Nha mmiri dị oke mkpa n'ịkpụ waya silicon wafer diamond, n'ihi na ọ na-eme ka e nwee ike ibuga mmiri mmiri n'ebe a na-etinye waya-wafer nke ọma—nke dị oke mkpa maka ịnọgide na-enwe oyi kacha mma, ịmịnye mmanụ, na iwepụ ihe ndị na-emebi ihe.RData mmiri ozuzo oge-eal na-egbochi mmiri zuru oke ma ọ bụ oke mmiri, nke ga-eme ka oke okpomọkụ dị elu, mgbawa waya, ntụpọ elu, ma ọ bụ ihe mkpofu. Nha ziri ezi na-ebelata mgbanwe usoro, na-echebe ịdị larịị nke wafer na iguzosi ike n'ezi ihe elu, na-agbatị ogologo ndụ waya, ma na-eme ka arụmọrụ akụrụngwa ka mma.
Nkọwa nke Ịcha Silicon Wafer na Ọrụ nke Ịcha Mmiri
Ịkpụ waya diamond bụ usoro kachasị mkpa maka ịkpụ monocrystalline na multicrystalline silicon ingots n'ime wafers maka ngwa semiconductor na photovoltaic. N'ime usoro a, a na-ekpuchi waya ígwè—nke na-adịkarị 40–70 μm n'obosara—na mkpụrụ diamond abrasive. Waya ahụ na-agagharị n'ọsọ dị elu, diamond ndị e tinyere na ya na-egweri silicon site na nchacha, na-ebelata ntụpọ elu ma na-akwalite otu wafer. Waya dayameta ndị e wedara ala ewebatara n'afọ ndị na-adịbeghị anya na-ebelata mfu kerf, nke na-ezo aka na ihe e mefuru dị ka obere ihe silicon n'oge ọrụ ịkpụcha. A na-ekpebi mfu Kerf site na dayameta waya na ịdị elu nke mkpụrụ abrasive ndị na-apụta site na elu waya.
Ịcha Waya Daịamọnd
*
Mmiri ịkpụcha mmiri na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịkpụcha waya diamond. Ọrụ ha bụ isi bụ ime ka ingot na waya jụọ oyi, na-egbochi oke okpomọkụ nke nwere ike imebi silicon ma ọ bụ belata ndụ waya. Ha na-asachapụkwa obere mkpụrụ silicon ndị a na-emepụta n'oge ịkpụcha, nke na-enyere aka ịnọgide na-enwe njikọ dị ọcha, gbochie mgbanwe nke ihe mkpofu, ma belata obere mgbawa elu na wafer. Ọzọkwa, ịkpụcha mmiri na-eme ka usoro ahụ dị mma, na-ebelata esemokwu dị n'etiti waya na silicon, si otú a na-eme ka ogologo ndụ waya dịkwuo ogologo ma na-eme ka mma ịkpụcha mma dịkwuo mma. A ghaghị ijikwa nhazi na njirimara anụ ahụ nke mmiri ịkpụcha wafer silicon - dị ka viscosity na njupụta - nke ọma iji mee ka oyi dị mma, iwepụ chip, na nchekwa waya.
E nwere ọtụtụ ụdị mmiri wafer cutting, gụnyere mmiri mmiri e ji mmiri mee nke nwere ihe mgbakwunye maka mmanu na nkwụsịtụ nke ihe ndị dị ndụ. Nhọrọ a dabere na nhazi akụrụngwa, nkọwapụta wafer, na oke gburugburu ebe obibi. Ihe atụ gụnyere mmiri deionized nwere surfactants ma ọ bụ glycols, nke e mere iji kwado arụmọrụ oyi na obere mmepụta ihe fọdụrụ.
Mgbanwe a na-enweta n'ebe waya diamond dị gịrịgịrị dị n'ime osisi wafer nke oge a na-eme ka ihe ịma aka dị na nnyefe mmiri na njikwa usoro dịkwuo elu. Ka dayameta waya na-ebelata n'okpuru 40 μm, ihe egwu nke mgbawa waya na-abawanye ma nnabata maka mgbanwe usoro na-esikwu ike. Nha ọsọ ọsọ kpọmkwem—nke teknụzụ dị ka ịkpụ mita mmiri mmiri, sensọ nha ọsọ dị elu, na sensọ ọsọ Coriolis—dị mkpa iji nọgide na-enwe njụ oyi na mwepụ ihe mkpofu dị irè. Ịcha ihe mmetụta nlekota mmiri mmiri na ngwọta nha mmiri mmiri ịkpụ ụlọ ọrụ na-enyere ndị ọrụ aka ịchọpụta ma gbanwee ọnụego mmiri n'oge, na-enweta mmanu mmanu kacha mma na ịdị mma elu. Izi ezi nke mita mmiri Coriolis dị oke mkpa maka ijikwa mmiri mmiri nwere njupụta na viscosities dị iche iche, na-ahụ na ọnọdụ ndị na-agbanwe agbanwe ọbụlagodi ka ọsọ mbelata na nrụgide waya na-abawanye.
Ọchịchọ a na-abawanye maka izi ezi agbanweela uche gaa n'ileba anya na paramita mmiri na-agbanwe agbanwe dịka ọsọ mmiri, njupụta, na viscosity. Ngwaọrụ dịka ndị sitere na Lonnmeter na-enye nha a pụrụ ịtụkwasị obi, nke oge a dị oke mkpa maka nkwenye mma na nhazi usoro na ọrụ ịkpụ waya diamond dị elu. Ka teknụzụ waya na-aga n'ihu na-aga n'ihu, njikọta nke teknụzụ nha mmiri siri ike dị mkpa iji kwado mmepụta wafer, belata mfu kerf, na ibelata ihe achọrọ maka imecha ihe dị n'okpuru maka ngalaba mmepụta wafer silicon.
Ihe ịma aka nnyefe mmiri mmiri na ịkpụ waya diamond nke ọma
N'ịkpụ waya diamond nke wafer silicon dị gịrịgịrị—karịsịa ndị na-erughị 40 µm—inyefe oke mmiri silicon wafer kwesịrị ekwesị na njikọ ịkpụcha ihe na-aghọ ihe ịma aka siri ike. Ka ọkpụrụkpụ waya na-ebelata, otú ahụ ka oghere maka mmiri na-asọfe na-adị. Ịnọgide na-enwe mmiri na-egbutu mgbe niile dị oke mkpa iji hụ na mmanụ na-agbaze, na-achịkwa okpomọkụ, na-ewepụkwa ihe ndị na-emebi ihe n'ebe a na-akpọtụrụ ya.
Mmiri na-anaghị agbanwe agbanwe ma ọ bụ nke na-ezughị ezu na-eduga ozugbo na mmịpụta wafer, ebe wafer na-arapara na ngwaọrụ ahụ nke ọma n'ihi na ọ naghị amị mmanụ nke ọma. Nke a anaghị egbochi usoro ịkpụ ihe kamakwa ọ na-eme ka ohere nke mgbawa wafer ma ọ bụ mmebi dịkwuo elu. Nchacha elu na-arị elu nke ukwuu mgbe waya na wafer anaghị enweta mmanụ na oyi na-aga n'ihu site na mmiri ịkpụ waya diamond. Ebe ndị mebiri emebi na obere ntụpọ na-ebelata ịdị mma na mmepụta wafer, na-eweta nnukwu ihe mgbochi maka ụlọ ọrụ semiconductor na photovoltaic.
Isi ihe atọ na-emetụta ntinye mmiri n'ime oghere ịkpụ obere: geometry waya, ọsọ ịkpụ, na ọrụ capillary. Geometry waya—karịsịa dayameta waya na nkesa nke mkpụrụ diamond—na-emetụta ozugbo otu mmiri silicon si eme ka ọ dị mfe ịcha mmiri ma rapara na mpaghara kọntaktị. Mgbe ị na-eji waya ndị na-erughị 40 µm, obere mpaghara elu na-egbochi mmegharị mmiri n'efu. Ọsọ ịkpụ dị elu na-ebelata oge dị maka mmiri ahụ iru ma jụọ oyi na njikọ ahụ, na-eduga na oke okpomọkụ na enweghị mmanu mmanu. Ọrụ capillary, ikike ebumpụta ụwa nke mmiri ahụ ịbanye n'ime oghere dị warara, na-ekpebisi ike ijide mmiri. Agbanyeghị, otu àkwà mmiri mmiri ndị ahụ na-eme ka njem mmiri dịkwuo mma nwere ike itinye njikọ capillary n'etiti waya ndị dị nso, na-akpata nrụgide na-abụghị otu na mmụba nke oke wafer.
Ntinye nke ụdị mmiri wafer dị elu—gụnyere ihe ngwọta emelitere nanoparticle—na-enye mmezi a pụrụ ịtụle. Mmiri ndị e ji SiO₂ ma ọ bụ SiC nanoparticles mepụta na-abanye n'ime oghere dị warara nke ọma n'ihi viscosity kachasị mma na mmekọrịta elu. Mmiri ndị a na-eme ka mmanụ dịkwuo mma ma na-ebuga okpomọkụ nke ọma, na-ebute obere ihe isi ike n'elu na ime ka wafer dị larịị ka mma. Nnyocha na-egosi na iji mmiri nanoparticle jupụtara na-agbanwe ọnọdụ okpomọkụ n'oge a na-egbutu ya, na-ebelata nrụgide ndị na-eyi ndụ wafer egwu. Nke a, yana usoro dị ka vibration ultrasonic iji mee ka njem capillary dịkwuo mma, na-enye ohere maka nnyefe mmiri diamond yiri ya.
Nnyefe mmiri n'otu oge chọrọ nlekota na nhazi ziri ezi, nke a na-eme n'oge. Nnwale mmiri n'ime ụlọ ọrụ mmepụta ihe dị oke mma na-aghọ ihe dị mkpa, karịsịa n'usoro ndị a na-achịkwa nke ọma. Itinye mita mmiri n'ime ihe - dịka ihe mmetụta nha Coriolis nke ziri ezi - na-eme ka ọ dị mfe ịchịkwa ọnụego nnyefe. Njupụta na viscosity nke Lonnmeter, mgbe ejikọtara ya na ngwaọrụ nha ọsọ ọsọ ziri ezi, na-enyere aka ime ka mmiri dị mma ka e wee bepụ ọbụna wafers kacha dị gịrịgịrị, na-enweghị obere ihe egwu ntụpọ.
Ntụle Mmiri Mmiri na Ọrụ Ịkpụ Wafer
Nha nha ọsọ ọsọ dị oke mkpa maka ime ka nnyefe mmiri dị mfe na ịkpụ waya diamond nke waya silicon. Ịrụ ọrụ nke mmiri silicon wafer cutting fluid na-akpụzi ozugbo oyi, mmanụ, na mwepụ ihe mkpofu na njikọ kọntaktị, na-emetụta ịdị mma elu wafer, mfu kerf, na mmepụta mmepụta zuru oke. Enweghị eruba ma ọ bụ oke eruba na-agbanwe arụmọrụ abrasive, na-eme ka iyi ngwa ọrụ dịkwuo mma, ma nwee ike ibute ịdị mma wafer na-adịghị agbanwe agbanwe ma ọ bụ ọnụ ahịa akụrụngwa dị elu. Nnyocha empirical na-egosi na enwere ike ibelata oke iru ala (Ra) na mmebi dị n'okpuru ala site na ịnọgide na-enwe ọnụego mmiri ịkpụ n'ime oke kacha mma 0.15–0.25 L/min maka igwe waya otu, ebe eruba na-ezughị ezu na-eduga na microcracks na mkpokọta ihe mkpofu, ebe oke eruba na-ebute ọgba aghara na oriri na-adịghị mkpa.
Teknụzụ maka Ịbelata Ntụle Ọkwa Mmiri Mmiri
Ịkpụ mita mmiri mmiri na-abanye n'ime ahịrị mmiri mmiri, na-atụ olu e kenyere nke mmiri mmiri mmiri diamond na-egbutu n'oge. Teknụzụ mita mmiri a na-ahụkarị gụnyere ụdị igwe, eletrọnịkị, na ultrasonic:
- Mita igwe eji arụ ọrụ, dịka nhazi turbine na paddlewheel, na-eji ihe ndị na-agbagharị agbagharị nke mmiri mmiri na-agbagharị. Ha dị mfe ma sie ike mana ha nwere ike iyi site na mmiri mmiri ndị na-emebi emebi.
- Mita mmiri eletrọniki, ọkachasị nhazi eletrọniki, na-eji ụkpụrụ nke induction eletrọniki tụọ ọsọ mmiri, na-enye ọrụ a pụrụ ịdabere na ya, nke na-enye mmezi-ọkụ maka mmiri ndị na-eduzi.
- Ngwaọrụ ndị a na-eji igwe mmiri ọkụ eletrik (ultrasonic flow mitter) na-eme ihe dị ka ụda olu ugboro ugboro nke a na-ebuga ma na-enweta n'ofe paịpụ ahụ. Site n'ịtụle ọdịiche oge nke ụda na-agafe na mmiri na-asọ asọ, ngwaọrụ ndị a na-enye nha nha ziri ezi nke na-anaghị akpata nsogbu, nke dabara adaba maka ụdị mmiri ọkụ dị iche iche a na-egbutu.
Nha nha mmiri Coriolis pụtara ìhè n'ọrụ ebe achọrọ njikwa ziri ezi nke oke mmiri, n'agbanyeghị viscosity ma ọ bụ mgbanwe okpomọkụ. Ihe mmetụta mmiri Coriolis na-atụ kpọmkwem ọnụego mmiri dabere na mmetụta Coriolis, na-enye ezigbo nkenke na dabara adaba maka mmiri mmiri na mmiri nke e ji waya diamond mee. Lonnmeter na-emepụta njupụta inline na viscosity mita, nke na-enye aka nleba anya nke ihe ndị dị na mmiri maka nguzozi na njikwa usoro kacha mma na ịkpụ silicon wafer.
Nha nha dị mkpa na ntinye ihe mmetụta
Ntụle ziri ezi nke ịkpụ mmiri mmiri na ịkpụ wafer chọrọ nlebara anya na ọtụtụ paramita dị mkpa:
- Ọkwa mmiri (L/min): Ntụle bụ isi maka imeziwanye usoro na nkwenye ịdị mma.
- Njupụta na viscosity: Ha abụọ na-emetụta arụmọrụ oyi, mbugharị ihe na-emebi emebi, na mkpochapụ ihe ndị mebiri emebi nke ukwuu.
- Okpomọkụ: Na-emetụta viscosity na omume mmiri mmiri n'ebe a na-egbutu ya.
Ntinye ihe mmetụta dị oke mkpa. A ga-etinye ihe mmetụta nha mmiri kpọmkwem n'ahịrị nnyefe mmiri dị nso na mpaghara ịkpụ ihe dịka o kwere mee iji belata ọdịiche dị n'etiti iguzogide paịpụ, ntapu mmiri, ma ọ bụ ikuku tupu njikọ ịkpụ ihe. Nha inline n'oge a na-eme ka uru mmiri a kọrọ dakọọ na ebe a na-egbu waya diamond.
Ọrụ nke Ntụle Mmiri n'ịdobe Gburugburu Ebe Mbelata Kachasị Mma
Ihe mmetụta nha mmiri dị oke mkpa maka nlekota oge na njikwa mgbanwe nke nnyefe mmiri na ịkpụ wafer silicon ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Ịnọgide na-enwe oke mmiri kachasị mma na-eme ka okpomọkụ gbasaa nke ọma, iwepụ ihe ndị mebiri emebi na-aga n'ihu, na itinye mmanụ n'otu eriri n'akụkụ waya diamond. Na-enweghị nke a, nkwụsi ike usoro na-ebelata, ndụ waya na-ebelata, ihe a na-enweta na-ata ahụhụ n'ihi mmụba nke ntụpọ elu ma ọ bụ oke mfu kerf.
Site na ijikọta nha ọsọ ọsọ dị elu na paramita nzaghachi ndị ọzọ (dịka ọmụmaatụ, ọsọ waya, ọnụego nri), ndị nrụpụta nwere ike ịmanye njikwa mgbanwe nke oke usoro ahụ, na-ejikọ ozugbo mgbanwe ọsọ ọsọ na arụmọrụ ịkpụ a hụrụ. N'ihi ya, mgbanwe ọ bụla sitere na envelopu mmiri a haziri ahazi na-akpalite mmezi ozugbo, na-echebe ma ịdị mma usoro na arụmọrụ akụrụngwa.
Na nchịkọta, nha mmiri ọkụ eletrik nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe—na-adabere na ihe mmetụta nha mmiri siri ike na data oge-oge—na-eje ozi dị ka isi ihe maka mmepụta wafer silicon nke nwere ike ịba uru ma dị ọnụ ala n'oge ịkpụ waya diamond.
Nha Mmiri Coriolis: Ụkpụrụ na Ojiji
Nha nha nke Coriolis na-adabere n'ịchọpụta ike mmiri na-agafe na tube ndị na-ama jijiji. Ka mmiri na-asọfe—dịka mmiri na-egbutu waya diamond ma ọ bụ mmiri na-egbutu silicon wafer pụrụ iche—tube ndị ahụ na-enweta obere mgbanwe nke a na-atụ anya ya. Mgbanwe a kwekọrọ na ọnụego mmiri na-eruba, na-enye nhazi kpọmkwem, n'oge dị adị nke oke mmiri na-egbutu. Otu ụkpụrụ ahụ na-enye ohere ịlele njupụta mmiri n'otu oge, na-akwado oke nkenke n'ofe ụdị mmiri na-agbanwe agbanwe, ihe mejupụtara, na okpomọkụ—ihe dị mkpa na mmepụta wafer silicon na ngwa ịkpụ waya diamond.
Uru nke usoro a maka ụdị mmiri mmiri ịkpụ wafer, ọkachasị mgbe a na-eji mmiri mmiri ịkpụ diamond dị elu, dị oke mkpa. Nha mmiri Coriolis anaghị adabere na viscosity mmiri na mgbanwe nhazi, ọ na-anọgide na-ezi ezi nke ukwuu n'etiti ọnụnọ nke ihe ndị na-emebi emebi, ihe mgbakwunye nano, ma ọ bụ ngwakọta dị iche iche a na-ahụkarị na mmiri mmiri ịkpụ maka wafer silicon. Ike a na-eme ka ọ dị mma karịa usoro mmiri ọkụ ọdịnala, nke afụ, ihe ndị a kwụgidere, na mgbanwe njirimara anụ ahụ nke mmiri mmiri ịkpụ dị elu nwere ike imetụta.
Mbelata wafer semiconductor na-adabere nke ukwuu na teknụzụ sensọ mmiri mmiri dị elu iji hụ na a pụrụ ịtụkwasị obi na nlekota mmiri ịkpụ maka wafer silicon. A na-etinye ihe mmetụta mmiri n'ime Lonnmeter, nke na-eji mmetụta Coriolis, ozugbo na usoro nhazi. Nke a na-eme ka nnyefe na nlekota nke mmiri mmiri nano-fluid na diamond dị mma n'oge a na-egbu wafer. A na-achọpụta ihe ịrịba ama nke mmebi mmiri, enweghị nkwekọ na ngwakọta, ma ọ bụ mgbanwe njupụta, na-enye ohere maka njikwa ozugbo iji nọgide na-enwe mmepụta usoro na ịdị mma elu.
Ịtụnyere ihe mmetụta Coriolis na-agba ọsọ na ihe mmetụta ndị ọzọ na-ebelata mmiri—dịka sistemụ okpomọkụ, electromagnetic, ma ọ bụ ultrasonic flow—na-ekpughe ike dị iche iche. Ihe mmetụta Coriolis na-agba ọsọ na-eme nke ọma n'ịtụle mmiri kpọmkwem ma na-enye ọgụgụ dabere na oke ahụ na-enweghị mmetụta site na mgbanwe viscosity ma ọ bụ ihe onwunwe magnetik. Igwe elektrọnik na ultrasonic na-alụso ngwakọta mmiri ịkpụ nke nwere nanoparticles, akpa ikuku, ma ọ bụ mgbanwe njupụta nkeji, nke na-edugakarị na nha ọnụego mmiri a na-apụghị ịtụkwasị obi na mmụba ugboro ole mmezi.
A na-ejigide izi ezi nke mita mmiri Coriolis n'okpuru mgbanwe nhazi mmiri mmiri, ebe nhazi akara na atụmatụ nkwụghachi okpomọkụ na-ewepụ mkpọtụ na mgbanwe gburugburu ebe obibi nke ọma. Ndị ọrụ nwere ike iji data oge dị adị mee ka ọ dị mma iji mee ka oyi, mmanụ, na mwepụ nke ihe ndị na-adịghị mma dị, na-aza ajụjụ maka àgwà dị iche iche nke ụdị mmiri mmiri wafer cutting na ngwakọta nanofluid dị iche iche.
Mgbanwe nke nha nha Coriolis ka ọ bụrụ waya dị gịrịgịrị na ịkpụ mmiri na obere ihe ndị na-egbutu ihe na-egosi mgbanwe na nlekota ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Ihe mmetụta na-atụ ezigbo usoro na njupụta oke, n'agbanyeghị ọdịnaya nke ihe ma ọ bụ ọdịiche dị n'etiti ihe ndị na-egbu mmiri, na-enye ohere ijikwa mkpọchi mechiri emechi na njikwa mmiri akpaaka nke ahaziri maka ịkpụ wafer. Ọkwa a nke nha nha oke ziri ezi dị mkpa iji nọgide na-enwe nkwụsi ike usoro, belata mfu ihe, na ịchekwa iguzosi ike n'ezi ihe n'elu n'oge mmepụta wafer silicon na usoro ịkpụ waya diamond.
Ijikọta Data Ntụle Mmiri n'ime Njikwa Usoro
Ntụle mmiri n'oge a na-eji ihe mmetụta Coriolis eme ihe agbanweela njikwa mmiri n'oge a na-egbutu waya diamond nke silicon wafers. Njupụta na viscosity mita n'ime ahịrị, dịka ndị Lonnmeter mepụtara, na-enye ohere inyocha njirimara mmiri na ọnụego mmiri ozugbo, na-akwado kpọmkwem njikwa usoro.
Ịnọgide na-enwe oke mmiri kachasị mma dị mkpa maka ime ka waya diamond na wafer silicon dị jụụ, dị ọcha, na mmanụ dị mma. Mita mmiri Coriolis na-eme nke ọma na gburugburu ebe a site n'inye nzaghachi dị elu, nke dị mma n'oge na njirimara mmiri mmiri. Site na data a, sistemụ akpaaka nwere ike ịgbanwe ọsọ mmiri, ọnọdụ valvụ, ma ọ bụ ọnụego mmiri iji nye olu na nhazi nke mmiri mmiri wafer dị mkpa kpọmkwem. Dịka ọmụmaatụ, n'oge usoro ịkpụcha ngwa ngwa, data sensọ nwere ike ịkpalite mmụba nnyefe mmiri maka iwepụ ihe mkpofu na ịjụ oyi ka mma, ebe usoro dị nwayọ nwere ike ịchọ mbelata mmiri iji zere ihe mkpofu.
Nzaghachi sitere na ihe mmetụta nha mmiri dịkwa oke mkpa maka ịzaghachi ọnọdụ mmiri mmiri na-agbanwe agbanwe. Ka mmiri mmiri na-agbanwe agbanwe ma ọ bụ njupụta ya—n'ihi mgbanwe okpomọkụ ma ọ bụ mmetọ—mita inline nke Lonnmeter na-achọpụta mgbanwe ndị a ozugbo, na-enye sistemụ njikwa ohere ịkwụghachi ụgwọ site na ịgbanwe ọnụego mmiri ma ọ bụ ịmalite nzacha mmiri. Usoro a nke a na-achịkwa nke ọma, nke data na-eme ka mmiri mmiri ahụ dị n'ime nkọwapụta siri ike maka arụmọrụ ịkpụcha kacha mma.
N'ebe dị oke ibu, ikike inyocha na ijikwa mbelata mmiri mmiri n'oge na-akwado ọkpụrụkpụ na-agbanwe agbanwe ma na-ebelata ihe ndị nwere ntụpọ dị oke ọnụ, dịka egosiri na ahịrị mmepụta kachasị elu na Eshia na Yuropu. Njikwa mmiri mmiri dị elu na-akwadokwa mmezi amụma, na-agbatị ndụ waya diamond.
Ọrụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-erite uru nke ukwuu site na sistemụ mmiri ịkpụ nke na-achịkwa mmiri. Njikwa mmiri dị irè na-ebelata mmefu oriri na mkpofu site n'ịhụ na ejiri mmiri zuru oke maka wafer ọ bụla, na-akwado nkwado na nrubeisi iwu. Mbelata nke ihe mkpofu mmiri—nke enyere site na nzaghachi na nhazi na-aga n'ihu dabere na data sensọ—na-asụgharị na mbelata mmefu ọrụ na obere akara gburugburu ebe obibi.
Na nchịkọta, njikọta nke data nha mmiri n'oge a na-arụ ọrụ, nke Lonnmeter's inline solutions nyere aka, abụghị naanị ihe dị mkpa maka nkwa ịdị mma wafer kamakwa ọ bụ uru ọrụ maka usoro ịkpụ waya diamond. Ọ na-enye mmụba a na-ahụ anya na mmecha elu, ntụkwasị obi igwe, mmepụta mmepụta, na irè ọnụ ahịa.
Nghọta Nnwale na Nduzi Ụlọ Ọrụ
Nnyocha nnwale emere n'oge na-adịbeghị anya agbanweela usoro kachasị mma maka nnyefe mmiri maka ịkpụ waya diamond nke wafer silicon. Nnyocha na-egosi na njikwa nke ọma ịkpụ mmiri mmiri, ọkachasị site na iji usoro dị elu, na-ejikọta ozugbo na obere mmịpụta wafer na ịdị mma elu ka mma.
Iji mmetụta ultrasonic capillary eme ihe n'inye mmiri apụtala dị ka ihe na-agbanwe agbanwe. Ebili mmiri ultrasonic na-akpali mbelata mmiri n'ime kerfs dị gịrịgịrị—karịsịa na mpaghara ndị dị warara karịa 50 μm—ebe usoro nnyefe ọdịnala na-ada ada. Ntinye aka a ka mma na-ebelata nnabata nke ihe ndị na-emebi emebi na ihe mkpofu n'elu wafer. Nnwale e mere na-egosi na wafers ndị a na-enye mmiri site na ultrasonic na-egosi obere ntụpọ elu, si otú a na-enweta mmụba na ntụkwasị obi dị elu na usoro ndị dị n'okpuru ala.
Nhazi paramita dị oke mkpa iji mee ka uru nke ma mmezi ultrasonic na teknụzụ mmiri nano dịkwuo elu n'ibelata nnyefe mmiri. Isi paramita gụnyere:
- Anya dị n'etiti efere: A ga-ebelata oghere dị n'etiti ebe a na-echekwa mmiri na ebe a na-egbutu ya ka mmiri wee gbapụta nke ọma.
- Ọnọdụ na nhazi nke onye na-agbanwe ihe site na ultrasonic transducer: Ọdịdị nke geometry akọwapụtara nke ọma na-eme ka nnyefe ebili mmiri otu na ọrụ capillary dị.
- Okpomọkụ mmiri: Okpomọkụ a na-achịkwa na-eme ka mmiri na-agagharị ma na-arụ ọrụ nke ọma na capillary.
- Ogologo oge na ugboro ole ejiri ultrasonic mee ihe: Oge kwesịrị ekwesị na-egbochi oke oke ọkụ mgbe ọ na-eme ka ntinye aka dịkwuo elu.
- Nhọrọ ụdị mmiri mmiri: Mmiri mmiri dị iche iche na ihe mgbakwunye na-emeghachi omume pụrụ iche na mkpali ultrasonic.
Nkà na ụzụ Nanofluid na-ewebata ọganihu dị ukwuu ọzọ. Ịcha mmiri ndị e tinyere nanoparticles dịka SiO2 na SiC na-egosi mmụba na mmụba okpomọkụ na mmanụ. Mgbanwe a na-eduga n'ịjụ oyi nke ọma, iwepụ ihe mkpofu ka mma, na ibelata iru unyi elu wafer. Data na-egosi na usoro nano-particle agwakọtara na-enye mmezi mmekọrịta, na-ebelata warpage ọzọ ma na-emepụta ọdịdị wafer dị elu karịa otu ụdị ma ọ bụ mmiri ịkpụzi nkịtị.
Ndị nrụpụta na-achọ ime ka arụmọrụ ha dị mma karịa nke na-ebelata mmiri ọkụ nwere ike itinye ntuziaka ọrụ ndị a n'ọrụ:
- Jiri mita njupụta dị n'ime na mita viscosity (dịka ndị sitere na Lonnmeter) iji nyochaa ma chịkwaa nguzozi mmiri na-ebelata, na-eme ka njirimara mmiri na-aga nke ọma maka enyemaka ultrasonic na nano.
- Lelee ma gbanwee ọnụego mmiri ọkụ site na iji ihe mmetụta nha mmiri ọkụ dị elu. Nha nha mmiri ọkụ Coriolis bara uru karịsịa maka nha mmiri ọkụ ọkụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe, na-enye izi ezi n'oge a maka ma njupụta ma olu.
- Na-ahazi ihe mmetụta nha mmiri mgbe niile iji nọgide na-enwe ọgụgụ a pụrụ ịtụkwasị obi, nke dị oke mkpa maka nhazi wafer na-aga n'ihu.
- Họrọ ụdị mmiri mmiri ịkpụ wafer na mkpokọta nanoparticle nke dabara na nha wafer akọwapụtara, njirimara waya daịamọnd, na gburugburu ọrụ.
Ọmụmụ ihe atụnyere na-akwado na mgbanwe paramita otu-ihe—dịka ịbawanye ọsọ waya ma ọ bụ ịgbanwe ọnụego nri—na-adakọ na mgbanwe na iyi waya, oke iru ala, na mgbanwe ọkpụrụkpụ zuru oke (TTV). Ịnọgide na-enwe nguzozi na mmiri mmiri ngwa ngwa na-aza ngwa ngwa dị oke mkpa iji belata ntụpọ na ịgbatị ndụ waya.
Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị
Kedu ka mmiri ịkpụ silicon wafer si eme ka arụmọrụ ịkpụ diamond ka mma?
Mmiri silicon wafer cutting fluid na-arụ ọrụ dị ka mmanụ na ihe na-eme ka mmiri dị jụụ na ịkpụ waya diamond. Ọrụ ya bụ isi bụ ibelata esemokwu na iwepụ okpomọkụ sitere na njikọ waya-wafer. Mbelata esemokwu na okpomọkụ na-ebelata obere mgbawa na ọkọ elu, nke nwere ike ibute mmebi wafer na obere mmepụta zuru oke. Mmiri na-ebukwa ihe mkpofu site na ebe a na-egbutu ya, na-eme ka waya diamond na elu wafer dị ọcha. Mwepụ a na-aga n'ihu na-eme ka elu wafer dị nro ma na-akwado mmepụta na-aga n'ihu, dị elu. Dịka ọmụmaatụ, mmiri na-egbutu nano nke SiO₂ na SiC nwere ike ịbanye n'ime kerf miri emi, na-ebelata oke iru ala na wafer warpage, na-eme ka mmepụta wafer ka mma maka ojiji semiconductor.
Kedu ihe bụ mita mmiri ọkụ, gịnịkwa mere o ji dị mkpa n'ịcha wafer?
Igwe eji ebelata mmiri mmiri na-agbapụta na-atụle kpọmkwem oke mmiri e zigara na mpaghara a na-eji akwọ osisi. Ịnọgide na-enwe mmiri zuru oke dị oke mkpa maka mmanu zuru oke, ikpo ọkụ na-agbapụta, na iwepụ ihe mkpofu. Ọ bụrụ na mmiri ahụ dị obere, waya ahụ na-ekpo oke ọkụ ma ọ bụ na-agbakọta ihe mkpofu, na-akpata ọkọ na mgbawa. Oke mmiri nwere ike imefusị mmiri ma mepụta enweghị nguzozi nrụgide, na-emetụta ịdị larịị nke wafer na ndụ ngwaọrụ. Ịcha mita mmiri mmiri, dị ka mita njupụta inline na mita viscosity nke Lonnmeter mepụtara, na-enyere ndị ọrụ aka inyocha ma gbanwee ọkọnọ n'oge. Nke a na-eme ka usoro ahụ nọgide na-adị n'ime paramita kacha mma, na-eme ka mmepụta wafer dịkwuo elu ma na-ebelata iyi ngwa ọrụ.
Kedu ka nha nha Coriolis si abara uru maka njikwa mmiri silicon wafer ịkpụ?
Nha nha nha Coriolis bara uru maka nha nha nha dị elu na mmepụta wafer silicon. N'adịghị ka mita mmiri ọdịnala, ihe mmetụta Coriolis na-atụ nha nha ozugbo n'agbanyeghị viscosity mmiri, njupụta, ma ọ bụ mgbanwe okpomọkụ. Njirimara a na-enye ohere inyocha nke ọma nke ụdị mmiri mmiri wafer dị iche iche, gụnyere ndị nwere nanoparticles. Nsonaazụ ya bụ nnyefe nke mmiri mmiri ịkpụ n'otu oge na ọnụego ziri ezi, na-eme ka mmanụ na-adị jụụ ma na-ajụ oyi n'agbanyeghị mgbanwe usoro. Uru ndị a na-enye aka ozugbo na mma wafer dị elu na ngwa ịkpụ waya diamond na-achọ, ebe njikwa ziri ezi na-ebelata ntụpọ ma na-eme ka mmepụta dịkwuo mma.
Kedu ihe ndị na-emetụta nha ọsọ na ngwa igwe eji akwọ waya diamond?
Nha nha ọsọ ọsọ ziri ezi dabere na ọtụtụ mgbanwe ndị jikọtara ọnụ. Nhọrọ sensọ dị mkpa; dịka ọmụmaatụ, ihe mmetụta Coriolis na-enye data a pụrụ ịtụkwasị obi ọbụlagodi maka mmiri viscous ma ọ bụ nke nwere obere ihe. Ihe mejupụtara mmiri mmiri - dịka ọnụnọ nke nanoparticles - nwere ike ịgbanwe viscosity na njupụta ma metụta ihe achọrọ maka nhazi sensọ. Dayameta waya na ọsọ ịkpụ na-emetụtakwa ego mmiri dị mkpa maka oyi na iwepụ ihe mkpofu dị irè. Nhazi maka usoro ọ bụla akọwapụtara dị mkpa iji hụ na ihe mmetụta ahụ na-agụ ezigbo ụkpụrụ, na-ahụ na ejiri oke mmiri ịkpụzi kwesịrị ekwesị maka otu ọ bụla.
Ngwunye mmiri nano na usoro ultrasonic nwere ike ime ka mmiri banye n'ime mmiri n'oge ịkpụ silicon wafer?
Nnyocha na-egosi na mmiri mmiri nano, karịsịa ndị nwere SiO₂ na SiC nanoparticles, na-eme ka arụmọrụ nke nnyefe mmiri na njikọ waya-wafer dị mkpa dịkwuo elu. Ihe ndị a na-enyere mmiri mmiri aka iru oghere microscopic, na-eme ka ọ dị jụụ ma na-ete mmanụ nke ọma. Na mgbakwunye, usoro mmetụta capillary ultrasonic na-eme ka mmegharị mmiri na ntinye aka dịkwuo mma, ọkachasị na ịkpụ waya dị gịrịgịrị. Nke a pụtara na ọ dịghị mkpa ka mmiri ịkpụ obere iji nweta arụmọrụ kachasị mma, nsonaazụ ya gụnyere mbelata mmịpụta mmiri, mmụba ọdịdị elu, na obere ọnụego ntụpọ. Ọganihu ndị a na-akwado ịkwaga na wafers dị gịrịgịrị, buru ibu na ụlọ ọrụ semiconductor na photovoltaic, yana ihe mmetụta nlekota mmiri na-ebelata na-eme ka usoro ahụ nọgide na-achịkwa ma na-agbanwe agbanwe n'oge usoro mmepụta ọ bụla.
Oge ozi: Disemba-25-2025
