ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಡೈಮಂಡ್ ವೈರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಲ್ಲಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ಅನಿವಾರ್ಯವಾಗಿದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಇದು ವೈರ್-ವೇಫರ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ಗೆ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳ ನಿಖರವಾದ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ - ಸೂಕ್ತ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ, ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಇದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.Rಈ-ಸಮಯದ ಹರಿವಿನ ದತ್ತಾಂಶವು ಅಸಮರ್ಪಕ ಅಥವಾ ಅತಿಯಾದ ದ್ರವ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ, ಇಲ್ಲದಿದ್ದರೆ ಇದು ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದು, ತಂತಿ ಒಡೆಯುವಿಕೆ, ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳು ಅಥವಾ ತ್ಯಾಜ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾದ ಮಾಪನವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ, ತಂತಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಂಪನ್ಮೂಲ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕಟಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳ ಪಾತ್ರದ ಅವಲೋಕನ
ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ಏಕಸ್ಫಟಿಕ ಮತ್ತು ಬಹುಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಇಂಗೋಟ್ಗಳನ್ನು ವೇಫರ್ಗಳಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸಲು ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವುದು ಪ್ರಮುಖ ತಂತ್ರವಾಗಿದೆ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಉಕ್ಕಿನ ತಂತಿ - ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 40–70 μm ವ್ಯಾಸ - ವಜ್ರದ ಅಪಘರ್ಷಕ ಧಾನ್ಯಗಳಿಂದ ಲೇಪಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ತಂತಿಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದಲ್ಲಿ ಚಲಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎಂಬೆಡೆಡ್ ವಜ್ರಗಳು ಸವೆತದ ಮೂಲಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಪುಡಿಮಾಡುತ್ತವೆ, ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಉತ್ತೇಜಿಸುತ್ತದೆ. ಇತ್ತೀಚಿನ ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ ಪರಿಚಯಿಸಲಾದ ಕಡಿಮೆ ವ್ಯಾಸದ ತಂತಿಗಳು ಕೆರ್ಫ್ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ, ಇದು ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಣಗಳಾಗಿ ವ್ಯರ್ಥವಾಗುವ ವಸ್ತುವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಕೆರ್ಫ್ ನಷ್ಟವನ್ನು ತಂತಿಯ ವ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ತಂತಿಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಚಾಚಿಕೊಂಡಿರುವ ಅಪಘರ್ಷಕ ಧಾನ್ಯಗಳ ಎತ್ತರದಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಡೈಮಂಡ್ ವೈರ್ ಕಟಿಂಗ್
*
ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಗರಗಸದಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳು ಹಲವಾರು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಅವುಗಳ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಕಾರ್ಯವೆಂದರೆ ಇಂಗೋಟ್ ಮತ್ತು ತಂತಿ ಎರಡನ್ನೂ ತಂಪಾಗಿಸುವುದು, ಸಿಲಿಕಾನ್ಗೆ ಹಾನಿ ಉಂಟುಮಾಡುವ ಅಥವಾ ತಂತಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವ ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಯುವುದು. ಕತ್ತರಿಸುವ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಣಗಳನ್ನು ಸಹ ಅವು ತೊಳೆಯುತ್ತವೆ, ಇದು ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಅನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು, ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ಮರು-ಸ್ಥಾನೀಕರಣವನ್ನು ತಡೆಯಲು ಮತ್ತು ವೇಫರ್ನಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಬಿರುಕುಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ನಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ತಂತಿ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನಡುವಿನ ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಹೀಗಾಗಿ ತಂತಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕಟ್ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ. ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆಯಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳ ಸಂಯೋಜನೆ ಮತ್ತು ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ, ಚಿಪ್ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ತಂತಿ ರಕ್ಷಣೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕು.
ವರ್ಧಿತ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ಅಮಾನತುಗಾಗಿ ಸೇರ್ಪಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ನೀರು ಆಧಾರಿತ ದ್ರವಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಹಲವಾರು ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ವಿಧಗಳಿವೆ. ಆಯ್ಕೆಯು ಸಲಕರಣೆಗಳ ವಿನ್ಯಾಸ, ವೇಫರ್ ವಿಶೇಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ನಿರ್ಬಂಧಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಸರ್ಫ್ಯಾಕ್ಟಂಟ್ಗಳು ಅಥವಾ ಗ್ಲೈಕೋಲ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ಡಿಯೋನೈಸ್ಡ್ ನೀರು ಸೇರಿವೆ, ಕಡಿಮೆ ಶೇಷ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ ತಂಪಾಗಿಸುವ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸಮತೋಲನಗೊಳಿಸಲು ರೂಪಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಆಧುನಿಕ ವೇಫರ್ ಸ್ಥಾವರಗಳಲ್ಲಿ ಅತಿ-ತೆಳುವಾದ ವಜ್ರದ ತಂತಿಗಳ ಕಡೆಗೆ ವಿಕಸನವು ದ್ರವ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣದಲ್ಲಿನ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ವರ್ಧಿಸುತ್ತದೆ. ತಂತಿಯ ವ್ಯಾಸವು 40 μm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಾದಂತೆ, ತಂತಿ ಒಡೆಯುವಿಕೆಯ ಅಪಾಯವು ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಏರಿಳಿತಕ್ಕೆ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ ಬಿಗಿಯಾಗುತ್ತದೆ. ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಮತ್ತು ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಸಂವೇದಕಗಳಂತಹ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಿಂದ ಬೆಂಬಲಿತವಾದ ನಿಖರವಾದ ಹರಿವಿನ ದರ ಮಾಪನವು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆಗೆದುಹಾಕುವಿಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಅತ್ಯಗತ್ಯ. ದ್ರವ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಪರಿಹಾರಗಳು ನಿರ್ವಾಹಕರು ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹರಿವಿನ ದರಗಳನ್ನು ಟ್ರ್ಯಾಕ್ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಹೊಂದಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ. ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ಗಳ ನಿಖರತೆಯು ವಿಭಿನ್ನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯೊಂದಿಗೆ ದ್ರವಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ, ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ ಮತ್ತು ತಂತಿ ಒತ್ತಡಗಳು ಹೆಚ್ಚಾದಾಗಲೂ ಸ್ಥಿರವಾದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿಖರತೆಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆಯು ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ, ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯಂತಹ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ದ್ರವ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವತ್ತ ಗಮನ ಹರಿಸಿದೆ. ಲೋನ್ಮೀಟರ್ನಂತಹ ಉಪಕರಣಗಳು ಸುಧಾರಿತ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಭರವಸೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ಗೆ ಅನಿವಾರ್ಯವಾದ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಅಳತೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ. ತಂತಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಮುಂದುವರೆದಂತೆ, ದೃಢವಾದ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಏಕೀಕರಣವು ವೇಫರ್ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಕೆರ್ಫ್ ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ವಲಯಕ್ಕೆ ಡೌನ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಅವಿಭಾಜ್ಯವಾಗಿದೆ.
ನಿಖರವಾದ ಡೈಮಂಡ್ ವೈರ್ ಕಟಿಂಗ್ನಲ್ಲಿ ದ್ರವ ವಿತರಣಾ ಸವಾಲುಗಳು
ಅತಿ ತೆಳುವಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ - ವಿಶೇಷವಾಗಿ 40 µm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಇರುವವುಗಳು - ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ಗೆ ಸರಿಯಾದ ಪ್ರಮಾಣದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವವನ್ನು ತಲುಪಿಸುವುದು ಒಂದು ಅಸಾಧಾರಣ ಸವಾಲಾಗುತ್ತದೆ. ತಂತಿಯ ದಪ್ಪ ಕಡಿಮೆಯಾದಂತೆ, ದ್ರವದ ಹರಿವಿಗೆ ಸ್ಥಳವೂ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ. ಸಂಪರ್ಕ ಹಂತದಲ್ಲಿ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸ್ಥಿರವಾದ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
ಅಸಮಂಜಸ ಅಥವಾ ಅಸಮರ್ಪಕ ದ್ರವ ಹರಿವು ನೇರವಾಗಿ ವೇಫರ್ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಸಾಕಷ್ಟು ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಇಲ್ಲದ ಕಾರಣ ವೇಫರ್ ಅನಪೇಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಇದು ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸುವುದಲ್ಲದೆ ವೇಫರ್ ಒಡೆಯುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಹಾನಿಯ ಅಪಾಯವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ತಂತಿ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದಿಂದ ನಿರಂತರ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಪಡೆಯದಿದ್ದಾಗ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ. ಹಾನಿಗೊಳಗಾದ ಮೇಲ್ಮೈಗಳು ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ದೋಷಗಳು ವೇಫರ್ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಅಡೆತಡೆಗಳನ್ನು ಒಡ್ಡುತ್ತದೆ.
ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಪ್ರಮಾಣದ ಗರಗಸದ ಅಂತರಕ್ಕೆ ದ್ರವದ ನುಗ್ಗುವಿಕೆಯ ಮೇಲೆ ಮೂರು ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶಗಳು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ: ತಂತಿ ಜ್ಯಾಮಿತಿ, ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗ ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ಕ್ರಿಯೆ. ತಂತಿ ಜ್ಯಾಮಿತಿ - ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ತಂತಿ ವ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ವಜ್ರದ ಧಾನ್ಯಗಳ ವಿತರಣೆ - ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವವು ಸಂಪರ್ಕ ವಲಯಕ್ಕೆ ಎಷ್ಟು ಸುಲಭವಾಗಿ ಹರಿಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಎಂಬುದನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪ್ರಭಾವಿಸುತ್ತದೆ. 40 µm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಇರುವ ತಂತಿಗಳನ್ನು ಬಳಸುವಾಗ, ಸಣ್ಣ ಮೇಲ್ಮೈ ವಿಸ್ತೀರ್ಣವು ದ್ರವದ ಮುಕ್ತ ಚಲನೆಯನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗವು ದ್ರವವು ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಅನ್ನು ತಲುಪಲು ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸಲು ಲಭ್ಯವಿರುವ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಸ್ಥಳೀಯ ಅಧಿಕ ತಾಪ ಮತ್ತು ಕಳಪೆ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ಕ್ರಿಯೆ, ದ್ರವವನ್ನು ಕಿರಿದಾದ ಸ್ಥಳಗಳಿಗೆ ಎಳೆಯುವ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, ದ್ರವ ಧಾರಣವನ್ನು ಬಲವಾಗಿ ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ದ್ರವ ಸಾಗಣೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವ ಅದೇ ದ್ರವ ಸೇತುವೆಗಳು ಪಕ್ಕದ ತಂತಿಗಳ ನಡುವೆ ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಬಹುದು, ಇದು ಏಕರೂಪವಲ್ಲದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ದಪ್ಪ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್-ವರ್ಧಿತ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಸುಧಾರಿತ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಪ್ರಕಾರಗಳ ಪರಿಚಯವು ಅಳೆಯಬಹುದಾದ ಸುಧಾರಣೆಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. SiO₂ ಅಥವಾ SiC ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ಸ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ದ್ರವಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಪರಸ್ಪರ ಕ್ರಿಯೆಯಿಂದಾಗಿ ಕಿರಿದಾದ ಅಂತರಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಭೇದಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ದ್ರವಗಳು ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಶಾಖವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸಾಗಿಸುತ್ತವೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ವೇಫರ್ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್-ಹೊತ್ತ ದ್ರವಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದರಿಂದ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ ಕ್ಷೇತ್ರವನ್ನು ಮಾರ್ಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ಸಮಗ್ರತೆಗೆ ಬೆದರಿಕೆ ಹಾಕುವ ಒತ್ತಡಗಳನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಎಂದು ಸಂಶೋಧನೆ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು, ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ಸಾಗಣೆಯನ್ನು ವರ್ಧಿಸಲು ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಕಂಪನದಂತಹ ತಂತ್ರಗಳೊಂದಿಗೆ ಸೇರಿ, ಹೆಚ್ಚು ಏಕರೂಪದ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.
ಸ್ಥಿರವಾದ ದ್ರವ ವಿತರಣೆಗೆ ನಿಖರವಾದ, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಬಿಗಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಅತ್ಯಗತ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಸಂವೇದಕದಂತಹ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ ಅನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸುವುದರಿಂದ ವಿತರಣಾ ದರದ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಲೋನ್ಮೀಟರ್ನ ಇನ್ಲೈನ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಮೀಟರ್ಗಳು, ನಿಖರವಾದ ಹರಿವಿನ ದರ ಮಾಪನ ಸಾಧನಗಳೊಂದಿಗೆ ಜೋಡಿಸಿದಾಗ, ದ್ರವ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುತ್ತವೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಸಹ ಕನಿಷ್ಠ ದೋಷದ ಅಪಾಯದೊಂದಿಗೆ ಸರಾಗವಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳಲ್ಲಿ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ನಿಖರವಾದ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮಾಪನವು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವವು ಸಂಪರ್ಕ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ನಲ್ಲಿ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ, ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ, ಕೆರ್ಫ್ ನಷ್ಟ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಅಸಮರ್ಪಕ ಅಥವಾ ಅತಿಯಾದ ಹರಿವು ಅಪಘರ್ಷಕ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವವನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ, ಉಪಕರಣದ ಉಡುಗೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಸಮಂಜಸವಾದ ವೇಫರ್ ಗುಣಮಟ್ಟ ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಪನ್ಮೂಲ ವೆಚ್ಚಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಏಕ-ತಂತಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ 0.15–0.25 L/min ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ (Ra) ಮತ್ತು ಭೂಗತ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು ಎಂದು ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಅಸಮರ್ಪಕ ಹರಿವು ಮೈಕ್ರೋಕ್ರ್ಯಾಕ್ಗಳು ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ಸಂಗ್ರಹಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಹರಿವು ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಅನಗತ್ಯ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುತ್ತದೆ.
ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ದರ ಮಾಪನವನ್ನು ಕಡಿತಗೊಳಿಸುವ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು
ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ಗಳು ದ್ರವ ಪೂರೈಕೆ ಮಾರ್ಗಗಳಲ್ಲಿ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ, ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ವಿತರಿಸಿದ ಪರಿಮಾಣವನ್ನು ಅಳೆಯುತ್ತವೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಲ್ಲಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಪ್ರಕಾರಗಳು ಸೇರಿವೆ:
- ಟರ್ಬೈನ್ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಡಲ್ವೀಲ್ ವಿನ್ಯಾಸಗಳಂತಹ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ಗಳು, ದ್ರವ ಹರಿವಿನಿಂದ ಸ್ಥಳಾಂತರಗೊಂಡ ತಿರುಗುವ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಅವು ಸರಳ ಮತ್ತು ದೃಢವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಆದರೆ ಅಪಘರ್ಷಕ-ಹೊತ್ತ ದ್ರವಗಳಿಂದ ಸವೆಯುವ ಸಾಧ್ಯತೆ ಹೆಚ್ಚು.
- ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ಗಳು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು, ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಪ್ರಚೋದನೆಯ ತತ್ವಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ದ್ರವದ ವೇಗವನ್ನು ಅಳೆಯುತ್ತವೆ, ವಾಹಕ ದ್ರವಗಳಿಗೆ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ, ನಿರ್ವಹಣೆ-ಬೆಳಕಿನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ.
- ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಫ್ಲೋ ಮೀಟರ್ಗಳು ಪೈಪ್ನಾದ್ಯಂತ ಹರಡುವ ಮತ್ತು ಸ್ವೀಕರಿಸುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನದ ಧ್ವನಿ ತರಂಗಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ. ಹರಿವಿನೊಂದಿಗೆ ಮತ್ತು ವಿರುದ್ಧವಾಗಿ ಧ್ವನಿ ಸಾಗಣೆಯ ಸಮಯದ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಅಳೆಯುವ ಮೂಲಕ, ಈ ಸಾಧನಗಳು ವಿವಿಧ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಪ್ರಕಾರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಒಳನುಗ್ಗಿಸದ, ನಿಖರವಾದ ಅಳತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ.
ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಅಥವಾ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ಲೆಕ್ಕಿಸದೆ ದ್ರವ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ಎದ್ದು ಕಾಣುತ್ತದೆ. ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ಪರಿಣಾಮದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಅಳೆಯುತ್ತವೆ, ಇದು ನೀರು ಆಧಾರಿತ ಮತ್ತು ತೈಲ ಆಧಾರಿತ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ತತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ಇನ್ಲೈನ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮೀಟರ್ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ ದ್ರವ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ಣಾಯಕ ಮಾಪನ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕ ನಿಯೋಜನೆ
ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಹರಿವಿನ ನಿಖರವಾದ ಮಾಪನವು ಹಲವಾರು ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳಿಗೆ ಗಮನ ಹರಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ:
- ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ (ಲೀ/ನಿಮಿಷ): ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅತ್ಯುತ್ತಮೀಕರಣ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟದ ಭರವಸೆಗಾಗಿ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಮಾಪನ.
- ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ: ಎರಡೂ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ, ಅಪಘರ್ಷಕ ಸಾಗಣೆ ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆರವು ಮೇಲೆ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ.
- ತಾಪಮಾನ: ಕತ್ತರಿಸಿದ ಸ್ಥಳದಲ್ಲಿ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮತ್ತು ದ್ರವದ ವರ್ತನೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಸಂವೇದಕದ ನಿಯೋಜನೆಯು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಕತ್ತರಿಸುವ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ಗೆ ಮುಂಚಿತವಾಗಿ ಪೈಪಿಂಗ್ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಸೋರಿಕೆ ಅಥವಾ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯಿಂದಾಗಿ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವ ವಲಯಕ್ಕೆ ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಹತ್ತಿರ ದ್ರವ ವಿತರಣಾ ಮಾರ್ಗದಲ್ಲಿ ನೇರವಾಗಿ ಇರಿಸಬೇಕು. ನೈಜ-ಸಮಯದ ಇನ್ಲೈನ್ ಮಾಪನವು ವರದಿಯಾದ ಹರಿವಿನ ಮೌಲ್ಯವು ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರದೇಶಕ್ಕೆ ನಿಜವಾದ ಪೂರೈಕೆಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಸೂಕ್ತ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪರಿಸರವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವಲ್ಲಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನದ ಕಾರ್ಯ
ಕೈಗಾರಿಕಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ದ್ರವ ವಿತರಣೆಯ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ. ಸೂಕ್ತ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ಸಾಕಷ್ಟು ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆ, ನಿರಂತರ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ವಜ್ರದ ತಂತಿಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಏಕರೂಪದ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇದು ಇಲ್ಲದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆ ಕುಸಿಯುತ್ತದೆ, ತಂತಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳು ಅಥವಾ ಅತಿಯಾದ ಕೆರ್ಫ್ ನಷ್ಟದ ಅಪಾಯದಿಂದಾಗಿ ಇಳುವರಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಹರಿವಿನ ದರ ಮಾಪನವನ್ನು ಇತರ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ನಿಯತಾಂಕಗಳೊಂದಿಗೆ (ಉದಾ. ತಂತಿ ವೇಗ, ಫೀಡ್ ದರ) ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ತಯಾರಕರು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮಿತಿಯ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಜಾರಿಗೊಳಿಸಬಹುದು, ಹರಿವಿನ ದರ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಗಳನ್ನು ಗಮನಿಸಿದ ಕತ್ತರಿಸುವ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯೊಂದಿಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಸಂಪರ್ಕಿಸಬಹುದು. ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ, ಪ್ರೋಗ್ರಾಮ್ ಮಾಡಲಾದ ಹರಿವಿನ ಹೊದಿಕೆಯಿಂದ ಯಾವುದೇ ವಿಚಲನವು ತಕ್ಷಣದ ಸರಿಪಡಿಸುವ ಕ್ರಮವನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸುತ್ತದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಸಂಪನ್ಮೂಲ ದಕ್ಷತೆ ಎರಡನ್ನೂ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಯುಗದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ, ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಬಲವಾದ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಮತ್ತು ನೈಜ-ಸಮಯದ ಡೇಟಾವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ಮೂಲಾಧಾರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ: ತತ್ವಗಳು ಮತ್ತು ಅನ್ವಯಗಳು
ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ಕಂಪಿಸುವ ಕೊಳವೆಗಳ ಮೂಲಕ ದ್ರವ ಚಲಿಸುವ ಮೂಲಕ ಉಂಟಾಗುವ ಬಲವನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವುದನ್ನು ಆಧರಿಸಿದೆ. ದ್ರವವು ಹರಿಯುವಾಗ - ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಅಥವಾ ವಿಶೇಷ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದಂತಹ - ಕೊಳವೆಗಳು ಸಣ್ಣ, ಅಳೆಯಬಹುದಾದ ಹಂತದ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಅನುಭವಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಬದಲಾವಣೆಯು ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯ ನೇರ, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಪ್ರಮಾಣೀಕರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಅದೇ ತತ್ವವು ದ್ರವ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಏಕಕಾಲಿಕ ಮಾಪನವನ್ನು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ, ಬದಲಾಗುತ್ತಿರುವ ದ್ರವ ಪ್ರಕಾರಗಳು, ಸಂಯೋಜನೆಗಳು ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ - ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಾಗಿದೆ.
ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಪ್ರಕಾರಗಳಿಗೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳನ್ನು ಬಳಸುವಾಗ, ಈ ವಿಧಾನದ ಅನುಕೂಲಗಳು ಗಣನೀಯವಾಗಿವೆ. ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ದ್ರವದ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜನೆಯ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಂದ ಸ್ವತಂತ್ರವಾಗಿದೆ, ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳು, ನ್ಯಾನೊ-ಸೇರ್ಪಡೆಗಳು ಅಥವಾ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಕಂಡುಬರುವ ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಮಿಶ್ರಣಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯ ನಡುವೆ ಹೆಚ್ಚು ನಿಖರವಾಗಿ ಉಳಿಯುತ್ತದೆ. ಈ ದೃಢತೆಯು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ವಾಲ್ಯೂಮೆಟ್ರಿಕ್ ಹರಿವಿನ ವಿಧಾನಗಳಿಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ, ಇದು ಗುಳ್ಳೆಗಳು, ಅಮಾನತುಗೊಂಡ ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ಮುಂದುವರಿದ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳ ಬದಲಾಗುತ್ತಿರುವ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯು ಸುಧಾರಿತ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಸಂವೇದಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಅವಲಂಬಿಸಿದೆ. ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ಇನ್ಲೈನ್ ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ಸೆನ್ಸರ್ಗಳನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ರೇಖೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದು ವೇಫರ್ ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನ್ಯಾನೊ-ದ್ರವ ಮತ್ತು ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ನಿಖರವಾದ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ದ್ರವದ ಅವನತಿ, ಮಿಶ್ರಣದ ಅಸಂಗತತೆಗಳು ಅಥವಾ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಬದಲಾವಣೆಗಳ ಚಿಹ್ನೆಗಳನ್ನು ತಕ್ಷಣವೇ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ತಕ್ಷಣದ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಧ್ಯಸ್ಥಿಕೆಗಳಿಗೆ ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಇತರ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ಸಂವೇದಕಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸುವುದು - ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಉಷ್ಣ, ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಅಥವಾ ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಹರಿವಿನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು - ಹಲವಾರು ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನದಲ್ಲಿ ಶ್ರೇಷ್ಠವಾಗಿವೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆಯ ಏರಿಳಿತಗಳು ಅಥವಾ ಕಾಂತೀಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗದ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ-ಆಧಾರಿತ ವಾಚನಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ. ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಮೀಟರ್ಗಳು ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ಸ್, ಏರ್ ಪಾಕೆಟ್ಸ್ ಅಥವಾ ನಿಮಿಷ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ದ್ರವ ಮಿಶ್ರಣಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದರೊಂದಿಗೆ ಹೋರಾಡುತ್ತವೆ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಲ್ಲದ ಹರಿವಿನ ದರ ಮಾಪನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿದ ನಿರ್ವಹಣಾ ಆವರ್ತನಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.
ಸಿಗ್ನಲ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಪರಿಹಾರ ಯೋಜನೆಗಳು ಶಬ್ದ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ವ್ಯತ್ಯಾಸವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡುವುದರಿಂದ, ಬದಲಾಗುತ್ತಿರುವ ದ್ರವ ಸಂಯೋಜನೆಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ಫ್ಲೋ ಮೀಟರ್ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾಹಕರು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ, ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಕಣಗಳ ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ನೈಜ-ಸಮಯದ ಡೇಟಾವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ವಿಭಿನ್ನ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಪ್ರಕಾರಗಳು ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಫ್ಲೂಯಿಡ್ ಮಿಶ್ರಣಗಳ ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಬಹುದು.
ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವನ್ನು ಅತಿ-ತೆಳುವಾದ ತಂತಿ ಗರಗಸ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ಸ್ಗಳೊಂದಿಗೆ ದ್ರವಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದಕ್ಕೆ ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯಲ್ಲಿ ಬದಲಾವಣೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಕಣಗಳ ವಿಷಯ ಅಥವಾ ದ್ರವದ ವೈವಿಧ್ಯತೆಯನ್ನು ಲೆಕ್ಕಿಸದೆ ಸಂವೇದಕಗಳು ನಿಜವಾದ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಅಳೆಯುತ್ತವೆ, ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಮುಚ್ಚಿದ-ಲೂಪ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ದ್ರವ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತವೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನದ ಈ ಮಟ್ಟವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು, ವಸ್ತು ನಷ್ಟವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಭದ್ರಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕೇಂದ್ರವಾಗಿದೆ.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವುದು
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನೈಜ-ಸಮಯದ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಪರಿವರ್ತಿಸಿದೆ. ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ಉತ್ಪಾದಿಸುವಂತಹ ಇನ್ಲೈನ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮೀಟರ್ಗಳು, ದ್ರವ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ತಕ್ಷಣ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ, ನಿಖರವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ, ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಸೂಕ್ತ ಹರಿವಿನ ದರಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ಅತ್ಯಗತ್ಯ. ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ಗಳು ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವು ಮತ್ತು ದ್ರವ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಕುರಿತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ, ನೈಜ-ಸಮಯದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುವ ಮೂಲಕ ಈ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಶ್ರೇಷ್ಠವಾಗಿವೆ. ಈ ಡೇಟಾದೊಂದಿಗೆ, ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಪಂಪ್ ವೇಗ, ಕವಾಟದ ಸ್ಥಾನಗಳು ಅಥವಾ ಮರುಬಳಕೆ ದರಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪರಿಮಾಣ ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ತಲುಪಿಸಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ತ್ವರಿತ ಕತ್ತರಿಸುವ ಚಕ್ರಗಳ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಸಂವೇದಕ ದತ್ತಾಂಶವು ಸುಧಾರಿತ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿದ ದ್ರವ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸಬಹುದು, ಆದರೆ ನಿಧಾನಗತಿಯ ಚಕ್ರಗಳಿಗೆ ತ್ಯಾಜ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಕಡಿಮೆ ಹರಿವಿನ ಅಗತ್ಯವಿರಬಹುದು.
ಬದಲಾಗುತ್ತಿರುವ ದ್ರವ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಲು ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಸಂವೇದಕಗಳಿಂದ ಬರುವ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯು ಸಹ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯದಿಂದಾಗಿ ದ್ರವದ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಅಥವಾ ಸಾಂದ್ರತೆ ಬದಲಾದಂತೆ - ಲೋನ್ಮೀಟರ್ನ ಇನ್ಲೈನ್ ಮೀಟರ್ಗಳು ಈ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ತಕ್ಷಣವೇ ಪತ್ತೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ, ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಹರಿವಿನ ದರಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುವ ಮೂಲಕ ಅಥವಾ ದ್ರವ ಶೋಧನೆಯನ್ನು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುವ ಮೂಲಕ ಸರಿದೂಗಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. ಈ ಹರಳಿನ, ಡೇಟಾ-ಚಾಲಿತ ವಿಧಾನವು ದ್ರವವು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕತ್ತರಿಸುವ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗಾಗಿ ಬಿಗಿಯಾದ ವಿಶೇಷಣಗಳಲ್ಲಿ ಉಳಿಯುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಹರಿವನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುವ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವು ಸ್ಥಿರವಾದ ದಪ್ಪವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಏಷ್ಯಾ ಮತ್ತು ಯುರೋಪ್ನಲ್ಲಿನ ಪ್ರಮುಖ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ ದುಬಾರಿ ದೋಷಗಳ ಸಂಭವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಸುಧಾರಿತ ದ್ರವ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ಮುನ್ಸೂಚಕ ನಿರ್ವಹಣೆಯನ್ನು ಸಹ ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ವಜ್ರದ ತಂತಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
ಕೈಗಾರಿಕಾ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳು ಹರಿವು-ನಿಯಂತ್ರಿತ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಗಣನೀಯವಾಗಿ ಪ್ರಯೋಜನ ಪಡೆಯುತ್ತವೆ. ದಕ್ಷ ದ್ರವ ನಿರ್ವಹಣೆಯು ಪ್ರತಿ ವೇಫರ್ಗೆ ಸಾಕಷ್ಟು ದ್ರವವನ್ನು ಬಳಸುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ವಿಲೇವಾರಿ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಸುಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಕ ಅನುಸರಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ದ್ರವ ತ್ಯಾಜ್ಯದಲ್ಲಿನ ಕಡಿತ - ಸಂವೇದಕ ದತ್ತಾಂಶವನ್ನು ಆಧರಿಸಿ ನಿರಂತರ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯಿಂದ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ - ಕಡಿಮೆ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ವೆಚ್ಚಗಳು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಪರಿಸರ ಹೆಜ್ಜೆಗುರುತನ್ನು ಅನುವಾದಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಲೋನ್ಮೀಟರ್ನ ಇನ್ಲೈನ್ ಪರಿಹಾರಗಳಿಂದ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲಾದ ನೈಜ-ಸಮಯದ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ದತ್ತಾಂಶದ ಏಕೀಕರಣವು ವೇಫರ್ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಭರವಸೆಗೆ ಒಂದು ಮೂಲಾಧಾರ ಮಾತ್ರವಲ್ಲದೆ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಪ್ರಯೋಜನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ವೆಚ್ಚ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವದಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಬಹುದಾದ ಸುಧಾರಣೆಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಒಳನೋಟಗಳು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ
ಇತ್ತೀಚಿನ ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಅಧ್ಯಯನಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಗಾಗಿ ದ್ರವ ವಿತರಣೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಅಭ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಮರುರೂಪಿಸಿವೆ. ಸಂಶೋಧನೆಯು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲಾದ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಪೂರೈಕೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು, ಕಡಿಮೆ ವೇಫರ್ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟದೊಂದಿಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಸ್ಪರ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿದೆ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ.
ದ್ರವ ವಿತರಣೆಯಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ಪರಿಣಾಮದ ಅನ್ವಯವು ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಬದಲಾವಣೆಯಾಗಿ ಹೊರಹೊಮ್ಮಿದೆ. ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ತರಂಗಗಳು ದ್ರವವನ್ನು ಅತಿ ತೆಳುವಾದ ಕೆರ್ಫ್ಗಳಿಗೆ ಆಳವಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ - ವಿಶೇಷವಾಗಿ 50 μm ಗಿಂತ ಕಿರಿದಾದ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ - ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಪೂರೈಕೆ ವಿಧಾನಗಳು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ವಿಫಲಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ. ಈ ವರ್ಧಿತ ಒಳನುಸುಳುವಿಕೆಯು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಗಣನೀಯವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಪ್ರಾಯೋಗಿಕ ಪರೀಕ್ಷೆಗಳು ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ನೆರವಿನ ದ್ರವ ಪೂರೈಕೆಗೆ ಒಳಪಟ್ಟ ವೇಫರ್ಗಳು ಅಳೆಯಬಹುದಾದಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ, ಹೀಗಾಗಿ ಕೆಳಮುಖ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ.
ದ್ರವ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಕಡಿತಗೊಳಿಸುವಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ವರ್ಧನೆ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊ-ದ್ರವ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಗರಿಷ್ಠಗೊಳಿಸಲು ನಿಯತಾಂಕ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ. ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಸೇರಿವೆ:
- ಪ್ಲೇಟ್ ಅಂತರ: ಸೂಕ್ತವಾದ ದ್ರವ ಏರಿಕೆಗಾಗಿ ದ್ರವ ಜಲಾಶಯ ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವ ವಲಯದ ನಡುವಿನ ಅಂತರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬೇಕು.
- ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಸಂಜ್ಞಾಪರಿವರ್ತಕ ಸ್ಥಾನ ಮತ್ತು ಸೆಟಪ್ ಸಮಾನಾಂತರತೆ: ಸ್ಪಷ್ಟವಾಗಿ ವ್ಯಾಖ್ಯಾನಿಸಲಾದ ರೇಖಾಗಣಿತವು ಏಕರೂಪದ ತರಂಗ ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
- ದ್ರವದ ತಾಪಮಾನ: ನಿಯಂತ್ರಿತ ತಾಪನವು ದ್ರವ ಚಲನಶೀಲತೆ ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
- ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಬಳಕೆಯ ಅವಧಿ ಮತ್ತು ಆವರ್ತನ: ಸರಿಯಾದ ಸಮಯವು ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಒಳನುಸುಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.
- ದ್ರವ ಪ್ರಕಾರದ ಆಯ್ಕೆ: ವಿಭಿನ್ನ ಮೂಲ ದ್ರವಗಳು ಮತ್ತು ಸೇರ್ಪಡೆಗಳು ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಪ್ರಚೋದನೆಗೆ ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತವೆ.
ನ್ಯಾನೊಫ್ಲೂಯಿಡ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಮತ್ತೊಂದು ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುತ್ತದೆ. SiO2 ಮತ್ತು SiC ನಂತಹ ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ಗಳಿಂದ ತುಂಬಿದ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳು ಸುಧಾರಿತ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ತೋರಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಮಾರ್ಪಾಡು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ, ವರ್ಧಿತ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆಗೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆಯಾದ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಮಿಶ್ರ ನ್ಯಾನೊ-ಕಣ ಸೂತ್ರೀಕರಣಗಳು ಸಿನರ್ಜಿಸ್ಟಿಕ್ ಸುಧಾರಣೆಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ, ವಾರ್ಪೇಜ್ ಅನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಏಕ-ರೀತಿಯ ಅಥವಾ ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳಿಗಿಂತ ಉತ್ತಮ ವೇಫರ್ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಡೇಟಾ ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.
ತಮ್ಮ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿತ್ವವನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಬಯಸುವ ತಯಾರಕರು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳನ್ನು ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸಬಹುದು:
- ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಇನ್ಲೈನ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮೀಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮೀಟರ್ಗಳನ್ನು (ಲೋನ್ಮೀಟರ್ನಂತಹವು) ಬಳಸಿ, ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊ-ಸಹಾಯಕ್ಕೆ ಹರಿವಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸೂಕ್ತವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ.
- ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಸಂವೇದಕವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಹರಿವಿನ ದರಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಿ ಮತ್ತು ಹೊಂದಿಸಿ. ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನಕ್ಕೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಉಪಯುಕ್ತವಾಗಿದೆ, ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಪರಿಮಾಣ ಎರಡಕ್ಕೂ ನೈಜ-ಸಮಯದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.
- ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ವಾಚನಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ನಿಯಮಿತವಾಗಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಮಾಪನಾಂಕ ಮಾಡಿ, ಸ್ಥಿರವಾದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ ಇದು ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.
- ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರ, ವಜ್ರದ ತಂತಿಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಪ್ರಕಾರಗಳು ಮತ್ತು ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡಿ.
ತಂತಿಯ ವೇಗವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು ಅಥವಾ ಫೀಡ್ ದರವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುವುದು ಮುಂತಾದ ಏಕ-ಅಂಶದ ನಿಯತಾಂಕ ಬದಲಾವಣೆಗಳು ತಂತಿ ಉಡುಗೆ, ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟು ದಪ್ಪ ವ್ಯತ್ಯಾಸ (TTV) ನಲ್ಲಿನ ಬದಲಾವಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಪರಸ್ಪರ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿವೆ ಎಂದು ತುಲನಾತ್ಮಕ ಅಧ್ಯಯನಗಳು ದೃಢಪಡಿಸುತ್ತವೆ. ಹರಿವಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ತ್ವರಿತ, ಸ್ಪಂದಿಸುವ ದ್ರವ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುವುದು ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ತಂತಿಯ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಅತ್ಯಗತ್ಯ.
ಪದೇ ಪದೇ ಕೇಳಲಾಗುವ ಪ್ರಶ್ನೆಗಳು
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವವು ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೇಗೆ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ?
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವವು ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವಲ್ಲಿ ಲೂಬ್ರಿಕಂಟ್ ಮತ್ತು ಶೀತಕ ಎರಡನ್ನೂ ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಘರ್ಷಣೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ವೈರ್-ವೇಫರ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ನಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಶಾಖವನ್ನು ಹೊರಹಾಕುವುದು ಇದರ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ. ಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನವು ಮೈಕ್ರೋಕ್ರ್ಯಾಕ್ಗಳು ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಗೀರುಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಹಾನಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ಒಟ್ಟಾರೆ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ದ್ರವವು ಕತ್ತರಿಸುವ ಪ್ರದೇಶದಿಂದ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳನ್ನು ಸಹ ಒಯ್ಯುತ್ತದೆ, ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛವಾಗಿರಿಸುತ್ತದೆ. ಕಣಗಳ ಈ ನಿರಂತರ ತೆಗೆದುಹಾಕುವಿಕೆಯು ಸುಗಮವಾದ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾದ, ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, SiO₂ ಮತ್ತು SiC ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ಸ್ನೊಂದಿಗೆ ವರ್ಧಿತ ನ್ಯಾನೊ-ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವಗಳು ಕೆರ್ಫ್ಗೆ ಆಳವಾಗಿ ತೂರಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ವಾರ್ಪೇಜ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ವೇಫರ್ ಔಟ್ಪುಟ್ ಅನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ ಎಂದರೇನು, ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಗರಗಸದಲ್ಲಿ ಅದು ಏಕೆ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ?
ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ ಗರಗಸದ ವಲಯಕ್ಕೆ ತಲುಪಿಸಲಾದ ದ್ರವದ ನಿಖರವಾದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಅಳೆಯುತ್ತದೆ. ಸಾಕಷ್ಟು ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ, ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳ ತೆರವಿಗೆ ನಿಖರವಾದ ಹರಿವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ಅತ್ಯಗತ್ಯ. ಹರಿವು ತುಂಬಾ ಕಡಿಮೆಯಿದ್ದರೆ, ತಂತಿಯು ಹೆಚ್ಚು ಬಿಸಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಗೀರುಗಳು ಮತ್ತು ಮುರಿತಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ. ಅತಿಯಾದ ಹರಿವು ದ್ರವವನ್ನು ವ್ಯರ್ಥ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡದ ಅಸಮತೋಲನವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣದ ಜೀವಿತಾವಧಿಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಲೋನ್ಮೀಟರ್ ತಯಾರಿಸಿದ ಇನ್ಲೈನ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮೀಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮೀಟರ್ಗಳಂತಹ ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದು, ನಿರ್ವಾಹಕರಿಗೆ ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಹೊಂದಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸೂಕ್ತ ನಿಯತಾಂಕಗಳಲ್ಲಿ ಉಳಿಯುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣದ ಉಡುಗೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕೆ ಹೇಗೆ ಪ್ರಯೋಜನವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ?
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನಕ್ಕೆ ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಮಾಪನವು ಅಮೂಲ್ಯವಾಗಿದೆ. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಹರಿವಿನ ಮೀಟರ್ಗಳಿಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿ, ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ಸಂವೇದಕಗಳು ದ್ರವದ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ, ಸಾಂದ್ರತೆ ಅಥವಾ ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳನ್ನು ಲೆಕ್ಕಿಸದೆ ನೇರವಾಗಿ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವನ್ನು ಅಳೆಯುತ್ತವೆ. ಈ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯವು ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ವಿವಿಧ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವ ಪ್ರಕಾರಗಳ ನಿಖರವಾದ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಫಲಿತಾಂಶವು ಸರಿಯಾದ ದರದಲ್ಲಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಸ್ಥಿರ ವಿತರಣೆಯಾಗಿದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಏರಿಳಿತಗಳ ಹೊರತಾಗಿಯೂ ಸ್ಥಿರವಾದ ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣವು ದೋಷಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದಕತೆಯನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಈ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು ಬೇಡಿಕೆಯಿರುವ ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ವೇಫರ್ ಗುಣಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ನೇರವಾಗಿ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುತ್ತವೆ.
ವಜ್ರದ ತಂತಿ ಗರಗಸ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮಾಪನದ ಮೇಲೆ ಯಾವ ಅಂಶಗಳು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ?
ನಿಖರವಾದ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮಾಪನವು ಹಲವಾರು ಪರಸ್ಪರ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿರುವ ಅಸ್ಥಿರಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ. ಸಂವೇದಕ ಆಯ್ಕೆಯು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ; ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಕೊರಿಯೊಲಿಸ್ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಹರಿವಿನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಅಥವಾ ಕಣಗಳಿಂದ ತುಂಬಿದ ದ್ರವಗಳಿಗೆ ಸಹ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಡೇಟಾವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ. ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ಗಳ ಉಪಸ್ಥಿತಿಯಂತಹ ದ್ರವ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಮೇಲೆ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಎಷ್ಟು ದ್ರವದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ ಎಂಬುದರ ಮೇಲೆ ತಂತಿಯ ವ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವ ವೇಗವು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಸಂವೇದಕವು ನಿಜವಾದ ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ಓದುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಪ್ರತಿಯೊಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಮಾಪನಾಂಕ ನಿರ್ಣಯವು ಅತ್ಯಗತ್ಯ, ಪ್ರತಿ ಬ್ಯಾಚ್ಗೆ ಸರಿಯಾದ ಪ್ರಮಾಣದ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಕತ್ತರಿಸುವ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನ್ಯಾನೊ-ದ್ರವಗಳು ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ತಂತ್ರಗಳು ದ್ರವದ ನುಗ್ಗುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದೇ?
ಸಂಶೋಧನೆಯು ನ್ಯಾನೊ-ದ್ರವಗಳು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ SiO₂ ಮತ್ತು SiC ನ್ಯಾನೊಪರ್ಟಿಕಲ್ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವವುಗಳು, ನಿರ್ಣಾಯಕ ವೈರ್-ವೇಫರ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ಗೆ ದ್ರವ ವಿತರಣೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಕಣಗಳು ದ್ರವವು ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಅಂತರವನ್ನು ತಲುಪಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಉತ್ತಮ ತಂಪಾಗಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ನಯಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಅಲ್ಟ್ರಾಸಾನಿಕ್ ಕ್ಯಾಪಿಲ್ಲರಿ ಪರಿಣಾಮ ತಂತ್ರಗಳು ದ್ರವ ಚಲನೆ ಮತ್ತು ನುಗ್ಗುವಿಕೆಯನ್ನು ಮತ್ತಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ತಂತಿ ಕತ್ತರಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ. ಇದರರ್ಥ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಕಡಿಮೆ ಕತ್ತರಿಸುವ ದ್ರವದ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಮತ್ತು ಫಲಿತಾಂಶಗಳಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆಯಾದ ದ್ರವ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ, ಸುಧಾರಿತ ಮೇಲ್ಮೈ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ದೋಷ ದರಗಳು ಸೇರಿವೆ. ಈ ಪ್ರಗತಿಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ, ದೊಡ್ಡ-ವ್ಯಾಸದ ವೇಫರ್ಗಳ ಕಡೆಗೆ ಚಲಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತವೆ, ದ್ರವ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ಸಂವೇದಕಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸುವುದು ಪ್ರತಿ ಉತ್ಪಾದನಾ ಚಕ್ರದಾದ್ಯಂತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಡಿಸೆಂಬರ್-25-2025
