១. ការកំណត់បរិបទកម្រិតខ្ពស់Pការលាបពណ៌
តើ CMP នៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជាអ្វី?
ការប៉ូលាមេកានិចគីមី (CMP) ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាការធ្វើប្លង់មេកានិចគីមី តំណាងឱ្យប្រតិបត្តិការឯកតាដែលមានបញ្ហាប្រឈមខាងបច្ចេកវិទ្យា និងមានសារៈសំខាន់ខាងហិរញ្ញវត្ថុបំផុតមួយនៅក្នុងការផលិតបន្ទះឈីបស៊ីមីកុងដុកទ័រទំនើប។ នីតិវិធីឯកទេសនេះដំណើរការជាដំណើរការកូនកាត់ដែលមិនអាចខ្វះបាន ដោយធ្វើឱ្យផ្ទៃបន្ទះឈីបរលោងយ៉ាងល្អិតល្អន់តាមរយៈការអនុវត្តរួមគ្នានៃការឆ្លាក់គីមី និងការសំណឹករូបវន្តដែលគ្រប់គ្រងខ្ពស់។ ដោយប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវដ្តផលិតកម្ម CMP គឺចាំបាច់សម្រាប់ការរៀបចំបន្ទះឈីបស៊ីមីកុងដុកទ័រសម្រាប់ស្រទាប់ជាបន្តបន្ទាប់ ដែលអាចឱ្យមានការរួមបញ្ចូលដង់ស៊ីតេខ្ពស់ដែលត្រូវការដោយស្ថាបត្យកម្មឧបករណ៍ទំនើប។
CMP ក្នុងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ
*
ភាពចាំបាច់យ៉ាងជ្រាលជ្រៅនៃការប៉ូលាមេកានិចគីមីមានឫសគល់នៅក្នុងតម្រូវការរូបវន្តនៃលីតូក្រាហ្វីសហសម័យ។ ដោយសារលក្ខណៈពិសេសនៃសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នារួញតូច និងស្រទាប់ច្រើនដាក់បញ្ឈរ សមត្ថភាពរបស់ដំណើរការក្នុងការយកសម្ភារៈចេញជាឯកសណ្ឋាន និងបង្កើតផ្ទៃរាបស្មើទូទាំងពិភពលោកក្លាយជារឿងសំខាន់ខ្លាំងណាស់។ ក្បាលប៉ូលាថាមវន្តត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបង្វិលតាមអ័ក្សផ្សេងៗគ្នា ដោយធ្វើឱ្យទីតាំងភូមិសាស្ត្រមិនទៀងទាត់រាបស្មើនៅទូទាំងបន្ទះ wafer យ៉ាងល្អិតល្អន់។ សម្រាប់ការផ្ទេរលំនាំដោយជោគជ័យ ជាពិសេសជាមួយនឹងបច្ចេកទេសទំនើបៗដូចជាលីតូក្រាហ្វីអ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំង (EUV) ផ្ទៃដែលបានដំណើរការទាំងមូលត្រូវតែធ្លាក់ក្នុងជម្រៅវាលតូចចង្អៀតខ្លាំង - ឧបសគ្គធរណីមាត្រដែលតម្រូវឱ្យមានភាពរាបស្មើកម្រិត Angstrom សម្រាប់បច្ចេកវិទ្យាទំនើបក្រោម 22 nm។ បើគ្មានថាមពលរាបស្មើនៃដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ cmpជំហានថតចម្លងពន្លឺជាបន្តបន្ទាប់នឹងបណ្តាលឱ្យមានការបរាជ័យក្នុងការតម្រឹម ការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយលំនាំ និងការប្រែប្រួលទិន្នផលយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរ។
ការទទួលយកយ៉ាងទូលំទូលាយនៃ CMP ត្រូវបានជំរុញយ៉ាងខ្លាំងដោយការផ្លាស់ប្តូររបស់ឧស្សាហកម្មពីខ្សែអាលុយមីញ៉ូមធម្មតាទៅជាតំណភ្ជាប់ទង់ដែងដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ លោហធាតុទង់ដែងប្រើប្រាស់ដំណើរការបង្កើតលំនាំបន្ថែម គឺបច្ចេកទេស Damascene ដែលពឹងផ្អែកជាមូលដ្ឋានលើសមត្ថភាពពិសេសរបស់ CMP ក្នុងការដកទង់ដែងលើសចេញជាជម្រើស និងស្មើភាពគ្នា និងបញ្ឈប់សកម្មភាពដកយកចេញជាប្រចាំនៅចំណុចប្រសព្វរវាងលោហៈ និងស្រទាប់អ៊ីសូឡង់អុកស៊ីដ។ ការដកយកសម្ភារៈដែលមានការជ្រើសរើសខ្ពស់នេះគូសបញ្ជាក់ពីតុល្យភាពគីមី និងមេកានិចដ៏ឆ្ងាញ់ដែលកំណត់ដំណើរការ ដែលជាតុល្យភាពដែលត្រូវបានសម្របសម្រួលភ្លាមៗដោយការប្រែប្រួលតិចតួចនៅក្នុងឧបករណ៍ប៉ូលា។
មុខងាររបស់ CMP នៅក្នុងដំណើរការឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
តម្រូវការចាំបាច់សម្រាប់ការប្រែប្រួលភូមិសាស្ត្រទាបបំផុតមិនមែនជាគោលដៅគ្រឿងកុំព្យូទ័រទេ ប៉ុន្តែជាតម្រូវការជាមុនសម្រាប់ប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ដែលអាចទុកចិត្តបាន ដោយធានាបាននូវលំហូរចរន្តត្រឹមត្រូវ ការរលាយកម្ដៅ និងការតម្រឹមមុខងារនៅក្នុងរចនាសម្ព័ន្ធពហុស្រទាប់។ អាណត្តិចម្បងរបស់ CMP គឺការគ្រប់គ្រងភូមិសាស្ត្រ ដោយបង្កើតភាពរាបស្មើជាមុនសម្រាប់ជំហានដំណើរការសំខាន់ៗជាបន្តបន្ទាប់ទាំងអស់។
កម្មវិធីជាក់លាក់កំណត់ជម្រើសនៃសម្ភារៈ និងសម្ភារៈដែលត្រូវគ្នារូបមន្តស្លេសដំណើរការ CMP ត្រូវបានបង្កើតឡើងដើម្បីដោះស្រាយសម្ភារៈចម្រុះ រួមទាំងទុងស្តែន ទង់ដែង ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត (SiO2), និងស៊ីលីកុននីទ្រីត (SiN)។ សារធាតុស្អិតត្រូវបានធ្វើឲ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងល្អិតល្អន់សម្រាប់ប្រសិទ្ធភាពប្លង់ខ្ពស់ និងការជ្រើសរើសសម្ភារៈដ៏ពិសេសទូទាំងវិសាលគមនៃកម្មវិធី រួមទាំងការញែកលេណដ្ឋានរាក់ (STI) និងឌីអេឡិចត្រិចអន្តរស្រទាប់ (ILD)។ ឧទាហរណ៍ សារធាតុស្អិតមុខងារខ្ពស់ត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាពិសេសសម្រាប់កម្មវិធី ILD ដោយសារតែដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះរបស់វាក្នុងការធ្វើឲ្យរាបស្មើជាជំហានៗ ឯកសណ្ឋាន និងការកាត់បន្ថយភាពញឹកញាប់នៃពិការភាព។ លក្ខណៈឯកទេសខ្ពស់នៃសារធាតុស្អិតទាំងនេះបញ្ជាក់ថា ភាពមិនស្ថិតស្ថេរនៃដំណើរការដែលកើតចេញពីការប្រែប្រួលនៃឌីណាមិកសារធាតុរាវនៃឧបករណ៍ប៉ូលានឹងរំលោភលើតម្រូវការជាមូលដ្ឋានភ្លាមៗសម្រាប់ការដកចេញសម្ភារៈជ្រើសរើស។
2. តួនាទីដ៏សំខាន់នៃសុខភាព CMP Slurry
CMP ក្នុងដំណើរការស៊ីមីកុងដុកទ័រ
ប្រសិទ្ធភាពយូរអង្វែងនៃដំណើរការ cmp ប៉ូលាគីមីមេកានិចពឹងផ្អែកទាំងស្រុងលើការចែកចាយ និងដំណើរការជាប់លាប់នៃសារធាតុរាវ ដែលដើរតួជាឧបករណ៍ផ្ទុកដ៏សំខាន់ដែលជួយសម្រួលដល់ទាំងប្រតិកម្មគីមីចាំបាច់ និងការសំណឹកមេកានិច។ សារធាតុរាវស្មុគស្មាញនេះ ដែលត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈជាស៊ុស្ប៉ង់ស្យុងកូឡាជែន ត្រូវតែចែកចាយសមាសធាតុសំខាន់ៗរបស់វាជាបន្តបន្ទាប់ និងស្មើភាពគ្នា រួមទាំងសារធាតុគីមី (សារធាតុអុកស៊ីតកម្ម សារធាតុបង្កើនល្បឿន និងសារធាតុទប់ស្កាត់ការច្រេះ) និងភាគល្អិតសំណឹកទំហំណាណូ ទៅកាន់ផ្ទៃបន្ទះថាមវន្ត។
សមាសធាតុសារធាតុស្អិតត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីបង្កឲ្យមានប្រតិកម្មគីមីជាក់លាក់មួយ៖ ដំណើរការល្អបំផុតពឹងផ្អែកលើការបង្កើតស្រទាប់អុកស៊ីដដែលមិនរលាយដែលធ្វើឲ្យអសកម្មលើវត្ថុធាតុដើម ដែលបន្ទាប់មកត្រូវបានយកចេញដោយមេកានិចដោយភាគល្អិតសំណឹក។ យន្តការនេះផ្តល់នូវការជ្រើសរើសសណ្ឋានដីផ្ទៃខ្ពស់ចាំបាច់សម្រាប់ការធ្វើឲ្យរាបស្មើប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដោយផ្តោតសកម្មភាពដកចេញលើចំណុចខ្ពស់ ឬចំណុចលេចចេញ។ ផ្ទុយទៅវិញ ប្រសិនបើប្រតិកម្មគីមីបង្កើតស្ថានភាពអុកស៊ីដរលាយ ការដកចេញវត្ថុធាតុគឺជាអ៊ីសូត្រូពិច ដោយហេតុនេះលុបបំបាត់ការជ្រើសរើសសណ្ឋានដីដែលត្រូវការ។ សមាសធាតុរូបវន្តនៃសារធាតុស្អិតជាធម្មតាមានភាគល្អិតសំណឹក (ឧ. ស៊ីលីកា សេរៀ) ដែលមានទំហំចាប់ពី 30 ដល់ 200 nm ដែលព្យួរនៅកំហាប់រវាងសារធាតុរឹង 0.3 និង 12 ភាគរយទម្ងន់។
ក្រុមហ៊ុន CMP Slurry Semiconductor
ការរក្សាសុខភាពរបស់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ CMP slurryតម្រូវឱ្យមានការកំណត់លក្ខណៈ និងការគ្រប់គ្រងឥតឈប់ឈរពេញមួយវដ្តជីវិតរបស់វា ព្រោះការរិចរិលណាមួយក្នុងអំឡុងពេលដោះស្រាយ ឬចរាចរអាចនាំឱ្យមានការខាតបង់ផ្នែកហិរញ្ញវត្ថុយ៉ាងច្រើន។ គុណភាពនៃបន្ទះ wafer ប៉ូលាចុងក្រោយ ដែលកំណត់ដោយភាពរលោងណាណូមាត្រដ្ឋាន និងកម្រិតពិការភាពរបស់វា មានទំនាក់ទំនងដោយផ្ទាល់ជាមួយនឹងភាពសុចរិតនៃការចែកចាយទំហំភាគល្អិត (PSD) របស់ slurry និងស្ថេរភាពទាំងមូល។
លក្ខណៈឯកទេសនៃប្រភេទផ្សេងៗប្រភេទសារធាតុរាវ cmpមានន័យថា ភាគល្អិតទំហំណាណូត្រូវបានធ្វើឱ្យមានស្ថេរភាពដោយកម្លាំងអេឡិចត្រូស្តាទិចដ៏ឆ្ងាញ់នៅក្នុងស៊ុស្ប៉ង់ស្យុង។ សារធាតុស្អិតច្រើនតែត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ក្នុងទម្រង់ប្រមូលផ្តុំ ហើយត្រូវការការពនលាយ និងការលាយជាមួយទឹក និងសារធាតុអុកស៊ីតកម្មយ៉ាងច្បាស់លាស់នៅកន្លែងផលិត។ អ្វីដែលសំខាន់នោះ ការពឹងផ្អែកលើសមាមាត្រលាយឋិតិវន្តគឺមានគុណវិបត្តិជាមូលដ្ឋាន ពីព្រោះសម្ភារៈប្រមូលផ្តុំដែលចូលមកបង្ហាញពីភាពខុសគ្នានៃដង់ស៊ីតេពីមួយបាច់ទៅមួយបាច់។
សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងដំណើរការ ខណៈពេលដែលការវិភាគដោយផ្ទាល់នៃ PSD និងសក្តានុពលហ្សេតា (ស្ថេរភាពកូឡាជែន) គឺមានសារៈសំខាន់ បច្ចេកទេសទាំងនេះជាធម្មតាត្រូវបានកាត់បន្ថយទៅជាការវិភាគក្រៅបណ្តាញមិនទៀងទាត់។ ការពិតប្រតិបត្តិការនៃបរិស្ថាន HVM តម្រូវឱ្យមានមតិប្រតិកម្មភ្លាមៗ និងទាន់ពេលវេលា។ ជាលទ្ធផល ដង់ស៊ីតេ និងភាពស្អិតបម្រើជាប្រូកស៊ីក្នុងតួដែលមានប្រសិទ្ធភាព និងអាចអនុវត្តបានបំផុតសម្រាប់សុខភាពកាកសំណល់។ ដង់ស៊ីតេផ្តល់នូវការវាស់វែងយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងជាបន្តបន្ទាប់នៃកំហាប់សារធាតុរឹងសំណឹកសរុបនៅក្នុងឧបករណ៍ផ្ទុក។ ភាពស្អិតគឺមានសារៈសំខាន់ដូចគ្នា ដោយដើរតួជាសូចនាករដែលងាយរងគ្រោះខ្ពស់នៃស្ថានភាពកូឡាជែន និងភាពសុចរិតកម្ដៅរបស់សារធាតុរាវ។ ភាពស្អិតមិនស្ថិតស្ថេរជាញឹកញាប់បង្ហាញពីភាគល្អិតសំណឹក។ការប្រមូលផ្តុំគ្នាឬការបញ្ចូលគ្នាឡើងវិញ ជាពិសេសក្រោមលក្ខខណ្ឌកាត់ថាមវន្ត។ ដូច្នេះ ការត្រួតពិនិត្យ និងការគ្រប់គ្រងជាបន្តបន្ទាប់នៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រ rheological ទាំងពីរនេះផ្តល់នូវរង្វិលជុំមតិប្រតិកម្មភ្លាមៗ និងអាចអនុវត្តបាន ដែលត្រូវការដើម្បីផ្ទៀងផ្ទាត់ថា សារធាតុរាវរក្សាស្ថានភាពគីមី និងរូបវន្តជាក់លាក់របស់វានៅចំណុចប្រើប្រាស់។
៣. ការវិភាគការបរាជ័យនៃយន្តការ៖ កត្តាជំរុញកំហុស
ផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមានដែលបណ្តាលមកពីការប្រែប្រួលដង់ស៊ីតេ និងភាពស្អិតរបស់ CMP
ភាពប្រែប្រួលនៃដំណើរការត្រូវបានទទួលស្គាល់ថាជាកត្តារួមចំណែកធំបំផុតតែមួយគត់ចំពោះហានិភ័យទិន្នផលក្នុងអត្រាទិន្នផលខ្ពស់។cmp ក្នុងការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រលក្ខណៈនៃសារធាតុរាវដែលហៅរួមថា "សុខភាពសារធាតុរាវ" ងាយនឹងរងការប្រែប្រួលដែលបង្កឡើងដោយការបូមកម្លាំងកាត់ ការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព និងភាពមិនស៊ីសង្វាក់គ្នានៃការលាយ។ ការបរាជ័យដែលកើតចេញពីប្រព័ន្ធលំហូរសារធាតុរាវគឺខុសពីបញ្ហាមេកានិចសុទ្ធសាធ ប៉ុន្តែទាំងពីរនេះបណ្តាលឲ្យមានសំណល់បន្ទះស្តើងដ៏សំខាន់ ហើយជាញឹកញាប់ត្រូវបានរកឃើញយឺតពេលដោយប្រព័ន្ធចំណុចបញ្ចប់ក្រោយដំណើរការ។
វត្តមាននៃភាគល្អិតធំៗ ឬសារធាតុប្រមូលផ្តុំនៅក្នុងស៊ីមីកុងដុកទ័រ CMPសម្ភារៈត្រូវបានភ្ជាប់យ៉ាងច្បាស់ទៅនឹងការបង្កើតជាស្នាមឆ្កូតតូចៗ និងពិការភាពធ្ងន់ធ្ងរផ្សេងទៀតនៅលើផ្ទៃបន្ទះដែលបានប៉ូលា។ ការប្រែប្រួលនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗនៃចលនាឈាម — viscosity និងដង់ស៊ីតេ — គឺជាសូចនាករបន្តបន្ទាប់ដែលនាំឲ្យភាពសុចរិតនៃសារធាតុរំអិលត្រូវបានប៉ះពាល់ ដែលផ្តួចផ្តើមយន្តការនៃការបង្កើតពិការភាព។
ការប្រែប្រួលនៃភាពស្អិតនៃល្បាយ (ឧទាហរណ៍ នាំឱ្យមានការប្រមូលផ្តុំ ការផ្លាស់ប្តូរកម្លាំងកាត់)
ជាតិស្អិតគឺជាលក្ខណៈសម្បត្តិទែរម៉ូឌីណាមិកដែលគ្រប់គ្រងឥរិយាបថលំហូរ និងឌីណាមិកកកិតនៅចំណុចប៉ូលា ដែលធ្វើឱ្យវាងាយនឹងរងផលប៉ះពាល់ខ្លាំងចំពោះភាពតានតឹងបរិស្ថាន និងមេកានិច។
ប្រសិទ្ធភាពគីមី និងរូបវន្តនៃសារធាតុសារធាតុស្អិត semiconductorប្រព័ន្ធនេះពឹងផ្អែកយ៉ាងខ្លាំងទៅលើការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព។ ការស្រាវជ្រាវបញ្ជាក់ថា សូម្បីតែការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពដំណើរការតិចតួច 5°C ក៏អាចនាំឱ្យមានការថយចុះប្រហែល 10% នៃ viscosity នៃ slurry។ ការផ្លាស់ប្តូរនេះនៅក្នុង rheology ប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត hydrodynamic ដែលបំបែក wafer ចេញពីបន្ទះប៉ូលា។ viscosity ថយចុះនាំឱ្យមានការរំអិលមិនគ្រប់គ្រាន់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការកកិតមេកានិចកើនឡើង ដែលជាមូលហេតុចម្បងនៃការកោសតូចៗ និងការស៊ីបន្ទះលឿន។
ផ្លូវរិចរិលដ៏សំខាន់មួយពាក់ព័ន្ធនឹងការចងជាចង្កោមភាគល្អិតដែលបង្កឡើងដោយកម្លាំងកាត់។ កាកសំណល់ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីការក្សាការបំបែកភាគល្អិតតាមរយៈកម្លាំងច្រានអេឡិចត្រូស្តាទិចដ៏ឆ្ងាញ់។ នៅពេលដែលកាកសំណល់ជួបប្រទះនឹងភាពតានតឹងកាត់ខ្ពស់ - ដែលជាទូទៅត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយម៉ាស៊ីនបូមស៊ីទ្រិចធម្មតាមិនត្រឹមត្រូវ ឬចរន្តឈាមឡើងវិញយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងរង្វិលជុំចែកចាយ - កម្លាំងទាំងនេះអាចត្រូវបានយកឈ្នះ ដែលនាំឱ្យមានការបំបែកយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងមិនអាចត្រឡប់វិញបាន។ការប្រមូលផ្តុំគ្នានៃភាគល្អិតសំណឹក។ សារធាតុផ្សំធំៗដែលបានមកដើរតួជាឧបករណ៍កាត់តូចៗ ដែលបង្កើតជាស្នាមឆ្កូតតូចៗដ៏មហន្តរាយដោយផ្ទាល់លើផ្ទៃបន្ទះស្តើង។ វីស្កូម៉ែត្រីពេលវេលាជាក់ស្តែងគឺជាយន្តការមតិត្រឡប់ចាំបាច់ដើម្បីរកឃើញព្រឹត្តិការណ៍ទាំងនេះ ដោយផ្តល់នូវការផ្ទៀងផ្ទាត់ដ៏សំខាន់នៃ "ភាពទន់ភ្លន់" របស់ប្រព័ន្ធបូម និងចែកចាយមុនពេលបង្កើតពិការភាពទ្រង់ទ្រាយធំកើតឡើង។
ការប្រែប្រួលនៃ viscosity ដែលជាលទ្ធផលក៏ធ្វើឱ្យប៉ះពាល់ដល់ប្រសិទ្ធភាព planarization យ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរផងដែរ។ ដោយសារ viscosity គឺជាកត្តាចម្បងដែលជះឥទ្ធិពលដល់មេគុណកកិតអំឡុងពេលប៉ូលា ទម្រង់ viscosity មិនស្មើគ្នានឹងនាំឱ្យមានអត្រាដកសម្ភារៈមិនស៊ីសង្វាក់គ្នា។ ការកើនឡើងនៃ viscosity ក្នុងមូលដ្ឋាន ជាពិសេសនៅអត្រាកាត់ខ្ពស់ដែលកើតឡើងលើលក្ខណៈពិសេសដែលកើនឡើងនៃ wafer topography ផ្លាស់ប្តូរឌីណាមិកកកិត និងធ្វើឱ្យខូចគោលដៅ planarization ដែលនៅទីបំផុតនាំឱ្យមានពិការភាព topographical ដូចជា dishing និង erosion។
ការប្រែប្រួលនៃដង់ស៊ីតេនៃល្បាយដីល្បាប់
ដង់ស៊ីតេនៃសារធាតុកខ្វក់គឺជាសូចនាកររហ័ស និងអាចទុកចិត្តបាននៃកំហាប់សរុបនៃសារធាតុរឹងសំណឹកដែលព្យួរនៅក្នុងសារធាតុរាវ។ ការប្រែប្រួលដង់ស៊ីតេបង្ហាញពីការចែកចាយសារធាតុកខ្វក់មិនស្មើគ្នា ដែលជាប់ទាក់ទងនឹងការប្រែប្រួលនៃអត្រាដកយកសម្ភារៈ (MRR) និងការបង្កើតពិការភាព។
បរិយាកាសប្រតិបត្តិការតម្រូវឱ្យមានការផ្ទៀងផ្ទាត់ថាមវន្តនៃសមាសធាតុសារធាតុរាវ។ ការពឹងផ្អែកទាំងស្រុងលើការបន្ថែមបរិមាណទឹក និងសារធាតុអុកស៊ីតកម្មជាក់លាក់ទៅក្នុងបាច់ប្រមូលផ្តុំដែលចូលមកគឺមិនគ្រប់គ្រាន់ទេ ព្រោះដង់ស៊ីតេវត្ថុធាតុដើមច្រើនតែប្រែប្រួល ដែលនាំឱ្យមានលទ្ធផលដំណើរការមិនស៊ីសង្វាក់គ្នានៅក្បាលឧបករណ៍។ លើសពីនេះ ភាគល្អិតសំណឹក ជាពិសេសភាគល្អិតសេរៀដែលមានកំហាប់ខ្ពស់ អាចទទួលរងនូវការធ្លាក់ដី ប្រសិនបើល្បឿនលំហូរ ឬស្ថេរភាពកូឡូអ៊ីដមិនគ្រប់គ្រាន់។ ការធ្លាក់នេះបង្កើតជម្រាលដង់ស៊ីតេក្នុងតំបន់ និងការប្រមូលផ្តុំសម្ភារៈនៅក្នុងខ្សែលំហូរ ដែលធ្វើឱ្យខូចយ៉ាងខ្លាំងដល់សមត្ថភាពក្នុងការផ្តល់បន្ទុកសំណឹកដែលស៊ីសង្វាក់គ្នា។
How DភាពរឹងមាំDការហោះហើរAffect Manយូហ្វាក់ទួរអ៊ីងProcess?.
ផលវិបាកដោយផ្ទាល់នៃដង់ស៊ីតេកាកសំណល់មិនស្ថិតស្ថេរបង្ហាញឱ្យឃើញជាពិការភាពរូបវន្តធ្ងន់ធ្ងរនៅលើផ្ទៃប៉ូលា៖
អត្រានៃការដកចេញមិនស្មើគ្នា (WIWNU):ការប្រែប្រួលដង់ស៊ីតេបកប្រែដោយផ្ទាល់ទៅជាការប្រែប្រួលនៃកំហាប់ភាគល្អិតសំណឹកសកម្មដែលបង្ហាញនៅចំណុចប្រសព្វប៉ូលា។ ដង់ស៊ីតេទាបជាងការកំណត់បង្ហាញពីកំហាប់សំណឹកថយចុះ ដែលបណ្តាលឱ្យ MRR ថយចុះ និងបង្កើតភាពមិនស្មើគ្នាក្នុងបន្ទះដែកដែលមិនអាចទទួលយកបាន (WIWNU)។ WIWNU ធ្វើឱ្យខូចតម្រូវការប្លង់នីយកម្មជាមូលដ្ឋាន។ ផ្ទុយទៅវិញ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ក្នុងតំបន់បង្កើនបន្ទុកភាគល្អិតដែលមានប្រសិទ្ធភាព ដែលនាំឱ្យមានការដកសម្ភារៈចេញច្រើនហួសហេតុ។ ការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើដង់ស៊ីតេធានានូវការដឹកជញ្ជូនសំណឹកដែលស៊ីសង្វាក់គ្នា ដែលមានទំនាក់ទំនងយ៉ាងខ្លាំងជាមួយនឹងកម្លាំងកកិតដែលមានស្ថេរភាព និង MRR ដែលអាចព្យាករណ៍បាន។
ស្នាមប្រេះដោយសារតែការប្រែប្រួលនៃការសឹកក្នុងតំបន់៖កំហាប់ខ្ពស់ក្នុងតំបន់នៃសារធាតុរឹងសំណឹក ជារឿយៗដោយសារតែការរលាយ ឬការលាយមិនគ្រប់គ្រាន់ នាំឱ្យមានបន្ទុកខ្ពស់ក្នុងតំបន់ក្នុងមួយភាគល្អិតនៅលើផ្ទៃបន្ទះ។ នៅពេលដែលភាគល្អិតសំណឹក ជាពិសេសសេរៀ ជាប់នឹងស្រទាប់កញ្ចក់អុកស៊ីដយ៉ាងខ្លាំង ហើយភាពតានតឹងលើផ្ទៃមានវត្តមាន បន្ទុកមេកានិចអាចបណ្តាលឱ្យស្រទាប់កញ្ចក់ប្រេះ ដែលបណ្តាលឱ្យមានស្នាមជ្រៅ និងមុតស្រួច។ការជីករណ្តៅពិការភាព។ ការប្រែប្រួលសំណឹកទាំងនេះអាចបណ្តាលមកពីការច្រោះដែលខូច ដែលអនុញ្ញាតឱ្យសារធាតុផ្សំដែលមានទំហំធំពេក (ភាគល្អិតធំជាង $0.5 \mu m$) ឆ្លងកាត់ ដែលបណ្តាលមកពីការព្យួរភាគល្អិតមិនល្អ។ ដង់ស៊ីតេត្រួតពិនិត្យផ្តល់នូវប្រព័ន្ធព្រមានដ៏សំខាន់ និងបំពេញបន្ថែមដល់ឧបករណ៍រាប់ភាគល្អិត ដែលអនុញ្ញាតឱ្យវិស្វករដំណើរការរកឃើញការចាប់ផ្តើមនៃការចងជាចង្កោមសំណឹក និងធ្វើឱ្យបន្ទុកសំណឹកមានស្ថេរភាព។
ការបង្កើតសំណល់ពីស៊ុស្ប៉ង់ស្យុងភាគល្អិតមិនល្អ៖នៅពេលដែលប្រព័ន្ធព្យួរមិនស្ថិតស្ថេរ ដែលបណ្តាលឱ្យមានជម្រាលដង់ស៊ីតេខ្ពស់ សម្ភារៈរឹងនឹងមានទំនោរប្រមូលផ្តុំនៅក្នុងស្ថាបត្យកម្មលំហូរ ដែលនាំឱ្យមានរលកដង់ស៊ីតេ និងការប្រមូលផ្តុំសម្ភារៈនៅក្នុងប្រព័ន្ធចែកចាយ។17លើសពីនេះទៀត ក្នុងអំឡុងពេលប៉ូលា សារធាតុរាវត្រូវតែយកទាំងផលិតផលប្រតិកម្មគីមី និងកំទេចកំទីមេកានិចចេញប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។ ប្រសិនបើស៊ុស្ប៉ង់ស្យុងភាគល្អិត ឬឌីណាមិកសារធាតុរាវមិនល្អដោយសារតែអស្ថិរភាព សំណល់ទាំងនេះមិនត្រូវបានយកចេញពីផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វីប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពទេ ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាគល្អិតក្រោយ CMP និងសារធាតុគីមី។សំណល់ពិការភាព។ ការព្យួរភាគល្អិតដែលមានស្ថេរភាព ដែលធានាដោយការត្រួតពិនិត្យលំហូរជាបន្តបន្ទាប់ គឺជាកាតព្វកិច្ចសម្រាប់ការជម្លៀសសម្ភារៈដែលស្អាត និងបន្ត។
ស្វែងយល់បន្ថែមអំពីម៉ែត្រដង់ស៊ីតេ
ម៉ែត្រដំណើរការអនឡាញច្រើនទៀត
៤. ឧត្តមភាពបច្ចេកទេសនៃរង្វាស់វិទ្យាក្នុងជួរ
ឧបករណ៍វាស់ដង់ស៊ីតេ និងវីស្កូម៉ែត្រក្នុងខ្សែ Lonnmeter
ដើម្បីធ្វើឱ្យដំណើរការ CMP ងាយនឹងបង្កជាហេតុមានស្ថេរភាពដោយជោគជ័យ ការវាស់វែងជាបន្តបន្ទាប់ និងមិនមានការរំខាននៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រសុខភាពសារធាតុរាវគឺមានសារៈសំខាន់។ឧបករណ៍វាស់ដង់ស៊ីតេ និងវីស្កូម៉ែត្រក្នុងខ្សែ Lonnmeterប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញារំញ័រកម្រិតខ្ពស់ ដែលផ្តល់នូវដំណើរការល្អជាងបើប្រៀបធៀបទៅនឹងឧបករណ៍វាស់ស្ទង់បែបប្រពៃណី ដែលងាយនឹងមានភាពយឺតយ៉ាវ។ សមត្ថភាពនេះអាចឱ្យមានការតាមដានដង់ស៊ីតេយ៉ាងរលូន និងជាបន្តបន្ទាប់ ដែលរួមបញ្ចូលដោយផ្ទាល់ទៅក្នុងផ្លូវលំហូរ ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការបំពេញតាមស្តង់ដារភាពបរិសុទ្ធ និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការលាយបញ្ចូលគ្នាដ៏តឹងរ៉ឹងនៃណូតដំណើរការក្រោម 28nm ទំនើប។
រៀបរាប់លម្អិតអំពីគោលការណ៍បច្ចេកវិទ្យាស្នូលរបស់ពួកគេ ភាពជាក់លាក់នៃការវាស់វែង ល្បឿនឆ្លើយតប ស្ថេរភាព ភាពជឿជាក់នៅក្នុងបរិស្ថាន CMP ដ៏អាក្រក់ និងបែងចែកពួកវាពីវិធីសាស្ត្រក្រៅបណ្តាញបែបប្រពៃណី។
ស្វ័យប្រវត្តិកម្មដំណើរការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពតម្រូវឱ្យមានឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីដំណើរការប្រកបដោយភាពជឿជាក់ក្រោមលក្ខខណ្ឌថាមវន្តនៃលំហូរខ្ពស់ សម្ពាធខ្ពស់ និងការប៉ះពាល់នឹងសារធាតុគីមីសំណឹក ដែលផ្តល់នូវមតិប្រតិកម្មភ្លាមៗសម្រាប់ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ។
គោលការណ៍បច្ចេកវិទ្យាស្នូល៖ គុណសម្បត្តិនៃឧបករណ៍រំញ័រ
ឧបករណ៍ Lonnmeter ប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យារំញ័រដ៏រឹងមាំដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសដើម្បីកាត់បន្ថយភាពងាយរងគ្រោះពីកំណើតនៃដង់ស៊ីតេបំពង់ U បែបប្រពៃណីដែលមានរន្ធតូចចង្អៀត ដែលល្បីល្បាញថាជាបញ្ហាសម្រាប់ការប្រើប្រាស់ក្នុងជួរជាមួយនឹងស៊ុស្ប៉ង់ស្យុងកូឡាជែនសំណឹក។
ការវាស់ដង់ស៊ីតេ៖ទីម៉ែត្រដង់ស៊ីតេទឹករំអិលប្រើប្រាស់ធាតុរំញ័រដែលផ្សារយ៉ាងពេញលេញ ជាធម្មតាជាការផ្គុំសម ឬឧបករណ៍រំញ័រសហអ័ក្ស។ ធាតុនេះត្រូវបានជំរុញដោយវិធីសាស្ត្រ piezo-electrical ឱ្យរំញ័រនៅប្រេកង់ធម្មជាតិលក្ខណៈរបស់វា។ ការផ្លាស់ប្តូរដង់ស៊ីតេនៃសារធាតុរាវជុំវិញបណ្តាលឱ្យមានការផ្លាស់ប្តូរយ៉ាងច្បាស់លាស់នៅក្នុងប្រេកង់ធម្មជាតិនេះ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការកំណត់ដង់ស៊ីតេដោយផ្ទាល់ និងអាចទុកចិត្តបានខ្ពស់។
ការវាស់ស្ទង់ភាពស្អិត៖ទីឧបករណ៍វាស់ viscometer រាវក្នុងដំណើរការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាប្រើប្រាស់បានយូរដែលរំញ័រនៅក្នុងសារធាតុរាវ។ ការរចនានេះធានាថាការវាស់ស្ទង់ viscosity ត្រូវបានញែកចេញពីផលប៉ះពាល់នៃលំហូរសារធាតុរាវភាគច្រើន ដែលផ្តល់នូវការវាស់វែងខាងក្នុងនៃ rheology របស់សម្ភារៈ។
ប្រសិទ្ធភាពប្រតិបត្តិការ និងភាពធន់
ម៉ែត្រូឡូស៊ីរំញ័រក្នុងជួរផ្ដល់នូវម៉ែត្រវាស់ស្ទង់ដំណើរការដ៏សំខាន់ដែលចាំបាច់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រង HVM យ៉ាងតឹងរ៉ឹង៖
ភាពជាក់លាក់ និងល្បឿនឆ្លើយតប៖ប្រព័ន្ធក្នុងជួរផ្ដល់នូវភាពអាចធ្វើឡើងវិញបានខ្ពស់ ដែលជាញឹកញាប់សម្រេចបានល្អជាង 0.1% សម្រាប់ភាពស្អិត និងភាពត្រឹមត្រូវនៃដង់ស៊ីតេរហូតដល់ 0.001 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រ។ សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងដំណើរការដ៏រឹងមាំ លក្ខណៈខ្ពស់នេះភាពជាក់លាក់—សមត្ថភាពក្នុងការវាស់វែងតម្លៃដូចគ្នាជាប់លាប់ និងរកឃើញគម្លាតតូចៗដែលអាចទុកចិត្តបាន — ជារឿយៗមានតម្លៃជាងភាពត្រឹមត្រូវដាច់ខាត។ អ្វីដែលសំខាន់នោះ សញ្ញាពេលវេលាឆ្លើយតបសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទាំងនេះគឺមានល្បឿនលឿនមិនធម្មតា ជាធម្មតាប្រហែល 5 វិនាទី។ មតិប្រតិកម្មស្ទើរតែភ្លាមៗនេះអនុញ្ញាតឱ្យមានការរកឃើញកំហុសភ្លាមៗ និងការកែតម្រូវរង្វិលជុំបិទដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដែលជាតម្រូវការស្នូលសម្រាប់ការបង្ការការរំជើបរំជួល។
ស្ថេរភាព និងភាពជឿជាក់ក្នុងបរិស្ថានដ៏អាក្រក់៖កាកសំណល់ CMP មានលក្ខណៈឈ្លានពានដោយធម្មជាតិ។ ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ទំនើបក្នុងតួត្រូវបានបង្កើតឡើងសម្រាប់ភាពធន់ ដោយប្រើសម្ភារៈ និងការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាក់លាក់សម្រាប់ការតោងចូលទៅក្នុងបំពង់បង្ហូរប្រេងដោយផ្ទាល់។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទាំងនេះត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីដំណើរការលើសម្ពាធជាច្រើនប្រភេទ (ឧទាហរណ៍ រហូតដល់ 6.4 MPa) និងសីតុណ្ហភាព (រហូតដល់ 350 ℃)។ ការរចនាមិនមែនបំពង់រាងអក្សរ U កាត់បន្ថយតំបន់ស្លាប់ និងហានិភ័យនៃការស្ទះដែលទាក់ទងនឹងឧបករណ៍ផ្សព្វផ្សាយសំណឹក ដោយបង្កើនពេលវេលាដំណើរការរបស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងភាពជឿជាក់នៃប្រតិបត្តិការ។
ភាពខុសគ្នាពីវិធីសាស្រ្តក្រៅបណ្តាញប្រពៃណី
ភាពខុសគ្នានៃមុខងាររវាងប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិក្នុងជួរ និងវិធីសាស្ត្រក្រៅបណ្តាញដោយដៃកំណត់គម្លាតរវាងការគ្រប់គ្រងពិការភាពដែលមានប្រតិកម្ម និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការប្រកបដោយភាពសកម្ម។
| លក្ខណៈវិនិច្ឆ័យត្រួតពិនិត្យ | ក្រៅបណ្តាញ (ការយកសំណាកមន្ទីរពិសោធន៍/ឧបករណ៍វាស់ដង់ស៊ីតេបំពង់ U) | ក្នុងជួរ (ឧបករណ៍វាស់ដង់ស៊ីតេ/វីស្កូម៉ែត្រ) | ផលប៉ះពាល់នៃដំណើរការ |
| ល្បឿនវាស់ | ពន្យារពេល (ម៉ោង) | ពេលវេលាជាក់ស្តែង, បន្ត (ពេលវេលាឆ្លើយតបជាញឹកញាប់ 5 វិនាទី) | បើកការគ្រប់គ្រងដំណើរការបែបបិទជិត និងបង្ការ។ |
| ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា/ភាពត្រឹមត្រូវនៃទិន្នន័យ | ទាប (ងាយនឹងកំហុសដោយដៃ ការរិចរិលគំរូ) | ខ្ពស់ (ស្វ័យប្រវត្តិ មានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់/អាចធ្វើម្តងទៀតបាន) | ដែនកំណត់នៃការគ្រប់គ្រងដំណើរការកាន់តែតឹងរ៉ឹង និងកាត់បន្ថយលទ្ធផលវិជ្ជមានមិនពិត។ |
| ភាពឆបគ្នានៃការច្រេះ | ហានិភ័យខ្ពស់នៃការស្ទះ (ការរចនាបំពង់រាងអក្សរ U តូចចង្អៀត) | ហានិភ័យនៃការស្ទះទាប (រឹងមាំ ការរចនាឧបករណ៍បំពងសំឡេងមិនមែនបំពង់រាងអក្សរ U) | បានបង្កើនពេលវេលាដំណើរការឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងភាពជឿជាក់ក្នុងឧបករណ៍សំណឹកឱ្យបានអតិបរមា។ |
| សមត្ថភាពរកឃើញកំហុស | ប្រតិកម្ម (រកឃើញការប្រែប្រួលដែលបានកើតឡើងប៉ុន្មានម៉ោងមុន) | សកម្ម (តាមដានការផ្លាស់ប្តូរថាមវន្ត រកឃើញការវិវត្តន៍ដំបូង) | ការពារការកេងប្រវ័ញ្ច wafer ដ៏មហន្តរាយ និងការកើនឡើងនៃទិន្នផល។ |
តារាងទី 3: ការវិភាគប្រៀបធៀប៖ រង្វាស់ម៉ែត្ររាវក្នុងបន្ទាត់ធៀបនឹងរង្វាស់ម៉ែត្ររាវបែបប្រពៃណី
ការវិភាគក្រៅបណ្តាញបែបប្រពៃណីតម្រូវឱ្យមានដំណើរការស្រង់យកសំណាក និងដឹកជញ្ជូន ដែលនាំមកនូវភាពយឺតយ៉ាវនៃពេលវេលាដ៏សំខាន់ទៅក្នុងរង្វិលជុំម៉ែត្រូឡូស៊ី។ ការពន្យារពេលនេះ ដែលអាចមានរយៈពេលច្រើនម៉ោង ធានាថានៅពេលដែលការរអាក់រអួលត្រូវបានរកឃើញទីបំផុត បន្ទះស្តើងមួយចំនួនធំត្រូវបានប៉ះពាល់រួចហើយ។ លើសពីនេះ ការដោះស្រាយដោយដៃបង្កឱ្យមានភាពប្រែប្រួល និងហានិភ័យនៃការរិចរិលសំណាក ជាពិសេសដោយសារតែការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពបន្ទាប់ពីការយកសំណាក ដែលអាចបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយការអាន viscosity។
ការវាស់វែងក្នុងបន្ទាត់លុបបំបាត់ភាពយឺតយ៉ាវដ៏ធ្ងន់ធ្ងរនេះ ដោយផ្តល់នូវស្ទ្រីមទិន្នន័យជាបន្តបន្ទាប់ដោយផ្ទាល់ពីខ្សែចែកចាយ។ ល្បឿននេះគឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះសម្រាប់ការរកឃើញកំហុស។ នៅពេលផ្សំជាមួយនឹងការរចនារឹងមាំ និងមិនស្ទះដែលចាំបាច់សម្រាប់សម្ភារៈសំណឹក វាផ្តល់នូវចំណីទិន្នន័យដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ការធ្វើឱ្យប្រព័ន្ធចែកចាយទាំងមូលមានស្ថេរភាព។ ខណៈពេលដែលភាពស្មុគស្មាញនៃ CMP តម្រូវឱ្យត្រួតពិនិត្យប៉ារ៉ាម៉ែត្រច្រើន (ដូចជាសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ ឬ pH) ដង់ស៊ីតេ និងភាពស្អិតផ្តល់នូវមតិប្រតិកម្មផ្ទាល់បំផុត និងពេលវេលាជាក់ស្តែងលើស្ថេរភាពរូបវន្តជាមូលដ្ឋាននៃសារធាតុសំណឹក ដែលជារឿយៗមិនងាយរងគ្រោះចំពោះការផ្លាស់ប្តូរប៉ារ៉ាម៉ែត្រដូចជា pH ឬសក្តានុពលកាត់បន្ថយអុកស៊ីតកម្ម (ORP) ដោយសារតែការធ្វើឱ្យមានសតិបណ្ដោះអាសន្នគីមី។
៥. តម្រូវការសេដ្ឋកិច្ច និងប្រតិបត្តិការ
អត្ថប្រយោជន៍នៃការត្រួតពិនិត្យដង់ស៊ីតេ និង viscosity ពេលវេលាជាក់ស្តែង
សម្រាប់ខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មកម្រិតខ្ពស់ណាមួយដែលCMP នៅក្នុងដំណើរការ semiconductorនៅពេលដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់ ភាពជោគជ័យត្រូវបានវាស់វែងដោយការកែលម្អទិន្នផលជាបន្តបន្ទាប់ ស្ថេរភាពដំណើរការអតិបរមា និងការគ្រប់គ្រងថ្លៃដើមយ៉ាងម៉ត់ចត់។ ការត្រួតពិនិត្យ rheological ពេលវេលាជាក់ស្តែងផ្តល់នូវហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធទិន្នន័យសំខាន់ៗដែលត្រូវការដើម្បីសម្រេចបាននូវតម្រូវការពាណិជ្ជកម្មទាំងនេះ។
បង្កើនស្ថេរភាពដំណើរការ
ការត្រួតពិនិត្យសារធាតុរាវដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ជាបន្តបន្ទាប់ធានាថាប៉ារ៉ាម៉ែត្រសារធាតុរាវសំខាន់ៗដែលបានបញ្ជូនទៅចំណុចប្រើប្រាស់ (POU) នៅតែស្ថិតក្នុងដែនកំណត់ត្រួតពិនិត្យយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដោយមិនគិតពីសំឡេងរំខានដំណើរការខាងលើ។ ឧទាហរណ៍ ដោយសារភាពប្រែប្រួលនៃដង់ស៊ីតេដែលមាននៅក្នុងបាច់សារធាតុរាវឆៅចូល ការធ្វើតាមរូបមន្តគឺមិនគ្រប់គ្រាន់ទេ។ តាមរយៈការត្រួតពិនិត្យដង់ស៊ីតេនៅក្នុងធុងម៉ាស៊ីនលាយក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអាចកែតម្រូវសមាមាត្រពនលាយដោយថាមវន្ត ដោយធានាថាកំហាប់គោលដៅច្បាស់លាស់ត្រូវបានរក្សាពេញមួយដំណើរការលាយ។ នេះកាត់បន្ថយភាពប្រែប្រួលនៃដំណើរការដែលកើតឡើងពីវត្ថុធាតុដើមមិនស៊ីសង្វាក់គ្នា ដែលនាំឱ្យមានដំណើរការប៉ូលាដែលអាចព្យាករណ៍បានខ្ពស់ និងកាត់បន្ថយភាពញឹកញាប់ និងទំហំនៃដំណើរការចំណាយយ៉ាងច្រើន។
បង្កើនទិន្នផល
ការដោះស្រាយដោយផ្ទាល់នូវការខូចខាតមេកានិច និងគីមីដែលបណ្តាលមកពីលក្ខខណ្ឌទឹកសំណល់មិនស្ថិតស្ថេរ គឺជាមធ្យោបាយដ៏មានឥទ្ធិពលបំផុតដើម្បីជំរុញការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ cmpអត្រាទិន្នផល។ ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យជាក់ស្តែង និងព្យាករណ៍ទុកជាមុន ការពារផលិតផលដែលមានតម្លៃខ្ពស់។ រោងចក្រដែលបានអនុវត្តប្រព័ន្ធបែបនេះបានកត់ត្រាភាពជោគជ័យយ៉ាងសំខាន់ រួមទាំងរបាយការណ៍អំពីការថយចុះរហូតដល់ 25% នៃការគេចវេសពីពិការភាព។ សមត្ថភាពបង្ការនេះផ្លាស់ប្តូរគំរូប្រតិបត្តិការពីប្រតិកម្មទៅនឹងពិការភាពដែលជៀសមិនរួចទៅជាការការពារការបង្កើតរបស់វាយ៉ាងសកម្ម ដោយហេតុនេះការពារបន្ទះសៀគ្វីដែលមានតម្លៃរាប់លានដុល្លារពីការកោសតូចៗ និងការខូចខាតផ្សេងទៀតដែលបណ្តាលមកពីចំនួនភាគល្អិតមិនស្ថិតស្ថេរ។ សមត្ថភាពក្នុងការត្រួតពិនិត្យការផ្លាស់ប្តូរថាមវន្ត ដូចជាការធ្លាក់ចុះ viscosity ភ្លាមៗដែលបង្ហាញពីភាពតានតឹងកម្ដៅ ឬកាត់ អាចឱ្យមានអន្តរាគមន៍មុនពេលកត្តាទាំងនេះរីករាលដាលពិការភាពឆ្លងកាត់បន្ទះសៀគ្វីច្រើន។
កាត់បន្ថយការងារឡើងវិញ
ផលិតផលធ្វើការឡើងវិញអត្រា ដែលត្រូវបានកំណត់ថាជាភាគរយនៃផលិតផលផលិតដែលតម្រូវឱ្យមានការកែច្នៃឡើងវិញដោយសារតែកំហុស ឬពិការភាព គឺជា KPI ដ៏សំខាន់មួយដែលវាស់វែងពីភាពគ្មានប្រសិទ្ធភាពនៃការផលិតទាំងមូល។ អត្រាការងារឡើងវិញខ្ពស់ប្រើប្រាស់កម្លាំងពលកម្មដ៏មានតម្លៃ កាកសំណល់សម្ភារៈ និងបង្កឱ្យមានការពន្យារពេលយ៉ាងច្រើន។ ដោយសារតែពិការភាពដូចជាការលាងចាន ការដកយកចេញមិនស្មើគ្នា និងការកោសគឺជាផលវិបាកផ្ទាល់នៃអស្ថិរភាពនៃសរីរវិទ្យា ការធ្វើឱ្យលំហូរសារធាតុរាវមានស្ថេរភាពតាមរយៈការគ្រប់គ្រងដង់ស៊ីតេ និង viscosity ជាបន្តបន្ទាប់កាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំងនូវការចាប់ផ្តើមនៃកំហុសសំខាន់ៗទាំងនេះ។ ដោយធានាបាននូវស្ថេរភាពដំណើរការ ការកើតឡើងនៃពិការភាពដែលត្រូវការជួសជុល ឬការប៉ូលាឡើងវិញត្រូវបានបង្រួមអប្បបរមា ដែលនាំឱ្យមានការកើនឡើងនៃទិន្នផលប្រតិបត្តិការ និងប្រសិទ្ធភាពក្រុមទាំងមូល។
បង្កើនប្រសិទ្ធភាពថ្លៃដើមប្រតិបត្តិការ
កាកសំណល់ CMP តំណាងឱ្យការចំណាយលើការប្រើប្រាស់យ៉ាងច្រើននៅក្នុងបរិយាកាសផលិតកម្ម។ នៅពេលដែលភាពមិនប្រាកដប្រជានៃដំណើរការកំណត់ការប្រើប្រាស់រឹមសុវត្ថិភាពដ៏ធំទូលាយ និងអភិរក្សក្នុងការលាយ និងការប្រើប្រាស់ លទ្ធផលគឺការប្រើប្រាស់គ្មានប្រសិទ្ធភាព និងការចំណាយប្រតិបត្តិការខ្ពស់។ ការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែងអាចឱ្យការគ្រប់គ្រងកាកសំណល់គ្មានខ្លាញ់ និងច្បាស់លាស់។ ឧទាហរណ៍ ការគ្រប់គ្រងជាបន្តបន្ទាប់អនុញ្ញាតឱ្យមានសមាមាត្រលាយពិតប្រាកដ កាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់ទឹកពនលាយ និងធានាថាតម្លៃថ្លៃ។សមាសធាតុស្លេស cmpត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងល្អប្រសើរ ដោយកាត់បន្ថយកាកសំណល់សម្ភារៈ និងការចំណាយប្រតិបត្តិការ។ លើសពីនេះ ការធ្វើរោគវិនិច្ឆ័យសរីរវិទ្យាជាក់ស្តែងអាចផ្តល់សញ្ញាព្រមានដំបូងនៃបញ្ហាឧបករណ៍ — ដូចជាការពាក់បន្ទះ ឬការខូចស្នប់ — ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការថែទាំដោយផ្អែកលើលក្ខខណ្ឌមុនពេលដំណើរការខុសប្រក្រតីបណ្តាលឱ្យមានការហូរច្រោះទឹករំអិលធ្ងន់ធ្ងរ និងពេលវេលារងចាំប្រតិបត្តិការជាបន្តបន្ទាប់។
ការផលិតដែលមានទិន្នផលខ្ពស់ប្រកបដោយចីរភាពទាមទារឱ្យលុបបំបាត់ភាពប្រែប្រួលនៅក្នុងដំណើរការឯកតាសំខាន់ៗទាំងអស់។ បច្ចេកវិទ្យារំញ័រ Lonnmeter ផ្តល់នូវភាពរឹងមាំ ល្បឿន និងភាពជាក់លាក់ចាំបាច់ដើម្បីកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធចែកចាយសារធាតុរាវ។ តាមរយៈការរួមបញ្ចូលទិន្នន័យដង់ស៊ីតេ និងភាពស្អិតរមួតតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង វិស្វករដំណើរការត្រូវបានបំពាក់ដោយភាពវៃឆ្លាតជាបន្តបន្ទាប់ និងអាចអនុវត្តបាន ដែលធានាបាននូវដំណើរការប៉ូលាដែលអាចព្យាករណ៍បាន និងការពារទិន្នផល wafer ប្រឆាំងនឹងអស្ថិរភាពនៃ colloidal។
ដើម្បីចាប់ផ្តើមការផ្លាស់ប្តូរពីការគ្រប់គ្រងទិន្នផលដែលមានប្រតិកម្មទៅជាការគ្រប់គ្រងដំណើរការប្រកបដោយភាពសកម្ម៖
បង្កើនប្រសិទ្ធភាពអតិបរមាពេលវេលាដំណើរការ និងបង្រួមអប្បបរមាធ្វើការឡើងវិញ៖ទាញយកលក្ខណៈបច្ចេកទេសរបស់យើង និងផ្តួចផ្តើមRFQ នៅថ្ងៃនេះ។
យើងខ្ញុំសូមអញ្ជើញវិស្វករដំណើរការ និងទិន្នផលជាន់ខ្ពស់មកដាក់ស្នើសំណួរស្នើសុំលម្អិត។ អ្នកឯកទេសបច្ចេកទេសរបស់យើងនឹងបង្កើតផែនទីបង្ហាញផ្លូវអនុវត្តដ៏ច្បាស់លាស់មួយ ដោយបញ្ចូលបច្ចេកវិទ្យា Lonnmeter ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ទៅក្នុងហេដ្ឋារចនាសម្ព័ន្ធចែកចាយទឹកសំណល់របស់អ្នក ដើម្បីវាស់វែងបរិមាណនៃការថយចុះដង់ស៊ីតេពិការភាព និងការប្រើប្រាស់ទឹកសំណល់ដែលបានព្យាករណ៍។ទំនាក់ទំនងក្រុមស្វ័យប្រវត្តិកម្មដំណើរការរបស់យើងឥឡូវនេះសុវត្ថិភាពអត្ថប្រយោជន៍ទិន្នផលរបស់អ្នក។ស្វែងយល់ភាពជាក់លាក់ចាំបាច់ដែលត្រូវការដើម្បីធ្វើឱ្យជំហានប្លង់នីយកម្មដ៏សំខាន់បំផុតរបស់អ្នកមានស្ថេរភាព។
