Nchacha kemịkalụ na-arụ ọrụ (CMP) na-abụkarị ihe na-eme ka elu dị ire ụtọ site na mmeghachi omume kemịkalụ, ọkachasị ọrụ na ụlọ ọrụ mmepụta semiconductor.Nta Lonnmeter, onye nrụpụta ihe ọhụrụ a pụrụ ịtụkwasị obi nke nwere ihe karịrị afọ 20 nke ahụmịhe n'ịtụle ntinye uche n'ime ahịrị, na-enye ihe kachasị ọhụrụmita njupụta na-abụghị nukliana ihe mmetụta viscosity iji dozie nsogbu nke njikwa slurry.
Mkpa nke Ogo Slurry na Ọkachamara nke Lonnmeter
Ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe na-eme ka ihe dị n'ime ya dị ọcha bụ isi ihe dị mkpa n'usoro CMP, na-ekpebi otu na ịdị mma nke elu. Njupụta slurry ma ọ bụ viscosity na-adịghị agbanwe agbanwe nwere ike ibute ntụpọ dị ka obere ihe na-eme ka ihe ghara ịdị mma, iwepụ ihe na-adịghị mma, ma ọ bụ mkpọchi pad, imebi ịdị mma wafer na ịbawanye ọnụ ahịa mmepụta. Lonnmeter, onye ndu zuru ụwa ọnụ na ngwọta nha ụlọ ọrụ, bụ ọkachamara na nha slurry inline iji hụ na arụmọrụ slurry kacha mma. Site na ndekọ a nwapụtara nke inye ihe mmetụta a pụrụ ịdabere na ya, nke dị elu, Lonnmeter esorola ndị na-emepụta semiconductor na-eduga aka iji melite njikwa na arụmọrụ usoro. Mita njupụta slurry ha na ihe mmetụta viscosity ha na-enye data oge, na-eme ka mgbanwe ziri ezi dịgide iji nọgide na-enwe nguzozi slurry ma mezuo ihe siri ike nke mmepụta semiconductor nke oge a.
Ahụmịhe karịrị afọ iri abụọ nke nha njupụta n'ime ahịrị, nke ụlọ ọrụ semiconductor kachasị elu tụkwasịrị obi. Emebere sensọ Lonnmeter maka njikọta na-enweghị nsogbu na enweghị mmezi, na-ebelata ọnụ ahịa ọrụ. Ngwọta ahaziri iji mezuo mkpa usoro akọwapụtara, na-ahụ na mmepụta wafer dị elu na nrubeisi.
Ọrụ nke Ịchacha Mechanical Chemical na Mmepụta Semiconductor
Ịchacha ihe kemịkalụ (CMP), nke a makwaara dịka nhazi kemịkalụ na igwe, bụ isi ihe dị mkpa n'imepụta semiconductor, na-eme ka e nwee ebe dị larịị, nke na-enweghị ntụpọ maka mmepụta chip dị elu. Site na ijikọta ịchacha ihe kemịkalụ na mmebi igwe, usoro CMP na-ahụ na nhazi dị mkpa maka sekit agbakọtara ọtụtụ oyi akwa na nodes dị n'okpuru 10nm. Mmiri kemịkalụ polishing nke igwe kemịkalụ mejupụtara, nke nwere mmiri, ihe ndị na-eme kemịkalụ kemịkalụ, na ihe ndị na-emebi emebi, na-emekọrịta ihe na pad polishing na wafer iji wepụ ihe ahụ n'otu aka ahụ. Ka atụmatụ semiconductor na-agbanwe, usoro CMP na-eche mgbagwoju anya ihu, na-achọ njikwa siri ike na ihe ndị na-eme ka mmiri ghara ịdị mma ma nweta wafers dị nro ma na-egbuke egbuke nke Semiconductor Foundries na Materials Suppliers chọrọ.
Usoro a dị oke mkpa maka imepụta ibe 5nm na 3nm nwere obere ntụpọ, nke na-eme ka elu dị larịị maka idobe nke ọma nke akwa ndị na-esote. Ọbụna obere enweghị nkwekọ slurry nwere ike ibute ọrụ dị oke ọnụ ma ọ bụ mfu mkpụrụ.
Ihe ịma aka dị na nlekota ihe onwunwe slurry
Ịnọgide na-enwe njupụta slurry na viscosity na-aga n'ihu n'usoro nchacha kemịkalụ na-ejupụta na nsogbu. Njirimara slurry nwere ike ịdị iche n'ihi ihe ndị dị ka njem, ịgwakọta na mmiri ma ọ bụ hydrogen peroxide, ngwakọta na-ezughị ezu, ma ọ bụ mmebi kemịkalụ. Dịka ọmụmaatụ, ihe ndị dị n'ime slurry totes nwere ike ibute njupụta dị elu na ala, na-eduga na nchacha na-adịghị otu. Usoro nlekota ọdịnala dịka pH, ikike mbelata oxidation-reduction (ORP), ma ọ bụ conductivity anaghị adịkarị ezu, ebe ha anaghị achọpụta mgbanwe dị nro na nhazi slurry. Mmachi ndị a nwere ike ibute ntụpọ, mbelata ọnụego mwepụ, na mmụba ọnụ ahịa oriri, na-etinye nnukwu ihe egwu maka ndị na-emepụta akụrụngwa semiconductor na ndị na-enye ọrụ CMP. Mgbanwe nhazi n'oge njikwa na nnyefe na-emetụta arụmọrụ. Nọdụ sub-10nm chọrọ njikwa siri ike na ịdị ọcha slurry na izi ezi ngwakọta. pH na ORP na-egosi obere mgbanwe, ebe nchacha na-agbanwe agbanwe na ịka nká slurry. Njirimara slurry na-adịghị agbanwe agbanwe nwere ike ịbawanye ọnụego ntụpọ ruo 20%, kwa ọmụmụ ụlọ ọrụ.
Ihe mmetụta dị n'ịntanetị nke Lonnmeter maka nlekota oge
Lonnmeter na-edozi nsogbu ndị a site na mita njupụta slurry ya dị elu na-abụghị nuklia naihe mmetụta viscosity, gụnyere mita viscosity inline maka nha viscosity in-line na mita njupụta ultrasonic maka njupụta slurry na nlekota viscosity n'otu oge. Emebere sensọ ndị a maka ijikọ na usoro CMP n'enweghị nsogbu, na-egosipụta njikọ ọkọlọtọ ụlọ ọrụ. Ngwọta Lonnmeter na-enye ntụkwasị obi ogologo oge na obere mmezi maka owuwu siri ike ya. Data oge-oge na-enye ndị ọrụ ohere ịhazi ngwakọta slurry, gbochie ntụpọ, ma melite arụmọrụ polishing, na-eme ka ngwaọrụ ndị a dị mkpa maka Ndị Na-eweta Ngwa Nyocha na Nnwale na Ndị Na-ebunye Ihe Ndị A Na-eri na CMP.
Uru nke Nlekota Na-aga n'ihu maka Nhazi CMP
Nlekota na-aga n'ihu site na iji ihe mmetụta dị n'ime Lonnmeter na-agbanwe usoro nchacha kemịkalụ site n'inye nghọta dị irè na nnukwu nchekwa ọnụ ahịa. Ntụle njupụta slurry na nlekota viscosity nke oge a na-ebelata ntụpọ dị ka ọkọ ma ọ bụ ịcha oke mma ruo 20%, dịka ntụaka ụlọ ọrụ si dị. Ijikọta ya na sistemụ PLC na-eme ka nhazi na njikwa usoro akpaaka na-arụ ọrụ, na-eme ka ihe ndị dị na slurry dịgide n'ime oke kachasị mma. Nke a na-eduga na mbelata 15-25% na ọnụ ahịa ihe oriri, belata oge nkwụsị, na mmezi nha wafer. Maka ndị na-enye ọrụ Semiconductor na CMP, uru ndị a na-asụgharị na mmụba mmepụta, oke uru dị elu, na nrubeisi na ọkọlọtọ dị ka ISO 6976.
Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị Banyere Nlekota Slurry na CMP
Gịnị mere nha njupụta slurry ji dị mkpa maka CMP?
Nha nha nke slurry na-eme ka nkesa na ngwakọta otu nhata dị iche iche, na-egbochi ntụpọ ma na-eme ka ọnụego mwepụ dị mma n'usoro nhazi kemịkalụ mekaniki. Ọ na-akwado mmepụta wafer dị elu na ịgbaso ụkpụrụ ụlọ ọrụ.
Kedu ka nlekota viscosity si eme ka arụmọrụ CMP dịkwuo mma?
Nlekota viscosity na-eme ka mmiri slurry na-aga n'ihu, na-egbochi nsogbu dịka mkpọchi pad ma ọ bụ mmecha na-adịghị mma. Ihe mmetụta inline nke Lonnmeter na-enye data ozugbo iji mee ka usoro CMP dịkwuo mma ma melite mmepụta wafer.
Gịnị mere mita njupụta slurry nke Lonnmeter nke na-abụghị nuklia ji dị iche?
Mita njupụta slurry nke Lonnmeter na-enye nha njupụta na viscosity n'otu oge yana ezigbo izi ezi na enweghị mmezi. Nhazi siri ike ha na-eme ka a pụrụ ịtụkwasị obi na gburugburu usoro CMP siri ike.
Nha nha na nlekota viscosity nke oge a dị oke mkpa maka ime ka usoro polishing kemịkalụ mekanikal dị mma na mmepụta semiconductor. Mita njupụta slurry na sensọ viscosity nke Lonnmeter na-enye ndị nrụpụta ngwaọrụ Semiconductor, ndị na-ebunye CMP Consumables, na Semiconductor Foundries ngwaọrụ iji merie ihe ịma aka njikwa slurry, belata ntụpọ, na ibelata ọnụ ahịa. Site n'inye data ziri ezi, ozugbo, ngwọta ndị a na-eme ka arụmọrụ usoro dịkwuo mma, hụ na nrubeisi, ma na-akwalite uru na ahịa CMP asọmpi. Gaa letaEbe nrụọrụ weebụ Lonnmeterma ọ bụ kpọtụrụ ndị otu ha taa ka ha chọpụta otu Lonnmeter ga-esi gbanwee ọrụ gị na-eme ka ihe dị ọcha n'ime kemịkalụ.
Oge ozi: Julaị-22-2025
