ការប៉ូលាគីមី-មេកានិច (CMP) ជារឿយៗពាក់ព័ន្ធនឹងការផលិតផ្ទៃរលោងដោយប្រតិកម្មគីមី ជាពិសេសការងារនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ឡុងម៉ែត្រដែលជាអ្នកច្នៃប្រឌិតដែលគួរឱ្យទុកចិត្ត ជាមួយនឹងជំនាញជាង 20 ឆ្នាំក្នុងការវាស់ស្ទង់កំហាប់ក្នុងតួ ផ្តល់ជូននូវបច្ចេកវិទ្យាទំនើបៗម៉ែត្រដង់ស៊ីតេមិនមែននុយក្លេអ៊ែរនិងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា viscosity ដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមនៃការគ្រប់គ្រង slurry ។
សារៈសំខាន់នៃគុណភាពដីល្បាប់ និងជំនាញរបស់ Lonnmeter
សារធាតុប៉ូលាគីមីមេកានិចគឺជាឆ្អឹងខ្នងនៃដំណើរការ CMP ដែលកំណត់ពីភាពស្មើគ្នា និងគុណភាពនៃផ្ទៃ។ ដង់ស៊ីតេសារធាតុស្អិត ឬជាតិស្អិតមិនស៊ីសង្វាក់គ្នាអាចនាំឱ្យមានពិការភាពដូចជាការកោសតូចៗ ការដកសម្ភារៈមិនស្មើគ្នា ឬការស្ទះបន្ទះ ដែលធ្វើឱ្យខូចគុណភាពបន្ទះស្តើង និងបង្កើនថ្លៃដើមផលិតកម្ម។ Lonnmeter ដែលជាក្រុមហ៊ុនឈានមុខគេលើពិភពលោកក្នុងដំណោះស្រាយវាស់វែងឧស្សាហកម្ម មានជំនាញក្នុងការវាស់វែងសារធាតុស្អិតក្នុងតួដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការសារធាតុស្អិតល្អបំផុត។ ជាមួយនឹងកំណត់ត្រាដែលបង្ហាញឱ្យឃើញពីការផ្តល់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលអាចទុកចិត្តបាន និងមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ Lonnmeter បានសហការជាមួយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកឈានមុខគេដើម្បីបង្កើនការគ្រប់គ្រងដំណើរការ និងប្រសិទ្ធភាព។ ម៉ែត្រដង់ស៊ីតេសារធាតុស្អិតមិនមែននុយក្លេអ៊ែរ និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាជាតិស្អិតរបស់ពួកគេផ្តល់ទិន្នន័យជាក់ស្តែង ដែលអាចឱ្យមានការកែតម្រូវយ៉ាងច្បាស់លាស់ដើម្បីរក្សាភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃសារធាតុស្អិត និងបំពេញតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកទំនើប។
បទពិសោធន៍ជាងពីរទសវត្សរ៍ក្នុងការវាស់ស្ទង់កំហាប់ក្នុងតួ ដែលទទួលបានការទុកចិត្តពីក្រុមហ៊ុនអេឡិចត្រូនិកកំពូលៗ។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញារបស់ Lonnmeter ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូន និងមិនចាំបាច់ថែទាំ ដែលកាត់បន្ថយថ្លៃដើមប្រតិបត្តិការ។ ដំណោះស្រាយត្រូវបានរៀបចំឡើងដើម្បីបំពេញតម្រូវការដំណើរការជាក់លាក់ ដោយធានាបាននូវទិន្នផល wafer ខ្ពស់ និងការអនុលោមតាម។
តួនាទីនៃការប៉ូលាមេកានិចគីមីក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
ការប៉ូលាមេកានិចគីមី (CMP) ដែលត្រូវបានគេហៅថា ប្លង់គីមី-មេកានិច គឺជាមូលដ្ឋានគ្រឹះនៃការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ដែលអាចឱ្យបង្កើតផ្ទៃរាបស្មើ គ្មានពិការភាពសម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីបកម្រិតខ្ពស់។ តាមរយៈការរួមបញ្ចូលគ្នានៃការឆ្លាក់គីមីជាមួយនឹងការសំណឹកមេកានិច ដំណើរការ CMP ធានានូវភាពជាក់លាក់ដែលត្រូវការសម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាច្រើនស្រទាប់នៅចំណុចក្រោម 10nm។ សារធាតុប៉ូលាមេកានិចគីមី ដែលផ្សំឡើងពីទឹក សារធាតុប្រតិកម្មគីមី និងភាគល្អិតសំណឹក មានអន្តរកម្មជាមួយបន្ទះប៉ូលា និងបន្ទះបន្ទះដើម្បីយកសម្ភារៈចេញជាឯកសណ្ឋាន។ នៅពេលដែលការរចនាស៊ីមីកុងដុកទ័រវិវឌ្ឍ ដំណើរការ CMP ប្រឈមមុខនឹងភាពស្មុគស្មាញកាន់តែខ្លាំងឡើង ដែលតម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសារធាតុរំអិល ដើម្បីការពារពិការភាព និងសម្រេចបានបន្ទះបន្ទះបន្ទះរលោង និងប៉ូលា ដែលរោងចក្រផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងអ្នកផ្គត់ផ្គង់សម្ភារៈទាមទារ។
ដំណើរការនេះគឺចាំបាច់សម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីប 5nm និង 3nm ដែលមានពិការភាពតិចតួចបំផុត ដែលធានាបាននូវផ្ទៃរាបស្មើសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់ជាបន្តបន្ទាប់បានត្រឹមត្រូវ។ សូម្បីតែភាពមិនស៊ីសង្វាក់គ្នានៃសារធាតុរាវតិចតួចក៏អាចនាំឱ្យមានការងារឡើងវិញដែលមានតម្លៃថ្លៃ ឬការខាតបង់ទិន្នផល។
បញ្ហាប្រឈមក្នុងការត្រួតពិនិត្យលក្ខណៈសម្បត្តិនៃដីល្បាប់
ការរក្សាដង់ស៊ីតេ និង viscosity នៃ slurry ឲ្យស្របគ្នានៅក្នុងដំណើរការប៉ូលាមេកានិចគីមី គឺពោរពេញទៅដោយបញ្ហាប្រឈម។ លក្ខណៈសម្បត្តិ slurry អាចប្រែប្រួលដោយសារតែកត្តាដូចជាការដឹកជញ្ជូន ការពនលាយជាមួយទឹក ឬអ៊ីដ្រូសែន peroxide ការលាយមិនគ្រប់គ្រាន់ ឬការរិចរិលគីមី។ ឧទាហរណ៍ ភាគល្អិតដែលលិចក្នុងថង់ slurry អាចបណ្តាលឱ្យមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៅខាងក្រោម ដែលនាំឱ្យមានការប៉ូលាមិនស្មើគ្នា។ វិធីសាស្ត្រត្រួតពិនិត្យបែបប្រពៃណីដូចជា pH សក្តានុពលកាត់បន្ថយអុកស៊ីតកម្ម (ORP) ឬចរន្តអគ្គិសនី ជារឿយៗមិនគ្រប់គ្រាន់ទេ ព្រោះវាមិនអាចរកឃើញការផ្លាស់ប្តូរបន្តិចបន្តួចនៅក្នុងសមាសធាតុ slurry បានទេ។ ដែនកំណត់ទាំងនេះអាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាព អត្រាដកយកចេញថយចុះ និងការកើនឡើងនៃថ្លៃដើមប្រើប្រាស់ ដែលបង្កហានិភ័យយ៉ាងសំខាន់សម្រាប់ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ semiconductor និងអ្នកផ្តល់សេវាកម្ម CMP។ ការផ្លាស់ប្តូរសមាសធាតុក្នុងអំឡុងពេលដោះស្រាយ និងចែកចាយប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការ។ ថ្នាំងក្រោម 10nm តម្រូវឱ្យមានការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើភាពបរិសុទ្ធនៃ slurry និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការលាយ។ pH និង ORP បង្ហាញពីការប្រែប្រួលតិចតួចបំផុត ខណៈពេលដែលចរន្តអគ្គិសនីប្រែប្រួលជាមួយនឹងភាពចាស់នៃ slurry។ លក្ខណៈសម្បត្តិ slurry មិនស៊ីសង្វាក់គ្នាអាចបង្កើនអត្រាពិការភាពរហូតដល់ 20% តាមការសិក្សាឧស្សាហកម្ម។
ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាក្នុងជួររបស់ Lonnmeter សម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែង
Lonnmeter ដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមទាំងនេះជាមួយនឹងម៉ែត្រវាស់ដង់ស៊ីតេទឹករំអិលមិនមែននុយក្លេអ៊ែរកម្រិតខ្ពស់របស់ខ្លួន និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា viscosityរួមទាំងម៉ែត្រ viscosity inline សម្រាប់ការវាស់ viscosity ក្នុងបន្ទាត់ និងម៉ែត្រដង់ស៊ីតេ ultrasonic សម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យដង់ស៊ីតេ slurry និង viscosity ក្នុងពេលដំណាលគ្នា។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទាំងនេះត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនទៅក្នុងដំណើរការ CMP ដែលមានការតភ្ជាប់ស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម។ ដំណោះស្រាយរបស់ Lonnmeter ផ្តល់នូវភាពជឿជាក់រយៈពេលវែង និងការថែទាំទាបសម្រាប់ការសាងសង់ដ៏រឹងមាំរបស់វា។ ទិន្នន័យពេលវេលាជាក់ស្តែងអនុញ្ញាតឱ្យប្រតិបត្តិករលៃតម្រូវល្បាយ slurry ការពារពិការភាព និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការប៉ូលា ដែលធ្វើឱ្យឧបករណ៍ទាំងនេះមិនអាចខ្វះបានសម្រាប់អ្នកផ្គត់ផ្គង់ឧបករណ៍វិភាគ និងសាកល្បង និងអ្នកផ្គត់ផ្គង់សម្ភារៈប្រើប្រាស់ CMP។
អត្ថប្រយោជន៍នៃការត្រួតពិនិត្យជាបន្តបន្ទាប់សម្រាប់ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាព CMP
ការត្រួតពិនិត្យជាបន្តបន្ទាប់ជាមួយឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាក្នុងតួរបស់ Lonnmeter ផ្លាស់ប្តូរដំណើរការប៉ូលាគីមីមេកានិចដោយផ្តល់នូវការយល់ដឹងដែលអាចអនុវត្តបាន និងការសន្សំសំចៃថ្លៃដើមយ៉ាងច្រើន។ ការវាស់ដង់ស៊ីតេទឹករំអិលតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង និងការត្រួតពិនិត្យ viscosity កាត់បន្ថយពិការភាពដូចជាការកោស ឬការប៉ូលាលើសកម្រិតរហូតដល់ 20% នេះបើយោងតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម។ ការរួមបញ្ចូលជាមួយប្រព័ន្ធ PLC អាចឱ្យមានការវាស់កម្រិតថ្នាំ និងការគ្រប់គ្រងដំណើរការដោយស្វ័យប្រវត្តិ ដោយធានាថាលក្ខណៈសម្បត្តិទឹករំអិលនៅតែស្ថិតក្នុងចន្លោះល្អបំផុត។ នេះនាំឱ្យមានការថយចុះ 15-25% នៃថ្លៃដើមប្រើប្រាស់ កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងបង្កើនឯកសណ្ឋាន wafer ។ សម្រាប់រោងចក្រផលិត Semiconductor និងអ្នកផ្តល់សេវាកម្ម CMP អត្ថប្រយោជន៍ទាំងនេះបកប្រែទៅជាផលិតភាពប្រសើរឡើង អត្រាប្រាក់ចំណេញខ្ពស់ និងការអនុលោមតាមស្តង់ដារដូចជា ISO 6976។
សំណួរទូទៅអំពីការត្រួតពិនិត្យកាកសំណល់នៅក្នុង CMP
ហេតុអ្វីបានជាការវាស់ដង់ស៊ីតេនៃសារធាតុរាវមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ CMP?
ការវាស់ដង់ស៊ីតេនៃល្បាយរាវធានានូវការចែកចាយភាគល្អិតឯកសណ្ឋាន និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃល្បាយ ការពារពិការភាព និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពអត្រានៃការលុបបំបាត់នៅក្នុងដំណើរការប៉ូលាគីមីមេកានិច។ វាគាំទ្រដល់ការផលិតបន្ទះ wafer ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ និងការអនុលោមតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម។
តើការត្រួតពិនិត្យ viscosity បង្កើនប្រសិទ្ធភាព CMP យ៉ាងដូចម្តេច?
ការត្រួតពិនិត្យភាពស្អិតរក្សាលំហូរទឹករំអិលឱ្យស្ថិតស្ថេរ ដោយការពារបញ្ហាដូចជាការស្ទះបន្ទះ ឬការប៉ូលាមិនស្មើគ្នា។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាក្នុងតួរបស់ Lonnmeter ផ្តល់ទិន្នន័យជាក់ស្តែងដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ CMP និងបង្កើនទិន្នផលបន្ទះ wafer។
តើអ្វីដែលធ្វើឱ្យម៉ែត្រដង់ស៊ីតេទឹកមិនមែននុយក្លេអ៊ែររបស់ Lonnmeter មានលក្ខណៈពិសេស?
ម៉ែត្រវាស់ដង់ស៊ីតេសារធាតុរាវដែលមិនមែនជានុយក្លេអ៊ែររបស់ Lonnmeter ផ្តល់នូវការវាស់ដង់ស៊ីតេ និងភាពស្អិតក្នុងពេលដំណាលគ្នាជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ និងមិនចាំបាច់ថែទាំ។ ការរចនាដ៏រឹងមាំរបស់ពួកវាធានានូវភាពជឿជាក់នៅក្នុងបរិយាកាសដំណើរការ CMP ដែលទាមទារខ្ពស់។
ការវាស់ដង់ស៊ីតេសារធាតុរាវតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង និងការត្រួតពិនិត្យ viscosity គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវដំណើរការប៉ូលាគីមីមេកានិចក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ ម៉ែត្រដង់ស៊ីតេសារធាតុរាវមិនមែននុយក្លេអ៊ែរ និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា viscosity របស់ Lonnmeter ផ្តល់ជូនក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក អ្នកផ្គត់ផ្គង់សម្ភារៈប្រើប្រាស់ CMP និងរោងចក្រផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជាមួយនឹងឧបករណ៍ដើម្បីយកឈ្នះលើបញ្ហាប្រឈមនៃការគ្រប់គ្រងសារធាតុរាវ កាត់បន្ថយពិការភាព និងបន្ថយថ្លៃដើម។ តាមរយៈការផ្តល់ទិន្នន័យច្បាស់លាស់ និងពេលវេលាជាក់ស្តែង ដំណោះស្រាយទាំងនេះបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការ ធានាបាននូវការអនុលោមតាមច្បាប់ និងជំរុញប្រាក់ចំណេញនៅក្នុងទីផ្សារ CMP ដែលមានការប្រកួតប្រជែង។ ចូលមើលគេហទំព័ររបស់ Lonnmeterឬទាក់ទងក្រុមការងាររបស់ពួកគេនៅថ្ងៃនេះ ដើម្បីស្វែងយល់ពីរបៀបដែល Lonnmeter អាចផ្លាស់ប្តូរប្រតិបត្តិការប៉ូលាគីមីមេកានិចរបស់អ្នក។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២២ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២៥
