲದ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸ್ಕ್ರಾಚಿಂಗ್ನಂತಹ ದೋಷಗಳು ಭೂವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಅಸ್ಥಿರತೆಯ ನೇರ ಪರಿಣಾಮಗಳಾಗಿರುವುದರಿಂದ, ನಿರಂತರ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮೂಲಕ ಸ್ಲರಿ ಹರಿವನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸುವುದು ಈ ನಿರ್ಣಾಯಕ ದೋಷಗಳ ಪ್ರಾರಂಭವನ್ನು ತೀವ್ರವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕ, ದುರಸ್ತಿ ಅಥವಾ ಮರು-ಪಾಲಿಶ್ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ದೋಷಗಳ ಸಂಭವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ವರ್ಧಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ತಂಡದ ದಕ್ಷತೆ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ.
ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವೆಚ್ಚಗಳನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸುತ್ತದೆ
ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ CMP ಸ್ಲರಿಗಳು ಗಣನೀಯ ಬಳಕೆಯ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತವೆ. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅನಿಶ್ಚಿತತೆಯು ಮಿಶ್ರಣ ಮತ್ತು ಬಳಕೆಯಲ್ಲಿ ವಿಶಾಲ, ಸಂಪ್ರದಾಯವಾದಿ ಸುರಕ್ಷತಾ ಅಂಚುಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ದೇಶಿಸಿದಾಗ, ಫಲಿತಾಂಶವು ಅಸಮರ್ಥ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವೆಚ್ಚಗಳು. ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯು ನೇರ, ನಿಖರವಾದ ಸ್ಲರಿ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ನಿರಂತರ ನಿಯಂತ್ರಣವು ನಿಖರವಾದ ಮಿಶ್ರಣ ಅನುಪಾತಗಳನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ದುರ್ಬಲಗೊಳಿಸುವ ನೀರಿನ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದುಬಾರಿಯಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆಸಿಎಮ್ಪಿ ಸ್ಲರಿ ಸಂಯೋಜನೆಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿ ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ, ವಸ್ತು ತ್ಯಾಜ್ಯ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಭೂವೈಜ್ಞಾನಿಕ ರೋಗನಿರ್ಣಯವು ಪ್ಯಾಡ್ ಸವೆತ ಅಥವಾ ಪಂಪ್ ವೈಫಲ್ಯದಂತಹ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸಮಸ್ಯೆಗಳ ಮುಂಚಿನ ಎಚ್ಚರಿಕೆ ಚಿಹ್ನೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು - ಇದು ಅಸಮರ್ಪಕ ಕಾರ್ಯವು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸ್ಲರಿ ವಿಹಾರ ಮತ್ತು ನಂತರದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಡೌನ್ಟೈಮ್ಗೆ ಕಾರಣವಾಗುವ ಮೊದಲು ಸ್ಥಿತಿ ಆಧಾರಿತ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
ಸುಸ್ಥಿರ ಅಧಿಕ-ಇಳುವರಿ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಎಲ್ಲಾ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಘಟಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ರೆಸೋನೆಂಟ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಸ್ಲರಿ ವಿತರಣಾ ಮೂಲಸೌಕರ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ದೃಢತೆ, ವೇಗ ಮತ್ತು ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ನೈಜ-ಸಮಯದ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಡೇಟಾವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಎಂಜಿನಿಯರ್ಗಳು ನಿರಂತರ, ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಬುದ್ಧಿವಂತಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದ್ದಾರೆ, ಊಹಿಸಬಹುದಾದ ಹೊಳಪು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಕೊಲೊಯ್ಡಲ್ ಅಸ್ಥಿರತೆಯ ವಿರುದ್ಧ ವೇಫರ್ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತಾರೆ.
ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಇಳುವರಿ ನಿರ್ವಹಣೆಯಿಂದ ಪೂರ್ವಭಾವಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಪರಿವರ್ತನೆಯನ್ನು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಲು:
ಗರಿಷ್ಠಗೊಳಿಸಿಅಪ್ಟೈಮ್ ಮತ್ತುಕುಗ್ಗಿಸುಪುನರ್ ಕೆಲಸ:ಡೌನ್ಲೋಡ್ ಮಾಡಿನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು ಮತ್ತುಪ್ರಾರಂಭಿಸಿಇಂದು RFQ.
ನಾವು ಹಿರಿಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿ ಎಂಜಿನಿಯರ್ಗಳನ್ನು ಆಹ್ವಾನಿಸುತ್ತೇವೆಸಲ್ಲಿಸಿವಿವರವಾದ RFQ. ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಜ್ಞರು ನಿಖರವಾದ ಅನುಷ್ಠಾನ ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಯನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುತ್ತಾರೆ, ದೋಷ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಲರಿ ಬಳಕೆಯಲ್ಲಿನ ಯೋಜಿತ ಕಡಿತವನ್ನು ಪ್ರಮಾಣೀಕರಿಸಲು ನಿಮ್ಮ ಸ್ಲರಿ ವಿತರಣಾ ಮೂಲಸೌಕರ್ಯಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತಾರೆ.ಸಂಪರ್ಕಿಸಿನಮ್ಮ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತ ತಂಡ ಈಗಸುರಕ್ಷಿತನಿಮ್ಮ ಇಳುವರಿ ಪ್ರಯೋಜನ.ಅನ್ವೇಷಿಸಿನಿಮ್ಮ ಅತ್ಯಂತ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ಲಾನರೈಸೇಶನ್ ಹಂತವನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಲು ಅಗತ್ಯವಾದ ಅಗತ್ಯ ನಿಖರತೆ.
